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本発明は、内部に配管を有する低温容器内で配管からガス漏れが発生した場合に、そのガス漏れ箇所を特定できる低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムに関するものである。   The present invention relates to a gas leak inspection system for piping in a cryogenic container that can specify the gas leaking location when gas leaks from the piping in a cryogenic container having piping inside.

従来、低温容器内の配管のガス漏れ検査は、ヘリウムリークディテクターを用いて行っている。この原理は、ガス漏れが生じていると考えられる配管系統にヘリウムガスを流し、漏れ出てきたところをヘリウムリークディテクターで探知するシステムである(下記非特許文献1参照)。   Conventionally, a gas leak inspection of piping in a cryogenic container has been performed using a helium leak detector. This principle is a system in which helium gas is allowed to flow through a piping system that is considered to have a gas leak, and the leaked point is detected by a helium leak detector (see Non-Patent Document 1 below).

なお、一般的なヘリウムリーク検査法は以下の通りである。
(1)真空吹付法
被試験体内部を真空に排気し、外部よりヘリウムを吹き付け、漏れ箇所より被試験体内部へ進入したヘリウムを検出することにより測定する。
(2)フード法
ヘリウムを詰めたビニール袋で覆った被試験体を真空排気し、漏れ箇所より被試験体内部へ入ったヘリウムを検出することにより測定する。
(3)スニファ法
強度あるいはその他の理由で被試験体を真空に排気できない場合、被試験体内部にヘリウム(またはヘリウムと他のガスの混合気体)を加圧圧入し、漏れ箇所から流出するヘリウムをプローブで吸入し検出することにより測定する。
(4)ポンピング法
あらかじめポンピング装置を用いヘリウムを加圧封入した被試験体をチャンバー内に入れ、真空差圧にて流出したヘリウムを検出することにより測定する。気密封止された小型量産部品のリークテストに用いることができる。
物理工学実験4「真空技術」,堀越源一著,東京大学出版会,P130−138
A general helium leak inspection method is as follows.
(1) Vacuum spraying method Measured by evacuating the inside of the test object to the vacuum, spraying helium from the outside, and detecting helium that has entered the test object from the leaked part.
(2) Hood method Measurement is performed by evacuating a test object covered with a plastic bag filled with helium, and detecting helium that has entered the test object from the leak point.
(3) Sniffer method If the specimen cannot be evacuated to vacuum due to strength or other reasons, helium (or a mixed gas of helium and other gases) is pressurized and injected into the specimen, and the helium flowing out from the leak point Is measured by inhaling and detecting with a probe.
(4) Pumping method Measurement is performed by using a pumping device to place a test object in which helium has been sealed under pressure in a chamber and detecting helium flowing out under a vacuum differential pressure. It can be used for leak testing of hermetically sealed small mass production parts.
Physical Engineering Experiment 4 “Vacuum Technology”, Genichi Horikoshi, The University of Tokyo Press, P130-138

上記した従来のガス漏れ検査システムでは、ヘリウムリークディテクターを予想されるガス漏れ箇所付近に近づけることが可能である場合には、ガス漏れ箇所を当然ながら同定できる。しかし、容器内でガス漏れが発生した場合には、配管系統の何れかの箇所でガスが漏れているか否かは判断できるが、その詳細な箇所まではヘリウムリークディテクターを近づけることができないため判別不能である。したがって、低温容器内でガス漏れが起こるような損傷が発生した場合には、容器を開けて確認する方法しかなかった。   In the conventional gas leak inspection system described above, when the helium leak detector can be brought close to the expected gas leak location, the gas leak location can be identified naturally. However, if a gas leak occurs in the container, it can be determined whether or not the gas leaks at any point in the piping system, but the helium leak detector cannot be brought close to that detailed point. It is impossible. Therefore, when damage that causes gas leakage occurs in the low-temperature container, there is only a method for checking by opening the container.

本発明は、上記状況に鑑みて、低温容器内の配管のガス漏れ箇所を正確に、しかも迅速に測定することができる低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムを提供することを目的とする。   In view of the above situation, an object of the present invention is to provide a gas leak point inspection system for piping in a cryogenic container that can accurately and quickly measure the gas leak location of piping in the cryogenic vessel. .

本発明は、上記目的を達成するために、
〔1〕低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムにおいて、検査の対象となる低温容器内の配管系統に常磁性物質からなる液化ガスを流しながら、直流磁場を印加し、その検査箇所を高感度磁気センサーで測定し、ガス漏れ箇所を同定することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides
[1] In a gas leak inspection system for piping in a cryogenic container, a DC magnetic field is applied to the piping system in the cryogenic container to be inspected while a liquefied gas made of a paramagnetic substance is allowed to flow to increase the inspection location. It is characterized by measuring with a sensitive magnetic sensor and identifying a gas leak point.

〔2〕上記〔1〕記載の低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムにおいて、前記高感度磁気センサーは、SQUID磁気センサーであることを特徴とする。   [2] In the gas leak location inspection system for piping in the cryogenic container described in [1] above, the high-sensitivity magnetic sensor is a SQUID magnetic sensor.

〔3〕上記〔1〕記載の低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムにおいて、前記低温容器が超電導コイルを内蔵する外槽容器であることを特徴とする。   [3] In the gas leak location inspection system for piping in the cryogenic vessel described in [1] above, the cryogenic vessel is an outer vessel containing a superconducting coil.

本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。   According to the present invention, the following effects can be achieved.

(1)低温容器内の配管のガス漏れが発生した場合に、正確な損傷箇所を早い段階で明らかにすることができるので、修復を早期に実施することができる。   (1) When a gas leak occurs in the piping in the cryogenic container, the exact damaged part can be clarified at an early stage, so that repair can be carried out at an early stage.

(2)常磁性物質からなる液化ガスは、常温ではもちろん気化することから、配管系統を汚損することなく検査が可能である。   (2) Since the liquefied gas made of a paramagnetic substance is vaporized at room temperature, it can be inspected without fouling the piping system.

低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムにおいて、検査の対象となる低温容器内の配管系統に常磁性物質からなる液化ガスを流しながら、直流磁場を印加し、その検査箇所をSQUID磁気センサーで測定し、ガス漏れ箇所を同定する。よって、低温容器内の配管のガス漏れが発生した場合に、正確な故障箇所を早い段階で明らかにすることができるので、修復を早期に実施することができる。特に、常磁性物質からなる液化ガスは、常温ではもちろん気化することから、配管系統を汚損することなく検査が可能である。   In a system for inspecting gas leaks in piping in a cryogenic vessel, a DC magnetic field is applied to the piping system in the cryogenic vessel to be inspected while flowing a liquefied gas made of a paramagnetic substance, and the inspection location is detected by a SQUID magnetic sensor. Measure and identify gas leak points. Therefore, when a gas leak in the piping in the cryogenic container occurs, the exact failure point can be identified at an early stage, so that the repair can be performed at an early stage. In particular, a liquefied gas made of a paramagnetic substance is vaporized at room temperature, so that it can be inspected without polluting the piping system.

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.

本発明の低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムの原理は以下の通りである。
(1)常磁性物質からなる液化ガス(例えば、液体酸素、液体空気)は、直流磁場中では磁化する。
(2)正常な配管系統に常磁性物質からなる液化ガスを流した場合には、直流磁場を印加することにより配管に沿って流体が流れている状態を高感度磁気センサーで観測できる。つまり、配管系統に損傷がある場合に常磁性物質からなる液化ガスを流すと、直流磁場を印加することにより配管の損傷箇所から常磁性物質からなる液化ガスが漏れだす様子が磁気センサーで観測できる。したがって、配管系統の漏れ箇所を正確に検出することができる。
The principle of the gas leak location inspection system for piping in the cryogenic container of the present invention is as follows.
(1) A liquefied gas (for example, liquid oxygen or liquid air) made of a paramagnetic substance is magnetized in a DC magnetic field.
(2) When a liquefied gas made of a paramagnetic substance is allowed to flow through a normal piping system, a state in which the fluid is flowing along the piping can be observed with a high-sensitivity magnetic sensor by applying a DC magnetic field. In other words, when a liquefied gas consisting of a paramagnetic substance is flowed when the piping system is damaged, the magnetic sensor can observe how the liquefied gas consisting of the paramagnetic substance leaks from the damaged part of the pipe by applying a DC magnetic field. . Therefore, the leak location of the piping system can be accurately detected.

図1は本発明の実施例を示す低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムの模式図である。   FIG. 1 is a schematic view of a gas leak inspection system for piping in a cryogenic container showing an embodiment of the present invention.

この図において、1は外槽容器、2は外槽容器1内に配置される第1の液室、3はその第1の液室2内に配置される超電導コイル、4はその第1の液室2内の第1の液化ガス、5は気化ガスの吸込口、6は気化ガスの吐出口、7は冷凍器、8は圧縮機ユニット、11は常磁性物質からなる液化ガスを供給する液化ガスボンベ、12は配管、13はその配管12に接続される第2の液室、14はその第2の液室13内の第2の液化ガス、21は直流磁場発生装置、22はSQUID(超電導量子干渉素子:Superconducting Quantum Interference Device)磁気センサー、23はSQUID磁気センサー22に接続される計測装置である。ここで、直流磁場発生装置21及びSQUID磁気センサー22は外槽容器1の外部から常磁性物質からなる液化ガスを封入した配管12に沿って移動させながら配管12のガス漏れ位置を同定(特定)する。   In this figure, 1 is an outer tank container, 2 is a first liquid chamber disposed in the outer tank container 1, 3 is a superconducting coil disposed in the first liquid chamber 2, and 4 is the first liquid chamber. The first liquefied gas in the liquid chamber 2, 5 is a vaporized gas suction port, 6 is a vaporized gas discharge port, 7 is a refrigerator, 8 is a compressor unit, and 11 is a liquefied gas made of a paramagnetic substance. A liquefied gas cylinder, 12 is a pipe, 13 is a second liquid chamber connected to the pipe 12, 14 is a second liquefied gas in the second liquid chamber 13, 21 is a DC magnetic field generator, 22 is a SQUID ( A superconducting quantum interference device (Superconducting Quantum Interference Device) magnetic sensor 23 is a measuring device connected to the SQUID magnetic sensor 22. Here, the DC magnetic field generator 21 and the SQUID magnetic sensor 22 identify (specify) the gas leak position of the pipe 12 while moving along the pipe 12 filled with a liquefied gas made of a paramagnetic substance from the outside of the outer vessel 1. To do.

このように、ガス漏れ検査の際には、低温容器としての外槽容器1に配置される配管12に常磁性物質からなる液化ガスを供給する液化ガスボンベ11を接続し、常磁性物質からなる液化ガスを供給する。そして、直流磁場発生装置21によって直流磁場を印加しながら、SQUID磁気センサー22によって常磁性物質からなる液化ガスの状態を画像化して配管12からの常磁性物質からなる液化ガスの漏れがないか否かを測定する。   As described above, in the gas leak inspection, the liquefied gas cylinder 11 for supplying the liquefied gas made of the paramagnetic substance is connected to the pipe 12 arranged in the outer tank container 1 as the low temperature container, and the liquefaction made of the paramagnetic substance is made. Supply gas. Then, while applying a DC magnetic field by the DC magnetic field generator 21, the SQUID magnetic sensor 22 images the state of the liquefied gas made of a paramagnetic substance, so that there is no leakage of the liquefied gas made of the paramagnetic substance from the pipe 12. Measure.

図2は本発明のガス漏れ箇所検査システムによって測定した健全な配管の場合の測定例を示す図であり、図3は配管の一部に常磁性物質からなる液化ガス漏れが測定された例を示す図である。   FIG. 2 is a diagram showing a measurement example in the case of a sound pipe measured by the gas leak point inspection system of the present invention, and FIG. 3 is an example in which a liquefied gas leak made of a paramagnetic substance is measured in a part of the pipe. FIG.

配管12に沿って、直流磁場発生装置21で直流磁場を印加しながら、常磁性物質からなる液化ガスの状態をSQUID磁気センサー22で測定をすると、配管12にガス漏れ箇所がない場合には、図2に示すように、常磁性物質からなる液化ガスの流路が配管12に沿って正規に画像化できる。図2における31は配管12内の常磁性物質からなる液化ガスの流れが健全な状態を示すSQUID磁気センサー22の画像である。この画像31から分かるように、ガス漏れが発生していない場合は、配管12に沿った部分しか常磁性物質からなる液化ガスは観測されていない。   When the state of the liquefied gas made of a paramagnetic substance is measured by the SQUID magnetic sensor 22 while applying a DC magnetic field by the DC magnetic field generator 21 along the pipe 12, As shown in FIG. 2, the flow path of the liquefied gas made of a paramagnetic substance can be properly imaged along the pipe 12. 2 is an image of the SQUID magnetic sensor 22 showing a state in which the flow of the liquefied gas made of a paramagnetic substance in the pipe 12 is healthy. As can be seen from the image 31, when no gas leakage occurs, liquefied gas composed of a paramagnetic substance is observed only in a portion along the pipe 12.

一方、例えば、配管12の一部の箇所Aで、常磁性物質からなる液化ガスの漏れがある場合は、図3の画像32に示すように、常磁性物質からなる液化ガスが配管12から漏れ出す様子が視認できるため、この箇所Aで配管12が破損していることが分かる。   On the other hand, for example, when a liquefied gas made of a paramagnetic substance leaks at a part A of the pipe 12, the liquefied gas made of a paramagnetic substance leaks from the pipe 12 as shown in an image 32 in FIG. Since it can visually recognize how to put out, it turns out that the piping 12 is damaged in this location A.

図4は本発明の実施例を示す直流磁場発生装置・高感度磁気センサーの模式図である。   FIG. 4 is a schematic diagram of a DC magnetic field generator and a high sensitivity magnetic sensor showing an embodiment of the present invention.

この図において、41はSQUID磁気センサー、42はSQUID磁気センサー41のリード線、43はそのリード線42に接続される計測装置、44は配管内の常磁性物質からなる液化ガスに直流磁場を印加する直流磁場発生装置である。   In this figure, 41 is a SQUID magnetic sensor, 42 is a lead wire of the SQUID magnetic sensor 41, 43 is a measuring device connected to the lead wire 42, 44 is a DC magnetic field applied to a liquefied gas made of paramagnetic material in the pipe. DC magnetic field generator.

本発明では、低温容器としての外槽容器1の外側から配管12に沿って測定することになるために、常磁性物質からなる液化ガスの測定は精度が高いことが要求される。そのために、本発明では、SQUID磁気センサー41を用いる。   In the present invention, since measurement is performed along the pipe 12 from the outside of the outer tank container 1 as a low temperature container, the measurement of the liquefied gas made of a paramagnetic substance is required to have high accuracy. For this purpose, the SQUID magnetic sensor 41 is used in the present invention.

このSQUID磁気センサーは、地磁気の5000万分の1以下の磁場を検出することができる高感度の磁気センサーである。特徴としては、(1)超電導の量子化現象を利用しており、従来の磁気センサーに対して3桁以上の高い感度を有している。(2)直流から数十kHzまでの幅広い周波数領域を検出可能である。すなわち、検出感度が周波数に依存しない。(3)高い空間分解能がある。高温超電導薄膜を用いたSQUIDの開発により、液体窒素温度(77.3K)での動作が可能である。   This SQUID magnetic sensor is a high-sensitivity magnetic sensor that can detect a magnetic field of 1 / 50,000,000 or less of the geomagnetism. The features are as follows: (1) The superconducting quantization phenomenon is used, and the sensitivity is 3 digits or more higher than that of the conventional magnetic sensor. (2) A wide frequency range from DC to several tens of kHz can be detected. That is, the detection sensitivity does not depend on the frequency. (3) There is a high spatial resolution. Development of SQUID using high temperature superconducting thin film enables operation at liquid nitrogen temperature (77.3K).

なお、上記したように、測定のターゲットとなる液化ガスは、常磁性物質からなる液化ガスであり、かかる常磁性物質からなる液化ガスとしては、液体酸素や液体空気などが挙げられる。   As described above, the liquefied gas that is a measurement target is a liquefied gas made of a paramagnetic substance, and examples of the liquefied gas made of a paramagnetic substance include liquid oxygen and liquid air.

また、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。   Further, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made based on the gist of the present invention, and these are not excluded from the scope of the present invention.

本発明の低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムは、迅速なガス漏れ箇所の同定が必要な超電導磁石などの配管系統の管理・保守などに好適である。   The gas leak location inspection system for piping in a cryogenic container according to the present invention is suitable for management and maintenance of piping systems such as superconducting magnets that require quick identification of gas leak locations.

本発明の実施例を示す低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムの模式図である。It is a schematic diagram of the gas leak location inspection system of piping in the cryogenic container which shows the Example of this invention. 本発明のガス漏れ箇所検査システムによって測定した健全な配管の場合の測定例を示す図である。It is a figure which shows the example of a measurement in the case of the healthy piping measured by the gas leak location inspection system of this invention. 本発明のガス漏れ箇所検査システムによって測定した配管の一部に常磁性物質からなる液化ガス漏れが測定された例を示す図である。It is a figure which shows the example by which the liquefied gas leak which consists of paramagnetic substances was measured in a part of piping measured by the gas leak location inspection system of this invention. 本発明の実施例を示す直流磁場発生装置・高感度磁気センサーの模式図である。It is a schematic diagram of a DC magnetic field generator and a high sensitivity magnetic sensor showing an embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 外槽容器
2 第1の液室
3 超電導コイル
4 第1の液化ガス
5 気化ガスの吸込口
6 気化ガスの吐出口
7 冷凍器
8 圧縮機ユニット
11 常磁性物質からなる液化ガスを供給する液化ガスボンベ
12 配管
13 第2の液室
14 第2の液化ガス
21,44 直流磁場発生装置
22,41 SQUID磁気センサー
23,43 計測装置
31,32 画像
42 SQUID磁気センサーのリード線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Outer tank container 2 1st liquid chamber 3 Superconducting coil 4 1st liquefied gas 5 Vaporized gas suction port 6 Vaporized gas discharge port 7 Refrigerator 8 Compressor unit 11 Liquefaction which supplies liquefied gas which consists of paramagnetic substances Gas cylinder 12 Piping 13 Second liquid chamber 14 Second liquefied gas 21, 44 DC magnetic field generator 22, 41 SQUID magnetic sensor 23, 43 Measuring device 31, 32 Image 42 SQUID magnetic sensor lead wire

Claims (3)

検査の対象となる低温容器内の配管系統に常磁性物質からなる液化ガスを流しながら、直流磁場を印加し、その検査箇所を高感度磁気センサーで測定し、ガス漏れ箇所を同定することを特徴とする低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システム。 A DC magnetic field is applied to the piping system in the cryogenic vessel to be inspected while a liquefied gas made of paramagnetic material is applied, and the inspection location is measured with a high-sensitivity magnetic sensor to identify the location of the gas leak. A gas leak inspection system for piping in cryogenic containers. 請求項1記載の低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムにおいて、前記高感度磁気センサーは、SQUID磁気センサーであることを特徴とする低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システム。 2. A gas leak location inspection system for piping in a cryogenic container according to claim 1, wherein the high-sensitivity magnetic sensor is a SQUID magnetic sensor. 請求項1記載の低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムにおいて、前記低温容器が超電導コイルを内蔵する外槽容器であることを特徴とする低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システム。 2. A system for inspecting gas leaks in a pipe in a cryogenic container according to claim 1, wherein the cryogenic container is an outer vessel containing a superconducting coil.
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