JP2017515166A - 多ミラー配置内の複数の調節可能ミラー要素の位置決めを制御するためのデバイス及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2.ミラー要素23の各々に関して、信号の個々の符号化又は圧縮が行われる。この符号化又は圧縮をチャネル特定の符号化/圧縮、特にMEMSチャネル特定の符号化/圧縮とも呼ぶ。この場合に、MEMSチャネルは、1つの同じMEMSミラーアレイ22のミラー要素23への複数のデータチャネルを意味すると理解しなければならない。各傾斜角軸、特に各変位自由度に関して符号化/圧縮を与えることができる。
3.複数のMEMSチャネルの測定情報及びコントローラ情報が、バンドル化様式で符号化及び/又は圧縮される。
23 変位可能ミラー要素
64 制御設備
70 監視ユニット
79 外部センサシステム
Claims (15)
- 多ミラー配置(22)の複数の変位可能ミラー要素(23)の位置決めを制御するためのデバイス(61)であって、
1.1.1.前記多ミラー配置(22)とは別に具現化され、かつ
1.1.2.少なくとも1つの第1のデータチャネル(63)を通してデータ送信方式で前記多ミラー配置(22)に接続された、
1.1.制御設備(64)と、
1.2.信号送信方式で少なくとも2つの入力(71、72)に接続され、かつ単一の共通出力(63)を有する少なくとも1つの監視ユニット(70)と、
を含み、
1.3.前記変位可能ミラー要素(23)の各々のための前記少なくとも1つの第1のデータチャネル(63)は、各場合に少なくとも1kHzの帯域幅を有する、
ことを特徴とするデバイス(61)。 - 前記データチャネル(63)は、信号送信方式でデジタル/アナログ変換器(73)に接続されることを特徴とする請求項1に記載のデバイス(61)。
- 前記ミラー要素(23)の各制御式変位自由度に関して少なくとも1kHzのサンプリング周波数を有する少なくとも1つのセンサ設備(75,76,79)を含むことを特徴とする請求項1から請求項2のいずれか1項に記載のデバイス(61)。
- 4.1.複数のミラー要素(23)を有する多ミラー配置(22)と、
4.2.請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のデバイス(61)と、
を含むことを特徴とする光学構成要素。 - アナログ回路が、前記ミラー要素(23)を起動するために与えられ、
前記アナログ回路は、位置制御に関するフィードバックなしで具現化される、
ことを特徴とする請求項4に記載の光学構成要素。 - 多ミラー配置(22)の複数のミラー要素(23)の位置決めを制御する方法であって、
アクチュエータを用いて変位可能な複数のミラー要素(23)を有する多ミラー配置(22)を与える段階と、
前記ミラー要素(23)を変位させるための前記アクチュエータを起動するための信号を発生させるための制御設備(64)を与える段階と、
前記制御設備(64)を用いて前記アクチュエータを起動するための信号を有するデータストリームを発生させる段階と、
少なくとも1つの第1のデータチャネル(63)を用いて前記データストリームを前記多ミラー配置(12)に送信する段階と、
を含み、
前記少なくとも1つの第1のデータチャネル(63)は、前記ミラー要素(23)のうちの1つの共振周波数(fres)の大きさの少なくとも2倍である帯域幅をサポートするデータ転送速度を有する、
ことを特徴とする方法。 - 各データチャネル(63)が、ミラー要素(23)当たり最大で40kbit/sの最大データフローを有することを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記ミラー要素(23)の位置決め及び/又はその変化が、少なくとも1つのセンサ設備(75,76;79)を用いて検出されることを特徴とする請求項6及び請求項7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのデータチャネル(63)は、少なくとも2つの通信チャネルを有するチャネル構造を含むことを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記制御設備(64)によって発生された前記データストリームは、符号化されることを特徴とする請求項6から請求項9のいずれか1項に記載の方法。
- 投影露光装置(1)のための照明光学ユニット(4)であって、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の少なくとも1つの光学構成要素、
を含むことを特徴とする照明光学ユニット(4)。 - 投影露光装置(1)のための照明系(2)であって、
12.1.請求項11に記載の照明光学ユニット(4)と、
12.2.放射線源(3)と、
を含むことを特徴とする照明系(2)。 - マイクロリソグラフィのための投影露光装置(1)であって、
13.1.請求項11に記載の照明光学ユニット(4)と、
13.2.投影光学ユニット(7)と、
を含むことを特徴とする投影露光装置(1)。 - 微細構造化又はナノ構造化構成要素を生成する方法であって、
感光材料からなる層が少なくとも部分的に適用された基板を与える段階と、
結像される構造を有するレチクル(5)を与える段階と、
請求項13に記載の投影露光装置(1)を与える段階と、
前記投影露光装置(1)を用いて前記レチクル(5)の少なくとも一部を前記基板の前記感光層の領域の上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項14に記載の方法に従って生成された構成要素。
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