JP2018052130A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電層42の上面には、共通電極44、45が配置されている。共通電極44は、紙送り方向に2列に配列された複数の個別電極43の略中央部と対向する複数の対向部44aと、各列の対向部44aを互いに接続する2つの接続部44bと、2つの接続部44bの上端部を互いに接続する連結部44cを備えている。共通電極45は、2つの接続部44bと連結部44cとにより三方を囲まれるように配置されている。共通電極44、45には、振動板41の上面に引き出された配線47a〜47dが接続されており、このうち、配線47eは、共通電極44、45を覆うように圧電層42の上面に配置された絶縁層の上面において、絶縁層に形成された貫通孔46aを介して共通電極44に接続されているとともに連結部44cをまたいで延びている。
【選択図】 図4
Description
以下、本発明の好適な第1実施形態について説明する。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。ただし、第2実施形態は、圧電アクチュエータの構成の一部が第1実施形態と異なるだけであるので、以下では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
41 振動板
42 圧電層
43 個別電極
44、45 共通電極
44a、45a 対向部
44b、45b 接続部
44c 連結部
46 絶縁層
47(47a〜47l) 配線
74、75 共通電極
74a、75a 対向部
74b、75b 接続部
101、102 バイパス配線
Claims (12)
- 液体を吐出する複数のノズルに、それぞれ連通する複数の圧力室を有する流路ユニットと、
前記流路ユニットの一方面側に配置された絶縁層と、
前記絶縁層の前記流路ユニットと反対側に配置され、且つ、第1の方向に沿って配置された複数の個別電極と、
前記絶縁層の前記流路ユニットと反対側に配置され、前記複数の個別電極を覆うように配置された圧電層と、
前記圧電層の前記流路ユニットと反対側に配置され、前記複数の個別電極と対向する複数の対向部分を有する共通電極と、
前記圧電層の側面に形成された部分であって、前記共通電極と電気的に接続された配線の一部である第1配線部分と、
前記圧電層の側面に前記第1配線部分とは離間して形成された部分であって、前記共通電極と電気的に接続された配線の一部である第2配線部分と、
前記絶縁層の前記流路ユニットと反対側の面に配置され、前記第1配線部分と電気的に接続された第1端子と、
前記絶縁層の前記流路ユニットと反対側の面に配置され、前記第2配線部分と電気的に接続された第2端子と、
を備え、
前記第1配線部分が接続された前記共通電極が対向する前記個別電極と、前記第2配線
部分が接続された前記共通電極が対向する前記個別電極とは、同一の個別電極であり、
前記第1配線部分は、前記複数の個別電極よりも前記第1の方向の一方側に配置し、前記第2配線部分は、前記複数の個別電極よりも前記第1の方向の他方側に配置していること
を特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記圧電層の側面に沿う方向における前記第1配線部分の一端から他端までの距離は、前記第1の方向と直交する方向である第2の方向における前記共通電極の一端から他端までの距離よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- 前記圧電層の側面は、前記第1の方向に沿って延びる部分を有し、
前記圧電層の側面の前記第1の方向に沿って延びる部分に、前記第1配線部分が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 前記共通電極は、前記複数の対向部分と電気的に接続され、前記圧電層の外周に沿って形成された導電部を有することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- 前記第1配線部分は、前記複数の個別電極よりも前記第1方向の一方側において、前記導電部と接続されていることを特徴とする請求項4に記載のインクジェットヘッド。
- 前記第2配線部分は、前記複数の個別電極よりも前記第1方向の他方側において、前記導電部と接続されていることを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッド。
- 液体を吐出する複数のノズルに、それぞれ連通する複数の圧力室を有する流路ユニットと、
前記流路ユニットの一方面側に配置された絶縁層と、
前記絶縁層の前記流路ユニットと反対側に配置され、且つ、第1の方向に沿って配置された複数の個別電極と、
前記絶縁層の前記流路ユニットと反対側に配置され、前記複数の個別電極を覆うように配置された圧電層と、
前記圧電層の前記流路ユニットと反対側に配置され、前記複数の個別電極と対向する複数の対向部分を有する共通電極と、
前記圧電層の側面に形成された部分であって、前記共通電極とICとの間に配置され前記共通電極と前記ICとを電気的に接続する配線の一部である第1配線部分と、
前記圧電層の側面に前記第1配線部分とは離間して形成された部分であって、前記共通電極と前記ICとの間に配置され前記共通電極と前記ICとを電気的に接続する配線の一部である第2配線部分と、
前記絶縁層の前記流路ユニットと反対側の面に配置され、前記第1配線部分と前記ICとの間に配置され前記第1配線部分と前記ICとを電気的に接続する第3配線部分と、
前記絶縁層の前記流路ユニットと反対側の面に配置され、前記第2配線部分と前記ICとの間に配置され前記第2配線部分と前記ICとを電気的に接続する第4配線部分と、を備え、
前記第1配線部分が接続された前記共通電極が対向する前記個別電極と、前記第2配線部分が接続された前記共通電極が対向する前記個別電極とは、同一の個別電極で有り、
前記第1配線部分は、前記複数の個別電極よりも前記第1の方向の一方側に配置し、前記第2配線部分は、前記複数の個別電極よりも前記第1の方向の他方側に配置していることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記圧電層の側面に沿う方向における前記第1配線部分の一端から他端までの距離は、前記第1の方向と直交する方向である第2の方向における前記共通電極の一端から他端までの距離よりも小さいことを特徴とする請求項7に記載のインクジェットヘッド。
- 前記圧電層の側面は、前記第1の方向に沿って延びる部分を有し、
前記圧電層の側面の前記第1の方向に沿って延びる部分に、前記第1配線部分が形成されていることを特徴とする請求項8に記載のインクジェットヘッド。 - 前記共通電極は、前記複数の対向部分と電気的に接続され、前記圧電層の外周に沿って形成された導電部を有することを特徴とする請求項9に記載のインクジェットヘッド。
- 前記第1配線部分は、前記複数の個別電極よりも前記第1方向の一方側において、前記導電部と接続されていることを特徴とする請求項10に記載のインクジェットヘッド。
- 前記第2配線部分は、前記複数の個別電極よりも前記第1方向の他方側において、前記導電部と接続されていることを特徴とする請求項11に記載のインクジェットヘッド。
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2018
- 2018-01-10 JP JP2018001702A patent/JP6525070B2/ja active Active
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