JP2017508640A5 - - Google Patents

Description

本明細書に引用されるすべての参考文献及び刊行物は、それらが本開示と直接矛盾し得る場合を除き、それらの全容が参照により本明細書に明示的に組み込まれる。以上、本明細書において具体的な実施形態について例示及び説明したが、様々な代替的及び／又は等価的な実施形態を図示及び説明した具体的な実施形態に本開示の範囲から逸脱することなく置き換えうる点は当業者には認識されるであろう。本出願は、本明細書において検討される具体的な実施形態のいかなる適合例又は変形例をも網羅しようとするものである。したがって、本開示は、特許請求の範囲及びその等価物によってのみ限定されるものとする。開示される実施形態は例示の目的で示されるものであり、限定を目的とするものではない。本発明の実施態様の一部を以下の項目［１］−［２４］に記載する。
［１］
転写フィルムであって、
キャリアフィルムと、
前記キャリアフィルム上に配置され、かつ反射防止ナノ構造テンプレート形成部を含む、犠牲テンプレート層と、
前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部に適合する第１表面及び反対側の平面状の第２表面を有する、熱的に安定なバックフィル層と、を含む転写フィルム。
［２］
前記熱的に安定な分子種がオルガノシリコンポリマーを含む、項目１に記載の転写フィルム。
［３］
前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部が、反射防止ナノ構造を有する熱的に安定なバックフィル層を残しつつ、ベイクアウトが可能である、項目１に記載の転写フィルム。
［４］
前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部が、異方性のナノスケール形成部を含む、項目１に記載の転写フィルム。
［５］
前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部が、ナノウィスカー構造を含む、項目１に記載の転写フィルム。
［６］
前記ナノウィスカー構造が、ペリレンナノウィスカーを含む、項目５に記載の転写フィルム。
［７］
前記キャリアフィルムが、前記犠牲テンプレート層から前記キャリアフィルムを分離する剥離層を含む、項目１に記載の転写フィルム。
［８］
前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部が、前記犠牲テンプレート層のミクロ構造テンプレート形成部上に配置される、項目１に記載の転写フィルム。
［９］
転写フィルムの形成方法であって、
犠牲材料の層を反応性イオンエッチングして、反射防止ナノ構造テンプレート形成部を形成することと、
前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部上に熱的に安定なバックフィル材料をコーティングして、前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部に適合する第１表面及び反対側の平面状の第２表面を有し、積層転写フィルムを形成する、熱的に安定なバックフィル層を形成することと、を含む、方法。
［１０］
前記反応性イオンエッチング工程の前に、前記犠牲材料層をキャリアフィルムの剥離面上に配置することを更に含む、項目９に記載の方法。
［１１］
前記反応性イオンエッチング工程が、前記犠牲材料層の第１表面上に不連続なランダムマスキング層を適用して、かつ、前記犠牲材料層の前記マスキング層によって保護されていない部分を反応性イオンエッチングして、前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部を形成することを含む、項目９に記載の方法。
［１２］
転写フィルムの形成方法であって、
反射防止ナノウィスカーテンプレート形成部を含む犠牲材料テンプレート層を、キャリアフィルムの剥離面上に付着させることと、
前記反射防止ナノウィスカーテンプレート形成部上に熱的に安定なバックフィル材料をコーティングして、前記反射防止ナノウィスカーテンプレート形成部に適合する第１表面及び反対側の平面状の第２表面を有し、積層転写フィルムを形成する、熱的に安定なバックフィル層を形成することと、を含む、方法。
［１３］
前記反射防止ナノウィスカーテンプレート形成部が、ペリレンにより形成される、項目１２に記載の方法。
［１４］
レセプタ基板に請求項１に記載の転写フィルムの平面状の第２表面を積層することと、
前記犠牲テンプレート層をベイクアウトして、反射防止ナノ構造を有する熱的に安定なバックフィル層を形成することと、を含む方法。
［１５］
前記ベイクアウト工程前に、前記犠牲テンプレート層から前記キャリアフィルムを除去することを更に含む、項目１４に記載の方法。
［１６］
前記反射防止ナノ構造形成部が、前記熱的に安定なバックフィル層のミクロ構造形成部上に配置される、項目１４に記載の方法。
［１７］
前記レセプタ基板がガラスである、項目１４に記載の方法。
［１８］
前記レセプタ基板がサファイアである、項目１４に記載の方法。
［１９］
光学物品であって、
サファイア材の層と、
前記サファイア材の層に固定された反射防止ナノ構造形成部を有する、熱的に安定なバックフィル層と、を含む物品。
［２０］
前記熱的に安定なバックフィル層が、オルガノシリコンポリマーを含む、項目１９に記載の光学物品。
［２１］
前記熱的に安定なバックフィル層が、ジルコニア、チタニア、アルミナ、炭化ホウ素、又は炭化ケイ素を含む、項目２０に記載の光学物品。
［２２］
前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部が、異方性のナノスケール形成部を含む、項目１９に記載の光学物品。
［２３］
前記反射防止ナノ構造形成部が、前記熱的に安定なバックフィル層のミクロ構造形成部上に配置される、項目１９に記載の光学物品。
［２４］
前記熱的に安定なバックフィル層が、ジルコニア、チタニア、アルミナ、炭化ホウ素、又は炭化ケイ素を含む、項目１に記載の転写フィルム。

Claims (4)

1. 転写フィルムであって、
   キャリアフィルムと、
   前記キャリアフィルム上に配置され、かつ反射防止ナノ構造テンプレート形成部を含む、犠牲テンプレート層と、
   前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部に適合する第１表面及び反対側の平面状の第２表面を有する、熱的に安定なバックフィル層と、を含む転写フィルム。
2. 前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部が、反射防止ナノ構造を有する熱的に安定なバックフィル層を残しつつ、ベイクアウトが可能である、請求項１に記載の転写フィルム。
3. 転写フィルムの形成方法であって、
   犠牲材料の層を反応性イオンエッチングして、反射防止ナノ構造テンプレート形成部を形成することと、
   前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部上に熱的に安定なバックフィル材料をコーティングして、前記反射防止ナノ構造テンプレート形成部に適合する第１表面及び反対側の平面状の第２表面を有し、積層転写フィルムを形成する、熱的に安定なバックフィル層を形成することと、を含む、方法。
4. 光学物品であって、
   サファイア材の層と、
   前記サファイア材の層に固定された反射防止ナノ構造形成部を有する、熱的に安定なバックフィル層と、を含む物品。