JP2017519987A - 光ビームの特性評価のためのデバイスおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
E(x,y,t)=E1(t)×E2(x,y)
の形で表すことができない。ここで、E1(t)は時間の関数であり、E2(x,y)は空間の関数である。そのとき、ビームは時空間的結合(STC)を有すると言われる。
− 光ビームを第1のサブビームと第2のサブビームとに分離するための分離器光学部品であり、第1のサブビームのための第1の光路と第2のサブビームのための第2の光路とを規定する、分離器光学部品と、
− 第1の光路に配列された第1の光学部品であり、「参照ビーム」と呼ばれる第1の光学部品を出た後の第1のサブビームが第1のタイプの波面を有するように第1の曲率半径を有する、第1の光学部品と、
− 第2の光路に配列された第2の光学部品であり、「被特性評価ビーム」と呼ばれる第2の光学部品を出た後の第2のサブビームが第1のタイプと異なる第2のタイプの波面を有するように第1の曲率半径と異なる第2の曲率半径を有する、第2の光学部品と、
− 参照ビームと被特性評価ビームとの間の遅延時間τを制御する手段と、
− ビームが、空間的に干渉し、2次元干渉パターンを形成するように、参照ビームと被特性評価ビームとを再結合させるための再結合器光学部品と、
− 少なくとも2次元干渉パターンから時間情報または周波数情報を得ることを可能にする測定システムと、
− 周波数ドメインのフーリエ変換の時間情報からの計算、または時間ドメインのフーリエ変換の周波数情報からの計算を可能にする計算機と
を含む光ビームの特性評価のためのデバイスに関する。
− 光ビームを分離器光学部品によって第1のサブビームと第2のサブビームとに分離するステップであり、第1のサブビームが第1の光路を取り、第2のサブビームが第2の光路を取る、分離するステップと、
− 第1の光学部品を介して第1のサブビームを、および第2の光学部品を介して第2のサブビームを伝搬させるステップであり、前記第1および第2の光学部品は、制御手段のおかげで、それぞれ、「参照ビーム」と呼ばれる第1の光学部品を出た後の第1のサブビームおよび「被特性評価ビーム」と呼ばれる第2の光学部品を出た後の第2のサブビームがステップP1で時間間隔T1を掃引する時間遅延τだけ分離されるように、第1および第2の光路に配列される、伝搬させるステップと、
− ビームが、空間的に干渉し、2次元干渉パターンを形成するように、再結合器光学部品によって参照ビームと被特性評価ビームとを再結合させるステップと、
− 時間インターフェログラムを得るために、参照ビームと被特性評価ビームとの間の、ステップP1で時間間隔T1を掃引する時間遅延τに応じて、前記2次元干渉パターンを測定システムによって測定するステップと、
− 計算機によって、時間インターフェログラムの少なくとも1つの空間点の周波数ドメインのフーリエ変換を計算するステップであり、周波数ドメインの前記フーリエ変換が、中心周波数ピークと第1および第2の周波数サイドピークとを有する、計算するステップと、
− 計算機によって、周波数ドメインの前記フーリエ変換の前記第1および第2の周波数サイドピークのうちの1つに対して「相対スペクトル振幅」と呼ばれるスペクトル振幅AR(ω)と「相対空間スペクトル位相」と呼ばれる空間スペクトル位相φR(x,y,ω)とを計算するステップと
を含む。
○ 参照ビームの周波数ω0での空間位相φref(x,y,ω0)を測定するステップであり、前記空間位相φref(x,y,ω0)が、第1の光学部品によって導入された参照ビームの波面の曲率の特徴を示す、測定するステップと、
○ 次いで、被特性評価ビームの修正された相対空間スペクトル位相を得るために、相対空間スペクトル位相φR(x,y,ω)から空間スペクトル位相(ω/ω0)φref(x,y,ω0)を減じるステップと
を含む。
それにより、第1の光学部品によって導入される参照ビームの波面の曲率が考慮に入れられる。
○ 「参照空間スペクトル位相」と呼ばれる第1のサブビームの空間スペクトル位相φref(x,y,ω)を測定するステップと、
○ 次いで、被特性評価ビームの絶対空間スペクトル位相φabs(x,y,ω)を得るために、相対空間スペクトル位相φR(x,y,ω)から前記参照空間スペクトル位相φref(x,y,ω)を減じるステップと
を含む。
それにより、被特性評価ビームの絶対特性評価が、参照ビームと無関係に得られる。
○ 参照ビームの周波数ω0での空間位相φref(x,y,ω0)を測定するステップであり、前記空間位相φref(x,y,ω0)が、第1の光学部品によって導入された参照ビームの波面の曲率の特徴を示す、測定するステップと、
○ 「参照空間スペクトル位相」と呼ばれる第1のサブビームの空間スペクトル位相φref(x,y,ω)を測定するステップと、
○ 次いで、被特性評価ビームの修正された絶対空間スペクトル位相を得るために、相対空間スペクトル位相φR(x,y,ω)から前記参照空間スペクトル位相φref(x,y,ω)および空間スペクトル位相(ω/ω0)φref(x,y,ω0)を減じるステップと
を含む。
それにより、被特性評価ビームの絶対特性評価が、第1の光学部品によって導入される参照ビームの波面の曲率を修正しながら得られる。
− 光ビームを分離器光学部品によって第1のサブビームと第2のサブビームとに分離するステップであり、第1のサブビームが第1の光路を取り、第2のサブビームが第2の光路を取る、分離するステップと、
− 第1の光学部品を介して第1のサブビームを、および第2の光学部品を介して第2のサブビームを伝搬させるステップであり、前記第1および第2の光学部品は、制御手段のおかげで、それぞれ、「参照ビーム」と呼ばれる第1の光学部品を出た後の第1のサブビームおよび「被特性評価ビーム」と呼ばれる第2の光学部品を出た後の第2のサブビームが時間遅延τだけ分離されるように第1および第2の光路に配列される、伝搬させるステップと、
− ビームが、空間的に干渉し、第1の面に沿って延びる2次元干渉パターンを形成するように、再結合器光学部品によって参照ビームと被特性評価ビームとを再結合させるステップと、
− 2次元干渉パターンの少なくとも1つの部分の周波数スペクトルを測定システムによって測定するステップであり、測定システムが、第1の面の第1の空間方向に沿って延びる入口スリットを有する分光器を含む、測定するステップと、
− 周波数スペクトルの少なくとも1つの空間点の時間ドメインのフーリエ変換を計算するステップであり、時間ドメインの前記フーリエ変換が、時間中心ピークと第1および第2の時間サイドピークとを有する、計算するステップと、
− 計算機によって、前記第1および第2の時間サイドピークのうちの1つに対して周波数ドメインのフーリエ変換を計算するステップと、
− 計算機によって、周波数ドメインの前記フーリエ変換に関して「相対スペクトル振幅」と呼ばれるスペクトル振幅AR(ω)と「相対空間スペクトル位相」と呼ばれる空間スペクトル位相φR(x,y,ω)とを計算するステップと
を含む。
○ 分光器の入口スリットが、2次元干渉パターンの前記少なくとも1つの部分を受け取るように構成されるように測定システムの分光器を配列するサブステップであり、前記少なくとも1つの部分が第1の面の第1の空間次元に沿って延びる、配列するサブステップと、
○ 分光器のおかげで、第1の面の第1の空間次元に沿って延びる2次元干渉パターンの前記少なくとも1つの部分の周波数スペクトルを測定するサブステップと
を含む。
○ 複数の光ファイバを含む測定システムが、第1の面の第1の空間方向に沿っておよび第1の面の第2の空間方向に沿って2次元干渉パターンをサンプリングすることができるように2次元マトリクスに従って第1の面に前記複数の光ファイバの入力端部を配列するサブステップと、
○ 前記複数の光ファイバの出力端部を測定システムの分光器の入口スリットに配列するサブステップと、
○ 測定システムの分光器のおかげで、第1の面の第1および第2の空間方向に沿って2次元干渉パターンのサンプリングの周波数スペクトルを測定するサブステップと
を含む。
○ 参照ビームの周波数ω0での空間位相φref(x,y,ω0)を測定するステップであり、前記空間位相φref(x,y,ω0)が、第1の光学部品によって導入された参照ビームの波面の曲率の特徴を示す、測定するステップと、
○ 次いで、被特性評価ビームの修正された相対空間スペクトル位相を得るために、相対空間スペクトル位相φR(x,y,ω)から空間スペクトル位相(ω/ω0)φref(x,y,ω0)を減じるステップと
を含む。
それにより、第1の光学部品によって導入される参照ビームの波面の曲率が考慮に入れられる。
○ 「参照空間スペクトル位相」と呼ばれる第1のサブビームの空間スペクトル位相φref(x,y,ω)を測定するステップと、
○ 次いで、被特性評価ビームの絶対空間スペクトル位相φabs(x,y,ω)を得るために、相対空間スペクトル位相φR(x,y,ω)から前記参照空間スペクトル位相φref(x,y,ω)を減じるステップと
を含む。
それにより、被特性評価ビームの絶対特性評価が、参照ビームと無関係に得られる。
○ 参照ビームの周波数ω0での空間位相φref(x,y,ω0)を測定するステップであり、前記空間位相φref(x,y,ω0)が、第1の光学部品によって導入された参照ビームの波面の曲率の特徴を示す、測定するステップと、
○ 「参照空間スペクトル位相」と呼ばれる第1のサブビームの空間スペクトル位相φref(x,y,ω)を測定するステップと、
○ 次いで、被特性評価ビームの修正された絶対空間スペクトル位相を得るために、相対空間スペクトル位相φR(x,y,ω)から前記参照空間スペクトル位相φref(x,y,ω)および空間スペクトル位相(ω/ω0)φref(x,y,ω0)を減じるステップと
を含む。
それにより、被特性評価ビームの絶対特性評価が、第1の光学部品によって導入される参照ビームの波面の曲率を修正しながら得られる。
− 光学部品SRと、
− 第1の光学部品O1と、
− 第2の光学部品O2と、
− 時間遅延τを制御する手段Pzと、
− 測定システムSM1と、
− 計算機Kと
を含む。
− 時間遅延τごとに2次元干渉パターンM1の測定が実行される第1の面z1と、
− 第1の光学部品O1の面である第2の面z2。
N=Δx2/L×λ
である。
e)点(x,y)ごとに、変数τに関して時間インターフェログラムS1のフーリエ変換S1’を計算して、周波数ωの空間に渡す。したがって、フーリエ変換S1’は、S1’(x,y,ω)と表すことができる。フーリエ変換S1’は、周波数中心ピークfcと、第1の周波数サイドピークfl1および第2の周波数サイドピークfl2とを有する。図7bは、図7aの部分的時間インターフェログラムp1の部分フーリエ変換p1’の典型的な外観を示す。したがって、部分フーリエ変換P1’は、p1’x,y(ω)と表すことができる。したがって、部分フーリエ変換p1’は、所与の点(x,y)における、フーリエ変換S1’の周波数中心ピークfcと第1の周波数サイドピークfl1および第2の周波数サイドピークfl2とを部分的に表す。フーリエ変換S1’は、部分フーリエ変換p1’の、すべての点(x,y)についての組として見ることができる。
− 参照ビームの空間スペクトル位相に対する被特性評価ビームFcarの空間スペクトル位相、このゆえに、名称「相対空間スペクトル位相」と、
− 参照ビームのスペクトル振幅に対する被特性評価ビームFcarのスペクトル振幅、このゆえに、名称「相対スペクトル振幅」と
を得ることが可能になる。
Etot(x,y,z1,t)=Ecar(x,y,z1,t)+Eref(x,y,z1,t−τ)
に等しい。
S1(x,y,τ)=∫|Ecar(x,y,z1,t)+Eref(x,y,z1,t−τ)|2dt
に比例する。それゆえに、これは、
− 被特性評価ビームの電磁場のスペクトル振幅と参照ビームの電磁場のスペクトル振幅との積を、
− ならびに被特性評価ビームの電磁場の空間スペクトル位相および参照ビームの電磁場の空間スペクトル位相の差を
取得する。
− 被特性評価ビームFcarの一部を透過させることをさらに可能にする第2の光学部品O2、例えば、ベアガラススライドと、
− 第2の測定システムSM2と、オプションとして、第2の計算機K2と
を含む。
− ただ一つのものとして、「CCD2」で参照される1つの第2のセンサCCDを、
− または第2のセンサCCD2に加えて第2の拡散スクリーンE2および第2の対物レンズObj2
を含む。これは、図8に、より詳細に示されている事例である。
− 参照ビームFrefの空間スペクトル位相φref(x,y,ω)および
− 参照ビームFrefのスペクトル振幅Aref(ω)
を測定することを必要とする。
− 第1のサブビームF1の空間スペクトル位相φref(x,y,ω)を測定する図9に示されたステップi)と、
− 第1のサブビームF1のスペクトル振幅Aref(x,y,ω)を測定するステップと
を含む。
− 時間測定システムMTと、
− 着脱可能ミラーMaであり、それが所定に位置にあるとき、参照ビームの少なくとも1つの部分を時間測定システムMTに導くことを可能にする、着脱可能ミラーMaと
を含む。
− FROG(周波数分解光ゲート法)デバイス、
− SPIDER(直接電場再構築のためのスペクトル位相干渉法)デバイス、または
− SRSI(自己参照スペクトル干渉法)デバイス
を使用することができる。
Pref(t)=Pref(x0,y0,z2,t)
Eref(x,y,z1,t)=Pref(t−r/c)
で近似することができ、ここで、rは、座標(x0,y0,z2)の参照点と、座標(x,y,z1)の第1の測定面z1の各点(x,y)との間に距離である。したがって、距離r(x,y)は、幾何学的に計算することができ、関係式
− 光ビームFLを第1のサブビームF1と第2のサブビームF2とに分離するための分離器光学部品Osと、
− 第1の光学部品O1と、
− 波面修正器光学部品Corおよび第3の光学部品O3と、
− 有利には第1、第2、第3、および第4のミラーmi1、mi2、mi3、およびmi4を含む第2の光学部品O2と、
− 時間遅延τを制御する手段Pzと、
− 参照ビームFrefと被特性評価ビームFcarとの再結合のための再結合器光学部品Orと、
− 測定システムSM1と、
− 計算機Kと
を含む。
− 第1の光学部品O1が収束レンズの主物体焦点に配置されるように配列された収束レンズ、
− 発散ミラーおよび収束ミラーを含む望遠鏡
とすることができる。
次いで、修正器光学部品Corを出る参照ビームFrefは平行であり、実質的に平坦な波面を有する。
i.第1のサブビームF1の電磁場が第1の光学部品O1にわたり事実上均質であることが仮定され、前に説明したように、測定面z1の参照ビームFrefの電磁場がそれから推定される、
ii.測定面z1の参照ビームFrefの前記場が分かり、本発明の第1の実施形態による方法10を使用して測定された時間インターフェログラムS1を使用することにより、第1のサブビームF1の場の再構築が、空間においておよび時間において、または空間においておよび周波数において推定される、
iii.第1のサブビームF1の場のこの再構築は、第1の光学部品O1で反射されて、測定面z1の参照ビームFrefの場を生成する第1のサブビームF1の場の一部を含み、それはこのスケールでは必ずしも空間的に均質でない。この再構築は、測定面z1の参照ビームの新しい場を決定するのに使用され、このときそれは、第1のサブビームF1の場が第1の光学部品O1の表面全体にわたって均質であるという前提にもはや基づいていない。
− 被特性評価ビームFcarの電磁場が再構築され、
− 第1の測定面z1の参照ビームの電磁場が、制限された表面でさえ潜在的に非均質であるこの場の第1の光学部品O1による拡大の結果である
ように自己矛盾のない解に向かって収束するまで反復して繰り返される。
− 入口スリットFeを有する分光器SPと、
− 第1の測定システムSM1および第2の測定システムSM2に関して前に説明したようなカメラのセンサCCDと
を含む。
− 入口スリットFeを有する分光器SPと、
− 第1の測定システムSM1および第2の測定システムSM2に関して前に説明したものなどのカメラのセンサCCDと、
− 複数の光ファイバfo_1、fo_2、…、fo_nとを含む。前記複数光ファイバは、少なくとも2つの光ファイバを含む。複数の光ファイバの光ファイバの数は、センサCCDの垂直画素の数以下である。垂直画素のこの数は、500を超えることがある。 優先的に、前記複数の光ファイバは、4と100との間に含まれる光ファイバの数を含む。
− 第1のサブビームF1の空間スペクトル位相φref(x,y,ω)を測定する図9に示されたステップi)と、
− 第1のサブビームF1のスペクトル振幅Aref(ω)を測定するステップと
を含む。
i.第1のサブビームF1の電磁場が第1の光学部品O1にわたり事実上均質であることが仮定され、前に説明したように、測定面z1の参照ビームFrefの電磁場がそれから推定される、
ii.測定面z1の参照ビームFrefの前記場が分かり、本発明の第2の実施形態による方法20のおかげで測定された少なくとも1つの周波数インターフェログラムを使用することにより、第1のサブビームF1の場の再構築が、空間においておよび時間において、または空間においておよび周波数において推定される、
iii.第1のサブビームF1の場のこの再構築は、第1の光学部品O1で反射されて、測定面z1の参照ビームFrefの場を生成する第1のサブビームF1の場の一部を含み、それはこのスケールでは必ずしも空間的に均質でない。この再構築は、測定面z1の参照ビームの新しい場を決定するのに使用され、このときそれは、第1のサブビームF1の場が第1の光学部品O1の表面全体にわたって均質であるという前提にもはや基づいていない。
− 被特性評価ビームFcarの電磁場が再構築され、
− 第1の測定面z1の参照ビームの電磁場が、制限された表面でさえ潜在的に非均質であるこの場の第1の光学部品O1による拡大の結果である
ように自己矛盾のない解に向かって収束するまで反復して繰り返される。
Claims (10)
- 光ビーム(FL)の特性評価のための方法(10)であって、
− 光ビーム(FL)を分離器光学部品(Os、SR)によって第1のサブビーム(F1)と第2のサブビーム(F2)とに分離するステップであり、第1のサブビーム(F1)が第1の光路(C1)を取り、第2のサブビーム(F2)が第2の光路(C2)を取る、分離するステップと、
− 第1の光学部品(O1)を介して第1のサブビーム(F1)を、および第2の光学部品(O2)を介して第2のサブビーム(F2)を伝搬させるステップであり、第1のサブビーム(F1)が第1の光学部品(O1)の表面全体にわたって不均質電磁場を有し、前記第1および第2の光学部品(O1、O2)は、制御手段(Pz)のおかげで、それぞれ、「参照ビーム(Fref)」と呼ばれる第1の光学部品を出た後の第1のサブビームおよび「被特性評価ビーム(Fcar)」と呼ばれる第2の光学部品を出た後の第2のサブビームがステップP1で時間間隔T1を掃引する時間遅延τだけ分離されるように、第1および第2の光路(C1、C2)に配列される、伝搬させるステップと、
− ビームが、空間的に干渉し、2次元干渉パターン(M1)を形成するように、再結合器光学部品(Or、SR)によって参照ビーム(Fref)と被特性評価ビーム(Fcar)とを再結合させるステップと、
− 時間インターフェログラム(S1)を得るために、参照ビーム(Fref)と被特性評価ビーム(Fcar)との間の、ステップP1で時間間隔T1を掃引する時間遅延τに応じて、前記2次元干渉パターン(M1)を測定システム(SM1)によって測定するステップと、
− 計算機(K)によって、時間インターフェログラム(S1)の少なくとも1つの空間点の周波数ドメインのフーリエ変換(TFF)を計算するステップであり、周波数ドメインの前記フーリエ変換(TFF)が、周波数中心ピーク(fc)と第1および第2の周波数サイドピーク(fl1、fl2)とを有する、計算するステップと、
− 計算機(K)によって、周波数ドメインの前記フーリエ変換(TFF)の前記第1および第2の周波数サイドピークのうちの1つに対して、「相対スペクトル振幅」と呼ばれるスペクトル振幅AR(ω)と「相対空間スペクトル位相」と呼ばれる空間スペクトル位相φR(x,y,ω)とを計算するステップと
を含む、方法(10)。 - − 第1のサブビーム(F1)の電磁場が第1の光学部品(O1)の第2の面(z2)において均質であると仮定して、第1の測定面(z1)の参照ビーム(Fref)の電磁場が計算されるステップi)と、
− 第1の光学部品(O1)の第2の面(z2)の第1のサブビーム(F1)の電磁場の再構築が、前もって計算された第1の測定面(z1)における参照ビーム(Fref)の電磁場と時間インターフェログラム(S1)とから計算されるステップii)と、
− 第1の測定面(z1)の参照ビーム(Fref)の電磁場が、前もって計算された第1の光学部品(O1)の第2の面(z2)の第1のサブビーム(F1)の電磁場の再構築を使用して計算されるステップiii)と
を含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法(10)。 - ステップii)およびステップiii)が、
− 被特性評価ビーム(Fcar)の電磁場が再構築され、
− 第1の測定面(z1)の参照ビーム(Fref)の電磁場が、第1の光学部品(O1)による参照ビーム(Fref)の前記電磁場の拡大の結果である
ように自己矛盾のない解に向かって収束するまで繰り返される
ことを特徴とする、請求項2に記載の方法(10)。 - ステップP1で時間間隔T1を掃引する少なくとも1つの時間遅延τに関して、計算機(K)によって、被特性評価ビーム(Fcar)の強度および強度の空間的分布を計算するステップを含むことを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法(10)。
- ステップP1で時間間隔T1を掃引する時間遅延τごとに、計算機(K)によって、被特性評価ビーム(Fcar)の強度および強度の空間的分布を計算する前記ステップを含むことを特徴とする、請求項4に記載の方法(10)。
- − 参照ビームの周波数ω0での空間位相φref(x,y,ω0)を測定するステップであり、前記空間位相φref(x,y,ω0)が、第1の光学部品(O1)によって導入された参照ビーム(Fref)の波面の曲率の特徴を示す、測定するステップと、
− 次いで、被特性評価ビームの修正された相対空間スペクトル位相を得るために、相対空間スペクトル位相φR(x,y,ω)から空間スペクトル位相(ω/ω0)φref(x,y,ω0)を減じるステップとを含むことを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法(10)。 - − 「参照空間スペクトル位相」と呼ばれる第1のサブビームの空間スペクトル位相φref(x,y,ω)を測定するステップと、
− 次いで、被特性評価ビームの絶対空間スペクトル位相φabs(x,y,ω)を得るために、相対空間スペクトル位相φR(x,y,ω)から前記参照空間スペクトル位相φref(x,y,ω)を減じるステップと
を含むことを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法(10)。 - − 参照ビームの周波数ω0での空間位相φref(x,y,ω0)を測定するステップであり、前記空間位相φref(x,y,ω0)が、第1の光学部品O1によって導入された参照ビーム(Fref)の波面の曲率の特徴を示す、測定するステップと、
− 「参照空間スペクトル位相」と呼ばれる第1のサブビームの空間スペクトル位相φref(x,y,ω)を測定するステップと、
− 次いで、被特性評価ビームの修正された絶対空間スペクトル位相を得るために、相対空間スペクトル位相φR(x,y,ω)から前記参照空間スペクトル位相φref(x,y,ω)および空間スペクトル位相(ω/ω0)φref(x,y,ω0)を減じるステップと
を含むことを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法(10)。 - − 光ビーム(FL)を第1のサブビーム(F1)と第2のサブビーム(F2)とに分離するための分離器光学部品(Os、SR)であり、第1のサブビーム(F1)のための第1の光路(C1)と第2のサブビーム(F2)のための第2の光路(C2)とを規定する、分離器光学部品(Os、SR)と、
− 第1の光路(C1)に配列された第1の光学部品(O1)であり、「参照ビーム(Fref)」と呼ばれる第1の光学部品を出た第1のサブビームが第1のタイプの波面を有するように第1の曲率半径を有する、第1の光学部品(O1)と、
− 第2の光路(C2)に配列された第2の光学部品(O2)であり、「被特性評価ビーム(Fcar)」と呼ばれる第2の光学部品を出た第2のサブビームが、第1のタイプと異なる第2のタイプの波面を有するように第1の曲率半径と異なる第2の曲率半径を有する、第2の光学部品(O2)と、
− 参照ビーム(Fref)と被特性評価ビーム(Fcar)との間の遅延時間τを制御する手段(Pz)と、
− 参照ビーム(Fref)と被特性評価ビーム(Fcar)とが空間的に干渉し、2次元干渉パターン(M1)を形成するように、参照ビーム(Fref)と被特性評価ビーム(Fcar)とを再結合させるための再結合器光学部品(Or、SR)と、
− 少なくとも2次元干渉パターン(M1)から時間情報または周波数情報を得ることを可能にする測定システム(SM1)と、
− 周波数ドメインのフーリエ変換(TFF)の時間情報からの計算、または時間ドメインのフーリエ変換(TFT)の周波数情報からの計算を可能にする計算機(K)と
を含むことを特徴とする、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法(10)の実施のための光ビーム(FL)の特性評価のためのデバイス(1、2)。 - 分離器光学部品(Os)と再結合器光学部品(Or)とが、一方では、光ビーム(FL)の分離を、他方では、参照ビーム(Fref)と被特性評価ビーム(Fcar)との再結合を保証する単一で同じ光学部品(SR)を形成することを特徴とする、請求項9に記載のデバイス(1)。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017519988A (ja) * | 2014-06-16 | 2017-07-20 | コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク・エ・オ・エネルジ・アルテルナテイブ | 光ビームの特性評価のためのデバイスおよび方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10366269B2 (en) * | 2016-05-06 | 2019-07-30 | Qualcomm Incorporated | Biometric system with photoacoustic imaging |
US10235551B2 (en) | 2016-05-06 | 2019-03-19 | Qualcomm Incorporated | Biometric system with photoacoustic imaging |
FR3065805B1 (fr) * | 2017-04-27 | 2019-06-28 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procede de caracterisation spatio-spectrale d’une source laser impulsionnelle polychromatique |
US11019326B2 (en) * | 2018-02-09 | 2021-05-25 | Jenoptik Optical Systems, Llc | Light-source characterizer and associated methods |
EP3877733A4 (en) * | 2018-11-08 | 2022-06-29 | Sphere Ultrafast Photonics, S.A. | Device and method for ultrashort pulse temporal measurement |
US11150139B2 (en) * | 2019-03-15 | 2021-10-19 | Kapteyn Murnane Laboratories, Inc. | Apparatus and methods for full spatio-temporal characterization of ultrashort light pulses |
CN112326203A (zh) * | 2020-10-28 | 2021-02-05 | 桂林电子科技大学 | 一种通过干涉条纹中心区域数据确定成像系统参数的方法 |
CN113654653B (zh) * | 2021-08-13 | 2023-06-09 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种超快激光时空耦合特性的单次测量方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5119996B1 (ja) * | 1971-01-25 | 1976-06-22 | ||
JPS63238525A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 短光パルス測定評価方法 |
US5754292A (en) * | 1992-10-26 | 1998-05-19 | The Regents Of The University Of California | Method and apparatus for measuring the intensity and phase of an ultrashort light pulse |
WO2006018897A1 (ja) * | 2004-08-20 | 2006-02-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | レーザ位相差検出装置およびレーザ位相制御装置 |
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Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5648872A (en) * | 1995-09-29 | 1997-07-15 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Single lens joint transform correlator utilizing a fresnel zone plate signal |
US6633386B2 (en) | 2001-07-23 | 2003-10-14 | The University Of Rochester | Optical pulse measurement using shearing interferometry, especially suitable for characterizing ultrashort pulses |
US7405830B2 (en) * | 2004-08-20 | 2008-07-29 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology (Kaist) | Vibration-insensitive interferometer |
FR2897426B1 (fr) * | 2006-02-16 | 2012-07-27 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Procede d'analyse de surface d'onde par interferometrie multilaterale a difference de frequences |
US8120778B2 (en) * | 2009-03-06 | 2012-02-21 | Imra America, Inc. | Optical scanning and imaging systems based on dual pulsed laser systems |
JP2009069041A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Fujinon Corp | 光ピックアップ用波面測定装置 |
JP4524708B2 (ja) * | 2008-06-19 | 2010-08-18 | ソニー株式会社 | 再生装置、再生方法 |
GB2472059B (en) * | 2009-07-23 | 2012-09-19 | Univ Loughborough | Apparatus for the absolute measurement of two dimensional optical path distributions using interferometry |
CN101650163B (zh) * | 2009-09-07 | 2011-03-16 | 中国兵器工业第二〇五研究所 | 数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置 |
CN101769722B (zh) * | 2010-01-26 | 2011-08-17 | 北京交通大学 | 一种外差式时间序列散斑干涉测量物体变形的方法 |
CN101832817B (zh) * | 2010-03-03 | 2011-08-24 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 并行复频域光学相干层析成像方法与系统 |
FR2957681B1 (fr) * | 2010-03-22 | 2012-05-18 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur de photons a haute energie |
CN101902009B (zh) * | 2010-06-28 | 2011-08-03 | 四川大学 | 调制被控激光光束相位的方法及其装置 |
US20120253721A1 (en) * | 2011-03-29 | 2012-10-04 | Georgia Tech Research Corporation | Determining characteristics of ultrashort pulses |
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CN102313605B (zh) * | 2011-07-15 | 2013-08-14 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 自参考光谱干涉飞秒激光脉冲的实时测量方法和装置 |
CN202350735U (zh) * | 2011-09-20 | 2012-07-25 | 浙江师范大学 | 干涉测量装置 |
WO2013191682A1 (en) * | 2012-06-19 | 2013-12-27 | Ardic Instruments Co. | Surface characterization system |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5119996B1 (ja) * | 1971-01-25 | 1976-06-22 | ||
JPS63238525A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 短光パルス測定評価方法 |
US5754292A (en) * | 1992-10-26 | 1998-05-19 | The Regents Of The University Of California | Method and apparatus for measuring the intensity and phase of an ultrashort light pulse |
WO2006018897A1 (ja) * | 2004-08-20 | 2006-02-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | レーザ位相差検出装置およびレーザ位相制御装置 |
JP2017519988A (ja) * | 2014-06-16 | 2017-07-20 | コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク・エ・オ・エネルジ・アルテルナテイブ | 光ビームの特性評価のためのデバイスおよび方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
BENJAMIN ALONSO: "FREQUENCY RESOLVED WAVEFRONT RETRIEVAL AND DYNAMICS OF DIFFRACTIVE FOCUSED ULTRASHORT PULSES", JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA - B, vol. VOL:29, NR:8,, JPN5017004867, August 2012 (2012-08-01), US, pages PAGE(S):1993 - 2000 * |
DORRER C: "CHARACTERIZATION OF THE SPECTRAL PHASE OF ULTRASHORT LIGHT PULSES", COMPTES RENDUS DE L'ACADEMIE DES SCIENCES - SERIES IV - PHYSICS-ASTROPHYSICS, vol. VOL:2, NR:10,, JPN5017004868, December 2001 (2001-12-01), pages PAGE(S):1415 - 1426 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017519988A (ja) * | 2014-06-16 | 2017-07-20 | コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク・エ・オ・エネルジ・アルテルナテイブ | 光ビームの特性評価のためのデバイスおよび方法 |
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