JP2017525573A - Polishing equipment - Google Patents

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Abstract

本発明は、台座と、研磨すべき加工物を保持するキャリアと、台座上に取り付けられ、キャリアを設置および位置決めする1対の位置決め板を有する昇降機構と、台座上に取り付けられ、それぞれキャリアの両端を1対の位置決め板上に押圧する1対の押圧ヘッドを有する押圧機構と、台座上に取り付けられ、キャリア上に保持された加工物を研磨する研磨機構とを含む研磨装置を開示する。押圧ヘッドはそれぞれ、キャリアの表面を押圧する円弧状の突起を有する。したがって、キャリアに作用する押圧力は、常にキャリアの表面に対して垂直であることが保証される。さらに、押圧機構は、ばね緩衝部材をさらに備え、したがって、キャリアに作用する押圧力が、ゼロから所定の値へ突然増大することが防止され、キャリアに衝撃を与えるという不都合が回避される。【選択図】図1The present invention includes a pedestal, a carrier that holds a workpiece to be polished, a lifting mechanism that is mounted on the pedestal and has a pair of positioning plates that place and position the carrier, and is mounted on the pedestal. Disclosed is a polishing apparatus that includes a pressing mechanism having a pair of pressing heads that press both ends onto a pair of positioning plates, and a polishing mechanism that is mounted on a pedestal and that polishes a workpiece held on a carrier. Each of the pressing heads has an arc-shaped protrusion that presses the surface of the carrier. Therefore, it is guaranteed that the pressing force acting on the carrier is always perpendicular to the surface of the carrier. Furthermore, the pressing mechanism further includes a spring cushioning member, so that the pressing force acting on the carrier is prevented from suddenly increasing from zero to a predetermined value, and the disadvantage of giving an impact to the carrier is avoided. [Selection] Figure 1

Description

関連出願の相互参照
本出願は、開示全体が参照により本明細書に組み込まれている、中国国家知識産権局に2014年9月19日に出願された中国特許出願第2014104061165号の利益を主張する。
CROSS REFERENCE TO RELATED APPLICATIONS This application claims the benefit of Chinese Patent Application No. 2014104061165 filed on 19 September 2014 with the Chinese National Intellectual Property Office, the entire disclosure of which is incorporated herein by reference. To do.

本発明は、研磨装置に関し、より詳細には、光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨する研磨装置に関する。   The present invention relates to a polishing apparatus, and more particularly to a polishing apparatus for polishing an end face of an optical fiber ferrule assembly.

光ファイバフェルールアセンブリは、概して、フェルールと、フェルールの内孔内へ挿入された光ファイバとを備える。光ファイバは、接着剤によってフェルールの内孔内に固定することができる。フェルールの内孔内に光ファイバを固定した後、所定の光学的性能を実現するには、光ファイバフェルールアセンブリ全体の前端面を精密に研削および研磨する必要がある。   A fiber optic ferrule assembly generally comprises a ferrule and an optical fiber inserted into the bore of the ferrule. The optical fiber can be fixed in the inner hole of the ferrule by an adhesive. In order to achieve a predetermined optical performance after fixing the optical fiber in the inner hole of the ferrule, it is necessary to precisely grind and polish the front end face of the entire optical fiber ferrule assembly.

従来技術では、概して、光ファイバフェルールアセンブリの前端面が研磨されるとき、複数の光ファイバフェルールアセンブリがキャリア上に締め付けられて固定される。次いで、押圧機構が押圧ヘッドを押圧して、キャリアを位置決め構成要素に押圧する。従来技術では、キャリアは、概して、円形または正方形に形成されており、押圧ヘッドは、キャリアをその中心部分で押圧する。しかし、概して、中心を押圧することは、円形または正方形のキャリアのみに適合されており、長方形のキャリアには適合されていない。円形または正方形のキャリアと比較すると、長方形のキャリアは、毎度はるかに多くの光ファイバフェルールアセンブリを保持して、研磨効率を改善することができる。既存の研磨装置を改善して長方形のキャリアに適用することを、当業者は期待している。   In the prior art, generally, a plurality of optical fiber ferrule assemblies are clamped and secured onto a carrier when the front end face of the optical fiber ferrule assembly is polished. The pressing mechanism then presses the pressing head to press the carrier against the positioning component. In the prior art, the carrier is generally formed in a circular or square shape, and the pressing head presses the carrier at its central portion. However, in general, pressing the center is only adapted to a circular or square carrier and not a rectangular carrier. Compared to circular or square carriers, rectangular carriers can hold much more fiber optic ferrule assemblies each time to improve polishing efficiency. Those skilled in the art expect to improve existing polishing equipment to apply to rectangular carriers.

さらに、光ファイバフェルールアセンブリの端面が研磨機構によって研削されるとき、キャリアの姿勢はわずかに変化する。しかし、従来技術では、押圧ヘッドは、概して、平坦な底部を有し、したがってキャリアの姿勢の変化に適合されておらず、その結果、キャリアにかかる押圧力はキャリアの表面に対して常に垂直であるとは限らず、それによって光ファイバフェルールアセンブリの研磨精度に影響を及ぼす。   Further, when the end face of the fiber optic ferrule assembly is ground by the polishing mechanism, the carrier posture changes slightly. However, in the prior art, the pressing head generally has a flat bottom and is therefore not adapted to changes in the attitude of the carrier, so that the pressing force on the carrier is always perpendicular to the surface of the carrier. This is not always the case, and it affects the polishing accuracy of the fiber optic ferrule assembly.

さらに、従来技術では、押圧機構は、弾性の緩衝構成要素を備えていない。したがって、キャリアが押圧されるとき、キャリアに作用する押圧力がゼロから所定の値へ突然増大し、キャリアに衝撃を与え、光ファイバフェルールアセンブリの研磨精度に影響を及ぼす可能性がある。   Furthermore, in the prior art, the pressing mechanism does not include an elastic cushioning component. Therefore, when the carrier is pressed, the pressing force acting on the carrier suddenly increases from zero to a predetermined value, impacting the carrier, and affecting the polishing accuracy of the optical fiber ferrule assembly.

本発明は、前述の欠点の少なくとも1つの面を克服または軽減するためになされたものである。   The present invention has been made to overcome or alleviate at least one aspect of the aforementioned drawbacks.

したがって、本発明の一目的は、様々な形状を有するキャリアに適合することが可能な研磨装置を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a polishing apparatus that can be adapted to carriers having various shapes.

本発明の別の目的は、キャリアに作用する押圧力が常にキャリアの表面に対して垂直に維持されることを確実にする研磨装置を提供することである。   Another object of the present invention is to provide a polishing apparatus that ensures that the pressing force acting on the carrier is always maintained perpendicular to the surface of the carrier.

本発明のさらに別の目的は、キャリアに作用する押圧力がゼロから所定の値へ徐々に増大することを確実にする研磨装置を提供することである。   Yet another object of the present invention is to provide a polishing apparatus that ensures that the pressing force acting on the carrier gradually increases from zero to a predetermined value.

本発明の一態様によれば、台座と、複数の研磨すべき加工物を保持するように構築されたキャリアと、台座上に取り付けられ、キャリアを設置および位置決めするように構築された1対の位置決め板を有する昇降機構と、台座上に取り付けられ、それぞれキャリアの両端を1対の位置決め板上に押圧するように構築された1対の押圧ヘッドを有する押圧機構と、台座上に取り付けられ、キャリア上に保持された加工物を研磨するように構築された研磨機構とを備え、押圧ヘッドがそれぞれ、キャリアの表面を押圧するように構築された円弧状の突起を有する、研磨装置が提供される。   According to one aspect of the present invention, a pedestal, a carrier constructed to hold a plurality of workpieces to be polished, and a pair mounted on the pedestal and constructed to install and position the carrier A lifting mechanism having a positioning plate, a pressing mechanism having a pair of pressing heads mounted on the pedestal, each constructed to press both ends of the carrier onto a pair of positioning plates, and mounted on the pedestal; There is provided a polishing apparatus comprising: a polishing mechanism configured to polish a workpiece held on a carrier, each pressing head having an arc-shaped protrusion configured to press the surface of the carrier. The

本発明の例示的な実施形態によれば、円弧状の突起は、半球形または半円筒形に形成される。   According to an exemplary embodiment of the present invention, the arcuate protrusion is formed in a hemispherical shape or a semicylindrical shape.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、研磨すべき加工物は、光ファイバフェルールアセンブリであり、各光ファイバフェルールアセンブリは、フェルールと、フェルールの内孔内に固定された光ファイバとを備え、キャリア上に複数の位置決めスロットが形成され、光ファイバフェルールアセンブリは、それぞれキャリアの複数の位置決めスロット内に締め付けられて位置決めされ、研磨機構は、光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨するように構築される。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the workpiece to be polished is a fiber optic ferrule assembly, each fiber optic ferrule assembly comprising a ferrule and an optical fiber secured within the bore of the ferrule. A plurality of positioning slots formed on the carrier, each of the optical fiber ferrule assemblies being clamped and positioned within the plurality of positioning slots of the carrier, and the polishing mechanism polishing the end face of the optical fiber ferrule assembly Built.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、昇降機構は、台座上に対向して取り付けられた1対の垂直支持板と、それぞれ支持板上に設けられた1対の垂直摺動レールと、それぞれ垂直摺動レールと摺動可能に嵌合する1対の摺動ブロックと、1対の摺動ブロックおよび1対の位置決め板を連結して摺動ブロックおよび位置決め板を同時に動かすように構築された連結ビームと、それぞれ摺動ブロックを駆動して垂直摺動レールに沿って上下に動かすように垂直支持板の一方に取り付けられた第1の駆動機構とを備える。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the elevating mechanism includes a pair of vertical support plates mounted opposite to each other on a pedestal, and a pair of vertical sliding rails provided on each support plate. A pair of sliding blocks that are slidably fitted to the vertical sliding rails, a pair of sliding blocks and a pair of positioning plates, and the sliding block and the positioning plate are moved simultaneously. And a first drive mechanism attached to one of the vertical support plates to drive the sliding block and move it up and down along the vertical sliding rail.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、第1の駆動機構は、線形アクチュエータである。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the first drive mechanism is a linear actuator.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、第1の駆動機構は、空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータである。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the first drive mechanism is an air cylinder, a hydraulic cylinder, or an electric actuator.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、キャリアは、ピンと孔が嵌合するように位置決め板上に位置決めされる。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the carrier is positioned on the positioning plate such that the pin and hole fit.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、1対の位置決め板はそれぞれ、上方へ垂直に延出する位置決めピンを有し、キャリアの両端にはそれぞれ、位置決め孔が形成され、位置決め板の位置決めピンは、それぞれキャリアの位置決め孔内へ嵌め込まれる。   According to another exemplary embodiment of the present invention, each of the pair of positioning plates has a positioning pin extending vertically upward, and positioning holes are formed at both ends of the carrier, respectively. The positioning pins are respectively fitted into the positioning holes of the carrier.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、位置決めピンおよび位置決め孔は、キャリアの姿勢を変化させることを可能にするように隙間嵌めされる。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the locating pin and the locating hole are gap-fitted to allow changing the attitude of the carrier.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、位置決め板はそれぞれ、水平延出部分を有し、位置決めピンは、水平延出部分の一端に位置し、キャリアの両端は、それぞれ1対の位置決め板の水平延出部分上に配置される。   According to another exemplary embodiment of the present invention, each positioning plate has a horizontal extension portion, the positioning pins are located at one end of the horizontal extension portion, and both ends of the carrier are a pair of each. It arrange | positions on the horizontal extension part of a positioning plate.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、研磨機構は、位置決め板の下に設けられた水平支持板と、水平支持板上に配置された研磨フィルムとを備え、研磨フィルムは、水平支持板とともに往復運動して光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨する。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the polishing mechanism comprises a horizontal support plate provided under the positioning plate, and a polishing film disposed on the horizontal support plate, the polishing film being horizontal. The end face of the optical fiber ferrule assembly is polished by reciprocating with the support plate.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、押圧機構は、それぞれ1対の垂直支持板上に取り付けられた1対の第2の駆動機構を備え、1対の第2の駆動機構は、それぞれ1対の押圧ヘッドを駆動して1対の押圧ヘッドをキャリアの表面上に押圧するように構築される。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the pressing mechanism comprises a pair of second drive mechanisms each mounted on a pair of vertical support plates, the pair of second drive mechanisms being Each is constructed to drive a pair of pressing heads to press the pair of pressing heads onto the surface of the carrier.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、押圧機構は、弾性の緩衝構成要素をさらに備え、第2の駆動機構は、弾性の緩衝構成要素を押圧し、弾性の緩衝構成要素を通じて押圧ヘッドをキャリアの表面上に押圧し、その結果、キャリアに作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the pressing mechanism further comprises an elastic buffering component, and the second drive mechanism presses the elastic buffering component and presses through the elastic buffering component. The head is pressed onto the surface of the carrier, and as a result, the pressing force acting on the carrier gradually increases from zero to a predetermined value.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、押圧ヘッドはそれぞれ、上部本体部分と、上部本体部分とは別個の下部本体部分とを備え、それぞれ上部本体部分および下部本体部分上に受容溝が形成され、弾性の緩衝構成要素は、受容溝内に受容される。   According to another exemplary embodiment of the present invention, each pressing head comprises an upper body portion and a lower body portion separate from the upper body portion, each receiving groove on the upper body portion and the lower body portion, respectively. And the elastic cushioning component is received in the receiving groove.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、それぞれ上部本体部分および下部本体部分上に案内孔が形成され、それぞれ上部本体部分の案内孔および下部本体部分の案内孔内へ案内ロッドが挿入され、その結果、弾性の緩衝構成要素の押圧中、上部本体部分は、下部本体部分に対して垂直方向に動くように案内される。   According to another exemplary embodiment of the present invention, guide holes are formed in the upper body portion and the lower body portion, respectively, and guide rods are inserted into the guide holes in the upper body portion and the lower body portion, respectively. As a result, during pressing of the elastic cushioning component, the upper body part is guided to move vertically relative to the lower body part.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、第2の駆動機構の作動端は、それぞれ水平押圧板を備え、押圧ヘッドの上端面は、それぞれ水平押圧板に取り付けられる。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the operating ends of the second drive mechanisms each include a horizontal pressing plate, and the upper end surfaces of the pressing head are each attached to the horizontal pressing plate.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、押圧ヘッドは、弾性材料から作られ、その結果、キャリアに作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the pressing head is made from an elastic material, so that the pressing force acting on the carrier gradually increases from zero to a predetermined value.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、第2の駆動機構はそれぞれ、線形アクチュエータである。   According to another exemplary embodiment of the present invention, each second drive mechanism is a linear actuator.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、第2の駆動機構はそれぞれ、空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータである。   According to another exemplary embodiment of the present invention, each second drive mechanism is an air cylinder, a hydraulic cylinder, or an electric actuator.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、垂直摺動レール、摺動ブロック、および第1の駆動機構は、それぞれ垂直支持板の外側面上に取り付けられ、第2の駆動機構は、それぞれ垂直支持板の内側面上に取り付けられる。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the vertical sliding rail, the sliding block, and the first drive mechanism are each mounted on the outer surface of the vertical support plate, and the second drive mechanism is: Each is mounted on the inner surface of the vertical support plate.

本発明の別の例示的な実施形態によれば、キャリアは、長方形のプロファイルを有する。   According to another exemplary embodiment of the present invention, the carrier has a rectangular profile.

本発明の研磨装置の様々な実施形態では、1対の押圧ヘッドが、キャリアをキャリアの両端でそれぞれ1対の位置決め板に押圧する。押圧ヘッドはそれぞれ、キャリアの表面上に直接押圧される円弧状の突起を有し、したがって、キャリアに作用する押圧力は、常にキャリアの表面に対して垂直に維持される。さらに、本発明の一実施形態では、押圧機構は、ばね緩衝部材をさらに備え、したがって、キャリアに作用する押圧力が、ゼロから所定の値へ突然増大することを防止して、キャリアに衝撃を与えるという不都合を回避することができる。   In various embodiments of the polishing apparatus of the present invention, a pair of pressing heads presses the carrier against a pair of positioning plates at both ends of the carrier. Each pressing head has an arcuate protrusion that is pressed directly onto the surface of the carrier, so that the pressing force acting on the carrier is always kept perpendicular to the surface of the carrier. Furthermore, in one embodiment of the present invention, the pressing mechanism further includes a spring cushioning member, so that the pressing force acting on the carrier is prevented from suddenly increasing from zero to a predetermined value, and the carrier is shocked. The inconvenience of giving can be avoided.

本発明の上記その他の特徴は、添付の図面を参照して本発明の例示的な実施形態について詳細に説明することによって、より明らかになるであろう。   These and other features of the present invention will become more apparent by describing in detail exemplary embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings.

本発明の例示的な実施形態による研磨装置の例示的な斜視図である。1 is an exemplary perspective view of a polishing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention. 図1の研磨装置の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of the polish device of Drawing 1. ばねが押圧されずに解放状態で維持されている、本発明の別の例示的な実施形態による研磨装置の押圧ヘッドの例示的な構造図である。FIG. 4 is an exemplary structural diagram of a pressing head of a polishing apparatus according to another exemplary embodiment of the present invention, in which a spring is maintained in a released state without being pressed. ばねが完全に押圧されている、図3に示す押圧ヘッドの例示的な構造図である。FIG. 4 is an exemplary structural diagram of the pressing head shown in FIG. 3 with the spring fully pressed.

以下、本開示の例示的な実施形態について、添付の図面を参照して詳細に説明する。同じ参照番号は同様の要素を指す。しかし、本開示は、多くの異なる形態で実施することができ、本明細書に記載する実施形態に限定されると解釈されるべきではなく、これらの実施形態は、本開示を完璧かつ完全にし、本開示の概念を当業者に完全に伝えるために提供される。   Hereinafter, exemplary embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numbers refer to similar elements. This disclosure may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein; these embodiments are intended to complete and complete this disclosure; And is provided to fully convey the concept of the disclosure to those skilled in the art.

以下の詳細な記載では、説明の目的のため、開示する実施形態の完璧な理解を提供するために、多数の特有の詳細について述べる。しかし、これらの特有の詳細がなくても1つまたは複数の実施形態を実行することができることが明らかであろう。他の例では、図面を簡略化するために、よく知られている構造およびデバイスを概略的に示す。   In the following detailed description, for the purposes of explanation, numerous specific details are set forth in order to provide a thorough understanding of the disclosed embodiments. However, it will be apparent that one or more embodiments may be practiced without these specific details. In other instances, well-known structures and devices are schematically shown in order to simplify the drawing.

本発明の一般概念によれば、台座と、複数の研磨すべき加工物を保持するように構築されたキャリアと、台座上に取り付けられ、キャリアを設置および位置決めするように構築された1対の位置決め板を有する昇降機構と、台座上に取り付けられ、それぞれキャリアの両端を1対の位置決め板に押圧するように構築された1対の押圧ヘッドを有する押圧機構と、台座上に取り付けられ、キャリア上に保持された加工物を研磨するように構築された研磨機構とを備え、押圧ヘッドがそれぞれ、キャリアの表面を押圧するように構築された円弧状の突起を有する、研磨装置が提供される。   In accordance with the general concept of the present invention, a pedestal, a carrier constructed to hold a plurality of workpieces to be polished, and a pair mounted on the pedestal and constructed to install and position the carrier A lifting mechanism having a positioning plate, a pressing mechanism having a pair of pressing heads mounted on the pedestal and constructed to press both ends of the carrier against a pair of positioning plates, and mounted on the pedestal. There is provided a polishing apparatus comprising a polishing mechanism configured to polish a workpiece held thereon, wherein the pressing heads each have an arcuate protrusion configured to press the surface of the carrier. .

図1は、本発明の例示的な実施形態による研磨装置の例示的な斜視図を示し、図2は、図1の研磨装置の部分横断面図を示す。   FIG. 1 shows an exemplary perspective view of a polishing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a partial cross-sectional view of the polishing apparatus of FIG.

図1および図2に示すように、本発明の例示的な実施形態では、研磨装置は主に、台座10、キャリア400、昇降機構、押圧機構、および研磨機構を備える。   As shown in FIGS. 1 and 2, in the exemplary embodiment of the present invention, the polishing apparatus mainly includes a pedestal 10, a carrier 400, an elevating mechanism, a pressing mechanism, and a polishing mechanism.

図示の実施形態では、図1および図2に示すように、昇降機構は、台座10上に取り付けられており、キャリア400を設置および位置決めする1対の位置決め板115を有する。キャリア400は、研磨すべき加工物50を保持するように構築される。   In the illustrated embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the lifting mechanism is mounted on the base 10 and has a pair of positioning plates 115 for installing and positioning the carrier 400. The carrier 400 is constructed to hold the workpiece 50 to be polished.

図2に示すように、本発明の例示的な実施形態では、研磨すべき加工物は、光ファイバフェルールアセンブリとすることができる。図2に示すように、光ファイバフェルールアセンブリはそれぞれ、フェルール501と、フェルール501の内孔内に固定された光ファイバ502とを備える。研磨機構は、台座10上に取り付けられており、キャリア400上に取り付けられた光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨するように構築される。   As shown in FIG. 2, in an exemplary embodiment of the invention, the workpiece to be polished can be a fiber optic ferrule assembly. As shown in FIG. 2, each of the optical fiber ferrule assemblies includes a ferrule 501 and an optical fiber 502 fixed in the inner hole of the ferrule 501. The polishing mechanism is mounted on the pedestal 10 and is constructed to polish the end face of the fiber optic ferrule assembly mounted on the carrier 400.

図示しないが、本発明の一実施形態では、キャリア400内に複数の位置決めスロットが形成され、それぞれ複数の光ファイバフェルールアセンブリは、キャリア400の複数の位置決めスロット内に締め付けられて位置決めされる。   Although not shown, in one embodiment of the present invention, a plurality of positioning slots are formed in the carrier 400, and each of the plurality of optical fiber ferrule assemblies is clamped and positioned in the plurality of positioning slots of the carrier 400.

本発明の一実施形態では、押圧機構は、台座10上に取り付けられており、キャリア400の両端をそれぞれ1対の位置決め板115に押圧するように構築された1対の押圧ヘッド310、320を有する。   In one embodiment of the present invention, the pressing mechanism is mounted on the pedestal 10 and includes a pair of pressing heads 310 and 320 constructed to press both ends of the carrier 400 against the pair of positioning plates 115 respectively. Have.

本発明の例示的な実施形態では、押圧ヘッド310、320はそれぞれ、キャリア400の表面に直接接触してキャリア400の表面を直接押圧する円弧状の突起310a、320aを有する。円弧状の突起310a、320aはそれぞれ、半球形または半円筒形に形成することができる。   In the exemplary embodiment of the present invention, the pressing heads 310 and 320 each have arcuate protrusions 310 a and 320 a that directly contact the surface of the carrier 400 and directly press the surface of the carrier 400. Each of the arc-shaped protrusions 310a and 320a can be formed in a hemispherical shape or a semicylindrical shape.

図1および図2に示すように、図示の実施形態では、昇降機構は、台座10上に対向して取り付けられた1対の垂直支持板110、120と、それぞれ支持板110、120上に設けられた1対の垂直摺動レール111と、それぞれ垂直摺動レール111と摺動可能に嵌合する1対の摺動ブロック112と、1対の摺動ブロック112および1対の位置決め板115を連結して摺動ブロック112および位置決め板115を同時に動かすように構築された連結ビーム114と、それぞれ摺動ブロック112を駆動して垂直摺動レール111に沿って上下に動かすように垂直支持板110、120の一方に取り付けられた第1の駆動機構130とを備える。   As shown in FIGS. 1 and 2, in the illustrated embodiment, the elevating mechanism is provided on a pair of vertical support plates 110 and 120 mounted on the base 10 so as to face each other, and on the support plates 110 and 120, respectively. A pair of vertical sliding rails 111, a pair of sliding blocks 112 slidably fitted to the vertical sliding rails 111, a pair of sliding blocks 112 and a pair of positioning plates 115, respectively. The connecting beam 114 constructed to connect and move the sliding block 112 and the positioning plate 115 simultaneously, and the vertical support plate 110 to drive the sliding block 112 and move it up and down along the vertical sliding rail 111 respectively. , 120 and a first drive mechanism 130 attached to one of the two.

本発明の一実施形態では、図1に示すように、摺動ブロック112は、連結板113によって連結ビーム114に連結される。   In an embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, the sliding block 112 is connected to the connecting beam 114 by a connecting plate 113.

本発明の例示的な実施形態では、第1の駆動機構130は、線形アクチュエータ、たとえば空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータを構成することができる。   In exemplary embodiments of the invention, the first drive mechanism 130 can comprise a linear actuator, such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, or an electric actuator.

図2に示すように、本発明の例示的な実施形態では、キャリア400は、ピンと孔が嵌合するように位置決め板115上に位置決めされる。   As shown in FIG. 2, in an exemplary embodiment of the invention, the carrier 400 is positioned on the positioning plate 115 such that the pins and holes fit.

図示の実施形態では、図2に示すように、1対の位置決め板115はそれぞれ、上方へ垂直に延出する位置決めピン115aを備え、キャリア400の両端にはそれぞれ、位置決め孔400aが形成される。さらに、位置決め板115の位置決めピン115aは、キャリア400のそれぞれの位置決め孔400a内へ嵌め込まれる。   In the illustrated embodiment, as shown in FIG. 2, each of the pair of positioning plates 115 includes positioning pins 115 a extending vertically upward, and positioning holes 400 a are formed at both ends of the carrier 400. . Further, the positioning pins 115 a of the positioning plate 115 are fitted into the respective positioning holes 400 a of the carrier 400.

本発明の例示的な実施形態では、位置決めピン115aと位置決め孔400aとの間にわずかな間隙が位置する。このようにして、光ファイバフェルールアセンブリの端面が研削されるとき、キャリア400の姿勢がわずかに変化する。キャリア400の姿勢の変化に適合するために、本発明の図示の実施形態では、押圧ヘッド310、320の円弧状の突起310a、320aがそれぞれ半球形または半円筒形に形成される。このようにして、キャリア400に作用する押圧力は、常にキャリア400の表面に対して垂直である。   In the exemplary embodiment of the present invention, a slight gap is located between the positioning pin 115a and the positioning hole 400a. In this way, when the end face of the optical fiber ferrule assembly is ground, the attitude of the carrier 400 changes slightly. In order to adapt to changes in the posture of the carrier 400, in the illustrated embodiment of the present invention, the arc-shaped protrusions 310a and 320a of the pressing heads 310 and 320 are each formed in a hemispherical shape or a semicylindrical shape. In this way, the pressing force acting on the carrier 400 is always perpendicular to the surface of the carrier 400.

図2を引き続き参照すると、図示の実施形態では、位置決め板115はそれぞれ、水平延出部分115bを有し、位置決めピン115aは、水平延出部分115bの一端に位置し、キャリア400の両端は、それぞれ1対の位置決め板115の水平延出部分115b上に配置される。   With continued reference to FIG. 2, in the illustrated embodiment, each of the positioning plates 115 has a horizontal extension portion 115b, the positioning pin 115a is located at one end of the horizontal extension portion 115b, and both ends of the carrier 400 are Each of the pair of positioning plates 115 is disposed on the horizontally extending portion 115b.

図1および図2に示すように、本発明の一実施形態では、研磨機構は、位置決め板115の下に設けられた水平支持板20と、水平支持板20上に配置された研磨フィルム(図示せず)とを備え、研磨フィルムは、水平支持板20とともに往復運動して光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨する。研磨フィルムを交換する必要があるとき、第1の駆動機構130は、1対の摺動ブロック112を1対の位置決め板115とともに上方へ動かし、1対の位置決め板115上に取り付けられたキャリア400を持ち上げ、それによってキャリア400の下の研磨フィルムを交換する。研磨フィルムを交換した後、第1の駆動機構130は、1対の摺動ブロック112を1対の位置決め板115とともに下方へ動かし、所定の位置に到達するまで、1対の位置決め板115上に取り付けられたキャリア400を下げる。   As shown in FIGS. 1 and 2, in one embodiment of the present invention, the polishing mechanism includes a horizontal support plate 20 provided under the positioning plate 115, and a polishing film (see FIG. 2) disposed on the horizontal support plate 20. The polishing film reciprocates with the horizontal support plate 20 to polish the end face of the optical fiber ferrule assembly. When the polishing film needs to be replaced, the first driving mechanism 130 moves the pair of sliding blocks 112 together with the pair of positioning plates 115 and moves the carrier 400 mounted on the pair of positioning plates 115. , Thereby replacing the abrasive film under the carrier 400. After exchanging the polishing film, the first drive mechanism 130 moves the pair of sliding blocks 112 downward together with the pair of positioning plates 115, and on the pair of positioning plates 115 until a predetermined position is reached. Lower the attached carrier 400.

図1および図2に示すように、本発明の例示的な実施形態では、押圧機構は、1対の第2の駆動機構210、220を備え、第2の駆動機構210、220は、1対の垂直支持板110、120上に取り付けられており、それぞれ1対の押圧ヘッド310、320を駆動して1対の押圧ヘッド310、320をキャリア400の表面に押圧するように構築される。   As shown in FIGS. 1 and 2, in the exemplary embodiment of the present invention, the pressing mechanism includes a pair of second drive mechanisms 210 and 220, and the second drive mechanisms 210 and 220 Are mounted on the vertical support plates 110 and 120, and are configured to drive the pair of pressing heads 310 and 320 to press the pair of pressing heads 310 and 320 against the surface of the carrier 400, respectively.

図1および図2に示す実施形態では、第2の駆動機構210、220の作動端は、それぞれ水平押圧板230を備える。押圧ヘッド310、320の上端面は、それぞれ水平押圧板230に取り付けられる。   In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the operating ends of the second drive mechanisms 210 and 220 are each provided with a horizontal pressing plate 230. The upper end surfaces of the pressing heads 310 and 320 are attached to the horizontal pressing plate 230, respectively.

キャリア400に作用する押圧力がゼロから所定の値へ徐々に平滑に増大することを確実にするために、本発明の例示的な実施形態では、押圧ヘッド310、320は、弾性材料から作られる。このようにして、押圧ヘッド310、320は、下方へ押圧されるとき、徐々に弾性的に変形し、その結果、キャリア400に作用する押圧力は、キャリア400に衝撃を与えるのではなく、ゼロから所定の値へ徐々に平滑に増大する。   In order to ensure that the pressing force acting on the carrier 400 increases gradually and smoothly from zero to a predetermined value, in an exemplary embodiment of the invention, the pressing heads 310, 320 are made from an elastic material. . In this way, when the pressing heads 310 and 320 are pressed downward, they are gradually elastically deformed. As a result, the pressing force acting on the carrier 400 does not give an impact to the carrier 400, but is zero. Gradually increases from a predetermined value to a predetermined value.

本発明の例示的な実施形態では、第2の駆動機構210、220はそれぞれ、線形アクチュエータ、たとえば空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータを構成することができる。   In an exemplary embodiment of the invention, each of the second drive mechanisms 210, 220 can constitute a linear actuator, such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, or an electric actuator.

図3は、本発明の別の例示的な実施形態による研磨装置の押圧ヘッド310’または320’の例示的な構造図であり、ばね(弾性の緩衝構成要素240)は押圧されずに解放状態で維持されており、図4は、図3に示す押圧ヘッド310’または320’の例示的な構造図であり、ばね(弾性の緩衝構成要素240)は完全に押圧されている。   FIG. 3 is an exemplary structural view of a pressure head 310 ′ or 320 ′ of a polishing apparatus according to another exemplary embodiment of the present invention, in which a spring (elastic shock absorbing component 240) is released without being pressed. FIG. 4 is an exemplary structural diagram of the pressure head 310 ′ or 320 ′ shown in FIG. 3, in which the spring (elastic cushioning component 240) is fully pressed.

本発明の例示的な実施形態では、図3および図4に示すように、押圧機構はまた、弾性の緩衝構成要素240を備える。第2の駆動機構210、220は、弾性の緩衝構成要素240を押圧し、それによって押圧ヘッド310’、320’をキャリア400の表面に押圧し、その結果、キャリア400に作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する。   In an exemplary embodiment of the invention, as shown in FIGS. 3 and 4, the pushing mechanism also includes a resilient cushioning component 240. The second drive mechanism 210, 220 presses the elastic cushioning component 240, thereby pressing the pressing heads 310 ′, 320 ′ against the surface of the carrier 400, so that the pressing force acting on the carrier 400 is Gradually increase from zero to a predetermined value.

図3および図4に示すように、図示の実施形態では、押圧ヘッド310’および320’はそれぞれ、上部本体部分311と、上部本体部分311から分離された下部本体部分312とを備える。それぞれ上部本体部分311および下部本体部分312上に受容溝が形成され、弾性の緩衝構成要素240は、受容内に受け取られる。   As shown in FIGS. 3 and 4, in the illustrated embodiment, the pressure heads 310 ′ and 320 ′ each comprise an upper body portion 311 and a lower body portion 312 separated from the upper body portion 311. Receiving grooves are formed on the upper body portion 311 and the lower body portion 312 respectively, and the elastic cushioning component 240 is received in the receptacle.

図3および図4に示すように、図示の実施形態では、それぞれ上部本体部分311および下部本体部分312内に案内孔が形成され、それぞれ案内孔内へ案内ロッド250が挿入され、その結果、弾性の緩衝構成要素240の押圧中、上部本体部分310は、下部本体部分320に対して垂直方向に動くように案内される。   As shown in FIGS. 3 and 4, in the illustrated embodiment, guide holes are formed in the upper body portion 311 and the lower body portion 312, respectively, and guide rods 250 are inserted into the guide holes, respectively. The upper body portion 310 is guided to move vertically relative to the lower body portion 320 during the pressing of the shock absorber component 240.

図3および図4に示すように、図示の実施形態では、押圧ヘッド310’または320’の下部本体部分312には、キャリア400の表面に直接接触してキャリア400の表面を直接押圧する円弧状の突起312aが形成される。   As shown in FIGS. 3 and 4, in the illustrated embodiment, the lower body portion 312 of the pressure head 310 ′ or 320 ′ has an arcuate shape that directly contacts the surface of the carrier 400 and directly presses the surface of the carrier 400. The protrusion 312a is formed.

図3および図4に示すように、本発明の例示的な実施形態では、円弧状の突起312aは、半球形または半円筒形に形成することができる。   As shown in FIGS. 3 and 4, in the exemplary embodiment of the present invention, the arc-shaped protrusion 312 a can be formed in a hemispherical shape or a semicylindrical shape.

図1に示すように、本発明の例示的な実施形態では、垂直摺動レール111、摺動ブロック112、および第1の駆動機構130は、それぞれ垂直支持板110、120の外側に取り付けられる。第2の駆動機構210、220は、それぞれ垂直支持板110、120の内側に取り付けられる。   As shown in FIG. 1, in the exemplary embodiment of the present invention, the vertical sliding rail 111, the sliding block 112, and the first drive mechanism 130 are attached to the outside of the vertical support plates 110 and 120, respectively. The second drive mechanisms 210 and 220 are attached to the inside of the vertical support plates 110 and 120, respectively.

本発明の例示的な実施形態では、図1に示すように、キャリア400は、実質的な長方形のプロファイルまたは任意の他の適切なプロファイルを有する。   In an exemplary embodiment of the invention, as shown in FIG. 1, carrier 400 has a substantially rectangular profile or any other suitable profile.

上記の実施形態はすべて例示的な実施形態であることを、当業者には理解されたい。たとえば、構造上または原理上矛盾することなく、当業者であれば、上記の実施形態に多くの修正を加えることができ、異なる実施形態で記載する様々な特徴を互いに自由に組み合わせることができる。   It should be understood by those skilled in the art that all of the above embodiments are exemplary embodiments. For example, without contradicting structure or principle, those skilled in the art can make many modifications to the above embodiments, and freely combine various features described in the different embodiments with each other.

本開示について、添付の図面を参照して説明したが、添付の図面に開示する実施形態は、本発明の好ましい実施形態について例示的に説明することが意図され、本開示に対する限定として解釈されるべきでない。   Although the present disclosure has been described with reference to the accompanying drawings, the embodiments disclosed in the accompanying drawings are intended to be illustrative of preferred embodiments of the invention and are to be construed as limitations on the disclosure. Should not.

本開示の一般概念のいくつかの実施形態について図示および説明したが、本開示の原理および精神から逸脱することなく、様々な変更または修正をこれらの実施形態に加えることができ、本開示の範囲は、特許請求の範囲およびその均等物において定義されることが、当業者には理解されよう。   While several embodiments of the general concept of the present disclosure have been illustrated and described, various changes or modifications can be made to these embodiments without departing from the principles and spirit of the present disclosure, and the scope of the present disclosure Those skilled in the art will appreciate that is defined in the claims and their equivalents.

本明細書では、「備える」または「有する」という用語は、他の要素またはステップを除外しないと理解され、「a」または「an」という用語は、複数の要素またはステップを除外しないと理解されたい。加えて、特許請求の範囲内のあらゆる参照番号は、本開示の範囲の限定として理解されるべきでない。   As used herein, the terms “comprising” or “having” are understood not to exclude other elements or steps, and the terms “a” or “an” are understood not to exclude a plurality of elements or steps. I want. In addition, any reference signs in the claims should not be construed as limiting the scope of the disclosure.

Claims (21)

台座(10)と、
複数の研磨すべき加工物を保持するように構築されたキャリア(400)と、
前記台座(10)上に取り付けられ、前記キャリア(400)を設置および位置決めするように構築された1対の位置決め板(115)を有する昇降機構と、
前記台座(10)上に取り付けられ、それぞれ前記キャリア(400)の両端を前記1対の位置決め板(115)に押圧するように構築された1対の押圧ヘッド(310、320)を有する押圧機構と、
前記台座(10)上に取り付けられ、前記キャリア(400)上に保持された前記加工物を研磨するように構築された研磨機構とを備え、
前記押圧ヘッド(310、320)はそれぞれ、前記キャリア(400)の表面を押圧するように構築された円弧状の突起(310a、320a)を有する、
研磨装置。
A pedestal (10);
A carrier (400) constructed to hold a plurality of workpieces to be polished;
A lifting mechanism mounted on the pedestal (10) and having a pair of positioning plates (115) constructed to install and position the carrier (400);
A pressing mechanism mounted on the pedestal (10) and having a pair of pressing heads (310, 320) constructed to press both ends of the carrier (400) against the pair of positioning plates (115). When,
A polishing mechanism mounted on the pedestal (10) and constructed to polish the workpiece held on the carrier (400);
Each of the pressing heads (310, 320) has arcuate protrusions (310a, 320a) constructed to press the surface of the carrier (400).
Polishing equipment.
前記円弧状の突起(310a、320a)は、半球形または半円筒形に形成される、
請求項1に記載の研磨装置。
The arc-shaped protrusions (310a, 320a) are formed in a hemispherical shape or a semicylindrical shape.
The polishing apparatus according to claim 1.
前記研磨すべき加工物は、光ファイバフェルールアセンブリであり、各光ファイバフェルールアセンブリは、フェルール(501)と、前記フェルール(501)の内孔内に固定された光ファイバ(502)とを備え、
前記キャリア(400)上に複数の位置決めスロットが形成され、前記光ファイバフェルールアセンブリは、それぞれ前記キャリア(400)の複数の位置決めスロット内に締め付けられて位置決めされ、
前記研磨機構は、前記光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨するように構築される、
請求項1に記載の研磨装置。
The workpiece to be polished is an optical fiber ferrule assembly, and each optical fiber ferrule assembly includes a ferrule (501) and an optical fiber (502) fixed in an inner hole of the ferrule (501),
A plurality of positioning slots are formed on the carrier (400), and the fiber optic ferrule assemblies are each clamped and positioned in the plurality of positioning slots of the carrier (400),
The polishing mechanism is constructed to polish an end face of the optical fiber ferrule assembly;
The polishing apparatus according to claim 1.
前記昇降機構は、
前記台座(10)上に対向して取り付けられた1対の垂直支持板(110、120)と、
それぞれ前記支持板(110、120)上に設けられた1対の垂直摺動レール(111)と、
それぞれ前記垂直摺動レール(111)と摺動可能に嵌合する1対の摺動ブロック(112)と、
前記1対の摺動ブロック(112)および前記1対の位置決め板(115)を連結して前記摺動ブロック(112)および前記位置決め板(115)を同時に動かすように構築された連結ビーム(114)と、
それぞれ前記摺動ブロック(112)を駆動して前記垂直摺動レール(111)に沿って上下に動かすように前記垂直支持板(110、120)の一方に取り付けられた第1の駆動機構(130)とを備える、
請求項3に記載の研磨装置。
The lifting mechanism is
A pair of vertical support plates (110, 120) mounted oppositely on the pedestal (10);
A pair of vertical sliding rails (111) each provided on the support plate (110, 120);
A pair of sliding blocks (112) slidably mating with the vertical sliding rails (111), respectively;
A connecting beam (114) constructed to connect the pair of sliding blocks (112) and the pair of positioning plates (115) to move the sliding blocks (112) and the positioning plates (115) simultaneously. )When,
A first drive mechanism (130) attached to one of the vertical support plates (110, 120) to drive the slide block (112) and move it up and down along the vertical slide rail (111). )
The polishing apparatus according to claim 3.
前記第1の駆動機構(130)は、線形アクチュエータを構成する、
請求項4に記載の研磨装置。
The first drive mechanism (130) constitutes a linear actuator.
The polishing apparatus according to claim 4.
前記第1の駆動機構(130)は、空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータを構成する、
請求項5に記載の研磨装置。
The first drive mechanism (130) constitutes an air cylinder, a hydraulic cylinder, or an electric actuator.
The polishing apparatus according to claim 5.
前記キャリア(400)は、ピンと孔が嵌合するように前記位置決め板(115)上に位置決めされる、
請求項4に記載の研磨装置。
The carrier (400) is positioned on the positioning plate (115) such that a pin and a hole are fitted.
The polishing apparatus according to claim 4.
前記1対の位置決め板(115)はそれぞれ、上方へ垂直に延出する位置決めピン(115a)を有し、
前記キャリア(400)の両端にはそれぞれ、位置決め孔(400a)が形成され、
前記位置決め板(115)の前記位置決めピン(115a)は、それぞれ前記キャリア(400)の前記位置決め孔(400a)内へ嵌め込まれる、
請求項7に記載の研磨装置。
Each of the pair of positioning plates (115) has a positioning pin (115a) extending vertically upward,
Positioning holes (400a) are formed at both ends of the carrier (400),
The positioning pins (115a) of the positioning plate (115) are fitted into the positioning holes (400a) of the carrier (400), respectively.
The polishing apparatus according to claim 7.
前記位置決めピン(115a)および前記位置決め孔(400a)は、前記キャリアの姿勢を変化させることを可能にするように隙間嵌めされる、
請求項8に記載の研磨装置。
The positioning pin (115a) and the positioning hole (400a) are clearance-fitted to allow the carrier posture to change.
The polishing apparatus according to claim 8.
前記位置決め板(115)はそれぞれ、水平延出部分(115b)を有し、前記位置決めピン(115a)は、前記水平延出部分(115b)の一端に位置し、
前記キャリア(400)の両端は、それぞれ前記1対の位置決め板(115)の前記水平延出部分(115b)上に配置される、
請求項8に記載の研磨装置。
Each of the positioning plates (115) has a horizontal extension portion (115b), and the positioning pin (115a) is located at one end of the horizontal extension portion (115b),
Both ends of the carrier (400) are respectively disposed on the horizontal extension portions (115b) of the pair of positioning plates (115).
The polishing apparatus according to claim 8.
前記研磨機構は、前記位置決め板(115)の下に設けられた水平支持板(20)と、前記水平支持板(20)上に配置された研磨フィルムとを備え、
前記研磨フィルムは、前記水平支持板(20)とともに往復運動して前記光ファイバフェルールアセンブリの前記端面を研磨するように構築される、
請求項9に記載の研磨装置。
The polishing mechanism includes a horizontal support plate (20) provided under the positioning plate (115), and a polishing film disposed on the horizontal support plate (20),
The polishing film is constructed to reciprocate with the horizontal support plate (20) to polish the end face of the optical fiber ferrule assembly;
The polishing apparatus according to claim 9.
前記押圧機構は、それぞれ前記1対の垂直支持板(110、120)上に取り付けられた1対の第2の駆動機構(210、220)を備え、
前記1対の第2の駆動機構(210、220)は、それぞれ前記1対の押圧ヘッド(310、320)を駆動して前記1対の押圧ヘッド(310、320)を前記キャリア(400)の前記表面に押圧するように構築される、
請求項1に記載の研磨装置。
The pressing mechanism includes a pair of second driving mechanisms (210, 220) mounted on the pair of vertical support plates (110, 120), respectively.
The pair of second driving mechanisms (210, 220) drive the pair of pressing heads (310, 320), respectively, and cause the pair of pressing heads (310, 320) to move to the carrier (400). Constructed to press against the surface,
The polishing apparatus according to claim 1.
前記押圧機構は、弾性の緩衝構成要素(240)をさらに備え、前記第2の駆動機構(210、220)は、前記弾性の緩衝構成要素(240)を押圧し、前記弾性の緩衝構成要素(240)を通じて前記押圧ヘッド(310’、320’)を前記キャリア(400)の前記表面に押圧し、その結果、前記キャリア(400)に作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する、
請求項12に記載の研磨装置。
The pressing mechanism further includes an elastic buffering component (240), and the second driving mechanism (210, 220) presses the elastic buffering component (240) and the elastic buffering component (240). 240), the pressing head (310 ′, 320 ′) is pressed against the surface of the carrier (400), so that the pressing force acting on the carrier (400) gradually increases from zero to a predetermined value. To
The polishing apparatus according to claim 12.
前記押圧ヘッド(310’、320’)はそれぞれ、上部本体部分(311)と、前記上部本体部分(311)とは別個の下部本体部分(312)とを備え、
それぞれ前記上部本体部分(311)および前記下部本体部分(312)上に受容溝が形成され、前記弾性の緩衝構成要素(240)は、前記受容溝内に受容される、
請求項13に記載の研磨装置。
Each of the pressing heads (310 ′, 320 ′) includes an upper body part (311) and a lower body part (312) separate from the upper body part (311),
Receiving grooves are formed in the upper body portion (311) and the lower body portion (312), respectively, and the elastic cushioning component (240) is received in the receiving groove.
The polishing apparatus according to claim 13.
それぞれ前記上部本体部分(311)および前記下部本体部分(312)内に案内孔が形成され、
それぞれ案内孔内へ案内ロッド(250)が挿入され、その結果、前記弾性の緩衝構成要素(240)の押圧中、前記上部本体部分(310)は、前記下部本体部分(320)に対して垂直方向に動くように案内される、
請求項14に記載の研磨装置。
Guide holes are formed in the upper body portion (311) and the lower body portion (312), respectively.
A guide rod (250) is inserted into each guide hole so that the upper body part (310) is perpendicular to the lower body part (320) during the pressing of the elastic cushioning component (240). Guided to move in the direction,
The polishing apparatus according to claim 14.
前記第2の駆動機構(210、220)の作動端は、それぞれ水平押圧板(230)を備え、
前記押圧ヘッド(310、320)の上端面は、それぞれ前記水平押圧板(230)に取り付けられる、
請求項12に記載の研磨装置。
The operating ends of the second drive mechanisms (210, 220) each include a horizontal pressing plate (230),
The upper end surfaces of the pressing heads (310, 320) are respectively attached to the horizontal pressing plates (230).
The polishing apparatus according to claim 12.
前記押圧ヘッド(310、320)は、弾性材料から作られ、その結果、前記キャリア(400)に作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する、
請求項16に記載の研磨装置。
The pressing head (310, 320) is made of an elastic material, so that the pressing force acting on the carrier (400) gradually increases from zero to a predetermined value,
The polishing apparatus according to claim 16.
前記第2の駆動機構(210、220)はそれぞれ、線形アクチュエータを構成する、
請求項12に記載の研磨装置。
Each of the second driving mechanisms (210, 220) constitutes a linear actuator.
The polishing apparatus according to claim 12.
前記第2の駆動機構(210、220)はそれぞれ、空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータを構成する、
請求項18に記載の研磨装置。
Each of the second drive mechanisms (210, 220) constitutes an air cylinder, a hydraulic cylinder, or an electric actuator,
The polishing apparatus according to claim 18.
前記垂直摺動レール(111)、前記摺動ブロック(112)、および前記第1の駆動機構(130)は、それぞれ前記垂直支持板(110、120)の外側に取り付けられ、
前記第2の駆動機構(210、220)は、それぞれ前記垂直支持板(110、120)の内側に取り付けられる、
請求項12に記載の研磨装置。
The vertical sliding rail (111), the sliding block (112), and the first driving mechanism (130) are attached to the outside of the vertical support plate (110, 120), respectively.
The second driving mechanism (210, 220) is attached to the inside of the vertical support plate (110, 120), respectively.
The polishing apparatus according to claim 12.
前記キャリア(400)は、長方形のプロファイルを有する、
請求項1に記載の研磨装置。
The carrier (400) has a rectangular profile;
The polishing apparatus according to claim 1.
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