JP2018006617A - 電解コンデンサ用電極箔の製造方法 - Google Patents
電解コンデンサ用電極箔の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018006617A JP2018006617A JP2016133136A JP2016133136A JP2018006617A JP 2018006617 A JP2018006617 A JP 2018006617A JP 2016133136 A JP2016133136 A JP 2016133136A JP 2016133136 A JP2016133136 A JP 2016133136A JP 2018006617 A JP2018006617 A JP 2018006617A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- electrode foil
- polymer layer
- thermoplastic polymer
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011888 foil Substances 0.000 title claims abstract description 70
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 claims abstract description 50
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 39
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 19
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 claims description 23
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 claims description 23
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims description 18
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 claims description 12
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical group C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 claims description 7
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 claims description 6
- YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N trimethoxysilane Chemical class CO[SiH](OC)OC YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 claims description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 abstract description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 abstract description 5
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 abstract description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 4
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 abstract description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 123
- 239000010408 film Substances 0.000 description 34
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 12
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 2
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 2
- 238000001127 nanoimprint lithography Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000861 blow drying Methods 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006552 photochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 229920005553 polystyrene-acrylate Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000003856 thermoforming Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
Description
すなわち、特許文献2には、紫外線を照射したウェットエッチング用基板に対して熱ナノインプリント法により熱可塑性高分子層を凹凸形状に形成した後、凹凸形状の凹部に残存する熱可塑性高分子層を、紫外線オゾン照射によるエッチングや酸素リアクティブエッチングを用いて除去し、最終的に露出した金属層をウェットエッチングにより除去することで金属パターンを形成することが記載されている。
一方で、紫外線オゾン照射を不足気味に施した場合では、残膜の厚さが厚い部分では残膜が除去されずレジスト凹部でエッチングが進行しないため金属パターンに成形斑が生じる問題があった。
工程A:電極箔の表面に感紫外線化合物層を形成する工程と、
工程B:前記感紫外線化合物層の表面に、少なくともポリメタクリル酸エステルまたはポリアクリル酸エステルのいずれかを含む重合体の層を形成する工程と、
工程C:紫外線を照射して前記重合体の層からグラフト層を形成する工程と、
工程D:前記グラフト層の表面に熱可塑性高分子層を形成する工程と、
工程E:熱ナノインプリント法により前記熱可塑性高分子層に凹凸を形成する工程と、
工程F:前記凹凸形状の凹部に残存するグラフト層を紫外線照射により解重合、または紫外線オゾン照射により酸化および解重合する工程と、
工程G:前記凹部の底面に位置する電極箔をウェットエッチングする工程と、
工程H:前記電極箔上の感紫外線化合物層とグラフト層と熱可塑性高分子層とを実質的に除去する工程
を含むことを特徴とする。
すなわち、熱可塑性高分子層の熱ナノインプリント成形後の残膜除去処理に紫外線照射を行うことにより、グラフト層の解重合が起こり、紫外線オゾン照射を行うことにより、グラフト層の酸化および解重合が起こり、短時間の残膜の改質によって、後の金属層のエッチングを可能とし、微細な表面凹凸を有した電解コンデンサ用電極箔を製造するのに適した方法を提供するものである。
さらに、本発明によれば、ロール・ツゥ・ロールによる基材の連続処理が可能となり、これによってアルミニウム電解コンデンサ用電極箔の量産性を向上させることができる。
本発明における第1の工程(工程A)は、被エッチング基板である電解コンデンサ用電極箔の表面に感紫外線化合物層を形成させる工程で、この感紫外線化合物層を形成する化合物としては、ベンゾフェノン基を含有したトリメトキシシラン誘導体が好ましい。
このようなベンゾフェノン基含有トリメトキシシラン誘導体の具体例としては、4−(3−トリメトキシシリル)プロピルオキシベンゾフェノン、4−(3−トリメトキシシリル)プロピルオキシ−4’−メトキシベンゾフェノン、8−(3−トリメトキシシリル)オクチルオキシベンゾフェノン、8−(3−トリメトキシシリル)オクチルオキシ−4’−メトキシベンゾフェノンなどが挙げられ、これらの感紫外線化合物は、公知の方法により製造可能である。
上記の工程Aにおいて、電解コンデンサ用電極箔の表面に感紫外線化合物層を形成させる方法は、閉空間内で加熱を行って感紫外線化合物を揮発させる気相蒸着法であっても、感紫外線化合物を有機溶媒(例えばトルエン等)で0.2〜1重量%程度に希釈したものをディップコート方式等で電解コンデンサ用電極箔の表面に塗布するコート法であっても良いが、有機溶媒を用いてコートを行った場合には、溶媒を除去するために加熱乾燥を行うことが好ましい。このようにして形成される感紫外線化合物層の膜厚は一般的には0.6〜20nm程度であり、例えば1nmとすることができる。
尚、上記工程Aで使用される電解コンデンサ用電極箔としては、公知の方法により表面調整(平坦化・平滑化)を行い、さらに洗浄を行って異物や汚れを除去したものを使用するのが一般的である。アルミニウム箔は、電解コンデンサ用電極箔として使用可能なものであれば、どのようなものであってもよい。例えば、純度99.9以上、厚さ20〜300μm、(100)面配向率95%以上の高純度アルミニウム箔を使用することができる。アルミニウム箔の平均粗度Raは、成形するパターンのホール直径の1/100以下であることが好ましい。例えば、ホール直径1μmのパターンを成形する場合はRa=0.01μmとする。
ポリメタクリル酸メチルのホモ重合体としては、例えば数平均分子量(以下Mnと示す):230,000で、重量平均分子量(以下Mwと示す):300,000で、多分散度(以下Mw/Mnと示す):1.3が好適であり、また、ポリメタクリル酸メチルとポリスチレンのランダム共重合体としては、例えばMn:5,800で、Mw:7,300で、Mw/Mn:1.26で、スチレンのモル比率:46%とすることができる。上記は一例であり、ポリメタクリル酸メチルのホモ重合体およびポリメタクリル酸メチルとポリスチレンのランダム共重合体の数平均分子量、重量平均分子量、多分散度は上記数値に限定されない。ポリメタクリル酸メチルとポリスチレンのランダム共重合体におけるスチレンのモル比率は、75%以下であることが好ましく、46%以下であることがより好ましい。
本発明では、上記の少なくともポリメタクリル酸エステルの重合体からなる層は、前記重合体を0.2〜1.0重量%含む溶液を用いて、枚葉処理ではスピンコート方式等で、連続処理ではダイコート方式等で塗布を行うことにより形成され、膜厚はできるだけ薄くなるように塗布を行うことが好ましい。具体的には、膜厚は0.5μm以下がより好ましく、膜厚は0.2μm以下であることがさらに好ましい。
なお、本発明では、上記の紫外線照射を行った後に、余剰の前記重合体を除去してグラフト層を残存させるため、溶剤を用いた洗浄(例えばトルエン洗浄)を行うことが好ましい。
この工程Dにおいて、熱可塑性高分子層を形成する際、上記のポリスチレンを1〜10重量%含む溶液(例えばトルエンを有機溶媒とする溶液)を用いてスピンコートまたはダイコートを行うのが好ましいが、コート方法は、これに限定されるものではない。
この工程で形成される熱可塑性高分子層の厚さは、特に制限はないが、熱ナノインプリント法で成形するため、モールド凹部の深さより薄い膜厚であることが好ましい。モールドの凹部の幅(w)とモールド凹部の深さ(d)の関係(d/w)が2を超えると、引き剥がれ欠陥が起こりやすくなり、熱ナノインプリント法による熱可塑性高分子層の成形で不良が生じやすい。モールドの凹部の幅が1μmで、深さが2μmであれば、熱ナノインプリント成形後の熱可塑性高分子層の凹部の好ましい層厚は0.05〜2μm程度であり、より好ましくは0.1〜1μm程度である。
本発明では、上記の方法によって熱可塑性高分子層を形成した後、有機溶媒を除去するために加熱乾燥を行うのが一般的である。
図1の電極箔1上の感紫外線化合物層2には、感紫外線化合物としてベンゾフェノン基含有トリメトキシシラン誘導体が使用されており、グラフト層3は、少なくともポリメタクリル酸エステルの重合体に対して紫外線を照射したものから成る層で、熱可塑性高分子層4は、上記のポリスチレンから成る層である。
熱ナノインプリント法では、熱可塑性高分子層の表面に凹凸を形成した際、図2に示されるように、熱可塑性高分子層4の凹部底にレジストの残膜ができ、この残膜があるとウェットエッチングにより電極箔の微細加工ができないため、ウェットエッチングを行う前に残膜のウェットエッチング耐性を消失させる必要がある。
なお、本発明の製造方法においては、工程Eを実施する際、公知の熱ナノインプリント装置が使用でき、熱ナノインプリント法の条件は、モールド表面の凹凸形状や熱可塑性高分子の種類および特性に応じて適宜選択されるが、好ましい成形条件としては、例えば成形温度130〜150℃、圧力5〜40MPa、成形時間3〜5分の条件が挙げられる。電極箔の変形を抑制するために印加圧力は小さい程好ましく、成形時間もより短い方が生産性を向上させることができる。
なお、感紫外線化合物層2は1nm程度の膜厚であるため、この層自体にレジスト耐性はなく、熱可塑性高分子層4も膜厚0.2μm未満になると水系のエッチング溶液に耐性が小さくなるが、本発明では、熱ナノインプリント成形後の熱可塑性高分子層4の凹部の膜厚が0.2μmを超える部分であっても、当該凹部の下側に位置するグラフト層3が解重合または、酸化および解重合しているため、水系のエッチング溶液に対する耐性が低下し、実質的にレジスト膜としての機能を失う。よって、熱ナノインプリント成形後の残膜処理に紫外線照射または紫外線オゾン照射を行うことにより、短い処理時間にて凹部のレジスト機能を消失させることができる。
本発明では、このような紫外線照射または紫外線オゾン照射によって、熱ナノインプリント法により凹凸形状を形成した凹凸形状の凹部に残存する熱可塑性高分子層4の底面に位置するグラフト層3が解重合されるが、解重合されたものが層3’として残る。しかしながら、凹凸形状の凹部に残存する熱可塑性高分子層4、グラフト層3’および感紫外線化合物層2は実質的に除去され、熱可塑性高分子層4の凹部に電極箔1が露出したのと同等の効果を得る(図3(b)を参照)。
本発明により、電極箔自体の平坦性が低く、熱可塑性高分子層4の凹部の残膜の厚さにばらつきが生じていても、残膜を除去することなく、実質的に残膜部のレジスト機能を消失させることができる効果があり、得られる電極箔の微細構造のばらつきが小さくなる効果を有する。
この際、ウェットエッチングの条件は特に限定されるものではなく、一般的なエッチング条件は、塩酸(1〜7M)またはこれに硫酸(0.1〜2M)を添加し、50〜70℃に加温した液中で、30〜60秒行なうものである。
以下に、本発明の実施例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に記載されたものに限定されるものではない。
電極箔として、市販の高純度アルミニウム箔(電解コンデンサ用、厚み120μm)を準備し、グラフト層形成用樹脂として、以下の3種類の樹脂を準備した。
1)ポリスチレン(以下PSという、Mw:105,000)(比較例)
2)ポリメタクリル酸メチルのホモ重合体(以下PMMAという、Mw/Mn:1.3、Mn:230,000、Mw:300,000)(本発明)
3)ポリスチレンとポリメタクリル酸メチルとのランダム共重合体(以下、PS−random−PMMAという、Mn:5,800、Mw:7,300、Mw/Mn:1.26、スチレン比率:46モル%)(本発明)
上記のPMMAとPS−random−PMMAを用いた場合が本発明の製造方法に該当し、上記のPSを用いた場合が比較例に該当する。
用いた製造条件(工程):
・表面調整
過塩素酸20体積%エタノール溶液を用い、5℃、20V、5分にて電解研磨し、アルミ箔の表面を平坦・平滑化
・表面洗浄
洗剤5重量%+超音波5分、超純水(超クリーン水)+超音波5分にて洗浄を行い、アルミニウム箔表面に付着した異物や汚れを除去
・ベンゾフェノン修飾(感紫外線化合物層の形成)
4−(3−トリメトキシシリル)プロピルオキシベンゾフェノンを、ステンレス容器内でオーブン加熱(300cm2に対して50μl、150℃、2時間)して表面洗浄したアルミニウム電極箔表面に気相蒸着(感紫外線化合物層の厚み:1nm)
・グラフト層形成用樹脂の塗布
上記1)〜3)のグラフト層形成用樹脂をそれぞれ使用し、樹脂濃度各1重量%の溶液を用いて、スピンコート(3000rpm、30秒、加速1秒、減速5秒)
・紫外線照射(グラフト層の形成)
アルミニウム箔にグラフト層を形成させるために、低圧水銀ランプ(波長254nm)を用いて2J/cm2(13mW/cm2、154秒)の紫外線を照射(グラフト層の厚み:2nm)
・トルエン洗浄
トルエンに10秒間浸漬して、余剰なグラフト層形成用樹脂を除去し、窒素ブロー乾燥によりグラフト層をアルミニウム箔に形成・レジスト層塗布(熱可塑性高分子層の作製)
PS(Mw:105,000、Mw/Mn:2.67) をトルエンに添加し、スターラーで12時間撹拌して溶解させ、ポリスチレン濃度8.7重量%のトルエン溶液を調製し、この溶液をスピンコート(3000rpm、30秒、加速1秒、減速5秒)(熱可塑性高分子層の厚み:0.5μm)
・加熱乾燥
ホットプレートを用いて、190℃、10分加熱し、溶媒トルエンを除去
・熱ナノインプリント(凹凸形状の形成)
凹部φ1.7μm、凹部の深さ1.7μm、ピッチ3μmの成形を行うナノインプリント用モールドを用いて、成形温度140℃、圧力5MPa、成形時間3分の条件にて熱可塑性高分子層の表面に凹凸形状を形成
・残膜の実質的なレジスト機能の消失処理(紫外線オゾン照射)
波長185nmと254nmを含む低圧水銀ランプ(3.2〜4.8mW/cm2)を用い、紫外線オゾン照射時間を変化(1分間)
・電解エッチング
条件:標準条件(エッチング溶液として塩酸(6M)に硫酸(1M)を添加したものを55℃に加温して使用)にて40秒間エッチング処理
紫外線オゾン照射時間が1分の場合であっても、PMMA、PS−random−PMMAはほぼ良好なピット発生と伸長を示したが(図4参照)、PSではピット発生と伸長が悪化した。
以上の結果から、グラフト層形成用樹脂としてPMMAまたはPS−random−PMMAを使用することによって、紫外線オゾン照射によるナノインプリント残膜の実質的なレジスト機能の消失化処理効果を高めることができ、かつナノプリント残膜除去をすることなくの短時間の処理で(例えば1分間)レジスト機能の消失を可能とすることが確認された。また、ナノインプリント後の残厚膜が不均一になりやすいアルミニウム箔でも、有効な効果が得られることが確認できた。
図5には、本発明により得られたアルミニウム電極箔の表面のパターニングの一例を示すSEM写真が示されているが、パターニングは、これに限定されるものではない。
2 感紫外線化合物層
3 グラフト層(接着層)
4 熱可塑性高分子層
5 ナノインプリント用モールド
Claims (4)
- 工程A:電極箔の表面に感紫外線化合物層を形成する工程と、
工程B:前記感紫外線化合物層の表面に、少なくともポリメタクリル酸エステルまたはポリアクリル酸エステルのいずれかを含む重合体の層を形成する工程と、
工程C:紫外線を照射して前記重合体の層からグラフト層を形成する工程と、
工程D:前記グラフト層の表面に熱可塑性高分子層を形成する工程と、
工程E:熱ナノインプリント法により前記熱可塑性高分子層に凹凸を形成する工程と、
工程F:前記凹凸形状の凹部に残存するグラフト層を紫外線照射により解重合、または紫外線オゾン照射により酸化および解重合する工程と、
工程G:前記凹部の底面に位置する電極箔をウェットエッチングする工程と、
工程H:前記電極箔上の感紫外線化合物層とグラフト層と熱可塑性高分子層とを実質的に除去する工程
を含むことを特徴とする電解コンデンサ用電極箔の製造方法。 - 前記ポリメタクリル酸エステルを含む重合体が、ポリメタクリル酸メチルのホモ重合体または、ポリメタクリル酸メチルとポリスチレンのランダム共重合体であることを特徴とする請求項1に記載の電解コンデンサ用電極箔の製造方法。
- 前記感紫外線化合物層中の感紫外線化合物がベンゾフェノン基含有トリメトキシシラン誘導体であることを特徴とする請求項1または2に記載の電解コンデンサ用電極箔の製造方法。
- 前記電極箔が、アルミニウム箔であることを特徴とする請求項1乃至3に記載の電解コンデンサ用電極箔の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016133136A JP6717489B2 (ja) | 2016-07-05 | 2016-07-05 | 電解コンデンサ用電極箔の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016133136A JP6717489B2 (ja) | 2016-07-05 | 2016-07-05 | 電解コンデンサ用電極箔の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018006617A true JP2018006617A (ja) | 2018-01-11 |
JP6717489B2 JP6717489B2 (ja) | 2020-07-01 |
Family
ID=60949820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016133136A Active JP6717489B2 (ja) | 2016-07-05 | 2016-07-05 | 電解コンデンサ用電極箔の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6717489B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021075738A (ja) * | 2019-11-05 | 2021-05-20 | ニチコン株式会社 | アルミニウム箔の表面加工方法 |
JP2022024431A (ja) * | 2020-07-28 | 2022-02-09 | ニチコン株式会社 | 電解コンデンサ用電極箔およびその製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6151817A (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-14 | 昭和アルミニウム株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材及びその製造方法 |
JP2011111636A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Nof Corp | ウェットエッチング用基板、およびその用途 |
-
2016
- 2016-07-05 JP JP2016133136A patent/JP6717489B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6151817A (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-14 | 昭和アルミニウム株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材及びその製造方法 |
JP2011111636A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Nof Corp | ウェットエッチング用基板、およびその用途 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021075738A (ja) * | 2019-11-05 | 2021-05-20 | ニチコン株式会社 | アルミニウム箔の表面加工方法 |
JP7432887B2 (ja) | 2019-11-05 | 2024-02-19 | ニチコン株式会社 | アルミニウム箔の表面加工方法 |
JP2022024431A (ja) * | 2020-07-28 | 2022-02-09 | ニチコン株式会社 | 電解コンデンサ用電極箔およびその製造方法 |
JP7313013B2 (ja) | 2020-07-28 | 2023-07-24 | ニチコン株式会社 | 電解コンデンサ用電極箔およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6717489B2 (ja) | 2020-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8298467B2 (en) | Method of low temperature imprinting process with high pattern transfer yield | |
US9844802B2 (en) | Process and apparatus for cleaning imprinting molds, and process for manufacturing imprinting molds | |
JP6082237B2 (ja) | テクスチャー構造を有するシリコン基板の製法 | |
JP5940662B2 (ja) | 反射防止フィルムの製造方法 | |
JP2011111636A (ja) | ウェットエッチング用基板、およびその用途 | |
JP6717489B2 (ja) | 電解コンデンサ用電極箔の製造方法 | |
KR101064900B1 (ko) | 패턴 형성방법 | |
JP2010503993A (ja) | リフトオフ・パターニング向けの向上したエッチング技法 | |
US20100301004A1 (en) | Fabrication of metallic stamps for replication technology | |
JP5621201B2 (ja) | インプリントモールド製造方法およびインプリントモールド | |
JP5544789B2 (ja) | 無端状パターンの製造方法、樹脂パターン成形品の製造方法、無端状モールド、及び光学素子 | |
JP4967630B2 (ja) | インプリントモールドおよびインプリントモールド製造方法 | |
US20140084519A1 (en) | Methods and a mold assembly for fabricating polymer structures by imprint techniques | |
JP2006303454A (ja) | ナノインプリント用モールドとその製造方法、凹凸パターンの転写方法、凹部を有する部材の製造方法 | |
Lee et al. | Anti-adhesive characteristics of CHF3/O2 and C4F8/O2 plasma-modified silicon molds for nanoimprint lithography | |
JP2012048030A (ja) | 基板の製造方法 | |
JP2015115524A (ja) | インプリントモールドの製造方法 | |
JP7432887B2 (ja) | アルミニウム箔の表面加工方法 | |
KR100815081B1 (ko) | 스탬퍼 이형처리 방법 | |
KR100626408B1 (ko) | 저에너지 원자력 힘 현미경 시스템을 이용한 유기물 및금속 박막의 나노 미세 패턴 제조 방법 | |
CN110651357A (zh) | 利用被压印的微图案的等离子蚀刻方法 | |
WO2020045668A1 (ja) | 成形型及びレンズ | |
JP2011162870A (ja) | 多孔質構造材料の製造方法 | |
KR101061555B1 (ko) | 나노 임프린트용 템플릿 및 이의 제조 방법 | |
CN115356893A (zh) | 一种纳米压印硬模的制备方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190411 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200310 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200527 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200603 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6717489 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |