JP2018026752A - 高周波ノイズフィルタ - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る高周波ノイズフィルタ10を適用した半導体製造装置1の概略構成を示す図である。図1において、半導体製造装置1は、高周波ノイズフィルタ10と、加熱ユニット20と、電極31と、高周波電源機器32と、制御ユニット40と、を含んで構成されている。
図1及び図2を参照して、本発明の一実施形態に係る高周波ノイズフィルタ10を説明する。図2は、高周波ノイズフィルタ10の詳細な構造を説明するための図である。
上述したように、本実施形態に係る高周波ノイズフィルタ10では、複数の電線11〜16の両側を第1コンデンサC11〜C16及びC21〜C26で静電結合し、高周波ノイズの周波数RFに対して、電線11〜16の(インダクタンス成分L11〜L16による)インピーダンスよりも第1コンデンサC11〜C16及びC21〜C26のインピーダンスを十分に低く設定している。
図3に示す半導体製造装置1’における高周波ノイズフィルタ10’のように、インダクタL10と並列に第3コンデンサC18を接続させても良い。つまり、インダクタL10の一方端と他方端とを、第3コンデンサC18で接続する。この第3コンデンサC18によって、高周波ノイズフィルタ10’を所定の周波数で共振させることができる。
10、10’、110a,110b、110c 高周波ノイズフィルタ
11〜16 電線
20、120 加熱ユニット
21a、21b、21c、121a、121b、121c 電熱器
22a、22b、22c 寄生容量
31、131 電極
32 高周波電源機器
40、140 制御ユニット
C11〜C18、C21〜C26 コンデンサ
L10 インダクタ
L11〜L16 インダクタンス成分
Claims (4)
- 高周波ノイズフィルタであって、
導電性を有する円筒を螺旋状に巻回して形成された中空のインダクタと、
前記インダクタを貫通するように中空内部に挿通される絶縁被覆された複数の電線と、
前記複数の電線の両端の各々と前記インダクタとをそれぞれ静電結合させ、かつ、所定の周波数に対して、前記複数の電線のインピーダンスよりも低インピーダンスとなる複数の第1コンデンサと、
前記インダクタを交流接地させ、かつ、前記所定の周波数に対して低インピーダンスとなる第2コンデンサと、
を備える、高周波ノイズフィルタ。 - 前記インダクタと並列に接続される第3コンデンサをさらに備える、請求項1に記載の高周波ノイズフィルタ。
- 高周波電源機器を使用する半導体製造装置に用いられ、当該高周波電源機器から高周波電圧が印加される電極の温度を調整する加熱ユニットと当該加熱ユニットを制御する制御ユニットとの間に接続される、高周波ノイズフィルタであって、
導電性を有する円筒を螺旋状に巻回して形成された中空のインダクタと、
前記インダクタを貫通するように中空内部に挿通される絶縁被覆された複数の電線と、
前記複数の電線の前記加熱ユニットが接続される一方端の各々と前記インダクタの一方端とを、及び前記複数の電線の前記制御ユニットが接続される他方端の各々と前記インダクタの他方端とを、それぞれ静電結合させ、かつ、前記高周波電源機器から発生する所定の周波数に対して、前記複数の電線のインピーダンスよりも低インピーダンスとなる複数の第1コンデンサと、
前記インダクタの他方端を交流接地させ、かつ、前記所定の周波数に対して低インピーダンスとなる第2コンデンサと、
を備える、高周波ノイズフィルタ。 - 前記インダクタの一方端と前記インダクタの他方端との間に接続される第3コンデンサをさらに備える、請求項3に記載の高周波ノイズフィルタ。
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