JP2017510748A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 回転軸を有する回転体として成形されるゲッターポンプケーシングと、
   前記ゲッターポンプケーシング内に載置される複数のゲッターカートリッジと、を備えるゲッターポンプであって、
   各ゲッターカートリッジが、直線状の中心支持体と、前記直線状の中心支持体に載置され、間隔が空けられた複数のゲッター要素と、を備え、
   前記回転軸に直交し、直線状の中心支持体の中点と交差するゲッターカートリッジ位置決め平面に沿って各ゲッターカートリッジが位置し、
   各ゲッターカートリッジにおいて、前記位置決め平面と前記直線状の中心支持体とによって形成される角度が３５°から７５°であることを特徴とする、ゲッターポンプ。
2. 前記直線状の中心支持体の各々が、前記ケーシングの壁に平行である、請求項１に記載のゲッターポンプ。
3. 各ゲッターカートリッジにおいて、前記直線状の中心支持体の少なくとも第１の端部が、前記ケーシングに接触する、請求項１に記載のゲッターポンプ。
4. 前記少なくとも１つのゲッターカートリッジの直線状の中心支持体の第２の端部が、支持体要素に接触する、請求項３に記載のゲッターポンプ。
5. 前記支持体要素が、前記回転軸と同軸である、請求項４に記載のゲッターポンプ。
6. 前記ケーシングが、一端部がベースによって閉じられ、反対側の端部がフランジによって閉じられる、請求項１に記載のゲッターポンプ。
7. 前記ケーシングが開口端部を有する、請求項１に記載のゲッターポンプ。
8. １つのゲッターカートリッジにおける少なくとも１つの角度が、他のゲッターカートリッジにおける１つ又はそれ以上の他の角度と異なる、請求項１に記載のゲッターポンプ。
9. 請求項１に記載のゲッターポンプに結合される真空ポンプを備えるポンプシステム。