WO2015162092A1

WO2015162092A1 - Vorrichtung und verfahren zur regelung der positionierung einer vielzahl von verstellbaren spiegel-elementen einer vielspiegel-anordnung

Info

Publication number: WO2015162092A1
Application number: PCT/EP2015/058516
Authority: WO
Inventors: Jan Horn; Markus Holz; Jörg Specht; Johannes Eisenmenger; Stefan Krone
Original assignee: Carl Zeiss Smt Gmbh
Priority date: 2014-04-25
Filing date: 2015-04-20
Publication date: 2015-10-29
Also published as: JP2017515166A; US20170038555A1; JP6698068B2; US10018803B2; DE102014207866A1

Abstract

Zur Regelung der Positionierung einer Vielzahl von verlagerbaren Spiegel-Elementen ist eine externe Steuereinrichtung (64) vorgesehen, welche über einen Datenkanal mit einer Bandbreite von mindestens 1 kHz pro geregeltem Verlagerungs-Freiheitsgrad mit der Vielspiegel-Anordnung (22) verbunden ist.

Description

Vorrichtung und Verfahren zur Regelung der Positionierung einer Vielzahl von verstellbaren Spiegel-Elementen einer Vielspiegel- Anordnung

Die vorliegende Patentanmeldung nimmt die Priorität der deutschen Patentanmeldung DE 10 2014 207 866.0 in Anspruch, deren Inhalt durch Bezugnahme hierin aufgenommen wird.

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Regelung der Positionierung einer Vielzahl von verstellbaren Spiegel-Elementen einer Vielspiegel- Anordnung. Die Erfindung betrifft außerdem ein optisches Bauelement mit einer derartigen Vorrichtung und einer Vielspiegel- Anordnung. Schließlich betrifft die Erfindung eine Beleuchtungsoptik und ein Beleuchtungssystem für eine Projektionsbelichtungsanlage mit mindestens einem derartigen Bauelement sowie eine Projektionsbelichtungsanlage mit einer entsprechenden Beleuchtungsoptik. Schließlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauelements sowie ein derartiges Bauelement.

Die Positionierung der Einzelspiegel einer Vielspiegel- Anordnung ist sehr aufwändig.

Eine Vielspiegel- Anordnung mit verstellbaren Spiegel-Elementen mit einer Vorrichtung zur Verlagerung derselben ist beispielsweise aus der WO 2013/120926 AI bekannt.

Eine der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, eine Vorrichtung zur Regelung der Positionierung einer Vielzahl von verstellbaren Spiegel-Elementen einer Vielspiegel- Anordnung zu verbessern. Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit einer von der Vielspiegel- Anordnung separat ausgebildeten Steuereinrichtung, welche über mindestens einen ersten Da- tenkanal mit einer Bandbreite von mindestens 1 kHz in datenübertragender Weise mit der

Vielspiegel- Anordnung verbunden ist, gelöst. Der Datenkanal weist insbesondere eine Bandbreite auf, welche eine Regelbandbreite von mindestens 1 kHz ermöglicht.

Unter der Bandbreite eines Datenkanals sei im Folgenden die obere Grenzfrequenz desselben verstanden. Die Bandbreite gibt insbesondere die maximale Frequenz eines Signals wieder, welches über diesen Datenkanal übertragen werden kann. Ein Datenkanal mit einer gegebenen Bandbreite ist dazu geeignet, Signale für eine Steuerung, insbesondere eine Regelung, mit dieser Bandbreite zu übertragen.

Weiterhin sei unter Regelbandbreite im Folgenden der Frequenzbereich der zu regelnden, insbe- sondere zu kompensierenden, Frequenzen, insbesondere der Resonanzfrequenzen, verstanden.

Eine weitere Eigenschaft eines Datenkanals ist seine maximale Datenrate. Der Zusammenhang zwischen der Bandbreite einer Regelung und der hierfür erforderlichen Datenrate des entsprechenden Datenkanals ergibt sich über die Abtastrate des über diesen Kanal übertragenen Signals. Die Abtastrate gibt an, wie viele Mess- und/oder Reglerstellwerte pro Zeiteinheit berechnet werden und über einen gegebenen Datenkanal transportiert werden.

Die Abtastrate muss mindestens doppelt so hoch sein wie die Bandbreite. Es kann verlangt werden, dass die Abtastrate mindestens fünfmal, insbesondere mindestens zehnmal so hoch ist wie die Regelbandbreite. Die maximale erforderliche Datenrate eines Datenkanals ergibt sich insbesondere als Produkt aus der erforderlichen Abtastrate und der Bittiefe des zu übertragenen Signals.

Bei einer vorgegebenen Bittiefe des Signals hängt die maximale Datenrate eines Datenkanals somit direkt mit der Bandbreite desselben zusammen.

Durch die hohe Bandbreite ist eine sehr schnelle Regelung der Positionierung der Spiegel- Elemente möglich. Die Bandbreite des Datenkanals, welcher auch als schneller Datenkanal bezeichnet wird, kann insbesondere mindestens 2 kHz, insbesondere mindestens 3 kHz, insbeson- dere mindestens 5 kHz, insbesondere mindestens 10 kHz betragen.

Die Spiegel-Elemente weisen allgemein mindestens einen Verlagerungs-Freiheitsgrad, insbesondere mindestens zwei, insbesondere mindestens drei Verlagerungs-Freiheitsgrade auf. Hierbei handelt es sich insbesondere um Kippfreiheitsgrade. Die Einzelspiegel sind insbesondere um mindestens eine, insbesondere mindestens zwei linear unabhängige Achsen verkippbar. Die Einzelspiegel können auch linear verlagerbar sein, insbesondere in Richtung ihrer Flächennormalen. Im Folgenden wird der Einfachheit halber ausschließlich auf die Verkippung der Einzelspiegel Bezug genommen. Dies sei jedoch nicht einschränkend zu verstehen.

Der erste Datenkanal weist insbesondere für jeden Verlagerungs-Freiheitsgrad jedes der einzel- nen Spiegel-Elemente eine Bandbreite wie vorhergehend beschrieben auf.

Die hohe Bandbreite ermöglicht es, mittels der Vorrichtung unerwünschte Bewegungen, insbesondere Schwingungen, insbesondere im Bereich der Eigenfrequenzen, insbesondere im Bereich von 100 Hz bis 5000 Hz, der Spiegel-Elemente, zu dämpfen. Ein Aspekt der Erfindung betrifft daher die Verwendung der Vorrichtung zur Dämpfung der Spiegel-Elemente.

Mit Hilfe der Vorrichtung ist eine Regelung der Positionierung der Spiegel-Elemente einer Vielspiegel- Anordnung möglich, wobei die Anzahl der Spiegel-Elemente mindestens 100, insbesondere mindestens 10000, insbesondere mindestens 30000, insbesondere mindestens 100000, insbesondere mindestens 300000, insbesondere mindestens 1000000 beträgt.

Unter einem Datenkanal sei insbesondere ein konstruktives Bauelement zur Übertragung eines Signals von der Steuereinrichtung zu der Vielspiegel- Anordnung verstanden. Ein derartiger Datenkanal kann insbesondere durch ein geeignetes Kabel gebildet werden. Prinzipiell ist auch eine drahtlose Datenübertragung möglich. Allgemein bezeichnet ein Datenkanal ein Mittel zur Ermöglichung eines Informationsflusses. Vereinfacht wird der Begriff Datenkanal auch zur Bezeichnung des Informationsflusses selbst verwendet.

Der erste Datenkanal weist pro Abtastwert insbesondere eine Bittiefe von maximal 32 Bit, insbe- sondere maximal 16 Bit, insbesondere maximal 8 Bit, insbesondere maximal 4 Bit, insbesondere maximal 2 Bit auf. Durch die geringe Bittiefe kann der Gesamtdatenfluss reduziert werden. Hierdurch wird die Komplexität der Datenübertragung reduziert. Außerdem wird hierdurch insbesondere das Gesamtvolumen der zu übertragenden Daten reduziert. Die Vorrichtung umfasst insbesondere eine Vielzahl von ersten Datenkanälen. Die Vielzahl der Datenkanäle kann insbesondere durch ein einziges oder mehrere konstruktive Bauelemente gebildet sein. Es ist insbesondere für jedes der Spiegel-Elemente mindestens ein erster Datenkanal vorgesehen. Es kann auch insbesondere für jeden Verlagerungs-Freiheitsgrad jedes der Spiegel- Elemente jeweils mindestens ein erster Datenkanal vorgesehen sein. Die Anzahl der Datenkanäle ist insbesondere mindestens so groß wie die Anzahl der Spiegel-Elemente, insbesondere mindestens doppelt so groß wie die Anzahl der Spiegel-Elemente. Die Anzahl der Datenkanäle beträgt insbesondere mindestens 1000, insbesondere mindestens 10000, insbesondere mindestens 30000, insbesondere mindestens 50000, insbesondere 100000, insbesondere mindestens 300000, insbesondere mindestens 500000.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung umfasst die Vorrichtung eine Kontroll-Einheit, in welcher aus den Signalen von mindestens zwei Datenkanälen ein gemeinsames Ausgangssignal ermittelt wird.

Es können auch mehrere derartige Kontroll-Einheiten vorgesehen sein. Bei der Kontroll-Einheit kann es sich insbesondere um ein digitales Bauelement handeln. Sie ist ausgangsseitig mit dem DAC der Vielspiegel- Anordnung verbunden.

Mittels der Kontroll-Einheit können insbesondere die Signale des ersten und zweiten Datenkanals eines Spiegel-Elements bzw. eines Verlagerungs-Freiheitsgrads desselben zu einem gemein- samen Signal zusammengefasst werden.

Mittels der Kontroll-Einheit können die Signale der Datenkanäle codiert und/oder komprimiert werden. Details der Codierung und/oder Komprimierung werden nachfolgend noch näher beschrieben.

Gemäß einem Aspekt der Erfindung ist der Datenkanal mit einem Digital- Analog- Wandler (Digital to Analog Converter, DAC) in signalübertragender Weise verbunden. Der DAC kann insbesondere Bestandteil einer anwendungsspezifischen integrierten Schaltung (Application Specific Integrated Circuit, ASIC) sein. Das ASIC wiederum kann Bestandteil der Vielspiegel- Anordnung (Multi Mirror Array, MMA) sein. Für Details sei auf die WO 2013/120926 AI verwiesen. Der Datenkanal kann insbesondere Bestandteil einer digitalen Regelungsschleife sein.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung umfasst die Vorrichtung mindestens einen zweiten Datenkanal zur Signalübertragung zur Vielspiegel- Anordnung, welcher eine Bandbreite von höchstens 500 Hz, insbesondere höchstens 200 Hz, insbesondere höchstens 50 Hz, insbesondere höchstens 10 Hz, insbesondere höchstens 1 Hz aufweist. Die Bandbreite steht hierbei wiederum in direktem Zusammenhang mit der Abtastfrequenz. Der zweite Datenkanal wird auch als langsamer Datenkanal bezeichnet. Der mindestens eine zweite Datenkanal weist insbesondere eine Bittiefe von mindestens 10 Bit, insbesondere mindestens 16 Bit, insbesondere mindestens 32 Bit, insbesondere mindestens 64 Bit, insbesondere mindestens 128 Bit, insbesondere mindestens 256 Bit, insbesondere mindestens 512 Bit, insbesondere mindestens 1024 Bit auf. Es kann insbesondere für jedes der Spiegel-Elemente, insbesondere jeden Verlagerungs-Freiheitsgrad jedes der Spiegel-Elemente ein zweiter Datenkanal vorgesehen sein. Die Bandbreiten des ersten und zweiten Datenkanals eines gegebenen Spiegel-Elements bzw. dessen Verlagerungs-Freiheitsgrade haben jeweils ein Verhältnis von mindestens 2 : 1, insbesondere mindestens 3 : 1, insbesondere mindestens 5 : 1, insbesondere mindestens 10 : 1, insbesondere mindestens 30 : 1, insbesondere mindestens 50 : 1, insbesondere mindestens 100 : 1. Die entsprechenden Bittiefen haben jeweils ein Verhältnis von höchstens 1 : 2, insbesondere höchs- tens 1 : 3, insbesondere höchstens 1 : 5, insbesondere höchstens 1 : 10, insbesondere höchstens 1 : 30, insbesondere höchstens 1 : 50, insbesondere höchstens 1 : 100.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung umfasst die Vorrichtung mindestens eine Sensor- Einrichtung, insbesondere mindestens eine externe Sensor-Einrichtung. Die Sensor-Einrichtung ermöglicht insbesondere eine Erfassung der Verlagerungspositionen der Spiegel-Elemente der Vielspiegel- Anordnung relativ zu einem Bezugspunkt außerhalb der Vielspiegel- Anordnung. Sie ermöglicht insbesondere eine Erfassung der Verlagerungs-Positionen relativ zum Gehäuse der Projektionsbelichtungsanlage. Gemäß einem Aspekt der Erfindung kann die Vorrichtung ausschließlich derartige externe Sensoren aufweisen. Sie kann insbesondere eine Vielzahl derartiger Sensoren aufweisen. Durch die Erfassung der Verlagerungs-Positionen relativ zu einem externen Bezugspunkt wird die Regelung der Verlagerungs-Positionen der Spiegel-Elemente und damit die optische Performance der Vielspiegel- Anordnung wesentlich verbessert. Sie ermöglicht au- ßerdem neuartige Funktionen. Mit der Regelung der Spiegel der Vielspiegel- Anordnung über eine äußere Steuereinrichtung sind insbesondere neue optische Funktionen denkbar, bei denen durch gezielte aber flexible Beeinflussung der EUV-Strahlung mit Hilfe der Stellwinkel der Spiegel der Vielspiegel- Anordnung die Parameter der exakten Abbildung einer Lithografiemas- ke, insbesondere einer EUV-Lithografiemaske, auf einen Wafer optimiert werden können.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung umfasst die Vorrichtung mindestens eine Sensor- Einrichtung mit einer Bandbreite von mindestens 1 kHz. Die Bandbreite, insbesondere die Abtast-Frequenz der Sensor-Einrichtung, kann pro geregelter Achse insbesondere mindestens 2 kHz, insbesondere mindestens 3 kHz, insbesondere mindestens 5 kHz, insbesondere mindestens 10 kHz betragen. Die Sensor-Einrichtung kann insbesondere Bestandteil einer Regelungsschleife sein, welche als schnell Regelungsschleife bezeichnet wird.

Die Vorrichtung umfasst insbesondere eine Vielzahl derartiger Sensor-Einrichtungen. Sie kann insbesondere mindestens 10, insbesondere mindestens 20, insbesondere mindestens 30, insbesondere mindestens 50 Sensor-Einrichtungen aufweisen. Als Sensor-Einrichtung kann insbesondere jeweils eine Kamera, insbesondere mit einem CMOS-Chip dienen.

Die Sensor-Einrichtung kann eine Bittiefe von höchstens 1024 Bit, insbesondere höchstens 512 Bit, insbesondere höchstens 256 Bit, insbesondere höchstens 128 Bit, insbesondere höchstens 64 Bit aufweisen. Sie kann auch ein größere Bittiefe aufweisen.

Mittels der Sensor-Einrichtung kann jeweils die Verlagerungs-Position eines oder mehrerer der Spiegel-Elemente oder deren zeitliche Ableitung erfasst werden.

Wie bei den Datenkanälen, welche die Steuereinrichtung mit der Vielspiegel- Anordnung verbinden, kann die Sensor-Einrichtung auch schnellere Sensoren und langsamere, jedoch präzisere Sensoren umfassen. Für die Bandbreiten und Bittiefen der schnelleren und langsameren Sensor- Einrichtungen sei auf die der ersten und zweiten Datenkanäle verwiesen.

Das Sensor- System, das heißt die Gesamtheit der Sensor-Einrichtungen, ermöglicht sowohl eine sehr präzise Erfassung der Verlagerungs-Positionen der einzelnen Spiegel-Elemente und/oder deren zeitlicher Ableitung, als auch eine sehr schnelle Erfassung dieser Größen. Die Geschwindigkeit der Sensor-Einrichtung wird hierbei durch die Bandbreite, d. h. die Abtast-Frequenz der schnellen Sensoren, begrenzt. Die Präzision wird hierbei durch die Bittiefe, insbesondere der langsameren Sensoren begrenzt.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein optisches Bauelement zu verbessern. Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Bauelement umfassend eine Vielspiegelanordnung und eine Vorrichtung gemäß der vorhergehenden Beschreibung. Durch die vorhergehend beschriebene Vorrichtung wird die Positionierung der Spiegelelemente verbessert. Die weiteren Vorteile ergeben sich aus den bereits für die Vorrichtung beschriebenen.

Bei der Vielspiegel- Anordnung handelt es sich insbesondere um ein mikroelektromechanisches System (MEMS). Für allgemeine Details desselben sei wiederum auf die WO 2013/120926 AI verwiesen. Es kann sich insbesondere um eine Vielspiegel- Anordnung zur Reflexion von EUV- Strahlung, insbesondere von Strahlung in einem Wellenlängenbereich von 5 nm bis 30 nm, insbesondere von weniger als 14 nm, handeln.

Die Anzahl der Spiegel-Elemente der Vielspiegel- Anordnung beträgt insbesondere mindestens 1000, insbesondere mindestens 10000, insbesondere mindestens 30000, insbesondere mindestens 50000, insbesondere mindestens 100000, insbesondere mindestens 200000, insbesondere mindestens 300000, insbesondere mindestens 1000000.

Gemäß einem Aspekt der Erfindung weist die Vielspiegel- Anordnung mechanische Mittel zur Dämpfung von Anregungen der Spiegel-Elemente im Bereich mindestens einer ihrer Resonanzfrequenzen auf. Die Vielspiegel- Anordnung weist insbesondere mechanische Mittel zur Dämpfung von Anregungen mit Frequenzen oberhalb 100 Hz, insbesondere oberhalb 200 Hz, insbesondere oberhalb 400 Hz, insbesondere oberhalb 800 Hz auf. Eine derartige Dämpfung kann insbesondere mit Hilfe einer geeigneten Aufhängung und/oder Lagerung der Spiegel-Elemente erreicht werden. Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung sind zur Aktuierung der Spiegel-Elemente analoge Schaltkreise vorgesehen, welche rückkopplungsfrei ausgebildet sind. Die Schaltkreise sind insbesondere als anwendungsspezifische integrierte Schaltkreise (Application Specific Integrated Circuit, ASIC) ausgebildet.

Das optische Bauelement kann insbesondere ausschließlich digitale Regelungsschleifen aufweisen. Hierdurch wird insbesondere die Ausbildung der ASICs vereinfacht. Hierdurch wird das optische Bauelement insgesamt einfacher, insbesondere einfacher herzustellen und einfacher zu testen. Weitere Vorteile werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die Ausführungsbeispiele dargestellt.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren zur Regelung der Positionierung einer Vielzahl von Spiegel-Elementen einer Vielspiegel- Anordnung zu verbessern. Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit folgenden Schritten gelöst:

Bereitstellen einer Vielspiegel- Anordnung mit einer Vielzahl von mittels Aktuatoren verlagerbaren Spiegel-Elementen,

Bereitstellen einer Steuereinrichtung zur Erzeugung von Signalen zur Betätigung der Aktuatoren zur Verlagerung der Spiegel-Elemente,

- Erzeugung eines Datenstroms mit Signalen zur Aktivierung der Aktuatoren mittels der Steuereinrichtung,

Übertragung des Datenstroms mittels mindestens eines ersten Datenkanals (63) zur

Vielspiegel- Anordnung. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass der mindestens eine erste Datenkanal eine Bandbreite aufweist, welche mindestens doppelt so groß ist wie eine Resonanzfrequenz eines der Spiegel- Elemente. Die Bandbreite, insbesondere die Abtast-Frequenz, des ersten Datenkanals ist insbesondere mindestens doppelt so groß wie die kleinste Resonanzfrequenz der Spiegel-Elemente. Für weitere Details sei auf die vorhergehende Beschreibung der Vorrichtung zur Regelung der Positionierung der Spiegel-Elemente, insbesondere auf die Merkmale und Eigenschaften des ersten Datenkanals, verwiesen. Die Vorteile des Verfahrens ergeben sich aus den vorhergehend beschriebenen.

Bei der Steuereinrichtung handelt es sich insbesondere um eine externe Steuereinrichtung, das heißt sie ist nicht Bestandteil der Vielspiegel- Anordnung, insbesondere nicht in diese integriert, sondern separat von der Vielspiegel- Anordnung ausgebildet.

Die Steuereinrichtung ist insbesondere digital ausgebildet. Sie weist insbesondere eine Vielzahl von Datenkanälen auf. Die Signale von mindestens zwei Datenkanälen können zu einem gemeinsamen Ausgangssignal zusammengefasst werden. Für weitere Details sei auf die vorherge- hende Beschreibung sowie auf die Beschreibung der Ausführungsbeispiele verwiesen.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist jeder Datenkanal einen maximalen Daten- fluss von höchstens 50 kbit/s pro geregelter Achse auf. Der maximale Datenfluss pro geregelter Achse jedes Datenkanals beträgt insbesondere höchstens 30 kbit/s, insbesondere höchstens 20 kbit/s, insbesondere höchstens 10 kbit/s, insbesondere höchstens 7 kbit/s.

Hierdurch wird insbesondere das pro Zeiteinheit von der Steuereinrichtung an die Vielspiegel- Anordnung zu übertragende Gesamtdatenvolumen begrenzt. Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung werden die Positionierungen der Spiegel-Elemente und/oder Änderungen derselben mittels mindestens einer Sensor-Einrichtung, insbesondere mittels mindestens einer externen Sensor-Einrichtung erfasst. Unter einer externen Sensor- Einrichtung sei hierbei insbesondere verstanden, dass die Messung der Verlagerungs-Positionen der Spiegel-Elemente und/oder der Änderungen derselben relativ zu einem Bezugspunkt außer- halb der Vielspiegel- Anordnung, insbesondere relativ zu einem Bezugspunkt an einem Rahmen oder einem Gehäuse oder einem anderen ortsfesten Bestandteil der Projektionsbelichtungsanla- ge, erfolgt. Die Sensor-Einrichtung ist insbesondere separat von der Vielspiegel- Anordnung ausgebildet. Die Vielspiegel- Anordnung kann auch integrierte Sensoren, insbesondere auf den ASICs aufweisen. Die externe Sensor-Einrichtung steht in datenübertragender Verbindung mit der Steuereinrichtung. Die externe Sensor-Einrichtung ist insbesondere Bestandteil mindestens einer digitalen Regelungsschleife. Wie vorhergehend bereits beschrieben, können auch mehrere Sensor-Einrichtungen vorgesehen sein, welche insbesondere Bestandteile separater Regelungsschleifen, insbesondere Regelungsschleifen mit unterschiedlichen Abtast-Frequenzen, sein.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist der Datenkanal eine Kanalstruktur mit min- destens zwei Kommunikationskanälen auf. Der Datenkanal weist insbesondere eine logische Unterteilung in mindestens zwei, insbesondere in eine Vielzahl von Kommunikationskanälen auf. Die Anzahl der Kommunikationskanäle kann insbesondere gerade der Anzahl der Spiegel- Elemente der Vielspiegel- Anordnung oder der Anzahl der Spiegel-Elemente multipliziert mit der Anzahl ihrer Freiheitsgrade betragen.

Außerdem ist es möglich, den mindestens einen ersten, schnellen Datenkanal und den mindestens einen zweiten, langsameren Datenkanal zu einem einzigen Datenkanal zusammenzufassen. Es ist insbesondere möglich, mehrere Kommunikationskanäle, das heißt den Informationsfluss von der Steuereinrichtung zu den Spiegel-Elementen, in gemeinsamen Datenkanälen, gebündelt zu übertragen. Zur logischen Unterteilung der Datenkanäle ist insbesondere ein Multiplex-

Verfahren vorgesehen. Vorteilhafte Beispiele für die Trennung der einzelnen Kommunikationskanäle sind insbesondere eine zeitgeschlitzte Trennung, eine frequenzgeschlitzte Trennung, ein Codemultiplexverfahren, insbesondere ein sogenanntes Code Division Multiple Access

(CDMA)-Verfahren oder ein Raummultiplexverfahren (englisch: Space Divison Multiple Ac- cess, SPMA).

Die Begriffe Multip lexing und Multiple Access werden im Folgenden austauschbar verwendet, auch wenn die Datenkanäle eingangs- und ausgangsseitig jeweils mit einem oder mehreren Sendern bzw. Empfängern verbunden sind.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist der von der Steuereinrichtung erzeugte Datenstrom codiert. Bei der Codierung kann es sich insbesondere auch um eine Komprimierung des Datenstroms handeln. Es kann insbesondere vorgesehen sein, die Signale für jedes der Spiegel- Elemente und/oder jeden Freiheitsgrad derselben individuell zu codieren oder zu komprimieren.

Bei der Codierung kann es sich insbesondere um eine oder mehrere der folgenden Varianten handeln: Beschränkung des Dynamikbereichs, insbesondere der Bittiefe, differenzielle Übertragung, Übertragung der Steilheit der Signalform (Slew Rate), nicht lineare Quantisierung, Vektorquantisierung, insbesondere in einer Kippebene, Vektorcodierung, Beschränkung der Frequenzbereiche, Beschränkung des Informationstransports auf Signalinhalte bezüglich anderer Basisfunktionen als bei der Fourier-Zerlegung oder Codierung nach einem Entropieverfahren. Für Details der unterschiedlichen Codiervarianten sei auf die Beschreibung der Ausführungsbeispiele verwiesen.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist vorgesehen, die Signale für mehrere Spiegel- Elemente bzw. deren Freiheitsgrade gebündelt zu codieren und/oder komprimieren. Hierbei wer- den insbesondere Korrelationen zwischen den einzelnen Spiegel-Elementen bzw. deren Freiheitsgraden berücksichtigt. Hierdurch kann die pro Zeiteinheit zu übermittelnde Datenmenge erheblich reduziert werden.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist vorgesehen, die Signale für mehrere Spiegel- Elemente bzw. deren Freiheitsgrade modellbasiert zu codieren und/oder zu komprimieren. Das heißt, dass in der Steuereinheit modellbasiert eine Prädiktion für einen Abtastwert erzeugt wird. Die Steuereinheit kennt den aktuellen Positionsmesswert über die Sensoreinrichtung und kann daher den Prädiktionsfehler des Modells berechnen, und diesen Prädiktionsfehler über einen Datenkanal zur Vielspiegel- Anordnung übertragen. Die Decodiereinrichtung bzw. Dekomprimie- reinrichtung auf der Vielspiegel- Anordnung verwendet das gleiche Modell für die Regelstrecke, beispielsweise Mikrospiegel, und kann mit dem Prädiktionsfehler und einer Modellprognose den aktuellen Sensorwert rekonstruieren. Die Reduktion der Datenrate zwischen Steuereinrichtung und Viel- Spiegelanordnung wird erreicht, indem der Prädiktionsfehler bei hoher Abtastrate nur mit wenigen Bits, das heißt mit geringer Bittiefe, übertragen wird. Gemäß einer besonders vorteilhaften Variante werden bei der Codierung und/oder Komprimierung auch vergangene Werte berücksichtigt. Die Codierung/Komprimierung wird insbesondere auf die zeitliche Dimension ausgedehnt. Dies wird auch als„3D-Codierung" bezeichnet. Bei der gebündelten Codierung kann es insbesondere vorteilhaft sein, die Kanäle umzusortieren. Hierdurch kann die Datenreduktion weiter verbessert werden. Die Umsortierung kann insbesondere derart vorgenommen werden, dass Korrelationen vergrößert, insbesondere maximiert, werden. Sie kann insbesondere zur Maximierung der Kompressionseffizienz durchgeführt werden. Möglich ist beispielsweise eine Clusterung, das heißt eine Zusammenfassung, der Signale zu Spiegeln mit ähnlichen Kippwinkel-Sollwerten, Kippwinkel-Beträgen oder Kippwinkel- Richtungen.

Des Weiteren können bei der Codierung Vorwissen und/oder Umgebungsbedingungen berücksichtigt werden. Hierbei können insbesondere weitere Messsignale berücksichtigt werden. Wei- tere Umgebungsbedingungen oder weiteres Vorwissen, welches bei der Codierung verwendet werden kann, betrifft eine Auswahl aus folgender Liste: Kippwinkel-Sollwerte, Temperatur, Temperaturverlauf, EUV- Anregung, EUV-Quellen-Trigger, Waferstage-Bewegungen, Messdaten von Dosis-Sensoren und Messdaten von globalen Beschleunigungssensoren. Weitere Aufgaben der Erfindung bestehen darin, eine Beleuchtungsoptik und ein Beleuchtungssystem für eine Projektionsbelichtungsanlage sowie eine Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie zu verbessern.

Diese Aufgaben werden durch ein optisches Bauelement gemäß der vorhergehenden Beschrei- bung gelöst. Die Vorteile ergeben sich aus den bereits beschriebenen.

Weitere Aufgaben der Erfindung bestehen darin, ein Verfahren zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauelements und ein verfahrensgemäß hergestelltes Bauelement zu verbessern.

Diese Aufgaben werden durch die Bereitstellung einer entsprechenden Projektionsbelichtungsanlage gelöst. Für die Vorteile sei wiederum auf die vorhergehende Beschreibung verwiesen. Weitere Merkmale, Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnungen. Es zeigen: eine schematische Darstellung einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einem Beleuchtungssystem und einer Projektionsoptik im Meridionalschnitt, eine schematische Darstellung zweier nebeneinander liegender Spiegel- Elemente einer Vielspiegel- Anordnung der Projektionsbelichtungsanlage gemäß Fig. 1, weitere schematische Querschnitte durch Ausführungsformen von optischen Bauelementen mit einer Vielspiegel- Anordnung, eine schematische Darstellung der Regelung der Positionierung von Spiegel-Elementen einer Vielspiegel- Anordnung, eine Darstellung gemäß Fig. 5 einer Regelung mit zwei Monitoring- Systemen, eine weitere schematische Darstellung einer Regelung mit separaten Kommunikations-Kanälen, eine weitere Darstellung einer Regelung mit komprimierter Datenübertragung,

Fig. 9 und 10 schematische Darstellungen einer nicht linearen Quantisierung zur Datenreduktion,

Fig. 11 eine schematische Darstellung zur Verdeutlichung einer differenziellen

Codierung zur Datenreduktion, Fig. 12 eine schematische Darstellung einer Vektorcodierung zur Datenreduktion,

Fig. 13 eine schematische Darstellung einer Regelung mit gebündelter Codierung und Kompression,

Fig. 14 eine schematische Darstellung der Datenreduktion bei korrelierten Signalen, Fig. 15 eine schematische Darstellung einer Datenkomprimierung unter Anwendung einer Umsortierung der Signalbestandteile, und

Fig. 16 schematisch den Ablauf einer 3D-Codierung. Im Folgenden wird zunächst der prinzipielle Aufbau einer Projektionsbehchtungsanlage 1 anhand der Figuren beschrieben.

Fig. 1 zeigt schematisch in einem Meridionalschnitt eine Projektionsbehchtungsanlage 1 für die Mikrolithografie. Ein Beleuchtungssystem 2 der Projektionsbehchtungsanlage 1 hat neben einer Strahlungsquelle 3 eine Beleuchtungsoptik 4 zur Belichtung eines Objektfeldes 5 in einer Objektebene 6. Das Objektfeld 5 kann rechteckig oder bogenförmig mit einem x/y- Aspektverhältnis von beispielsweise 13/1 gestaltet sein. Belichtet wird hierbei ein im Objektfeld 5 angeordnetes und in der Fig. 1 nicht dargestelltes reflektierendes Retikel, das eine mit der Projektionsbehchtungsanlage 1 zur Herstellung mikro- beziehungsweise nanostrukturierter Halbleiter- Bauelemente zu projizierende Struktur trägt. Eine Projektionsoptik 7 dient zur Abbildung des

Objektfeldes 5 in ein Bildfeld 8 in einer Bildebene 9. Abgebildet wird die Struktur auf dem Retikel auf eine lichtempfindliche Schicht eines im Bereich des Bildfeldes 8 in der Bildebene 9 angeordneten Wafers, der in der Zeichnung nicht dargestellt ist. Das Retikel, das von einem nicht dargestellten Retikelhalter gehalten ist, und der Wafer, der von einem nicht dargestellten Waferhalter gehalten ist, werden beim Betrieb der Projektionsbeiich- tungsanlage 1 synchron in der y-Richtung gescannt. Abhängig vom Abbildungsmaßstab der Pro- jektionsoptik 7 kann auch ein gegenläufiges Scannen des Retikels relativ zum Wafer stattfinden.

Mit Hilfe der Projektionsbelichtungsanlage 1 wird wenigstens ein Teil des Retikels auf einen Bereich einer lichtempfindlichen Schicht auf dem Wafer zur lithographischen Herstellung eines mikro- beziehungsweise nanostrukturierten Bauelements, insbesondere eines Halbleiterbauelements, zum Beispiel eines Mikrochips abgebildet. Je nach Ausführung der Projektionsbelichtungsanlage 1 als Scanner oder als Stepper werden das Retikel und der Wafer zeitlich synchronisiert in der y-Richtung kontinuierlich im Scannerbetrieb oder schrittweise im Stepperbetrieb ver- fahren.

Bei der Strahlungsquelle 3 handelt es sich um eine EUV-Strahlungsquelle mit einer emittierten Nutzstrahlung im Bereich zwischen 5 nm und 30 nm. Es kann sich dabei um eine Plasmaquelle, beispielsweise um eine GDPP-Quelle (Plasmaerzeugung durch Gasentladung, Gas Discharge Produced Plasma), oder um eine LPP-Quelle (Plasmaerzeugung durch Laser, Laser Produced Plasma) handeln. Auch andere EUV- Strahlungsquellen, beispielsweise solche, die auf einem Synchrotron oder auf einem Free Electron Laser (Freie Elektronenlaser, FEL) basieren, sind möglich. EUV-Strahlung 10, die von der Strahlungsquelle 3 ausgeht, wird von einem Kollektor 11 gebündelt. Ein entsprechender Kollektor ist beispielsweise aus der EP 1 225 481 A bekannt. Nach dem Kollektor 11 propagiert die EUV-Strahlung 10 durch eine Zwischenfokusebene 12, bevor sie auf einen Feldfacettenspiegel 13 mit einer Vielzahl von Feldfacetten 13a trifft. Der Feldfacettenspiegel 13 ist in einer Ebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet, die zur Objektebene 6 optisch kon- jugiert ist.

Die EUV-Strahlung 10 wird nachfolgend auch als Nutzstrahlung, Beleuchtungslicht oder als Abbildungslicht bezeichnet. Nach dem Feldfacettenspiegel 13 wird die EUV-Strahlung 10 von einem PupiUenfacettenspiegel 14 mit einer Vielzahl von Pupillenfacetten 14a reflektiert. Der PupiUenfacettenspiegel 14 liegt entweder in der Eintrittspupillenebene der Beleuchtungsoptik 7 oder in einer hierzu optisch kon- jugierten Ebene. Der Feldfacettenspiegel 13 und der Pupillenfacettenspiegel 14 sind aus einer Vielzahl von Einzelspiegeln aufgebaut, die nachfolgend noch näher beschrieben werden. Dabei kann die Unterteilung des Feldfacettenspiegels 13 in Einzelspiegel derart sein, dass jede der Feldfacetten 13a, die für sich das gesamte Objektfeld 5 ausleuchten, durch genau einen der Ein- zelspiegel repräsentiert wird. Alternativ ist es möglich, zumindest einige oder alle der Feldfacetten 13a durch eine Mehrzahl derartiger Einzelspiegel aufzubauen. Entsprechendes gilt für die Ausgestaltung der den Feldfacetten 13a jeweils zugeordneten Pupillenfacetten 14a des PupiUenfacettenspiegels 14, die jeweils durch einen einzigen Einzelspiegel oder durch eine Mehrzahl derartiger Einzelspiegel gebildet sein können.

Die EUV-Strahlung 10 trifft auf die beiden Facettenspiegel 13, 14 unter einem Einfallswinkel, gemessen normal zur Spiegelfläche, auf, der kleiner oder gleich 25° ist. Die beiden Facettenspiegel 13, 14 werden also im Bereich eines normal incidence-Betriebs mit der EUV-Strahlung 10 beaufschlagt. Auch eine Beaufschlagung unter streifendem Einfall (grazing incidence) ist mög- lieh. Der Pupillenfacettenspiegel 14 ist in einer Ebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet, die eine Pupillenebene der Projektionsoptik 7 darstellt beziehungsweise zu einer Pupillenebene der Projektionsoptik 7 optisch konjugiert ist. Mithilfe des PupiUenfacettenspiegels 14 und einer abbildenden optischen Baugruppe in Form einer Übertragungsoptik 15 mit in der Reihenfolge des Strahlengangs für die EUV-Strahlung 10 bezeichneten Spiegeln 16, 17 und 18 werden die Feld- facetten des Feldfacettenspiegels 13 einander überlagernd in das Objektfeld 5 abgebildet. Der letzte Spiegel 18 der Übertragungsoptik 15 ist ein Spiegel für streifenden Einfall („Grazing incidence Spiegel"). Die Übertragungsoptik 15 wird zusammen mit dem Pupillenfacettenspiegel 14 auch als Folgeoptik zur Überführung der EUV-Strahlung 10 vom Feldfacettenspiegel 13 hin zum Objektfeld 5 bezeichnet. Das Beleuchtungslicht 10 wird von der Strahlungsquelle 3 hin zum Ob- jektfeld 5 über eine Mehrzahl von Ausleuchtungskanälen geführt. Jedem dieser Ausleuchtungs- kanäle ist eine Feldfacette 13a des Feldfacettenspiegels 13 und eine dieser nachgeordnete Pupillenfacette 14a des PupiUenfacettenspiegels 14 zugeordnet. Die Einzelspiegel des Feldfacettenspiegels 13 und des PupiUenfacettenspiegels 14 können aktuatorisch verkippbar sein, sodass ein Wechsel der Zuordnung der Pupillenfacetten 14a zu den Feldfacetten 13a und entsprechend eine geänderte Konfiguration der Ausleuchtungskanäle erreicht werden kann. Es resultieren unterschiedliche Beleuchtungssettings, die sich in der Verteilung der Beleuchtungswinkel des Beleuchtungslichts 10 über das Objektfeld 5 unterscheiden. Zur Erleichterung der Erläuterung von Lagebeziehungen wird nachfolgend unter anderem ein globales kartesisches xyz-Koordinatensystem verwendet. Die x- Achse verläuft in der Fig. 1 senkrecht zur Zeichenebene auf den Betrachter zu. Die y- Achse verläuft in der Fig. 1 nach rechts. Die z- Achse verläuft in der Fig. 1 nach oben.

Der Feldfacettenspiegel 13 ist als Multi- beziehungsweise Mikrospiegel-Array (MMA) ausgebildet. Das Multi- beziehungsweise Mikrospiegel-Array (MMA) wird im Folgenden auch lediglich als Spiegel- Array oder Vielspiegel- Anordnung 22 bezeichnet. Der Feldfacettenspiegel 13 ist als mikroelektromechamsches System (MEMS) ausgebildet. Er weist eine Vielzahl von matrixartig zeilen- und spaltenweise in einem Array angeordneten Einzelspiegeln auf. Die Einzelspiegel werden im Folgenden auch als Spiegel-Elemente 23 bezeichnet. Die Spiegel-Elemente 23 sind aktuatorisch verkippbar ausgelegt, wie nachfolgend noch erläutert wird. Insgesamt weist der Feldfacettenspiegel 13 etwa 100000 der Spiegel-Elemente 23 auf. Je nach Größe der Spiegel- Elemente 23 kann der Feldfacettenspiegel 13 auch beispielsweise 1000, 5000, 7000 oder auch mehrere hunderttausend, insbesondere mehr als 200000, insbesondere mehr als 300000, insbesondere mehr als 500000 Spiegel-Elemente 23 aufweisen.

Vor dem Feldfacettenspiegel 13 kann ein Spektralfilter angeordnet sein, der die Nutzstrahlung 10 von anderen, nicht für die Projektionsbelichtung nutzbaren Wellenlängenkomponenten der Emission der Strahlungsquelle 3 trennt. Der Spektralfilter ist nicht dargestellt.

Der Feldfacettenspiegel 13 wird mit Nutzstrahlung 10 mit einer Leistung von 840 W und einer Leistungsdichte von 6,5 kW/m2 beaufschlagt. Die Nutzstrahlung 10 kann auch eine andere Leis- tung und/oder Leistungsdichte aufweisen.

Die Spiegel-Elemente 23 sind in einem Substrat 30 angeordnet. Dieses ist über einen Wärmeleitungsabschnitt 31 mit einem Spiegelkörper 32 mechanisch verbunden. Teil des Wärmeleitungsabschnitts 31 ist ein Gelenkkörper 33, der eine Verkippung des Spiegelkörpers 32 relativ zum Substrat 30 zulässt. Der Gelenkkörper 33 kann als Festkörpergelenk ausgebildet sein, das eine Verkippung des Spiegelkörpers 32 um definierte Kipp-Freiheitsgrade, beispielsweise um eine oder um zwei, insbesondere senkrecht zueinander angeordnete, Kippachsen zulässt. Der Gelenk- körper 33 hat einen äußeren Haltering 34, der am Substrat 30 festgelegt ist. Weiterhin hat der Gelenkkörper 33 einen gelenkig mit dem äußeren Haltering 34 verbundenen inneren Haltekörper 35. Dieser ist zentral unter einer Reflexionsfläche 36 des Spiegel-Elements 23 angeordnet. Zwischen dem zentralen Haltekörper 35 und der Reflexionsfläche 36 ist ein Abstandshalter 37 ange- ordnet.

Auf der dem Abstandshalter 37 gegenüberliegenden Seite des Haltekörpers 35 ist an diesem ein Aktuatorstift 38 angeordnet. Der Aktuatorstift 38 kann einen kleineren Außendurchmesser als der Abstandshalter 37 aufweisen. Der Aktuatorstift 38 kann auch denselben oder einen größeren Durchmesser aufweisen als der Abstandshalter 37.

Das Substrat 30 bildet eine den Aktuatorstift 38 umgebende Hülse. In der Hülse sind jeweils insgesamt drei Elektroden 54 integriert, die in Umfangsrichtung jeweils etwa knapp 120° überstreckend gegeneinander elektrisch isoliert angeordnet sind. Die Elektroden 54 stellen Gegen- elektroden zum bei dieser Ausführungsform als Elektrodenstift ausgebildeten Aktuatorstift 38 dar. Der Aktuatorstift 38 kann hierbei insbesondere als Hohlzylinder ausgebildet sein. Prinzipiell ist es auch möglich, eine andere Anzahl an Elektroden 54 je Aktuatorstift 38 vorzusehen. Es können insbesondere vier oder mehr Elektroden 54 je Aktuatorstift 38 vorgesehen sein. Durch Erzeugen einer Potentialdifferenz zwischen einer oder mehrerer der Elektroden 54 und dem Ak- tuatorstift 38 lässt sich eine elektrostatische Kraft auf den Aktuatorstift 38 erzeugen, welche, wie in der rechten Hälfte der Fig. 2 exemplarisch dargestellt, zu einer Auslenkung des Spiegel- Elements 23 führen kann.

Für weitere Details insbesondere der Anordnung der Einzelspiegel 23 im Substrat 30 und deren Verschwenkbarkeit mittels der Aktuatoren sowie die Ausbildung der Gelenkkörper und Wärmeleitungsabschnitte 31 sei auf die WO 2010/049 076 A2 verwiesen.

Das Spiegel- Array 22 mit den Spiegel-Elementen 23 und dem Substrat 30 weist eine sich senkrecht zu einer Flächennormalen 41 erstreckende Gesamtfläche auf. Es umfasst eine Vielzahl der Spiegel-Elemente 23, welche jeweils eine Reflexionsfläche 36 und zwei Verlagerungs-

Freiheitsgrade aufweisen. Allgemein weisen die Spiegel-Elemente 23 mindestens einen Verlage- rungs-Freiheitsgrad auf. Sie können auch drei oder mehr Verlagerungs-Freiheitsgrade aufweisen. Sie weisen insbesondere mindestens einen, vorzugsweise mindestens zwei Kippfreiheitsgrade auf. Sie können auch einen Translationsfreiheitsgrad aufweisen. Die Reflexionsfläche 36 kann eine Ausdehnung von 0,5 mm x 0,5 mm, 1 mm x 1 mm, 4 mm x 4 mm, 8 mm x 8 mm oder 10 mm x 10 mm haben. Sie kann auch von der Quadratform abweichen. Andere Abmessungen der Reflexionsfläche 36 sind ebenfalls möglich.

Die Reflexionsfläche 36 der Spiegel-Elemente 23 ist eben ausgebildet. Sie kann prinzipiell auch konkav oder konvex oder als Freiformfläche ausgebildet sein. Die Reflexionsfläche 36 der Spiegel-Elemente 23 ist insbesondere mit einer (Multilayer-

)Beschichtung zur Optimierung ihrer Reflektivität bei der Wellenlänge der Nutzstrahlung 10 versehen. Die Multilayer-Beschichtung ermöglicht insbesondere die Reflexion von Nutzstrahlung 10 mit einer Wellenlänge im EUV-Bereich, insbesondere im Bereich von 5 nm bis 30 nm. Die Spiegel-Elemente 23 sind von dem Substrat 30 gehalten. Das Substrat 30 weist einen sich in Richtung senkrecht zur Flächennormalen 41 erstreckenden Randbereich 42 auf. Der Randbereich 42 ist insbesondere um die Spiegel-Elemente 23 umlaufend angeordnet. Er weist in Richtung senkrecht zur Flächennormalen 41 eine Breite b, insbesondere eine maximale Breite b, von höchstens 5 mm, insbesondere höchstens 3 mm, insbesondere höchstens 1 mm, insbesondere höchstens 0,5 mm, insbesondere höchstens 0,3 mm, insbesondere höchstens 0,2 mm auf. Die Gesamtfläche des Spiegel- Arrays 22 steht somit in Richtung senkrecht zur Flächennormalen 41 um höchsten 5 mm, insbesondere höchstens 3 mm, insbesondere höchstens 1 mm, insbesondere höchstens 0,5 mm, insbesondere höchstens 0,3 mm, insbesondere höchstens 0,2 mm über die Gesamt-Reflexionsfläche, das heißt über deren äußeren Rand, über.

Das optische Bauelement 40 umfasst neben dem Spiegel- Array 22 eine Tragestruktur 43. Die Tragestruktur 43 ist in Richtung der Flächennormalen 41 versetzt, insbesondere benachbart, zum Spiegel- Array 22 angeordnet. Sie weist vorzugsweise einen Querschnitt auf, welcher zu dem des Substrats 30 des Spiegel- Arrays 22 identisch ist. Sie steht allgemein in Richtung senkrecht zur Flächennormalen 41 um höchstens 5 mm, insbesondere höchstens 3 mm, insbesondere höchstens 1 mm, insbesondere höchstens 0,5 mm, insbesondere höchstens 0,1 mm, insbesondere höchstens 0,05 mm, insbesondere überhaupt nicht über das Substrat 30 und damit über die Gesamtfläche des Spiegel- Arrays 22 über. Eine derartige Anordnung wird auch als Anordnung nach dem „Schattenwurf-Prinzip" bezeichnet. Hierunter wird insbesondere verstanden, dass die Tragestruktur 43 vollständig innerhalb einer Parallelprojektion der Gesamtfläche des Spiegel- Arrays 22 in Richtung der Flächennormalen 41 angeordnet ist.

Die Tragestruktur 43 ist aus einem keramik- und/oder siliziumenthaltenden und/oder aluminiumenthaltenden Material. Dies ermöglicht eine Wärmeabfuhr vom Spiegel- Array 22 bei gleichzeitig hoher mechanischer Stabilität. Beispiele für das Material der Tragestruktur 43 sind keramische Werkstoffe, Silizium, Siliziumdioxid, Aluminium-Nitrit und Aluminium-Oxid, beispielsweise Al₂0₃-Keramik. Die Tragestruktur 43 kann insbesondere aus einem Wafer hergestellt sein. Die Tragestruktur 43 kann auch aus Quarz oder einem Glas- Wafer, welcher mit sogenannten thermischen Vias versehen ist, hergestellt sein.

Die Tragestruktur 43 weist eine einseitig offene Aussparung 44 auf. Die Aussparung 44 bildet einen einseitig offenen Aufnahmeraum zur Aufnahme weiterer funktioneller Bestandteile. Die Aussparung 44 wird auf ihrer dem Spiegel- Array 22 entgegengesetzten Seite in Richtung der

Flächennormalen 41 von einem Boden 45 der Tragestruktur begrenzt. Sie wird seitlich, das heißt in Richtung senkrecht zur Flächennormalen 41 von einem Randbereich 46 der Tragestruktur 43 begrenzt. Der Randbereich 46 weist in Richtung senkrecht zur Flächennormalen 41 eine Breite bc auf. Hierbei gilt 0,5 x b < bc < 2 x b. Der Randbereich 46 der Tragestruktur 43 kann insbe- sondere gerade so breit wie der Randbereich 42 des Substrats 30 sein, b = bc.

Die Tragestruktur 43 ist ausschließlich in diesem Randbereich 46 mit dem Spiegel- Array 22 mechanisch verbunden. Zwischen der Tragestruktur 43 und dem Spiegel- Array 22 ist ein Dichtungs-Element 40 angeordnet. Das Dichtungselement 40 ist in eine Metallisierung auf der Rück- seite 48 des Substrats 30 des Spiegel- Arrays 22 integriert. Es kann auch als auf dem Randbereich 46 der Tragestruktur 43 angeordneter Dichtungsring ausgebildet sein. Der von der Aussparung 44 gebildete Aufnahmeraum ist somit zumindest während der Herstellung des Bauelements 40 gekapselt, das heißt flüssigkeitsdicht, insbesondere gasdicht abgeschlossen. Prinzipiell ist es möglich, die ASICs 52 gekapselt, das heißt flüssigkeitsdicht, insbesondere gasdicht abgeschlos- sen anzuordnen. Hierfür ist noch eine in den Figuren nicht dargestellte, durchgehende Zwischenschicht zwischen dem Spiegel- Array 22 und den ASICs 52 notwendig. In die Tragestruktur 43 ist eine Vielzahl von Signalleitungen 47 integriert. Die Signalleitungen 47 sind als elektrische Durchkontaktierungen, sogenannte„Vias", ausgebildet. Sie sind direkt an die den Reflexionsflächen 36 entgegengesetzte Rückseite 48 des Spiegel- Arrays 22 gebondet. Sie sind außerdem auf der dem Spiegel- Array 22 entgegengesetzten Seite, das heißt der Rücksei- te 49 der Tragestruktur 43 mit Kontakt-Elementen 50 versehen. Jedes Bauelement 40 kann mehr als 30, insbesondere mehr als 50, insbesondere mehr als 70 Signalleitungen 47 aufweisen. Diese Signalleitungen 47 dienen unter anderem der Stromversorgung einer integrierten Steuer- Einrichtung 51 zur Steuerung der Verlagerung der Spiegel-Elemente 23. Die Steuer-Einrichtung 51 zur Steuerung der Verlagerung der Spiegel-Elemente 23 ist in die Tragestruktur 43 integriert. Sie ist insbesondere als anwendungsspezifische integrierte Schaltung 52 (englisch: application specific integrated circuit, ASIC) ausgebildet. Das Bauelement 40 kann eine Mehrzahl von ASICs 52 aufweisen. Es umfasst mindestens ein ASIC 52, insbesondere mindestens zwei, insbesondere mindestens vier, insbesondere mindestens neun, insbesondere mindestens 16, insbesondere mindestens 25, insbesondere mindestens 100 ASICs 52. Hierbei steht jedes der ASICs 52 mit mindestens einem Spiegelelement 23, insbesondere mit einer Mehrzahl von Spiegel- Elementen 23, insbesondere mit mindestens zwei, insbesondere mindestens vier, insbesondere mindestens acht Spiegel-Elementen 23 in Signalverbindung. Für Details der Steuerung der Aktu- atoren zur Verlagerung der Spiegel-Elemente 23 sei auf die WO 2010/049 076 A2 verwiesen. Auf der Rückseite 49 der Tragestruktur 43 weist das Bauelement 40 eine elektrische Schnittstelle 55 auf. Die Schnittstelle 55 ist insbesondere vollständig auf der dem Spiegel- Array 22 gegenüberliegenden Rückseite 49 der Tragestruktur 43 angeordnet. Auf seitliche Kontakte, welche prinzipiell möglich sind, kann vollständig verzichtet werden. Das„Schattenwurf-Prinzip" ist somit auch beim Signalfluss eingehalten. Somit sind sowohl die Komponenten des Bauelements 40 als auch der Signal- und Wärmefluss in diesem in Richtung der Flächennormalen 41 ausgerichtet. Das Bauelement 40 weist daher eine vertikale Integration auf.

Bei der in Fig. 3 dargestellten Ausführungsform weist die elektrische Schnittstelle 55 eine Vielzahl von auf die Rückseite 49 der Tragestruktur 43 aufgebrachter Kontaktstifte, Kontaktpins 56 auf. Alternativ hierzu können die Kontakt-Elemente 50 der elektrischen Schnittstelle 55 flächig oder als integrierte Pins in der Tragestruktur 43 ausgebildet sein. Hierbei sind Durchkontaktierungen (Vias) in der Tragestruktur 43, welche beispielsweise als mit Gold gefüllte Durchgangs- bohrungen ausgebildet sind, im Bereich der Rückseite 49 der Tragestruktur 43 teilweise freigelegt. Dies kann insbesondere durch Wegätzen eines Teils des die Durchkontaktierungen umgebenden Materials der Tragestruktur 43 erreicht werden. Das freigelegte Teilstück der Durchkontaktierungen bildet nun das Kontakt-Element 50.

Des Weiteren umfasst die Tragestruktur 43 ein ferromagnetisches Element 57.

Zwischen den ASICs 52 und dem Boden 45 der Tragestruktur 43, insbesondere zwischen den ASICs 52 und dem ferromagnetischen Element 57, kann ein zusätzliches Wärmeleitelement 53 angeordnet sein. Es können auch mehrere Wärmeleitelemente 53 vorgesehen sein.

Beim Einsatz der Projektionsbelichtungsanlage 1 mit einer der vorstehend beschriebenen Kollektorvarianten werden das Retikel und der Wafer, der eine für das Beleuchtungslicht 10 lichtempfindliche Beschichtung trägt, bereitgestellt. Anschließend wird zumindest ein Abschnitt des Re- tikels mit Hilfe der Projektionsbelichtungsanlage 1 auf den Wafer projiziert. Bei der Projektion des Retikels auf den Wafer kann der Retikelhalter und/oder der Waferhalter in Richtung parallel zur Objektebene 6 bzw. parallel zur Bildebene 9 verlagert werden. Die Verlagerung des Retikels und des Wafers kann vorzugsweise synchron zueinander erfolgen. Schließlich wird die mit dem Beleuchtungslicht 10 belichtete lichtempfindliche Schicht auf dem Wafer entwickelt. Auf diese Weise wird ein mikro- beziehungsweise nanostrukturiertes Bauelement, insbesondere ein Halbleiterchip, hergestellt.

Die vorhergehende Beschreibung der Projektionsbelichtungsanlage 1 und ihre Bestandteile ist exemplarisch zu verstehen. Alternative Ausführungsformen sind möglich. Für weitere Details der Projektionsbelichtungsanlage 1, insbesondere der Vielspiegel- Anordnung 22, sei insbesondere auf die DE 10 2011 006 100 AI und die WO 2013/120 926 AI verwiesen.

Im Folgenden werden eine Vorrichtung 61 und ein Verfahren zur Regelung der Positionierung der Spiegel-Elemente 23 des Spiegel- Arrays 22 beschrieben.

Bei der Regelung der Positionierung der Spiegel-Elemente 23 des Spiegel- Arrays 22 werden üblicherweise eine lokale Regelung, welche beispielsweise als analoge Regelungsschleife auf den ASIC 52 ausgebildet ist und auch als innere Regelungsschleife bezeichnet wird, und eine externe oder äußere Regelungsschleife 62 unterschieden.

Die äußere Regelungsschleife 62 kann insbesondere separat von der Vielspiegel- Anordnung 22, insbesondere separat vom ASIC 52 ausgebildet sein. Sie wird insbesondere nicht lokal in der Vielspiegel- Anordnung 22 geschlossen.

Die lokale Regelungsschleife dient hierbei vornehmlich der Dämpfung von Schwingungen der Spiegel-Elemente 23, während mittels der äußeren Regelungsschleie 62 die eigentliche Positio- nierung, das heißt die Einstellung der Verlagerungspositionen der Spiegel-Elemente 23, vorgenommen wird. Die äußere Regelungsschleife 62 arbeitet üblicherweise mit einer relativ geringen Bandbreite und einer geringen Abtast-Frequenz.

Die Regelungsvorrichtung 61 umfasst die äußere Regelungsschleife 62. Sie ist über einen Daten- kanal 63 in datenübertragender Weise mit dem Spiegel- Array 22 verbunden. Der Datenkanal 63 weist eine Bandbreite von mindestens 1 kHz auf. Die Bandbreite des Datenkanals 63 kann insbesondere mindestens 2 kHz, insbesondere mindestens 3 kHz, insbesondere mindestens 5 kHz, insbesondere mindestens 10 kHz betragen. Mittels der Regelungsvorrichtung 61 ist insbesondere eine Regelung der Positionierung der

Spiegel-Elemente 23 über deren gesamte Bandbreite möglich. Die Regelungsvorrichtung 61 ermöglicht insbesondere sowohl die Dämpfung von Schwingungen der Spiegel-Elemente 23, insbesondere im Bereich ihrer Resonanzfrequenzen, als auch die Vorgabe und Regelung der Verlagerungspositionen derselben. Bezüglich des Frequenzspektrums der Spiegelelemente sei bei- spielsweise auf die Figur 41 der WO 2013/120 926 AI und die zugehörige Beschreibung verwiesen.

Die Regelungsvorrichtung 61 umfasst eine Steuereinrichtung 64. Die Steuereinrichtung 64 kann außerhalb der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sein. Die Steuereinrichtung 64 umfasst eine erste Steuereinheit 65 und eine zweite Steuereinheit 66. Die erste Steuereinheit 65 wird auch als schnelle Steuereinheit bezeichnet. Die zweite Steuereinheit 66 wird auch als langsame Steuereinheit bezeichnet.

Die erste Steuereinheit 65 weist eine Bandbreite von mindestens 1 kHz, insbesondere mindestens 2 kHz, insbesondere mindestens 3 kHz, insbesondere mindestens 3 kHz, insbesondere mindestens 5 kHz, insbesondere mindestens 10 kHz auf. Sie weist eine Bittiefe von höchstens 32 Bit, insbesondere höchstens 16 Bit, insbesondere höchstens 8 Bit, insbesondere höchstens 4 Bit, insbesondere höchstens 2 Bit auf. Die zweite Steuereinheit 66 weist eine Bandbreite von höchstens 500 Hz, insbesondere höchstens 300 Hz, insbesondere höchstens 200 Hz, insbesondere höchstens 100 Hz, insbesondere höchstens 50 Hz auf. Die zweite Steuereinheit 66 weist eine Bittiefe von mindestens 8 Bit, insbesondere mindestens 16 Bit, insbesondere mindestens 32 Bit, insbesondere mindestens 64 Bit, insbesondere höchstens 1024 Bit, insbesondere höchstens 512 Bit, insbesondere höchstens 256 Bit, insbesondere höchstens 128 Bit auf.

Die erste Steuereinheit 65 weist mit anderen Worten eine große Bandbreite auf. Sie weist jedoch eine relativ geringe Bittiefe auf. Die zweite Steuereinheit 66 weist eine große Bittiefe auf. Sie weist eine relativ geringe Bandbreite auf. Hierdurch kann der Gesamtdatenfluss der beiden Steu- ereinheiten 65, 66 begrenzt werden. Der Datenfluss der Steuereinheiten 65, 66 beträgt je geregelter Achse insbesondere maximal jeweils 50 kbit/s, insbesondere höchstens 30 kbit/s, insbesondere höchstens 20 kbit/s, insbesondere höchstens 10 kbit/s, insbesondere höchstens 7 kbit/s.

Die Steuereinheiten 65, 66 sind jeweils in datenübertragender Weise mit einer Protokollerzeu- gungseinheit 67 verbunden. Die Protokollerzeugungseinheit 67 dient der Erzeugung eines Regelungsdatenstroms 68. Der Regelungsdatenstrom 68 kann insbesondere eine logische Unterteilung aufweisen. Dies wird nachfolgend noch näher erläutert.

Die Protokollerzeugungseinheit 67 ist mit einem elektronischen Bauteil 69 verbunden. Das elektronische Bauteil 69 kann eine Zwischensteuereinheit bilden, die in das EUV- Beleuchtungssystem 2 integriert ist. Weiterhin umfasst die Regelungseinrichtung 61 eine Kontrolleinheit 70. Das elektronische Bauteil 69 ist über zwei Datenverbindungen 71, 72 mit der Kontrolleinheit 70 verbunden. Die beiden Datenverbindungen 71, 72 können konstruktiv auch zusammengefasst sein. Die Datenverbindung 71 dient der Übertragung des hochfrequenten, das heißt schnellen Datenstroms mit geringer Bittiefe. Die Datenverbindung 72 dient der Übertragung des langsameren, das heißt niederfrequenten Datenstroms mit größerer Bittiefe.

Mittels der Kontrolleinheit 70 wird aus den von den Datenverbindungen 71, 72 übertragenen Datenströmen ein einziges gemeinsames Ausgangssignal erzeugt. Dieses Ausgangssignal wird über den Datenkanal 63 an einen Digital- Analog- Wandler 73 (DAC) übertragen. Der Digital- Analog- Wandler 73 kann auf dem ASIC 52 angeordnet sein. Er kann insbesondere als Bestandteil des ASIC 52 ausgebildet sein.

Vom Digital- Analog- Wandler 73 wird das Regelungssignal an einen Treiberkreis 74 übertragen. Mittels des Treiberkreises 74 werden die Aktuatoren der Spiegel-Elemente 23 aktiviert, das heißt die Positionierung der Spiegel-Elemente 23 gesteuert bzw. geregelt.

Zusammenfassend wird die gesamte Datenübertragung zwischen der Steuereinrichtung 64 und dem Spiegel- Array 22, insbesondere dem ASIC 52, als Datenübertragungskanal oder Datenüber- tragungssystem oder auch abgekürzt als Datenkanal bezeichnet.

Die Regelungsvorrichtung 61 umfasst außerdem ein Monitoring System 75. Sie umfasst insbesondere ein elektronisches Monitoring System 75. Das Monitoring System 75 ist insbesondere digital ausgebildet. Vorzugsweise ist die gesamte Regelungsvorrichtung 61 digital ausgebildet. Das Monitoring System 75 kann beispielsweise eine oder mehrere Kameras, insbesondere Digitalkameras 76, umfassen oder mit denselben in datenübertragender Verbindung stehen. Es kann insbesondere eine Vielzahl von Kameras 76 mit einer Vielzahl von CMOS-Sensoren aufweisen. Die Anzahl der Kameras 76, insbesondere die Anzahl der CMOS-Sensoren, kann im Bereich von 1 bis 50, insbesondere im Bereich von 10 bis 50 liegen. Die Kameras 76, insbesondere die CMOS-Sensoren, können separat von der Regelungsvorrichtung 61 sein. Sie können auch einen Bestandteil der Regelungsvorrichtung 61 bilden. Die Kameras 76 können insbesondere einen Bestandteil des Monitoring Systems 75 bilden. Allgemein sind die Kameras 76 und das Monitoring System 75 Bestandteil eines externen Sensors 79. Das Monitoring System 75 weist eine hohe Bandbreite auf. Die Bandbreite des Monitoring Systems 75 ist insbesondere mindestens halb so groß, insbesondere mindestens so groß, insbe- sondere genauso groß wie die größte Bandbreite der Steuereinheiten 65, 66.

Das Monitoring System 75 ist in datenübertragender Weise mit der Steuereinrichtung 64, insbesondere mit den Steuereinheiten 65, 66, verbunden. Die Erfassung der Verlagerungspositionen, insbesondere der Kippwinkel der Spiegel-Elemente 23 und/oder deren Änderungen erfolgt somit nicht über ein MEMS-internes Sensorsystem, sondern über das externe Sensorsystem 79.

Mittels des externen Sensorsystems 79 werden die Verlagerungspositionen der Spiegel-Elemente 23 und/oder deren Änderungen, insbesondere deren zeitliche Ableitungen, relativ zu einem externen Bezugspunkt, das heißt zu einem Bezugspunkt außerhalb des Spiegel- Arrays 22, erfasst. Das externe Sensorsystem 79 erfasst insbesondere die Verlagerungspositionen und/oder deren Änderungen relativ zu einem externen Fixpunkt, beispielsweise dem Gehäuse der Projektionsbe- lichtungsanlage 1. Dies ermöglicht es auch, eine Bewegung des gesamten Spiegel- Arrays 22, bei welcher sich die Spiegel-Elemente 23 und die zugehörigen ASICs 52 gleichartig miteinander bewegen und somit relativ zueinander ortsfest bleiben, zu erfassen.

Bezüglich des Monitoring Systems 75 sei auf die WO 2008/095 695 A2 verwiesen. Prinzipiell kann die Regelungseinrichtung 61 derart auslegt sein, dass sie sämtliche beim Betrieb der Projektionsbelichtungsanlage 1 zu erwartenden Schwingungen und/oder Anregungen der Spiegel-Elemente 23 mindestens bis zu einem vorbestimmten Grad dämpft. Hierdurch kann insbesondere das mechanische Design des Spiegel- Arrays 22, insbesondere die konstruktiven Details der Aufhängungen der Spiegel-Elemente 23, wesentlich vereinfacht werden. Es ist jedoch auch möglich, zumindest einen Teil der zu erwartenden mechanischen Schwingungen und/oder Anregungen durch eine geeignete Auslegung der Spiegel-Elemente, insbesondere deren Lagerungen, zu reduzieren, insbesondere zu unterdrücken. Die Spiegel-Elemente 23 können insbe- sondere Lagerungen aufweisen, welche Schwingungen oberhalb einer Grenzfrequenz, insbesondere oberhalb der niedrigsten Resonanzfrequenz des jeweiligen Spiegel-Elements 23, insbesondere oberhalb 500 Hz, insbesondere oberhalb 1 kHz, wirksam dämpfen, insbesondere unterdrücken. Hierdurch kann die mittels der Vorrichtung 61 zu erreichende Dämpfung vereinfacht wer- den. Insbesondere die zur Regelung der Spiegel-Elemente 23 maximal benötigte Kraft bzw. das maximal benötigte Drehmoment kann durch eine geeignete mechanische Aufhängung, insbesondere durch eine geeignete mechanische Dämpfung, reduziert werden. Dies führt dazu, dass der von der Regelungsvorrichtung 61 zum Spiegel- Array 22 zu übertragende Datenfluss reduziert werden kann.

Die Regelung der Positionierung der Spiegel-Elemente 23 mit Hilfe der äußeren Regelungsschleife 62 hat unter anderem folgende Vorteile:

Der Aufbau des Spiegel- Arrays 22 wird einfacher. Es kann insbesondere einfacher getestet wer- den. Dies ist insbesondere bei einem modularen Aufbau des Spiegel- Arrays 22 von Vorteil.

Der Zusammenbau des Spiegel- Arrays 22 wird einfacher und schneller. Hierdurch verringern sich insbesondere auch die Kosten für die Herstellung des Facettenspiegels sowie der Beleuchtungsoptik 4 und der Projektionsbelichtungsanlage 1 insgesamt.

Insgesamt werden durch den einfacheren Aufbau des Spiegel- Arrays 22 die Kosten desselben reduziert.

Durch die Vermeidung einer geschlossenen Regelungsschleife im Spiegel- Array 22 werden In- Stabilitäten, insbesondere während eines Test- und/oder Qualifikationsverfahrens vermieden. Hierdurch wird der Einschaltvorgang erleichtert, insbesondere verschnellert.

Durch die Vermeidung einer Regelungsschleife auf dem ASIC 52 wird die elektromagnetische Kompatibilität (EMC) und/oder das Rauschverhalten verbessert. Das ASIC 52 wird insbesondere robuster, insbesondere in Bezug auf elektromagnetische Störungen. Die Stromversorgung für das Spiegel- Array 22 wird einfacher. Auch hierdurch werden der Aufbau und/oder die Kosten des Spiegel- Arrays 22 verringert. Auf Sensor-Elemente auf dem ASIC 52 kann verzichtet werden. Dies führt dazu, dass auf dem ASIC 52 auf Terminals ohne ESD- Schutz verzichtet werden kann. Dies hat den folgenden Hintergrund: Bei ASIC Terminals zur Einbindung kapazitiver Sensoren muss oftmals auf ESD (Electrostatic Discharge, elektrostatische Entladung) Schutzeinrichtungen verzichtet werden, da die parasitären Effekte durch die ESD Schutzschaltung die Qualität der Messsignale oftmals zu stark reduzieren.

Mit einer äußeren Regelungsschleife 62 werden die Möglichkeiten der Architektur des Spiegel- Arrays 22 sowie dessen Anordnung vergrößert. Insgesamt wird die Flexibilität erhöht. Die

ASICs 52 müssen insbesondere nicht mehr in unmittelbarer Nähe der Spiegel- Arrays 22 angeordnet sein. Sie können insbesondere einen Abstand von mehr als 1 mm, insbesondere mehr als 10 mm, zu den Spiegel- Arrays 22 aufweisen. Mit Hilfe der äußeren Regelungsschleife 62 ist eine Positions-Regelung im gesamten Frequenzbereich zwischen 0 Hz und einigen kHz möglich. Es ist insbesondere möglich, eine Bandlücke im Bereich zwischen 10 Hz und dem ersten Resonanzpeak zu schließen.

Die äußere Regelungsschleife 62 und insbesondere deren hoch abtastender Anteil ermöglicht eine aliasingfreie Positionsregelung.

Die äußere Regelungsschleife 62 ist besser zugänglich für Wartungsarbeiten.

Die äußere Regelungsschleife 62 umfasst programmierbare Bestandteile. Dies erhöht die Flexibi- lität der Regelung.

Die äußere Regelungsschleife 62 ermöglicht eine verbesserte Fehler-Kontrolle und Schutzmaßnahmen, insbesondere eine Kontrolle, dass Zwischensignale im erwarteten Intervall liegen. Damit lässt sich auch ein sogenannter Pull-In des Mirkospiegels vermeiden. Beispielsweise wenn der Kippwinkel eines Mikrospiegel zu stark oder zu schnell anwächst, kann die Überwachungs- funktion in der digitalen Elektronik reagieren und die Aktuatoren zum Schutz des Mikrospiegels abschalten. Die Regelung der Positionierung der Spiegel-Elemente 23 erfolgt insbesondere über mehrere, insbesondere mindestens zwei, vorzugsweise eine Vielzahl, insbesondere mehr als 10, insbesondere mehr als 100, insbesondere mehr als 1000, Regelungskanäle. Die Regelungskanäle können insbesondere als logische Datenkanäle, das heißt als logische Unterteilungen, im Regelungsdatenstrom 68 und/oder im Datenkanal 63 ausgebildet sein. Wie bereits dargestellt wurde, arbeitet mindestens einer, insbesondere mehrere, insbesondere mindestens 10, insbesondere mindestens 100, insbesondere mindestens 1000, dieser Kanäle mit einer hohen Abtastrate und einer geringen Bittiefe. Die Abtastrate dieses Regelungskanals oder dieser Regelungskanäle ist insbesondere mindestens doppelt so groß wie die größte relevante Resonanzfrequenz des zu regelnden Spiegel-Elements 23.

Der Datenfluss vom Monitoring System 75 kann entsprechend dem Datenfluss von der Steuereinrichtung 64 zu dem Spiegel- Array 22 in unterschiedliche Kanäle aufgeteilt sein. Das Monito- ring System 75 kann insbesondere mittels schneller Datenkanäle mit geringer Bittiefe und mittels langsamerer Datenkanäle mit großer Bittiefe mit der Steuereinrichtung 64, insbesondere mit den Steuereinheiten 65, 66 in datenübertragender Weise verbunden sein. Die Bandbreiten und Bittiefen der schnellen und langsamen Kanäle können insbesondere gerade denen der Regelungskanäle zwischen der Steuereinrichtung 64 und den Spiegel- Arrays 22 entsprechen.

Die vorhergehend dargestellte Regelung kann zur Regelung der Positionierung der Spiegel- Elemente 23 jeweils einen schnellen und einen langsamen Regelungskanal für jedes der Spiegel- Elemente 23 aufweisen. Es ist auch möglich, für jeden der Verlagerungs-Freiheitsgrade der Spiegel-Elemente 23 separate Regelungskanäle vorzusehen. Es ist auch möglich, für jeden der Verlagerungs-Freiheitsgrade der Spiegel-Elemente 23 separate Regelungssignale, insbesondere mittels der Protokollerzeugungseinheit 67, zu erzeugen, welche mittels der Kontrolleinheit 70 zu geeigneten Aktuierungssignalen für jedes der Spiegel-Elemente 23 zusammengefasst werden. Dies kann insbesondere vorteilhaft sein, sofern zur Positionierung eines der Spiegel-Elemente 23 mehr als zwei Aktuierungselektroden 54 vorgesehen sind.

Wie exemplarisch in Figur 6 dargestellt ist, kann es außerdem vorteilhaft sein, zwei unterschiedliche Monitoring Systeme 75a, 75b vorzusehen. Das externe Sensorsystem 79 kann insbesondere ein schnelles Monitoring System 75 a und ein langsames Monitoring System 75b umfassen. Hierdurch ist es möglich, das Monitoring, das heißt die Sensierung der Verlagerungspositionen der Spiegel-Elemente 23 in separate Monitoringschleifen 77, 78 aufzuteilen. Die Monitoringschleife 77 wird auch als schnelle Schleife bezeichnet. Die Monitoringschleife 78 wird auch als langsame Schleife bezeichnet. Die Monitoringschleifen 77, 78 sind Bestandteile der äußeren Regelungsschleife 62. Sie bilden zusammen insbesondere die äußere Regelungsschleife 62. Mittels der separaten Monitoring Systeme 75a, 75b ist es möglich, den Datenfluss für die schnelle Regelung und den Datenfluss für die präzise Regelung der Verlagerungspositionen der Spiegel- Elemente voneinander zu trennen. Dies kann für die Signalverarbeitung vorteilhaft sein.

Es kann insbesondere vorteilhaft sein, mittels des schnellen Monitoring Systems 75a ausschließlich Änderungen der Verlagerungspositionen der Spiegel-Elemente 23, insbesondere deren zeitliche Ableitungen, gegebenenfalls mit langsameren Änderungen (Drift; hier als Störung zu verstehen) zu messen. In der schnellen Regelungsschleife dürfen langsame Drifts auftreten, da die langsame und genauere Regelungsschleife diese ausgleichen, insbesondere kompensieren, kann.

Das Monitoring System 75b misst insbesondere die mittlere, das heißt die über eine Abtastperiode gemittelte, Verlagerungsposition des jeweiligen Spiegel-Elements 23. Eine Regelung der Verlagerungspositionen der Spiegel-Elemente 23 basierend auf Messdaten relativ zu einem externen Fixpunkt mittels des externen Sensorsystems 79 führt zu einer besseren optischen Performance und macht bestimmte neuartige Funktionen überhaupt erst möglich.

Im Folgenden werden weitere Aspekte der Erfindung beschrieben.

Um eine Kippwinkelregelung über die äußere Regelungsschleife 62 zu realisieren, können die Informationen, die von der Steuereinrichtung 64 zum Spiegel- Array 22 übertragen werden, in verschiedene Datenflusskanäle eingeteilt werden. Der Datenkanal 63 kann insbesondere mit einer Kanalstruktur, insbesondere einer logischen Kanalstruktur, versehen sein. Zur Aufteilung des Datenkanals 63 und/oder des Regelungsdatenstroms 68 bzw. allgemein des Datenflusses von der Steuereinrichtung 64 zu den Spiegel- Elementen 23 kann insbesondere ein Multiplex- Verfahren vorgesehen sein. Es ist insbesondere möglich, in den verschiedenen Kommunikations-Kanälen jeweils eine angepasste, optimierte Codierung zur Reduktion der Datenrate durchzuführen. Der Regelalgorithmus in den einzelnen Kanälen kann sich hierbei unterscheiden.

Vorteilhafte Alternativen für die Trennung der einzelnen Kommunikationskanäle sind eine oder mehrere der folgenden Alternativen: zeitgeschlitzte Trennung (Time Division Multiple Access - TDMA), frequenzgeschlitzte Trennung (Frequency Division Multiple Access - FDMA), ein Co- demultiplexverfahren (Code Division Multiple Access - CDMA) oder ein Raummultiplexverfah- ren (Space Division Multiple Access - SDMA), bei welchem verschiedene Hardware-Einheiten für Kommunikations-Links vorgesehen sind.

Allgemein kann vorgesehen sein, die Reglerinformation von der Steuereinrichtung 64 zu den Spiegel- Arrays 22 in verschiedene digitale Kommunikationskanäle 80; einzuteilen. Die entspre- chende Architektur ist schematisch in Figur 7 dargestellt. Wie in Figur 7 außerdem schematisch dargestellt ist, umfasst die Steuereinrichtung 64 eine Tx-Kanalcodierungs-Einheit 81. Die Tx- Kanalcodierungs-Einheit 81 kann als DSP, FPGA, CPU, ASIC oder ähnliches ausgebildet sein oder derartige Bauteile umfassen. Die Tx-Kanalcodierungs-Einheit 81 ist über die Kommunikationskanäle 80; mit einer entsprechenden Tx-Kanaldecodierungs-Einheit 82 verbunden. Die Decodierungseinheit 82 kann im optischen Bauelement, beispielsweise auf dem ASIC 52, oder als Bestandteil der Kontrolleinheit 70 ausgebildet sein. Sie ist über den Datenkanal 63 mit dem Digital- Analog- Wandler 73 verbunden. Sie kann optional eine Feedbackdatenverbindung 83 zu einer Rx-Kanalcodierungs-Einheit 84 aufweisen. Die Rx-Kanalcodierungs-Einheit 84 erhält ihre Eingangssignale vom Monitoring System 75 beispielsweise über einen Analog-Digital- Wandler 85.

Die Rx-Kanalcodierungs-Einheit 84 und/oder der Analog-Digital- Wandler 85 können Bestandteile des MEMS-Systems sein. Sie können insbesondere auf dem ASIC 52 ausgebildet sein. Sie können auch als Bestandteile des externen Sensorsystems 79 ausgebildet sein. Die Rx-Kanalcodierungs-Einheit 84 ist über Kommunikationskanäle 86;, insbesondere digitale Kommunikationskanäle 86;, mit einer Rx-Kanaldecodierungs-Einheit 87 in datenübertragender Weise verbunden. Die Rx-Kanaldecodierungs-Einheit 87 kann insbesondere als DSP, FPGA, CPU, ASIC oder ähnliches ausgebildet sein oder derartige Bauelemente umfassen. Sie ist insbe- sondere Bestandteil der Steuereinrichtung 64. Sie ist über eine Kontrolleinheit 93, welche insbesondere ebenfalls als DSP, FPGA, CPU oder ähnliches ausgebildet ist oder derartige Bauelemente umfasst, in datenübertragender Weise mit der Tx-Kanalcodierungs-Einheit 81 verbunden.

Im Folgenden wird die Funktionsweise der Reglerarchitektur gemäß Figur 7 beschrieben. Die Reglerinformation, das heißt die jeweilige Stell- bzw. Messinformation, ist in verschiedene

Kommunikationskanäle 80i, 86; eingeteilt. Insbesondere die Information, die von einer oder mehreren externen Regler-Recheneinheiten, insbesondere von der Steuereinrichtung 64 zu den MEMS-Einheiten, insbesondere zu den Spiegel-Elementen 23, gesendet wird, ist nicht ein einziger Datenfluss für jeden MEMS-Kanal, sondern jeder dieser MEMS -Kanäle hat auch noch mal in sich eine logische Unterteilung. Anders ausgedrückt werden die logischen MEMS-Kanäle jeweils gebündelt in Kommunikations-Kanälen transportiert.

Exemplarisch ist in Figur 7 eine Trennung der Kommunikationskanäle 80; dargestellt. Hierbei kann es sich beim Kommunikationskanal 80i (TxCi) um den Kanal für das schnelle Signal, das heißt das Signal mit der hohen Bandbreite, für die Dämpfung eines oder mehrerer der Spiegel- Elemente 23 handeln. Die Codierung dieses Signals kann durch die Beschränkung des Range der Signale zur Reduktion der erforderlichen Bits, das heißt durch Beschränkung der Bittiefe dieses Signals, erfolgen. Für die Dämpfungswirkung sind im Allgemeinen nur sehr geringe Kräfte/Momente im Vergleich zu den Positionier-Kräften bzw. -Momenten erforderlich. Daher kann der Range dieser Dämpfungs-Stellsignale stark limitiert werden, und es reichen wenige Bits zur Übertragung aus.

Ein zweiter Kommunikationskanal 80₂ (TxC₂) kann ein langsames Signal für die exakte Positionsregelung übertragen. Da hier nur eine langsame Regelung erfolgt, kann das Stellsignal mit voller Bitbreite, das heißt mit hoher Auflösung, ohne gesonderte Codierung übertragen werden. Die Kommunikationskanäle 80; können wie bereits unter Bezugnahme auf die Figuren 5 und 6 erwähnt, als physikalisch getrennte Links ausgebildet sein. Sie können auch wie im Zusammenhang mit der Figur 7 beschrieben, lediglich logisch getrennt sein Um eine Kippwinkelregelung über die äußere Regelungsschleife 62 zu realisieren, können einer oder mehrere der folgenden Möglichkeiten vorgesehen sein:

1. Die zu übertragende Information kann in verschiedene Datenfluss-Kanäle aufgeteilt werden.

Der Datenkanal 63 kann mit anderen Worten mit einer Kanalstruktur, insbesondere einer lo- gischen Kanalstruktur, versehen werden. Hierzu ist insbesondere ein Multiplex- Verfahren vorgesehen.

2. Es erfolgt eine individuelle Codierung oder Komprimierung der Signale zu jedem der Spiegel-Elemente 23. Dies wird auch als Kanal- individuelle Codierung/Komprimierung, insbesondere als MEMS-Kanal-individuelle Codierung/Komprimierung bezeichnet. Unter einem MEMS-Kanal sei hierbei die Vielzahl der Datenkanäle zu den Spiegel-Elementen 23 ein und desselben MEMS-Spiegel-Arrays 22 verstanden. Es kann auch eine Codierung/Komprimierung für jede Kippwinkelachse, insbesondere für jeden Verlagerungsfrei- heitsgrad, vorgesehen sein.

3. Die Mess- bzw. Reglerinformationen mehrerer MEMS-Kanäle werden gebündelt codiert und/oder komprimiert.

Die unterschiedlichen Möglichkeiten der Regelung über die äußere Regelungsschleife 62 werden im Folgenden näher erläutert. Als Codierung wurde beispielsweise die Beschränkung des Range der Reglersignale, insbesondere durch Beschränkung deren Bittiefe, genannt. Dem lag die Erkenntnis zugrunde, dass zur Dämpfung der Spiegel-Elemente 23 die Regler- bzw. Stellsignale nur einen sehr geringen Bereich umfassen müssen, da zur Dämpfung nur kleine Störungen ausgeregelt werden müssen. Es ist somit auch mit wenigen Bits, das heißt mit einer geringen Bittiefe, eine ausreichend feine Quantisierung gegeben. Dies wird nachfolgend noch näher erläutert. Die Codierung der Kommunikationskanäle 80i, 86; kann auch erweitert werden. Es ist insbesondere möglich, anstelle oder zusätzlich zur Beschränkung der Bittiefe weitere Codierungen der Kommunikationskanäle 80i, 86; vorzunehmen. Die Codierung dient insbesondere der Reduktion der Anzahl der Bits der zu übermittelnden Signale, das heißt zur Reduktion des insgesamt zu übertragenden Datenflusses. Die Codierung dient insbesondere zur Komprimierung der Signale, das heißt zur Komprimierung des Datenfiusses. Eine Reglerarchitektur mit einer derartigen Komprimierung ist exemplarisch in Figur 8 dargestellt. Die Architektur der Regelungsvorrichtung 61 entspricht im Wesentlichen der Architektur der Vorrichtung 61 gemäß Figur 7. Zur Verdeutlichung der Idee, wonach die Codierung zur Komprimierung der Signale verwendet wird, werden die Codierungseinheiten 81, 84 als Tx- Komprimierungseinheit 88 bzw. Rx-

Komprimierungseinheit 89 bezeichnet. Entsprechend werden die Decodierungseinheiten 82, 87 als Tx-Decomprimierungseinheit 90 bzw. Rx-Dekomprimierungseinheit 91 bezeichnet. Außerdem ist in Figur 8 exemplarisch klargestellt, dass die Kommunikationskanäle 80;, 86; physisch jeweils als eine einzige Datenverwendung ausgebildet sein können.

Im Folgenden werden unterschiedliche Codier- bzw. Komprimiervarianten beschrieben, welche sich für die Regelung der Positionierung der Spiegel-Elemente 23 als vorteilhaft erwiesen haben: Bereits erwähnt wurde die Beschränkung des Dynamikbereichs, insbesondere der Bittiefe der Signale.

Vorteilhaft kann auch eine differenzielle Übertragung der Regelungssignale sein. Dies kann bedeuten, dass ausschließlich Reglerfehler übertragen werden oder dass lediglich die Änderung zum jeweils zeitlich vorhergehenden Wert übertragen wird. Eine weitere vorteilhafte Codierung besteht darin, lediglich ein Signal zur Steilheit der Signalform (Slew Rate) zu senden. Dies entspricht einer Anweisung an die Decodiereinheit, insbesondere schnell bzw. langsam steigen, schnell bzw. langsam fallen oder gleichbleiben, das heißt beispielsweise fünf Zustände, die mit 3 Bits dargestellt werden können. Eine weitere vorteilhafte Codierung besteht in einer nicht linearen Quantisierung der Signale. Dies wird nachfolgend noch näher beschrieben. Eine weitere vorteilhafte Codierung besteht in einer Vektor-Quantisierung, insbesondere in der x-y- Kippebene. Hierbei kann vorgesehen sein, anstatt den x- und y-Kipp getrennt zu quantisie- ren, in der x-y-Kippebene beliebige Quantisierungsregionen vorzusehen. Eine weitere Codierung kann in einer Vektor-Codierung bestehen. Hierbei wird nur die Information gesendet, welche Signalsegmente die Decodiereinheit sich aus einem Katalog von Signalform jeweils auswählen muss. Dies wird nachfolgend noch näher beschrieben.

Eine weitere vorteilhafte Codiervariante besteht darin, die Frequenzbereiche zu beschränken. Dies kann insbesondere bei MEMS-Spiegeln vorteilhaft sein, da die Aufgabe bei MEMS im Hochvakuum zumeist darin besteht, einige wenige Resonanzen zu dämpfen. Durch eine Beschränkung auf die wichtigsten Resonanzen, insbesondere beispielsweise dadurch, dass nur Informationen in der Nähe von definierten Fourier-Koeffizienten gesendet werden, kann eine hohe Reduktion der Bitrate erreicht werden. Bei der Beschränkung auf Resonanzen können insbeson- dere zwei Varianten unterschieden werden: Die Beschränkung erfolgt mit fest parametrierten Resonanzen, oder die maßgeblichen Frequenzen werden aus dem Signalen, beispielsweise aus dem aktuellen Leistungsdichtespektrum, extrahiert.

Eine weitere vorteilhafte Codierung besteht darin, den Informationstransport auf Signalinhalte bezüglich anderer Basisfunktionen als bei der Fourier-Zerlegung zu beschränken. Als Basisfunktionen dienen insbesondere weitere Funktionen als Sinus- oder Cosinusfunktionen. Die Signalinhalte können bezüglich der neuen Basis quantisiert werden. Die Basisfunktionen können insbesondere derart gewählt werden, dass das Signal bezüglich einer vorgegebenen Menge der Basisfunktionen besonders viel Inhalt aufweist.

Weitere Codiervarianten bestehen in einer Codierung nach dem Entropieverfahren oder gemäß einem Golomb-Rice Kodierer.

Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf die Figuren 9 und 10 eine Codierung bzw. Kompri- mierung, das heißt Datenreduktion, mittels einer nicht linearen Quantisierung beschrieben. In Figur 9 ist exemplarisch eine Wahrscheinlichkeitsdichte eines Regler- Stellwerts XR bzw. einer Messgröße XM gegen den entsprechenden Regler-Stellwert x_R bzw. die Messgröße XM dargestellt. Wie in der Figur 9 exemplarisch dargestellt ist, ist eine nicht-uniforme, das heißt eine nichtlineare, Quantisierung vorgesehen. Die Quantisierung der Regler-Stellwerte XR bzw. der Messgröße XM ist an die Wahrscheinlichkeitsdichte innerhalb des entsprechenden Intervalls angepasst. Es ist insbesondere eine umso höhere Auflösung vorgesehen, je höher die Wahrscheinlichkeitsdichte in einem bestimmten Bereich ist. Umgekehrt ist eine umso geringere Auflösung vorgesehen, sofern die Wahrscheinlichkeitsdichte in diesem Bereich gering ist. Die in Figur 9 exemplarisch dargestellte Wahrscheinlichkeitsdichte korrespondiert beispielsweise zu den Positionierungen eines Spiegelelements 23, welches besonders häufig in einer der Positionen 1 oder 2 angeordnet ist, etwas weniger häufig in einer Position 3 und nur relativ selten in hiervon abweichenden Positio- nen.

Eine nichtlineare Quantisierung kann auch mehrdimensional vorgesehen sein. Es kann insbesondere eine Vektor-Quantisierung mit einer zweidimensionalen Wahrscheinlichkeitsdichte für x und y vorgesehen sein.

Die Quantisierungsintervalle und/oder -stufen können optimiert werden. Sie können beispielsweise für ein minimales Fehlerquadrat oder eine maximale Entropie bei vorgegebener Quantisierungsstufenanzahl optimiert werden. Eine nicht-uniforme oder nichtlineare Quantisierung ist insbesondere vorteilhaft, sofern der Range der zu regelnden Größen beschränkt ist und/oder sofern die Auftrittswahrscheinlichkeit um einige bestimmte Werte sehr hoch ist und außerhalb dieser wahrscheinlichen Bereiche sehr stark abnimmt. Durch eine nichtlineare Quantisierung kann die Anzahl der zu übertragenden Bits erheblich reduziert werden.

Bei der aktiven Dämpfung der Spiegel-Elemente 23 wird beispielsweise der aktuelle Kippwinkel differenziert. Bei Vibrationen um einen konstanten mittleren Kippwinkel und bei langsamen Driften führt dies dazu, dass die dämpfende Ansteuerungsgröße als zeitliche Ableitung des Kippwinkels dann um den Wert 0 schwankt. Da die Vibrationen im Allgemeinen eher klein sind, sind keine besonders hohen Ansteuerungskräfte erforderlich. Höhere Ansteuerungskräfte werden mit anderen Worten immer unwahrscheinlicher. Dies äußert sich darin, dass die Wahrscheinlichkeitsdichte der Ansteuerungsgröße, beispielsweise die zeitliche Ableitung des Kippwinkels, bei 0 am höchsten ist und zu höheren Beträgen hin stark abfällt. Die Wahrscheinlichkeitsdichte kann beispielsweise, wie exemplarisch in Figur 10 dargestellt ist, die Gestalt einer Gaussverteilung haben. Wenn beispielsweise das Auftreten bestimmter Werte ausgeschlossen werden kann, das heißt wenn die Wahrscheinlichkeit des Auftretens dieser Werte identisch 0 ist, kann die Vertei- lung ab einem bestimmten Betrag auf 0 gesetzt werden. Derartige Werte treten dann sicher nicht auf bzw. können dann nicht zur Regelung beitragen.

Ähnliche Überlegungen wie für die zeitliche Ableitung des Kippwinkels gelten auch für die Regeldifferenz. Die Regeldifferenz, insbesondere die Regeldifferenz für eine Störgrößenausrege- lung bei fest eingestelltem Kippwinkel, nimmt in der Regel nur sehr kleine Werte, das heißt Werte nahe 0, ein.

In Figur 10 ist eine nichtlineare Quantisierung der nichtnormierten Wahrscheinlichkeitsdichte der Elektrodenspannung Uoamp dargestellt. Exemplarisch dargestellt ist eine nichtlineare Quanti- sierung mit 14 Quantisierungsintervallen I_lnlQ, I_2niQ... I_14nlQ. Diese 14 Quantisierungsintervalle IiniQ können mit einem 4 Bitsignal für Uoamp dargestellt werden.

Zum Vergleich ist eine lineare Quantisierung von Uoamp dargestellt, welche die gleiche Präzision im Bereich der höchsten Wahrscheinlichkeitsdichte aufweist. Für die lineare Quantisierung des dargestellten Bereichs sind 40 Quantisierungsintervalle Ii ... I₄₀, das heißt ein 6 Bitsignal notwendig. Dieses Beispiel dient lediglich der Verdeutlichung des Potenzials der nichtlinearen Quantisierung. Das tatsächliche Potenzial der nichtlinearen Quantisierung ist sogar noch höher. Implizit wurde in Figur 10 nämlich auch bei der linearen Quantisierung bereits eine Limitierung des Range vorgenommen, was bereits eine erste Form der nichtlinearen Quantisierung darstellt.

Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf die Figur 11 das Prinzip der differenziellen Codierung näher erläutert. Im oberen Teil der Figur 11 ist exemplarisch ein zeitlicher Verlauf eines Reglerstellwerts XR(_T) oder einer Messgröße XM© dargestellt. Im unteren Teil von Figur 1 1 ist der entsprechende Zeitverlauf XR(t) bzw. XM( dargestellt. In der dargestellten Form muss lediglich die Information gesendet werden, ob das Signal steigt, gleich bleibt oder fällt. Es genügt mit anderen Worten, drei Zustände zu codieren. Hierfür sind lediglich zwei Bits erforderlich. Ein ähnliches Prinzip liegt der sogenannten Slew-Rate-Codierung zugrunde. Es wird lediglich mit wenigen Bits die Information übertragen, ob das Stellsignal gleich bleibt, steigt oder fällt. Mit zusätzlichen Bits können dann noch wenige Steig- bzw. Fallgeschwindigkeiten des Stellsignals unterschieden werden, um Signalverläufe besser zu repräsentieren und zu übertragen.

Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf die Figur 12 die Vektor-Codierung näher erläutert. Je nach Signalform kann eine Vektor-Codierung zu einer sehr effizienten Datenkompression bei gleichzeitig guter Repräsentation der Signalform führen. In Figur 12 ist wiederum exemplarisch der Zeitverlauf eines Regler- Stellwerts XR(t) oder einer Messgröße XM( dargestellt. Im oberen Bereich der Figur 12 sind exemplarisch vier Signalformen (A, B, C, D) dargestellt. Die Signalformen werden auch als Signalsegmente 92A, 92B, 92C, 92D bezeichnet. Unterhalb der Zeitachse des Zeitverlaufs von x_R(t) bzw. XM( ist dargestellt, wie dieser Verlauf durch die vier Signalformen A, B, C, D codiert werden kann. Die Form der Signalsegmente 92i kann insbesondere an die zu erwartenden Zeitverläufe der Regler- Stellwerte bzw. Messgrößen angepasst sein. Denkbar ist insbesondere ein Katalog von Signalsegmenten 92i, welche Teilen von Sinusschwingungen bei den Resonanzfrequenzen der Spiegel-Elemente 23 entsprechen. Grund dafür ist, dass bei Vibrationen oftmals ausschließlich bzw. mehrheitlich Resonanzen angeregt werden. Stellgrößen sind dann zumeist auch Sinusschwingungen (mit variierender Amplitude) bei den Resonanzfrequenzen.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die MEMS-Kanal- individuelle Codierung die für jede Kipp-Achse individuelle Codierung, aber auch die kombinierte Codierung der Kippachsen beinhaltet. Anstatt ein x- und ein y-Reglersignal zu senden, kann es vorteilhaft sein, das Signal nach Betrag und Richtung zu codieren und dort dann eine optimierte Quantisierung vorzunehmen. Auch eine Vektor-Codierung in der x-y-Ebene kann vorteilhaft sein. Der Katalog an Signalsegmenten besteht dann aus 2D-Trajektorien über der Zeitachse statt 1 D-Signalverläufen über der Zeitachse.

Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf die Figur 13 das Prinzip der gebündelten Codierung oder Komprimierung und die zugehörige Reglerarchitektur beschrieben. Während sich die bisher betrachteten Regel- und Codierverfahren auf eine Betrachtung einzelner Spiegel bzw. einzelner Kippachsen innerhalb des Spiegel- Arrays 22 beschränkten, ist es auch möglich, mehrere MEMS-Kanäle gebündelt zu codieren. Dies ist insbesondere vorteilhaft, wenn Korrelationen zwischen den Auslenkungen der Spiegel-Elemente 23, insbesondere deren zu dämpfenden Störungen bestehen. Sofern beispielsweise das Spiegel- Array 22 insgesamt eine Störung erfährt, kann es genügen, nur einen einzigen Kippwinkelfehler für das gesamte Spiegel- Array 22 als Reglerinformation von der Steuereinrichtung 64 an das Spiegel- Array 22 zu übertragen. Die in Figur 13 dargestellte Architektur der Regelungsvorrichtung 61 entspricht im Wesentlichen der Architektur der Regelungsvorrichtung 61 gemäß Figur 8, auf deren Beschreibung hiermit verwiesen wird. Bei der Regelungsvorrichtung 61 gemäß Figur 13 umfasst die Steuereinrichtung 64 insbesondere eine Vielzahl von Kontrolleinheiten 931 ... 93_n. Der Kompressionsalgorithmus verarbeitet die Information, das heißt die Regelungssignale zu und/oder von mehreren der Spiegel-Elemente 23, insbesondere sämtlicher Spiegel-Elemente 23 eines der Spiegel- Arrays 22, insbesondere sämtlicher Spiegel- Arrays 22, gleichzeitig bzw. gebündelt. Hierdurch kann der Datenfluss, das heißt die pro Zeiteinheit zwischen der Steuereinrichtung 64 und den Spiegel-Elementen 23 insgesamt zu übertragende Datenmenge, erheblich redu- ziert werden. Andererseits ist hierbei die für die Regelung der einzelnen Spiegel-Elemente 23 bzw. deren Verlagerungs-Freiheitsgrade, erforderliche Information in den Dekomprimierung- seinheiten 90, 91 vollständig rekonstruierbar. Es ist auch möglich, die zur Regelung der Spiegel- Elemente 23 erforderliche Information in den Dekomprimierungseinheiten 90, 91 nur teilweise, das heißt unvollständig, zu rekonstruieren, sofern dies für die geforderte Reglerperformance aus- reichend ist.

Das externe Sensorsystem 79 kann zusätzlich zu den Monitoring Systemen 75 weitere Sensoren 94 umfassen. Die Sensoren 94 dienen insbesondere der Erfassung einer oder mehrerer Größen zur Charakterisierung der Umgebungsbedingungen der Spiegel-Elemente 23. Diese Größen sind in der Figur 13 schematisch zusammengefasst mit dem Bezugszeichen 95 versehen. Beispielsweise ist es möglich, zur Datenreduktion an sämtliche der Spiegel-Elemente 23 ein Signal zu senden, welches zu einem mittleren Kippwinkelfehler, das heißt zu einem Mittelwert der Kippwinkelfehler sämtlicher der Spiegel-Elemente 23, korrespondiert und zu jedem der einzelnen Spiegel-Elemente 23 jeweils die individuelle Abweichung von diesem mittleren Kippwin- kelfehler. Diese Abweichungen der einzelnen Spiegel-Elemente 23 desselben Spiegel- Arrays 22 können mit deutlich weniger Bits codiert werden als die Gesamtabweichungen. Die Einsparungen im Datenflussvolumen sind ähnlich wie die bei der differenziellen Codierung. Allerdings wird hier nicht zeitlich differenziert, sondern differenziell über mehrere gebündelte Datenkanäle codiert. Die individuelle Abweichung jedes der einzelnen Spiegel-Elemente 23 vom Mittelwert kann mit wenigen Bits dargestellt und übertragen werden.

Anhand der schematischen Figur 14 ist dies noch einmal verdeutlicht. In der Figur 14 ist exemplarisch der Zeitverlauf dreier zu übertragender Signale A_{l s} A₂, A₃ dargestellt. Die Signale A können beispielsweise wiederum Regler- Stellwerte oder Messgrößen darstellen. Zur Verdeutli- chung des Prinzips der gebündelten Codierung sei angenommen, dass die Signale A miteinander korreliert sind. Es gilt insbesondere: A₂ = B₂ · Ai + C₂ und

A₃ = B₃ · Ai + C₃, wobei Bi jeweils eine Konstante ist und ebenfalls als Konstante angenommen sei. Allgemein kann es sich bei um ein zeitabhängiges Signal handeln. Die Signale haben jedoch im Allgemeinen eine geringere Amplitude als die Ausgangssignale Ai. Die Figur 14 dient lediglich zur Veranschaulichung des grundlegenden Prinzips der gebündelten Komprimierung. Alternative Codierverfahren, beispielsweise ein Standard-MPEG- Verfahren, sind zur Komprimierung ebenfalls möglich.

Auch eine zweidimensionale Codierung, 2D-Codierung, ist denkbar. Eine derartige 2D- Codierung basiert auf dem Gedanken, die Informationen aller Kippwinkel und/oder Ansteue- rungsgrößen für ein Spiegel- Array 22 ähnlich einem Bild zu einem gegebenen Zeitpunkt, das heißt in diesem Kompressionsschritt ohne Nutzung zeitlicher Zusammenhänge, zu komprimieren. Bei einem Spiegel- Array 22 mit 64 · 64 Spiegel-Elementen 23, welche jeweils bezüglich zwei Achsen bzw. Positionen geregelt werden, entspricht dies einem Bild mit 64 - 64 - 2 Pixel = 8192 Pixel, welches vor dem Senden von der Steuereinrichtung 64 zum Spiegel- Array 22 komprimiert wird. Werden beispielsweise bei einer optischen Anwendung mit der Mehrheit der Spiegel-Elemente 23 eines Spiegel- Arrays 22, beispielsweise mit 3500 Spiegel-Elementen 23, eines 64 · 64 Spiegel-Elemente 23 umfassenden Spiegel- Arrays 22, die Formen von global gekrümmten optischen Elementen nachgebildet, dann stehen viele Spiegel auf einem ähnlichen Kippwinkel. Insbeson- dere stehen benachbarte Spiegel-Elemente 23 auf sehr ähnlichen Kippwinkeln. Bei einer derartigen Situation kann auch die Anwendung eines Deflate- Algorithmus, beispielsweise gemäß dem Verfahren zur Erzeugung eines Bildes im PNG-, TIFF- oder GIF-Format, verwendet werden. Der Deflate- Algorithmus prädiziert in manchen Ausprägungen unter anderem den Wert von einem Pixel zum nächsten und speichert bzw. codiert lediglich den Prädiktionsfehler. In Regionen, das heißt Bereichen, mit Spiegel-Elementen 23, deren Kippwinkel sich wenig von dem des benachbarten Spiegel-Elements 23 unterscheidet, arbeitet der Algorithmus sehr effizient. Er kann sowohl zur Kompression der Kippwinkeldaten als auch der Regeldifferenz als auch bei abgeleiteten Größen, insbesondere bei der zeitlichen Ableitung der Kippwinkel, eingesetzt werden. Aus dem Gebiet der Bildkompression sind viele weitere Verfahren bekannt, um derartige Informationen effizient zu komprimieren. Es kann sich hierbei um eine verlustfreie oder um eine verlustbehaftete Komprimierung handeln. Die reduzierte Datenmenge ermöglicht eine Übertragung der Informationen mit geringen Latenzzeiten und ermöglicht dadurch eine schnelle Regelung zur aktiven Dämpfung der Spiegel-Elemente 23.

Die Kompression kann beispielsweise auch auf die mittels des Sensorsystems 79 ermittelten Kippwinkel oder anderen Messgrößen angewendet werden. Sie kann auch auf abgeleitete Regelgrößen, insbesondere die Regeldifferenz oder die zeitliche Ableitung der Regeldifferenz, angewendet werden. Da die Spiegel-Elemente 23 mit vergleichbaren Verlagerungs-Positionen übli- cherweise auch ähnliche Störungen, beispielsweise durch Vibrationen, erfahren, ist die oben geschilderte 2D-Kompression auch auf solche Größen sehr effizient anwendbar, die nicht direkt die Kippwinkel selbst darstellen, sondern aus den aktuellen Kippwinkeln abgeleitet sind, beispielsweise die zeitliche Ableitung oder die Regeldifferenz. Im Folgenden wird ein weiteres vorteilhaftes Codierungsverfahren beschrieben. Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass ähnlich wie beim Schritt von einer Einzelbildkompression zur Kompression eines Videostreams auch bei der Kompression der Ansteuerungsgrößen innerhalb der äußeren Regelungsschleife 62, insbesondere innerhalb der schnellen Kippwinkelregelung, die Information aus der Vergangenheit, insbesondere die Information über die zeitliche Entwicklung der Kippwinkel, insbesondere die Information des letzten vorangegangenen Zeitpunkts, genutzt werden kann, um die aktuelle Information zu komprimieren. Es wurde insbesondere erkannt, dass es vorteilhaft sein kann, die gebündelte Codierung über mehrere der Spiegel-Elemente 23 auch über die zeitliche Dimension auszudehnen. Dies ist insbesondere vorteilhaft, da das dynamische Verhalten der Spiegel-Elemente 23 gut mit Modellen beschreibbar ist.

Ein Beispiel für eine Störgröße, die zu zeitlich stark korrelierten Reglerfehlern zwischen einzel- nen Kanälen und damit zu stark korrelierten Kommunikationssignalen führt, sind Anregungen durch Pulse bzw. Pulsfolgen der Beleuchtungsstrahlung 14. Die Signalform ist hierbei für die verschiedenen Spiegel-Elemente 23 strukturell sehr ähnlich. Sie kann sich jedoch in Richtung und Amplituden zwischen den einzelnen Spiegel-Elementen 23 unterscheiden. Die Richtung und Amplitude lässt sich jedoch zumindest teilweise direkt aus den Kippwinkelsollwerten ableiten. Sofern die konstanten Sollwerte der Codiereinheit 81 und der Decodiereinheit 82 vorliegen, kann es beispielsweise genügen, für jedes Spiegel- Array 22 nur ein einziges Muster-Reglersignal zu übertragen. Die Decodierung kann dann unter Einbeziehung des hier zeitlich konstanten Kippwinkelsollwerts für jedes der Spiegel-Elemente 23 individuell erfolgen. In einer vorteilhaften Ausführungsform können außerdem noch Variationen zwischen den einzelnen Spiegel- Elementen 23 innerhalb eines Spiegel- Arrays 22 übertragen werden. Da dies jedoch nur geringe Modellabweichungen sind, kann diese Information wiederum mit wenigen Bits codiert werden. Diesbezüglich sei auf die vorangegangene Beschreibung der differenziellen Übertragung verwiesen. Bei einer aktiven Dämpfung der Spiegel-Elemente 23 muss sehr schnell abgetastet werden. Dies führt dazu, dass Kippwinkeländerungen zwischen zwei aufeinanderfolgenden Abtastzeitpunkten eher klein sind. Es ist daher zur Reduzierung des Datenflusses vorteilhaft, nur die Änderung der Kippwinkel von der Steuereinrichtung 64 an das Spiegel- Array 22 zu übertragen. Die zeitliche Änderung des Kippwinkels, das heißt die Differenz der Kippwinkelwerte zu zwei aufeinander- folgenden Zeitpunkten, ist im Range beschränkt. Die Wahrscheinlichkeitsdichte der Änderungen ist mit anderen Worten derart, dass nur kleine Bereiche des möglichen Kippwinkelrange übertragen und damit quantisiert werden müssen. Die vorhergehend geschilderte nichtlineare Quantisie- rung kann hier gewinnbringend angewendet werden. Durch diese zeitliche Kompression wird die Anzahl der erforderlichen Bits stark reduziert.

Um die Datenmenge weiter zu reduzieren, kann in einem nachfolgenden Schritt dann auf den bereits reduzierten Datensatz die geschilderte 2D-Kompression angewendet werden.

Eine derartige Kombination einer 2D-Codierung unter Hinzunahme des zeitlichen Aspekts, das heißt unter Einbeziehung der zeitlichen Dimension, wird auch als 3D-Codierung bezeichnet. Im Folgenden wird ein Regelablauf 99 anhand des Ablaufs einer 3D-Codierung zum Abtastzeit- punkt n noch einmal anhand der Figur 16 geschildert. Zunächst werden in einem Messschritt 100 die aktuellen Kippwinkel der Spiegel-Elemente 23 gemessen. Zur Messung bzw. Erfassung der Kippwinkel dient insbesondere das Sensorsystem 79.

Die Kippwinkel der x · y Spiegel-Elemente 23 des Spiegel- Arrays 22 zum Zeitpunkt n seien mit a(x,y,n) bezeichnet.

Für die nachfolgende Diskussion sei angenommen, die Kippwinkel α und deren Differenzen e(x,y,n): = a(x,y,n) - a(x,y,n-l) seien mit 16 Bit quantisiert. Eine hiervon abweichende Quantisierung ist selbstverständlich möglich.

Nach dem Messschritt 100 werden als nächstes die Differenzen e(x,y,n) in einem Differenzierungsschritt 101 berechnet.

Sodann wird in einem zeitlichen Kompressionsschritt 102 ein Datensatz e_quant(x,y,n) durch Limi- tierung des Wertebereichs der Differenzen e(x,y,n) und nichtlineare Quantisierung innerhalb des beschränkten Wertebereichs berechnet. Für den Datensatz e_quant(x,y,n) genügen beispielsweise lediglich 5 Bit pro Pixel.

Sodann wird in einem örtlichen Kompressionsschritt 103 der Datensatz e_quant(x,y,n) durch 2D- Bildkompression, insbesondere durch einen Deflatealgorithmus, komprimiert. Hierdurch lässt sich das Datenvolumen beispielsweise nochmals auf ein Fünftel reduzieren. Somit liegen nach dem zeitlichen Kompressionsschritt 102 und dem örtlichen Kompressionsschritt 103 statt 16 Bit pro Pixel im Mittel nur noch 1 Bit pro Pixel vor. Der entsprechende Datensatz sei mit

ekomb(x,y,n) bezeichnet. Das Gesamtdatenvolumen konnte somit wesentlich reduziert werden. Sodann wird der Datensatz ekom_P(x,y,n) in einem Übertragungsschritt 104 von der Steuereinrichtung 64 zum Spiegel- Array 22 übertragen. Der Datensatz ekom_P(x,y,n) wird insbesondere an die Decodiereinheit 82 oder die Dekomprimiereinheit 90 übertragen. Hier werden die Daten

ekom_P(x,y,n) entpackt, das heißt decodiert und/oder dekomprimiert. Mit anderen Worten wird der komprimierte Datensatz ekom_P(x,y,n) in einem Decodierungsschritt oder Dekompressionsschritt

105 decodiert und/oder dekomprimiert und der ursprüngliche Datensatz e(x,y,n) berechnet. Auf Grundlage des Datensatzes e(x,y,n) werden die Stellgrößen in einem Aktualisierungsschritt

106 mit neuer Information e(x,y,n) oder a(x,y,n) aktualisiert. Das heißt, es erfolgt die Ansteue- rung der Aktuatoren der Spiegel-Elemente 23 mit den aktualisierten Werten.

In einem darauffolgenden Update-Schritt 107 werden die Werte der Kippwinkel α in der Codier- einheit 81 auf die neuen Werte, das heißt die Werte zum Zeitpunkt n, das heißt auf die Werte a(x,y,n), gebracht.

Sodann wird der Regelzyklus 99 mit dem nächsten Messschritt 100 wieder begonnen. Bei einer Datenrate von 100 Mbit/s zu jedem der Spiegel- Arrays 22 lassen sich 8192 Bits in ca. 0,08 ms übertragen. Für ein Spiegel-Element 23 mit einer Resonanzfrequenz von 100 Hz würde die ca. 0,08 ms Übertragungszeit bei Resonanz einem Phasenverlust von etwa 2,88° entsprechen. Für eine aktive Dämpfung bei Resonanzfrequenz ist dies im realistischen Bereich und lässt noch etwas Spielraum für weitere Latenzzeiten in der Regelungsschleife 62. Derartige Latenzzeiten können beispielsweise für die Kippwinkelmessung und/oder die Datenkomprimierung und/oder die Datendekomprimierung verwendet werden.

Ähnlich wie bei der Bildkompression können auch Modelle zur Repräsentation der zeitlichen und örtlichen Änderungen der Kippwinkel kombiniert zum Einsatz kommen. Die örtliche Koor- dinate bezeichnet in diesem Zusammenhang die Lage des Spiegel-Elements 23 im Spiegel- Array 22. Wenn sich beispielsweise eine Art Kippwinkel-Störwelle örtlich auf dem Spiegel- Array 22 ausbreitet, kann dies als Grundlage für eine weitere Datenreduktion durch verbesserte Prädiktionen der Kippwinkel verwendet werden, ähnlich der Verschiebung von Bildblöcken bei der Bildkom- pression. Prädiktion in diesem Kontext bedeutet, dass die Kippwinkel zu einem gegebenen Zeitpunkt aus denen der vorausgegangenen Zeitpunkte, insbesondere aus denen des unmittelbar vorausgegangenen Zeitpunkts, prädiziert werden, damit nur Prädiktionsparameter und Prädikationsfehler übertragen werden müssen. Der Empfänger, insbesondere die Decodier- oder De- komprimiereinheit 82, 90 oder die Kontrolleinheit 70 oder die Elektronik auf dem ASIC 52, kennt das Prädiktionsmodell und kann aus dem Prädiktionsparametern und dem Prädiktionsfehler die volle Information extrahieren, insbesondere verlustfrei extrahieren.

Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf die Figur 15 ein weiteres Verfahren beschrieben, mit welchem die Codierung und Decodierung der Reglersignale verbessert werden kann. Die Codie- rung und Decodierung muss nicht zwangsläufig nach physikalischen Einheiten gruppiert sein. Je nach Adressierungsverfahren der Datenübertragungseinrichtung können die Codier/Decodier- Pakete auch durch eine Umsortierung so arrangiert werden, dass die Datenreduktion optimal ist. Dies kann beispielsweise durch eine Clusterung von Spiegel-Elementen 23 mit ähnlichen Kippwinkel-Sollwerten in x- und/oder y-Richtung und/oder von Spiegel-Elementen 23 mit ähnlichen Kippwinkel-Beträgen und/oder von Spiegel-Elementen 23 mit ähnlichen Kippwinkel-Richtungen geschehen.

In Figur 15 ist exemplarisch erläutert, wie durch Umsortierung der Reglersignale in der Codiereinheit eine bessere Kompressions-Effizienz erreichbar ist. Als Ausgangssignal dient ein Vektor 109 mit den zu übertragenden Signalen A_{l s} A₂, A₃ .. A_n.

In einem Permutationsschritt 110 werden die Elemente des Vektors 109 mittels einer Permutationsmatrix M permutiert. Die Elemente des Vektors 109 werden insbesondere derart permutiert, dass ähnliche, insbesondere gleiche Signale benachbart zu liegen kommen. Der permutierte Vek- tor 109 weist somit Bereiche, insbesondere zusammenhängende Bereiche mit ähnlichen, insbesondere gleichen Signalbestandteilen auf. Sodann wird der permutierte Vektor in einem Komprimierungsschritt 111 komprimiert.

Sodann wird der komprimierte Vektor in einem Übertragungsschritt 112 an die Dekomprimie- rungseinheit 90 übertragen. Er wird insbesondere digital übertragen. Bei der Übertragung wird beispielsweise die Permutationsmatrix M, das Signal A_{l s} die Konstanten B₂, C₂, B₃, C₃ und die Häufigkeiten n_{l s} n₂, n₃ des Auftretens der Signale A_{l s} A₂, A₃ übertragen. Bezüglich der Bedeutung der Konstanten Bi, Ci sei auf die vorhergehende Beschreibung der gebündelten Codierung korrelierter Signale (siehe Figur 14) verwiesen. Anschließend werden die Daten in einem Dekomprimierungsschritt 113 dekomprimiert. Sie werden sodann mit Hilfe der Inversen, M^"1, der Permutationsmatrix M in einem De- Permutationsschritt 114 depermutiert.

Nach der De-Permutation liegt der Vektor 109 mit den Signalbestandteilen A_{l s} A₂, A₃ ... A_n wieder in seiner ursprünglichen Form vor. Auch hier ist es wiederum möglich, anstelle einer verlustfreien eine verlustbehaftete Komprimierung/Dekomprimierung vorzusehen.

Die vorgenannten Codierungs- Verfahren können noch weiter verbessert werden, wenn zur Codierung Vorwissen, insbesondere über Umweltinformationen, beispielsweise mit Hilfe weiterer Signale, insbesondere weiterer Messsignale, eingebracht werden. Hierdurch kann insbesondere die Datenreduktion weiter verbessert werden. Es ist insbesondere möglich, die Datenreduktion zu verbessern, indem Modelle über den Zusammenhang zwischen den Messsignalen und der Anregung der Spiegel-Elemente 23 eingesetzt werden. Derartige Modelle ermöglichen insbesondere eine bessere Prädizierung der Kippwinkel bzw. Kippwinkelfehler.

Beispiele für Vorwissen und/oder Umweltinformationen sind unter anderem die Kippwinkel- Sollwerte, die Temperatur, der Temperaturverlauf, die Charakteristika der Beleuchtungsstrahlung, insbesondere die Aktivierung der Strahlungsquelle 3, insbesondere die Aktivierungszeit- punkte und/oder die Aktivierungsfrequenz und/oder die Intensität der emittierten Beleuchtungs- Strahlung 10. Weitere Umweltinformationen, die vorteilhaft verwendet werden können, sind Bewegungen des Waferhalters und/oder Bewegungen des Retikelhalters, Messdaten von Dosis- Sensoren und Messdaten von globalen Beschleunigungssensoren. Auch wenn die vorhergehend geschilderten Codierungsverfahren teilweise losgelöst von den anderen Codierungsverfahren beschrieben wurden, ist eine Kombination der geschilderten Codierungsverfahren möglich.

Claims

Patentansprüche:

1. Vorrichtung (61) zur Regelung der Positionierung einer Vielzahl von verlagerbaren Spiegel- Elementen (23) einer Vielspiegel- Anordnung (22) umfassend

1.1. eine Steuereinrichtung (64), welche

1.1.1. separat von der Vielspiegel- Anordnung (22) ausgebildet ist und

1.1.2. über mindestens einen ersten Datenkanal (63) in datenübertragender Weise mit der Vielspiegel- Anordnung (22) verbunden ist, und

1.2. mindestens eine Kontroll-Einheit (70), welche in signalübertragender Weise mit mindestens zwei Eingängen (71, 72) verbunden ist und einen einzigen, gemeinsamen Ausgang (63) aufweist,

1.3. wobei der mindestens eine erste Datenkanal (63) für jedes der verlagerbaren Spiegel- Elemente (23) jeweils eine Bandbreite von mindestens 1 kHz aufweist.

2. Vorrichtung (61) gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Datenkanal (63) mit einem Digital- Analog- Wandler (73) in signalübertragender Weise verbunden ist.

3. Vorrichtung (61) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie mindestens eine Sensor-Einrichtung (75, 76, 79) mit einer Abtastfrequenz von mindestens 1 kHz für jeden geregelten Verlagerungs-Freiheitsgrad der Spiegel-Elemente (23) umfasst.

4. Optisches Bauelement umfassend

4.1 eine Vielspiegel- Anordnung (22) mit einer Vielzahl von Spiegel-Elementen (23) und 4.2. eine Vorrichtung (61) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche.

5. Optisches Bauelement gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass zur Aktuierung der Spiegel-Elemente (23) analoge Schaltkreise vorgesehen sind, wobei die analogen Schaltkreise bezüglich der Positionsregelung rückkopplungsfrei ausgebildet sind.

6. Verfahren zur Regelung der Positionierung einer Vielzahl von Spiegel-Elementen (23) einer Vielspiegel- Anordnung (22) umfassend die folgenden Schritte: Bereitstellen einer Vielspiegel- Anordnung (22) mit einer Vielzahl von mittels Aktuato- ren verlagerbaren Spiegel-Elementen (23),

Bereitstellen einer Steuereinrichtung (64) zur Erzeugung von Signalen zur Betätigung der Aktuatoren zur Verlagerung der Spiegel-Elemente (23),

- Erzeugung eines Datenstroms mit Signalen zur Aktivierung der Aktuatoren mittels der

Steuereinrichtung (64),

Übertragung des Datenstroms mittels mindestens eines ersten Datenkanals (63) zur Vielspiegel- Anordnung (12),

wobei der mindestens eine erste Datenkanal (63) eine Datenrate aufweist, die eine Bandbreite unterstützt, welche mindestens doppelt so groß ist wie eine Resonanzfrequenz (f_res) eines der Spiegel-Elemente (23).

7. Verfahren gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Datenkanal (63) einen maximalen Datenfluss von höchstens 40 kbit/s pro Spiegel-Element (23) aufweist.

8. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 6 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass Positionierungen der Spiegel-Elemente (23) und/oder Änderungen derselben mittels mindestens einer Sensor-Einrichtung (75, 76; 79) erfasst werden.

9. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Datenkanal (63) eine Kanalstruktur mit mindestens zwei Kommunikationskanälen umfasst.

10. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der von der Steuereinrichtung (64) erzeugte Datenstrom codiert wird.

11. Beleuchtungsoptik (4) für eine Projektionsbelichtungsanlage (1) umfassend mindestens optisches Bauelement gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5. 12. Beleuchtungssystem (2) für eine Projektionsbelichtungsanlage (1) umfassend

12.1. eine Beleuchtungsoptik (4) gemäß Anspruch 11 und

12.2. eine Strahlungsquelle (3).

13. Projektionsbelichtungsanlage (1) für die Mikro lithographie umfassend

13.1. eine Beleuchtungsoptik (4) gemäß Anspruch 11 und

13.2. eine Projektionsoptik (7).

14. Verfahren zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauelements umfassend die folgenden Schritte:

- Bereitstellen eines Substrats, auf das zumindest teilweise eine Schicht aus einem lichtempfindlichen Material aufgebracht ist,

- Bereitstellen eines Retikels (5), das abzubildende Strukturen aufweist,

- Bereitstellen einer Projektionsbelichtungsanlage (1) gemäß Anspruch 13,

- Projizieren wenigstens eines Teils des Retikels (5) auf einen Bereich der lichtempfindlichen Schicht des Substrats mit Hilfe der Projektionsbelichtungsanlage

(1)·

15. Bauelement hergestellt nach dem Verfahren gemäß Anspruch 14.