JP2018054356A - ガス検知用フィルム、ガス検知装置、及びガス検知方法 - Google Patents

ガス検知用フィルム、ガス検知装置、及びガス検知方法 Download PDF

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秀憲 安藤
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Abstract

【課題】対象物から発生するガスを検知する技術を提供すること。
【解決手段】本発明の実施の形態にかかるガス検知装置100は、例えば、ガスバリア性を有するガス検知フィルム10が密着した対象物20を照明する照明光源30と、照明光源30で照明された対象物20からの光を検出する光検出器40と、光検出器40での検出結果に応じて、ガス検知フィルム10と対象物20との間に生じた気泡15を検知する処理部50と、を備えたものである。
【選択図】図1

Description

本発明は、ガスを検知するための技術に関する。
特許文献1には、ガス検知シートが開示されている。特許文献1のガス検知シートは、検知対象ガスが接触した場合に呈色、又は光学濃度が変化するガス検知部を有している。
特許文献2には、ガス検出装置が開示されている。特許文献2のガス検出装置は、ガスセンサに光を照射するLED光源と、センサで反射された光を検出するフォトセンサを備えている。ガスセンサには、送られてくるガスの種類に対応して変色する試薬が用いられている。
特許文献3には、建造物内や室内に放散する揮発性有機化合物の発生源を特定することができる化学物質検出装置が開示されている。特許文献3の化学物質検出装置では、揮発性化学物質に化学反応して色彩が変化する検出シートが用いられている。
特開2006−112992号公報 特開2014−6132号公報 特開2006−47136号公報
しかしながら、特許文献1〜3では、検知対象のガスの種類を特定し、特定したガスの種類に反応する化学物質を用いる必要がある。このため、特許文献1〜3では、特定したガスの種類以外のガスが発生した場合、そのガスを検知することが困難となる。
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、簡便にガスを検知することができる技術を提供することを目的とする。
本実施形態の一態様に係るガス検知方法は、ガスバリア性を有するガス検知フィルムを対象物に密着させる工程と、前記ガス検知フィルムと前記対象物との間に生じた気泡によって、前記対象物からのガスの発生を検知する工程と、を備えたものである。このようにすることが、ガスの発生を可視化することができ、簡便にガスを検知することができる。
上記のガス検知方法において、前記ガスの発生を検知する工程では、光検出器によって、前記対象物に前記ガス検知フィルムが密着されたワークの画像を一定の時間間隔で取得し、
前記取得した画像の時間変化に応じて、前記気泡の変化量を検出するにしてもよい。これにより、ガス検知を自動化することができる。
上記のガス検知方法において、格子状の照明パターンで前記ガス検知フィルムを照明し、前記ガス検知フィルムを複数のブロックに区分する工程と、前記ブロック毎に前記対象物からのガスを検知する工程と、を備えていてもよい。
上記のガス検知方法において、光切断法により、前記ガス検知フィルムの3次元形状を測定し、前記3次元形状に基づいて、前記ガスの発生量を算出するようにしてもよい。これにより、ガスの発生量を簡便に検出することができる。
上記のガス検知方法において、前記ガス検知フィルムには、格子状のパターンが形成されていてもよい。これにより、ガスの発生個所を検出することができる。
上記のガス検知方法において、前記ガス検知フィルムが検知対象ガスに対してガスバリア性を有し、かつ、検知対象以外のガスを透過する透過性を有するものであってもよい。これにより、特定のガスを検知することができる。
上記のガス検知方法において、ガスバリア性の異なる複数の前記ガス検知フィルムを前記対象物に密着させて、前記対象物から発生するガスの種類を判別するようにしてもよい。
本実施形態の一態様に係るガス検知装置は、ガスバリア性を有するガス検知フィルムと、対象物に前記ガスバリア性を有するガス検知フィルムが密着されたワークを照明する照明光源と、前記照明光源で照明された前記ワークからの光を検出する光検出器と、前記光検出器での検出結果に応じて、前記ガス検知フィルムと前記対象物との間に生じた気泡を検知して、前記気泡に基づき前記対象物からのガスの発生を検知する検知部と、を備えたものである。このようにすることが、ガスの発生を可視化することができ、簡便にガスを検知することができる。
上記のガス検知装置において、前記光検出器が前記対象物を撮像するカメラであり、前記検知部は、前記カメラで撮像した画像の時間変化に応じて、前記気泡を検知するようにしてもよい。
上記のガス検知装置において、前記照明光源が、格子状の照明パターンで前記ガス検知フィルムを照明するようにしてもよい。
上記のガス検知装置において光切断法により、前記ガス検知フィルムの3次元形状を測定し、前記検知部は、前記3次元形状に基づいて、ガスの発生量を算出するようにしてもよい。これにより、ガスの発生量を簡便に検出することができる。
上記のガス検知装置において、前記ガス検知フィルムには、格子状のパターンが形成されていてもよい。これにより、ガスの発生個所を検出することができる。
上記のガス検知装置において、前記ガス検知フィルムが検知対象ガスに対してガスバリア性を有し、かつ、検知対象以外のガスを透過する透過性を有するものであってもよい。これにより、特定のガスを検知することができる。
上記のガス検知装置において、ガスバリア性の異なる複数の前記ガス検知フィルムを前記対象物に密着させて、前記対象物から発生するガスの種類を判別するようにしてもよい。
本実施形態の一態様に係るガス検知フィルムは、シート状の基材と、前記基材の一方の面上に設けられた格子状のパターンと、を備えたものである。これにより、簡便な構成でガスを検知することができる。
上記のガス検知フィルムにおいて、前記基材の一方の面の前記格子状のパターン間に設けられ、前記基材を対象物に接着する接着材をさらに備えていてもよい。これにより、対象物に基材を密着させることができる。
上記のガス検知フィルムは、検知対象ガスに対してガスバリア性を有し、かつ、検知対象以外のガスを透過する透過性を有するものであってもよい。これにより、特定のガスを検知することができる。
本発明によれば、簡便にガスを検知することができる技術を提供することができる。
実施の形態1にかかるガス検知装置の構成を示す斜視図である。 対象物とガス検知フィルムの構成を模式的に示す斜視図である。 ガス検知フィルムが貼り合わされた状態の対象物を模式的に示す斜視図である。 ガス検知フィルムが貼り合わされた状態の対象物を模式的に示す断面図である。 気泡が発生している状態の対象物とガス検知フィルムとを示す斜視図である。 気泡発生前の第1画像と気泡発生後の第2画像を模式的に示す図である。 気泡が発生した箇所を拡大して示す断面図である。 実施の形態2にかかるガス検知装置の構成を示す斜視図である。 気泡が発生していない箇所でのX方向プロファイルを示す図である。 気泡が発生した箇所でのX方向プロファイルを示す図である。 実施の形態3にかかるガス検知フィルムの構成を模式的に示す平面図である。 実施の形態3にかかるガス検知フィルムの構成を模式的に示す断面図である。 ブロック内に発生した気泡の画像を模式的に示す図である。
実施の形態1.
本実施の形態1にかかるガス検知装置について、図1を用いて説明する。図1は、ガス検知装置100の構成を示す図である。なお、説明の明確化のため、図1にはXYZ3次元直交座標系が示されている。Z方向が鉛直方向となっている。また、XY平面は、鉛直方向と垂直な水平面となっている。また、X方向、及びY方向は、それぞれ矩形状の対象物20の端辺に沿った方向となっている。
ガス検知装置100は、照明光源30と、光検出器40と、処理部50とを備えている。照明光源30は、対象物20を照明するための照明光L1を発生する。照明光源30は、対象物20の全体を照明する。照明光源30には、レーザ光源、LED(Light Emitting Diode)、又は蛍光管等を用いることができる。照明光L1は、単色光でも白色光でもよい。
光検出器40は、照明光源30により照明された対象物20からの光を検出する。光検出器40は、ガス検知フィルム10が貼り付けられた対象物20で散乱・反射した光を受光することで、対象物20の全体の画像を取得する。さらに、光検出器40は、カラー画像を取得するカメラであってもよい。例えば、光検出器40は、フォトダイオード、CCD(Charged Coupled Device)センサやCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサ等である。光検出器40がCCDカメラである場合、CCDカメラは対象物20を撮像する
なお、図1では、光検出器40が対象物20の真上(+Z方向)に設けられ、照明光源30が斜め上方から対象物20を照明する構成を示しているが、照明光源30の照明方向と、光検出器40の検出方向は、特に限定されるものではない。
図1に示す対象物20は、XY平面に平行な板状物である。よって、対象物20の上面は、XY平面に平行になっている。対象物20の上面には、ガス検知フィルム10が貼り付けられている。なお、ガス検知フィルム10が貼り付けられた対象物20を、ワーク60と称する。なお、対象物20は、平面状でなくてもよい。ガス検知フィルム10は、ガスバリア性を有している。ガス検知フィルム10は、対象物20の上面を覆うように設けられている。また、ガス検知フィルム10はフレキシブルなフィルムである。したがって、対象物20からガスが発生すると、ガス検知フィルム10と対象物20との間には気泡15が発生する。ガス検知フィルム10はガスバリア性を有しているため、ガスはガス検知フィルム10を通過することができない。
光検出器40は、検出光量に応じた検出信号を処理部50に出力する。処理部50は、例えば、パーソナルコンピュータ(PC)等の演算処理装置である。例えば、カメラである光検出器40で取得された2次元画像に対して、処理部50が画像処理を行う。これにより、処理部50がガス検知フィルム10と対象物20との間に発生した気泡15を検知する。気泡15が発生した場合、処理部50は対象物20からガスが発生したことを検知する。すなわち、処理部50は、光検出器40での検出結果に応じて、ガス検知フィルム10と対象物20との間に発生した気泡15を検知して、気泡15に基づいてガスが発生したことを検知する検知部である。
次に、ガス検知装置100を用いたガス検知方法について、説明する。まず、図2に示すように、ガス検知フィルム10を用意する。そして、図3に示すように、ガス検知フィルム10を対象物20に貼り合わせる。すなわち、ガス検知フィルム10を対象物20に密着させる。これにより、ガス検知フィルム10が対象物20に貼り合わされたワーク60が完成する。また、本実施の形態では、対象物20の上面が平坦面となっている。これにより、ガス検知フィルム10を対象物20に密着させやすくなる。
図4は、ワーク60の構成を模式的に示す断面図である。ガス検知フィルム10は、シート状の基材11と、接着材12とを有している。基材11は、ガスバリア性を有するフレキシブルシートである。接着材12は、基材11の対象物20側の面全体に設けられている。接着材12は、基材11と対象物20との間に設けられている。接着材12は、基材11を対象物20に接触する。
基材11には、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイや有機EL照明装置の封止用部材として用いられるガスバリアフィルムが好適である。基材11は、ベースとなる樹脂材料に無機層が形成された積層構造を有していてもよい。基材11、及び接着材12には照明光L1を透過する材料を用いることが好ましい。例えば、基材11としては、透明性のあるPET(Polyester)、PP(Polypropylene)、NY(Nylon)、及びLDPE(Low Density Polyethylene)等が挙げられる。また、透明性が無くとも光切断法にて隆起の確認が行える為、前述材料にAL(Aluminium)等の金属膜を蒸着し、ガスバリア性を向上させたフィルムを用いることも出来る。
接着材12としては、例えば、透明性及び耐熱性に優れているアクリル系(アクリルポリマー等)粘着剤と、耐寒性及び耐熱性に特徴的なシリコーン系粘着剤を用いることができる。また、接着剤12として、ウレタン系粘着剤及びゴム系粘着剤を用いることもできる。もちろん、接着材12は、ガスを発生しない材料により形成することが好ましい。接着材12は、ペースト状のものに限らず、両面テープなどであってもよい。基材11は一定の厚さとなっている。同様に、接着材12の層厚は一定の厚さとなっている。
接着材12によって、基材11が対象物20の表面に貼り合わされる。これにより、ガス検知フィルム10を対象物20に密着させることができる。すなわち、ガス検知フィルム10と対象物20との間に空気(気泡15)が存在していない。また、対象物20の表面は平坦になっている。よって、ガス検知フィルム10の表面も平坦になっている。すなわち、ガス検知フィルム10の表面は、XY平面に平行な平面となっている。
次に、図5に示すように、ワーク60をガス検知装置100に移動する。図5は、気泡15が発生している状態の対象物20とガス検知フィルム10とを示す斜視図である。ガス検知装置100は、上記のように、ワーク60を撮像する。具体的には、照明光源30は、照明光L1をワーク60に向けて投射する。照明光L1は、ワーク60を均一に照明している。そして、ワーク60からの光を光検出器40が検出する。すなわち、光検出器40は、ガス検知フィルム10又は対象物20の表面からの反射光又は散乱光を検出する。
対象物20からガスが発生すると、対象物20とガス検知フィルム10との間には気泡15が発生する(図1参照)。ガス検知装置100は、光検出器40で取得した画像により、気泡15を検出することができる。ガス検知フィルム10と対象物20との間に気泡15が発生した状態を図6、図7に示す。図6は、気泡15が発生する前の第1画像と気泡15が発生した後の第2画像を示す図である。図7は、ガス検知フィルム10と対象物20との間に発生した気泡15とその周辺部分を模式的に示す断面図である。
図7に示すように、気泡15が発生した箇所では、ガス検知フィルム10が盛り上がるため、ガス検知フィルム10に凹凸が形成される。気泡15が発生した箇所に、照明光L1が入射すると、画像には輝度の違いが生じる(図6の第2画像を参照)。盛り上がりの頂点(凸部)の輝度が一番明るく、底部(凹部)の輝度が一番暗い。この様に、光検出器40が取得した輝度の差異に基づいて、気泡15、及び気泡15の大きさを検出することができる。そして、処理部50は、気泡15を検出した場合に、対象物20からガスが発生したこと、及び発生したガスの量を検知する。
より具体的には、照明光源30は、一定の条件(光源の強さ、及び照射時間等)でワーク60を照明する。そして、光検出器40が同じ条件で画像を順次取得する。処理部50は、異なる時間に取得された複数の画像を比較する。すなわち、処理部50は、画像の時間変化によって、気泡15を検知する。このようにすることが、ガス検知を自動化することができる。また、画像の時間変化に応じて、気泡の発生量又は変化量を検知することもできる。
例えば、光検出器40が図6に示すように、第1画像と、第2画像とを取得する。第2の画像は、第1画像よりも時間的に後に取得された画像である。処理部50は、第1画像と、第2画像との輝度を画素毎に比較する。そして、処理部50は、第1画像の画素の輝度と第2画像の画素の輝度との輝度差が予め設定された閾値よりも大きい場合、気泡15が発生したと判定する。処理部50は、ガスが発生したことをユーザに報知する。さらに、処理部50は、ワーク60におけるガスの発生個所を特定するようにしてもよい。なお、輝度の比較は、画素毎ではなく、複数の画素を含む領域毎に行ってもよい。
このように、本実施の形態では、対象物20にガス検知フィルム10を密着させているため、ガス検知フィルム10と対象物20との間に発生した気泡15により、ガスの発生が検知される。このようにすることで、ガスに応じた試薬等が不要になる。すなわち、ガスと変色した場合に変色等する試薬を用いる場合、ガスの種類が既知でないと適切な試薬を用いることができない。しかし、本実施の形態によれば、発生するガスが既知でない場合であっても、ガスを検知することが可能となる。さらに、ガスバリア性を有するガス検知フィルム10を対象物20に貼り合せるのみでよいため、装置構成を簡素化することができる。よって、簡便にガスの発生を検知することができる。
このように、ガス検知フィルム10を基材11に密着するように貼り合わせることで、対象物20から発生する気泡15を、ガス検知フィルム10と対象物20との間に閉じ込めておくことができる。よって、ガスの発生を可視化することができる。ワーク60の画像を一定時間間隔で取得していくことにより、ガス発生の時間変化やガスの発生速度等を検出することもできる。また、ユーザが目視により気泡15を検知するようにしてもよい。
なお、ガス検知フィルム10は、対象物20の全体を覆うように貼り合せられる構成に限るものではない。対象物20の一部のみに、ガス検知フィルム10を密着させてもよい。例えば、対象物20におけるガスの発生を検知したい箇所のみにガス検知フィルム10を貼り合せればよい。また、ガス検知フィルム10として剥離可能なものを用いれば、ガス検知後の対象物20を利用することができる。照明光源30、及び光検出器40は、1つに限られるものではなく、2つ以上であってもよい
また、検知するガスが既知である場合、ガスに応じたガス検知フィルム10を用いることが可能である。例えば、検知対象のガスに対してはガスバリア性を有し、検知対象以外のガスを透過するガス検知フィルム10を用いることが可能である。このようにすることで、所定のガスのみを検知することができる。例えば、検知対象ガスに対してガスバリア性を有し、かつ、検知対象ガスのガス分子よりも小さいガス分子のガスを通過する基材11を用いる。このようにすることが、検知対象ガスの発生を検知することができる。なお、ガス検知フィルム10は、1種類以上の検知対象以外のガスに対して透過性を有するものであればよい。
あるいは、複数のガス検知フィルム10を用いることで、発生するガスの種類を判別することも可能となる。例えば、異なるガスバリア性を有するガス検知フィルム10を複数用意する。ガスバリア性が高いガス検知フィルム10は、小さい分子のガスをバリアすることができる。一方、ガスバリア性の低いガス検知フィルム10は、大きな分子のガスしかバリアすることができず、小さい分子のガスが通過してしまう。そして、1又は2以上の対象物20に対して、複数のガス検知フィルム10を密着させる。このようにすることが、発生するガスの分子サイズに応じたガス検知を行うことができるため、発生するガスの種類の特定や判別を行うことができる。
実施の形態2.
本実施の形態では、光切断法により、ガス検知フィルム10の3次元形状を測定している。そして、ガス検知フィルム10の3次元形状に基づいて、ガスの発生量を求めている。
以下、光切断法によりガスを検知するガス検知装置100Aについて、図8を用いて説明する。図8は、ガス検知装置100Aの構成を模式的に示す図である。なお、対象物20、及びガス検知フィルム10については、実施の形態1と同様であるため、詳細な説明を省略する。
照明光源30Aは、ガス検知フィルム10が貼り付けられた対象物20を照明する照明光L2を発生する。本実施の形態では、照明光L2が、ガス検知フィルム10の表面において、格子状の照明パターン31を形成する。すなわち、照明パターン31は、X方向に沿った複数の照明ライン32と、Y方向に沿った複数の照明ライン33とを有している。ガス検知フィルム10の表面が平坦である場合にX方向に沿った複数の照明ライン32は、一定の間隔で配置されるよう、照明光源30Aが照明光L2を発生する。同様に、ガス検知フィルム10の表面が平坦である場合にY方向に沿った複数の照明ライン33は、一定の間隔で配置されるよう、照明光源30Aが照明光L2を発生する。
気泡15が発生した場合、ガス検知フィルム10の表面が平坦でなくなる。したがって、格子状の照明パターン31にずれが生じる。例えばX方向に沿った照明ライン32のうち、気泡に位置する照明ライン32bは、X方向に沿った直線からずれる。また、Y方向に沿った照明ライン33のうち、気泡に位置する照明ライン33bは、Y方向に沿った直線から外れる。一方、気泡15に位置しない照明ライン32a、33aでは、照明ラインが直線となる。ガス検知フィルム10の表面の凹凸が大きいほど、照明ライン32に対する照明ライン32bのずれ量、及び照明ライン33に対する照明ライン33bのずれ量が大きくなる。光切断法では、このずれ量を求めることで、ガス検知フィルム10の表面の3次元形状を求めることができる。
具体的に、照明パターン31により照明された状態において、光検出器40Aがワーク60を撮像する。そして、処理部50Aは、撮像された画像における照明ライン32、33の直線からのずれ量により、ガス検知フィルム10の表面高さを求める。処理部50Aは、複数の照明ラインにおける表面高さに基づいて、ガス検知フィルム10の3次元形状を求める。
例えば、X方向に沿った照明ライン32のうち気泡15が発生していない箇所に位置する照明ライン32aでは、ガス検知フィルム10が平坦となる。また、Y方向に沿った照明ライン33のうち気泡15が発生していない箇所に位置する照明ライン33aでは、ガス検知フィルム10が平坦となる。よって、例えば、照明ライン32aにおけるガス検知フィルム10の表面高さのX方向プロファイルは、図9に示すように一定となる。一方、気泡15が発生した箇所に位置する照明ライン32b、33bでは、ガス検知フィルム10が平坦ではなくなる。よって、例えば、照明ライン32bにおけるガス検知フィルム10の表面高さのX方向プロファイルは、図10に示すように高くなる。また、図示を省略するが、Y方向に沿った照明ライン33a、33bにおいても、気泡15の有無に応じて、Y方向プロファイルが異なる。気泡15が発生した箇所で表面高さが高くなるため、X方向プロファイルが凸状になる。気泡15が発生すると、気泡15の大きさだけ(つまり、発生した気泡15の量に応じて)、ガス検知フィルム10の表面高さが高くなる。
処理部50Aは、光検出器40Aが撮像した画像に基づいて、ガス検知フィルム10の表面高さ(XY平面に対する高さ)を算出する。そして、複数の照明ライン32,33の表面高さから、ガス検知フィルム10の表面の3次元形状を測定する。ガスの発生量が多くなるほど、気泡15が大きくなるため、ガス検知フィルム10の表面高さが高くなる。よって、ガス検知フィルム10の3次元形状から気泡15の大きさを求めることができるため、ガスの発生量、又は発生度合を推定することができる。なお、ガスの発生量は相対的なものであってもよい。
なお、上記の光切断法では、照明光源30Aは、ガス検知フィルム10の表面に格子状の照明パターン31を形成したが、照明パターンは格子状に限定されるものではない。例えば、1又は複数のライン状の照明パターンを用いるようにしてもよい。X方向に沿った1本のライン状の照明パターンを形成して、ワーク60をY方向に走査してもよい。もちろん、照明ラインは、X方向、又はY方向と平行な方向に限られるものではなく、X方向、又はY方向と傾いていてもよい。格子状の照明パターン31でワーク60を照明することで、ガス検知フィルム10を複数のブロック18に区分することができる。そして、処理部50は、ブロック毎に対象物20からのガスを検知してもよい。
実施の形態3.
本実施の形態では、ガス検知フィルム10の構成が、実施の形態1、2と異なっている。図11、図12を用いて、本実施の形態にかかるガス検知フィルム10Bの構成に説明する。図11は、本実施形態のガス検知フィルム10Bの構成を模式的に示す平面図である。図12は、ガス検知フィルム10Bの構成を模式的に示す断面図である。なお、実施の形態1と同様の内容については、詳細な説明を省略する。例えば、照明光源30、光検出器40、処理部50は実施の形態と同様である。
ガス検知フィルム10Bは、格子状のパターン13を有している。格子状のパターン13は、X方向に沿って設けられた複数の第1ワイヤ16と、Y方向に沿って設けられた複数の第2ワイヤ17とで形成される。例えば、複数の第1ワイヤ16と複数の第2ワイヤ17とを有するメッシュによって格子状のパターン13が形成される。格子状のパターン13を設けることで、ガス検知フィルム10Bを複数のブロック18に区画することができる。第1ワイヤ16、第2ワイヤ17は、例えば、金属細線や樹脂繊維である。
第1ワイヤ16、及び第2ワイヤ17は、基材11Bの対象物20側の面上に設けられている。そして、隣接するワイヤ間に接着材12Bが設けられている。すなわち、接着材12Bは、図11で示した格子状のパターン13間、すなわち、ブロック18内に形成される。接着材12Bは、基材11Bの対象物20側の面上に形成されている。そして、接着材12Bによって、基材11B、第1ワイヤ16、及び第2ワイヤ17が対象物20に接着される。
第1ワイヤ16及び第2ワイヤ17により、ガス検知フィルム10が格子状のパターン13を有する。格子状のパターン13を用いた場合に取得された画像を図13に示す。対象物20で発生したガスはパターン13を通過することができないため、気泡15が発生した各ブロック18内に留まる。気泡15が発生したブロック18をガスの発生個所として検出することができる。このようにすることで、ガスの発生個所を検出することができる。
例えば、図13では右側の上2つのブロック18内に気泡15が発生している。実施の形態1で示したように画像の時間変化により気泡15を検知すると、右側の上2つのブロックに気泡15が発生していることが検知される。よって、処理部50は、この2つのブロック18をガスの発生個所として検出することができる。また、ユーザが目視により気泡15を確認する場合でも、特定のブロック18に着目すればよいため、観察が容易になる。
なお、上記の実施の形態1〜3のそれぞれは、適宜組み合わせて用いることが可能である。例えば、実施の形態1の構成でガスを検知した後に、実施の形態2の構成でガスの発生量を検出してもよい。
以上、本発明の実施形態の一例を説明したが、本発明はその目的と利点を損なうことのない適宜の変形を含み、更に、上記の実施形態による限定は受けない。
10 ガス検知フィルム
11 基材
12 接着材
13 パターン
15 気泡
16 第1ワイヤ
17 第2ワイヤ
18 ブロック
20 対象物
30 照明光源
40 光検出器
50 処理部
60 ワーク

Claims (17)

  1. ガスバリア性を有するガス検知フィルムを対象物に密着させる工程と、
    前記ガス検知フィルムと前記対象物との間に生じた気泡によって、前記対象物からのガスの発生を検知する工程と、を備えたガス検知方法。
  2. 前記ガスの発生を検知する工程では、
    光検出器によって、前記対象物に前記ガス検知フィルムが密着されたワークの画像を一定の時間間隔で取得し、
    前記取得した画像の時間変化に応じて、前記気泡の変化量を検出する請求項1に記載のガス検知方法。
  3. 格子状の照明パターンで前記ガス検知フィルムを照明し、前記ガス検知フィルムを複数のブロックに区分する工程と、
    前記ブロック毎に前記対象物からのガスを検知する工程と、を備えた請求項1、又は2に記載のガス検知方法。
  4. 光切断法により、前記ガス検知フィルムの3次元形状を測定し、
    前記3次元形状に基づいて、前記ガスの発生量を算出する請求項1、又は2に記載のガス検知方法。
  5. 前記ガス検知フィルムには、格子状のパターンが形成されている請求項1〜3のいずれか1項に記載のガス検知方法。
  6. 前記ガス検知フィルムが検知対象ガスに対してガスバリア性を有し、かつ、検知対象以外のガスを透過する透過性を有する請求項1〜5のいずれか1項にガス検知方法。
  7. ガスバリア性の異なる複数の前記ガス検知フィルムを前記対象物に密着させて、前記対象物から発生するガスの種類を判別する請求項1〜6のいずれか1項に記載のガス検知方法。
  8. ガスバリア性を有するガス検知フィルムと、
    対象物に前記ガス検知フィルムが密着されたワークを照明する照明光源と、
    前記照明光源で照明された前記ワークからの光を検出する光検出器と、
    前記光検出器での検出結果に応じて、前記ガス検知フィルムと前記対象物との間に生じた気泡を検知して、前記気泡に基づき前記対象物からのガスの発生を検知する検知部と、
    を備えたガス検知装置。
  9. 前記光検出器が前記対象物を撮像するカメラであり、
    前記検知部は、前記カメラで撮像した画像の時間変化に応じて、前記気泡を検知する請求項8に記載のガス検知装置。
  10. 前記照明光源が、格子状の照明パターンで前記ガス検知フィルムを照明する請求項8、又は9に記載のガス検知装置。
  11. 光切断法により、前記ガス検知フィルムの3次元形状を測定し、
    前記検知部は、前記3次元形状に基づいて、ガスの発生量を算出する請求項8〜10のいずれか1項に記載のガス検知装置。
  12. 前記ガス検知フィルムには、格子状のパターンが形成されている請求項8〜11のいずれか1項に記載のガス検知装置。
  13. 前記ガス検知フィルムが検知対象ガスに対してガスバリア性を有し、かつ、検知対象以外のガスを透過する透過性を有する請求項8〜12のいずれか1項に記載のガス検知装置。
  14. ガスバリア性の異なる複数の前記ガス検知フィルムを前記対象物に密着させて、前記対象物から発生するガスの種類を判別する請求項8〜13のいずれか1項に記載のガス検知装置。
  15. シート状の基材と、
    前記基材の一方の面上に設けられた格子状のパターンと、を備えたガス検知フィルム。
  16. 前記格子状のパターン間に設けられ、前記基材を対象物に接着する接着材、をさらに備える請求項15に記載のガス検知フィルム。
  17. 検知対象ガスに対してガスバリア性を有し、かつ、検知対象以外のガスを透過する透過性を有する請求項15、又は16に記載のガス検知フィルム。
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