JP2018009892A

JP2018009892A - Leakage tester, and leakage testing method

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Publication number: JP2018009892A
Application number: JP2016139380A
Authority: JP
Inventors: 茜飯塚; Akane Iizuka
Original assignee: Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Current assignee: Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Priority date: 2016-07-14
Filing date: 2016-07-14
Publication date: 2018-01-18
Anticipated expiration: 2036-07-14
Also published as: JP6782003B2

Abstract

【課題】ワークの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができるリークテスタの提供を目的とする。【解決手段】本発明に係るリークテスタは、ワークが有する空間を密閉する機構と、密閉機構により密閉された空間にトレーサーガスを供給する機構と、空間の圧力変化を検出する圧力センサーを有する第１検査機構と、空間の外側に設けられ、空間外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサーを有する第２検査機構とを備える。当該リークテスタは、ワークを内部に収容し、この内部を気密状態に保持可能な収容部をさらに備え、前記トレーサーガスを検出するセンサーが、前記収容部内に配設されるとよい。当該リークテスタは、前記収容部が、前記ワークを収容する第１室及びこの第１室に連通する第２室を有し、第２室内を減圧する減圧機構をさらに備え、前記トレーサーガスを検出するセンサーが前記第２室内に配設されるとよい。【選択図】図１PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a leak tester capable of detecting a relatively large amount of gas leak of a work to a small amount of gas leak. SOLUTION: The leak tester according to the present invention has a mechanism for sealing a space of a work, a mechanism for supplying tracer gas to the space sealed by the sealing mechanism, and a pressure sensor for detecting a pressure change in the space. It includes an inspection mechanism and a second inspection mechanism provided outside the space and having a sensor for detecting tracer gas leaking out of the space. It is preferable that the leak tester further includes an accommodating portion capable of accommodating the work inside and holding the inside in an airtight state, and a sensor for detecting the tracer gas is disposed in the accommodating portion. The leak tester has a first chamber for accommodating the work and a second chamber for communicating with the first chamber, and further includes a decompression mechanism for depressurizing the second chamber to detect the tracer gas. The sensor may be arranged in the second chamber. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、リークテスタ及びリークテスト方法に関する。 The present invention relates to a leak tester and a leak test method.

従来、中空状のワークのガス漏れ等を検査するためにリークテスタが用いられている。また、このリークテスタとして、差圧式リークテスタが提案されている（特開平４−２２１７３３号公報参照）。この差圧式リークテスタは、ワーク内及び空気漏れのない中空状のマスター内に空気を満たした状態で、両者の圧力差を測定することでワーク内の空気漏れの有無を検査するものである。 Conventionally, a leak tester has been used in order to inspect gas leakage of a hollow workpiece. As this leak tester, a differential pressure type leak tester has been proposed (refer to Japanese Patent Laid-Open No. Hei 4-221733). This differential pressure type leak tester examines the presence or absence of air leakage in the workpiece by measuring the pressure difference between the workpiece and a hollow master without air leakage in a state where air is filled.

特開平４−２２１７３３号公報JP-A-4-221733

しかしながら、この差圧式リークテスタは、比較的空気漏れが多い場合には圧力差によってワーク内の空気漏れを検出できる一方、空気漏れがごく微量な場合には十分な圧力差が得られずワーク内の空気漏れを検出し難いという不都合を有する。 However, this differential pressure type leak tester can detect the air leak in the workpiece by the pressure difference when there is a relatively large amount of air leak. On the other hand, if the air leak is very small, a sufficient pressure difference cannot be obtained. There is a disadvantage that it is difficult to detect air leakage.

本発明は、このような事情に基づいてなされたものであり、本発明の目的は、ワークの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができるリークテスタ及びリークテスト方法を提供することにある。 The present invention has been made based on such circumstances, and an object of the present invention is to provide a leak tester and a leak test method capable of detecting from a relatively large amount of gas leakage to a small amount of gas leakage of a workpiece. There is to do.

前記課題を解決するためになされた本発明は、ワークが有する空間を密閉する機構と、前記密閉機構により密閉された空間にトレーサーガスを供給する機構と、前記空間の圧力変化を検出する圧力センサーを有する第１検査機構と、前記空間の外側に設けられ、空間外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサーを有する第２検査機構とを備えるリークテスタである。 The present invention made to solve the above problems includes a mechanism for sealing a space of a workpiece, a mechanism for supplying tracer gas to a space sealed by the sealing mechanism, and a pressure sensor for detecting a pressure change in the space. A leak tester comprising: a first inspection mechanism including: a second inspection mechanism that is provided outside the space and includes a sensor that detects tracer gas leaking out of the space.

当該リークテスタは、前記ワークを内部に収容し、この内部を気密状態に保持可能な収容部をさらに備え、前記トレーサーガスを検出するセンサーが、前記収容部内に配設されるとよい。 The leak tester may further include an accommodating portion that accommodates the workpiece inside and holds the inside of the workpiece in an airtight state, and a sensor that detects the tracer gas may be disposed in the accommodating portion.

前記収容部が、前記ワークを収容する第１室及びこの第１室に連通する第２室を有し、前記第２室内を減圧する減圧機構をさらに備え、前記トレーサーガスを検出するセンサーが、前記第２室内に配設されるとよい。 The storage unit includes a first chamber that stores the workpiece and a second chamber that communicates with the first chamber, and further includes a decompression mechanism that decompresses the second chamber, and a sensor that detects the tracer gas includes: It is good to arrange in the 2nd room.

前記トレーサーガスを検出するセンサーが、基板と、この基板の一方側に配設されるヒーターと、このヒーターの一方側に配設され、燃焼触媒を担持した担体を有する反応層とを有し、この反応層及びヒーターの近傍にサーモパイルの温接点が配設され、前記基板の近傍にサーモパイルの冷接点が配設される接触燃焼式サーモパイルセンサーであるとよい。 The sensor for detecting the tracer gas has a substrate, a heater disposed on one side of the substrate, and a reaction layer disposed on one side of the heater and having a carrier carrying a combustion catalyst, It is good to be a contact combustion type thermopile sensor in which a hot contact point of a thermopile is disposed in the vicinity of the reaction layer and the heater, and a cold contact point of the thermopile is disposed in the vicinity of the substrate.

また、前記課題を解決するためになされた本発明は、ワークが有する密閉された空間にトレーサーガスを供給する工程と、前記空間の圧力変化を検出する第１検査工程と、前記空間の外に漏洩するトレーサーガスを検出する第２検査工程とを備え、前記第１検査工程及び第２検査工程を同時に行うリークテスト方法である。 Moreover, this invention made | formed in order to solve the said subject WHEREIN: The process of supplying tracer gas to the sealed space which a workpiece | work has, the 1st test process which detects the pressure change of the said space, Outside the said space And a second inspection step for detecting a leaked tracer gas, wherein the first inspection step and the second inspection step are performed simultaneously.

本発明に係るリークテスタは、ワークが有する密閉された空間にトレーサーガスを満たした状態で、この空間の圧力変化を前記第１検査機構によって検出することでワークの微量なガス漏れ以外のガス漏れを検出することができる。また、当該リークテスタは、前記空間の外に漏洩するトレーサーガスを第２検査機構によって検出することでワークの微量なガス漏れを検出することができる。従って、当該リークテスタは、ワークの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができる。 The leak tester according to the present invention detects a gas leak other than a minute gas leak of the workpiece by detecting a pressure change in the space by the first inspection mechanism in a state where the sealed space of the workpiece is filled with the tracer gas. Can be detected. In addition, the leak tester can detect a small amount of gas leakage of the workpiece by detecting the tracer gas leaking out of the space by the second inspection mechanism. Accordingly, the leak tester can detect from a relatively large amount of gas leakage to a small amount of gas leakage of the workpiece.

また、本発明に係るリークテスト方法は、前記供給工程によってワークが有する密閉された空間にトレーサーガスを満たした状態で、第１検査工程によってこの空間の圧力変化を検出し、かつ第２検査工程によってこの空間外に漏洩するトレーサーガスを検出することで、ワークの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを同時に検出することができる。 In the leak test method according to the present invention, a pressure change in the space is detected by the first inspection step in a state where the sealed space of the workpiece is filled with the tracer gas by the supply step, and the second inspection step. By detecting the tracer gas leaking out of this space, it is possible to simultaneously detect from a relatively large amount of gas leakage to a very small amount of gas leakage of the workpiece.

本発明の一実施形態に係るリークテスタを示す模式図である。It is a mimetic diagram showing a leak tester concerning one embodiment of the present invention. 図１のリークテスタの第２検査機構が有するセンサーを示す模式的端面図である。It is a typical end view which shows the sensor which the 2nd test | inspection mechanism of the leak tester of FIG. 1 has. 図１のリークテスタと異なる実施形態に係るリークテスタを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the leak tester which concerns on embodiment different from the leak tester of FIG. 図１及び図３のリークテスタと異なる実施形態に係るリークテスタを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the leak tester which concerns on embodiment different from the leak tester of FIG.1 and FIG.3. 図１、図３及び図４のリークテスタと異なる実施形態に係るリークテスタを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the leak tester which concerns on embodiment different from the leak tester of FIG.1, FIG3 and FIG.4.

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.

［第一実施形態］
＜リークテスタ＞
図１のリークテスタ１は、ワークＸが有する空間Ｙを密閉する機構（密閉機構２）と、密閉機構２により密閉された空間Ｙにトレーサーガスを供給する機構（供給機構３）と、空間Ｙの圧力変化を検出する圧力センサー１１を有する第１検査機構４と、空間Ｙの外側に設けられ、空間Ｙの外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサー１２を有する第２検査機構５とを備える。供給機構３は、トレーサーガス供給器１３を有する。第１検査機構４は、圧力センサー１１と、マスター容器１４とを有する。また、当該リークテスタ１は、トレーサーガスを回収する機構（回収機構６）と、トレーサーガスを排出する機構（排出機構７）と、制御機構（不図示）とを備える。回収機構６は、トレーサーガス回収器２９を有する。排出機構７は、排出用配管２６を有する。密閉機構２、トレーサーガス供給器１３、圧力センサー１１、マスター容器１４、トレーサーガス回収器２９及び排出用配管２６は、配管で接続されている。なお、「ワークＸが有する空間Ｙ」とは、少なくともワークＸの表面を含む中空状の空間をいう。 [First embodiment]
<Leak tester>
The leak tester 1 in FIG. 1 includes a mechanism (sealing mechanism 2) for sealing a space Y of the workpiece X, a mechanism for supplying tracer gas to the space Y sealed by the sealing mechanism 2 (supply mechanism 3), A first inspection mechanism 4 having a pressure sensor 11 that detects a pressure change and a second inspection mechanism 5 that is provided outside the space Y and has a sensor 12 that detects a tracer gas leaking out of the space Y are provided. The supply mechanism 3 has a tracer gas supply unit 13. The first inspection mechanism 4 includes a pressure sensor 11 and a master container 14. The leak tester 1 includes a mechanism for collecting the tracer gas (collection mechanism 6), a mechanism for discharging the tracer gas (discharge mechanism 7), and a control mechanism (not shown). The recovery mechanism 6 has a tracer gas recovery device 29. The discharge mechanism 7 has a discharge pipe 26. The sealing mechanism 2, the tracer gas supply device 13, the pressure sensor 11, the master container 14, the tracer gas recovery device 29, and the discharge piping 26 are connected by piping. The “space Y included in the workpiece X” refers to a hollow space including at least the surface of the workpiece X.

（配管）
密閉機構２、トレーサーガス供給器１３、圧力センサー１１、マスター容器１４、トレーサーガス回収器２９及び排出用配管２６を接続する配管は、一端が密閉機構２に接続され、他端がマスター容器１４に接続される主配管２１ａと、一端が主配管２１ａに接続され、他端がトレーサーガス供給器１３に接続されるトレーサーガス供給用配管２１ｂと、一端が主配管２１ａに接続され、他端がトレーサーガス回収器２９に接続されるトレーサーガス回収用配管２１ｃと、両端が主配管２１ａに接続され中間に圧力センサー１１が配設される接続用配管２１ｄとを有する。また、排出用配管２６は、一端が主配管２１ａに接続され、他端が大気に開放されている。 (Plumbing)
The piping connecting the sealing mechanism 2, the tracer gas supply device 13, the pressure sensor 11, the master container 14, the tracer gas recovery device 29, and the discharge piping 26 has one end connected to the sealing mechanism 2 and the other end connected to the master container 14. Main pipe 21a to be connected, one end connected to the main pipe 21a, the other end connected to the tracer gas supply 13 and a tracer gas supply pipe 21b, one end connected to the main pipe 21a, and the other end to the tracer It has a tracer gas recovery pipe 21c connected to the gas recovery device 29, and a connection pipe 21d in which both ends are connected to the main pipe 21a and the pressure sensor 11 is disposed in the middle. The discharge pipe 26 has one end connected to the main pipe 21a and the other end open to the atmosphere.

〔ワーク〕
ワークＸとしては、ガス漏れ検査を必要とする種々の部材が挙げられ、例えばプラスチック容器、金属容器、ラミネート容器等の容器類、チューブレスタイヤ用ホイール、エンジンブロック、シリンダーヘッド等の自動車用部品、パイプ、継手、バルブ、コック等の配管部品などが挙げられる。〔work〕
Examples of the work X include various members that require a gas leak test. For example, containers such as plastic containers, metal containers, and laminate containers, tubeless tire wheels, engine blocks, automobile parts such as cylinder blocks, pipes, etc. And piping parts such as joints, valves and cocks.

（密閉機構）
密閉機構２は、主配管２１ａに接続されており、主配管２１ａとの接続部以外においてワークＸの空間Ｙを密閉可能に構成されている。密閉機構２としては、例えばワークＸが容器である場合にはこの容器の開口を封止する蓋、ワークＸがタイヤ用ホイールである場合にはこのタイヤ用ホイールの軸方向両端の一対のフランジ間に全周に亘って架け渡されるカバー、ワークＸが配管部品である場合には両端を封止する一対の蓋が挙げられる。なお、密閉機構２を構成する蓋等は、１つである必要はなく、複数の蓋等によってワークＸの空間Ｙを密閉してもよい。 (Sealing mechanism)
The sealing mechanism 2 is connected to the main pipe 21a, and is configured to be able to seal the space Y of the workpiece X in a portion other than the connection portion with the main pipe 21a. As the sealing mechanism 2, for example, when the workpiece X is a container, a lid that seals the opening of the container, and when the workpiece X is a tire wheel, between the pair of flanges at both ends in the axial direction of the tire wheel. A cover that spans the entire circumference, and a pair of lids that seal both ends when the workpiece X is a piping component. In addition, the lid | cover etc. which comprise the sealing mechanism 2 do not need to be one, You may seal the space Y of the workpiece | work X with a some lid | cover.

（供給機構）
供給機構３は、前述のようにトレーサーガス供給器１３を有する。トレーサーガス供給器１３は、主配管２１ａ及びトレーサーガス供給用配管２１ｂを介して密閉機構２及びマスター容器１４に接続されている。トレーサーガス供給用配管２１ｂには圧力計２８及びバルブ２７ｂが設けられている。また、トレーサーガス供給用配管２１ｂには、トレーサーガス供給器１３から供給されるトレーサーガスの圧力を調整する圧力調整弁（不図示）が設けられていてもよい。トレーサーガス供給器１３は、トレーサーガスを貯留し、このトレーサーガスを例えば数百ｋＰａオーダーの圧力で供給可能に構成されている。 (Supply mechanism)
The supply mechanism 3 has the tracer gas supplier 13 as described above. The tracer gas supply unit 13 is connected to the sealing mechanism 2 and the master container 14 via a main pipe 21a and a tracer gas supply pipe 21b. The tracer gas supply pipe 21b is provided with a pressure gauge 28 and a valve 27b. Further, the tracer gas supply pipe 21b may be provided with a pressure adjustment valve (not shown) for adjusting the pressure of the tracer gas supplied from the tracer gas supply unit 13. The tracer gas supply unit 13 is configured to store the tracer gas and supply the tracer gas at a pressure of the order of several hundred kPa, for example.

〔トレーサーガス〕
本実施形態におけるトレーサーガスとしては、第２検査機構５によって空間Ｙ外へのガス漏れを検出できるよう通常空気中に含まれない成分又は空気中における存在量の少ない成分を含むガスが用いられ、例えば水素、ヘリウム、これらのガスを含む混合ガス等が用いられる。 [Tracer gas]
As the tracer gas in the present embodiment, a gas that includes a component that is not normally contained in the air or a component that is not present in the air so that the second inspection mechanism 5 can detect a gas leak outside the space Y is used. For example, hydrogen, helium, a mixed gas containing these gases, or the like is used.

（第１検査機構）
第１検査機構４は、空間Ｙ内の圧力変化によってワークＸのガス漏れを検出する。第１検査機構４は、特に微量なガス漏れ以外のガス漏れを検出可能に構成されている。第１検査機構４は、前述のように圧力センサー１１と、マスター容器１４とを有する。 (First inspection mechanism)
The first inspection mechanism 4 detects a gas leak of the workpiece X based on a pressure change in the space Y. The first inspection mechanism 4 is configured to be able to detect gas leaks other than trace gas leaks. The first inspection mechanism 4 includes the pressure sensor 11 and the master container 14 as described above.

圧力センサー１１は、接続配管２１ｄを介して主配管２１ａの密閉機構２との接続部近傍及びマスター容器１４との接続部近傍に接続されている。圧力センサー１１は、２点間の圧力差を測定可能な差圧式圧力センサーである。具体的には、圧力センサー１１は、気密性を有する筐体と、この筐体の内部空間を気密的に隔絶してこの内部空間を２つの空間に区画するダイアフラムとを有する。圧力センサー１１は、ダイアフラムによって区画される一対の空間に圧力差が生じると、ダイアフラムが圧力が小さい空間側に向かって膨張することで差圧が生じていることを検出可能に構成されている。また、圧力センサー１１は、差圧が生じた場合のダイアフラムの変形量によって一対の空間の間で生じている差圧の大きさを検出可能に構成されている。これにより、圧力センサー１１は、空間Ｙとマスター容器１４内との差圧を測定可能に構成されている。なお、主配管２１ａの接続配管２１ｄとの接続部の上流側（トレーサーガス供給器１３側）には、一対のバルブ２７ａ，２７ｃが設けられている。 The pressure sensor 11 is connected to the vicinity of the connecting portion with the sealing mechanism 2 of the main piping 21a and the connecting portion with the master container 14 through the connecting piping 21d. The pressure sensor 11 is a differential pressure sensor that can measure a pressure difference between two points. Specifically, the pressure sensor 11 includes an airtight casing and a diaphragm that hermetically isolates the internal space of the casing and partitions the internal space into two spaces. The pressure sensor 11 is configured to be able to detect that a differential pressure is generated by expansion of the diaphragm toward a space where the pressure is small when a pressure difference is generated in a pair of spaces partitioned by the diaphragm. Further, the pressure sensor 11 is configured to be able to detect the magnitude of the differential pressure generated between the pair of spaces based on the deformation amount of the diaphragm when the differential pressure is generated. Thereby, the pressure sensor 11 is configured to be able to measure a differential pressure between the space Y and the inside of the master container 14. In addition, a pair of valves 27a and 27c are provided on the upstream side (the tracer gas supplier 13 side) of the connection portion of the main pipe 21a with the connection pipe 21d.

マスター容器１４は、圧力センサー１１によって差圧を測定する際に基準となる圧力を保持するための容器であり、気密性を有する。マスター容器１４としては、ワークＸと同一の内部容積を有しガス漏れがないことが確認された疑似ワークや、ガス漏れがないことが確認されたワークＸ等、ガス漏れのない種々の容器を用いることが可能である。 The master container 14 is a container for holding a reference pressure when the differential pressure is measured by the pressure sensor 11 and has airtightness. As the master container 14, various containers that have the same internal volume as the work X and have no gas leakage, such as a pseudo work that has been confirmed to have no gas leakage, or a work X that has been confirmed to have no gas leakage, can be used. It is possible to use.

（第２検査機構）
第２検査機構５は、第１検査機構４によっては検出できないワークＸの微細な隙間からのガス漏れを検出する。第２検査機構５は、センサー１２を内蔵するスニファープローブ１５を有する。第２検査機構５は、ワークＸにおけるガス漏れのおそれがある部分にスニファープローブ１５を近づけた状態で、センサー１２によってトレーサーガスの漏洩の検出するよう構成されている。空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサー１２は、接触燃焼式サーモパイルセンサー（以下、単に「サーモパイルセンサー」ともいう）である。以下、図２を参照して、本実施形態におけるサーモパイルセンサーについて説明する。 (Second inspection mechanism)
The second inspection mechanism 5 detects a gas leak from a minute gap of the workpiece X that cannot be detected by the first inspection mechanism 4. The second inspection mechanism 5 includes a sniffer probe 15 that incorporates a sensor 12. The second inspection mechanism 5 is configured to detect the leakage of the tracer gas by the sensor 12 in a state where the sniffer probe 15 is brought close to a portion where there is a risk of gas leakage in the workpiece X. The sensor 12 for detecting the tracer gas leaking out of the space Y is a contact combustion type thermopile sensor (hereinafter also simply referred to as “thermopile sensor”). Hereinafter, the thermopile sensor according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

（サーモパイルセンサー）
前記サーモパイルセンサーは、トレーサーガスが燃焼する際に発生する燃焼熱を検出することでトレーサーガスを検量可能に構成されている。前記サーモパイルセンサーは、基板３２と、この基板３２の一方側に配設されるヒーター３４と、このヒーター３４の一方側に配設され、燃焼触媒を担持した担体を有する反応層３５とを有し、この反応層３５及びヒーター３４の近傍にサーモパイルの温接点が配設され、基板３２の近傍にサーモパイルの冷接点が配設されている。具体的には、前記サーモパイルセンサーは、開口３１を有し、シリコン等を主成分とする基板３２と、基板３２の一方側に積層される第１絶縁層３３と、第１絶縁層３３の一方側に配設される複数のｎ型熱電素子３６ａと、複数のｎ型熱電素子３６ａの一方側を覆うように基板３２の一方側に積層される第２絶縁層３８と、第２絶縁層３８の一方側に配設される複数のｐ型熱電素子３６ｂと、複数のｐ型熱電素子３６ｂを被覆するように第２絶縁層３８の一方側に積層される第３絶縁層３９と、開口３１の一方側において第３絶縁層３９の一方側に配設されるヒーター３４と、ｐ型熱電素子３６ｂに接続され、第３絶縁層３９を貫通する配線４０と、ヒーター３４、第３絶縁層３９及び配線４０の一方側に積層される保護層３７と、保護層３７を介してヒーター３４の一方側に積層される反応層３５とを主として有する。前記サーモパイルセンサーは、複数のｎ型熱電素子３６ａ及び複数のｐ型熱電素子３６ｂが接続されることで形成される複数の熱電対を有し、この複数の熱電対は、隣接するｎ型熱電素子３６ａ及びｐ型熱電素子３６ｂの内側端部を接続した温接点を開口３１の一方側に有すると共に、隣接するｎ型熱電素子３６ａ及びｐ型熱電素子３６ｂの外側端部を接続した冷接点を基板３２の一方側に有する。前記サーモパイルセンサーは、複数のｎ型熱電素子３６ａ及び複数のｐ型熱電素子３６ｂが温接点及び冷接点で直列接続されることで、複数の熱電対が直列接続されたサーモパイル構成を有する。 (Thermopile sensor)
The thermopile sensor is configured such that the tracer gas can be calibrated by detecting combustion heat generated when the tracer gas is burned. The thermopile sensor has a substrate 32, a heater 34 disposed on one side of the substrate 32, and a reaction layer 35 disposed on one side of the heater 34 and having a carrier carrying a combustion catalyst. A hot contact point of the thermopile is disposed in the vicinity of the reaction layer 35 and the heater 34, and a cold contact point of the thermopile is disposed in the vicinity of the substrate 32. Specifically, the thermopile sensor has an opening 31, a substrate 32 mainly composed of silicon or the like, a first insulating layer 33 stacked on one side of the substrate 32, and one of the first insulating layers 33. A plurality of n-type thermoelectric elements 36a disposed on the side, a second insulating layer 38 stacked on one side of the substrate 32 so as to cover one side of the plurality of n-type thermoelectric elements 36a, and a second insulating layer 38 A plurality of p-type thermoelectric elements 36b disposed on one side of the first insulating layer 38, a third insulating layer 39 stacked on one side of the second insulating layer 38 so as to cover the plurality of p-type thermoelectric elements 36b, and an opening 31. One side of the heater 34 disposed on one side of the third insulating layer 39, a wiring 40 connected to the p-type thermoelectric element 36b and penetrating the third insulating layer 39, the heater 34, and the third insulating layer 39 And a protective layer 37 laminated on one side of the wiring 40 and the protective layer 3 Mainly and a reaction layer 35 which is laminated on one side of the heater 34 through the. The thermopile sensor has a plurality of thermocouples formed by connecting a plurality of n-type thermoelectric elements 36a and a plurality of p-type thermoelectric elements 36b, and the plurality of thermocouples are adjacent n-type thermoelectric elements. 36a and a p-type thermoelectric element 36b having a hot junction connected to the inner end of one side of the opening 31, and a cold junction connecting the outer end of the adjacent n-type thermoelectric element 36a and p-type thermoelectric element 36b to the substrate 32 on one side. The thermopile sensor has a thermopile configuration in which a plurality of n-type thermoelectric elements 36a and a plurality of p-type thermoelectric elements 36b are connected in series at a hot junction and a cold junction so that a plurality of thermocouples are connected in series.

当該リークテスタ１は、トレーサーガスを検出するセンサー１２がサーモパイルセンサーであることによって、広ダイナミックレンジ、かつ高速応答でトレーサーガスの漏洩を検出することができる。特に、トレーサーガスを検出するセンサーとして従来の半導体センサーを用いると、トレーサーガスが高濃度である場合にはセンサー出力が飽和して測定精度が低下するおそれがあると共に、センサーが疲弊してセンサー使用後の復帰時間も長くなる。また、従来の半導体センサーは、高濃度のトレーサーガスに晒されると、センサーの性能が劣化するおそれや、故障のリスクが高くなる。つまり、従来の半導体センサーは、比較的多量なガス漏れが生じるおそれがある場合には使用し難い。これに対し、トレーサーガスを検出するセンサー１２がサーモパイルセンサーである場合、出力飽和の問題が生じないことに加え、使用後の復帰時間を短縮することができると共に故障のリスクも低減することができるので、多量なガス漏れを検出した場合でも不具合が起こり難い。 The leak tester 1 can detect the leakage of the tracer gas with a wide dynamic range and a high-speed response, because the sensor 12 for detecting the tracer gas is a thermopile sensor. In particular, when a conventional semiconductor sensor is used as a sensor for detecting tracer gas, if the tracer gas is at a high concentration, the sensor output may saturate and the measurement accuracy may decrease, and the sensor may be exhausted and used. Later return time will also be longer. In addition, when a conventional semiconductor sensor is exposed to a high concentration of tracer gas, the performance of the sensor may be deteriorated and the risk of failure increases. That is, the conventional semiconductor sensor is difficult to use when there is a risk that a relatively large amount of gas leakage occurs. On the other hand, when the sensor 12 for detecting the tracer gas is a thermopile sensor, the problem of output saturation does not occur, the return time after use can be shortened, and the risk of failure can also be reduced. Therefore, even when a large amount of gas leakage is detected, it is difficult for trouble to occur.

（回収機構）
回収機構６は、ワークＸのガス漏れ検査後にトレーサーガスを回収可能に構成されている。回収機構６は、前述のようにトレーサーガス回収器２９を有する。トレーサーガス回収器２９は、トレーサーガス回収用配管２１ｃを介して主配管２１ａに接続されている。また、トレーサーガス回収用配管２１ｃにはバルブ２７ｄが設けられている。 (Recovery mechanism)
The recovery mechanism 6 is configured to be able to recover the tracer gas after the work X is inspected for gas leakage. The recovery mechanism 6 has the tracer gas recovery device 29 as described above. The tracer gas recovery unit 29 is connected to the main pipe 21a via a tracer gas recovery pipe 21c. In addition, a valve 27d is provided in the tracer gas recovery pipe 21c.

（排出機構）
排出機構７は、ワークＸのガス漏れ検査後にトレーサーガスを排出可能に構成されている。排出機構７は、前述のように一端が主配管２１ａに接続され他端が大気に開放された排出用配管２６を有する。また、排出用配管２６にはバルブ２７ｅが設けられている。 (Discharge mechanism)
The discharge mechanism 7 is configured to be able to discharge the tracer gas after the gas leakage inspection of the workpiece X. As described above, the discharge mechanism 7 includes the discharge pipe 26 having one end connected to the main pipe 21a and the other end open to the atmosphere. Further, the discharge pipe 26 is provided with a valve 27e.

（制御機構）
制御機構は、当該リークテスタ１の動作を制御するもので、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等を備えるコンピュータを有する構成とされる。前記制御機構は、バルブ２７ａ〜２７ｅの開閉動作を制御する。また前記制御機構は、圧力センサー１１によって検出した差圧に基づいて空間Ｙからのガス漏れの有無を判断する。 (Control mechanism)
The control mechanism controls the operation of the leak tester 1, and includes a computer including a CPU, ROM, RAM, HDD, and the like, for example. The control mechanism controls the opening / closing operation of the valves 27a to 27e. Further, the control mechanism determines the presence or absence of gas leakage from the space Y based on the differential pressure detected by the pressure sensor 11.

＜リークテスト方法＞
次に、当該リークテスタ１を用いたリークテスト方法を説明する。当該リークテスト方法は、ワークＸが有する密閉された空間Ｙにトレーサーガスを供給する工程（供給工程）と、空間Ｙの圧力変化を検出する第１検査工程と、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出する第２検査工程とを備える。また、当該リークテスト方法は、前記第１検査工程及び第２検査工程後にトレーサーガスを回収する工程（回収工程）をさらに備えてもよい。当該リークテスト方法は、前記第１検査工程及び第２検査工程を同時に行う。 <Leak test method>
Next, a leak test method using the leak tester 1 will be described. The leak test method includes a step of supplying a tracer gas into a sealed space Y of the workpiece X (a supply step), a first inspection step of detecting a pressure change in the space Y, and a tracer gas leaking out of the space Y. And a second inspection step for detecting. The leak test method may further include a step (recovery step) of collecting tracer gas after the first inspection step and the second inspection step. In the leak test method, the first inspection step and the second inspection step are performed simultaneously.

（供給工程）
前記供給工程は、供給機構３によって行われる。前記供給工程では、バルブ２７ａ〜２７ｅが全て閉じられた状態において、バルブ２７ａ〜２７ｃを開く。そして、前記供給工程では、トレーサーガス供給器１３からトレーサーガスを空間Ｙ及びマスター容器１４内に供給する。これにより、空間Ｙ及びマスター容器１４内の内圧が高くなる。さらに、前記供給工程では、空間Ｙ及びマスター容器１４内の内圧が高くなった状態でバルブ２７ａ，２７ｃを閉じる。これにより、バルブ２７ａ，２７ｃよりも下流側におけるトレーサーガスの通路が、バルブ２７ａ，２７ｃよりも上流側の通路から遮断された密閉空間として構成される。なお、バルブ２７ａ，２７ｃは、空間Ｙの圧力及びマスター容器１４内の圧力が同じとなったことを確認した上で閉じることが好ましい。前記供給工程における空間Ｙ及びマスター容器１４内の圧力としては、例えば５ｋＰａ以上１ＭＰａ以下程度とされる。 (Supply process)
The supply process is performed by the supply mechanism 3. In the supplying step, the valves 27a to 27c are opened in a state where the valves 27a to 27e are all closed. In the supply step, the tracer gas is supplied from the tracer gas supply unit 13 into the space Y and the master container 14. Thereby, the internal pressure in the space Y and the master container 14 becomes high. Further, in the supplying step, the valves 27a and 27c are closed with the internal pressure in the space Y and the master container 14 increased. Thereby, the passage of the tracer gas downstream of the valves 27a and 27c is configured as a sealed space blocked from the passage upstream of the valves 27a and 27c. The valves 27a and 27c are preferably closed after confirming that the pressure in the space Y and the pressure in the master container 14 are the same. The pressure in the space Y and the master container 14 in the supply process is, for example, about 5 kPa to 1 MPa.

（第１検査工程）
前記第１検査工程は、第１検査機構４によって行われる。前記第１検査工程では、バルブ２７ａ，２７ｃが閉じられた状態で、圧力センサー１１によって空間Ｙのガス漏れの有無を検査する。具体的には、バルブ２７ａ，２７ｃが閉じられた状態で、空間Ｙにガス漏れが生じると空間Ｙの内圧が低下する。これにより、圧力センサー１１の一方の空間の内圧が低下するので、圧力センサー１１の一対の空間に一定以上の差圧が生じた場合に前記ダイアフラムによってこの差圧を検出することができる。一方、前記第１検査工程では、空間Ｙにガス漏れが生じていない場合、又はガス漏れが生じてもこのガス漏れ量が微量である場合には前記ダイアフラムによってガス漏れは検出されない。なお、第１検査工程によって検出されるガス漏れ量の下限としては、例えば１０^−４Ｐａ・ｍ^３／ｓ程度とされる。 (First inspection process)
The first inspection step is performed by the first inspection mechanism 4. In the first inspection step, the pressure sensor 11 inspects whether there is a gas leak in the space Y while the valves 27a and 27c are closed. Specifically, when gas leakage occurs in the space Y with the valves 27a and 27c closed, the internal pressure of the space Y decreases. Thereby, since the internal pressure of one space of the pressure sensor 11 falls, when the pressure difference more than a fixed level arises in a pair of space of the pressure sensor 11, this differential pressure | voltage can be detected with the said diaphragm. On the other hand, in the first inspection step, when there is no gas leak in the space Y, or when a gas leak occurs, the gas leak is not detected by the diaphragm. In addition, as a minimum of the amount of gas leaks detected by a 1st test process, it shall be about 10 ^<-4 > Pa * m < ³ > / s, for example.

（第２検査工程）
前記第２検査工程は、第２検査機構５によって行われる。前記第２検査工程では、バルブ２７ａ，２７ｃが閉じられた状態で、スニファープローブ１５を微量なガス漏れのおそれがある部分に近づけ、前記サーモパイルセンサーによってガス漏れの有無を検査する。以下、前記サーモパイルセンサーによるガス漏れ検査方法を説明する。 (Second inspection process)
The second inspection step is performed by the second inspection mechanism 5. In the second inspection step, with the valves 27a and 27c closed, the sniffer probe 15 is brought close to a portion where there is a possibility of a slight gas leak, and the presence or absence of gas leak is inspected by the thermopile sensor. Hereinafter, a gas leak inspection method using the thermopile sensor will be described.

前記サーモパイルセンサーは、トレーサーガスを触媒燃焼させる反応層３５を有するので、ヒーター３４の発熱によってトレーサーガスを燃焼させることができる。前記サーモパイルセンサーは、このトレーサーガスが燃焼すると、反応層３５側に形成された温接点の温度が反応層３５の温度と略同一となる一方、基板３２側に形成された冷接点の温度は反応層３５の温度に起因して上昇しない。これにより、前記サーモパイルセンサーは、温接点と冷接点との温度差により電圧を生じ、サーモパイルが温度検出信号を出力する。これにより、前記サーモパイルセンサーは、トレーサーガスの空間Ｙからの漏洩の有無を検出することができる。なお、第２検査工程によって検出されるガス漏れ量としては、例えば０．５体積ｐｐｍ以上２体積％以下程度とされる。 Since the thermopile sensor has the reaction layer 35 that catalytically burns the tracer gas, the tracer gas can be burned by the heat generated by the heater 34. In the thermopile sensor, when the tracer gas burns, the temperature of the hot junction formed on the reaction layer 35 side becomes substantially the same as the temperature of the reaction layer 35, while the temperature of the cold junction formed on the substrate 32 side reacts. Does not rise due to the temperature of layer 35. Thereby, the thermopile sensor generates a voltage due to the temperature difference between the hot junction and the cold junction, and the thermopile outputs a temperature detection signal. Thereby, the thermopile sensor can detect the presence or absence of leakage from the space Y of the tracer gas. The amount of gas leakage detected by the second inspection process is, for example, about 0.5 ppm by volume to 2% by volume.

（回収工程）
前記回収工程は、回収機構６によって行われる。前記回収工程では、第１検査工程及び第２検査工程後にバルブ２７ｂ，２７ｅが閉じられた状態でバルブ２７ａ，２７ｃ，２７ｄを開き、トレーサーガスをトレーサーガス回収器２９に回収する。なお、前記回収工程では、例えば吸引ポンプ（不図示）等を用いてトレーサーガスをトレーサーガス回収器２９に回収するようにしてもよい。 (Recovery process)
The collection step is performed by the collection mechanism 6. In the recovery step, the valves 27a, 27c, 27d are opened with the valves 27b, 27e closed after the first inspection step and the second inspection step, and the tracer gas is recovered in the tracer gas recovery unit 29. In the recovery step, the tracer gas may be recovered in the tracer gas recovery device 29 using, for example, a suction pump (not shown).

なお、当該リークテスト方法は、トレーサーガスを有効利用する点からは前記回収工程によってトレーサーガスをトレーサーガス回収器２９に回収することが好ましいが、必要に応じて不要になったトレーサーガスを排出してもよい。このトレーサーガスを排出する工程（排出工程）は、排出機構７によって行われる。前記排出工程では、バルブ２７ｂ，２７ｄが閉じられた状態でバルブ２７ａ，２７ｃ，２７ｅを開き、トレーサーガスを排出用配管２６から大気中に排出する。 In the leak test method, it is preferable to collect the tracer gas in the tracer gas recovery device 29 by the recovery step from the viewpoint of effective use of the tracer gas, but the unnecessary tracer gas is discharged as necessary. May be. The step of discharging the tracer gas (discharge step) is performed by the discharge mechanism 7. In the discharge step, the valves 27a, 27c, and 27e are opened with the valves 27b and 27d being closed, and the tracer gas is discharged from the discharge pipe 26 to the atmosphere.

＜利点＞
当該リークテスタ１は、ワークＸが有する密閉された空間Ｙにトレーサーガスを満たした状態で、この空間Ｙの圧力変化を第１検査機構４によって検出することでワークＸの微量なガス漏れ以外のガス漏れを検出することができる。また、当該リークテスタ１は、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを第２検査機構５によって検出することでワークＸの微量なガス漏れを検出することができる。従って、当該リークテスタ１は、ワークＸの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができる。 <Advantages>
The leak tester 1 detects a change in pressure in the space Y by the first inspection mechanism 4 in a state where the sealed space Y of the work X is filled with a tracer gas, so that a gas other than a small amount of gas leakage from the work X is detected. A leak can be detected. Further, the leak tester 1 can detect a trace gas leak of the workpiece X by detecting the tracer gas leaking out of the space Y by the second inspection mechanism 5. Accordingly, the leak tester 1 can detect from a relatively large amount of gas leakage to a small amount of gas leakage of the workpiece X.

当該リークテスト方法は、前記供給工程によってワークＸが有する密閉された空間Ｙにトレーサーガスを満たした状態で、前記第１検査工程によってこの空間Ｙの圧力変化を検出し、かつ前記第２検査工程によってこの空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出することで、ワークＸの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを同時に検出することができる。 In the leak test method, a pressure change in the space Y is detected by the first inspection step in a state where the sealed space Y of the workpiece X is filled with the tracer gas by the supply step, and the second inspection step. Thus, by detecting the tracer gas leaking out of the space Y, it is possible to detect from a relatively large amount of gas leakage to a small amount of gas leakage of the workpiece X at the same time.

［第２実施形態］
＜リークテスタ＞
図３のリークテスタ５１は、ワークＸが有する空間Ｙを密閉する機構（密閉機構２）と、密閉機構２により密閉された空間Ｙにトレーサーガスを供給する機構（供給機構５３）と、空間Ｙの圧力変化を検出する圧力センサー１１を有する第１検査機構４と、空間Ｙの外側に設けられ、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサー１２を有する第２検査機構５とを備える。また、当該リークテスタ５１は、トレーサーガスを回収する機構（回収機構６）と、トレーサーガスを排出する機構（排出機構７）と、制御機構（不図示）とを備える。密閉機構２、供給機構５３、第１検査機構４、回収機構６及び排出機構７は配管で接続されている。当該リークテスタ５１における密閉機構２、第１検査機構４、第２検査機構５、回収機構６、排出機構７及び制御機構は、図１のリークテスタ１と同様のため同一符号を付して説明を省略する。 [Second Embodiment]
<Leak tester>
3 includes a mechanism (sealing mechanism 2) for sealing the space Y of the workpiece X, a mechanism for supplying tracer gas to the space Y sealed by the sealing mechanism 2 (supply mechanism 53), A first inspection mechanism 4 having a pressure sensor 11 that detects a pressure change, and a second inspection mechanism 5 that is provided outside the space Y and has a sensor 12 that detects tracer gas leaking out of the space Y are provided. The leak tester 51 includes a mechanism (collection mechanism 6) for collecting the tracer gas, a mechanism (discharge mechanism 7) for discharging the tracer gas, and a control mechanism (not shown). The sealing mechanism 2, the supply mechanism 53, the first inspection mechanism 4, the recovery mechanism 6, and the discharge mechanism 7 are connected by piping. Since the sealing mechanism 2, the first inspection mechanism 4, the second inspection mechanism 5, the recovery mechanism 6, the discharge mechanism 7 and the control mechanism in the leak tester 51 are the same as the leak tester 1 in FIG. To do.

（配管）
密閉機構２、供給機構５３、第１検査機構４、回収機構６及び排出機構７を接続する配管は、一端が主配管２１ａに接続され、他端が第１トレーサーガス供給器５４に接続される第１トレーサーガス供給用配管２１ｅを有する以外は、図１のリークテスタ１と同様に構成される。なお、本実施形態においては、接続用配管２１ｄにおける圧力センサー１１よりも密閉機構２側の部分にバルブ２７ｇが設けられている。 (Plumbing)
One end of the pipe connecting the sealing mechanism 2, the supply mechanism 53, the first inspection mechanism 4, the recovery mechanism 6, and the discharge mechanism 7 is connected to the main pipe 21 a and the other end is connected to the first tracer gas supplier 54. Except for having the first tracer gas supply pipe 21e, it is configured in the same manner as the leak tester 1 of FIG. In the present embodiment, a valve 27g is provided in a portion closer to the sealing mechanism 2 than the pressure sensor 11 in the connecting pipe 21d.

（供給機構）
供給機構５３は、第１トレーサーガス供給器５４と、第２トレーサーガス供給器１３とを有する。第１トレーサーガス供給器５４は、第１トレーサーガス供給用配管２１ｅ及び主配管２１ａを介して密閉機構２及びマスター容器１４に接続されている。第１トレーサーガス供給用配管２１ｅにはバルブ２７ｆが設けられている。第２トレーサーガス供給器１３は、図１のトレーサーガス供給器１３と同様の構成を有し、トレーサーガス供給用配管２１ｂ及び主配管２１ａを介して密閉機構２及びマスター容器１４に接続されている。第１トレーサーガス供給器５４は、トレーサーガスとして空気を貯留する以外は第２トレーサーガス供給器１３と同様に構成されている。 (Supply mechanism)
The supply mechanism 53 includes a first tracer gas supply unit 54 and a second tracer gas supply unit 13. The first tracer gas supply unit 54 is connected to the sealing mechanism 2 and the master container 14 via the first tracer gas supply pipe 21e and the main pipe 21a. The first tracer gas supply pipe 21e is provided with a valve 27f. The second tracer gas supply unit 13 has the same configuration as the tracer gas supply unit 13 of FIG. 1, and is connected to the sealing mechanism 2 and the master container 14 via the tracer gas supply pipe 21b and the main pipe 21a. . The first tracer gas supply unit 54 is configured in the same manner as the second tracer gas supply unit 13 except that air is stored as the tracer gas.

＜リークテスト方法＞
当該リークテスタ５１を用いたリークテスト方法は、第１トレーサーガス供給工程と、第１検査工程と、第１トレーサーガス排出工程と、第２トレーサーガス供給工程と、第２検出工程とを備える。また、当該リークテスト方法は、第２検査工程後に、第２トレーサーガス供給工程で供給したトレーサーガスを回収する回収工程をさらに備えていてもよい。当該リークテスト方法は、第１トレーサーガス供給工程で供給したトレーサーガスを用いて第１検査工程を行い、この第１検査工程で用いたトレーサーガスを排出した後に第２トレーサーガス供給工程で供給したトレーサーガスを用いて第２検査工程を行う。 <Leak test method>
The leak test method using the leak tester 51 includes a first tracer gas supply step, a first inspection step, a first tracer gas discharge step, a second tracer gas supply step, and a second detection step. The leak test method may further include a recovery step of recovering the tracer gas supplied in the second tracer gas supply step after the second inspection step. In the leak test method, the first inspection process is performed using the tracer gas supplied in the first tracer gas supply process, and the tracer gas used in the first inspection process is discharged and then supplied in the second tracer gas supply process. A second inspection process is performed using a tracer gas.

（第１トレーサーガス供給工程）
前記第１トレーサーガス供給工程は、供給機構５３によって行われる。前記第１トレーサーガス供給工程では、まずバルブ２７ａ〜２７ｇが全て閉じられた状態において、バルブ２７ａ，２７ｃ，２７ｆ，２７ｇを開く。そして、前記第１トレーサーガス供給工程では、第１トレーサーガス供給器５４からトレーサーガスである空気を空間Ｙ及びマスター容器１４内に供給する。これにより、空間Ｙ及びマスター容器１４内の内圧が高くなる。さらに、前記第１トレーサーガス供給工程では、空間Ｙ及びマスター容器１４内の内圧が高くなった状態でバルブ２７ａ，２７ｃを閉じる。これにより、バルブ２７ａ，２７ｃよりも下流側における空気の通路が、バルブ２７ａ，２７ｃよりも上流側の通路から遮断された密閉空間として構成される。 (First tracer gas supply process)
The first tracer gas supply process is performed by the supply mechanism 53. In the first tracer gas supply step, first, the valves 27a, 27c, 27f, and 27g are opened while all the valves 27a to 27g are closed. In the first tracer gas supply step, air, which is a tracer gas, is supplied from the first tracer gas supply unit 54 into the space Y and the master container 14. Thereby, the internal pressure in the space Y and the master container 14 becomes high. Further, in the first tracer gas supply step, the valves 27a and 27c are closed with the internal pressure in the space Y and the master container 14 increased. Thereby, the air passage on the downstream side of the valves 27a and 27c is configured as a sealed space blocked from the passage on the upstream side of the valves 27a and 27c.

（第１検査工程）
前記第１検査工程は、図１のリークテスタ１を用いたリークテスト方法における第１検査工程と同様に行うことができる。 (First inspection process)
The first inspection step can be performed in the same manner as the first inspection step in the leak test method using the leak tester 1 of FIG.

（第１トレーサーガス排出工程）
前記第１トレーサーガス排出工程は、排出機構７によって行われる。前記第１トレーサーガス排出工程では、バルブ２７ｂ，２７ｄ，２７ｆが閉じられた状態でバルブ２７ａ，２７ｃ，２７ｅ，２７ｇを開き、空気を排出用配管２６から大気中に排出する。 (First tracer gas discharge process)
The first tracer gas discharge step is performed by the discharge mechanism 7. In the first tracer gas discharge step, the valves 27a, 27c, 27e, and 27g are opened with the valves 27b, 27d, and 27f being closed, and air is discharged from the discharge pipe 26 to the atmosphere.

（第２トレーサーガス供給工程）
前記第２トレーサーガス供給工程は、図１のリークテスタ１を用いたリークテスト方法における供給工程と同様に行うことができる。また、前記第２トレーサーガス供給工程は、バルブ２７ｃ〜２７ｇを閉じた状態でトレーサーガスを供給し、これによりこのトレーサーガスをマスター容器１４には供給せず、空間Ｙにのみ供給してもよい。当該リークテスト方法は、トレーサーガスを空間Ｙのみに供給することによって、水素、ヘリウム等を含むトレーサーガスの消費を抑え、検査コストを低減することができる。 (Second tracer gas supply process)
The second tracer gas supply step can be performed in the same manner as the supply step in the leak test method using the leak tester 1 of FIG. In the second tracer gas supply step, the tracer gas may be supplied with the valves 27c to 27g being closed, whereby the tracer gas may not be supplied to the master container 14 but supplied only to the space Y. . In the leak test method, by supplying the tracer gas only to the space Y, the consumption of the tracer gas containing hydrogen, helium and the like can be suppressed, and the inspection cost can be reduced.

（第２検査工程）
前記第２検出工程は、図１のリークテスタ１を用いたリークテスト方法における第２検査工程と同様に行うことができる。 (Second inspection process)
The second detection step can be performed in the same manner as the second inspection step in the leak test method using the leak tester 1 of FIG.

（回収工程）
前記回収工程は、図１のリークテスタ１を用いたリークテスト方法における回収工程と同様に行うことができる。 (Recovery process)
The recovery step can be performed in the same manner as the recovery step in the leak test method using the leak tester 1 of FIG.

＜利点＞
当該リークテスタ５１は、図１のリークテスタ１と同様、ワークＸの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができる。なお、当該リークテスタ５１は、仮に第１検査機構４によってガスの漏洩が検出された場合、第２検査機構５による検査を取り止めてもよい。この場合、当該リークテスタ５１は、水素、ヘリウム等を含むトレーサーガスの消費を抑え、検査コストを低減することができる。 <Advantages>
The leak tester 51 can detect from a relatively large amount of gas leakage to a small amount of gas leakage of the workpiece X, similarly to the leak tester 1 of FIG. The leak tester 51 may cancel the inspection by the second inspection mechanism 5 if gas leakage is detected by the first inspection mechanism 4. In this case, the leak tester 51 can suppress the consumption of the tracer gas containing hydrogen, helium, etc., and reduce the inspection cost.

当該リークテスト方法は、図１のリークテスタ１を用いたリークテスト方法と同様、ワークＸの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができる。また、当該リークテスト方法は、仮に第１検査工程によってガスの漏洩が検出された場合、第２検査工程を取り止めることができ、これにより水素、ヘリウム等を含むトレーサーガスの消費を抑え、検査コストを低減することができる。 The leak test method can detect from a relatively large amount of gas leak to a small amount of gas leak of the workpiece X, as in the leak test method using the leak tester 1 of FIG. Further, the leak test method can cancel the second inspection process if gas leakage is detected in the first inspection process, thereby suppressing the consumption of tracer gas containing hydrogen, helium, etc. Can be reduced.

［第三実施形態］
＜リークテスタ＞
図４のリークテスタ６１は、ワークＸを内部に収容し、この内部を気密状態に保持可能な収容部６２を備え、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサー１２が収容部６２内に配設される以外は図１のリークテスタ１と同様に構成される。そのため、以下では収容部６２についてのみ説明する。 [Third embodiment]
<Leak tester>
The leak tester 61 shown in FIG. 4 includes a storage unit 62 that stores the workpiece X therein and can maintain the inside of the workpiece X in an airtight state, and a sensor 12 that detects tracer gas leaking out of the space Y is disposed in the storage unit 62. Except for being provided, it is configured in the same manner as the leak tester 1 of FIG. Therefore, only the accommodating part 62 is demonstrated below.

（収容部）
収容部６２は、主配管２１ａが挿入される第１貫通孔及びスニファープローブ１５の先端部１５ａが挿入される第２貫通孔を有し、主配管２１ａ及びスニファープローブ１５の先端部１５ａが一対の貫通孔に挿入された状態で内部を気密状態に保持可能に構成されている。詳細には、収容部６２は、主配管２１ａとの接続部以外におけるガスの出入りが防止されるよう構成されている。 (Container)
The accommodating part 62 has a first through hole into which the main pipe 21a is inserted and a second through hole into which the tip part 15a of the sniffer probe 15 is inserted, and the tip part 15a of the main pipe 21a and the sniffer probe 15 is a pair. It is configured to be able to hold the inside in an airtight state while being inserted into the through hole. In detail, the accommodating part 62 is comprised so that the entrance / exit of gas other than a connection part with the main piping 21a may be prevented.

収容部６２の形成材料としては、内部を気密状態に保持可能である限り特に限定されるものではなく、合成樹脂、金属等が挙げられる。また、収容部６２の容積としては、密閉機構２によって密閉された状態のワークＸを内部に収容可能である限り特に限定されるものではない。但し、収容部６２の容積は、収容部６２内に漏洩されたトレーサーガスを効果的に検出できる点から小さい方が好ましい。具体的には、ワークＸの体積に対する収容部６２の容積の比の上限としては、４が好ましく、２がより好ましく、１．５がさらに好ましい。一方、ワークＸの体積に対する収容部６２の容積の比の下限としては、ワークＸの収容容易性の点から、例えば１．２とすることができる。 The material for forming the accommodating portion 62 is not particularly limited as long as the inside can be kept airtight, and examples thereof include synthetic resins and metals. Further, the capacity of the accommodating portion 62 is not particularly limited as long as the workpiece X sealed by the sealing mechanism 2 can be accommodated therein. However, it is preferable that the volume of the storage portion 62 is small from the viewpoint that the tracer gas leaked into the storage portion 62 can be detected effectively. Specifically, the upper limit of the ratio of the volume of the accommodating portion 62 to the volume of the workpiece X is preferably 4, more preferably 2, and even more preferably 1.5. On the other hand, the lower limit of the ratio of the volume of the accommodating portion 62 to the volume of the workpiece X can be set to 1.2, for example, from the viewpoint of ease of accommodating the workpiece X.

＜リークテスト方法＞
当該リークテスタ６１を用いたリークテスト方法は、第１実施形態で説明した前述の第２検査工程を、収容部６２内にワークＸを収容し、かつこの収容部６２内にセンサー１２を配設した状態で行う以外、図１のリークテスタ１を用いた前述のリークテスト方法と同様の手順で行うことができる。 <Leak test method>
In the leak test method using the leak tester 61, the work X is accommodated in the accommodating portion 62 and the sensor 12 is disposed in the accommodating portion 62 in the second inspection step described in the first embodiment. Except in the state, it can be performed in the same procedure as the above-described leak test method using the leak tester 1 of FIG.

＜利点＞
当該リークテスタ６１は、ワークＸを内部に収容し、この内部を気密状態に保持可能な収容部６２を備え、スニファープローブ１５の先端部１５ａが収容部６２内に配設されるので、収容部６２内に充満するトレーサーガスを検出することで、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスをより確実に検出することができる。特に、当該リークテスタ６１は、収容部６２内が気密状態に保たれるので、ワークＸにおけるガス漏れ部分から比較的離れた位置にセンサー１２が位置する場合でも空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出することができる。 <Advantages>
The leak tester 61 is provided with an accommodating portion 62 that accommodates the workpiece X therein and can hold the inside of the workpiece X in an airtight state, and the distal end portion 15 a of the sniffer probe 15 is disposed in the accommodating portion 62. By detecting the tracer gas filled inside, the tracer gas leaking out of the space Y can be detected more reliably. In particular, the leak tester 61 detects the tracer gas leaking out of the space Y even when the sensor 12 is located at a position relatively away from the gas leakage portion in the workpiece X, because the inside of the accommodating portion 62 is kept airtight. can do.

当該リークテスト方法は、前記第２検査工程が収容部６２内に充満するトレーサーガスを検出することで、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスをより確実に検出することができる。特に、当該リークテスト方法は、ワークＸにおけるガス漏れ部分から比較的離れた位置にセンサー１２が位置する場合でも空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出することができる。 In the leak test method, the tracer gas leaking out of the space Y can be detected more reliably by detecting the tracer gas filled in the accommodating portion 62 in the second inspection step. In particular, the leak test method can detect the tracer gas leaking out of the space Y even when the sensor 12 is located at a position relatively distant from the gas leak portion in the workpiece X.

［第四実施形態］
＜リークテスタ＞
図５のリークテスタ７１は、前述の収容部６２に代えて、ワークＸを収容する第１室７３及びこの第１室７３に連通する第２室７４を有する収容部７２を備える。また、当該リークテスタ７１は、第２室７４内を減圧する減圧機構７５を備える。さらに、当該リークテスタ７１は、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサー１２が第２室７４内に配設される。当該リークテスタ７１は、収容部７２及び減圧機構７５を備える以外、図１のリークテスタ１と同様に構成される。そのため、以下では収容部７２及び減圧機構７５についてのみ説明する。 [Fourth embodiment]
<Leak tester>
The leak tester 71 shown in FIG. 5 includes a housing 72 having a first chamber 73 for housing the workpiece X and a second chamber 74 communicating with the first chamber 73 in place of the housing 62 described above. The leak tester 71 includes a decompression mechanism 75 that decompresses the interior of the second chamber 74. Further, in the leak tester 71, a sensor 12 that detects tracer gas leaking out of the space Y is disposed in the second chamber 74. The leak tester 71 is configured in the same manner as the leak tester 1 of FIG. Therefore, below, only the accommodating part 72 and the pressure reduction mechanism 75 are demonstrated.

（収容部）
第１室７３は、配管によって第２室７４と連通している。また、第１室７３は、主配管２１ａが挿入される貫通孔を有する。さらに、第２室７４は、スニファープローブ１５の先端部１５ａが挿入される貫通孔を有する。収容部７２は、スニファープローブ１５の先端部１５ａが第２室７４の貫通孔に挿入された状態で内部を気密状態に保持可能に構成されている。詳細には、収容部７２は、主配管２１ａ及び減圧機構７５との接続部以外におけるガスの出入りが防止されるよう構成されている。第１室７３及び第２室７４の形成材料は、図５のリークテスタ６１の収容部６２と同様とすることができる。また、第１室７３の容積は、図５のリークテスタ６１の収容部６２と同様とすることができる。一方、第２室７４の容積は、貫通孔に挿入されたスニファープローブ１５のセンサー１２によってトレーサーガスを的確に検出する点からは小さい方が好ましい。このような点から、第２室７４の容積の上限としては、１０ｃｍ^３が好ましく、５ｃｍ^３がより好ましい。一方、第２室７４の容積の下限としては、スニファープローブ１５の先端部１５ａの挿入容易性の点から、例えば２ｃｍ^３とすることができる。 (Container)
The first chamber 73 communicates with the second chamber 74 by piping. The first chamber 73 has a through hole into which the main pipe 21a is inserted. Further, the second chamber 74 has a through hole into which the tip portion 15a of the sniffer probe 15 is inserted. The accommodating portion 72 is configured to be able to hold the inside in an airtight state in a state where the distal end portion 15 a of the sniffer probe 15 is inserted into the through hole of the second chamber 74. In detail, the accommodating part 72 is comprised so that the entrance / exit of the gas other than the connection part with the main piping 21a and the pressure reduction mechanism 75 may be prevented. The material for forming the first chamber 73 and the second chamber 74 can be the same as that of the accommodating portion 62 of the leak tester 61 of FIG. The volume of the first chamber 73 can be the same as that of the accommodating portion 62 of the leak tester 61 of FIG. On the other hand, the volume of the second chamber 74 is preferably small from the viewpoint of accurately detecting the tracer gas by the sensor 12 of the sniffer probe 15 inserted into the through hole. From this point of view, the upper limit of the volume of the second chamber 74, preferably 10 cm ^3, 5 cm ³ is more preferable. On the other hand, the lower limit of the volume of the second chamber 74 can be set at, for example, 2 cm ³ from the viewpoint of easy insertion of the tip portion 15a of the sniffer probe 15.

（減圧機構）
減圧機構７５は、減圧ポンプ７７を有する。減圧ポンプ７７の種類としては、第２室７４内を減圧できるものであれば特に限定されず、公知の空圧式、油圧式、電気式等のポンプを用いることができる。 (Decompression mechanism)
The decompression mechanism 75 has a decompression pump 77. The type of the decompression pump 77 is not particularly limited as long as the inside of the second chamber 74 can be decompressed, and a known pneumatic, hydraulic, or electric pump can be used.

＜リークテスト方法＞
当該リークテスタ７１を用いたリークテスト方法は、第１実施形態で説明した前述の第２検査工程を、第１室７３内にワークＸを収容し、かつ減圧機構７５で第２室７４内を減圧しつつ、第２室７４内にセンサー１２を配設した状態で行う以外、図１のリークテスタ１を用いた前述のリークテスト方法と同様の手順で行うことができる。 <Leak test method>
In the leak test method using the leak tester 71, the work X is accommodated in the first chamber 73 and the pressure in the second chamber 74 is reduced by the pressure reducing mechanism 75 in the second inspection step described in the first embodiment. However, it can be performed in the same procedure as the above-described leak test method using the leak tester 1 of FIG. 1 except that the sensor 12 is disposed in the second chamber 74.

＜利点＞
当該リークテスタ７１は、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを減圧機構７５によって第２室７４内に誘導しつつ、この第２室７４内に存在するトレーサーガスを第２検査機構５によって検出することで、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスをより確実に検出することができる。特に、当該リークテスタ７１は、センサー１２をワークＸにおけるガス漏れ部分近傍に位置させる必要がないので、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスの検出容易化を促進することができる。 <Advantages>
The leak tester 71 detects the tracer gas existing in the second chamber 74 by the second inspection mechanism 5 while guiding the tracer gas leaking out of the space Y into the second chamber 74 by the decompression mechanism 75. The tracer gas leaking out of the space Y can be detected more reliably. In particular, the leak tester 71 does not need to position the sensor 12 in the vicinity of the gas leakage portion in the workpiece X, and therefore facilitates detection of tracer gas leaking out of the space Y.

当該リークテスト方法は、前記第２検査工程が第２室７４内に存在するトレーサーガスを検出することで、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスをより確実に検出することができる。特に、当該リークテスト方法は、センサー１２をワークＸにおけるガス漏れ部分近傍に位置させる必要がないので、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスの検出容易化を促進することができる。 In the leak test method, the tracer gas leaking out of the space Y can be more reliably detected by detecting the tracer gas present in the second chamber 74 in the second inspection step. In particular, the leak test method does not require the sensor 12 to be positioned in the vicinity of the gas leakage portion in the workpiece X, and therefore facilitates detection of tracer gas leaking out of the space Y.

［その他の実施形態］
なお、本発明に係るリークテスタ及びリークテスト方法は、前記態様の他、種々の変更、改変を施した態様で実施することができる。 [Other Embodiments]
In addition, the leak tester and the leak test method according to the present invention can be implemented in variously modified and modified modes in addition to the above mode.

例えば当該リークテスタは、前述の回収機構及び排出機構を有しなくてもよい。また、当該リークテスタは、空間外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサーが接触燃焼式サーモパイルセンサーである必要はなく、例えばサーモパイルセンサー以外の接触燃焼式センサーや熱電式センサーであってもよい。 For example, the leak tester may not have the above-described recovery mechanism and discharge mechanism. In the leak tester, the sensor for detecting the tracer gas leaking out of the space does not have to be a contact combustion type thermopile sensor, and may be a contact combustion type sensor other than the thermopile sensor or a thermoelectric sensor, for example.

当該リークテスタは、空間外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサーが接触燃焼式サーモパイルセンサーである場合でも、前述の構成の接触燃焼式サーモパイルセンサーを用いる必要はない。 The leak tester does not need to use the contact combustion type thermopile sensor configured as described above even when the sensor for detecting the tracer gas leaking out of the space is a contact combustion type thermopile sensor.

前記圧力センサーは、必ずしも差圧式圧力センサーである必要はなく、例えば直圧式圧力センサー、超音波センサー、赤外線センサー等であってもよい。また、当該リークテスタは、前記圧力センサーとして差圧式圧力センサーを用いる場合でも、前述のマスター容器を必ずしも用いる必要はない。 The pressure sensor is not necessarily a differential pressure sensor, and may be a direct pressure sensor, an ultrasonic sensor, an infrared sensor, or the like. In addition, the leak tester does not necessarily need to use the above-described master container even when a differential pressure sensor is used as the pressure sensor.

当該リークテスタは、トレーサーガスとして空気を貯留する第１トレーサーガス供給器及び空気以外のトレーサーガスを貯留する第２トレーサーガス供給器を有する第２実施形態の構成において、ワークを内部に収容し、この内部を気密状態に保持可能な収容部を備え、ワークが有する空間外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサーが収容部内に配設される構成を採用することも可能である。また、当該リークテスタは、この第２実施形態の構成において、収容部がワークを収容する第１室及びこの第１室に連通する第２室を有し、第２室内を減圧する減圧機構をさらに備え、トレーサーガスを検出するセンサーが、第２室内に配設される構成を採用することも可能である。 In the configuration of the second embodiment, the leak tester has a first tracer gas supply device that stores air as a tracer gas and a second tracer gas supply device that stores a tracer gas other than air. It is also possible to employ a configuration in which a housing portion that can hold the inside in an airtight state is provided, and a sensor that detects tracer gas leaking outside the space of the workpiece is disposed in the housing portion. Further, in the configuration of the second embodiment, the leak tester further includes a first chamber in which the accommodating portion accommodates the workpiece and a second chamber communicating with the first chamber, and further includes a decompression mechanism that decompresses the second chamber. It is also possible to employ a configuration in which the sensor for detecting the tracer gas is provided in the second chamber.

以上説明したように、本発明に係るリークテスタは、ワークの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができるので、ワークのガス漏れの検出効率を促進可能なリークテスタとして適している。 As described above, the leak tester according to the present invention can detect from a relatively large amount of gas leakage to a small amount of gas leakage of the workpiece, and is therefore suitable as a leak tester capable of promoting the detection efficiency of the workpiece gas leakage. Yes.

１，５１，６１，７１リークテスタ
２密閉機構
３，５３供給機構
４第１検査機構
５第２検査機構
１１圧力センサー
１２センサー
１３トレーサーガス供給器
１４マスター容器
１５スニファープローブ
１５ａ先端部
２１ａ主配管
２１ｂトレーサーガス供給用配管
２１ｃトレーサーガス回収用配管
２１ｄ接続用配管
２１ｅ第１トレーサーガス供給用配管
２６排出用配管
２７ａ〜２７ｇバルブ
２８圧力計
２９トレーサーガス回収器
３１開口
３２基板
３３第１絶縁層
３４ヒーター
３５反応層
３６ａｎ型熱電素子
３６ｂｐ型熱電素子
３７保護層
３８第２絶縁層
３９第３絶縁層
４０配線
５４第１トレーサーガス供給器
６２，７２収容部
７３第１室
７４第２室
７５減圧機構
７７減圧ポンプ
Ｘワーク
Ｙ空間
1, 51, 61, 71 Leak tester 2 Sealing mechanism 3,53 Supply mechanism 4 First inspection mechanism 5 Second inspection mechanism 11 Pressure sensor 12 Sensor 13 Tracer gas supply device 14 Master container 15 Sniffer probe 15a Tip portion 21a Main piping 21b Tracer Gas supply piping 21c Tracer gas recovery piping 21d Connection piping 21e First tracer gas supply piping 26 Discharge piping 27a-27g Valve 28 Pressure gauge 29 Tracer gas recovery device 31 Opening 32 Substrate 33 First insulating layer 34 Heater 35 Reaction layer 36a n-type thermoelectric element 36b p-type thermoelectric element 37 protective layer 38 second insulating layer 39 third insulating layer 40 wiring 54 first tracer gas supply device 62, 72 container 73 first chamber 74 second chamber 75 decompression mechanism 77 Pressure reduction pump X Work Y Empty

Claims

A mechanism for sealing the space of the workpiece,
A mechanism for supplying tracer gas to the space sealed by the sealing mechanism;
A first inspection mechanism having a pressure sensor for detecting a pressure change in the space;
A leak tester comprising: a second inspection mechanism provided outside the space and having a sensor for detecting tracer gas leaking out of the space.

The work is housed inside, further comprising a housing portion capable of holding the inside in an airtight state,
The leak tester according to claim 1, wherein a sensor for detecting the tracer gas is disposed in the housing portion.

The storage portion has a first chamber for storing the workpiece and a second chamber communicating with the first chamber,
A pressure reducing mechanism for reducing the pressure in the second chamber;
The leak tester according to claim 2, wherein a sensor for detecting the tracer gas is disposed in the second chamber.

The sensor for detecting the tracer gas has a substrate, a heater disposed on one side of the substrate, and a reaction layer disposed on one side of the heater and having a carrier carrying a combustion catalyst, The contact combustion type thermopile sensor in which a hot contact point of a thermopile is disposed in the vicinity of the reaction layer and the heater, and a cold contact point of the thermopile is disposed in the vicinity of the substrate. The described leak tester.

Supplying tracer gas to a sealed space of the workpiece;
A first inspection step for detecting a pressure change in the space;
A second inspection step of detecting tracer gas leaking out of the space,
A leak test method for simultaneously performing the first inspection step and the second inspection step.