JP2018003881A - 差圧式チェック弁及びシリンダ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】閉弁した後に、流出側の圧力が変動する場合であっても、閉弁状態を維持することができる差圧式チェック弁等を提供する。【解決手段】差圧式チェック弁１２は、弁箱３１と、弁箱３１の内部に設けられる弁棒３２と、を備え、弁棒３２は、流入側から流出側に移動することで閉弁位置に向かって作動する一方で、流出側から流入側に移動することで開弁位置に向かって作動する弁棒本体６１と、弁棒本体６１の流入側の端部から流出側の端部に向かって、作動流体が流通するように設けられる流体流路６２と、弁棒本体６１の流入側の端部に設けられ、流入側からの流体の圧力を受ける流入側受圧面７１と、弁棒本体６１の流出側の端部に設けられ、流出側からの流体の圧力を受けると共に、流入側受圧面７１に比して小さい面となる流出側受圧面７２と、を有する。【選択図】図３

Description

本発明は、差圧式チェック弁及びシリンダ装置に関するものである。

従来、チェック弁（逆止弁）として、電磁ポンプに設けられる安全弁が知られている（例えば、特許文献１参照）。この安全弁は、弁座側に球状の弁をばねで付勢した状態で弁座の開口部を開閉可能なように構成している。

特開平１０−７８２１６号公報

ところで、特許文献１に記載のチェック弁は、その内部において流体が流通しており、ばねの付勢力に抗して、流体が流入側から流出側に向けて流通することにより、球状の弁が弁座から離れて開弁する。一方で、チェック弁は、流体が流出側から流入側に向けて流通しようとすると、ばねの付勢力により、球状の弁が弁座に当接して閉弁する。このようなチェック弁は、単一の系統から分岐する複数の分岐系統にそれぞれ配置される場合があり、この複数の分岐系統には、シリンダ等のアクチュエータがそれぞれ接続された状態となっている。

この場合、チェック弁が閉弁した後、チェック弁の流出側においてアクチュエータ内の流体の圧力が変動すると、この圧力の変動に応じてチェック弁が開弁または閉弁してしまい、アクチュエータの作動が不安定なものとなる。特に、アクチュエータとして、シリンダを適用した場合、振動等によりシリンダが振動すると、シリンダに設けられるピストンロッドの先端が、設置面に当接したり、離れたりすることで、アクチュエータ内の流体の圧力が変動してしまう。この場合、ピストンロッドの先端が離れたときに、ピストンロッドのストロークが伸びてしまう。

そこで、本発明は、閉弁した後に、流出側の圧力が変動する場合であっても、閉弁状態を維持することができる差圧式チェック弁及びシリンダ装置を提供することを課題とする。

本発明の差圧式チェック弁は、内部において流入側から流出側へ向かって流体が流通する弁箱と、前記弁箱の内部に設けられ、前記弁箱に対して、開弁状態となる開弁位置と、閉弁状態となる閉弁位置との間で移動する弁棒と、を備え、前記弁棒は、流入側から流出側に移動することで前記閉弁位置に向かって作動する一方で、流出側から流入側に移動することで前記開弁位置に向かって作動する弁棒本体と、前記弁棒本体の流入側の端部から流出側の端部に向かって、前記流体が流通するように設けられる流体流路と、前記弁棒本体の流入側の端部に設けられ、流入側からの前記流体の圧力を受ける流入側受圧面と、前記弁棒本体の流出側の端部に設けられ、流出側からの前記流体の圧力を受けると共に、前記流入側受圧面に比して小さい面となる流出側受圧面と、を有することを特徴とする。

この構成によれば、弁箱の内部の圧力が高くなると、流入側受圧面における圧力が、流出側受圧面における圧力に比して大きくなるため、弁棒が流入側から流出側に向かって移動する。すると、弁棒が閉弁位置に作動することにより、流体の流通を遮断することができる。閉弁後は、流出側の圧力が変動する場合であっても、閉弁状態を維持することができる。一方で、流入側の流体の圧力を開放する等して、流入側受圧面の圧力を低下させると、流出側受圧面における圧力が、流入側受圧面における圧力に比して大きくなるため、弁棒が流出側から流入側に向かって移動する。すると、弁棒が開弁位置に作動することにより、流体の流通を許容することができる。このように、流入側における流体の圧力と、流出側における流体の圧力との差圧により、簡易な構成で開弁または閉弁を行うことができる。

また、前記弁棒本体は、円筒形状に形成され、前記流体流路は、前記弁棒本体の中心軸に沿って形成されていることが好ましい。

この構成によれば、弁棒本体の中心軸に沿って、流体流路を形成することができるため、流体流路を容易に形成することができ、弁棒本体及び流体流路を簡易な円筒形状とすることができる。

また、前記弁箱に対して、前記弁棒を前記流入側へ向けて付勢する弾性部材を、さらに備えることが好ましい。

この構成によれば、弾性部材の付勢力によって、弁箱に対して弁棒を流入側に移動させることができる。このため、流入側受圧面の圧力低下時において、弁棒を開弁位置に好適に移動させることができる。

また、前記弁箱は、内部に形成される弁座面を有し、前記弁棒は、前記閉弁位置において前記弁座面と対向する弁体を、さらに有し、前記弁座面と前記弁体との間に設けられるシール部材を、さらに備えることが好ましい。

この構成によれば、シール部材により弁座面と弁体との間をシールすることができるため、閉弁時における流体の漏出を抑制することができる。特に、差圧式チェック弁が小さい場合、例えば、差圧式チェック弁が１０ｍｍ程度の配管の内部に収容可能な大きさである場合、弁座面と弁体との寸法精度を確保することが困難であるため、シール部材を設けることにより流体の流通を適切に遮断することができる。なお、シール部材としては、例えば、シートパッキンである。

本発明のシリンダ装置は、上記の差圧式チェック弁と、前記差圧式チェック弁の流入側に接続され、前記差圧式チェック弁に供給される前記流体が流通する流体供給系統と、前記差圧式チェック弁の流出側に接続されるシリンダと、を備えることを特徴とする。

この構成によれば、流体供給系統から供給された流体は、差圧式チェック弁を流通した後、シリンダへ向けて供給される。シリンダに流体が流入する場合、差圧式チェック弁の弁箱の内部の圧力は低いことから、弁棒は作動せず、差圧式チェック弁は、開弁状態を維持する。この後、シリンダが反力を受けると、シリンダの内部の圧力が上昇し、これにより、差圧式チェック弁の弁箱の内部の圧力が上昇する。すると、弁棒が開弁位置から閉弁位置に作動することにより、流体の流通を遮断することができるため、シリンダの作動をすぐに停止して固定することができる。閉弁後は、差圧式チェック弁の流出側の圧力が変動する場合であっても、閉弁状態を維持することができる。この後、流体供給系統からの流体の供給が停止され、弁箱の流入側の流体の圧力が開放されると、シリンダ内の残圧により弁棒が流出側から流入側に向かって移動する。すると、弁棒が閉弁位置から開弁位置に作動することにより、流体の流通を許容することができるため、シリンダの固定をすぐに解除することができる。

また、前記流体供給系統は、主供給系統と、前記主供給系統から分岐する複数の分岐供給系統と、を有し、前記差圧式チェック弁は、複数の前記分岐供給系統にそれぞれ設けられ、前記シリンダは、複数の前記差圧式チェック弁にそれぞれ接続されていることが好ましい。

この構成によれば、複数のシリンダのうち、１つのシリンダが先に反力を受け、他の１つのシリンダが後に反力を受けた場合、先のシリンダが、差圧式チェック弁が閉弁状態となった後、後のシリンダが反力を受ける。この場合、後のシリンダが設けられる分岐供給系統内の流体の圧力が上昇すると共に、先のシリンダが設けられる分岐供給系統内の流体の圧力も上昇する。このとき、先のシリンダは、差圧式チェック弁が閉弁状態となっているため、分岐供給系統内の流体の圧力が上昇しても、固定状態を維持することができる。このため、複数のシリンダが接続される複数の分岐供給系統のそれぞれに差圧式チェック弁を設けることで、反力を受ける位置に複数のシリンダを固定することができる。

図１は、本実施形態に係るシリンダ装置を概略的に示す説明図である。 図２は、本実施形態に係るシリンダ装置の系統に関する説明図である。 図３は、本実施形態に係る差圧式チェック弁を示す断面図である。

以下に、本発明に係る実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能であり、また、実施形態が複数ある場合には、各実施形態を組み合わせることも可能である。

［実施形態］
図１は、本実施形態に係るシリンダ装置を概略的に示す説明図である。図２は、本実施形態に係るシリンダ装置の系統に関する説明図である。図３は、本実施形態に係る差圧式チェック弁を示す断面図である。

図１に示すように、シリンダ装置１０は、所定の装置５を支持する支持装置として機能するものであり、例えば、配管６の内部において管軸方向に沿って設置される装置５を、配管６の中心に支持している。配管６は、例えば、管の直径（内径または外径）が１０ｍｍ程度となっており、この配管６内に、装置５及びシリンダ装置１０が設置される。

図１及び図２に示すように、シリンダ装置１０は、流体供給系統１１と、複数の差圧式チェック弁１２と、複数のシリンダ１３と、を備えている。

流体供給系統１１は、複数のシリンダ１３へ向けて作動流体（流体）を供給する系統となっており、主供給系統２１と、主供給系統２１から分岐する複数の分岐供給系統２２と、を有している。このため、作動流体は、主供給系統２１を流通した後、複数の分岐供給系統２２に分流する。ここで、作動流体は、非圧縮性流体であり、例えば、水、油等が適用される。なお、作動流体は、非圧縮性流体に限定されず、圧縮性流体を適用してもよい。

複数の差圧式チェック弁１２は、複数の分岐供給系統２２にそれぞれ設けられている。差圧式チェック弁１２は、その流入側が分岐供給系統２２に接続され、その流出側がシリンダ１３に接続されている。詳細は後述するが、差圧式チェック弁１２は、その内部の圧力が高まると閉弁する一方で、流入側の圧力が低下すると開弁する。なお、差圧式チェック弁１２については後述する。

シリンダ１３は、差圧式チェック弁１２を介して供給される作動流体によって伸縮動作するアクチュエータである。このシリンダ１３は、シリンダ本体２５と、ピストンロッド２６と、バネ２７と、差圧式チェック弁１２の流出側に接続される流体供給ポート２８と、支持プレート２９と、を有している。

シリンダ１３は、シリンダ本体２５の内部にピストンロッド２６が収容されている。シリンダ１３は、流体供給ポート２８を介してシリンダ本体２５の内部に作動流体が供給されることで、シリンダ本体２５に対してピストンロッド２６が伸長動作し、ピストンロッド２６の先端に設けられる支持プレート２９が配管６の内周面に当接する。一方で、シリンダ１３は、流体供給ポート２８からの作動流体の供給が停止されると共に、作動流体によるシリンダ本体２５の内部の圧力が開放されると、シリンダ１３は、バネ２７の付勢力によりシリンダ本体２５に対してピストンロッド２６が収縮動作し、配管６の内周面から支持プレート２９が離れる。

次に、図３を参照して、差圧式チェック弁１２について具体的に説明する。この差圧式チェック弁１２は、流入側における作動流体の圧力と、流出側における作動流体の圧力との差圧に応じて、開弁または閉弁するものとなっている。

差圧式チェック弁１２は、弁箱３１と、弁箱３１の内部に設けられる弁棒３２と、圧縮ばね（弾性部材）３３と、シートパッキン（シール部材）３４と、を有しており、弁箱３１に対して、弁棒３２が、開弁状態となる開弁位置と、閉弁状態となる閉弁位置との間で移動している。

弁箱３１は、中心軸を有する円筒形状のシリンダとなっている。弁箱３１は、軸方向の一方の端部側が、作動流体が流入する流入側となっており、軸方向の他方の端部側が、作動流体が流出する流出側となっている。そして、弁箱３１は、その内部に弁棒３２、圧縮ばね３３及びシートパッキン３４を収容しており、その内部において作動流体を流入側から流出側へ向かって流通させている。

弁箱３１は、流出側に設けられる流出側弁箱４１と、流入側に設けられる流入側弁箱４２とを含んで構成されている。

流出側弁箱４１には、流出側の端部に形成される流出口４５と、流出口４５に連通する流出側空間４６と、が設けられている。流出口４５及び流出側空間４６は、中心軸に沿って中空円柱形状に貫通形成されている。また、流出側空間４６は、流出口４５に比して大径となっており、弁棒３２の流出側の端部が収容されている。そして、流出口４５と流出側空間４６との間の段部に、弁座面４８が形成されている。すなわち、流出側空間４６の流出側において、中心軸に直交する円環状の端面が弁座面４８となっている。この弁座面４８には、弁棒３２の流出側に形成される後述する弁体６５が対向する。流出側弁箱４１は、流出側の外周に雄ねじが形成されており、シリンダ１３の流体供給ポート２８に締結可能となっている。また、流出側弁箱４１は、流入側の内周に雌ねじが形成されており、流入側弁箱４２に締結可能となっている。

流入側弁箱４２は、流入側の端部に形成される流入口５１と、流入口５１に連通する流入側空間５２と、が設けられている。流入口５１及び流入側空間５２は、中心軸に沿って中空円柱形状に貫通形成されており、流出側空間４６に比して大径となっている。流入側空間５２には、弁棒３２の流入側の端部と、圧縮ばね３３とが収容されている。圧縮ばね３３は、その一方の端部が、流入側空間５２の流出側において、中心軸に直交する円環状の端面に当接しており、その他方の端部が、弁棒３２に設けられる後述するばね受け部６４に当接している。流入側弁箱４２は、流出側の外周に雄ねじが形成されており、流出側弁箱４１に締結可能となっている。また、流入側弁箱４２は、流入側の内周に雌ねじが形成されており、分岐供給系統２２の継手５５に締結可能となっている。

弁棒３２は、弁箱３１の内部に設けられ、弁箱３１に対して、開弁状態となる開弁位置と、閉弁状態となる閉弁位置との間で移動する。弁棒３２は、弁棒本体６１と、流体流路６２と、流入側受圧部６３と、ばね受け部６４と、弁体６５と、を有している。

弁棒本体６１は、円筒形状に形成されており、弁箱３１の流入側空間５２及び流出側空間４６に亘って、中心軸に沿って設けられている。このため、弁棒本体６１は、その一方の端部が流入側の端部となっており、その他方の端部が流出側の端部となっている。

流体流路６２は、弁棒本体６１の中心軸に沿って形成されることで、中空円柱形状に形成されている。また、流体流路６２は、その流入側が流入口５１に連通して、中心軸方向に延在して形成され、その流出側が流出側空間４６に連通して、中心軸方向に直交する径方向に延在して形成されている。つまり、流体流路６２を流通する作動流体は、流入口５１を介して流路内に流入し、流入側において中心軸方向に流通した後、流出側において径方向に流通して流出側空間４６に流入し、流出側空間４６から流出口４５へ流通する。

流入側受圧部６３は、弁棒本体６１の流入側の端部に設けられており、流入側からの作動流体の圧力を受ける流入側受圧面７１が形成されている。流入側受圧面７１は、中心軸に直交する面であり、円環形状となる流入側の端面である。流入側受圧面７１の直径は、流入口５１の直径とほぼ同じである。

ばね受け部６４は、弁棒本体６１の外周に設けられており、流入側受圧部６３の流出側に設けられている。ばね受け部６４は、径方向に突出する円環形状のフランジである。ばね受け部６４は、流入側弁箱４２の流入側空間５２の流出側において、中心軸に直交する円環状の端面に対向して設けられている。

弁体６５は、弁棒本体６１の流出側の端部に設けられており、流出側からの作動流体の圧力を受ける流出側受圧面７２が形成されている。弁体６５は、流出側に向かって先細りとなる円錐形状に形成されており、シートパッキン３４を挟んで、弁箱３１の弁座面４８に対向している。流出側受圧面７２は、円錐形状となる弁体６５の側面である。流出側受圧面７２は、流入側受圧面７１に比して小さい面積となっている。

圧縮ばね３３は、弁棒本体６１の外周に設けられると共に、弁箱３１の流入側弁箱４２と弁棒３２のばね受け部６４との間に設けられ、弁箱３１に対して、弁棒３２を流入側へ向けて付勢している。

シートパッキン３４は、弁箱３１の流出側弁箱４１の弁座面４８に設けられており、弁棒３２の弁体６５が弁座面４８に向かって移動することで、弁座面４８と弁体６５との間に挟まれる。

次に、図１から図３を参照して、上記したシリンダ装置１０の作動について説明する。装置５及びシリンダ装置１０は、各シリンダ１３が収縮した状態で、配管６内に設置されている。

装置５をシリンダ装置１０によって支持する場合、先ず、主供給系統２１から各分岐供給系統２２を経て、各差圧式チェック弁１２に作動流体を供給する。各差圧式チェック弁１２に流入口５１を介して作動流体が供給されると、各差圧式チェック弁１２の弁箱３１の内部の圧力は低いことから、圧縮ばね３３により弁棒３２が流入側に付勢された状態となる。このときの弁棒３２の位置が開弁位置となる。各差圧式チェック弁１２の内部を流通する作動流体は、流出口４５から各シリンダ１３へ向けて流出する。

各シリンダ１３に、流体供給ポート２８を介して作動流体が供給されると、ピストンロッド２６が伸長する。この後、シリンダ１３の支持プレート２９が配管６の内周面に当接し、ピストンロッド２６が反力を受けると、シリンダ１３の内部の作動流体の圧力が上昇する。

シリンダ１３の内部の作動流体の圧力が上昇すると、これに伴い、差圧式チェック弁１２の弁箱３１の内部の圧力が上昇する。弁箱３１の内部の圧力が高くなると、流入側受圧面７１における圧力が、流出側受圧面７２における圧力に比して大きくなる。このため、圧縮ばね３３の付勢力に抗して、弁棒３２が流入側から流出側に向かって移動する。すると、弁棒３２の弁体６５が、シートパッキン３４を挟んで弁箱３１の弁座面４８に押圧された状態となる。このときの弁棒３２の位置が閉弁位置となる。そして、弁棒３２が閉弁位置に作動することにより、作動流体の流通が遮断される。このように、差圧式チェック弁１２は、弁箱３１の内部の圧力が上昇することで、分岐供給系統２２を自己閉止している。作動流体の流通が遮断されると、シリンダ１３の伸長動作が停止し、この位置においてピストンロッド２６が固定される。

このように、複数のシリンダ１３は、配管６の内周面から反力を受けると、反力を受けた位置においてピストンロッド２６が固定される。これにより、装置５は、配管６内においてシリンダ装置１０により支持される。なお、複数のシリンダ１３のうち、１つのシリンダ１３が先に反力を受け、先のシリンダ１３に対応する差圧式チェック弁１２が閉弁状態となった後、他の１つのシリンダ１３が後に反力を受ける。この場合、後のシリンダ１３が設けられる分岐供給系統２２内の作動流体の圧力が上昇すると共に、先のシリンダ１３が設けられる分岐供給系統２２内の作動流体の圧力も上昇する。このとき、先のシリンダ１３は、差圧式チェック弁１２が閉弁状態となっているため、分岐供給系統２２内の作動流体の圧力が上昇しても、先のシリンダ１３の固定状態を維持することができる。つまり、複数の分岐供給系統２２において、圧力変動が生じる場合であっても、複数のシリンダ１３を、反力を受ける位置に固定することができる。

次に、シリンダ装置１０による装置５の支持を解除する場合、先ず、流体供給系統１１による作動流体の供給を停止し、流体供給系統１１における圧力を開放する。

流体供給系統１１の圧力が開放されると、弁箱３１の流入口５１における作動流体の圧力が低下して、流入側受圧面７１の圧力が低下する。すると、圧縮ばね３３の付勢力と、流出側受圧面７２からの圧力（残圧）とによって、弁棒３２が流出側から流入側に向かって移動する。弁棒３２が流入側に移動すると、弁棒３２の弁体６５が、シートパッキン３４から離れ、圧縮ばね３３により弁棒３２が流入側に付勢された開弁状態となる。このため、弁棒３２が開弁位置に作動することにより、作動流体の流通が許容される。作動流体の流通が許容されると、シリンダ１３のピストンロッド２６の固定が解除される。

以上のように、本実施形態によれば、差圧式チェック弁１２は、流入側における作動流体の圧力と、流出側における作動流体の圧力との差圧により、簡易な構成で、開弁または閉弁を行うことができる。

また、本実施形態によれば、弁棒本体６１の中心軸に沿って、流体流路６２を形成することができるため、流体流路６２を容易に形成することができ、弁棒本体６１及び流体流路６２を簡易な円筒形状とすることができる。

また、本実施形態によれば、圧縮ばね３３の付勢力によって、弁箱３１に対して弁棒３２を流入側に移動させることができる。このため、流入側受圧面７１の圧力低下時において、弁棒３２を開弁位置に好適に移動させることができる。

また、本実施形態によれば、シートパッキン３４により弁座面４８と弁体６５との間をシールすることができるため、閉弁時における作動流体の漏出を抑制することができる。特に、差圧式チェック弁１２が配管６の内部に設置される小さいものである場合、弁座面４８と弁体６５との寸法精度を確保することが困難であるため、シートパッキン３４を設けることにより作動流体の流通を適切に遮断することができる。

また、本実施形態によれば、作動流体が非圧縮性流体であるため、圧力によって作動流体の体積が変化することを抑制でき、作動流体の差圧による閉弁動作及び開弁動作の応答性が、エアー等の圧縮性流体に比して高いものとなる。一方で、作動流体として、圧縮性流体を用いることも可能であることから、使用可能な作動流体は、特に限定されない。

また、本実施形態によれば、差圧式チェック弁１２を用いることにより、シリンダ１３が反力を受けると、シリンダ１３の伸長作動をすぐに停止して固定することができる。また、差圧式チェック弁１２を用いることにより、流体供給系統１１の圧力を開放すると、シリンダ１３の固定をすぐに解除することできる。このとき、複数の分岐供給系統２２において、圧力変動が生じる場合であっても、複数のシリンダ１３を、反力を受ける位置に固定することができる。

５ 装置
６ 配管
１０ シリンダ装置
１１ 流体供給系統
１２ 差圧式チェック弁
１３ シリンダ
２１ 主供給系統
２２ 分岐供給系統
２５ シリンダ本体
２６ ピストンロッド
２７ バネ
２８ 流体供給ポート
２９ 支持プレート
３１ 弁箱
３２ 弁棒
３３ 圧縮ばね（弾性部材）
３４ シートパッキン（シール部材）
４１ 流出側弁箱
４２ 流入側弁箱
４５ 流出口
４６ 流出側空間
４８ 弁座面
５１ 流入口
５２ 流入側空間
５５ 継手
６１ 弁棒本体
６２ 流体流路
６３ 流入側受圧部
６４ ばね受け部
６５ 弁体
７１ 流入側受圧面
７２ 流出側受圧面

Claims (6)

1. 内部において流入側から流出側へ向かって流体が流通する弁箱と、
   前記弁箱の内部に設けられ、前記弁箱に対して、開弁状態となる開弁位置と、閉弁状態となる閉弁位置との間で移動する弁棒と、を備え、
   前記弁棒は、
   流入側から流出側に移動することで前記閉弁位置に向かって作動する一方で、流出側から流入側に移動することで前記開弁位置に向かって作動する弁棒本体と、
   前記弁棒本体の流入側の端部から流出側の端部に向かって、前記流体が流通するように設けられる流体流路と、
   前記弁棒本体の流入側の端部に設けられ、流入側からの前記流体の圧力を受ける流入側受圧面と、
   前記弁棒本体の流出側の端部に設けられ、流出側からの前記流体の圧力を受けると共に、前記流入側受圧面に比して小さい面となる流出側受圧面と、を有することを特徴とする差圧式チェック弁。
2. 前記弁棒本体は、円筒形状に形成され、
   前記流体流路は、前記弁棒本体の中心軸に沿って形成されていることを特徴とする請求項１に記載の差圧式チェック弁。
3. 前記弁箱に対して、前記弁棒を前記流入側へ向けて付勢する弾性部材を、さらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載の差圧式チェック弁。
4. 前記弁箱は、内部に形成される弁座面を有し、
   前記弁棒は、前記閉弁位置において前記弁座面と対向する弁体を、さらに有し、
   前記弁座面と前記弁体との間に設けられるシール部材を、さらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の差圧式チェック弁。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載の差圧式チェック弁と、
   前記差圧式チェック弁の流入側に接続され、前記差圧式チェック弁に供給される前記流体が流通する流体供給系統と、
   前記差圧式チェック弁の流出側に接続されるシリンダと、を備えることを特徴とするシリンダ装置。
6. 前記流体供給系統は、
   主供給系統と、
   前記主供給系統から分岐する複数の分岐供給系統と、を有し、
   前記差圧式チェック弁は、複数の前記分岐供給系統にそれぞれ設けられ、
   前記シリンダは、複数の前記差圧式チェック弁にそれぞれ接続されていることを特徴とする請求項５に記載のシリンダ装置。

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