JP2018034157A5 - 製品洗浄方法 - Google Patents
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Claims (2)
- 超純水中の微量金属による汚染性を低減するための金属汚染防止剤を添加した超純水（ｐＨ５以下のものを除く）で製品を洗浄する製品洗浄方法であって、
該金属汚染防止剤が、イオン交換基を有するポリマーを含有し、該ポリマーがポリスチレンスルホン酸、又は４級アンモニウム基を有するポリマーであり、
該金属汚染防止剤を添加した超純水を膜処理することなく、該製品の洗浄に用いることを特徴とする製品洗浄方法。 - 請求項１に記載の製品洗浄方法において、前記超純水への金属汚染防止剤の添加量が、前記イオン交換基を有するポリマーと超純水中の微量金属量とのイオン交換反応当量の１〜２０倍であることを特徴とする製品洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2017204526A JP6753384B2 (ja) | 2017-10-23 | 2017-10-23 | 製品洗浄方法 |
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Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018034157A JP2018034157A (ja) | 2018-03-08 |
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| JP (1) | JP6753384B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4389301B2 (ja) * | 1999-08-09 | 2009-12-24 | 栗田工業株式会社 | 微量金属含有水の処理方法 |
| JP2007335856A (ja) * | 2006-05-19 | 2007-12-27 | Sanyo Chem Ind Ltd | エレクトロニクス材料用洗浄剤 |
| JP4777197B2 (ja) * | 2006-09-11 | 2011-09-21 | 富士フイルム株式会社 | 洗浄液及びそれを用いた洗浄方法 |
| JP5515588B2 (ja) * | 2009-10-05 | 2014-06-11 | 栗田工業株式会社 | ウエハ用洗浄水及びウエハの洗浄方法 |
| JP5403467B2 (ja) * | 2010-04-26 | 2014-01-29 | 独立行政法人日本原子力研究開発機構 | 微量金属捕集用液体濾過フィルタ |
| JP2013188692A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Muromachi Chemical Kk | 金属除去用シート |
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