JP2018032568A - ホローカソード及びこれに用いられる電子放出部材 - Google Patents
ホローカソード及びこれに用いられる電子放出部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018032568A JP2018032568A JP2016165436A JP2016165436A JP2018032568A JP 2018032568 A JP2018032568 A JP 2018032568A JP 2016165436 A JP2016165436 A JP 2016165436A JP 2016165436 A JP2016165436 A JP 2016165436A JP 2018032568 A JP2018032568 A JP 2018032568A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- internal flow
- plasma
- electron emission
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
【課題】電子放出部材の寿命を短くすることなく、且つ、プラズマ生成用ガスの必要量を抑えつつ、密度の高いプラズマを生成する。【解決手段】加熱されることにより電子を放出する電子放出部材10を備えたホローカソード100において、電子放出部材10が、プラズマ生成用ガスが流れる内部流路10Lを有し、内部流路10L内で生成したプラズマ中の電子が内部流路10Lのプラズマ生成用ガスの流れに対する下流側開口10aから引き出されるものであって、内部流路10Lが、プラズマ生成用ガスの流れに対する上流側開口10bの面積よりも小さい断面積を有する絞り部10L1を備えるようにした。【選択図】図1
Description
本発明は、例えばイオンビーム照射装置のイオン源等に用いられるホローカソード及びこれに用いられる電子放出部材に関するものである。
この種のホローカソードは、特許文献1に示すように、加熱されることにより電子を放出する筒状の電子放出部材を備えたものがある。この電子放出部材は、内部空間がプラズマ生成用ガスが流れる内部流路として形成されている。これにより、内部流路にプラズマ生成用ガスを流すとともに、電子放出部材を加熱することで、電子放出部材の内部空間にプラズマを生成することができる。
上述した構成において、生成されるプラズマの密度を高くするためには、電子放出部材から放出される電子を増やす必要があり、そのためには加熱温度を高くするか、電子放出部材から電子が放出される面積、すなわち電子放出部材の内周面の面積を大きくする必要がある。
しかしながら、加熱温度を高くした場合、電子放出部材の昇華などにより、電子放出部材の寿命が短くなるという問題がある。
一方、電子放出部材の内周面の面積を大きくする場合、特許文献1に示される電子放出部材は内径が一定であるので、内周面の面積を大きくしようとすると、内部流路を大径化させることになる。そうすると、大径化前とプラズマ生成用ガスの導入量が同じでは、内部流路の内圧が低くなり、放電が起きない恐れがあったり、放電が起きたとしてもプラズマ密度が低くなってしまう。そのため、プラズマ密度を高くするためには、内部流路の内圧をある程度高くすべく、プラズマ生成用ガスの導入量を増やさなければならないという問題が生じる。
これに対して、内部流路を大径化しつつ、プラズマ生成用ガスの導入量を抑える構成としては、内部流路の下流側開口をオリフィスが形成されたオリフィス板で塞ぐことで、プラズマ生成用ガスをオリフィスで絞り、内部流路の内圧をある程度高く保つ構成が考えられる。
しかしながら、この構成では、内部流路の下流側開口をオリフィス板で塞いでいるので、内部流路で発生したプラズマがオリフィス板に接触して消失してしまい、結局のところ内周面の面積を大きくした割には高いプラズマ密度を得ることはできない。
しかしながら、この構成では、内部流路の下流側開口をオリフィス板で塞いでいるので、内部流路で発生したプラズマがオリフィス板に接触して消失してしまい、結局のところ内周面の面積を大きくした割には高いプラズマ密度を得ることはできない。
そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決すべくなされたものであって、電子放出部材の寿命を短くすることなく、且つ、プラズマ生成用ガスの必要量を抑えつつ、密度の高いプラズマを生成できるようにすることをその主たる課題とするものである。
すなわち本発明に係るホローカソードは、加熱されることにより電子を放出する電子放出部材を備えたものにおいて、前記電子放出部材が、プラズマ生成用ガスが流れる内部流路を有し、前記内部流路内で生成したプラズマ中の電子が前記内部流路の前記プラズマ生成用ガスの流れに対する下流側開口から引き出されるものであって、前記内部流路が、前記プラズマ生成用ガスの流れに対する上流側開口の面積よりも小さい断面積を有する絞り部を備えていることを特徴とするものである。
このように構成されたホローカソードであれば、内部流路が、上流側開口の面積よりも小さい断面積を有する絞り部を備えているので、プラズマ生成用ガスの流れに対して絞り部が抵抗となり、内部流路の内圧が低下することを防ぐことができる。これにより、プラズマ生成用ガスの必要量を抑えつつ、内部流路の内圧を高く保つことができる。
そのうえ、絞り部の断面積よりも上流側開口の面積の方が大きいところ、内部流路の断面積は絞り部から上流側開口に向かって大きくなるので、内径が一定の電子放出部材を用いた場合に比べて、電子放出部材の内周面の面積を大きくすることができる。これにより、電子放出部材の加熱温度を高くすることなく、つまり電子放出部材の寿命を低減させることなく、高密度のプラズマを生成することが可能となる。
このように、上述したホローカソードであれば、電子放出部材の寿命を短くすることなく、且つ、プラズマ生成用ガスの必要量を抑えつつ、密度の高いプラズマを生成することができる。
そのうえ、絞り部の断面積よりも上流側開口の面積の方が大きいところ、内部流路の断面積は絞り部から上流側開口に向かって大きくなるので、内径が一定の電子放出部材を用いた場合に比べて、電子放出部材の内周面の面積を大きくすることができる。これにより、電子放出部材の加熱温度を高くすることなく、つまり電子放出部材の寿命を低減させることなく、高密度のプラズマを生成することが可能となる。
このように、上述したホローカソードであれば、電子放出部材の寿命を短くすることなく、且つ、プラズマ生成用ガスの必要量を抑えつつ、密度の高いプラズマを生成することができる。
絞り部を容易に製造できるようにするためには、前記絞り部が、前記内部流路の前記プラズマ生成用ガスの流れに対する下流側から上流側に向かって断面積が徐々に大きくなる切頭円錐形状をなす構成が好ましい。
ところで、内部流路の上流側開口が大きいと、生成されたプラズマが上流側開口から外部に流出しやすくなり、プラズマ密度の低下を招来する恐れがある。
そこで、前記上流側開口の面積が、当該上流側開口よりも下流側における前記内部流路の断面積よりも小さいことが好ましい。
このような構成であれば、上流側開口をその下流側よりも絞ることができるので、上流側開口から外部に流出するプラズマを低減させることができる。
そこで、前記上流側開口の面積が、当該上流側開口よりも下流側における前記内部流路の断面積よりも小さいことが好ましい。
このような構成であれば、上流側開口をその下流側よりも絞ることができるので、上流側開口から外部に流出するプラズマを低減させることができる。
ホローカソードの外部でプラズマを生成する場合、このプラズマによって電子放出部材がスパッタされる恐れがある。
そこで、前記内部流路の下流側開口に対向して設けられ、厚み方向に貫通して形成されたオリフィスを有するオリフィス板をさらに備え、前記内部流路の下流側開口が、前記オリフィスよりも小さい又は略同じ大きさであることが好ましい。
このような構成であれば、外部で生成されたプラズマによる電子放出部材のスパッタをオリフィス板によって低減させることができる。そのうえ、内部流路の下流側開口をオリフィスよりも小さいか略同じ大きさにしているので、下流側開口はオリフィス板によって塞がれず、内部流路内で生成したプラズマがオリフィス板に接触して消失してしまうことを回避することができる。
そこで、前記内部流路の下流側開口に対向して設けられ、厚み方向に貫通して形成されたオリフィスを有するオリフィス板をさらに備え、前記内部流路の下流側開口が、前記オリフィスよりも小さい又は略同じ大きさであることが好ましい。
このような構成であれば、外部で生成されたプラズマによる電子放出部材のスパッタをオリフィス板によって低減させることができる。そのうえ、内部流路の下流側開口をオリフィスよりも小さいか略同じ大きさにしているので、下流側開口はオリフィス板によって塞がれず、内部流路内で生成したプラズマがオリフィス板に接触して消失してしまうことを回避することができる。
また、本発明に係る電子放出部材は、ホローカソードに用いられて加熱されることにより電子を放出する電子放出部材において、プラズマ生成用ガスが流れる内部流路を有し、前記内部流路内で生成したプラズマ中の電子が前記内部流路の前記プラズマ生成用ガスの流れに対する下流側開口から引き出されるものであって、前記内部流路が、前記プラズマ生成用ガスの流れに対する上流側開口の面積よりも小さい断面積を有する絞り部を備えていることを特徴とするものである。
このように構成された電子放出部材であれば、上述したホローカソードと同様の作用効果を得ることができる。
このように構成された電子放出部材であれば、上述したホローカソードと同様の作用効果を得ることができる。
このように構成した本発明によれば、電子放出部材の寿命を短くすることなく、且つ、プラズマ生成用ガスの必要量を抑えつつ、密度の高いプラズマを生成することができる。
本発明に係るホローカソードの一実施形態について説明する。
本実施形態のホローカソード100は、例えばイオンビーム照射装置のイオン源等に用いられるものであり、具体的には、図1に示すように、電子放出部材10、オリフィス板20、カソード支持筒30、加熱機構40、及びキーパ電極50を具備している。なお、前記イオン源としては、ホローカソード100を1つ備えていても良いし、複数備えていても良い。
以下、各部について説明する。
以下、各部について説明する。
本実施形態のホローカソード100は、電子放出部材10が特徴的であるので、ここでは電子放出部材10について簡単に説明し、詳細は後述する。
電子放出部材10は、加熱されることにより電子を放出するものであり、図1に示すように、例えばXe、Ar、Neといった希ガスやH2といった腐蝕性を有するプラズマ生成用ガスが流れる内部流路10Lが形成されている。ここでは、例えばLaB6により形成された筒状をなすものであり、その内部空間が前記内部流路10Lとして形成されている。以下では、電子放出部材10の軸Cに沿った方向を上下方向と規定する。
ここでは、内部流路10Lに下方から上方に向かって前記プラズマ生成用ガスを流すとともに、後述の加熱機構40によって電子放出部材10を加熱して電子を放出させることで、内部流路10L内にプラズマが生成されるようにしてある。つまり、プラズマ生成用ガスの流れに対する上流側は電子放出部材10の軸Cに沿った下側であり、プラズマ生成用ガスの流れに対する下流側は電子放出部材10の軸Cに沿った上側である。
なお、この電子放出部材10は、図示しない電源から所定の電圧が印加されて、後述するキーパ電極50に対するカソードとして機能する。
電子放出部材10は、加熱されることにより電子を放出するものであり、図1に示すように、例えばXe、Ar、Neといった希ガスやH2といった腐蝕性を有するプラズマ生成用ガスが流れる内部流路10Lが形成されている。ここでは、例えばLaB6により形成された筒状をなすものであり、その内部空間が前記内部流路10Lとして形成されている。以下では、電子放出部材10の軸Cに沿った方向を上下方向と規定する。
ここでは、内部流路10Lに下方から上方に向かって前記プラズマ生成用ガスを流すとともに、後述の加熱機構40によって電子放出部材10を加熱して電子を放出させることで、内部流路10L内にプラズマが生成されるようにしてある。つまり、プラズマ生成用ガスの流れに対する上流側は電子放出部材10の軸Cに沿った下側であり、プラズマ生成用ガスの流れに対する下流側は電子放出部材10の軸Cに沿った上側である。
なお、この電子放出部材10は、図示しない電源から所定の電圧が印加されて、後述するキーパ電極50に対するカソードとして機能する。
オリフィス板20は、厚み方向に貫通して形成されたオリフィス20aを有し、例えばモリブデンなどの高融点金属からなるものであり、ここでは電子放出部材10と一体的に設けられている。
本実施形態のオリフィス板20は、電子放出部材10の下流側開口10aを塞ぐように設けられた例えば円形状の平板であり、その外径が電子放出部材10の外径よりも大きく、その中央に形成された前記オリフィス20aの中心を電子放出部材10の軸Cが通過するように配置されている。
本実施形態のオリフィス板20は、電子放出部材10の下流側開口10aを塞ぐように設けられた例えば円形状の平板であり、その外径が電子放出部材10の外径よりも大きく、その中央に形成された前記オリフィス20aの中心を電子放出部材10の軸Cが通過するように配置されている。
カソード支持筒30は、前記オリフィス板20を支持するとともに前記電子放出部材10を内部に収容するものであり、ここでは、電子放出部材10と同軸上に設けられた円筒状をなすものである。なお、カソード支持筒30は、電子放出部材10を支持さえしていれば、その形状や配置等は適宜変更して構わない。
加熱機構40は、電子放出部材10を加熱して該電子放出部材10から電子を放出させるものであり、ここでは、電子放出部材10の周囲に設けられた線状導電部材41に通電することで、電子放出部材10を加熱するように構成されている。
キーパ電極50は、図示しない電源から所定の電圧が印加されて、上述した電子放出部材10に対するアノードとして機能し、電子放出部材10内に生成されたプラズマ中の電子を下流側開口10aから引き出すものである。
このキーパ電極50は、引き出した電子を通過させる電子通過孔50aが形成されており、この電子通過孔50aが下流側開口10aに臨むように支持されている。
このキーパ電極50は、引き出した電子を通過させる電子通過孔50aが形成されており、この電子通過孔50aが下流側開口10aに臨むように支持されている。
そして本実施形態では、図2に示すように、上述した電子放出部材10の内部流路10Lが、全体として軸Cに沿って直線状に形成されており、プラズマ生成用ガスの流れに対する上流側開口10bの面積よりも小さい流路断面積を有する絞り部10L1を有している。なお、ここでいう直線状とは、厳密な意味での直線のみを意味するのではなく、ある程度湾曲していたり、折れ曲がったりした形状を含んでいても良い。
また、ここでいう流路断面積とは、内部流路10Lを軸Cに垂直な面で切った断面の面積のことであり、本実施形態では、この流路断面積が下流側から上流側に向かって漸次大きくなるように、絞り部10L1を形成してある。言い換えれば、本実施形態の絞り部10L1は、軸Cと電子放出部材10の内周面10sとの距離xが下流側から上流側に向かって徐々に長くなるように形成されている。
より具体的に説明すると、内部流路10Lは、ここでは軸Cを回転中心とした回転体形状をなし、下流側開口10a及び上流側開口10bは円形状である。この内部流路10Lは、下流側開口10aから上流側開口10bまでの少なくとも一部に上述した絞り部10L1を有していれば良いが、本実施形態では下流側開口10aから上流側開口10bまでの内部流路10L全体が前記絞り部10L1として形成してある。
この絞り部10L1は、切頭円錐形状であり、その下流側開口、すなわち内部流路10Lの下流側開口10aは上述したオリフィス20aと略同じ大きさにしてある。
この絞り部10L1は、切頭円錐形状であり、その下流側開口、すなわち内部流路10Lの下流側開口10aは上述したオリフィス20aと略同じ大きさにしてある。
このように構成された本実施形態に係るホローカソード100であれば、内部流路10Lの全体が、上流側開口10bの面積よりも小さい断面積を有する絞り部10L1として形成されているので、この絞り部10L1がプラズマ生成用ガスの流れに対する抵抗となり、内部流路10Lの内圧が低下することを防ぐことができる。これにより、プラズマ生成用ガスの必要量を抑えつつ、内部流路10Lの内圧を高く保つことができる。
さらに、絞り部10L1が下流側から上流側に向かって流路断面積が大きくなるように形成されているので、内部流路10Lが一定の径寸法に形成されている構成に比べて、下流側開口10aの大きさが同じであれば、電子放出部材10の内周面10sの面積を大きくすることができる。これにより、電子放出部材10の加熱温度を高くすることなく、すなわち電子放出部材10の寿命を低減させることなく、高密度のプラズマを生成することが可能となる。
このように、本実施形態に係るホローカソード100によれば、電子放出部材10の寿命を短くすることなく、且つ、プラズマ生成用ガスの必要量を抑えつつ、密度の高いプラズマを生成することができる。
さらに、絞り部10L1が下流側から上流側に向かって流路断面積が大きくなるように形成されているので、内部流路10Lが一定の径寸法に形成されている構成に比べて、下流側開口10aの大きさが同じであれば、電子放出部材10の内周面10sの面積を大きくすることができる。これにより、電子放出部材10の加熱温度を高くすることなく、すなわち電子放出部材10の寿命を低減させることなく、高密度のプラズマを生成することが可能となる。
このように、本実施形態に係るホローカソード100によれば、電子放出部材10の寿命を短くすることなく、且つ、プラズマ生成用ガスの必要量を抑えつつ、密度の高いプラズマを生成することができる。
また、内部流路10Lの下流側開口10aを塞ぐようにオリフィス板20を設けているので、ホローカソード100の外部でプラズマが生成されたとしても、このプラズマによる電子放出部材10のスパッタをオリフィス板20によって防ぐことができる。
そのうえ、内部流路10Lの下流側開口10aをオリフィス20aと略同じ大きさにしているので、下流側開口10aはオリフィス板20によって塞がれておらず、内部流路10L内で生成したプラズマがオリフィス板20に接触してプラズマが消失してしまうことを回避することができる。
そのうえ、内部流路10Lの下流側開口10aをオリフィス20aと略同じ大きさにしているので、下流側開口10aはオリフィス板20によって塞がれておらず、内部流路10L内で生成したプラズマがオリフィス板20に接触してプラズマが消失してしまうことを回避することができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、前記実施形態では、内部流路の全体が絞り部として形成されていたが、図3に示すように、内部流路10Lにおける下流側開口10aから上流側開口10bまでの一部が絞り部10L1として形成されていても良い。
なお、このように下流側開口10aから上流側開口10bまでの一部が絞り部10L1として形成されている場合、絞り部10L1の下流側において上流側から下流側に向かって内部流路10Lの断面積が大きくなる部分があっても構わない。
なお、このように下流側開口10aから上流側開口10bまでの一部が絞り部10L1として形成されている場合、絞り部10L1の下流側において上流側から下流側に向かって内部流路10Lの断面積が大きくなる部分があっても構わない。
また、図4に示すように、上流側開口10bの面積が、当該上流側開口10bよりも下流側における内部流路10Lの断面積よりも小さくなるように構成されていても良い。
具体的にこの内部流路10Lは、絞り部10L1よりも上流側に設けられ、下流側から上流側に向かって流路断面積が小さくなる第2絞り部10L2をさらに有している。
具体的にこの内部流路10Lは、絞り部10L1よりも上流側に設けられ、下流側から上流側に向かって流路断面積が小さくなる第2絞り部10L2をさらに有している。
この第2絞り部10L2は、下流側から上流側に向かって漸次小さくなるように、言い換えれば、軸Cと電子放出部材10の内周面10sとの距離xが下流側から上流側に向かって徐々に短くなるように形成されている。
ここでは、電子放出部材10は、下流側に配置された下流側要素11と上流側に配置された上流側要素12とから構成されており、下流側要素11に絞り部10L1が形成されており、上流側要素12に第2絞り部10L2が形成されている。この第2絞り部10L2は、絞り部10L1と上下対称な形状をなしており、下流側から上流側開口10bに到るまで流路断面積が徐々に小さくなる切頭円錐形状である。
上述した構成により、電子放出部材10の上流側開口10b、すなわち下流側要素11の上流側開口10bをその下流側よりも絞っているので、上流側開口10bから外部に流出するプラズマを低減させることができる。
また、第2絞り部10L2を絞り部10L1の上下対称な形状としているので、互いに同じ形状をなす一対の下流側要素11及び上流側要素12を互いに上下逆さまにして対向配置することで、上述した電子放出部材10を構成することができ、製造が容易である。
また、第2絞り部10L2を絞り部10L1の上下対称な形状としているので、互いに同じ形状をなす一対の下流側要素11及び上流側要素12を互いに上下逆さまにして対向配置することで、上述した電子放出部材10を構成することができ、製造が容易である。
なお、図4では、電子放出部材が2つの要素から構成されていたが、3つ以上の要素から電子放出部材を構成しても良い。
このように複数の要素から電子放出部材を構成する場合、少なくとも1つの要素の内部流路が、絞り部を有していれば良い。その他の要素は、内部流路が一定径のものであっても良いし、絞り部や第2絞り部を有しているものであっても良い。
このように複数の要素から電子放出部材を構成する場合、少なくとも1つの要素の内部流路が、絞り部を有していれば良い。その他の要素は、内部流路が一定径のものであっても良いし、絞り部や第2絞り部を有しているものであっても良い。
ところで、内部流路の下流側開口の近傍では、電子放出部材から放出される電子により電子放出部材の内周面がスパッタされて損傷しやすい。
そこで、内部流路の下流側開口を前記実施形態よりも小さく、すなわちオリフィスよりも小さくすれば、下流側開口の近傍で電子放出部材の径方向の厚みを大きくすることができるので、上述した損傷による電子放出部材の寿命低減を防ぐことができ、電子放出部材の寿命を前記実施形態よりも延ばすことができる。
そこで、内部流路の下流側開口を前記実施形態よりも小さく、すなわちオリフィスよりも小さくすれば、下流側開口の近傍で電子放出部材の径方向の厚みを大きくすることができるので、上述した損傷による電子放出部材の寿命低減を防ぐことができ、電子放出部材の寿命を前記実施形態よりも延ばすことができる。
前記実施形態の絞り部は、下流側から上流側に向かって流路断面積が漸次大きくなるように構成されていたが、絞り部は、下流側から上流側に向かって流路断面積が一段階又は複数段階など段階的に大きくなるように構成されていても良い。具体的には、図5に示すように、内部流路10Lの下流側及び上流側の両方が一定の径寸法であり、且つ、下流側の径寸法よりも上流側の径寸法の方が大きくなるように構成されたものが挙げられる。この構成では、内部流路10Lの下流側の流路断面積が上流側開口10bの面積よりも小さく、内部流路の10Lの下流側が絞り部として形成されていることになる。なお、この場合においても、電子放出部材10は、内部流路10Lの径寸法が異なる複数の要素から構成されていても良い。
また、図4に示される第2絞り部10L2に関しても、下流側から上流側に向かって流路断面積が一段階又は複数段階など段階的に大きくなるように形成されていても良い。
また、図4に示される第2絞り部10L2に関しても、下流側から上流側に向かって流路断面積が一段階又は複数段階など段階的に大きくなるように形成されていても良い。
前記実施形態の電子放出部材には、1つの内部流路が形成されていたが、電子放出部材には、複数の内部流路が形成されていても構わない。この場合、複数の内部流路のうち、1つ又は複数又は全部が絞り部を有していれば良い。
前記実施形態の内部流路は回転体形状をなしており、流路断面は円形状であったが、流路断面は多角形状など適宜変更しても構わない。
また、オリフィス板やオリフィスの形状は適宜変更して良い。
さらに、前記実施形態の電子放出部材は、絞り部がプラズマ生成用ガスの絞り機構としての機能を発揮するところ、ホローカソードとしてはオリフィス板を備えていないものであっても良い。
さらに、前記実施形態の電子放出部材は、絞り部がプラズマ生成用ガスの絞り機構としての機能を発揮するところ、ホローカソードとしてはオリフィス板を備えていないものであっても良い。
前記実施形態では、キーパ電極のみが、カソードに対してアノードとしての機能を発揮するように構成されていたが、キーパ電極の上方に設けられて、高電圧が印加されるバイアス電極をさらに具備し、キーパ電極及びバイアス電極によって、プラズマ中の電子を引き寄せるように構成しても良い。
なお、キーパ電極の形状や配置等は適宜変更して良いし、ホローカソードとしては、キーパ電極を備えていないものであっても良い。
なお、キーパ電極の形状や配置等は適宜変更して良いし、ホローカソードとしては、キーパ電極を備えていないものであっても良い。
加熱機構としては、前記実施形態の構成に限られず、例えば輻射熱を利用して加熱する方式、電子放出部材を収容する例えば筒状の導電性部材に通電して加熱する方式、電子放出部材及び電子放出部材に対してアノードとして働く部材の間に高電圧を印加して加熱する方式などを用いても良い。
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
100・・・ホローカソード
10 ・・・電子放出部材
20 ・・・オリフィス板
30 ・・・カソード支持筒
40 ・・・加熱機構
50 ・・・キーパ電極
10 ・・・電子放出部材
20 ・・・オリフィス板
30 ・・・カソード支持筒
40 ・・・加熱機構
50 ・・・キーパ電極
Claims (5)
- 加熱されることにより電子を放出する電子放出部材を備えたホローカソードにおいて、
前記電子放出部材が、プラズマ生成用ガスが流れる内部流路を有し、前記内部流路内で生成したプラズマ中の電子が前記内部流路の前記プラズマ生成用ガスの流れに対する下流側開口から引き出されるものであって、
前記内部流路が、前記プラズマ生成用ガスの流れに対する上流側開口の面積よりも小さい断面積を有する絞り部を備えているホローカソード。 - 前記絞り部が、前記内部流路の前記プラズマ生成用ガスの流れに対する下流側から上流側に向かって断面積が徐々に大きくなる切頭円錐形状をなす請求項1記載のホローカソード。
- 前記上流側開口の面積が、当該上流側開口よりも下流側における前記内部流路の断面積よりも小さい請求項1又は2記載のホローカソード。
- 前記内部流路の下流側開口に対向して設けられ、厚み方向に貫通して形成されたオリフィスを有するオリフィス板をさらに備え、
前記内部流路の下流側開口が、前記オリフィスよりも小さい又は略同じ大きさである請求項1乃至3のうち何れか一項に記載されたホローカソード。 - ホローカソードに用いられて加熱されることにより電子を放出する電子放出部材において、プラズマ生成用ガスが流れる内部流路を有し、前記内部流路内で生成したプラズマ中の電子が前記内部流路の前記プラズマ生成用ガスの流れに対する下流側開口から引き出されるものであって、
前記内部流路が、前記プラズマ生成用ガスの流れに対する上流側開口の面積よりも小さい断面積を有する絞り部を備えている電子放出部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016165436A JP2018032568A (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | ホローカソード及びこれに用いられる電子放出部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016165436A JP2018032568A (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | ホローカソード及びこれに用いられる電子放出部材 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018032568A true JP2018032568A (ja) | 2018-03-01 |
Family
ID=61303517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016165436A Pending JP2018032568A (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | ホローカソード及びこれに用いられる電子放出部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018032568A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109600895A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-04-09 | 合肥聚能电物理高技术开发有限公司 | 高密度热阴极等离子体源 |
-
2016
- 2016-08-26 JP JP2016165436A patent/JP2018032568A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109600895A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-04-09 | 合肥聚能电物理高技术开发有限公司 | 高密度热阴极等离子体源 |
CN109600895B (zh) * | 2018-11-15 | 2020-11-10 | 合肥聚能电物理高技术开发有限公司 | 高密度热阴极等离子体源 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9659755B2 (en) | Plasma generator and thermal electron emitter | |
JP5822767B2 (ja) | イオン源装置及びイオンビーム生成方法 | |
US9425023B2 (en) | Ion generator and thermal electron emitter | |
KR101460803B1 (ko) | 방전 램프용 전극 구조 | |
US4894546A (en) | Hollow cathode ion sources | |
US11239040B2 (en) | Thermally isolated repeller and electrodes | |
IL24630A (en) | Annular hollow cathode discharge apparatus | |
TWI720101B (zh) | 間接加熱式陰極離子源與用於離子源室內的斥拒極 | |
JP2018032568A (ja) | ホローカソード及びこれに用いられる電子放出部材 | |
JP5186599B2 (ja) | 電子銃、真空処理装置 | |
JP3899898B2 (ja) | ショートアーク型水銀ランプ | |
JP4401977B2 (ja) | イオン源に用いるフィラメントの作製方法及びイオン源 | |
JP4417945B2 (ja) | イオン発生装置 | |
TWI730553B (zh) | 電子槍、x射線產生裝置及x射線攝像裝置 | |
JP2016122593A (ja) | ホローカソード | |
US10418221B2 (en) | X-ray source with tube-shaped field-emitter | |
JP2015045038A (ja) | 圧力勾配型プラズマガン | |
US3355618A (en) | Electron gun for use in a cathode ray tube exhibiting enhanced electron emission | |
KR100624745B1 (ko) | 방전 안정성이 우수한 중공 캐소드 방전건 | |
JP2010153095A (ja) | イオンガン | |
US9607800B1 (en) | High brightness electron impact ion source | |
JPH01197950A (ja) | ホローカソード型イオン源 | |
JPS58119143A (ja) | 熱陰極型イオン源 | |
JP1755772S (ja) | アノード電極 | |
JP2006054108A (ja) | アーク放電用陰極及びイオン源 |