JP2018067051A - 品質監視装置、品質監視システム、品質監視方法及びプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
前記プロセスにおいて計測される物理量を示す計測データを記憶する計測データ記憶部と、
前記プロセスの処理対象となる物体の状態を示す状態値をあらかじめ設定した閾値と比較し、前記プロセスが、当該状態値が前記閾値以下である第1プロセスか、前記状態値が前記閾値を超える第2プロセスかを判断する比較部と、
前記比較部による比較の結果、前記状態値が前記閾値以下の場合、前記計測データと所定のモデルに基づいてプロセスの品質指標を計算し、前記品質指標に基づき前記第1プロセスの品質を判定する第1の判定部と、
前記第1の判定部による品質判定結果を記憶する品質判定結果記憶部と、
前記比較の結果、前記状態値が前記閾値を超える場合、前記計測データと前記品質判定結果に基づき判定条件を生成する判定条件生成部と、
前記判定条件に基づき前記第2プロセスの品質を判定する第2の判定部と
を含む。
1.異常検知の全体構成例
2.品質監視装置のハードウェア構成例
3.品質監視装置による全体処理例
4.品質監視装置の機能構成例
以下、プラントにおいて、プラントに設置されるセンサによって、周期的にセンシングされるデータに基づいて、異常検知が行われる例で説明する。まず、プラントで行われるプロセスの種類は、例えば、以下のように分類できる。
品質監視装置は、例えば、以下のような情報処理装置等である。
図6は、本発明の一実施形態における品質監視装置による全体処理の一例を示すフローチャートである。
ステップS101では、品質監視装置は、計測データを記憶する。
ステップS102では、品質監視装置は、状態値が閾値以下であるか否か判断する。例えば、状態値は、プロセスが開始された時点から経過した時間、すなわち、プロセスが行われた時間(以下「経過時間」という。)である。
ステップS103では、品質監視装置は、モデルを生成する。例えば、重回帰分析(MLR)、主成分分析(PCA)又は部分最小二乗法(PLS)等を用いると、品質監視装置は、プロセスが正常な状態を示すモデルを生成することができる。
ステップS104では、品質監視装置は、品質指標等に基づいてプロセスの品質を判定する。まず、品質監視装置には、品質が異常か正常かを判定する基準値が入力される。つまり、基準値は、プロセスを正常と判定する品質指標管理限界を示す。そして、計測データに基づいて、品質指標が計算される。次に、品質指標と、基準値とを比較すると、品質監視装置は、プロセスの品質が異常であるか正常であるかが判定できる。
図6に戻り、ステップS105では、品質監視装置は、品質判定結果データを記憶する。品質判定結果データは、例えば、図8のように、品質指標等に基づいて判定された判定結果を示すデータである。なお、品質監視装置は、品質判定結果データを計測データに対応させて記憶する。例えば、品質判定結果データは、以下のように記憶される。
図6に戻り、ステップS106では、品質監視装置は、品質判定結果データに基づいて、判定条件を生成する。例えば、品質監視装置は、以下のように生成する。
図6に戻り、ステップS107では、品質監視装置は、ステップS106で生成した判定条件に基づいて、第2プロセスで計測された計測データを判定する。例えば、図10に示す例では、第2プロセスにおいて計測された物理量を示す計測データ(以下「現在データDMS」という。)は、判定条件JGに基づいて正常と判断される。
図12は、本発明の一実施形態における品質監視装置の機能構成の一例を示す機能ブロック図である。例えば、品質監視装置10は、計測データ記憶部FN1と、比較部FN2と、第1の判定部FN3と、品質判定結果記憶部FN4と、判定条件生成部FN5と、第2の判定部FN6とを含む機能構成である。なお、品質監視装置10は、図示するように、通知部FN7を更に有する機能構成であるのが望ましい。
まず、第1プロセス及び第2プロセスのいずれのプロセスでも、センサ等によって物理量が計測される。そして、計測された物理量を示す計測データが生成される。
本発明の一実施形態に係る各処理の全部又は一部は、低水準言語、高水準言語又はこれらを組み合わせて記述されるコンピュータに、品質監視方法を実行させるためのプログラムによって実現されてもよい。すなわち、プログラムは、情報処理装置等のコンピュータに各処理の全部又は一部を実行させるためのコンピュータプログラムである。
100 品質監視システム
FN1 計測データ記憶部
FN2 比較部
FN3 第1の判定部
FN4 品質判定結果記憶部
FN5 判定条件生成部
FN6 第2の判定部
FN7 通知部
TH 閾値
DP 計測データ
DJ 品質判定結果データ
JG 判定条件
SV 状態値
Claims (9)
- バッチ処理のプロセスを監視する品質監視装置であって、
前記プロセスにおいて計測される物理量を示す計測データを記憶する計測データ記憶部と、
前記プロセスの処理対象となる物体の状態を示す状態値をあらかじめ設定した閾値と比較し、前記プロセスが、当該状態値が前記閾値以下である第1プロセスか、前記状態値が前記閾値を超える第2プロセスかを判断する比較部と、
前記比較部による比較の結果、前記状態値が前記閾値以下の場合、前記計測データと所定のモデルに基づいてプロセスの品質指標を計算し、前記品質指標に基づき前記第1プロセスの品質を判定する第1の判定部と、
前記第1の判定部による品質判定結果を記憶する品質判定結果記憶部と、
前記比較の結果、前記状態値が前記閾値を超える場合、前記計測データと前記品質判定結果に基づき判定条件を生成する判定条件生成部と、
前記判定条件に基づき前記第2プロセスの品質を判定する第2の判定部と
を含むバッチ系プロセスの品質監視装置。 - 前記状態値は、前記プロセスが行われた経過時間又は前記物体の状態を示す物理量である請求項1に記載の品質監視装置。
- 前記第1プロセス又は前記第2プロセスのいずれかの品質が異常と判定されると、前記異常を通知する通知部を更に含む請求項1又は2に記載の品質監視装置。
- 前記判定条件生成部は、前記第1プロセスで用いた前記計測データに対して前記第2プロセスで必要となる監視対象に限定する請求項1に記載の品質監視装置。
- 前記第2の判定部ではさらに、品質に関わる経過時間が所定の第2の閾値を超えた場合に前記第2プロセスの品質を異常と判定する請求項1に記載の品質監視装置。
- 前記品質判定結果記憶部は、前記プロセスより過去に行われたプロセスにおいて判定された品質判定結果を更に記憶する請求項1乃至5のいずれか1項に記載の品質監視装置。
- 1つ以上の情報処理装置を有し、かつ、バッチ処理のプロセスを監視する品質監視システムであって、
前記プロセスにおいて計測される物理量を示す計測データを記憶する計測データ記憶部と、
前記プロセスの処理対象となる物体の状態を示す状態値をあらかじめ設定した閾値と比較し、前記プロセスが、当該状態値が前記閾値以下である第1プロセスか、前記状態値が前記閾値を超える第2プロセスかを判断する比較部と、
前記比較部による比較の結果、前記状態値が前記閾値以下の場合、前記計測データと所定のモデルに基づいてプロセスの品質指標を計算し、前記品質指標に基づき前記第1プロセスの品質を判定する第1の判定部と、
前記第1の判定部による品質判定結果を記憶する品質判定結果記憶部と、
前記比較の結果、前記状態値が前記閾値を超える場合、前記計測データと前記品質判定結果に基づき判定条件を生成する判定条件生成部と、
前記判定条件に基づき前記第2プロセスの品質を判定する第2の判定部と
を含むバッチ系プロセスの品質監視システム。 - バッチ処理のプロセスを監視する品質監視装置が行う品質監視方法であって、
前記品質監視装置が、前記プロセスにおいて計測される物理量を示す計測データを記憶する計測データ記憶手順と、
前記品質監視装置が、前記プロセスの処理対象となる物体の状態を示す状態値をあらかじめ設定した閾値と比較し、前記プロセスが、当該状態値が前記閾値以下である第1プロセスか、前記状態値が前記閾値を超える第2プロセスかを判断する比較手順と、
前記品質監視装置が、前記比較手順による比較の結果、前記状態値が前記閾値以下の場合、前記計測データと所定のモデルに基づいてプロセスの品質指標を計算し、前記品質指標に基づき前記第1プロセスの品質を判定する第1の判定手順と、
前記品質監視装置が、前記第1の判定手順による品質判定結果を記憶する品質判定結果記憶手順と、
前記品質監視装置が、前記比較の結果、前記状態値が前記閾値を超える場合、前記計測データと前記品質判定結果に基づき判定条件を生成する判定条件生成手順と、
前記品質監視装置が、前記判定条件に基づき前記第2プロセスの品質を判定する第2の判定手順と
を含むバッチ系プロセスの品質監視方法。 - バッチ処理のプロセスを監視するコンピュータに品質監視方法を実行させるためのプログラムであって、
前記コンピュータが、前記プロセスにおいて計測される物理量を示す計測データを記憶する計測データ記憶手順と、
前記コンピュータが、前記プロセスの処理対象となる物体の状態を示す状態値をあらかじめ設定した閾値と比較し、前記プロセスが、当該状態値が前記閾値以下である第1プロセスか、前記状態値が前記閾値を超える第2プロセスかを判断する比較手順と、
前記コンピュータが、前記比較手順による比較の結果、前記状態値が前記閾値以下の場合、前記計測データと所定のモデルに基づいてプロセスの品質指標を計算し、前記品質指標に基づき前記第1プロセスの品質を判定する第1の判定手順と、
前記コンピュータが、前記第1の判定手順による品質判定結果を記憶する品質判定結果記憶手順と、
前記コンピュータが、前記比較の結果、前記状態値が前記閾値を超える場合、前記計測データと前記品質判定結果に基づき判定条件を生成する判定条件生成手順と、
前記コンピュータが、前記判定条件に基づき前記第2プロセスの品質を判定する第2の判定手順と
を実行させるためのプログラム。
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JP2016203709A JP2018067051A (ja) | 2016-10-17 | 2016-10-17 | 品質監視装置、品質監視システム、品質監視方法及びプログラム |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2023507067A (ja) * | 2019-12-18 | 2023-02-21 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | ガス放電光源における予測装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015207303A (ja) * | 2010-05-21 | 2015-11-19 | フィッシャー−ローズマウント システムズ,インコーポレイテッド | コンピュータベースの方法及びコンピュータベースのモデル |
JP2016006699A (ja) * | 2010-05-21 | 2016-01-14 | フィッシャー−ローズマウント システムズ,インコーポレイテッド | プロセス分析モデルと実際のプロセス動作とのオンライン整合 |
JP2016164772A (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-08 | 富士電機株式会社 | プロセス監視装置、プロセス監視方法及びプログラム |
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2016
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015207303A (ja) * | 2010-05-21 | 2015-11-19 | フィッシャー−ローズマウント システムズ,インコーポレイテッド | コンピュータベースの方法及びコンピュータベースのモデル |
JP2016006699A (ja) * | 2010-05-21 | 2016-01-14 | フィッシャー−ローズマウント システムズ,インコーポレイテッド | プロセス分析モデルと実際のプロセス動作とのオンライン整合 |
JP2016164772A (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-08 | 富士電機株式会社 | プロセス監視装置、プロセス監視方法及びプログラム |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023507067A (ja) * | 2019-12-18 | 2023-02-21 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | ガス放電光源における予測装置 |
JP7358642B2 (ja) | 2019-12-18 | 2023-10-10 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | ガス放電光源における予測装置 |
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