JP2018004296A - 超音波探傷装置および部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
超音波探触子にスパイク波を印加すると、セラミックスの測定対象物に向けて超音波が照射される。セラミックスに入射した超音波は表面近傍の開口き裂の開口き裂で反射され、超音波探触子で受信される。本願発明者は、主成分に着目してA/D変換すると裏面反射波の強度が強いので表面近傍の開口き裂からの反射波が裏面反射波に埋没してしまうが、主成分よりも周波数が高い高周波成分に着目すると、表面近傍の開口き裂からも裏面反射波の振幅と同程度の強度の信号が得られることに気付いた。したがって、HPF46によって反射波主成分を除去してから適切なレンジでA/D変換を行なうことによって、表面近傍の開口き裂もデータ化することができる。反射波の強度とビーム照射位置との関係を画像化する装置を用いて表面近傍の開口き裂または非金属介在物の検出及び可視化ができる。
[実施例]
以上の構成において、HPF46の遮断周波数と、増幅器42の増幅率の組み合わせによって、得られる画像から欠陥が判別できる場合とできない場合とがある。以下では、窒化ケイ素セラミックス板材上に擬似的にレーザ加工を用いて形成した欠陥が種々の条件で判別できるか否かについて試験を行なった。
上述した検査装置を利用した、検査対象物の検査方法を説明する。図17は、本実施形態に係る検査方法を説明するためのフローチャートである。図17を参照して、本実施形態に係る検査方法を説明する。
図18は、本実施形態に係る部品の製造方法を説明するためのフローチャートである。本実施形態に係る部品の製造方法は、上述した検査方法を用いて検査を行なう部品の製造方法であって、まず部品製造工程(S10)を実施する。この工程(S10)では、たとえば、セラミックス製の球状体である軸受の玉(転動体)、内輪、外輪、保持器など軸受を構成する部品を製造する。これらの部品の製造方法は、従来周知の任意の方法を用いることができる。
Claims (3)
- 水中でセラミックスの検査対象物の表面にスパイク波を送信する超音波探触子と、
前記超音波探触子に前記スパイク波を出力する信号出力部と、
前記スパイク波が前記検査対象物に入射する位置を変更するように構成された探触位置変更機構と、
前記検査対象物に入射した前記スパイク波が前記検査対象物の表面近傍の開口き裂または介在異質物によって反射された反射波を検出する信号検出部とを備え、
前記信号検出部は、
前記超音波探触子が受信した信号を増幅する増幅器と、
前記超音波探触子が受信した信号から前記反射波の主成分を除去し、前記主成分よりも周波数が高い高周波波形を抽出するハイパスフィルタを含む、超音波探傷装置。 - 前記増幅器の受信ゲインは76.8dB以上であり、かつ前記ハイパスフィルタの遮断周波数は20MHz以上である、請求項1に記載の超音波探傷装置。
- 請求項1または2に記載の超音波探傷装置で前記検査対象物を検査する超音波検査工程を備える、部品の製造方法。
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