JP2018041887A - Dielectric plate sticking method for power module - Google Patents

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Ayahiko Kataoka
彩比古 片岡
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize a dielectric plate sticking method for power module, which allows for accurate placement of a dielectric plate at a predetermined position of a power module.SOLUTION: A dielectric plate sticking method for power module includes a step of holding a power module 1, a step of sucking a dielectric plate 6 by a suction pad 7b while positioning the plate by a first positioning pin 7c, a step of sticking the dielectric plate 6 to one principal surface of the power module 1, by moving one sticking jig 7 closer to one principal surface of the power module 1, while passing the second positioning pin 7f of one sticking jig 7 through the positioning hole 2e of the pallet 2, and a step of sticking the dielectric plate 6 to the other principal surface of the power module 1, by moving the other sticking jig 7 closer to the other principal surface of the power module 1, while inserting the second positioning pin 7f projecting from the positioning hole 2e of the pallet 2 into a positioning hole 7g of the other sticking jig 7.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、パワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法に関し、例えば、パワーカードの対向する主面に夫々絶縁板を貼り付ける方法に関する。   The present invention relates to a method for attaching an insulating plate for a power module, for example, a method for attaching an insulating plate to each opposing main surface of a power card.

パワーモジュールに搭載される半導体素子の熱を放出するために、一般的には、パワーモジュールに冷却機構が設けられている。例えば、特許文献1の両面冷却型半導体装置は、半導体素子上に絶縁板及び冷却チューブを積層し、絶縁板を介して半導体素子の熱を冷却チューブに伝達して放熱する構成とされている。このとき、半導体素子と絶縁板との間、及び絶縁板と冷却チューブとの間に放熱グリスを介在させることで、半導体素子の熱を伝達させている。   Generally, a cooling mechanism is provided in the power module in order to release heat of the semiconductor element mounted on the power module. For example, the double-sided cooling type semiconductor device of Patent Document 1 is configured such that an insulating plate and a cooling tube are stacked on a semiconductor element, and heat of the semiconductor element is transmitted to the cooling tube via the insulating plate to dissipate heat. At this time, heat of the semiconductor element is transferred by interposing a heat-dissipating grease between the semiconductor element and the insulating plate and between the insulating plate and the cooling tube.

特許第4506692号公報Japanese Patent No. 4506692

特許文献1の両面冷却型半導体装置のように、半導体素子上に絶縁板を積層する際には、パワーモジュールの所定の位置に絶縁板を精度良く配置する必要がある。しかしながら、特許文献1には、如何にしてパワーモジュールの所定の位置に絶縁板を配置するかに関しては開示されていない。   As in the double-sided cooling type semiconductor device of Patent Document 1, when an insulating plate is stacked on a semiconductor element, it is necessary to accurately arrange the insulating plate at a predetermined position of the power module. However, Patent Document 1 does not disclose how the insulating plate is arranged at a predetermined position of the power module.

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、パワーモジュールの所定の位置に絶縁板を精度良く配置することができるパワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法を実現する。   This invention is made | formed in view of such a problem, and implement | achieves the insulating board sticking method for power modules which can arrange | position an insulating board accurately in the predetermined position of a power module.

本発明の一態様に係るパワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法は、パワーモジュールの対向する主面に夫々に絶縁板を貼り付ける方法であって、
前記パワーモジュールの主面が鉛直方向に配置されるように、前記パワーモジュールをパレットで保持する工程と、
吸着パッドと第1の位置決めピンとを有する貼付治具を用いて、前記絶縁板を前記第1の位置決めピンで位置決めしつつ前記吸着パッドで吸着して保持する工程と、
前記貼付治具で保持した前記絶縁板を前記パワーモジュールの主面と対向させる工程と、
前記パワーモジュールを挟み込むように配置された前記貼付治具のうち、一方の貼付治具に設けられた第2の位置決めピンを前記パレットに形成された位置決め孔に通すと共に前記第1の位置決めピンを前記パレットに接触させて当該パレットに対して逆側に押し込みつつ、前記一方の貼付治具を前記パワーモジュールの一方の主面に近付けて、前記絶縁板を前記パワーモジュールの一方の主面に貼り付ける工程と、
前記パレットの位置決め孔から突き出た前記第2の位置決めピンを他方の貼付治具に形成された位置決め穴に挿入すると共に前記第1の位置決めピンを前記パレットに接触させて当該パレットに対して逆側に押し込みつつ、前記他方の貼付治具を前記パワーモジュールの他方の主面に近付けて、前記絶縁板を前記パワーモジュールの他方の主面に貼り付ける工程と、
を備える。
これにより、パワーモジュールの所定の位置に絶縁板を精度良く貼り付けることができる。
An insulating plate attaching method for a power module according to one aspect of the present invention is a method of attaching an insulating plate to each of the opposing main surfaces of the power module,
Holding the power module with a pallet so that the main surface of the power module is arranged in a vertical direction;
Using a sticking jig having a suction pad and a first positioning pin, holding the insulating plate by suction with the suction pad while positioning the insulating plate with the first positioning pin;
A step of causing the insulating plate held by the sticking jig to face the main surface of the power module;
Among the sticking jigs arranged so as to sandwich the power module, the second positioning pin provided in one sticking jig is passed through the positioning hole formed in the pallet and the first positioning pin is passed. While bringing the pallet into contact with the pallet and pushing it in the opposite direction, the one attaching jig is brought close to one main surface of the power module, and the insulating plate is attached to one main surface of the power module. Attaching process,
The second positioning pin protruding from the positioning hole of the pallet is inserted into a positioning hole formed in the other sticking jig, and the first positioning pin is brought into contact with the pallet and is opposite to the pallet. While pressing into the other main surface of the power module, the step of adhering the insulating plate to the other main surface of the power module,
Is provided.
Thereby, an insulating board can be accurately affixed on the predetermined position of a power module.

本発明によれば、パワーモジュールの所定の位置に絶縁板を精度良く配置することができる。   According to the present invention, the insulating plate can be accurately arranged at a predetermined position of the power module.

実施の形態のパワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法において、パワーモジュールに絶縁板を貼り付ける前段階を側方から見た部分断面図である。It is the fragmentary sectional view which looked at the stage before affixing an insulating board on a power module from the side in the insulating board sticking method for power modules of an embodiment. 実施の形態のパワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法において、パワーモジュールに絶縁板を貼り付ける前段階を上方から見た部分断面図である。In the insulating plate affixing method for power modules of an embodiment, it is the fragmentary sectional view which looked at the stage before affixing an insulating plate on a power module from the upper part. 絶縁板が貼り付けられるパワーモジュールを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the power module with which an insulating board is affixed. 実施の形態のパワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法で用いるパレットを示す正面図である。It is a front view which shows the pallet used with the insulating board sticking method for power modules of embodiment. 実施の形態のパワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法で用いるパレットを示す上面図である。It is a top view which shows the pallet used with the insulating board sticking method for power modules of embodiment. 一般的なパワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the insulating plate sticking method for general power modules.

以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。但し、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。   Hereinafter, specific embodiments to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following embodiment. In addition, for clarity of explanation, the following description and drawings are simplified as appropriate.

図1は、本実施の形態のパワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法において、パワーモジュールに絶縁板を貼り付ける前段階を側方から見た部分断面図である。図2は、本実施の形態のパワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法において、パワーモジュールに絶縁板を貼り付ける前段階を上方から見た部分断面図である。図3は、絶縁板が貼り付けられるパワーモジュールを示す斜視図である。図4は、本実施の形態のパワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法で用いるパレットを示す正面図である。図5は、本実施の形態のパワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法で用いるパレットを示す上面図である。なお、各図は簡略化して示しているため、一部省略されている部分がある。ここで、パレットの上下方向は鉛直方向(重力方向)と一致するものとする。   FIG. 1 is a partial cross-sectional view, as viewed from the side, of a stage before attaching an insulating plate to a power module in the method for attaching an insulating plate for a power module according to the present embodiment. FIG. 2 is a partial cross-sectional view, as viewed from above, of a stage before an insulating plate is attached to the power module in the method for attaching an insulating plate for a power module according to the present embodiment. FIG. 3 is a perspective view showing a power module to which an insulating plate is attached. FIG. 4 is a front view showing a pallet used in the method for attaching an insulating plate for a power module of the present embodiment. FIG. 5 is a top view showing a pallet used in the method for attaching an insulating plate for a power module of the present embodiment. Since each figure is shown in a simplified manner, some parts are omitted. Here, the vertical direction of the pallet is assumed to coincide with the vertical direction (gravity direction).

本実施の形態のパワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法(以下、単に貼り付け方法と省略する場合がある。)は、先ず、図1及び図2に示すように、パワーモジュール1をパレット2で保持する。   In the method for attaching an insulating plate for a power module according to the present embodiment (hereinafter sometimes simply referred to as an attaching method), first, as shown in FIGS. Hold.

パワーモジュール1は、図2及び図3に示すように、パワーカード3に半導体素子(図示を省略)が搭載されており、当該半導体素子にヒートスプレッダー4が熱の伝達を可能に接続された構成である。ヒートスプレッダー4は、パワーカード3の主面3a、3bから夫々露出し、当該主面3a、3bと略面一とされている。半導体素子には、端子5が電気的に接続されており、当該端子5がパワーカード3の高さ方向の両面から突出している。   As shown in FIGS. 2 and 3, the power module 1 includes a power card 3 on which a semiconductor element (not shown) is mounted, and a heat spreader 4 is connected to the semiconductor element so that heat can be transferred. It is. The heat spreader 4 is exposed from the main surfaces 3a and 3b of the power card 3, respectively, and is substantially flush with the main surfaces 3a and 3b. A terminal 5 is electrically connected to the semiconductor element, and the terminal 5 protrudes from both surfaces of the power card 3 in the height direction.

パレット2は、図4及び図5に示すように、パワーモジュール1におけるパワーカード3の主面3a、3bがパレット2の上下方向に配置されるように保持する。パレット2は、例えば、基部2aから立設する左右の支柱2bを備えている。左右の支柱2bは、パレット2の左右方向に間隔を開けて配置されている。そして、支柱2bは、パワーカード3の主面3a、3bがパレット2の上下方向に配置された状態で、パワーモジュール1を当該パワーモジュール1の幅方向から挟み込む挟持機構2cを備えている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the pallet 2 holds the main surfaces 3 a and 3 b of the power card 3 in the power module 1 so as to be arranged in the vertical direction of the pallet 2. The pallet 2 includes, for example, left and right support columns 2b that are erected from the base portion 2a. The left and right struts 2b are arranged with a gap in the left-right direction of the pallet 2. The support 2b includes a holding mechanism 2c that holds the power module 1 from the width direction of the power module 1 in a state where the main surfaces 3a and 3b of the power card 3 are arranged in the vertical direction of the pallet 2.

挟持機構2cは、図2及び図5に示すように、挟持部2dを備えている。挟持部2dは、例えば、パワーモジュール1の幅方向で向かい合う一方の側面の少なくとも一部と接触するように、支柱2bにおける他方の支柱2bと向かい合う面に形成された溝部である。そして、少なくとも一方の支柱2bは、パレット2の左右方向にスライド可能であり、弾性体(図示を省略)によって他方の支柱2b側に付勢されている。このような支柱2bにおけるパレット2の前後方向の厚さは、パワーモジュール1に絶縁板6が貼り付けられる際に、絶縁板6と干渉しないように設定されており、例えば、パワーモジュール1のパワーカード3より薄く設定されている。   As shown in FIGS. 2 and 5, the clamping mechanism 2 c includes a clamping part 2 d. The sandwiching portion 2d is, for example, a groove portion formed on a surface of the support column 2b that faces the other support column 2b so as to come into contact with at least a part of the one side surface that faces the power module 1 in the width direction. At least one of the columns 2b can slide in the left-right direction of the pallet 2, and is urged toward the other column 2b by an elastic body (not shown). The thickness in the front-rear direction of the pallet 2 in such a column 2b is set so as not to interfere with the insulating plate 6 when the insulating plate 6 is attached to the power module 1. For example, the power of the power module 1 It is set thinner than the card 3.

これにより、パワーカード3の主面3a、3bがパレット2の上下方向に配置された状態のパワーモジュール1を向かい合う挟持部2dの間に配置すると、パワーモジュール1は当該パワーモジュール1の幅方向から挟持部2dによって挟持される。   Accordingly, when the power module 1 in a state where the main surfaces 3a and 3b of the power card 3 are arranged in the vertical direction of the pallet 2 is arranged between the opposing sandwiching portions 2d, the power module 1 is removed from the width direction of the power module 1. It is clamped by the clamping part 2d.

このようにパワーカード3の主面3a、3bがパレット2の上下方向に配置された状態で、パワーモジュール1をパレット2で保持する。このとき、パワーモジュール1におけるパワーカード3の主面3a、3bは、向かい合う挟持部2dの間から露出する。   In this way, the power module 1 is held by the pallet 2 in a state where the main surfaces 3 a and 3 b of the power card 3 are arranged in the vertical direction of the pallet 2. At this time, the main surfaces 3a and 3b of the power card 3 in the power module 1 are exposed from between the opposing clamping portions 2d.

次に、貼付治具7を用いて絶縁板6をパワーモジュール1の所定の位置に貼り付ける。貼付治具7は、図1及び図2に示すように、パワーモジュール1におけるパワーカード3の主面3a、3bを挟み込むように、即ち、パレット2の前後方向でパワーモジュール1を挟み込むように配置されている。   Next, the insulating plate 6 is attached to a predetermined position of the power module 1 using the attaching jig 7. As shown in FIGS. 1 and 2, the sticking jig 7 is arranged so as to sandwich the main surfaces 3 a and 3 b of the power card 3 in the power module 1, that is, sandwich the power module 1 in the front-rear direction of the pallet 2. Has been.

貼付治具7は、回転部7a、吸着パッド7b及び第1の位置決めピン7cを備えている。回転部7aには、吸着パッド7bや第1の位置決めピン7cなどが搭載されている。そして、回転部7aは、パレット2の左右方向に延在する回転軸7dを中心に回転可能であると共に、パレット2の前後方向に移動可能である。   The sticking jig 7 includes a rotating part 7a, a suction pad 7b, and a first positioning pin 7c. A suction pad 7b, a first positioning pin 7c, and the like are mounted on the rotating portion 7a. The rotating unit 7a can rotate around a rotating shaft 7d extending in the left-right direction of the pallet 2 and can move in the front-rear direction of the pallet 2.

吸着パッド7bは、絶縁板6を吸着して保持する。つまり、吸着パッド7b内の空気をポンプによって吸引することで絶縁板6が吸着パッド7bに吸着される。吸着パッド7bの吸着面は、回転部7aの一側面から露出しており、吸着パッド7bの吸着面がパレット2の上側に向かって回転部7aから露出した状態から当該回転部7aが回転すると、パワーモジュール1におけるパワーカード3の主面3a又は3bと対向するように回転部7aから露出する。   The suction pad 7b sucks and holds the insulating plate 6. That is, the insulating plate 6 is adsorbed by the suction pad 7b by sucking the air in the suction pad 7b by the pump. The suction surface of the suction pad 7b is exposed from one side of the rotating portion 7a, and when the rotating portion 7a rotates from a state where the suction surface of the suction pad 7b is exposed from the rotating portion 7a toward the upper side of the pallet 2, The power module 1 is exposed from the rotating portion 7a so as to face the main surface 3a or 3b of the power card 3.

第1の位置決めピン7cは、絶縁板6の四隅と対応するように、回転部7aにおける吸着パッド7bの吸着面が露出する面から当該面と略直交する方向に突出している。そして、第1の位置決めピン7cは、回転部7aにおける吸着パッド7bの吸着面が露出する面と略直交する方向に移動可能である。また、第1の位置決めピン7cは、弾性体7eによって回転部7aの外方に向かって付勢されている。   The first positioning pins 7c protrude from the surface where the suction surface of the suction pad 7b in the rotating portion 7a is exposed in a direction substantially orthogonal to the surface so as to correspond to the four corners of the insulating plate 6. And the 1st positioning pin 7c is movable to the direction substantially orthogonal to the surface where the suction surface of the suction pad 7b in the rotation part 7a is exposed. Further, the first positioning pin 7c is urged toward the outside of the rotating portion 7a by the elastic body 7e.

このような貼付治具7は、パワーモジュール1に対して所定の位置に位置決め可能な構成とされている。例えば、前側の貼付治具7は、回転部7aにおける吸着パッド7bの吸着面が露出する面に第2の位置決めピン7fを備えている。第2の位置決めピン7fは、回転部7aにおける吸着パッド7bの吸着面が露出する面から当該面と略直交する方向に突出している。   Such a sticking jig 7 is configured to be positioned at a predetermined position with respect to the power module 1. For example, the front-side sticking jig 7 includes the second positioning pin 7f on the surface where the suction surface of the suction pad 7b in the rotating portion 7a is exposed. The second positioning pin 7f protrudes in a direction substantially orthogonal to the surface from the surface where the suction surface of the suction pad 7b in the rotating portion 7a is exposed.

パレット2の支柱2bは、貼付治具7の第2の位置決めピン7fが挿入される位置決め孔2eを備えている。位置決め孔2eは、パレット2の前後方向に貫通しており、前側の貼付治具7の第2の位置決めピン7fが通された状態で当該前側の貼付治具7、しいては絶縁板6をパワーモジュール1に対して所定の位置に配置する。   The column 2b of the pallet 2 includes a positioning hole 2e into which the second positioning pin 7f of the sticking jig 7 is inserted. The positioning hole 2e penetrates the pallet 2 in the front-rear direction, and the front-side sticking jig 7 or the insulating plate 6 is passed through the second positioning pin 7f of the front-side sticking jig 7. The power module 1 is disposed at a predetermined position.

後側の貼付治具7は、回転部7aにおける吸着パッド7bの吸着面が露出する面にパレット2における支柱2bの位置決め孔2eから突き出た前側の貼付治具7の第2の位置決めピン7fが挿入される位置決め穴7gを備えており、支柱2bの位置決め孔2eから突き出た前側の貼付治具7の第2の位置決めピン7fが後側の貼付治具7の位置決め孔7gに挿入された状態で当該後側の貼付治具7、しいては絶縁板6をパワーモジュール1に対して所定の位置に配置する。   The rear sticking jig 7 has a second positioning pin 7f of the front sticking jig 7 protruding from the positioning hole 2e of the column 2b in the pallet 2 on the surface where the suction surface of the suction pad 7b in the rotating portion 7a is exposed. A state in which the positioning hole 7g to be inserted is provided, and the second positioning pin 7f of the front sticking jig 7 protruding from the positioning hole 2e of the support 2b is inserted into the positioning hole 7g of the rear sticking jig 7 Then, the sticking jig 7 on the rear side, that is, the insulating plate 6 is arranged at a predetermined position with respect to the power module 1.

このような貼付治具7を用いて絶縁板6をパワーモジュール1の所定の位置に貼り付ける場合、先ず、貼付治具7における吸着パッド7bの吸着面がパレット2の上側に向くように当該貼付治具7を配置する。   When the insulating plate 6 is pasted to a predetermined position of the power module 1 using such a pasting jig 7, first, the pasting is performed so that the suction surface of the suction pad 7 b of the pasting jig 7 faces the upper side of the pallet 2. A jig 7 is arranged.

次に、貼付治具7の第1の位置決めピン7cに絶縁板6の四隅が接触するように、吸着パッド7bの吸着面上に絶縁板6を配置し、吸着パッド7bで絶縁板6を吸着する。このとき、絶縁板6は、第1の位置決めピン7cで位置決めされつつ吸着パッド7bに吸着される。   Next, the insulating plate 6 is arranged on the suction surface of the suction pad 7b so that the four corners of the insulating plate 6 are in contact with the first positioning pins 7c of the sticking jig 7, and the insulating plate 6 is sucked by the suction pad 7b. To do. At this time, the insulating plate 6 is attracted to the suction pad 7b while being positioned by the first positioning pin 7c.

次に、絶縁板6がパワーモジュール1におけるパワーカード3の主面3a又は3bと向かい合うように、絶縁板6を位置決めしつつ吸着した状態で貼付治具7を回転させる。これにより、図1及び図2に示す状態となる。   Next, the sticking jig 7 is rotated in a state where the insulating plate 6 is attracted while being positioned so that the insulating plate 6 faces the main surface 3a or 3b of the power card 3 in the power module 1. Thereby, it will be in the state shown in FIG.1 and FIG.2.

次に、貼付治具7をパワーモジュール1におけるパワーカード3の主面3a又は3b側に移動させて、絶縁板6でヒートスプレッダー4を覆うように当該絶縁板6を主面3a及び3bに貼り付ける。なお、パワーモジュール1のヒートスプレッダー4上には、予め放熱グリス8を塗布しておく。   Next, the sticking jig 7 is moved to the main surface 3a or 3b side of the power card 3 in the power module 1, and the insulating plate 6 is attached to the main surfaces 3a and 3b so as to cover the heat spreader 4 with the insulating plate 6. wear. A heat radiation grease 8 is applied in advance on the heat spreader 4 of the power module 1.

ここで、本実施の形態の貼付治具7は、一つのサーボシリンダのストローク変化で連動してパレット2の前後方向に移動する構成とされており、当該サーボシリンダのストロークが減ると、例えば、先ず、前側の貼付治具7が移動する。   Here, the sticking jig 7 of the present embodiment is configured to move in the front-rear direction of the pallet 2 in conjunction with the stroke change of one servo cylinder. When the stroke of the servo cylinder decreases, for example, First, the front sticking jig 7 moves.

前側の貼付治具7がパワーモジュール1におけるパワーカード3の主面3a側(即ち、パレット2の後側)に移動すると、前側の貼付治具7の第1の位置決めピン7cがパレット2の支柱2bに接触してパワーモジュール1に対して逆側に押し込まれつつ、前側の貼付治具7の第2の位置決めピン7fがパレット2に支柱2bの位置決め孔2eに挿入される。このとき、第1の位置決めピン7cで絶縁板6が位置決めされつつ、第2の位置決めピン7fと位置決め孔2eとの嵌合構造で前側の貼付治具7が位置決めされる。   When the front-side sticking jig 7 moves to the main surface 3a side of the power card 3 in the power module 1 (that is, the rear side of the pallet 2), the first positioning pins 7c of the front-side sticking jig 7 become the pillars of the pallet 2 The second positioning pin 7f of the front sticking jig 7 is inserted into the pallet 2 into the positioning hole 2e of the column 2b while being in contact with 2b and being pushed in the opposite direction with respect to the power module 1. At this time, while the insulating plate 6 is positioned by the first positioning pins 7c, the front sticking jig 7 is positioned by the fitting structure of the second positioning pins 7f and the positioning holes 2e.

その状態から前側の貼付治具7をパワーモジュール1におけるパワーカード3の主面3a側に移動させると、絶縁板6がパワーモジュール1におけるパワーカード3の主面3aの所定の位置に放熱グリス8を介して貼り付けられる。   When the front sticking jig 7 is moved to the main surface 3a side of the power card 3 in the power module 1 from that state, the insulating plate 6 is placed in a predetermined position on the main surface 3a of the power card 3 in the power module 1 to dissipate the heat radiation grease 8. Is pasted through.

さらにサーボシリンダのストロークが減ると、次は、後側の貼付治具7が移動する。後側の貼付治具7がパワーモジュール1におけるパワーカード3の主面3b側(即ち、パレット2の前側)に移動すると、後側の貼付治具7の第1の位置決めピン7cがパレット2の支柱2bに接触してパワーモジュール1に対して逆側に押し込まれつつ、パレット2の支柱2bの位置決め孔2eから突き出た前側の貼付治具7の第2の位置決めピン7fが位置決め穴7gに挿入される。このとき、第1の位置決めピン7cで絶縁板6が位置決めされつつ、第2の位置決めピン7fと位置決め穴7gとの嵌合構造で後側の貼付治具7が位置決めされる。   When the stroke of the servo cylinder further decreases, the rear sticking jig 7 moves next. When the rear sticking jig 7 is moved to the main surface 3b side of the power card 3 in the power module 1 (that is, the front side of the pallet 2), the first positioning pin 7c of the rear sticking jig 7 is The second positioning pin 7f of the front sticking jig 7 protruding from the positioning hole 2e of the support 2b of the pallet 2 is inserted into the positioning hole 7g while being pushed in the opposite direction with respect to the power module 1 in contact with the support 2b. Is done. At this time, while the insulating plate 6 is positioned by the first positioning pins 7c, the rear sticking jig 7 is positioned by the fitting structure of the second positioning pins 7f and the positioning holes 7g.

その状態から後側の貼付治具7をパワーモジュール1におけるパワーカード3の主面3b側に移動させると、絶縁板6がパワーモジュール1におけるパワーカード3の主面3bの所定の位置に放熱グリス8を介して貼り付けられる。   When the sticking jig 7 on the rear side is moved from the state to the main surface 3b side of the power card 3 in the power module 1, the insulating plate 6 is dissipated into a predetermined position on the main surface 3b of the power card 3 in the power module 1. 8 is pasted.

その後、前後の貼付治具7の吸着パッド7bのエアを解き、前後の貼付治具7を互いに離間するように移動させると、絶縁板6の貼り付けが完了する。   Thereafter, when the air of the suction pads 7b of the front and rear sticking jigs 7 is released and the front and rear sticking jigs 7 are moved away from each other, the insulating plate 6 is attached.

このように本実施の形態の貼り付け方法は、貼付治具7の第1の位置決めピン7cで絶縁板6を位置決めすると共に、貼付治具7の第2の位置決めピン7fと、パレット2の支柱2bの位置決め孔2e又は貼付治具7の位置決め穴7gと、の嵌合構造で貼付治具7をパワーモジュール1に対して所定の位置に位置決めしつつ、絶縁板6をパワーモジュール1に貼り付ける。そのため、パワーモジュール1の所定の位置に絶縁板6を精度良く貼り付けることができる。   As described above, the attaching method according to the present embodiment positions the insulating plate 6 with the first positioning pin 7c of the attaching jig 7, and the second positioning pin 7f of the attaching jig 7 and the column of the pallet 2. The insulating plate 6 is affixed to the power module 1 while positioning the affixing jig 7 at a predetermined position with respect to the power module 1 with a fitting structure of the positioning hole 2e of 2b or the positioning hole 7g of the affixing jig 7. . Therefore, the insulating plate 6 can be attached to the power module 1 at a predetermined position with high accuracy.

しかも、例えば、図6に示すように、水平に配置された貼付治具101上に絶縁板6を載置してパワーモジュール1の所定の位置に貼り付ける場合、貼付治具101上に異物102が存在すると、絶縁板6をパワーモジュール1の所定の位置に貼り付けるために、絶縁板6を貼付治具101とパワーモジュール1とで挟み込んだ際に、絶縁板6に曲げ応力が発生し、絶縁板6に割れが発生する可能性がある。   In addition, for example, as shown in FIG. 6, when the insulating plate 6 is placed on the horizontally placed sticking jig 101 and stuck at a predetermined position of the power module 1, the foreign substance 102 is placed on the sticking jig 101. Is present, bending stress is generated in the insulating plate 6 when the insulating plate 6 is sandwiched between the attaching jig 101 and the power module 1 in order to attach the insulating plate 6 to a predetermined position of the power module 1. There is a possibility that the insulating plate 6 is cracked.

一方、本実施の形態の貼り付け方法は、吸着パッド7bを用いて絶縁板6をパワーモジュール1の所定の位置に貼り付けるため、貼り付け時に絶縁板6に応力がかからない。しかも、貼り付け時にパワーモジュール1及び絶縁板6の主面などをパレット2の上下方向に配置するので、パワーモジュール1及び絶縁板6の主面などに異物が乗る可能性が低く、貼り付け時に異物による悪影響を抑制することができる。   On the other hand, since the insulating plate 6 is attached to a predetermined position of the power module 1 using the suction pad 7b in the attaching method of the present embodiment, no stress is applied to the insulating plate 6 during attachment. Moreover, since the main surfaces of the power module 1 and the insulating plate 6 are arranged in the vertical direction of the pallet 2 at the time of pasting, there is a low possibility that foreign matter will get on the main surfaces of the power module 1 and the insulating plate 6 at the time of pasting. The bad influence by a foreign material can be suppressed.

本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention.

例えば、上記実施の形態では、前側の貼付治具7に第2の位置決めピン7fを設け、後側の貼付治具7に位置決め穴7gを設けているが、サーボシリンダのストロークが減った際に、最初に移動する側の貼付治具7に第2の位置決めピン7fを設け、次に移動する側の貼付治具7に位置決め穴7gを設ければよい。   For example, in the above-described embodiment, the second positioning pin 7f is provided in the front sticking jig 7, and the positioning hole 7g is provided in the rear sticking jig 7, but when the servo cylinder stroke is reduced. The second positioning pin 7f is provided in the first moving jig 7 and the positioning hole 7g is provided in the second moving jig 7.

例えば、上記実施の形態では、第2の位置決めピン7fと、位置決め孔2e又は位置決め穴7gと、を用いて貼付治具7をパワーモジュール1に対して位置決めしているが、第2の位置決めピン7fと位置決め孔2eとで貼付治具7をパワーモジュール1に対して位置決めしてもよい。この場合、後側の貼付治具7にも第2の位置決めピン7fが設けられる。   For example, in the above embodiment, the sticking jig 7 is positioned with respect to the power module 1 using the second positioning pin 7f and the positioning hole 2e or the positioning hole 7g. You may position the sticking jig 7 with respect to the power module 1 by 7f and the positioning hole 2e. In this case, the second positioning pin 7f is also provided on the rear sticking jig 7.

例えば、上記実施の形態では、前側の貼付治具7を移動させた後に、後側の貼付治具7を移動させているが、移動させる順番は逆でも良く、また、同時に移動させてもよい。   For example, in the above-described embodiment, after the front-side sticking jig 7 is moved, the rear-side sticking jig 7 is moved. However, the order of the movement may be reversed, and may be moved simultaneously. .

1 パワーモジュール
2 パレット、2a 基部、2b 支柱、2c 挟持機構、2d 挟持部、2e 位置決め孔
3 パワーカード、3a、3b 主面
4 ヒートスプレッダー
5 端子
6 絶縁板
7 貼付治具、7a 回転部、7b 吸着パッド、7c 第1の位置決めピン、7d 回転軸、7e 弾性体、7f 第2の位置決めピン、7g 位置決め穴
8 放熱グリス
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Power module 2 Pallet, 2a base, 2b support | pillar, 2c Clamping mechanism, 2d Clamping part, 2e Positioning hole 3 Power card, 3a, 3b Main surface 4 Heat spreader 5 Terminal 6 Insulating plate 7 Jig, 7a Rotating part, 7b Suction pad, 7c first positioning pin, 7d rotating shaft, 7e elastic body, 7f second positioning pin, 7g positioning hole 8 heat dissipation grease

Claims (1)

パワーモジュールの対向する主面に夫々絶縁板を貼り付ける方法であって、
前記パワーモジュールの主面が鉛直方向に配置されるように、前記パワーモジュールをパレットで保持する工程と、
吸着パッドと第1の位置決めピンとを有する貼付治具を用いて、前記絶縁板を前記第1の位置決めピンで位置決めしつつ前記吸着パッドで吸着して保持する工程と、
前記貼付治具で保持した前記絶縁板を前記パワーモジュールの主面と対向させる工程と、
前記パワーモジュールを挟み込むように配置された前記貼付治具のうち、一方の貼付治具に設けられた第2の位置決めピンを前記パレットに形成された位置決め孔に通すと共に前記第1の位置決めピンを前記パレットに接触させて当該パレットに対して逆側に押し込みつつ、前記一方の貼付治具を前記パワーモジュールの一方の主面に近付けて、前記絶縁板を前記パワーモジュールの一方の主面に貼り付ける工程と、
前記パレットの位置決め孔から突き出た前記第2の位置決めピンを他方の貼付治具に形成された位置決め穴に挿入すると共に前記第1の位置決めピンを前記パレットに接触させて当該パレットに対して逆側に押し込みつつ、前記他方の貼付治具を前記パワーモジュールの他方の主面に近付けて、前記絶縁板を前記パワーモジュールの他方の主面に貼り付ける工程と、
を備える、パワーモジュール用の絶縁板貼り付け方法。
It is a method of attaching an insulating plate to each of the opposing main surfaces of the power module,
Holding the power module with a pallet so that the main surface of the power module is arranged in a vertical direction;
Using a sticking jig having a suction pad and a first positioning pin, holding the insulating plate by suction with the suction pad while positioning the insulating plate with the first positioning pin;
A step of causing the insulating plate held by the sticking jig to face the main surface of the power module;
Among the sticking jigs arranged so as to sandwich the power module, the second positioning pin provided in one sticking jig is passed through the positioning hole formed in the pallet and the first positioning pin is passed. While bringing the pallet into contact with the pallet and pushing it in the opposite direction, the one attaching jig is brought close to one main surface of the power module, and the insulating plate is attached to one main surface of the power module. Attaching process,
The second positioning pin protruding from the positioning hole of the pallet is inserted into a positioning hole formed in the other sticking jig, and the first positioning pin is brought into contact with the pallet and is opposite to the pallet. While pressing into the other main surface of the power module, the step of adhering the insulating plate to the other main surface of the power module,
A method for attaching an insulating plate for a power module.
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