JP6782003B2

JP6782003B2 - Leak tester and leak test method

Info

Publication number: JP6782003B2
Application number: JP2016139380A
Authority: JP
Inventors: 茜飯塚
Original assignee: Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Current assignee: Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Priority date: 2016-07-14
Filing date: 2016-07-14
Publication date: 2020-11-11
Anticipated expiration: 2036-07-14
Also published as: JP2018009892A

Description

本発明は、リークテスタ及びリークテスト方法に関する。 The present invention relates to a leak tester and a leak test method.

従来、中空状のワークのガス漏れ等を検査するためにリークテスタが用いられている。また、このリークテスタとして、差圧式リークテスタが提案されている（特開平４−２２１７３３号公報参照）。この差圧式リークテスタは、ワーク内及び空気漏れのない中空状のマスター内に空気を満たした状態で、両者の圧力差を測定することでワーク内の空気漏れの有無を検査するものである。 Conventionally, a leak tester has been used to inspect a gas leak or the like in a hollow work. Further, as this leak tester, a differential pressure type leak tester has been proposed (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-221733). This differential pressure type leak tester inspects the presence or absence of air leakage in the work by measuring the pressure difference between the two in a state where the inside of the work and the hollow master without air leakage are filled with air.

特開平４−２２１７３３号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 4-221733

しかしながら、この差圧式リークテスタは、比較的空気漏れが多い場合には圧力差によってワーク内の空気漏れを検出できる一方、空気漏れがごく微量な場合には十分な圧力差が得られずワーク内の空気漏れを検出し難いという不都合を有する。 However, this differential pressure type leak tester can detect air leakage in the work by the pressure difference when there is a relatively large amount of air leakage, but cannot obtain a sufficient pressure difference in the work when the air leakage is very small. It has the inconvenience that it is difficult to detect an air leak.

本発明は、このような事情に基づいてなされたものであり、本発明の目的は、ワークの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができるリークテスタ及びリークテスト方法を提供することにある。 The present invention has been made based on such circumstances, and an object of the present invention is to provide a leak tester and a leak test method capable of detecting a relatively large amount of gas leak to a small amount of gas leak of a work. To do.

前記課題を解決するためになされた本発明は、ワークが有する空間を密閉する機構と、前記密閉機構により密閉された空間にトレーサーガスを供給する機構と、前記空間の圧力変化を検出する圧力センサーを有する第１検査機構と、前記空間の外側に設けられ、空間外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサーを有する第２検査機構とを備えるリークテスタである。 The present invention made to solve the above problems has a mechanism for sealing the space of the work, a mechanism for supplying tracer gas to the space sealed by the sealing mechanism, and a pressure sensor for detecting a pressure change in the space. It is a leak tester including a first inspection mechanism having the above space and a second inspection mechanism provided outside the space and having a sensor for detecting tracer gas leaking out of the space.

当該リークテスタは、前記ワークを内部に収容し、この内部を気密状態に保持可能な収容部をさらに備え、前記トレーサーガスを検出するセンサーが、前記収容部内に配設されるとよい。 It is preferable that the leak tester further includes an accommodating portion capable of accommodating the work inside and holding the inside in an airtight state, and a sensor for detecting the tracer gas is arranged in the accommodating portion.

前記収容部が、前記ワークを収容する第１室及びこの第１室に連通する第２室を有し、前記第２室内を減圧する減圧機構をさらに備え、前記トレーサーガスを検出するセンサーが、前記第２室内に配設されるとよい。 The accommodating portion has a first chamber for accommodating the work and a second chamber communicating with the first chamber, further including a decompression mechanism for depressurizing the second chamber, and a sensor for detecting the tracer gas. It is preferable to dispose of it in the second chamber.

前記トレーサーガスを検出するセンサーが、基板と、この基板の一方側に配設されるヒーターと、このヒーターの一方側に配設され、燃焼触媒を担持した担体を有する反応層とを有し、この反応層及びヒーターの近傍にサーモパイルの温接点が配設され、前記基板の近傍にサーモパイルの冷接点が配設される接触燃焼式サーモパイルセンサーであるとよい。 The sensor for detecting the tracer gas has a substrate, a heater disposed on one side of the substrate, and a reaction layer disposed on one side of the heater and having a carrier carrying a combustion catalyst. It is preferable that the thermopile sensor is a contact combustion type thermopile sensor in which warm contacts of the thermopile are arranged in the vicinity of the reaction layer and the heater, and cold contacts of the thermopile are arranged in the vicinity of the substrate.

また、前記課題を解決するためになされた本発明は、ワークが有する密閉された空間にトレーサーガスを供給する工程と、前記空間の圧力変化を検出する第１検査工程と、前記空間の外に漏洩するトレーサーガスを検出する第２検査工程とを備え、前記第１検査工程及び第２検査工程を同時に行うリークテスト方法である。 Further, the present invention made to solve the above-mentioned problems includes a step of supplying tracer gas to a closed space of a work, a first inspection step of detecting a pressure change in the space, and a step outside the space. This is a leak test method including a second inspection step for detecting a leaking tracer gas, and simultaneously performing the first inspection step and the second inspection step.

本発明に係るリークテスタは、ワークが有する密閉された空間にトレーサーガスを満たした状態で、この空間の圧力変化を前記第１検査機構によって検出することでワークの微量なガス漏れ以外のガス漏れを検出することができる。また、当該リークテスタは、前記空間の外に漏洩するトレーサーガスを第２検査機構によって検出することでワークの微量なガス漏れを検出することができる。従って、当該リークテスタは、ワークの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができる。 The leak tester according to the present invention detects a gas leak other than a slight gas leak of the work by detecting a pressure change in this space by the first inspection mechanism in a state where the closed space of the work is filled with tracer gas. Can be detected. Further, the leak tester can detect a minute amount of gas leak of the work by detecting the tracer gas leaking out of the space by the second inspection mechanism. Therefore, the leak tester can detect from a relatively large amount of gas leak to a small amount of gas leak of the work.

また、本発明に係るリークテスト方法は、前記供給工程によってワークが有する密閉された空間にトレーサーガスを満たした状態で、第１検査工程によってこの空間の圧力変化を検出し、かつ第２検査工程によってこの空間外に漏洩するトレーサーガスを検出することで、ワークの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを同時に検出することができる。 Further, in the leak test method according to the present invention, in a state where the sealed space of the work is filled with tracer gas by the supply process, the pressure change in this space is detected by the first inspection step, and the second inspection step. By detecting the tracer gas leaking out of this space, it is possible to simultaneously detect from a relatively large amount of gas leakage to a small amount of gas leakage of the work.

本発明の一実施形態に係るリークテスタを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the leak tester which concerns on one Embodiment of this invention. 図１のリークテスタの第２検査機構が有するセンサーを示す模式的端面図である。It is a schematic end view which shows the sensor which the 2nd inspection mechanism of the leak tester of FIG. 1 has. 図１のリークテスタと異なる実施形態に係るリークテスタを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the leak tester which concerns on embodiment different from the leak tester of FIG. 図１及び図３のリークテスタと異なる実施形態に係るリークテスタを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the leak tester which concerns on embodiment different from the leak tester of FIG. 1 and FIG. 図１、図３及び図４のリークテスタと異なる実施形態に係るリークテスタを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the leak tester which concerns on embodiment different from the leak tester of FIG.1, FIG.3 and FIG.

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.

［第一実施形態］
＜リークテスタ＞
図１のリークテスタ１は、ワークＸが有する空間Ｙを密閉する機構（密閉機構２）と、密閉機構２により密閉された空間Ｙにトレーサーガスを供給する機構（供給機構３）と、空間Ｙの圧力変化を検出する圧力センサー１１を有する第１検査機構４と、空間Ｙの外側に設けられ、空間Ｙの外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサー１２を有する第２検査機構５とを備える。供給機構３は、トレーサーガス供給器１３を有する。第１検査機構４は、圧力センサー１１と、マスター容器１４とを有する。また、当該リークテスタ１は、トレーサーガスを回収する機構（回収機構６）と、トレーサーガスを排出する機構（排出機構７）と、制御機構（不図示）とを備える。回収機構６は、トレーサーガス回収器２９を有する。排出機構７は、排出用配管２６を有する。密閉機構２、トレーサーガス供給器１３、圧力センサー１１、マスター容器１４、トレーサーガス回収器２９及び排出用配管２６は、配管で接続されている。なお、「ワークＸが有する空間Ｙ」とは、少なくともワークＸの表面を含む中空状の空間をいう。 [First Embodiment]
<Leak tester>
The leak tester 1 of FIG. 1 includes a mechanism for sealing the space Y included in the work X (sealing mechanism 2), a mechanism for supplying tracer gas to the space Y sealed by the sealing mechanism 2 (supply mechanism 3), and a space Y. It includes a first inspection mechanism 4 having a pressure sensor 11 for detecting a pressure change, and a second inspection mechanism 5 provided outside the space Y and having a sensor 12 for detecting a tracer gas leaking out of the space Y. The supply mechanism 3 has a tracer gas supply device 13. The first inspection mechanism 4 has a pressure sensor 11 and a master container 14. Further, the leak tester 1 includes a mechanism for recovering the tracer gas (recovery mechanism 6), a mechanism for discharging the tracer gas (discharge mechanism 7), and a control mechanism (not shown). The recovery mechanism 6 has a tracer gas recovery device 29. The discharge mechanism 7 has a discharge pipe 26. The sealing mechanism 2, the tracer gas supply device 13, the pressure sensor 11, the master container 14, the tracer gas recovery device 29, and the discharge pipe 26 are connected by pipes. The "space Y possessed by the work X" means a hollow space including at least the surface of the work X.

（配管）
密閉機構２、トレーサーガス供給器１３、圧力センサー１１、マスター容器１４、トレーサーガス回収器２９及び排出用配管２６を接続する配管は、一端が密閉機構２に接続され、他端がマスター容器１４に接続される主配管２１ａと、一端が主配管２１ａに接続され、他端がトレーサーガス供給器１３に接続されるトレーサーガス供給用配管２１ｂと、一端が主配管２１ａに接続され、他端がトレーサーガス回収器２９に接続されるトレーサーガス回収用配管２１ｃと、両端が主配管２１ａに接続され中間に圧力センサー１１が配設される接続用配管２１ｄとを有する。また、排出用配管２６は、一端が主配管２１ａに接続され、他端が大気に開放されている。 (Piping)
One end of the pipe connecting the sealing mechanism 2, the tracer gas supply device 13, the pressure sensor 11, the master container 14, the tracer gas recovery device 29, and the discharge pipe 26 is connected to the sealing mechanism 2, and the other end is connected to the master container 14. The main pipe 21a to be connected, one end connected to the main pipe 21a and the other end connected to the tracer gas supply device 13, the tracer gas supply pipe 21b, one end connected to the main pipe 21a, and the other end connected to the tracer. It has a tracer gas recovery pipe 21c connected to the gas recovery device 29, and a connection pipe 21d having both ends connected to the main pipe 21a and a pressure sensor 11 arranged in the middle. Further, one end of the discharge pipe 26 is connected to the main pipe 21a, and the other end is open to the atmosphere.

〔ワーク〕
ワークＸとしては、ガス漏れ検査を必要とする種々の部材が挙げられ、例えばプラスチック容器、金属容器、ラミネート容器等の容器類、チューブレスタイヤ用ホイール、エンジンブロック、シリンダーヘッド等の自動車用部品、パイプ、継手、バルブ、コック等の配管部品などが挙げられる。〔work〕
Examples of the work X include various members that require gas leak inspection, such as containers such as plastic containers, metal containers, and laminated containers, automobile parts such as tubeless tire wheels, engine blocks, and cylinder heads, and pipes. , Pipe parts such as joints, valves, cocks, etc.

（密閉機構）
密閉機構２は、主配管２１ａに接続されており、主配管２１ａとの接続部以外においてワークＸの空間Ｙを密閉可能に構成されている。密閉機構２としては、例えばワークＸが容器である場合にはこの容器の開口を封止する蓋、ワークＸがタイヤ用ホイールである場合にはこのタイヤ用ホイールの軸方向両端の一対のフランジ間に全周に亘って架け渡されるカバー、ワークＸが配管部品である場合には両端を封止する一対の蓋が挙げられる。なお、密閉機構２を構成する蓋等は、１つである必要はなく、複数の蓋等によってワークＸの空間Ｙを密閉してもよい。 (Sealing mechanism)
The sealing mechanism 2 is connected to the main pipe 21a, and is configured to be able to seal the space Y of the work X except for the connection portion with the main pipe 21a. As the sealing mechanism 2, for example, when the work X is a container, a lid for sealing the opening of the container, and when the work X is a tire wheel, between a pair of flanges at both ends in the axial direction of the tire wheel. Examples include a cover spanning the entire circumference, and a pair of lids that seal both ends when the work X is a piping component. The lid or the like constituting the sealing mechanism 2 does not have to be one, and the space Y of the work X may be sealed by a plurality of lids or the like.

（供給機構）
供給機構３は、前述のようにトレーサーガス供給器１３を有する。トレーサーガス供給器１３は、主配管２１ａ及びトレーサーガス供給用配管２１ｂを介して密閉機構２及びマスター容器１４に接続されている。トレーサーガス供給用配管２１ｂには圧力計２８及びバルブ２７ｂが設けられている。また、トレーサーガス供給用配管２１ｂには、トレーサーガス供給器１３から供給されるトレーサーガスの圧力を調整する圧力調整弁（不図示）が設けられていてもよい。トレーサーガス供給器１３は、トレーサーガスを貯留し、このトレーサーガスを例えば数百ｋＰａオーダーの圧力で供給可能に構成されている。 (Supply mechanism)
The supply mechanism 3 has a tracer gas supply device 13 as described above. The tracer gas supply device 13 is connected to the sealing mechanism 2 and the master container 14 via a main pipe 21a and a tracer gas supply pipe 21b. A pressure gauge 28 and a valve 27b are provided in the tracer gas supply pipe 21b. Further, the tracer gas supply pipe 21b may be provided with a pressure adjusting valve (not shown) for adjusting the pressure of the tracer gas supplied from the tracer gas supply device 13. The tracer gas supply device 13 stores the tracer gas and is configured to be able to supply the tracer gas at a pressure on the order of, for example, several hundred kPa.

〔トレーサーガス〕
本実施形態におけるトレーサーガスとしては、第２検査機構５によって空間Ｙ外へのガス漏れを検出できるよう通常空気中に含まれない成分又は空気中における存在量の少ない成分を含むガスが用いられ、例えば水素、ヘリウム、これらのガスを含む混合ガス等が用いられる。 [Tracer gas]
As the tracer gas in the present embodiment, a gas containing a component that is not normally contained in the air or a component that is abundant in the air is used so that the gas leak to the outside of the space Y can be detected by the second inspection mechanism 5. For example, hydrogen, helium, a mixed gas containing these gases, and the like are used.

（第１検査機構）
第１検査機構４は、空間Ｙ内の圧力変化によってワークＸのガス漏れを検出する。第１検査機構４は、特に微量なガス漏れ以外のガス漏れを検出可能に構成されている。第１検査機構４は、前述のように圧力センサー１１と、マスター容器１４とを有する。 (1st inspection mechanism)
The first inspection mechanism 4 detects a gas leak in the work X by a pressure change in the space Y. The first inspection mechanism 4 is configured to be capable of detecting a gas leak other than a particularly small amount of gas leak. The first inspection mechanism 4 has a pressure sensor 11 and a master container 14 as described above.

圧力センサー１１は、接続配管２１ｄを介して主配管２１ａの密閉機構２との接続部近傍及びマスター容器１４との接続部近傍に接続されている。圧力センサー１１は、２点間の圧力差を測定可能な差圧式圧力センサーである。具体的には、圧力センサー１１は、気密性を有する筐体と、この筐体の内部空間を気密的に隔絶してこの内部空間を２つの空間に区画するダイアフラムとを有する。圧力センサー１１は、ダイアフラムによって区画される一対の空間に圧力差が生じると、ダイアフラムが圧力が小さい空間側に向かって膨張することで差圧が生じていることを検出可能に構成されている。また、圧力センサー１１は、差圧が生じた場合のダイアフラムの変形量によって一対の空間の間で生じている差圧の大きさを検出可能に構成されている。これにより、圧力センサー１１は、空間Ｙとマスター容器１４内との差圧を測定可能に構成されている。なお、主配管２１ａの接続配管２１ｄとの接続部の上流側（トレーサーガス供給器１３側）には、一対のバルブ２７ａ，２７ｃが設けられている。 The pressure sensor 11 is connected to the vicinity of the connection portion of the main pipe 21a with the sealing mechanism 2 and the vicinity of the connection portion with the master container 14 via the connection pipe 21d. The pressure sensor 11 is a differential pressure type pressure sensor capable of measuring a pressure difference between two points. Specifically, the pressure sensor 11 has an airtight housing and a diaphragm that airtightly isolates the internal space of the housing and divides the internal space into two spaces. The pressure sensor 11 is configured to be able to detect that when a pressure difference occurs in a pair of spaces partitioned by the diaphragm, the diaphragm expands toward the space side where the pressure is small and the differential pressure is generated. Further, the pressure sensor 11 is configured to be able to detect the magnitude of the differential pressure generated between the pair of spaces depending on the amount of deformation of the diaphragm when the differential pressure is generated. As a result, the pressure sensor 11 is configured to be able to measure the differential pressure between the space Y and the inside of the master container 14. A pair of valves 27a and 27c are provided on the upstream side (tracer gas supply device 13 side) of the connection portion of the main pipe 21a with the connection pipe 21d.

マスター容器１４は、圧力センサー１１によって差圧を測定する際に基準となる圧力を保持するための容器であり、気密性を有する。マスター容器１４としては、ワークＸと同一の内部容積を有しガス漏れがないことが確認された疑似ワークや、ガス漏れがないことが確認されたワークＸ等、ガス漏れのない種々の容器を用いることが可能である。 The master container 14 is a container for holding a reference pressure when measuring the differential pressure by the pressure sensor 11, and has airtightness. As the master container 14, various containers having no gas leak, such as a pseudo work having the same internal volume as the work X and confirmed to have no gas leak, and a work X confirmed to have no gas leak, can be used. It can be used.

（第２検査機構）
第２検査機構５は、第１検査機構４によっては検出できないワークＸの微細な隙間からのガス漏れを検出する。第２検査機構５は、センサー１２を内蔵するスニファープローブ１５を有する。第２検査機構５は、ワークＸにおけるガス漏れのおそれがある部分にスニファープローブ１５を近づけた状態で、センサー１２によってトレーサーガスの漏洩の検出するよう構成されている。空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサー１２は、接触燃焼式サーモパイルセンサー（以下、単に「サーモパイルセンサー」ともいう）である。以下、図２を参照して、本実施形態におけるサーモパイルセンサーについて説明する。 (2nd inspection mechanism)
The second inspection mechanism 5 detects gas leaks from minute gaps in the work X, which cannot be detected by the first inspection mechanism 4. The second inspection mechanism 5 has a sniffer probe 15 having a built-in sensor 12. The second inspection mechanism 5 is configured to detect the leakage of tracer gas by the sensor 12 in a state where the sniffer probe 15 is brought close to the portion of the work X where there is a risk of gas leakage. The sensor 12 that detects the tracer gas leaking out of the space Y is a contact combustion type thermopile sensor (hereinafter, also simply referred to as “thermopile sensor”). Hereinafter, the thermopile sensor according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

（サーモパイルセンサー）
前記サーモパイルセンサーは、トレーサーガスが燃焼する際に発生する燃焼熱を検出することでトレーサーガスを検量可能に構成されている。前記サーモパイルセンサーは、基板３２と、この基板３２の一方側に配設されるヒーター３４と、このヒーター３４の一方側に配設され、燃焼触媒を担持した担体を有する反応層３５とを有し、この反応層３５及びヒーター３４の近傍にサーモパイルの温接点が配設され、基板３２の近傍にサーモパイルの冷接点が配設されている。具体的には、前記サーモパイルセンサーは、開口３１を有し、シリコン等を主成分とする基板３２と、基板３２の一方側に積層される第１絶縁層３３と、第１絶縁層３３の一方側に配設される複数のｎ型熱電素子３６ａと、複数のｎ型熱電素子３６ａの一方側を覆うように基板３２の一方側に積層される第２絶縁層３８と、第２絶縁層３８の一方側に配設される複数のｐ型熱電素子３６ｂと、複数のｐ型熱電素子３６ｂを被覆するように第２絶縁層３８の一方側に積層される第３絶縁層３９と、開口３１の一方側において第３絶縁層３９の一方側に配設されるヒーター３４と、ｐ型熱電素子３６ｂに接続され、第３絶縁層３９を貫通する配線４０と、ヒーター３４、第３絶縁層３９及び配線４０の一方側に積層される保護層３７と、保護層３７を介してヒーター３４の一方側に積層される反応層３５とを主として有する。前記サーモパイルセンサーは、複数のｎ型熱電素子３６ａ及び複数のｐ型熱電素子３６ｂが接続されることで形成される複数の熱電対を有し、この複数の熱電対は、隣接するｎ型熱電素子３６ａ及びｐ型熱電素子３６ｂの内側端部を接続した温接点を開口３１の一方側に有すると共に、隣接するｎ型熱電素子３６ａ及びｐ型熱電素子３６ｂの外側端部を接続した冷接点を基板３２の一方側に有する。前記サーモパイルセンサーは、複数のｎ型熱電素子３６ａ及び複数のｐ型熱電素子３６ｂが温接点及び冷接点で直列接続されることで、複数の熱電対が直列接続されたサーモパイル構成を有する。 (Thermopile sensor)
The thermopile sensor is configured to be able to calibrate the tracer gas by detecting the heat of combustion generated when the tracer gas burns. The thermopile sensor has a substrate 32, a heater 34 disposed on one side of the substrate 32, and a reaction layer 35 disposed on one side of the heater 34 and having a carrier carrying a combustion catalyst. A hot contact of the thermopile is arranged in the vicinity of the reaction layer 35 and the heater 34, and a cold contact of the thermopile is provided in the vicinity of the substrate 32. Specifically, the thermopile sensor has an opening 31 and is composed of a substrate 32 containing silicon or the like as a main component, a first insulating layer 33 laminated on one side of the substrate 32, and one of the first insulating layers 33. A plurality of n-type thermoelectric elements 36a arranged on the side, a second insulating layer 38 laminated on one side of the substrate 32 so as to cover one side of the plurality of n-type thermoelectric elements 36a, and a second insulating layer 38. A plurality of p-type thermoelectric elements 36b arranged on one side, a third insulating layer 39 laminated on one side of the second insulating layer 38 so as to cover the plurality of p-type thermoelectric elements 36b, and an opening 31. A heater 34 arranged on one side of the third insulating layer 39 on one side, a wiring 40 connected to the p-type thermoelectric element 36b and penetrating the third insulating layer 39, a heater 34, and a third insulating layer 39. A protective layer 37 laminated on one side of the wiring 40 and a reaction layer 35 laminated on one side of the heater 34 via the protective layer 37 are mainly provided. The thermopile sensor has a plurality of thermocouples formed by connecting a plurality of n-type thermoelectric elements 36a and a plurality of p-type thermoelectric elements 36b, and the plurality of thermocouples are adjacent n-type thermoelectric elements. The substrate has a warm contact connecting the inner ends of the 36a and the p-type thermoelectric element 36b on one side of the opening 31 and a cold contact connecting the outer ends of the adjacent n-type thermoelectric element 36a and the p-type thermoelectric element 36b. It has on one side of 32. The thermopile sensor has a thermopile configuration in which a plurality of n-type thermoelectric elements 36a and a plurality of p-type thermoelectric elements 36b are connected in series at hot and cold contacts, so that a plurality of thermocouples are connected in series.

当該リークテスタ１は、トレーサーガスを検出するセンサー１２がサーモパイルセンサーであることによって、広ダイナミックレンジ、かつ高速応答でトレーサーガスの漏洩を検出することができる。特に、トレーサーガスを検出するセンサーとして従来の半導体センサーを用いると、トレーサーガスが高濃度である場合にはセンサー出力が飽和して測定精度が低下するおそれがあると共に、センサーが疲弊してセンサー使用後の復帰時間も長くなる。また、従来の半導体センサーは、高濃度のトレーサーガスに晒されると、センサーの性能が劣化するおそれや、故障のリスクが高くなる。つまり、従来の半導体センサーは、比較的多量なガス漏れが生じるおそれがある場合には使用し難い。これに対し、トレーサーガスを検出するセンサー１２がサーモパイルセンサーである場合、出力飽和の問題が生じないことに加え、使用後の復帰時間を短縮することができると共に故障のリスクも低減することができるので、多量なガス漏れを検出した場合でも不具合が起こり難い。 Since the sensor 12 for detecting the tracer gas is a thermopile sensor, the leak tester 1 can detect the leak of the tracer gas with a wide dynamic range and a high-speed response. In particular, when a conventional semiconductor sensor is used as a sensor for detecting tracer gas, if the tracer gas has a high concentration, the sensor output may be saturated and the measurement accuracy may decrease, and the sensor becomes exhausted and the sensor is used. The later return time will also be longer. Further, when the conventional semiconductor sensor is exposed to a high concentration tracer gas, the performance of the sensor may be deteriorated and the risk of failure may increase. That is, the conventional semiconductor sensor is difficult to use when there is a possibility that a relatively large amount of gas leaks. On the other hand, when the sensor 12 for detecting the tracer gas is a thermopile sensor, the problem of output saturation does not occur, the recovery time after use can be shortened, and the risk of failure can be reduced. Therefore, even if a large amount of gas leak is detected, a problem is unlikely to occur.

（回収機構）
回収機構６は、ワークＸのガス漏れ検査後にトレーサーガスを回収可能に構成されている。回収機構６は、前述のようにトレーサーガス回収器２９を有する。トレーサーガス回収器２９は、トレーサーガス回収用配管２１ｃを介して主配管２１ａに接続されている。また、トレーサーガス回収用配管２１ｃにはバルブ２７ｄが設けられている。 (The Resolution and Collection Corporation)
The recovery mechanism 6 is configured to be able to recover the tracer gas after the gas leak inspection of the work X. The recovery mechanism 6 has a tracer gas recovery device 29 as described above. The tracer gas recovery device 29 is connected to the main pipe 21a via the tracer gas recovery pipe 21c. Further, a valve 27d is provided in the tracer gas recovery pipe 21c.

（排出機構）
排出機構７は、ワークＸのガス漏れ検査後にトレーサーガスを排出可能に構成されている。排出機構７は、前述のように一端が主配管２１ａに接続され他端が大気に開放された排出用配管２６を有する。また、排出用配管２６にはバルブ２７ｅが設けられている。 (Discharge mechanism)
The discharge mechanism 7 is configured to be able to discharge the tracer gas after the gas leak inspection of the work X. As described above, the discharge mechanism 7 has a discharge pipe 26 having one end connected to the main pipe 21a and the other end open to the atmosphere. Further, the discharge pipe 26 is provided with a valve 27e.

（制御機構）
制御機構は、当該リークテスタ１の動作を制御するもので、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等を備えるコンピュータを有する構成とされる。前記制御機構は、バルブ２７ａ〜２７ｅの開閉動作を制御する。また前記制御機構は、圧力センサー１１によって検出した差圧に基づいて空間Ｙからのガス漏れの有無を判断する。 (Control mechanism)
The control mechanism controls the operation of the leak tester 1, and is configured to include, for example, a computer including a CPU, ROM, RAM, HDD, and the like. The control mechanism controls the opening / closing operation of the valves 27a to 27e. Further, the control mechanism determines the presence or absence of gas leakage from the space Y based on the differential pressure detected by the pressure sensor 11.

＜リークテスト方法＞
次に、当該リークテスタ１を用いたリークテスト方法を説明する。当該リークテスト方法は、ワークＸが有する密閉された空間Ｙにトレーサーガスを供給する工程（供給工程）と、空間Ｙの圧力変化を検出する第１検査工程と、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出する第２検査工程とを備える。また、当該リークテスト方法は、前記第１検査工程及び第２検査工程後にトレーサーガスを回収する工程（回収工程）をさらに備えてもよい。当該リークテスト方法は、前記第１検査工程及び第２検査工程を同時に行う。 <Leak test method>
Next, a leak test method using the leak tester 1 will be described. The leak test method includes a step of supplying tracer gas to the closed space Y of the work X (supply step), a first inspection step of detecting a pressure change in the space Y, and a tracer gas leaking out of the space Y. It is provided with a second inspection step for detecting. Further, the leak test method may further include a step (recovery step) of recovering the tracer gas after the first inspection step and the second inspection step. In the leak test method, the first inspection step and the second inspection step are performed at the same time.

（供給工程）
前記供給工程は、供給機構３によって行われる。前記供給工程では、バルブ２７ａ〜２７ｅが全て閉じられた状態において、バルブ２７ａ〜２７ｃを開く。そして、前記供給工程では、トレーサーガス供給器１３からトレーサーガスを空間Ｙ及びマスター容器１４内に供給する。これにより、空間Ｙ及びマスター容器１４内の内圧が高くなる。さらに、前記供給工程では、空間Ｙ及びマスター容器１４内の内圧が高くなった状態でバルブ２７ａ，２７ｃを閉じる。これにより、バルブ２７ａ，２７ｃよりも下流側におけるトレーサーガスの通路が、バルブ２７ａ，２７ｃよりも上流側の通路から遮断された密閉空間として構成される。なお、バルブ２７ａ，２７ｃは、空間Ｙの圧力及びマスター容器１４内の圧力が同じとなったことを確認した上で閉じることが好ましい。前記供給工程における空間Ｙ及びマスター容器１４内の圧力としては、例えば５ｋＰａ以上１ＭＰａ以下程度とされる。 (Supply process)
The supply step is performed by the supply mechanism 3. In the supply step, the valves 27a to 27c are opened with the valves 27a to 27e all closed. Then, in the supply step, the tracer gas is supplied from the tracer gas supply device 13 into the space Y and the master container 14. As a result, the internal pressure in the space Y and the master container 14 increases. Further, in the supply step, the valves 27a and 27c are closed in a state where the internal pressure in the space Y and the master container 14 is high. As a result, the tracer gas passage on the downstream side of the valves 27a and 27c is configured as a closed space cut off from the passage on the upstream side of the valves 27a and 27c. It is preferable to close the valves 27a and 27c after confirming that the pressure in the space Y and the pressure in the master container 14 are the same. The pressure in the space Y and the master container 14 in the supply step is, for example, about 5 kPa or more and 1 MPa or less.

（第１検査工程）
前記第１検査工程は、第１検査機構４によって行われる。前記第１検査工程では、バルブ２７ａ，２７ｃが閉じられた状態で、圧力センサー１１によって空間Ｙのガス漏れの有無を検査する。具体的には、バルブ２７ａ，２７ｃが閉じられた状態で、空間Ｙにガス漏れが生じると空間Ｙの内圧が低下する。これにより、圧力センサー１１の一方の空間の内圧が低下するので、圧力センサー１１の一対の空間に一定以上の差圧が生じた場合に前記ダイアフラムによってこの差圧を検出することができる。一方、前記第１検査工程では、空間Ｙにガス漏れが生じていない場合、又はガス漏れが生じてもこのガス漏れ量が微量である場合には前記ダイアフラムによってガス漏れは検出されない。なお、第１検査工程によって検出されるガス漏れ量の下限としては、例えば１０^−４Ｐａ・ｍ^３／ｓ程度とされる。 (1st inspection process)
The first inspection step is performed by the first inspection mechanism 4. In the first inspection step, with the valves 27a and 27c closed, the pressure sensor 11 inspects for gas leakage in the space Y. Specifically, if a gas leak occurs in the space Y with the valves 27a and 27c closed, the internal pressure of the space Y decreases. As a result, the internal pressure in one space of the pressure sensor 11 decreases, so that when a differential pressure of a certain value or more is generated in the pair of spaces of the pressure sensor 11, this differential pressure can be detected by the diaphragm. On the other hand, in the first inspection step, if there is no gas leak in the space Y, or if the gas leak amount is very small even if the gas leak occurs, the gas leak is not detected by the diaphragm. The lower limit of the amount of gas leak detected by the first inspection step is, for example, about 10 ^-4 Pa · m ³ / s.

（第２検査工程）
前記第２検査工程は、第２検査機構５によって行われる。前記第２検査工程では、バルブ２７ａ，２７ｃが閉じられた状態で、スニファープローブ１５を微量なガス漏れのおそれがある部分に近づけ、前記サーモパイルセンサーによってガス漏れの有無を検査する。以下、前記サーモパイルセンサーによるガス漏れ検査方法を説明する。 (Second inspection process)
The second inspection step is performed by the second inspection mechanism 5. In the second inspection step, with the valves 27a and 27c closed, the sniffer probe 15 is brought close to a portion where a slight amount of gas may leak, and the presence or absence of gas leakage is inspected by the thermopile sensor. Hereinafter, a gas leak inspection method using the thermopile sensor will be described.

前記サーモパイルセンサーは、トレーサーガスを触媒燃焼させる反応層３５を有するので、ヒーター３４の発熱によってトレーサーガスを燃焼させることができる。前記サーモパイルセンサーは、このトレーサーガスが燃焼すると、反応層３５側に形成された温接点の温度が反応層３５の温度と略同一となる一方、基板３２側に形成された冷接点の温度は反応層３５の温度に起因して上昇しない。これにより、前記サーモパイルセンサーは、温接点と冷接点との温度差により電圧を生じ、サーモパイルが温度検出信号を出力する。これにより、前記サーモパイルセンサーは、トレーサーガスの空間Ｙからの漏洩の有無を検出することができる。なお、第２検査工程によって検出されるガス漏れ量としては、例えば０．５体積ｐｐｍ以上２体積％以下程度とされる。 Since the thermopile sensor has a reaction layer 35 for catalytically burning the tracer gas, the tracer gas can be burned by the heat generated by the heater 34. In the thermopile sensor, when the tracer gas burns, the temperature of the hot contact formed on the reaction layer 35 side becomes substantially the same as the temperature of the reaction layer 35, while the temperature of the cold contact formed on the substrate 32 side reacts. It does not rise due to the temperature of layer 35. As a result, the thermopile sensor generates a voltage due to the temperature difference between the hot contact and the cold contact, and the thermopile outputs a temperature detection signal. As a result, the thermopile sensor can detect the presence or absence of leakage of the tracer gas from the space Y. The amount of gas leak detected by the second inspection step is, for example, about 0.5% by volume ppm or more and 2% by volume or less.

（回収工程）
前記回収工程は、回収機構６によって行われる。前記回収工程では、第１検査工程及び第２検査工程後にバルブ２７ｂ，２７ｅが閉じられた状態でバルブ２７ａ，２７ｃ，２７ｄを開き、トレーサーガスをトレーサーガス回収器２９に回収する。なお、前記回収工程では、例えば吸引ポンプ（不図示）等を用いてトレーサーガスをトレーサーガス回収器２９に回収するようにしてもよい。 (Recovery process)
The recovery step is performed by the recovery mechanism 6. In the recovery step, the valves 27a, 27c, 27d are opened with the valves 27b, 27e closed after the first inspection step and the second inspection step, and the tracer gas is recovered in the tracer gas recovery device 29. In the recovery step, the tracer gas may be recovered in the tracer gas recovery device 29 by using, for example, a suction pump (not shown).

なお、当該リークテスト方法は、トレーサーガスを有効利用する点からは前記回収工程によってトレーサーガスをトレーサーガス回収器２９に回収することが好ましいが、必要に応じて不要になったトレーサーガスを排出してもよい。このトレーサーガスを排出する工程（排出工程）は、排出機構７によって行われる。前記排出工程では、バルブ２７ｂ，２７ｄが閉じられた状態でバルブ２７ａ，２７ｃ，２７ｅを開き、トレーサーガスを排出用配管２６から大気中に排出する。 In the leak test method, it is preferable to recover the tracer gas to the tracer gas recovery device 29 by the recovery step from the viewpoint of effectively using the tracer gas, but the tracer gas that is no longer needed is discharged as needed. You may. The step (discharge step) of discharging the tracer gas is performed by the discharge mechanism 7. In the discharge step, the valves 27a, 27c, 27e are opened with the valves 27b, 27d closed, and the tracer gas is discharged into the atmosphere from the discharge pipe 26.

＜利点＞
当該リークテスタ１は、ワークＸが有する密閉された空間Ｙにトレーサーガスを満たした状態で、この空間Ｙの圧力変化を第１検査機構４によって検出することでワークＸの微量なガス漏れ以外のガス漏れを検出することができる。また、当該リークテスタ１は、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを第２検査機構５によって検出することでワークＸの微量なガス漏れを検出することができる。従って、当該リークテスタ１は、ワークＸの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができる。 <Advantage>
The leak tester 1 fills the sealed space Y of the work X with a tracer gas, and detects a pressure change in the space Y by the first inspection mechanism 4, so that a gas other than a slight gas leak of the work X is detected. Leakage can be detected. Further, the leak tester 1 can detect a minute gas leak of the work X by detecting the tracer gas leaking out of the space Y by the second inspection mechanism 5. Therefore, the leak tester 1 can detect from a relatively large amount of gas leak to a small amount of gas leak of the work X.

当該リークテスト方法は、前記供給工程によってワークＸが有する密閉された空間Ｙにトレーサーガスを満たした状態で、前記第１検査工程によってこの空間Ｙの圧力変化を検出し、かつ前記第２検査工程によってこの空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出することで、ワークＸの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを同時に検出することができる。 In the leak test method, the pressure change in the space Y is detected by the first inspection step in a state where the sealed space Y of the work X is filled with the tracer gas by the supply step, and the second inspection step. By detecting the tracer gas leaking out of the space Y, it is possible to simultaneously detect from a relatively large amount of gas leakage to a small amount of gas leakage of the work X.

［第２実施形態］
＜リークテスタ＞
図３のリークテスタ５１は、ワークＸが有する空間Ｙを密閉する機構（密閉機構２）と、密閉機構２により密閉された空間Ｙにトレーサーガスを供給する機構（供給機構５３）と、空間Ｙの圧力変化を検出する圧力センサー１１を有する第１検査機構４と、空間Ｙの外側に設けられ、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサー１２を有する第２検査機構５とを備える。また、当該リークテスタ５１は、トレーサーガスを回収する機構（回収機構６）と、トレーサーガスを排出する機構（排出機構７）と、制御機構（不図示）とを備える。密閉機構２、供給機構５３、第１検査機構４、回収機構６及び排出機構７は配管で接続されている。当該リークテスタ５１における密閉機構２、第１検査機構４、第２検査機構５、回収機構６、排出機構７及び制御機構は、図１のリークテスタ１と同様のため同一符号を付して説明を省略する。 [Second Embodiment]
<Leak tester>
The leak tester 51 of FIG. 3 has a mechanism for sealing the space Y included in the work X (sealing mechanism 2), a mechanism for supplying tracer gas to the space Y sealed by the sealing mechanism 2 (supply mechanism 53), and the space Y. It includes a first inspection mechanism 4 having a pressure sensor 11 for detecting a pressure change, and a second inspection mechanism 5 provided outside the space Y and having a sensor 12 for detecting a tracer gas leaking out of the space Y. Further, the leak tester 51 includes a mechanism for recovering the tracer gas (recovery mechanism 6), a mechanism for discharging the tracer gas (discharge mechanism 7), and a control mechanism (not shown). The sealing mechanism 2, the supply mechanism 53, the first inspection mechanism 4, the collection mechanism 6, and the discharge mechanism 7 are connected by a pipe. The sealing mechanism 2, the first inspection mechanism 4, the second inspection mechanism 5, the collection mechanism 6, the discharge mechanism 7, and the control mechanism in the leak tester 51 are the same as those of the leak tester 1 in FIG. To do.

（配管）
密閉機構２、供給機構５３、第１検査機構４、回収機構６及び排出機構７を接続する配管は、一端が主配管２１ａに接続され、他端が第１トレーサーガス供給器５４に接続される第１トレーサーガス供給用配管２１ｅを有する以外は、図１のリークテスタ１と同様に構成される。なお、本実施形態においては、接続用配管２１ｄにおける圧力センサー１１よりも密閉機構２側の部分にバルブ２７ｇが設けられている。 (Piping)
One end of the pipe connecting the sealing mechanism 2, the supply mechanism 53, the first inspection mechanism 4, the recovery mechanism 6 and the discharge mechanism 7 is connected to the main pipe 21a, and the other end is connected to the first tracer gas supply device 54. It has the same configuration as the leak tester 1 of FIG. 1 except that it has the first tracer gas supply pipe 21e. In this embodiment, the valve 27g is provided on the portion of the connecting pipe 21d on the sealing mechanism 2 side of the pressure sensor 11.

（供給機構）
供給機構５３は、第１トレーサーガス供給器５４と、第２トレーサーガス供給器１３とを有する。第１トレーサーガス供給器５４は、第１トレーサーガス供給用配管２１ｅ及び主配管２１ａを介して密閉機構２及びマスター容器１４に接続されている。第１トレーサーガス供給用配管２１ｅにはバルブ２７ｆが設けられている。第２トレーサーガス供給器１３は、図１のトレーサーガス供給器１３と同様の構成を有し、トレーサーガス供給用配管２１ｂ及び主配管２１ａを介して密閉機構２及びマスター容器１４に接続されている。第１トレーサーガス供給器５４は、トレーサーガスとして空気を貯留する以外は第２トレーサーガス供給器１３と同様に構成されている。 (Supply mechanism)
The supply mechanism 53 includes a first tracer gas supply device 54 and a second tracer gas supply device 13. The first tracer gas supply device 54 is connected to the sealing mechanism 2 and the master container 14 via the first tracer gas supply pipe 21e and the main pipe 21a. A valve 27f is provided in the first tracer gas supply pipe 21e. The second tracer gas supply device 13 has the same configuration as the tracer gas supply device 13 of FIG. 1, and is connected to the sealing mechanism 2 and the master container 14 via the tracer gas supply pipe 21b and the main pipe 21a. .. The first tracer gas supply device 54 is configured in the same manner as the second tracer gas supply device 13 except that air is stored as the tracer gas.

＜リークテスト方法＞
当該リークテスタ５１を用いたリークテスト方法は、第１トレーサーガス供給工程と、第１検査工程と、第１トレーサーガス排出工程と、第２トレーサーガス供給工程と、第２検出工程とを備える。また、当該リークテスト方法は、第２検査工程後に、第２トレーサーガス供給工程で供給したトレーサーガスを回収する回収工程をさらに備えていてもよい。当該リークテスト方法は、第１トレーサーガス供給工程で供給したトレーサーガスを用いて第１検査工程を行い、この第１検査工程で用いたトレーサーガスを排出した後に第２トレーサーガス供給工程で供給したトレーサーガスを用いて第２検査工程を行う。 <Leak test method>
The leak test method using the leak tester 51 includes a first tracer gas supply step, a first inspection step, a first tracer gas discharge step, a second tracer gas supply step, and a second detection step. Further, the leak test method may further include a recovery step of recovering the tracer gas supplied in the second tracer gas supply step after the second inspection step. In the leak test method, the first inspection step was performed using the tracer gas supplied in the first tracer gas supply step, the tracer gas used in the first inspection step was discharged, and then the tracer gas was supplied in the second tracer gas supply step. The second inspection step is performed using the tracer gas.

（第１トレーサーガス供給工程）
前記第１トレーサーガス供給工程は、供給機構５３によって行われる。前記第１トレーサーガス供給工程では、まずバルブ２７ａ〜２７ｇが全て閉じられた状態において、バルブ２７ａ，２７ｃ，２７ｆ，２７ｇを開く。そして、前記第１トレーサーガス供給工程では、第１トレーサーガス供給器５４からトレーサーガスである空気を空間Ｙ及びマスター容器１４内に供給する。これにより、空間Ｙ及びマスター容器１４内の内圧が高くなる。さらに、前記第１トレーサーガス供給工程では、空間Ｙ及びマスター容器１４内の内圧が高くなった状態でバルブ２７ａ，２７ｃを閉じる。これにより、バルブ２７ａ，２７ｃよりも下流側における空気の通路が、バルブ２７ａ，２７ｃよりも上流側の通路から遮断された密閉空間として構成される。 (1st tracer gas supply process)
The first tracer gas supply step is performed by the supply mechanism 53. In the first tracer gas supply step, first, the valves 27a, 27c, 27f, 27g are opened in a state where all the valves 27a to 27g are closed. Then, in the first tracer gas supply step, air, which is a tracer gas, is supplied from the first tracer gas supply device 54 into the space Y and the master container 14. As a result, the internal pressure in the space Y and the master container 14 increases. Further, in the first tracer gas supply step, the valves 27a and 27c are closed in a state where the internal pressure in the space Y and the master container 14 is high. As a result, the air passage on the downstream side of the valves 27a and 27c is configured as a closed space blocked from the passage on the upstream side of the valves 27a and 27c.

（第１検査工程）
前記第１検査工程は、図１のリークテスタ１を用いたリークテスト方法における第１検査工程と同様に行うことができる。 (1st inspection process)
The first inspection step can be performed in the same manner as the first inspection step in the leak test method using the leak tester 1 of FIG.

（第１トレーサーガス排出工程）
前記第１トレーサーガス排出工程は、排出機構７によって行われる。前記第１トレーサーガス排出工程では、バルブ２７ｂ，２７ｄ，２７ｆが閉じられた状態でバルブ２７ａ，２７ｃ，２７ｅ，２７ｇを開き、空気を排出用配管２６から大気中に排出する。 (1st tracer gas discharge process)
The first tracer gas discharge step is performed by the discharge mechanism 7. In the first tracer gas discharge step, the valves 27a, 27c, 27e, 27g are opened with the valves 27b, 27d, 27f closed, and air is discharged from the discharge pipe 26 into the atmosphere.

（第２トレーサーガス供給工程）
前記第２トレーサーガス供給工程は、図１のリークテスタ１を用いたリークテスト方法における供給工程と同様に行うことができる。また、前記第２トレーサーガス供給工程は、バルブ２７ｃ〜２７ｇを閉じた状態でトレーサーガスを供給し、これによりこのトレーサーガスをマスター容器１４には供給せず、空間Ｙにのみ供給してもよい。当該リークテスト方法は、トレーサーガスを空間Ｙのみに供給することによって、水素、ヘリウム等を含むトレーサーガスの消費を抑え、検査コストを低減することができる。 (2nd tracer gas supply process)
The second tracer gas supply step can be performed in the same manner as the supply step in the leak test method using the leak tester 1 of FIG. Further, in the second tracer gas supply step, the tracer gas may be supplied with the valves 27c to 27 g closed, whereby the tracer gas may not be supplied to the master container 14 but may be supplied only to the space Y. .. In the leak test method, by supplying the tracer gas only to the space Y, the consumption of the tracer gas containing hydrogen, helium and the like can be suppressed, and the inspection cost can be reduced.

（第２検査工程）
前記第２検出工程は、図１のリークテスタ１を用いたリークテスト方法における第２検査工程と同様に行うことができる。 (Second inspection process)
The second detection step can be performed in the same manner as the second inspection step in the leak test method using the leak tester 1 of FIG.

（回収工程）
前記回収工程は、図１のリークテスタ１を用いたリークテスト方法における回収工程と同様に行うことができる。 (Recovery process)
The recovery step can be performed in the same manner as the recovery step in the leak test method using the leak tester 1 of FIG.

＜利点＞
当該リークテスタ５１は、図１のリークテスタ１と同様、ワークＸの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができる。なお、当該リークテスタ５１は、仮に第１検査機構４によってガスの漏洩が検出された場合、第２検査機構５による検査を取り止めてもよい。この場合、当該リークテスタ５１は、水素、ヘリウム等を含むトレーサーガスの消費を抑え、検査コストを低減することができる。 <Advantage>
Similar to the leak tester 1 of FIG. 1, the leak tester 51 can detect from a relatively large amount of gas leak to a small amount of gas leak of the work X. If a gas leak is detected by the first inspection mechanism 4, the leak tester 51 may cancel the inspection by the second inspection mechanism 5. In this case, the leak tester 51 can suppress the consumption of tracer gas containing hydrogen, helium, etc., and can reduce the inspection cost.

当該リークテスト方法は、図１のリークテスタ１を用いたリークテスト方法と同様、ワークＸの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができる。また、当該リークテスト方法は、仮に第１検査工程によってガスの漏洩が検出された場合、第２検査工程を取り止めることができ、これにより水素、ヘリウム等を含むトレーサーガスの消費を抑え、検査コストを低減することができる。 Similar to the leak test method using the leak tester 1 of FIG. 1, the leak test method can detect from a relatively large amount of gas leak to a small amount of gas leak of the work X. In addition, the leak test method can cancel the second inspection step if a gas leak is detected in the first inspection step, thereby suppressing the consumption of tracer gas containing hydrogen, helium, etc., and the inspection cost. Can be reduced.

［第三実施形態］
＜リークテスタ＞
図４のリークテスタ６１は、ワークＸを内部に収容し、この内部を気密状態に保持可能な収容部６２を備え、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサー１２が収容部６２内に配設される以外は図１のリークテスタ１と同様に構成される。そのため、以下では収容部６２についてのみ説明する。 [Third Embodiment]
<Leak tester>
The leak tester 61 of FIG. 4 includes an accommodating portion 62 capable of accommodating the work X inside and holding the inside in an airtight state, and a sensor 12 for detecting tracer gas leaking to the outside of the space Y is arranged in the accommodating portion 62. It is configured in the same manner as the leak tester 1 of FIG. 1 except that it is installed. Therefore, only the accommodating portion 62 will be described below.

（収容部）
収容部６２は、主配管２１ａが挿入される第１貫通孔及びスニファープローブ１５の先端部１５ａが挿入される第２貫通孔を有し、主配管２１ａ及びスニファープローブ１５の先端部１５ａが一対の貫通孔に挿入された状態で内部を気密状態に保持可能に構成されている。詳細には、収容部６２は、主配管２１ａとの接続部以外におけるガスの出入りが防止されるよう構成されている。 (Accommodation)
The accommodating portion 62 has a first through hole into which the main pipe 21a is inserted and a second through hole into which the tip portion 15a of the sniffer probe 15 is inserted, and the main pipe 21a and the tip portion 15a of the sniffer probe 15 are paired. It is configured so that the inside can be kept in an airtight state while being inserted into the through hole. Specifically, the accommodating portion 62 is configured to prevent the inflow and outflow of gas other than the connection portion with the main pipe 21a.

収容部６２の形成材料としては、内部を気密状態に保持可能である限り特に限定されるものではなく、合成樹脂、金属等が挙げられる。また、収容部６２の容積としては、密閉機構２によって密閉された状態のワークＸを内部に収容可能である限り特に限定されるものではない。但し、収容部６２の容積は、収容部６２内に漏洩されたトレーサーガスを効果的に検出できる点から小さい方が好ましい。具体的には、ワークＸの体積に対する収容部６２の容積の比の上限としては、４が好ましく、２がより好ましく、１．５がさらに好ましい。一方、ワークＸの体積に対する収容部６２の容積の比の下限としては、ワークＸの収容容易性の点から、例えば１．２とすることができる。 The material for forming the accommodating portion 62 is not particularly limited as long as the inside can be maintained in an airtight state, and examples thereof include synthetic resin and metal. Further, the volume of the accommodating portion 62 is not particularly limited as long as the work X in a state of being sealed by the sealing mechanism 2 can be accommodated inside. However, the volume of the accommodating portion 62 is preferably small from the viewpoint that the tracer gas leaked into the accommodating portion 62 can be effectively detected. Specifically, as the upper limit of the ratio of the volume of the accommodating portion 62 to the volume of the work X, 4 is preferable, 2 is more preferable, and 1.5 is further preferable. On the other hand, the lower limit of the ratio of the volume of the accommodating portion 62 to the volume of the work X can be, for example, 1.2 from the viewpoint of the ease of accommodating the work X.

＜リークテスト方法＞
当該リークテスタ６１を用いたリークテスト方法は、第１実施形態で説明した前述の第２検査工程を、収容部６２内にワークＸを収容し、かつこの収容部６２内にセンサー１２を配設した状態で行う以外、図１のリークテスタ１を用いた前述のリークテスト方法と同様の手順で行うことができる。 <Leak test method>
In the leak test method using the leak tester 61, the work X is housed in the accommodating portion 62 and the sensor 12 is arranged in the accommodating portion 62 in the above-mentioned second inspection step described in the first embodiment. The procedure can be the same as the above-mentioned leak test method using the leak tester 1 shown in FIG.

＜利点＞
当該リークテスタ６１は、ワークＸを内部に収容し、この内部を気密状態に保持可能な収容部６２を備え、スニファープローブ１５の先端部１５ａが収容部６２内に配設されるので、収容部６２内に充満するトレーサーガスを検出することで、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスをより確実に検出することができる。特に、当該リークテスタ６１は、収容部６２内が気密状態に保たれるので、ワークＸにおけるガス漏れ部分から比較的離れた位置にセンサー１２が位置する場合でも空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出することができる。 <Advantage>
The leak tester 61 includes an accommodating portion 62 capable of accommodating the work X inside and holding the inside in an airtight state, and the tip portion 15a of the sniffer probe 15 is arranged in the accommodating portion 62. By detecting the tracer gas that fills the inside, it is possible to more reliably detect the tracer gas that leaks out of the space Y. In particular, since the leak tester 61 keeps the inside of the accommodating portion 62 in an airtight state, it detects the tracer gas leaking out of the space Y even when the sensor 12 is located at a position relatively distant from the gas leak portion in the work X. can do.

当該リークテスト方法は、前記第２検査工程が収容部６２内に充満するトレーサーガスを検出することで、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスをより確実に検出することができる。特に、当該リークテスト方法は、ワークＸにおけるガス漏れ部分から比較的離れた位置にセンサー１２が位置する場合でも空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出することができる。 In the leak test method, the tracer gas leaking to the outside of the space Y can be detected more reliably by detecting the tracer gas filled in the accommodating portion 62 in the second inspection step. In particular, the leak test method can detect tracer gas leaking out of space Y even when the sensor 12 is located at a position relatively distant from the gas leak portion in the work X.

［第四実施形態］
＜リークテスタ＞
図５のリークテスタ７１は、前述の収容部６２に代えて、ワークＸを収容する第１室７３及びこの第１室７３に連通する第２室７４を有する収容部７２を備える。また、当該リークテスタ７１は、第２室７４内を減圧する減圧機構７５を備える。さらに、当該リークテスタ７１は、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサー１２が第２室７４内に配設される。当該リークテスタ７１は、収容部７２及び減圧機構７５を備える以外、図１のリークテスタ１と同様に構成される。そのため、以下では収容部７２及び減圧機構７５についてのみ説明する。 [Fourth Embodiment]
<Leak tester>
The leak tester 71 of FIG. 5 includes, in place of the above-mentioned accommodating portion 62, an accommodating portion 72 having a first chamber 73 accommodating the work X and a second chamber 74 communicating with the first chamber 73. Further, the leak tester 71 includes a decompression mechanism 75 for depressurizing the inside of the second chamber 74. Further, in the leak tester 71, a sensor 12 for detecting the tracer gas leaking to the outside of the space Y is arranged in the second chamber 74. The leak tester 71 is configured in the same manner as the leak tester 1 of FIG. 1 except that the accommodating portion 72 and the decompression mechanism 75 are provided. Therefore, only the accommodating portion 72 and the decompression mechanism 75 will be described below.

（収容部）
第１室７３は、配管によって第２室７４と連通している。また、第１室７３は、主配管２１ａが挿入される貫通孔を有する。さらに、第２室７４は、スニファープローブ１５の先端部１５ａが挿入される貫通孔を有する。収容部７２は、スニファープローブ１５の先端部１５ａが第２室７４の貫通孔に挿入された状態で内部を気密状態に保持可能に構成されている。詳細には、収容部７２は、主配管２１ａ及び減圧機構７５との接続部以外におけるガスの出入りが防止されるよう構成されている。第１室７３及び第２室７４の形成材料は、図５のリークテスタ６１の収容部６２と同様とすることができる。また、第１室７３の容積は、図５のリークテスタ６１の収容部６２と同様とすることができる。一方、第２室７４の容積は、貫通孔に挿入されたスニファープローブ１５のセンサー１２によってトレーサーガスを的確に検出する点からは小さい方が好ましい。このような点から、第２室７４の容積の上限としては、１０ｃｍ^３が好ましく、５ｃｍ^３がより好ましい。一方、第２室７４の容積の下限としては、スニファープローブ１５の先端部１５ａの挿入容易性の点から、例えば２ｃｍ^３とすることができる。 (Accommodation)
The first chamber 73 communicates with the second chamber 74 by piping. Further, the first chamber 73 has a through hole into which the main pipe 21a is inserted. Further, the second chamber 74 has a through hole into which the tip portion 15a of the sniffer probe 15 is inserted. The accommodating portion 72 is configured to be able to hold the inside in an airtight state with the tip portion 15a of the sniffer probe 15 inserted into the through hole of the second chamber 74. Specifically, the accommodating portion 72 is configured to prevent the inflow and outflow of gas other than the connection portion between the main pipe 21a and the decompression mechanism 75. The forming material of the first chamber 73 and the second chamber 74 can be the same as that of the accommodating portion 62 of the leak tester 61 of FIG. Further, the volume of the first chamber 73 can be the same as that of the accommodating portion 62 of the leak tester 61 of FIG. On the other hand, the volume of the second chamber 74 is preferably small from the viewpoint of accurately detecting the tracer gas by the sensor 12 of the sniffer probe 15 inserted into the through hole. From this point of view, the upper limit of the volume of the second chamber 74, preferably 10 cm ^3, 5 cm ³ is more preferable. On the other hand, the lower limit of the volume of the second chamber 74 can be, for example, 2 cm ³ from the viewpoint of ease of inserting the tip portion 15a of the sniffer probe 15.

（減圧機構）
減圧機構７５は、減圧ポンプ７７を有する。減圧ポンプ７７の種類としては、第２室７４内を減圧できるものであれば特に限定されず、公知の空圧式、油圧式、電気式等のポンプを用いることができる。 (Decompression mechanism)
The decompression mechanism 75 includes a decompression pump 77. The type of the pressure reducing pump 77 is not particularly limited as long as it can reduce the pressure in the second chamber 74, and known pneumatic, hydraulic, electric or the like pumps can be used.

＜リークテスト方法＞
当該リークテスタ７１を用いたリークテスト方法は、第１実施形態で説明した前述の第２検査工程を、第１室７３内にワークＸを収容し、かつ減圧機構７５で第２室７４内を減圧しつつ、第２室７４内にセンサー１２を配設した状態で行う以外、図１のリークテスタ１を用いた前述のリークテスト方法と同様の手順で行うことができる。 <Leak test method>
In the leak test method using the leak tester 71, the work X is housed in the first chamber 73 and the inside of the second chamber 74 is depressurized by the decompression mechanism 75 in the above-mentioned second inspection step described in the first embodiment. However, the procedure can be the same as the above-mentioned leak test method using the leak tester 1 of FIG. 1, except that the sensor 12 is arranged in the second chamber 74.

＜利点＞
当該リークテスタ７１は、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスを減圧機構７５によって第２室７４内に誘導しつつ、この第２室７４内に存在するトレーサーガスを第２検査機構５によって検出することで、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスをより確実に検出することができる。特に、当該リークテスタ７１は、センサー１２をワークＸにおけるガス漏れ部分近傍に位置させる必要がないので、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスの検出容易化を促進することができる。 <Advantage>
The leak tester 71 guides the tracer gas leaking out of the space Y into the second chamber 74 by the decompression mechanism 75, and detects the tracer gas existing in the second chamber 74 by the second inspection mechanism 5. , The tracer gas leaking to the outside of the space Y can be detected more reliably. In particular, since the leak tester 71 does not need to position the sensor 12 in the vicinity of the gas leak portion in the work X, it is possible to facilitate the detection of the tracer gas leaking out of the space Y.

当該リークテスト方法は、前記第２検査工程が第２室７４内に存在するトレーサーガスを検出することで、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスをより確実に検出することができる。特に、当該リークテスト方法は、センサー１２をワークＸにおけるガス漏れ部分近傍に位置させる必要がないので、空間Ｙ外に漏洩するトレーサーガスの検出容易化を促進することができる。 In the leak test method, the tracer gas leaking out of the space Y can be detected more reliably by the second inspection step detecting the tracer gas existing in the second chamber 74. In particular, in the leak test method, since it is not necessary to position the sensor 12 in the vicinity of the gas leak portion in the work X, it is possible to facilitate the detection of the tracer gas leaking out of the space Y.

［その他の実施形態］
なお、本発明に係るリークテスタ及びリークテスト方法は、前記態様の他、種々の変更、改変を施した態様で実施することができる。 [Other Embodiments]
The leak tester and the leak test method according to the present invention can be carried out in various modifications and modifications in addition to the above aspects.

例えば当該リークテスタは、前述の回収機構及び排出機構を有しなくてもよい。また、当該リークテスタは、空間外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサーが接触燃焼式サーモパイルセンサーである必要はなく、例えばサーモパイルセンサー以外の接触燃焼式センサーや熱電式センサーであってもよい。 For example, the leak tester does not have to have the above-mentioned collection mechanism and discharge mechanism. Further, in the leak tester, the sensor for detecting the tracer gas leaking to the outside of the space does not have to be a contact combustion type thermopile sensor, and may be, for example, a contact combustion type sensor or a thermoelectric sensor other than the thermopile sensor.

当該リークテスタは、空間外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサーが接触燃焼式サーモパイルセンサーである場合でも、前述の構成の接触燃焼式サーモパイルセンサーを用いる必要はない。 The leak tester does not need to use the contact combustion thermopile sensor having the above configuration even when the sensor for detecting the tracer gas leaking out of the space is a contact combustion thermopile sensor.

前記圧力センサーは、必ずしも差圧式圧力センサーである必要はなく、例えば直圧式圧力センサー、超音波センサー、赤外線センサー等であってもよい。また、当該リークテスタは、前記圧力センサーとして差圧式圧力センサーを用いる場合でも、前述のマスター容器を必ずしも用いる必要はない。 The pressure sensor does not necessarily have to be a differential pressure type pressure sensor, and may be, for example, a direct pressure type pressure sensor, an ultrasonic sensor, an infrared sensor, or the like. Further, the leak tester does not necessarily have to use the above-mentioned master container even when a differential pressure type pressure sensor is used as the pressure sensor.

当該リークテスタは、トレーサーガスとして空気を貯留する第１トレーサーガス供給器及び空気以外のトレーサーガスを貯留する第２トレーサーガス供給器を有する第２実施形態の構成において、ワークを内部に収容し、この内部を気密状態に保持可能な収容部を備え、ワークが有する空間外に漏洩するトレーサーガスを検出するセンサーが収容部内に配設される構成を採用することも可能である。また、当該リークテスタは、この第２実施形態の構成において、収容部がワークを収容する第１室及びこの第１室に連通する第２室を有し、第２室内を減圧する減圧機構をさらに備え、トレーサーガスを検出するセンサーが、第２室内に配設される構成を採用することも可能である。 The leak tester accommodates a work inside in the configuration of the second embodiment having a first tracer gas supply device that stores air as a tracer gas and a second tracer gas supply device that stores a tracer gas other than air. It is also possible to adopt a configuration in which an accommodating portion capable of keeping the inside airtight is provided and a sensor for detecting tracer gas leaking to the outside of the space of the work is arranged in the accommodating portion. Further, in the configuration of the second embodiment, the leak tester has a first chamber in which the accommodating portion accommodates the work and a second chamber communicating with the first chamber, and further has a decompression mechanism for depressurizing the second chamber. It is also possible to adopt a configuration in which the sensor for detecting the tracer gas is arranged in the second chamber.

以上説明したように、本発明に係るリークテスタは、ワークの比較的多量なガス漏れから微量なガス漏れまでを検出することができるので、ワークのガス漏れの検出効率を促進可能なリークテスタとして適している。 As described above, the leak tester according to the present invention can detect from a relatively large amount of gas leakage to a small amount of gas leakage of the work, and is therefore suitable as a leak tester capable of promoting the detection efficiency of gas leakage of the work. There is.

１，５１，６１，７１リークテスタ
２密閉機構
３，５３供給機構
４第１検査機構
５第２検査機構
１１圧力センサー
１２センサー
１３トレーサーガス供給器
１４マスター容器
１５スニファープローブ
１５ａ先端部
２１ａ主配管
２１ｂトレーサーガス供給用配管
２１ｃトレーサーガス回収用配管
２１ｄ接続用配管
２１ｅ第１トレーサーガス供給用配管
２６排出用配管
２７ａ〜２７ｇバルブ
２８圧力計
２９トレーサーガス回収器
３１開口
３２基板
３３第１絶縁層
３４ヒーター
３５反応層
３６ａｎ型熱電素子
３６ｂｐ型熱電素子
３７保護層
３８第２絶縁層
３９第３絶縁層
４０配線
５４第１トレーサーガス供給器
６２，７２収容部
７３第１室
７４第２室
７５減圧機構
７７減圧ポンプ
Ｘワーク
Ｙ空間
1,51,61,71 Leak tester 2 Sealing mechanism 3,53 Supply mechanism 4 1st inspection mechanism 5 2nd inspection mechanism 11 Pressure sensor 12 Sensor 13 Tracer gas feeder 14 Master container 15 Sniffer probe 15a Tip 21a Main piping 21b Tracer Gas supply piping 21c Tracer gas recovery piping 21d Connection piping 21e 1st tracer gas supply piping 26 Discharge piping 27a to 27g Valve 28 Pressure gauge 29 Tracer gas recovery device 31 Opening 32 Board 33 1st insulation layer 34 Heater 35 Reaction layer 36an type thermoelectric element 36bp type thermoelectric element 37 Protective layer 38 Second insulation layer 39 Third insulation layer 40 Wiring 54 First tracer gas supply device 62, 72 Storage unit 73 First room 74 Second room 75 Decompression mechanism 77 Decompression pump X work Y space

Claims

And a mechanism for sealing between the sky that work is Yusuke,
A mechanism that supplies tracer gas to a space sealed by the sealing mechanism, and
A first inspection mechanism having a pressure sensor for detecting a pressure change in the space,
A second inspection mechanism provided outside the space and having a sensor for detecting tracer gas leaking out of the space is provided .
While the first inspection mechanism detects a pressure change in the space while the space is filled with the tracer gas, the second inspection mechanism is configured to detect the tracer gas leaking out of the space. Leak tester.

The leak tester according to claim 1, wherein the second inspection mechanism has a sniffer probe and detects the tracer gas by bringing the sniffer probe closer to the work.

The work is housed inside, and a housing part capable of holding the inside in an airtight state is further provided.
The leak tester according to claim 1, wherein the sensor for detecting the tracer gas is arranged in the accommodating portion.

The accommodating portion has a first chamber for accommodating the work and a second chamber communicating with the first chamber.
Further provided with a decompression mechanism for depressurizing the second chamber,
The leak tester according to claim 3 , wherein the sensor for detecting the tracer gas is arranged in the second chamber.

The sensor for detecting the tracer gas has a substrate, a heater disposed on one side of the substrate, and a reaction layer disposed on one side of the heater and having a carrier carrying a combustion catalyst. Any one of claims 1 to 4, which is a contact combustion type thermopile sensor in which a thermopile warm contact is arranged in the vicinity of the reaction layer and the heater, and a thermopile cold contact is arranged in the vicinity of the substrate. Leak tester described in.

The process of supplying tracer gas to the closed space of the work,
The first inspection step of detecting the pressure change in the space and
It is equipped with a second inspection step for detecting tracer gas leaking out of the space.
A leak test method for detecting a tracer gas leaking out of the space in the second inspection step while detecting a pressure change in the space in the first inspection step while the space is filled with the tracer gas .