JP2017528911A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2017528911A5
JP2017528911A5 JP2017509001A JP2017509001A JP2017528911A5 JP 2017528911 A5 JP2017528911 A5 JP 2017528911A5 JP 2017509001 A JP2017509001 A JP 2017509001A JP 2017509001 A JP2017509001 A JP 2017509001A JP 2017528911 A5 JP2017528911 A5 JP 2017528911A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nonlinear crystal
laser resonator
laser
fundamental frequency
birefringent filter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017509001A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017528911A (ja
JP6541241B2 (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from US14/462,356 external-priority patent/US9905991B2/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2017528911A publication Critical patent/JP2017528911A/ja
Publication of JP2017528911A5 publication Critical patent/JP2017528911A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6541241B2 publication Critical patent/JP6541241B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

本発明によるレーザ装置の一側面は、利得帯域幅を有する利得構造である、多層半導体利得構造を含むレーザ共振器を備える。半導体利得構造は、レーザ共振器内に含まれる。利得構造は、光ポンプ放射によって励起され、それによって、基本周波数放射をレーザ共振器内で循環させる。基本周波数は、レーザ共振器の瞬間長さに依存するある範囲の可能な発振周波数の1つである。光学非線形結晶は、レーザ共振器内に位置し、循環基本周波数放射のタイプII周波数倍加のために配置される。光学非線形結晶は、所定の温度範囲内の受け入れ帯域幅を有する。加熱要素は、結晶の温度を所定の温度範囲内で選択的に変動させるために配置される。第1の複屈折フィルタは、レーザ共振器内に位置し、利得帯域幅内で発振できる可能な基本周波数の範囲を光学非線形結晶の受け入れ帯域幅内のその範囲に制限するように構成および配置される。検出器は、複屈折フィルタから反射された基本周波数放射を監視するように配置され、反射される放射は、第2の複屈折フィルタの伝送ピークが可能な発振周波数のうちのある瞬間の発振周波数にあるとき、最小である。光学非線形結晶は、結晶温度に依存する伝送ピークを有する、第2の複屈折フィルタとして機能する。加熱要素は、監視される反射を最小に維持し、それによって、第2の複屈折フィルタの伝送ピークをその瞬間の発振周波数に維持するために検出器と協働する。
本発明は、例えば、以下を提供する。
(項目1)
レーザ装置であって、
多層半導体利得構造を含むレーザ共振器であって、前記利得構造は、光ポンプ放射によって励起され、それによって、基本周波数放射に前記レーザ共振器内で循環させ、前記基本周波数は、前記レーザ共振器の瞬間長さに依存するある範囲の可能な発振周波数のうちの1つである、レーザ共振器と、
前記レーザ共振器内に位置している光学非線形結晶であって、前記光学非線形結晶は、前記循環基本周波数放射のタイプII周波数倍加のために配置され、前記光学非線形結晶は、所定の温度範囲において受け入れ帯域幅を有する、光学非線形結晶と、
前記結晶の温度を前記所定の温度範囲内で選択的に変動させるために配置されている加熱要素と、
前記レーザ共振器内に位置している第1の複屈折フィルタであって、前記第1の複屈折フィルタは、利得帯域幅内で発振できる可能な基本周波数の前記範囲を前記光学非線形結晶の受け入れ帯域幅内の前記可能な基本周波数の範囲に制限するように構成および配置されている、第1の複屈折フィルタと、
前記複屈折フィルタから反射される基本周波数放射を監視するように配置されている検出器であって、前記反射される放射は、前記第2の複屈折フィルタの伝送ピークが前記可能な発振周波数のうちのある瞬間の発振周波数にあるとき、最小である、検出器と
を備え、
前記光学非線形結晶は、結晶温度に依存する伝送ピークを有する第2の複屈折フィルタとして機能し、前記加熱要素は、前記監視される反射をほぼ最小に維持し、それによって、前記第2の複屈折フィルタの伝送ピークをほぼ前記瞬間の発振周波数に維持するために、前記検出器と協働する、装置。
(項目2)
前記監視される反射は、正確に前記最小値ではない値に維持される、項目1に記載の装置。
(項目3)
前記監視される反射は、循環基本周波数放射電力の約50パーツ・パー・ミリオンの値である、項目2に記載の装置。
(項目4)
前記レーザ共振器は、長さ約70mmを有し、前記可能な発振波長は、約7ピコメートルずつ分離されている、項目1〜3のいずれかに記載の装置。
(項目5)
前記光学非線形結晶は、ホウ酸リチウム結晶である、項目1〜4のいずれかに記載の装置。
(項目6)
レーザ装置を動作させる方法であって、前記レーザは、多層半導体利得構造を含むレーザ共振器を有し、前記多層半導体利得構造は、光ポンプ放射によって励起され、それによって、基本周波数放射に前記レーザ共振器内で循環させ、前記レーザ共振器は、前記循環基本周波数放射のタイプII周波数倍加のために配置されている光学非線形結晶を含み、前記レーザ共振器は、複屈折フィルタをさらに含み、前記方法は、
前記複屈折フィルタから反射される前記基本周波数放射の強度を監視することと、
前記監視される強度に基づいて前記非線形結晶の温度を調節し、前記共振器からの前記周波数倍加出力電力における変動を最小化することと
を含む、方法。
(項目7)
前記非線形結晶の温度は、前記監視される強度を最小値近くに維持する様式で調節される、項目6に記載の方法。

Claims (7)

  1. レーザ装置であって、
    多層半導体利得構造を含むレーザ共振器であって、前記利得構造は、光ポンプ放射によって励起され、それによって、基本周波数放射に前記レーザ共振器内で循環させ、前記基本周波数は、前記レーザ共振器の瞬間長さに依存するある範囲の可能な発振周波数のうちの1つである、レーザ共振器と、
    前記レーザ共振器内に位置している光学非線形結晶であって、前記光学非線形結晶は、前記循環する基本周波数放射のタイプII周波数倍加のために配置され、前記光学非線形結晶は、所定の温度範囲において受け入れ帯域幅を有する、光学非線形結晶と、
    前記結晶の温度を前記所定の温度範囲内で選択的に変動させるために配置されている加熱要素と、
    前記レーザ共振器内に位置している第1の複屈折フィルタであって、前記第1の複屈折フィルタは、利得帯域幅内で発振できる可能な基本周波数の前記範囲を前記光学非線形結晶の受け入れ帯域幅内の前記可能な基本周波数の範囲に制限するように構成および配置されており、前記光学非線形結晶は、結晶温度に依存する伝送ピークを有する第2の複屈折フィルタとして機能する、第1の複屈折フィルタと、
    前記第1の複屈折フィルタから反射される基本周波数放射を監視するように配置されている検出器であって、前記反射される放射は、前記第2の複屈折フィルタの伝送ピークが前記可能な発振周波数のうちのある瞬間の発振周波数にあるとき、最小である、検出器と
    前記検出器から誤差信号を受信し、それに応答して、前記監視される反射をほぼ最小に維持し、それによって、前記第2の複屈折フィルタの前記伝送ピークをほぼ前記瞬間の発振周波数に維持するように前記加熱要素を制御するためのコントローラと
    を備える、装置。
  2. 前記監視される反射は、前記誤差信号の方向を決定するための傾きを提供する非ゼロ値に維持される、請求項1に記載の装置。
  3. 前記監視される反射は、循環基本周波数放射電力の約50パーツ・パー・ミリオンの値である、請求項2に記載の装置。
  4. 前記レーザ共振器は、長さ約70mmを有し、能な発振波長は、約7ピコメートルずつ分離されている、請求項1〜3のいずれかに記載の装置。
  5. 前記光学非線形結晶は、ホウ酸リチウム結晶である、請求項1〜4のいずれかに記載の装置。
  6. レーザ装置を動作させる方法であって、前記レーザは、多層半導体利得構造を含むレーザ共振器を有し、前記多層半導体利得構造は、光ポンプ放射によって励起され、それによって、基本周波数放射に前記レーザ共振器内で循環させ、前記レーザ共振器は、前記循環する基本周波数放射のタイプII周波数倍加のために配置されている光学非線形結晶を含み、前記レーザ共振器は、複屈折フィルタをさらに含み、前記方法は、
    前記複屈折フィルタから反射される前記基本周波数放射の強度を監視し、誤差信号を生成することと、
    前記誤差信号に基づいて前記非線形結晶の温度を調節し、モードホッピングを最小化することと
    を含む、方法。
  7. 前記非線形結晶の温度は、前記監視される強度を、前記誤差信号の方向を決定するための傾きを提供する非ゼロ値に維持する様式で調節される、請求項6に記載の方法。
JP2017509001A 2014-08-18 2015-07-24 モード追跡を伴う光励起半導体レーザ Active JP6541241B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/462,356 2014-08-18
US14/462,356 US9905991B2 (en) 2014-08-18 2014-08-18 Optically pumped semiconductor laser with mode tracking
PCT/EP2015/067078 WO2016026654A1 (en) 2014-08-18 2015-07-24 Optically pumped semiconductor laser with mode tracking

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2017528911A JP2017528911A (ja) 2017-09-28
JP2017528911A5 true JP2017528911A5 (ja) 2018-06-28
JP6541241B2 JP6541241B2 (ja) 2019-07-10

Family

ID=53719784

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017509001A Active JP6541241B2 (ja) 2014-08-18 2015-07-24 モード追跡を伴う光励起半導体レーザ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9905991B2 (ja)
EP (1) EP3183784B1 (ja)
JP (1) JP6541241B2 (ja)
CN (1) CN107005024B (ja)
WO (1) WO2016026654A1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11183808B2 (en) * 2019-03-20 2021-11-23 Coherent Lasersystems Gmbh & Co. Kg Excimer laser with uniform beam
CN113258436A (zh) * 2021-07-06 2021-08-13 北京凯普林光电科技股份有限公司 一种波长锁定的半导体激光器

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5263038A (en) 1991-02-28 1993-11-16 Amoco Corporation Frequency filtered solid-state laser
US5164947A (en) 1991-02-28 1992-11-17 Amoco Corporation Single-frequency, frequency doubled laser
JP3420804B2 (ja) * 1993-11-05 2003-06-30 富士写真フイルム株式会社 固体レーザー
JPH08334802A (ja) * 1995-06-05 1996-12-17 Hitachi Metals Ltd レーザ装置およびレーザ応用装置
US6097742A (en) 1999-03-05 2000-08-01 Coherent, Inc. High-power external-cavity optically-pumped semiconductor lasers
JP2003115628A (ja) * 2001-10-03 2003-04-18 Shimadzu Corp レーザ装置
CN1581609A (zh) * 2004-05-18 2005-02-16 中国科学院上海光学精密机械研究所 产生蓝色激光的装置
US7366214B2 (en) * 2004-09-14 2008-04-29 B & W Property Inc. Diode-pumped solid-state laser with self-maintained multi-dimensional optimization
JP2011158869A (ja) * 2010-02-04 2011-08-18 Panasonic Corp 波長変換装置
US8761213B2 (en) * 2012-10-01 2014-06-24 Coherent Gmbh Wavelength-stabilized frequency-converted optically pumped semiconductor laser

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2758762C (en) Intra-cavity optical parametric oscillator
US20150023672A1 (en) Wavelength-Tunable Laser Output Method and Tunable Laser Apparatus
JP2006210581A5 (ja)
JP6836848B2 (ja) レーザ光調整方法、及びレーザ光源装置
JP6609097B2 (ja) 光共振器
WO2015140901A1 (ja) レーザシステム
WO2016181488A1 (ja) 受動qスイッチレーザ及びその動作最適化方法
US9231364B2 (en) Laser apparatus
JP2017530426A (ja) 非線形効果を介してレーザビームを生成するための共振マイクロチップ共振器ベースのシステム
WO2017060967A1 (ja) 波長変換装置
JP4439487B2 (ja) パルスレーザ装置及びパルスレーザビーム生成方法
JP2017528911A5 (ja)
JP2014057063A (ja) 安定化ポンプレーザー出力システムおよび方法
JP6541241B2 (ja) モード追跡を伴う光励起半導体レーザ
JP5557601B2 (ja) レーザ光源の調整システム
EP3176887A1 (en) Efficient frequency conversion of multimode lasers using coordinated resonators
JP2008130848A (ja) レーザ周波数安定化装置、及びレーザ周波数安定化方法
JP2011249400A (ja) レーザ光源の調整システム、及びレーザ光源の調整方法
JP6311619B2 (ja) レーザモジュール及びレーザ装置
JP5125570B2 (ja) 固体レーザ装置
JP2015035469A (ja) 固体レーザ装置
WO2016092701A1 (ja) 受動qスイッチレーザ
JP2014174379A (ja) 赤外固体レーザー発振装置
JP3863470B2 (ja) コヒーレント光源装置およびコヒーレント光の発生方法
JP2019016639A (ja) 固体レーザ装置