JP2017536579A - 少なくとも1つのマニピュレータを有する投影露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
式中のiは、1と移動の個数k(k≧1)の間の値を有することができ、xiは、関連の移動を表し、ci NBは、関連の移動xiに対するそれぞれの固定限界値を表している。
である場合に、an=1、他の場合にan=0 (4)
式中のb1からbnは、個々の移動x1からxnの重み係数である。移動が、透過作動する可熱板又は可熱ミラーの局所温度変化を定義する場合に、固定境界は、この局所温度変化の最大値である。
によって記述される少なくとも1つの制約46を考慮して
によって記述されるメリット関数44を最小にするように構成される。この場合に、
はユークリッドノルムを表し、ci NBは、関連の移動xiに対するそれぞれの固定限界値を表している。そのようなメリット関数に対する基本解に関するより詳細な情報は、例えば、WO 2010/034674 A1の特に38ページ〜45ページから得ることができる。
式中のg1からgnは、個々の移動x1からxnの重み係数である。
である場合にan=1、他の場合にan=0 (10)
である。変化方向を指定する作業変数anは、メリット関数の下降方向を指定する。メリット関数の値が、例えば、2つの移動xiに依存するグラフィックで表される場合に、「山脈」がもたらされ、その最小値が最適化アルゴリズムによって見出されることになる。最適化アルゴリズムの実行中に、作業変数のベクトルxは、「山脈」上で段階的に動かされる。最適化アルゴリズムの実行中の特定の時点でこの動きが発生する方向は、対応する作業変数anに格納される。言い換えれば、最小化問題の場合の対応する作業変数anは、好ましくは、与えられた時点で「山脈」上で最も急勾配な山下りの方向を指定する。
10 投影露光装置
12 露光放射線源
14 露光放射線
16 照明系
18 マスク
20 マスク変位台
22 投影レンズ
24 基板
26 基板変位台
28 傾斜軸
30 中央制御デバイス
34 マニピュレータコントローラ
40 移動確立デバイス
42 最適化アルゴリズム
44 メリット関数
46 制約
48 作業変数
49 伝達メモリ
50 移動指令
54 状態発生器
55 波面測定デバイス
56 メモリ
58 シミュレーションデバイス
60 圧力センサ
62 現在照射強度
64 状態特徴付け
64a 現在状態特徴付け
x1からx4 移動
E1からE4 光学要素
M1からM4 マニピュレータ
42 最適化アルゴリズム
46 制約
49 伝達メモリ
50 移動指令
Claims (18)
- マイクロリソグラフィのための投影露光装置であって、
マスク構造を結像するための投影レンズと、
前記投影レンズの少なくとも1つの光学要素の光学効果を移動に沿って該光学要素の特性を操作することによって変更するように構成された少なくとも1つのマニピュレータと、
前記少なくとも1つのマニピュレータのための移動指令を発生させるための移動確立デバイスと、
を含み、
前記移動確立デバイスは、少なくとも1つの作業変数を用いて最適化アルゴリズムを実行することにより、最初に前記投影レンズの第1の状態特徴付けから第1の移動指令を発生させるように構成され、
前記最適化アルゴリズムは、前記最適化の行程において前記作業変数の値を変更し、かつ該最適化の終了時に存在する該作業変数の該値を伝達値として保存するように構成され、
前記移動確立デバイスは、前記最適化アルゴリズムの繰り返し実行により、前記第1の状態特徴付けに対して更新された前記投影レンズの更なる状態特徴付けから更なる移動指令を発生させ、かつ該工程において、前記保存された伝達値を前記少なくとも1つの作業変数の開始値として使用するように更に構成される、
ことを特徴とする投影露光装置。 - 前記最適化アルゴリズムは、メリット関数を該メリット関数の外側で記述される少なくとも1つの制約を考慮して最適化するように構成される、
ことを特徴とする請求項1に記載の投影露光装置。 - 投影露光装置の作動中に前記投影レンズの前記第1の状態特徴付けと前記第2の更新された状態特徴付けとを与えるように構成された状態発生器を更に含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の投影露光装置。
- 前記少なくとも1つの作業変数は、前記少なくとも1つのマニピュレータの前記移動に対する限界値を含み、該限界値は、前記最適化工程中に複数回設定される、
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記最適化アルゴリズムは、パラメータに対する限界値を指定する少なくとも1つの制約を考慮してメリット関数を最適化するように構成され、前記少なくとも1つの作業変数は、関連する該パラメータがそれぞれの時点で該限界値から最大で10%だけ外れているか否かに関する情報を含む、
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記少なくとも1つの作業変数は、Karush−Kuhn−Tucker条件の少なくとも1つのラグランジュ変数を含む、
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記少なくとも1つの作業変数は、与えられた時点で前記最適化アルゴリズムによって選択される最適化変数の変化方向を含む、
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記最適化アルゴリズムは、前記最適化の前記行程において前記作業変数の前記値を反復的に変更するように構成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記最適化アルゴリズムは、1秒よりも短い期間内に前記更なる移動指令を確立するように構成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記状態特徴付けは、各場合に、前記投影レンズの結像品質を特徴付ける1組の収差パラメータを含み、該状態特徴付けは、前記更なる状態特徴付けの複数の選択された収差パラメータが、前記第1の状態特徴付けの対応する該収差パラメータから各場合に10%未満だけしか外れないほど頻繁に更新される、
ことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記選択された収差パラメータは、その割り当てられたゼルニケ多項式が奇数波ゼルニケ多項式であるn≦100のゼルニケ係数Znの群からの少なくとも2つのゼルニケ係数を含む、
ことを特徴とする請求項10に記載の投影露光装置。 - 前記移動確立デバイスは、前記露光工程中の前記最適化アルゴリズムの繰り返し実行によって多数の更なる移動指令を発生させ、かつ先行の移動指令の該発生中に格納された前記伝達値をここで前記少なくとも1つの作業変数のそれぞれの開始値として各場合に使用するように構成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記露光工程中に発生される前記多数の更なる移動指令は、少なくとも50個の移動指令を含む、
ことを特徴とする請求項12に記載の投影露光装置。 - 前記メリット関数の外側で記述される前記少なくとも1つの制約は、前記少なくとも1つのマニピュレータによって実行される前記移動に対する固定境界を含む、
ことを特徴とする請求項2から請求項13のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記状態発生器は、レチクルの前記マスク構造が前記投影レンズを用いて基板の上に一度結像される露光工程中に該投影レンズの前記状態特徴付けを複数回更新するように構成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項14のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 複数の光学要素を含んでマスク構造を結像するための投影レンズを含むマイクロリソグラフィのための投影露光装置を制御する方法であって、
最適化を実行することによって前記投影レンズの第1の状態特徴付けから第1の移動指令を発生させる段階であって、該最適化の行程において、少なくとも1つの作業変数の値が変更され、該最適化の終了時に存在する該作業変数の該値が伝達値として保存される前記発生させる段階と、
前記第1の移動指令によって定義された移動に沿って前記光学要素の特性を操作することにより、該光学要素のうちの少なくとも1つの光学効果を変更する段階と、
前記最適化の繰り返し実行により、前記第1の状態特徴付けに対して更新された前記投影レンズの更なる状態特徴付けから更なる移動指令を発生させる段階であって、前記保存された伝達値が前記少なくとも1つの作業変数の開始値として使用される前記発生させる段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - それぞれの前記最適化は、メリット関数の該メリット関数の外側で記述される少なくとも1つの制約を考慮する最適化によって実施される、
ことを特徴とする請求項16に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの作業変数は、前記移動に対する限界値を含み、該限界値は、前記最適化工程中に複数回設定される、
ことを特徴とする請求項16又は請求項17に記載の方法。
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