JP2018060898A - 搬送機構 - Google Patents
搬送機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018060898A JP2018060898A JP2016196697A JP2016196697A JP2018060898A JP 2018060898 A JP2018060898 A JP 2018060898A JP 2016196697 A JP2016196697 A JP 2016196697A JP 2016196697 A JP2016196697 A JP 2016196697A JP 2018060898 A JP2018060898 A JP 2018060898A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- annular frame
- magnetic force
- plate
- magnet
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title abstract description 37
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 24
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 claims description 10
- 230000009471 action Effects 0.000 abstract description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 30
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 28
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 12
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
3 保持手段
4 加工手段
5 カセット
6 載置テーブル
7 ガイドレール
8 プッシュプル機構
9 板状物ユニット
10 搬送機構
11 アーム部
12 洗浄機構
14 支持台
16 搬送機構
17 アーム部
18 撮像部
20 入力手段
21 制御手段
50 搬送プレート
51 接続プレート
52 支持機構
53 吸引パッド
54 磁力保持部
56 吸着部
58 コイルスプリング
59 68 69 流路
60 70 ポンプ
61 71 72 バルブ
62 シリンダ
63 筐体
63a 側壁
63b 底壁
64 ピストン
66 磁石支持板
67 磁石
91 環状フレーム
92 粘着テープ
93 板状物
Claims (2)
- 環状フレームの内側開口に粘着テープが貼着され該粘着テープ上に板状物が貼着されて構成される板状物ユニットを搬送する搬送機構であって、
鉛直方向及び水平方向に往復動される搬送プレートと、
該搬送プレートの下面に配設され該環状フレームの上面に当接して該環状フレームを吸引保持する吸引パッドと、
該環状フレームを磁力で吸着保持して該吸引パッドで吸引保持された該環状フレームの落下を防止する磁力保持部と、を備え、
該磁力保持部は、該環状フレームの上面を保持する磁石と、該搬送プレートに配設され該磁石を上下方向に移動可能にガイドするガイド部と、該ガイド部にガイドされた該磁石を該環状フレームを吸着保持する下方の作用位置と該環状フレームに対して磁力が作用しない上方の非作用位置とに上下移動させる移動手段と、を備え、
該吸引パッドが環状フレーム上面に当接して吸引保持した際に、該磁力保持部は、該移動手段により該磁石を該作用位置に移動させ磁力で該環状フレームを吸着保持し、
該環状フレームを吸引保持している該吸引パッドが吸引力を解除した際には、該磁力保持部は該磁石を該非作用位置に移動させ該環状フレーム上面への吸着保持を解除すること、を特徴とする搬送機構。 - 該ガイド部は、内部に空間を有する筐体であり、該空間内で該磁石が上下に移動し、
該作用位置に位置付けられた際には、該筐体外壁に磁力がおよび該環状フレームを該筐体外壁に吸着保持すること、を特徴とする請求項1記載の搬送機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016196697A JP6716418B2 (ja) | 2016-10-04 | 2016-10-04 | 搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016196697A JP6716418B2 (ja) | 2016-10-04 | 2016-10-04 | 搬送機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018060898A true JP2018060898A (ja) | 2018-04-12 |
JP6716418B2 JP6716418B2 (ja) | 2020-07-01 |
Family
ID=61908615
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016196697A Active JP6716418B2 (ja) | 2016-10-04 | 2016-10-04 | 搬送機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6716418B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05283502A (ja) * | 1992-03-30 | 1993-10-29 | Mitsubishi Electric Corp | ダイボンド装置 |
JP2013191631A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬送機構 |
JP2013237532A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Ihi Corp | 搬送装置および搬送方法 |
JP2015012263A (ja) * | 2013-07-02 | 2015-01-19 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2016154198A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法 |
-
2016
- 2016-10-04 JP JP2016196697A patent/JP6716418B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05283502A (ja) * | 1992-03-30 | 1993-10-29 | Mitsubishi Electric Corp | ダイボンド装置 |
JP2013191631A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬送機構 |
JP2013237532A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Ihi Corp | 搬送装置および搬送方法 |
JP2015012263A (ja) * | 2013-07-02 | 2015-01-19 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2016154198A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6716418B2 (ja) | 2020-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107527853B (zh) | 被加工物的保持机构和加工装置 | |
KR102405690B1 (ko) | 절삭 장치 | |
KR102279560B1 (ko) | 반송 장치 | |
KR102402403B1 (ko) | 절삭 장치 | |
JP2017084950A (ja) | 加工装置の搬送機構 | |
KR102348542B1 (ko) | 피가공물의 반송 트레이 | |
KR20210093182A (ko) | 툴링 핀 배치 시스템 | |
TW200302807A (en) | Plate-like object carrying mechanism and dicing device with carrying mechanism | |
JP6959916B2 (ja) | 電子部品装着機および電子部品切離し方法 | |
TWI708657B (zh) | 加工裝置 | |
JP2011045946A (ja) | 基板搬送アーム | |
TW201931452A (zh) | 工件的切割方法以及切割裝置的卡盤台 | |
JP6716418B2 (ja) | 搬送機構 | |
JP5385016B2 (ja) | 搬送機構 | |
KR20140120822A (ko) | 척 테이블 | |
KR20220044410A (ko) | 유지 기구 | |
JP2010027751A (ja) | 搭載ヘッド及び部品実装機 | |
JP2017059736A (ja) | 半導体チップの実装装置 | |
JP4847353B2 (ja) | ウエーハの加工装置 | |
JP4973614B2 (ja) | 搭載ヘッド及び部品実装機 | |
CN106997864B (zh) | 卡盘工作台 | |
JP2015012263A (ja) | 加工装置 | |
JP2004235622A (ja) | 板状物の搬送装置 | |
JP5656324B2 (ja) | ストッパ装置 | |
JP2023038553A (ja) | 保持機構 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190814 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200414 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200512 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200610 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6716418 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |