JP2017508924A - 電磁バルブ - Google Patents

Abstract

電磁バルブは、ハウジングと、励磁電流を通電されるコイルによって囲まれた磁性材料のコア（３´）と、前記コア（３´）に向かって空間を有して前記ハウジングに取り付けられるバルブシートと、前記バルブシートの少なくとも１つの出口及び前記空間を介して連通する少なくとも１つの入口と、前記空間に配置される磁性材料のバルブワッシャ（９´）とを備える。バルブワッシャは、互いに少なくとも部分的に移動可能な多数の積層されたプレート（９１，９５，９６）によって形成されている。【選択図】図１０

Description

本発明は、バルブ、特に電気機械式バルブに関するものである。

今日の電気機械式バルブの欠点には、効率の低さ、応答時間の長さ、感度の悪さ、消耗、粘着及び作動媒体漏れである。電磁バルブの性能を改善できる１つのタイプの電磁バルブは、国際公開第２００８／１５６４０５号に記載されている。

電磁バルブの性能及びロバスト性を改善することが常に必要とされている。このため、電磁バルブの改良が必要とされている。

本発明の目的は、従来の電磁バルブの欠点を克服、あるいは、少なくとも部分的に削減することと、改良された電磁バルブを提供することである。

この目的、その他は、少なくとも部分的に、添付の特許請求の範囲に記載されるように、本発明に係る電磁バルブによって達成される。

一般に、電磁バルブが設けられている。バルブは励磁電流を付与されたコイルに囲まれた電磁材料のコアを備える。バルブは、コイルに付与される励磁電流に応じてバルブを開閉するために、空間に配置された磁性材料のバルブワッシャを備える。バルブワッシャは、加圧されたときにスプリング力を付与する複数の積層されたプレートによって形成される。プレートは、少なくとも一方向で互いの関係を少なくとも部分的に変換可能である。

また、バルブは、構成要素が収容されるハウジングを備える。

一実施形態に係る電磁バルブが設けられている。バルブはハウジングを備える。ハウジングには、励磁電流を付与されるコイルに囲まれた電磁材料のコアが収容されている。また、ハウジング又はバルブの他の部分に取り付けることができるバルブシートを備える。バルブシートと共に空間が設けられている。空間はバルブシートとコアの間に配置することができる。バルブは、バルブシートに少なくとも１つの出口、空間を介して連通する少なくとも１つの入口、及び、コイルに付与された励磁電流に応じてバルブを開閉するために空間に配置された磁性材料のバルブワッシャを備える。バルブワッシャは、圧縮されるとスプリング力を付与する積層プレートによって形成されている。積層プレートは磁性材料、すなわち磁気が伝わる材料で構成されている。幾つかの実施形態では、各積層プレートは実質的に同一である。バルブワッシャは、バルブワッシャを吸引するためにコイルが励磁される際に圧縮される。プレートは少なくとも１つの方向に部分的に移動可能である。これにより、スプリング力が改善される。また、バルブワッシャの設計は、プレートが互いの関係を僅かに移動させることで簡単になる。

一般に、プレートは０．０２〜０．６ｍｍの厚さと可撓性を有する。幾つかの実施形態では、プレートの数は２〜７０の範囲である。また、幾つかの実施形態では、上下プレートは他のプレートとは異なる材料で形成されると共に異なる形状に形成することができる。幾つかの実施形態では、互いに協働する少なくとも２枚のプレートは実質的に同一である。少なくとも２枚のプレートには、他の寸法又はここで記載されるような他の材料で形成された外側プレートを追加できる。

一実施形態では、プレートは互いに一部を固定されている。プレートは互いに継手で固定できる。幾つかの実施形態では、継手のボルトはシールされており、ボルトはボルトシートに対向している。他の部分では、プレートは互いに固定されていないため、他の部分では移動可能である。これにより、積層された薄いプレートは一部分で固定され、他の部分では移動可能である。

一実施形態では、プレートはほぼ円形で、互いに中央部で固定されている。

一実施形態では、プレートはほぼ矩形で、互いに端部で固定されている。

幾つかの実施形態では、プレートにはスリットが設けられている。一実施形態では、プレートはほぼ円形で、スリットは径方向に設けられている。スリットの幅は、プレートの周縁に向かって径方向に増大するように形成することができる。また、スリットはプレートの周辺の全方向に延ばすことができる。また、上下プレートは他のプレートは異なる形状に形成されたスリットを有することができる。例えば、上下プレートは、他のプレートのスリットよりも大きなスリットを有することができる。

本発明に係るバルブは、短い開閉時間で制御可能なロバスト電磁バルブを提供するので、作動媒体の流れと圧力を正確に制御できる。

一の実施形態に係る電磁バルブの軸方向断面図である。 一の実施形態に係るバルブワッシャの斜視図である。 第２実施形態に係るバルブワッシャの分解図である。 第２実施形態に係るバルブワッシャの分解図である。 第２実施形態に係るバルブワッシャの分解図である。 第２実施形態に係るバルブワッシャの図である。 第２実施形態に係るバルブワッシャの図である。 第２実施形態に係るバルブワッシャの図である。 第２実施形態に係るバルブワッシャの図である。 異なるタイプの電磁バルブの図である。 異なるタイプの電磁バルブの図である。 第３実施形態に係る他のバルブ及びバルブワッシャの図である。 第３実施形態に係る他のバルブ及びバルブワッシャの図である。 第３実施形態に係る他のバルブ及びバルブワッシャの図である。 電磁バルブを駆動するための駆動回路の図である。

図１では、一の実施形態に係る電磁バルブ１、すなわち空気バルブの軸方向断面図が示されている。バルブは空気以外の他の流体を操作するように設計できる。

バルブ１は、非磁性材料、例えばアルミニウムのハウジング２を備える。ハウジング２の内部には、磁性材料のコア３が配置されている。コア３はコイル５によって囲まれた中心を伸長する中心配置部４を有する。一の実施形態では、コア３は、大略、コップ形状に形成されている。他の形状、例えばＥ字状とすることも可能である。

一の実施形態では、中心配置部４がコップ状に形成された磁性コア３の縁に延びている。但し、中心配置部４は、コアの壁高さよりも短くても長くてもよい。

コイル５には、例えば、図１３と共に後述する電流源から、端子を介して励磁電流が流れる。

コイル５が低インダクタンスを有し、端子に接続される電流源は電流発生特性を有するのが好ましい。

また、アルミニウム等の非磁性材料のバルブシート６は、例えば、ネジ（図示せず）によって、コア３に繋がる空間を備えたハウジング２に取り付けられる。

さらに、バルブ１は出口７を有する。一の実施形態では、バルブシート６は中心に配置した出口７を有する。他の実施形態では、１以上の出口７が設けられている。

さらにまた、バルブ１は入口８を備える。一の実施形態によれば、バルブ１は出口７から径方向に離れた２つの入口８を備える。入口の数は異なる適用例に応じて変更することができる。少なくとも１つの入口８が設けられるが、それ以上が使用されてもよい。

出口７と入口８は、バルブシート６とコア３の間の空間を介して連通されている。

入口８の位置は限定されないが、入口８の位置はバルブ１の用途に依存させることができるので、バルブ１の使用分野に依存していずれの適当な位置にも配置できる。

幾つかの実施形態によれば、磁性材料のバルブワッシャ９は、バルブシート６とコア３の間に配置されている。後述するように、バルブワッシャは、バルブを閉鎖する第１位置と、バルブが開放状態の第２位置との間を移動する異なる位置に配置できる。

一の実施形態によれば、ワッシャ９は、そこから延びるスプリングリブに吊されて、コイル５への励磁電流を停止された状態で出口７を閉鎖し続ける。

一の実施形態によれば、ワッシャは、平バネを構成する多層の磁性材料によって形成されているので、吊される必要はないものの、必要なスプリング力自体は付与できる。換言すれば、バルブワッシャ９は、バルブシート６とコア３の間に形成される空間内に配置されている。磁性材料のワッシャが電磁コイルによって吸引されると、バルブワッシャの一部は、コイルに向かって移動し、バルブを開閉させる。バルブワッシャの他の部分は制限されない。制限は、例えば、図１に示すように、バルブの突出部にワッシャの縁を停止させることによって得ることができる。他の実施形態では、積層プレートの一部は第１部位に固定でき、他の部位では移動可能である。バルブワッシャの積層プレートにより、打ち消されたスプリング力は、コイルに向かって移動可能なワッシャの一部がコイルに取り付けられるときにも生成される。

換言すれば、レンジ電流がコイル５に流れると、バルブワッシャ９はコア３と協働して、すなわち吸引されて出口７を開放する。励磁電流が流れないと、バルブワッシャは、その固有のスプリング力によって初期位置に復帰する。

幾つかの実施形態では、バルブワッシャ９は、寸法を小さく維持するために２ｍｍ以下のストロークを有しているのが好ましい。

図２には、多層の磁性材料によって形成されたバルブワッシャ９の両側からの斜視図が示されている。多層は、電流によって全く励磁されていないと、ワッシャをシートに向かって復帰させることができる平バネワッシャを構成する。

図３には、他の実施形態のバルブワッシャ９´を側方から見た分解組立図が示されている。バルブワッシャ９´は、電磁材料からなる多層のプレート９１によって構成されている。上面に積層されたプレート９１は、コアが励磁されていないとき、バルブワッシャをそのシートに向かって復帰させる平バネワッシャを構成する。各プレート９１は、例えば、ステンレス鋼等の軟磁性材料からなる薄肉シートによって構成されている。また、バルブワッシャ９´は、ナット９２及びボルト９３によって形成されたボルト継手を備える。ボルト９３には、樹脂材料からなるシール９４が取り付けられ、バルブが閉鎖されるとき、バルブシートのシール性を高める。また、積層プレート９１の上プレート及び下プレートの一方又は双方は、図３中、９５及び９６で示され、他のプレート９１よりも厚いか、あるいは、他のプレート９１とは異なり、非磁性材料等の他の材料で設計されてもよい。このように、幾つかの実施形態によれば、プレート９５，９６は積層プレート９１の他のプレートとは異なるように設計されている。特に、このプレートはバルブワッシャの他のプレートよりも厚いか、あるいは、非磁性材料等の他の材料で構成できる。これは、プレート９５，９６が、他のプレートよりも高い機械的負荷に耐え、プレート９５，９６に他の特性、例えば、他のプレートよりも耐摩耗性を高くすることにより、特に、さらに他の実施形態では、外側プレートの一方又は双方が安価な交換部品として容易に取替可能に設けられるならば、バルブワッシャとバルブの予想耐用期間を延ばすことができる点で有利である。

図４及び図５には、図３のバルブワッシャが、上方及び下方からの各分解斜視図として示されている。図４及び図５に示すように、バルブワッシャ９´の各層９１はほぼ円形の外形を有し、層９１の厚さは全体に薄い。一般に、バルブワッシャの層のプレートの寸法は、０．０２〜０．６ｍｍ厚とできる。幾つかの実施形態では、プレートは、約０．０３〜０．０７ｍｍ、例えば、約０．０５ｍｍの厚さを有する。一の実施形態では、プレートは均一の厚みを有する。幾つかの実施形態では、バルブワッシャ９´の直径は、１０〜１００ｍｍとできる。

また、バルブワッシャを形成する積層薄肉プレート９１の数は変更することができる。幾つかの適用例では、薄肉プレートの数は２〜７０の範囲とできる。他の適用例では、プレート９１の数は３〜４０又は５〜２０の範囲である。幾つかの実施形態では、互いに協働する少なくとも２つのプレートはほぼ同一構成である。これらのプレートには、以下に記載するように、異なる寸法を有するか、あるいは、他の材料で作成された外側プレートを追加できる。

幾つかの実施形態では、プレートの形状は円弧状又は円形状以外である。例えば、プレートの外形は、図１２に従って後述する実施形態等の略矩形状とできる。

また、プレート９１、特に各プレート９１には、径方向に延びるスリット９７を設けることができる。一の実施形態では、スリットは、プレートの外縁に向かって径方向に幅が大きくなっている。これにより、中心部から延びる多数のＴ形状の舌部を有する円形状のバルブワッシャが形成される。特に、外方プレートはＴ形状の舌部を有することができる。Ｔ形状の外方舌部は、摩擦面を広く維持しながら、優れた弾性特性を提供する。また、幾つかの実施形態では、バルブワッシャの上プレート９５及び下プレート９６は、バルブワッシャの他のプレート９１のスリットとは異なる形状に形成されたスリットを有することができる。特に、バルブワッシャ９´の外方プレートのスリット９８は、他のプレート９１の対応するスリット９７よりも大きく、すなわちプレートから切り取られた広い領域を有することができる。スリットの正確な形状は、適用例に依存して変更できる。スリットの設計は、バルブワッシャに必要な弾性特性を選択するために使用できる。また、スリットの設計は、バルブワッシャの磁気特性を選択するために使用できる。例えば、スリットで除去される材料が少なければ少ないほど、バルブワッシャのプレートはより多くの磁性材料を有することになるので、より高い磁気流量を発生させることができる。

図６及び図７は、バルブワッシャ９´の平面図及び底面図をそれぞれ示す。

上述のように、幾つかの実施形態では、バルブワッシャ９´の上プレート又は下プレートは他のプレートとは異なる設計が行われる。上プレート及び下プレートは、ワッシャに摩擦を付与するために、バルブワッシャの他のプレートよりも厚く形成し、他の材料で製作できる。また、ワッシャ９５及び９６は、バルブワッシャ９´の安定性を増すことができ、バルブワッシャ９´を取り扱う際のロバストを促進可能とする。これは、図８と、その詳細を示す図９とに図示されている。したがって、図９では、外方プレート９５及び９６は、その間に位置する他のプレートよりも厚くなっている。

上述のように、一の実施形態では、バルブワッシャ９，９´，９″のプレート９１は、ボルト継手によって固定されている。特に、全プレートの中心部に１つのボルト継手が設けられ、バルブシートとコアの間の空間内を移動可能な単一のユニットとしてバルブワッシャを一体的に維持する。バルブワッシャの個々のワッシャ又はプレートを固定する他の方法を考えることができる。例えば、バルブワッシャを形成する、プレートが積層されたパッケージは、一体的に把持、接着又は溶接することができる。使用される方法にも拘わらず、一般に、少なくともバルブワッシャの幾つかの部位では、バルブワッシャの個々のプレートの間への配置を可能とする固定方法を使用することができるという利点がある。そしてこのように、プレートは、少なくとも部分的に、径方向等の少なくとも１つの方向で互いに関連して配置することができる。一の実施形態では、プレートは中心部で互いに固定され、プレートの外方部でプレートの径方向に互いに関連して配置することができる。これにより、励磁中に圧縮され、非励磁中に非圧縮となる（スプリングが復帰する）とき、バルブワッシャの個々のプレート又はワッシャの間をスライドする点で、固定位置の外側で、僅かに略径方向に移動可能となる。さらに移動、例えば、バルブワッシャの個々のワッシャの間の径方向の移動は、バルブの開放位置及び閉鎖位置に対応する２つの位置の間を移動可能な空間内でバルブワッシャの動きを減衰させることに寄与する。

バルブ１は、ここに記載するように、バルブワッシャ９，９´及び９″を使用する他のデザインとすることができる。

一般に、バルブウォッシャ９，９´,９″はバルブ内の空間に配置され、電磁石によって生成される磁場に対して２つの位置の間を移動する。２つの位置はバルブの開状態及び閉状態に対応させることができる。ここで、幾つかの異なる設計のオプションについて記載する。

図１０には、ここで記載したバルブワッシャ９´，９″有するバルブ１´が図示されている。バルブワッシャは、バルブシートとコア３´の間の空間１０´内を移動可能である。バルブ１´は、「常閉」とできる。これにより、コア３´を磁化するコイルに通電されないとき、バルブワッシャは開口７´を閉鎖するシートに吊される。コアが磁化されるとき、バルブワッシャここではバルブワッシャの中心部がコイルに向かう空間内を移動し、入口８から出口６への溝を開口し、例えば、圧縮空気がバルブ１´通過して流動可能となる。コアが非磁化されるとき、バルブワッシャは、バルブが開口されたときに得られるスプリング力によって復帰する。

図１１には、バルブ１´と同様なバルブ１″が示されている。しかしながら、バルブ１″は「常開」のラベルを付与できる。これにより、コア３″を磁化するコイルに電流が流れていないとき、バルブワッシャは、バルブシートから離れた位置に吊される。コアが磁化されるとき、バルブ１″内のバルブワッシャはバルブ１″を閉鎖するバルブシートに引っ張られる。コアが非磁化されるとき、バルブワッシャはバルブが閉鎖されるときに得られるスプリング力によって復帰する。

図１２ａには、バルブ１´´´のさらに他の実施形態が図示されている。理解を容易にするために、バルブ１´´´の一部のみが図１２ａに図示されている。バルブは、ハウジング（図示せず）内にコア３´´´を備える。コア３´´´は、コイル５´´´によって磁化できる。コイル５´´´は、Ｕ字状のコアの一方の脚部に巻付け可能であるのが好ましい。さらに、バルブ１´´´は、バルブワッシャ９´´´を備える。バルブワッシャ９´´´は、コア３´´´に取り付けた一端部に位置する。Ｕ字状のコアの場合、バルブワッシャ９´´´はＵ字状のコアの一端部に取り付けることができる。バルブワッシャ９´´´の他端部は、バルブシート（図示せず）とコア３´´´の間の空間に配置することができる。特に、他端部はＵ字状のコアの他端部に閉接続で設けることができる。コアが磁化されるとき、バルブワッシャはコアと協働して２つの位置の間で移動する。バルブワッシャがコア３´´´によって吸引される一方の位置と、コア３´´´が磁化される他の位置とである。バルブワッシャは、そのスプリング力を使用する初期位置に復帰する。さらに、バルブワッシャ９´´´は口部２９を備えた外方端部を有する。口部はバルブ１´´´の入口又は出口（図示せず）に接続できる。バルブワッシャがコイル５´´´に流れる励磁電流に応じて２つの位置の間を移動するとき、口部２９はバルブ１´´´から入口又は出口を開放又は閉鎖するように作動する。

図１２ｂには、入口及び出口を共に制御可能なバルブ１´´´が示されている。また、図１２ｂには、図１２ａに図示されたバルブワッシャ等が配置された２つのバルブ４１及び４２が配設されている。入口は第１バルブ４１によって制御され、出口は第２バルブ４２によって制御される。

図１２ｃには、図１２ａ及び図１２ｂのバルブワッシャ９´´´がより詳細に示されている。バルブワッシャ９´´´は多数の積層プレート４１で構成されている。プレートはほぼ矩形状とすることができる。矩形プレート５１の寸法は、上述のように、実質的に円形のプレート９１とほぼ同じとすることができる。例えば、矩形プレート５１は約１０−１００ｍｍの断面と、約０．０２−０．６ｍｍの厚さとを有することができる。一部でプレートは互い固定されている。一の実施形態では、プレートは端部で固定されている。プレートはボルト継手５２で固定できる。一の実施形態では、積層プレートはコア３´´´に直接ボルト止めされている。他の部分では、積層プレートは互いに固定されておらず、少なくとも一方向で移動可能となっている。これにより、スプリング力を得ることができ、バルブワッシャを吊す必要がないだけでなく、バルブワッシャがコアに吸引されない位置まで復帰するためにそれ自身に必要なスプリング力を提供可能となる。一の実施形態によれば、バルブワッシャ９´´´は、他の部分で個々のプレートの移動を完全に阻止することなく、制限するためのクランプ５３を有する。一の実施形態によれば、ボルト継手５２は、積層された矩形プレートの一端部に設けられ、クランプ５３は他端部に設けられている。さらに、クランプ５３は、コアの切り換えられる磁化の結果、バルブワッシャが２つの位置の間を移動するとき、入口又は出口を開放又は閉鎖するために、入口又は出口を協働するように適合されている。クランプ５３には、入口又は出口を閉鎖するときに適切なシールを得るためにシール要素を設けることができる。

なお、特定の実施形態に関連して記載した特徴は、その実施形態には限定されるものではない。これに対し、実施形態は異なる設計のオプションのみを図示する。異なる実施形態から特徴を組み合わせることが可能である。例えば、図１２ｃのバルブワッシャは他の寸法又は他の材料等による外方プレートを有することができる。

図１３には、バルブ１を駆動するために効率的な駆動電流を付与する駆動回路３０が示されている。駆動回路３０は、入力信号を出力する入力端子３１を備える。駆動回路３０は電磁コイル５のための駆動電流を供給する。一の実施形態では、駆動電流は、バルブ１を開閉するための制御回路３２によって制御されるスイッチ電流によって提供される。切替時間を制御することにより、バルブ１はミディアムフローの適正量を通過させるように制御することができる。切替は、電流感知スイッチによって行えるのが好ましい。これにより、駆動回路は、パルス幅を調整する発電機として作動できる。

電磁バルブの反応時間を短縮化可能な幾つかの適用例には有効である。短い反応時間により、多くの適用例で必要とされている、ミディアムフローのための、高いスイッチング周波数、より高い分解能、及び、広げられた操作範囲を可能とする。短い反応時間を達成するため、一の実施形態に係るコア３は、渦電流の発生を抑制する短い反応時間で磁性材料により製造することができる。これは、多層の電磁材料で製作されたプレートによってコアを製造するか、あるいは、ソマロイ（登録商標）等の短い反応時間を有する他の材料を使用することにより達成される。また、磁気材料は、電気導電性が低くなるように抵抗を大きくできる。

したがって、ここに記載するように、電磁バルブを使用することにより、改良された特性を有するバルブを得ることができる。ここに記載するように、バルブに磁気特性を有するプレートの積層組立構造を設けることにより、一及び同様な要素では、積層組立品の多数のプレート全ての大きな断面領域の統合により、適切な磁気流れの結合構造及び強度を得ることができ、励磁されている間、前記要素の力強くて速い前方への動き（バルブの開放又は閉鎖）があり、
同時に積層組立品の有効で適切な弾性特性が得られ、積層組立品の薄くて（柔軟な）多数のプレートと共に、互いに少なくとも一部が移動可能であることにより、非励磁の間、前記要素の有効で力強く速い復帰動作（バルブの閉鎖又は開放）が得られる。
また、積層組立品は、バルブの空間に配置することができるので、優れた減衰特性を有する。

そして、上述の技術に基づいて、バルブワッシャを形成する積層組立品の電磁プレートの数、厚さ、設計及び材料の選択は、容器を介して磁気流れの必要なサイズと強さに依存して行われ、これらパラメータは適用例の意図する技術分野のバルブで必要とされる力や速度に依存する。

Claims (19)

1. 励磁電流が通電されるコイル（５）によって囲まれた磁性材料のコア（３）と、
   前記コイル（５）に通電される励磁電流に応じて前記バルブを開放又は閉鎖するために、空間内に配置される磁性材料のバルブワッシャ（９）と、
   をハウジング（２）内に備え、
   前記バルブワッシャ（９）は、励磁された子オイルによって引っ張られるときの復帰のスプリング力を付与する電磁材料で製造された多数の積層プレート（９１，９５，９６）によって形成され、
   前記プレートは、少なくとも一方向に、少なくとも部分的に移動可能である電磁バルブ（１）。
2. 前記プレートは、厚さ０．０２−０．６ｍｍである請求項１に記載のバルブ。
3. 前記プレートは、１０−１００ｍｍの直径を有する請求項１又は２に記載のバルブ。
4. 前記プレートの数は、２−７０の範囲である請求項１から３のいずれか１項に記載のバルブ。
5. 上プレート（９５）又は下プレート（９６）は他のプレート（９１）とは異なる材料で製造される請求項１から４のいずれか１項に記載のバルブ。
6. 前記上プレート（９５）又は前記下プレート（９６）は、他のプレート（９１）とは異なる形状である請求項１から５のいずれか１項に記載のバルブ。
7. 前記バルブワッシャがほぼ円形のプレートで形成されているとき、上プレート（９５）又は下プレート（９６）はＴ字状の舌片で構成されている請求項６に記載のバルブ。
8. 前記積層プレートは、一端部で互いに固定され、他端部で互いに移動可能である請求項１から７のいずれか１項に記載のバルブ。
9. 前記プレート（９１，９５，９６）は、一端部で互いに固定されている請求項１から８のいずれか１項に記載のバルブ。
10. 前記プレート（９１，９５，９６）は、バルト継手（９２，９３）で固定されている請求項９に記載のバルブ。
11. 前記ボルト継手のボルト（９３）はシール（９４）を備え、前記ボルト面はバルブシートを備える請求項１０に記載のバルブ。
12. 前記プレート（９１，９５，９６）は円形状で、中央部が互いに固定されている請求項９から１１のいずれか１項に記載のバルブ。
13. 前記プレート（９１，９５，９６）は矩形状で、端部で互いに固定されている請求項９又は１０に記載のバルブ。
14. 前記プレート（９１，９５，９６）にはスリット（９７，９８）が設けられている請求項１から１３のいずれか１項に記載のバルブ。
15. 前記プレート（９１，９５，９６）は円形状で、前記スリット（９７，９８）は径方向に設けられている請求項１４に記載のバルブ。
16. 前記スリット（９７，９８）の幅は、前記プレート（９１，９５，９６）の周縁に向かって径方向に増大する請求項１５に記載のバルブ。
17. 前記スリット（９７，９８）は、前記プレート（９１，９５，９６）の周囲の全方向に延びている請求項１６に記載のバルブ。
18. 前記上プレート（９５）又は前記下プレート（９６）は、他のプレート（９１）のスリット（９７）とは異なる形状のスリット（９８）を有する請求項１４に記載のバルブ。
19. 前記上プレート（９５）又は前記下プレート（９６）は、他のプレート（９１）のスリット（９７）よりも大きいスリット（９８）を有する請求項１８に記載のバルブ。

Images