JP2017227895A - 半導体装置、表示装置、および電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】消費電力の少ない半導体装置を提供する。【解決手段】半導体装置は、コントローラ、レジスタ、および画像処理部を有する。画像処理部は、パラメタを使用して画像データを処理する機能を備える。画像処理部は、画像データをフレームメモリから取り込み、パラメータをレジスタから取り込む。フレームメモリは、画像データを、電源供給が遮断されている状態で保持する機能を備える。レジスタは、パラメータを、電源供給が遮断されている状態で保持する機能を備える。コントローラは、レジスタ、フレームメモリ、および画像処理部に対する電源供給を制御する機能を有する。レジスタはスキャンチェーンレジスタを有する。スキャンチェーンレジスタを構成するトランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体を有する。【選択図】図3

Description

本発明の一形態は、半導体装置に関する。
なお本発明の一形態は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一形態は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物(コンポジション・オブ・マター)に関するものである。
そのため、より具体的に本明細書等で開示する本発明の一形態の技術分野としては、半導体装置、表示装置、電子機器、それらの駆動方法、または、それらの製造方法を一例としてあげることができる。なお、本明細書等において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。
反射型素子と発光型素子を組み合わせた、表示装置が提案されている(特許文献1)。明るい環境では反射型素子、暗い環境では発光型素子を用いることで、外光環境に依存しない良好な表示品質と、消費電力が少ない表示装置、を提供することができる。
一方、酸化物半導体トランジスタ(Oxide Semiconductorトランジスタ、以下、OSトランジスタと呼称する)を、液晶ディスプレイや有機EL(エレクトロルミネッセンス)ディスプレイなどの表示装置に用いる技術が提案されている。OSトランジスタはオフ電流が非常に小さいため、静止画を表示する際のリフレッシュ頻度を少なくし、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイの消費電力を低減する技術が開示されている(特許文献2、特許文献3)。なお、本明細書において、上述の表示装置の消費電力を減らす技術を、「アイドリングストップ」または「IDS駆動」と呼称する。
また、オフ電流が小さいことを利用して、OSトランジスタを不揮発性の記憶装置に用いた例が開示されている(特許文献4)。
特開2003−157026号公報 特開2011‐141522号公報 特開2011‐141524号公報 特開2011−151383号公報
明るい環境では反射型素子、暗い環境では発光型素子を用いて表示を行うためには、外光を検知して、それぞれの表示素子に画像データを分配する半導体装置が必要となる。また、半導体装置は、表示装置がIDS駆動を行っている間、表示装置に画像データや信号を送る必要がないため、関係する回路の電源供給を遮断することができる。消費電力が少なく、一部回路の電源供給を遮断しても表示品質に影響を及ぼさない仕組みを持った、半導体装置を提供することを課題の一つとする。
本発明の一形態は、新規な半導体装置を提供することを課題の一つとする。または、消費電力が少ない新規な半導体装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一形態は、新規な半導体装置を有する表示装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一形態は、新規な半導体装置を有する表示装置を使用した、電子機器を提供することを課題の一つとする。
なお、本発明の一形態は、必ずしも上記の課題の全てを解決する必要はなく、少なくとも一つの課題を解決できるものであればよい。また、上記の課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。これら以外の課題は、明細書、特許請求の範囲、図面などの記載から自ずと明らかになるものであり、明細書、特許請求の範囲、図面などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
本発明の一形態は、第1コントローラと、レジスタと、フレームメモリと、画像処理部とを有する半導体装置である。フレームメモリは、画像データを格納する機能を有し、画像処理部は、画像データを処理する機能を有し、レジスタは、画像処理部が処理を行うためのパラメータを格納する機能を有する。フレームメモリは、フレームメモリへの電源供給が遮断されている状態で、画像データを保持する機能を備える。レジスタは、スキャンチェーンレジスタと、第1レジスタと、第2レジスタとを有し、スキャンチェーンレジスタは、レジスタへの電源供給が遮断されている状態で、パラメータを保持する機能を備え、スキャンチェーンレジスタを構成するトランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体を含む。第1コントローラは、レジスタ、フレームメモリ、および画像処理部に対する電源供給を制御する機能を有する。
また、本発明の一形態は、上記形態において、スキャンチェーンレジスタは、第3レジスタと、第4レジスタとを有する半導体装置である。第3レジスタの出力端子は、第4レジスタの入力端子に電気的に接続され、第1レジスタは、第3レジスタに格納されたデータを読み込む機能を有し、第2レジスタは、第4レジスタに格納されたデータを読み込む機能を有し、第1レジスタおよび第2レジスタに読み込まれたデータは、パラメータとして、画像処理部に出力される。
また、本発明の一形態は、上記形態において、第1レジスタは、第1入力端子と第1出力端子と第2出力端子とを有し、第2レジスタは、第2入力端子と第3出力端子と第4出力端子とを有し、第3レジスタは、第3入力端子と第4入力端子と第5出力端子とを有し、第4レジスタは、第5入力端子と第6入力端子と第6出力端子とを有する半導体装置である。第1レジスタの第1出力端子は画像処理部に電気的に接続され、第2レジスタの第3出力端子は画像処理部に電気的に接続され、第1レジスタの第1入力端子は、第3レジスタの第5出力端子に電気的に接続され、第1レジスタの第2出力端子は、第3レジスタの第4入力端子に電気的に接続され、第2レジスタの第2入力端子は、第4レジスタの第6出力端子に電気的に接続され、第2レジスタの第4出力端子は、第4レジスタの第6入力端子に電気的に接続され、第3レジスタの第5出力端子は、第4レジスタの第5入力端子に電気的に接続され、第1レジスタは第1入力端子に入力されるデータを格納する機能を有し、第2レジスタは第2入力端子に入力されるデータを格納する機能を有する。
本発明の一形態は、新規な半導体装置を提供することができる。または、消費電力が少ない、新規な半導体装置を提供することができる。
または、本発明の一形態は、新規な半導体装置を有する、表示装置を提供することができる。または、本発明の一形態は、新規な半導体装置を有する表示装置を使用した、電子機器を提供することができる。
なお本発明の一形態の効果は、上記列挙した効果に限定されない。上記列挙した効果は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお他の効果は、以下の記載で述べる、本項目で言及していない効果である。本項目で言及していない効果は、当業者であれば明細書又は図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。なお、本発明の一形態は、上記列挙した効果、および他の効果のうち、少なくとも一つの効果を有するものである。従って本発明の一形態は、場合によっては、上記列挙した効果を有さない場合もある。
表示装置の構成例を示すブロック図。 タッチセンサユニットの構成例を示す図。 コントローラICの構成例を示すブロック図。 パラメータを説明する図。 フレームメモリの構成例を示すブロック図。 レジスタの構成例を示すブロック図。 レジスタの構成例を示す回路図。 レジスタの動作例を示すタイミングチャート。 コントローラICの構成例を示すブロック図。 表示ユニットの構成例を示すブロック図。 画素の構成例を示す回路図。 表示ユニットおよび画素の構成例を示す上面図。 表示ユニットの構成例を示す断面図。 表示ユニットの構成例を示す断面図。 反射膜の形状を説明する模式図。 表示ユニットの画素の一部を説明する下面図。 表示装置の構成例を示すブロック図。 表示装置を説明する上面図、および表示装置の入力部の一部を説明する模式図。 表示装置の構成例を示す断面図。 表示装置の構成例を示す断面図。 電子機器の例を示す斜視図。
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。但し、実施の形態は多くの異なる形態で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、以下に示される複数の実施の形態は、適宜組み合わせることが可能である。
なお、実施の形態において説明する、コントローラICは、チャネル形成領域にシリコンを有するトランジスタと、チャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタと、容量素子等によって、構成された半導体装置である。したがって、コントローラICを半導体装置と言い換えることができる。
また、本明細書等において、酸化物半導体をOS(Oxide Semiconductor)と表記する場合がある。そのため、チャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタを、酸化物半導体トランジスタ、OSトランジスタ、またはOSFETという場合がある。
また、図面等において、大きさ、層の厚さ、領域等は、明瞭化のため誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。図面は、理想的な例を模式的に示したものであり、図面に示す形状又は値などに限定されない。
また、図面等において、同一の要素または同様な機能を有する要素、同一の材質の要素、あるいは同時に形成される要素等には同一の符号を付す場合があり、その繰り返しの説明は省略する場合がある。
また、本明細書等において、「膜」という用語と、「層」という用語とは、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更することが可能な場合がある。または、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能な場合がある。
また、本明細書等において、「上」や「下」などの配置を示す用語は、構成要素の位置関係が、「直上」または「直下」であることを限定するものではない。例えば、「ゲート絶縁層上のゲート電極」の表現であれば、ゲート絶縁層とゲート電極との間に他の構成要素を含むものを除外しない。
また、本明細書等において、「平行」とは、二つの直線が−10°以上10°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、−5°以上5°以下の場合も含まれる。また、「垂直」とは、二つの直線が80°以上100°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、85°以上95°以下の場合も含まれる。
また、本明細書等において、「第1」、「第2」、「第3」などの序数詞は、構成要素の混同を避けるために付したものであり、数的に限定するものではない。
また、本明細書等において、「電気的に接続」とは、「何らかの電気的作用を有するもの」を介して接続されている場合が含まれる。ここで、「何らかの電気的作用を有するもの」は、接続対象間での電気信号の授受を可能とするものであれば、特に制限を受けない。例えば、「何らかの電気的作用を有するもの」には、電極や配線をはじめ、トランジスタなどのスイッチング素子、抵抗素子、インダクタ、キャパシタ、その他の各種機能を有する素子などが含まれる。
また、本明細書等において、「電圧」とは、ある電位と基準の電位(例えば、グラウンド電位)との電位差のことを示す場合が多い。よって、電圧、電位、電位差を、各々、電位、電圧、電圧差と言い換えることが可能である。
また、本明細書等において、トランジスタとは、ゲートと、ドレインと、ソースとを含む、少なくとも三つの端子を有する素子である。そして、ドレイン(ドレイン端子、ドレイン領域、またはドレイン電極)とソース(ソース端子、ソース領域、またはソース電極)の間にチャネル領域を有しており、チャネル領域を介してソースとドレインの間に電流を流すことができるものである。なお、本明細書等において、チャネル領域とは、電流が主として流れる領域をいう。
また、ソースやドレインの機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細書等においては、ソースやドレインの用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
また、本明細書等において、特に断りがない場合、オフ電流とは、トランジスタがオフ状態(非導通状態、遮断状態、ともいう)にあるときのドレイン電流をいう。オフ状態とは、特に断りがない場合、nチャネル型トランジスタでは、ゲートとソースの間の電圧Vgsがしきい値電圧Vthよりも低い状態、pチャネル型トランジスタでは、ゲートとソースの間の電圧Vgsがしきい値電圧Vthよりも高い状態をいう。つまり、nチャネル型のトランジスタのオフ電流とは、ゲートとソースの間の電圧Vgsがしきい値電圧Vthよりも低いときのドレイン電流、という場合がある。
上記オフ電流の説明において、ドレインをソースと読み替えてもよい。つまり、オフ電流は、トランジスタがオフ状態にあるときのソースを流れる電流を言う場合がある。
また、本明細書等では、オフ電流と同じ意味で、リーク電流と記載する場合がある。また、本明細書等において、オフ電流とは、トランジスタがオフ状態にあるときに、ソースとドレインの間に流れる電流を指す場合がある。
(実施の形態1)
本実施の形態では、1つの画素に反射型素子と発光型素子とが設けられているハイブリッド型表示装置について説明する。特に、表示装置のコントローラICについて説明する。なお、反射型素子としては、液晶や電子ペーパー等を適用することができる。以下、反射型素子を反射素子10a、発光型素子を発光素子10bとして説明する。
<<表示装置>>
図1は、表示装置の構成例を示すブロック図である。表示装置100は、表示ユニット110、タッチセンサユニット120を有する。
<表示ユニット>
表示ユニット110は、画素アレイ111、ゲートドライバ113、ゲートドライバ114、およびコントローラIC115を有する。
画素アレイ111は、複数の画素10を有し、それぞれの画素10はトランジスタを用いて駆動されるアクティブ型の素子である。また、画素10は、反射素子10aと発光素子10bを有する。画素アレイ111のより具体的な構成例については、実施の形態2にて、説明する。
ゲートドライバ113は、反射素子10aを選択するためのゲート線を駆動する機能をもち、ゲートドライバ114は、発光素子10bを選択するためのゲート線を駆動する機能をもつ。反射素子10aにデータ信号を供給するソース線を駆動するソースドライバ、および発光素子10bにデータ信号を供給するソース線を駆動するソースドライバは、それぞれ、コントローラIC115に設けられている。コントローラIC115は、表示装置100の動作を統括的に制御する機能を備える。コントローラIC115の数は、画素アレイ111の画素数に応じて決定される。
図1の例では、画素アレイ111と共にゲートドライバ113、114が同一基板上に集積されている例を示しているが、ゲートドライバ113、114を専用ICとすることもできる。あるいは、コントローラIC115に、ゲートドライバ113またはゲートドライバ114を組み込んでもよい。
ここでは、コントローラIC115の実装方式は、COG(Chip on Glass)方式としているが、実装方式に特段の制約はなく、COF(Chip on Flexible)方式、TAB(Tape Automated Bonding)方式などでもよい。タッチセンサユニット120のICの実装方式についても同様である。
なお、画素10に使用されるトランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタ(「OSトランジスタ」ともいう)であり、Siトランジスタに比べてオフ電流が低いトランジスタである。OSトランジスタは、酸化物半導体中の不純物濃度を低減し、酸化物半導体を真性または実質的に真性にすることで、オフ電流を極めて低くすることができる。
もしくは、画素10に使用されるトランジスタとして、オフ電流が低ければ酸化物半導体を適用しないトランジスタとすることができる。例えば、バンドギャップが大きい半導体を適用したトランジスタを適用してもよい。バンドギャップが大きい半導体とは、バンドギャップが2.2eV以上の半導体である。例えば、炭化ケイ素、窒化ガリウム、ダイヤモンドなどが挙げられる。
画素10に、オフ電流が低いトランジスタを用いることで、表示画面を書き換える必要がない場合(すなわち静止画を表示する場合)、一時的にゲートドライバ113、114およびソースドライバを停止することができる(以下、「アイドリングストップ」、もしくは「IDS駆動」と呼ぶ)。IDS駆動によって、表示装置100の消費電力を低減することができる。
<タッチセンサユニット>
図1に示す、タッチセンサユニット120は、センサアレイ121、および周辺回路125を有する。周辺回路125は、タッチセンサドライバ(以下、「TSドライバ」と呼ぶ)126、センス回路127を有する。周辺回路125は専用ICで構成することができる。
図2に、タッチセンサユニット120の構成例を示す。ここでは、タッチセンサユニット120が相互容量タッチセンサユニットである例を示す。センサアレイ121は、m本(mは1以上の整数)の配線DRL、n本(nは1以上の整数)の配線SNLを有する。配線DRLはドライブ線であり、配線SNLはセンス線である。ここでは、第α番の配線DRLを配線DRL<α>と呼び、第β番の配線SNLを配線SNL<β>と呼ぶこととする。容量CTαβは、配線DRL<α>と配線SNL<β>との間に形成される容量である。
m本の配線DRLはTSドライバ126に電気的に接続されている。TSドライバ126は配線DRLを駆動する機能を有する。n本の配線SNLはセンス回路127に電気的に接続されている。センス回路127は、配線SNLの信号を検出する機能を有する。TSドライバ126によって配線DRL<α>が駆動されているときの配線SNL<β>の信号は、容量CTαβの容量値の変化量の情報をもつ。n本の配線SNLの信号を解析することで、タッチの有無、タッチ位置などの情報を得ることができる。
<<コントローラIC>>
図3は、コントローラIC115の構成例を示すブロック図である。コントローラIC115は、インターフェース150、フレームメモリ151、デコーダ152、センサコントローラ153、コントローラ154、クロック生成回路155、画像処理部160、メモリ170、タイミングコントローラ173、レジスタ175、ソースドライバ180、およびタッチセンサコントローラ184を有する。
ソースドライバ180は、ソースドライバ181、182を有する。ソースドライバ181は、反射素子10aを駆動するためのドライバであり、ソースドライバ182は、発光素子10bを駆動するためのドライバである。ここでは、反射素子10aとして液晶(LC)素子、発光素子10bとしてエレクトロルミネッセンス(有機EL)素子である場合の、コントローラIC115を説明する。
コントローラIC115とホスト140との通信は、インターフェース150を介して行われる。ホスト140からは、画像データ、各種制御信号等がコントローラIC115に送られる。また、コントローラIC115からは、タッチセンサコントローラ184が取得したタッチ位置などの情報が、ホスト140に送られる。なお、コントローラIC115が有するそれぞれの回路は、ホスト140の規格、表示装置100の仕様等によって、適宜取捨される。
フレームメモリ151は、コントローラIC115に入力された画像データを保存するためのメモリである。ホスト140から圧縮された画像データが送られる場合、フレームメモリ151は、圧縮された画像データを格納することが可能である。デコーダ152は、圧縮された画像データを伸長するための回路である。画像データを伸長する必要がない場合、デコーダ152は処理を行わない。または、デコーダ152を、フレームメモリ151とインターフェース150との間に、配置することもできる。
画像処理部160は、画像データに対して各種画像処理を行う機能を有する。例えば、画像処理部160は、ガンマ補正回路161、調光回路162、調色回路163、EL補正回路164を有する。
EL補正回路164は、ソースドライバ182に発光素子10bを流れる電流を検出する電流検出回路を備えている場合、設けられる。EL補正回路164は、ソースドライバ182の電流検出回路から送信される信号に基づいて、発光素子10bの輝度を調節する機能をもつ。
画像処理部160で処理された画像データは、メモリ170を経て、ソースドライバ180に出力される。メモリ170は、画像データを一時的に格納するためのメモリである。ソースドライバ181、182は、それぞれ、入力された画像データを処理し、画素アレイ111のソース線に書き込む機能をもつ。
タイミングコントローラ173は、ソースドライバ180、タッチセンサコントローラ184、表示ユニット110のゲートドライバ113、114で使用するタイミング信号を生成する機能を有する。
タッチセンサコントローラ184は、タッチセンサユニット120のTSドライバ126、センス回路127を制御する機能をもつ。センス回路127で読み出されたタッチ情報を含む信号は、タッチセンサコントローラ184で処理され、インターフェース150を介して、ホスト140に送出される。ホスト140は、タッチ情報を反映した画像データを生成し、コントローラIC115に送出する。なお、コントローラIC115で、画像データにタッチ情報を反映する構成も可能である。
クロック生成回路155は、コントローラIC115で使用されるクロック信号を生成する機能を有する。コントローラ154は、インターフェース150を介してホスト140から送られる各種制御信号を処理し、コントローラIC115内の各種回路を制御する機能を有する。また、コントローラ154は、コントローラIC115内の各種回路への電源供給を制御する機能を有する。以下、使われていない回路への電源供給を一時的に遮断することを、パワーゲーティングと呼ぶ。
レジスタ175は、コントローラIC115の動作に用いられるデータを格納する。レジスタ175が格納するデータには、画像処理部160が補正処理を行うために使用するパラメータ、タイミングコントローラ173が各種タイミング信号の波形生成に用いるパラメータなどがある。レジスタ175は、複数のレジスタで構成されるスキャンチェーンレジスタを備える。
センサコントローラ153には、光センサ143が電気的に接続されている。光センサ143は外光145を検知し、検知信号を生成する。センサコントローラ153は検知信号を基に、制御信号を生成する。センサコントローラ153で生成される制御信号は、例えば、コントローラ154に出力される。
また、反射素子10aと発光素子10bが同じ画像データを表示する場合、画像処理部160は、反射素子10aが表示する画像データと、発光素子10bが表示する画像データとを、分けて作成する機能を有する。この場合、光センサ143およびセンサコントローラ153を用いて測定した、外光145の明るさに応じて、反射素子10aと発光素子10bの反射強度および発光強度を調整することができる。ここでは、当該調整を調光、あるいは調光処理と呼ぶ。また、当該処理を実行する回路を調光回路と呼ぶ。
晴れの日の日中に外で表示装置100を使用する場合、反射素子10aのみで十分な輝度が得られるときは、発光素子10bを光らせる必要はない。これは、発光素子10bで表示を行おうとしても、外光に負けて良好な表示が得られないからである。また、夜間や暗所で表示装置100を使用する場合、発光素子10bを光らせて表示を行う。
外光の明るさに応じて、画像処理部160は、反射素子10aのみで表示を行う画像データを作成、もしくは発光素子10bのみで表示を行う画像データを作成、もしくは反射素子10aと発光素子10bを組み合わせて表示を行う画像データを作成することができる。外光の明るい環境においても、外光の暗い環境においても、表示装置100は良好な表示を行うことができる。さらに、外光の明るい環境においては、発光素子10bを光らせない、もしくは発光素子10bの輝度を低くすることで、消費電力を低減することができる。
また、反射素子10aの表示に、発光素子10bの表示を組み合わせることで、色調を補正することができる。このような色調補正のためには、光センサ143およびセンサコントローラ153に、外光145の色調を測定する機能を追加すればよい。例えば、夕暮れ時の赤みがかった環境において表示装置100を使用する場合、反射素子10aによる表示のみではB(青)成分が足りないため、発光素子10bを発光させることで、色調を補正することができる。ここでは、当該補正を調色、あるいは調色処理と呼ぶ。また、当該処理を実行する回路を調色回路と呼ぶ。
画像処理部160は、表示装置100の仕様によって、RGB−RGBW変換回路など、他の処理回路を有している場合がある。RGB−RGBW変換回路とは、RGB(赤、緑、青)画像データを、RGBW(赤、緑、青、白)画像データに変換する機能をもつ回路である。すなわち、表示装置100がRGBW4色の画素を有する場合、画像データ内のW(白)成分を、W(白)画素を用いて表示することで、消費電力を低減することができる。なお、RGB−RGBW変換回路はこれに限らず、例えば、RGB−RGBY(赤、緑、青、黄)変換回路などでもよい。
また、反射素子10aと発光素子10bは、異なる画像データを表示することができる。一般に、反射型素子として適用できる液晶や電子ペーパー等は、動作速度が遅いものが多い(絵を表示するまでに時間を要する)。そのため、反射素子10aに背景となる静止画を表示し、発光素子10bに動きのあるマウスポインタ等を表示することができる。静止画に対しては、前述したIDS駆動を行い、動画に対しては、発光素子10bを光らせることで、表示装置100は、なめらかな動画表示と低消費電力を両立することができる。この場合、フレームメモリ151には、反射素子10aと発光素子10b、それぞれに表示する画像データを保存する領域を設ければよい。
<パラメータ>
ガンマ補正、調光、調色などの画像補正処理は、入力の画像データXに対して出力の補正データYを作成する処理に相当する。画像処理部160が使用するパラメータは、画像データXを、補正データYに変換するためのパラメータである。
パラメータの設定方式には、テーブル方式、関数近似方式がある。図4(A)に示すテーブル方式では、画像データXnに対して、補正データYnをパラメータとしてテーブルに格納される。テーブル方式では、当該テーブルに対応するパラメータを格納するレジスタを多数必要とするが、補正の自由度が高い。一方、あらかじめ経験的に画像データXに対する補正データYを決められる場合には、図4(B)のように、関数近似方式を採用する構成が有効である。a1、a2、b2等がパラメータである。ここで、区間毎に線形近似する方法を示しているが、非線形関数で近似する方法も可能である。関数近似方式では、補正の自由度は低いが、関数を定義するパラメータを格納するレジスタが少なくて済む。
タイミングコントローラ173が使用するパラメータは、例えば、図4(C)に示すように、タイミングコントローラ173の生成信号が、基準信号に対して“L”(または“H”)となるタイミングを示すものである。パラメータRa(またはRb)は、基準信号に対して“L”(または“H”)となるタイミングが、クロック何周期分であるかを示している。
上記、補正のためのパラメータは、レジスタ175に格納することができる。また、上記以外にレジスタ175に格納できるパラメータとしては、EL補正回路164のデータ、ユーザーが設定した表示装置100の輝度、色調、省エネルギー設定(表示を暗くする、または表示を消す、までの時間)、タッチセンサコントローラ184の感度などがある。
<パワーゲーティング>
コントローラ154は、ホスト140から送られる画像データに変化がない場合、コントローラIC115内の一部回路をパワーゲーティングすることができる。具体的には、例えば、領域190内の回路(フレームメモリ151、デコーダ152、画像処理部160、メモリ170、タイミングコントローラ173、レジスタ175、ソースドライバ180)を指す。ホスト140から画像データに変化がないことを示す制御信号をコントローラIC115に送信し、当該制御信号をコントローラ154で検出した場合にパワーゲーティングする構成が可能である。
領域190内の回路は、画像データに関する回路と、表示ユニット110を駆動するための回路であるため、画像データに変化がない場合は、一時的に領域190内の回路を停止することができる。なお、画像データに変化がない場合でも、画素10に使用されるトランジスタがデータを保持できる時間(アイドリングストップが可能な時間)、および反射素子10aとして適用した液晶(LC)素子が焼き付き防止のため行う反転駆動の時間を考慮してもよい。
例えば、コントローラ154はタイマ機能を組み込むことで、タイマで測定した時間に基づいて、領域190内の回路への電源供給を再開するタイミングを決定してもよい。なお、フレームメモリ151もしくはメモリ170に画像データを保存しておき、当該画像データを反転駆動時に表示ユニット110に供給する画像データとする構成が可能である。このような構成とすることで、ホスト140から画像データを送信することなく反転駆動が実行できる。したがって、ホスト140からのデータ送信量を低減でき、コントローラIC115の消費電力を低減することができる。
以下、フレームメモリ151、レジスタ175の具体的な回路構成を説明する。なお、パワーゲーティングすることができる回路として説明した、領域190内の回路、センサコントローラ153、およびタッチセンサコントローラ184等は、この限りではない。コントローラIC115の構成、ホスト140の規格、表示装置100の仕様等によって、様々な組み合わせが考えられる。
<フレームメモリ151>
図5(A)に、フレームメモリ151の構成例を示す。フレームメモリ151は、制御部202、セルアレイ203、周辺回路208を有する。周辺回路208は、センスアンプ回路204、ドライバ205、メインアンプ206、入出力回路207を有する。
制御部202は、フレームメモリ151を制御する機能を有する。例えば、制御部202は、ドライバ205、メインアンプ206、および入出力回路207を制御する。
ドライバ205には、複数の配線WL、CSELが電気的に接続されている。ドライバ205は、複数の配線WL、CSELに出力する信号を生成する。
セルアレイ203は、複数のメモリセル209を有する。メモリセル209は、配線WL、LBL(またはLBLB)、BGLに、電気的に接続されている。配線WLはワード線であり、配線LBL、LBLBは、ローカルビット線である。図5(A)の例では、セルアレイ203の構成は、折り返しビット線方式であるが、開放ビット線方式とすることもできる。
図5(B)に、メモリセル209の構成例を示す。メモリセル209は、トランジスタMW1、容量素子CS1を有する。メモリセル209は、DRAM(ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ)のメモリセルと同様の回路構成を有する。ここでは、トランジスタMW1はバックゲートをもつトランジスタである。トランジスタMW1のバックゲートは、配線BGLに電気的に接続されている。配線BGLには、電圧Vbg_w1が入力される。
トランジスタMW1は、チャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタ(「OSトランジスタ」ともいう)である。OSトランジスタはオフ電流が極めて小さいため、OSトランジスタでメモリセル209を構成することで、容量素子CS1から電荷がリークすることを抑えられるため、フレームメモリ151のリフレッシュ動作の頻度を低減できる。また、電源供給が遮断されても、フレームメモリ151は長時間画像データを保持することが可能である。また、電圧Vbg_w1を負電圧にすることで、トランジスタMW1の閾値電圧を正電位側にシフトさせることができ、メモリセル209の保持時間を長くすることができる。
ここでいう、オフ電流とは、トランジスタがオフ状態のときにソースとドレインとの間に流れる電流をいう。トランジスタがnチャネル型である場合、例えば、しきい値電圧が0V乃至2V程度であれば、ソースに対するゲートの電圧が負の電圧であるときの、ソースとドレインとの間に流れる電流をオフ電流と呼ぶことができる。また、オフ電流が極めて小さいとは、例えば、チャネル幅1μmあたりのオフ電流が100zA(z;ゼプト、10−21)以下であることをいう。オフ電流は小さいほど好ましいため、この規格化されたオフ電流が10zA/μm以下、あるいは1zA/μm以下とすることが好ましく、10yA/μm(y;ヨクト、10−24)以下であることがより好ましい。
酸化物半導体のバンドギャップは3.0eV以上であるため、OSトランジスタは熱励起によるリーク電流が小さく、また上掲のようにオフ電流が極めて小さい。チャネル形成領域に適用される酸化物半導体は、インジウム(In)および亜鉛(Zn)の少なくとも一方を含む酸化物半導体であることが好ましい。このような酸化物半導体としては、In−M−Zn酸化物(元素Mは、例えばAl、Ga、YまたはSn)が代表的である。電子供与体(ドナー)となる水分または水素等の不純物を低減し、かつ酸素欠損も低減することで、酸化物半導体をi型(真性半導体)にする、あるいはi型に限りなく近づけることができる。ここでは、このような酸化物半導体は高純度化された酸化物半導体と呼ぶことができる。例えば、チャネル形成領域に高純度化された酸化物半導体を適用することで、チャネル幅で規格化されたOSトランジスタのオフ電流を数yA/μm以上数zA/μm以下程度に低くすることができる。
セルアレイ203が有する複数のメモリセル209の、トランジスタMW1はOSトランジスタであるため、その他の回路のトランジスタは、例えば、シリコンウエハに作製されるSiトランジスタとすることができる。これにより、セルアレイ203をセンスアンプ回路204に積層して設けることができる。よって、フレームメモリ151の回路面積を縮小でき、コントローラIC115の小型化につながる。
セルアレイ203は、センスアンプ回路204に積層して設けられている。センスアンプ回路204は、複数のセンスアンプSAを有する。センスアンプSAは隣接する配線LBL、LBLB(ローカルビット線対)、配線GBL、GBLB(グローバルビット線対)、複数の配線CSELに電気的に接続されている。センスアンプSAは、配線LBLと配線LBLBとの電位差を増幅する機能を有する。
センスアンプ回路204には、4本の配線LBLに対して1本の配線GBLが設けられ、4本の配線LBLBに対して1本の配線GBLBが設けられているが、センスアンプ回路204の構成は、図5(A)の構成例に限定されない。
メインアンプ206は、センスアンプ回路204および入出力回路207に接続されている。メインアンプ206は、配線GBLと配線GBLBの電位差を増幅する機能を有する。メインアンプ206は省略することができる。
入出力回路207は、書き込みデータに対応する電位を配線GBLと配線GBLB、またはメインアンプ206に出力する機能、配線GBLと配線GBLBの電位、またはメインアンプ206の出力電位を読み出し、データとして外部に出力する機能を有する。配線CSELの信号によって、データを読み出すセンスアンプSA、およびデータを書き込むセンスアンプSAを選択することができる。よって、入出力回路207は、マルチプレクサなどの選択回路が不要であるため、回路構成を簡単化でき、占有面積を縮小することができる。
<レジスタ175>
図6は、レジスタ175の構成例を示すブロック図である。レジスタ175は、スキャンチェーンレジスタ部175A、およびレジスタ部175Bを有する。スキャンチェーンレジスタ部175Aは、複数のレジスタ230を有する。複数のレジスタ230によって、スキャンチェーンレジスタが構成されている。レジスタ部175Bは、複数のレジスタ231を有する。
レジスタ230は、電源供給が遮断された状態でもデータを長時間保持できる不揮発性レジスタである。レジスタ230を不揮発化するため、ここでは、レジスタ230は、OSトランジスタを用いて構成されている。他方、レジスタ231は、ここでは、Siトランジスタを用いた揮発性レジスタと、OSトランジスタを用いた回路から構成されている。
画像処理部160およびタイミングコントローラ173は、レジスタ部175Bにアクセスし、対応するレジスタ231からデータを取り込む。あるいは、画像処理部160およびタイミングコントローラ173は、レジスタ部175Bから供給されるデータにしたがって、処理内容が制御される。
レジスタ231の回路構成には特段の制約はなく、ラッチ回路、フリップフロップ回路などデータを記憶することが可能な回路であればよい。または、レジスタ230と同じように、トランジスタにOSトランジスタのみを用いた構成としてもよいが、画像処理部160およびタイミングコントローラ173からアクセスされた際の電位変動を抑える能力を有することが好ましい。つまり、信号を出力できる能力を有することが好ましい。
レジスタ175に格納しているデータを更新する場合、まず、スキャンチェーンレジスタ部175Aのデータを変更する。スキャンチェーンレジスタ部175Aの各レジスタ230のデータを書き換えた後、スキャンチェーンレジスタ部175Aの各レジスタ230のデータを、レジスタ部175Bの各レジスタ231に一括してロードする。
これにより、画像処理部160およびタイミングコントローラ173等は、一括して更新されたデータを使用して、各種処理を行うことができる。データの更新に同時性が保たれるため、コントローラIC115の安定した動作を実現できる。スキャンチェーンレジスタ部175Aとレジスタ部175Bとを備えることで、画像処理部160およびタイミングコントローラ173が動作中でも、スキャンチェーンレジスタ部175Aのデータを更新することができる。
コントローラIC115のパワーゲーティング実行時には、電源復帰後、レジスタ230のデータをレジスタ231に復帰(ロード)して通常動作を再開する。なお、パワーゲーティング開始時に、レジスタ230に格納されているデータとレジスタ231に格納されているデータとが整合しない場合、レジスタ231のデータをレジスタ230にセーブする構成が好ましい。データが整合しない場合としては、スキャンチェーンレジスタ部175Aに更新データを格納中などが挙げられる。
図7に、レジスタ230、レジスタ231の回路構成例を示す。図7には、スキャンチェーンレジスタ部175Aの初段のレジスタ230[1]と2段目のレジスタ230[2]、およびこれらレジスタ230に対応する2個のレジスタ231[1]と231[2]を示している。
レジスタ230は、トランジスタTR1乃至TR6、容量素子C3、C6を有する。トランジスタTR1乃至TR6は、OSトランジスタである。トランジスタTR1乃至TR6を、メモリセル209のトランジスタMW1(図5(B)参照)と同様に、バックゲート付きのOSトランジスタとしてもよい。
レジスタ231は、トランジスタTR7乃至TR11、インバータINV1、INV2を有する。例えば、トランジスタTR7乃至TR11はOSトランジスタとし、領域20内のインバータINV1、INV2は、Siトランジスタを用いて構成することができる。あるいは、トランジスタTR7乃至TR11、およびインバータINV1、INV2を構成するトランジスタをSiトランジスタとすることができる。
また、レジスタ230、231には、低電源電位、および高電源電位が入力される。図7では、低電源電位を接地電位、高電源電位をVHで表す。レジスタ230には、クロック信号CK1乃至CK4が入力され、レジスタ231には、信号LD、RS、SVが入力される。初段のレジスタ230[1]は、外部からデータSINが入力され信号SO[1]を出力し、2段目のレジスタ230[2]は、信号SO[1]が入力され信号SO[2]を出力する。
レジスタ230[1]に対応するレジスタ231[1]は信号Q[1]を出力し、レジスタ230[2]に対応するレジスタ231[2]は信号Q[2]を出力する。信号Q[1]、信号Q[2]は、画像処理部160およびタイミングコントローラ173等に出力されるデータである。
これら、クロック信号CK1乃至CK4、信号LD、RS、SV、データSIN、および入出力に関する信号SO[1]、SO[2]、Q[1]、Q[2]の関係を、図8に示す。図8は、レジスタ230および231の動作例を示すタイミングチャートである。
図8において、時刻T1乃至T9は、スキャンチェーンレジスタ部175Aにデータを格納する期間、時刻T10乃至T12は、スキャンチェーンレジスタ部175Aのデータをレジスタ部175Bにロードする期間、時刻T13乃至T17は、再びスキャンチェーンレジスタ部175Aにデータを格納する期間、時刻T18乃至T20は、レジスタ部175Bのデータをスキャンチェーンレジスタ部175Aにセーブする期間を示している。
時刻T1乃至T2において、クロック信号CK1を“H”(高レベル)とすることで、レジスタ230[1]のノードN1[1]およびレジスタ230[2]のノードN1[2]を“L”(低レベル)にリセットする。時刻T2乃至T3において、クロック信号CK2を“H”とすることで、レジスタ230[1]のノードN1[1]をデータSINに対応する値“H”に設定し、レジスタ230[2]のノードN1[2]をSO[1]に対応する値“L”に設定する。
時刻T3乃至T4において、クロック信号CK3を“H”とすることで、レジスタ230[1]の出力信号SO[1]およびレジスタ230[2]の出力信号SO[2]を、“L”にリセットする。時刻T4乃至T5において、クロック信号CK4を“H”とすることで、レジスタ230[1]の出力信号SO[1]をノードN1[1]に対応する値“H”に設定し、レジスタ230[2]の出力信号SO[2]をノードN1[2]に対応する値“L”に設定する。
時刻T5乃至T6において、クロック信号CK1を“H”とすることで、レジスタ230[1]のノードN1[1]およびレジスタ230[2]のノードN1[2]を“L”にリセットする。時刻T6乃至T7において、クロック信号CK2を“H”とすることで、レジスタ230[1]のノードN1[1]をデータSINに対応する値“L”に設定し、レジスタ230[2]のノードN1[2]をSO[1]に対応する値“H”に設定する。
時刻T7乃至T8において、クロック信号CK3を“H”とすることで、レジスタ230[1]の出力信号SO[1]およびレジスタ230[2]の出力信号SO[2]を、“L”にリセットする。時刻T8乃至T9において、クロック信号CK4を“H”とすることで、レジスタ230[1]の出力信号SO[1]をノードN1[1]に対応する値“L”に設定し、レジスタ230[2]の出力信号SO[2]をノードN1[2]に対応する値“H”に設定する。
このように、時刻T1乃至T9の動作により、レジスタ230[1]の出力信号SO[1]は“L”、レジスタ230[2]の出力信号SO[2]は“H”となり、スキャンチェーンレジスタ部175Aを構成するレジスタ230にデータを格納することができる。データSINを変更することで、SO[1]、SO[2]の値を変更することができる。
次に、時刻T10乃至T11において、信号RSを“H”とすることで、レジスタ231[1]の出力信号Q[1]およびレジスタ231[2]の出力信号Q[2]を“L”にリセットする。時刻T11乃至T12において、信号LDを“H”とすることで、レジスタ231[1]の出力信号Q[1]をSO[1]に対応する値“L”に設定し、レジスタ231[2]の出力信号Q[2]をSO[2]に対応する値“H”に設定する。
時刻T10乃至T12の動作により、レジスタ231[1]の出力信号Q[1]は“L”、レジスタ231[2]の出力信号Q[2]は“H”となり、レジスタ部175Bを構成するレジスタ231に、スキャンチェーンレジスタ部175Aのデータをロードすることができる。
なお、レジスタ230が有する容量素子C3、C6は、オフ電流が極めて小さいOSトランジスタと電気的に接続されているため、電源供給が遮断された場合でも長時間電荷を保持することができる。電源供給の遮断によりレジスタ231のデータが消失しても、電源供給が再開した後、上記時刻T10乃至T12の動作を行うことで、スキャンチェーンレジスタ部175Aのデータをレジスタ部175Bにロードすることができる。
次に、時刻T13乃至T17において、再びスキャンチェーンレジスタ部175Aにデータを格納する。動作は時刻T1乃至T5と同様のため説明を省略するが、レジスタ230[1]の出力信号SO[1]は“H”、レジスタ230[2]の出力信号SO[2]は“L”となる。
ここで、電源供給が遮断される場合、レジスタ230の出力信号(SO[1]、SO[2])は、時刻T10乃至T12の動作によりロードされたレジスタ231の信号(Q[1]は“L”、Q[2]は“H”)と異なるため、レジスタ部175Bのデータをスキャンチェーンレジスタ部175Aにセーブすることが好ましい。
時刻T18乃至T19において、クロック信号CK1を“H”とすることで、レジスタ230[1]のノードN1[1]およびレジスタ230[2]のノードN1[2]を“L”にリセットする。時刻T19乃至T20において、信号SVを“H”とすることで、レジスタ230[1]のノードN1[1]をQ[1]に対応する値“L”に設定し、レジスタ230[2]のノードN1[2]をQ[2]に対応する値“H”に設定する。
この後、時刻T7乃至T9と同様のため説明および図を省略するが、クロック信号CK3およびクロック信号CK4を順次“H”とすることで、レジスタ230[1]の出力信号SO[1]をノードN1[1]に対応する値“L”に設定し、レジスタ230[2]の出力信号SO[2]をノードN1[2]に対応する値“H”に設定することができる。
このように、スキャンチェーンレジスタ部175Aのデータを更新中に電源供給を遮断する場合、スキャンチェーンレジスタ部175Aのデータと、レジスタ部175Bのデータとは整合性が取れていない。電源供給が再開した時、整合の取れていないデータをレジスタ部175Bにロードすることになるため、レジスタ部175Bのデータをスキャンチェーンレジスタ部175Aにセーブすることが好ましい。または、スキャンチェーンレジスタ部175Aのデータ更新が終わるまで待ってから、電源供給を遮断することもできる。
<コントローラICの他の構成例>
以下に、コントローラICの他の構成例を説明する。
図9に、ソースドライバを内蔵しないコントローラICの構成例を示す。図9に示すコントローラIC117は、コントローラIC115の変形例であり、領域191を有する。コントローラ154は、領域191内の回路への電源供給を制御する。
領域191には、ソースドライバが設けられていない。そのため、表示ユニット110は、ソースドライバIC186を有する。ソースドライバIC186の数は、画素アレイ111の画素数に応じて決定される。
ソースドライバIC186は、反射素子10a、および発光素子10bの双方を駆動する機能を備える。そのため、ここでは1種類のソースドライバIC186でソースドライバを構成しているが、ソースドライバの構成はこれに限定されない。例えば、反射素子10aを駆動するためのソースドライバICと、発光素子10bを駆動するためのソースドライバICとで、ソースドライバを構成してもよい。
ゲートドライバ113、114と同様に、画素アレイ111の基板上にソースドライバを作製してもよい。
コントローラIC117に、TSドライバ126およびセンス回路127の一方または双方を設けてもよい。コントローラIC115も同様である。
<<動作例>>
表示装置100に関するコントローラIC115とレジスタ175の動作例について、出荷前と、表示装置100を有する電子機器の起動時、および通常動作時に分けて説明する。
<出荷前>
出荷前には、表示装置100の仕様等に関するパラメータを、レジスタ175に格納する。これらのパラメータには、例えば、画素数、タッチセンサ数、タイミングコントローラ173が各種タイミング信号の波形生成に用いるパラメータ、ソースドライバ182に発光素子10bを流れる電流を検出する電流検出回路を備えている場合、EL補正回路164の補正データ等がある。これらのパラメータは、レジスタ175以外に、専用のROMを設けて格納してもよい。
<起動時>
表示装置100を有する電子機器の起動時には、ホスト140より送られるユーザー設定等のパラメータを、レジスタ175に格納する。これらのパラメータには、例えば、表示の輝度や色調、タッチセンサの感度、省エネルギー設定(表示を暗くする、または表示を消す、までの時間)、また、ガンマ補正のカーブやテーブル等がある。なお、当該パラメータをレジスタ175に格納する際、コントローラ154からレジスタ175にクロック信号CK1乃至CK4及び当該クロック信号CK1乃至CK4に同期して当該パラメータに相当するデータが送信される。
<通常動作>
通常動作には、動画等を表示している状態、静止画を表示中でIDS駆動が可能な状態、表示を行わない状態等に分けられる。動画等を表示している状態は、画像処理部160、およびタイミングコントローラ173等は動作中であるが、レジスタ175のデータ変更は、スキャンチェーンレジスタ部175Aに対して行われるため、画像処理部160等への影響はない。スキャンチェーンレジスタ部175Aのデータ変更が終わった後、スキャンチェーンレジスタ部175Aのデータをレジスタ部175Bへ一括してロードすることで、レジスタ175のデータ変更が完了する。また、画像処理部160等は当該データに対応した動作に切り替わる。
静止画を表示中でIDS駆動が可能な状態では、レジスタ175は、例えば、領域190内の他の回路と同様、パワーゲーティングすることができる。この場合、スキャンチェーンレジスタ部175Aのデータを更新中であれば、レジスタ部175Bのデータをスキャンチェーンレジスタ部175Aにセーブすることが好ましい。
パワーゲーティングから復帰する際は、信号RS、LDに従い、スキャンチェーンレジスタ部175Aのデータをレジスタ部175Bにロードする。このようにして、パワーゲーティング前と同じ状態で、レジスタ175のデータは有効となる。なお、パワーゲーティングの状態であっても、ホスト140よりレジスタ175のパラメータ変更要求があった場合、レジスタ175のパワーゲーティングを解除し、パラメータを変更することができる。
表示を行わない状態では、例えば、領域190内の回路(レジスタ175を含む)は、パワーゲーティングすることができる。この場合、ホスト140も停止することがあるが、フレームメモリ151およびレジスタ175は不揮発性であるので、パワーゲーティングから復帰する際には、ホスト140の復帰を待たずに、パワーゲーティング前の表示(静止画)を行うことができる。
例えば、折りたたみ式の携帯電話の表示部に表示装置100を適用する場合、開閉センサ144の信号によって、携帯電話が折りたたまれ、表示装置100の表示面が使用されないことが検出されたとき、領域190内の回路に加えて、センサコントローラ153、およびタッチセンサコントローラ184等をパワーゲーティングすることができる。
携帯電話が折りたたまれたとき、ホスト140の規格によっては、ホスト140が停止する場合がある。ホスト140が停止した状態で、携帯電話が再び展開されても、フレームメモリ151およびレジスタ175は不揮発性であるので、ホスト140から画像データ、各種制御信号等が送られる前に、フレームメモリ151内の画像データを表示することができる。
以上のように、レジスタ175はスキャンチェーンレジスタ部175Aとレジスタ部175Bを有し、スキャンチェーンレジスタ部175Aに対してデータ変更を行うことで、画像処理部160およびタイミングコントローラ173等へ影響を与えることなく、スムーズなパラメータ変更を行うことができる。また、スキャンチェーンレジスタ部175Aの各レジスタ230は、OSトランジスタを用いた不揮発性レジスタであるため、表示装置の動作状況に合わせたパワーゲーティングが容易である。また、フレームメモリ151も不揮発性であるため、電源供給が再開された時、速やかに表示を再開することができる。パワーゲーティング状態への移行と復帰をスムーズに行うことができ、低消費電力化が可能なシステムを実現することができる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、実施の形態1に記載の表示ユニット110の詳細について説明を行う。
<表示パネルの構成例>
図10は、表示ユニット110の構成例を説明するブロック図である。
表示ユニット110は、画素アレイ111を有する。また、表示ユニット110は、ゲートドライバGD、またはソースドライバSDを備えることができる。
《画素アレイ111》
画素アレイ111は、一群の複数の画素702(i,1)乃至画素702(i,n)と、他の一群の複数の画素702(1,j)乃至画素702(m,j)と、走査線G1(i)と、を有する。また、走査線G2(i)と、配線CSCOMと、配線ANOと、信号線S2(j)と、を有する。なお、iは1以上m以下の整数であり、jは1以上n以下の整数であり、mおよびnは1以上の整数である。
一群の複数の画素702(i,1)乃至画素702(i,n)は画素702(i,j)を含み、一群の複数の画素702(i,1)乃至画素702(i,n)は行方向(図中に矢印R1で示す方向)に配設される。
他の一群の複数の画素702(1,j)乃至画素702(m,j)は、画素702(i,j)を含み、他の一群の複数の画素702(1,j)乃至画素702(m,j)は行方向と交差する列方向(図中に矢印C1で示す方向)に配設される。
走査線G1(i)および走査線G2(i)は、行方向に配設される一群の複数の画素702(i,1)乃至画素702(i,n)と電気的に接続される。
列方向に配設される他の一群の複数の画素702(1,j)乃至画素702(m,j)は、信号線S1(j)および信号線S2(j)と電気的に接続される。
《ゲートドライバGD》
ゲートドライバGDは、制御情報に基づいて選択信号を供給する機能を有する。
一例を挙げれば、制御情報に基づいて、30Hz以上、好ましくは60Hz以上の頻度で一の走査線に選択信号を供給する機能を備える。これにより、動画像をなめらかに表示することができる。
例えば、制御情報に基づいて、30Hz未満、好ましくは1Hz未満より好ましくは一分に一回未満の頻度で一の走査線に選択信号を供給する機能を備える。これにより、フリッカーが抑制された状態で静止画像を表示することができる。
《ソースドライバSD、ソースドライバSD1、ソースドライバSD2》
ソースドライバSDは、ソースドライバSD1と、ソースドライバSD2と、を有する。ソースドライバSD1およびソースドライバSD2は、コントローラIC115からの信号に基づいて、データ信号を供給する機能を有する。
ソースドライバSD1は、一の表示素子と電気的に接続される画素回路に供給するデータ信号を生成する機能を備える。具体的には、極性が反転する信号を生成する機能を備える。これにより、例えば、液晶表示素子を駆動することができる。
ソースドライバSD2は、一の表示素子とは異なる方法を用いて表示をする他の表示素子(以下、第2の表示素子ともいう)と電気的に接続される画素回路に供給するデータ信号を生成する機能を備える。例えば、有機EL素子を駆動することができる。
例えば、シフトレジスタ等のさまざまな順序回路等をソースドライバSDに用いることができる。
例えば、ソースドライバSD1およびソースドライバSD2が集積された集積回路を、ソースドライバSDに用いることができる。具体的には、シリコン基板上に形成された集積回路をソースドライバSDに用いることができる。
ソースドライバSDを、コントローラIC115と同じ集積回路に含めてもよい。具体的には、シリコン基板上に形成された集積回路を、コントローラIC115およびソースドライバSDに用いることができる。
例えば、COG(Chip on glass)法またはCOF(Chip on Film)法を用いて、上記集積回路を実装することができる。具体的には、異方性導電膜を用いて、集積回路を端子に実装することができる。
《画素回路》
図11は、画素702の構成例を示す回路図である。画素702(i,j)は、反射素子10a(i,j)および発光素子10b(i,j)を駆動する機能を備える。これにより、例えば同一の工程を用いて形成することができる画素回路を用いて、反射素子10aと、反射素子10aとは異なる方法を用いて表示をする発光素子10bと、を駆動することができる。反射型の表示素子、反射素子10aを用いて表示を行うことで、消費電力を低減することができる。または、外光が明るい環境下において高いコントラストで画像を良好に表示することができる。光を射出する表示素子、発光素子10bを用いて表示を行うことで、暗い環境下で画像を良好に表示することができる。
画素702(i,j)は、信号線S1(j)、信号線S2(j)、走査線G1(i)、走査線G2(i)、配線CSCOMおよび配線ANOと電気的に接続される。
画素702(i,j)は、スイッチSW1、容量素子C11、スイッチSW2、トランジスタMおよび容量素子C12を含む。
走査線G1(i)と電気的に接続されるゲート電極と、信号線S1(j)と電気的に接続される第1の電極と、を有するトランジスタを、スイッチSW1に用いることができる。
容量素子C11は、スイッチSW1に用いるトランジスタの第2の電極と電気的に接続される第1の電極と、配線CSCOMと電気的に接続される第2の電極と、を有する。
走査線G2(i)と電気的に接続されるゲート電極と、信号線S2(j)と電気的に接続される第1の電極と、を有するトランジスタを、スイッチSW2に用いることができる。
トランジスタMは、スイッチSW2に用いるトランジスタの第2の電極と電気的に接続されるゲート電極と、配線ANOと電気的に接続される第1の電極と、を有する。
なお、トランジスタMは、第1のゲート電極と第2のゲート電極を有していてもよい。第1のゲート電極と第2のゲート電極は、電気的に接続されていてもよい。第1のゲート電極と第2のゲート電極は、半導体膜を間に介して互いに重なる領域を有することが好ましい。
容量素子C12は、スイッチSW2に用いるトランジスタの第2の電極と電気的に接続される第1の電極と、トランジスタMの第1の電極と電気的に接続される第2の電極と、を有する。
反射素子10a(i,j)の第1の電極を、スイッチSW1に用いるトランジスタの第2の電極と電気的に接続する。また、反射素子10a(i,j)の第2の電極を、配線VCOM1と電気的に接続する。これにより、反射素子10a(i,j)を駆動することができる。
発光素子10b(i,j)の第1の電極をトランジスタMの第2の電極と電気的に接続し、発光素子10b(i,j)の第2の電極を配線VCOM2と電気的に接続する。これにより、発光素子10b(i,j)を駆動することができる。
<表示パネル上面図>
図12は、表示ユニット110の構成を説明する図である。図12(A)は、表示ユニット110の上面図であり、図12(B)は、図12(A)に示す表示ユニット110の画素の一部を説明する上面図である。図12(C)は、図12(B)に示す画素の構成を説明する模式図である。
図12(A)は、フレキシブルプリント基板FPC1上に、ソースドライバSDと端子519Bが配置されている。
図12(C)において、画素702(i,j)は、反射素子10a(i,j)および発光素子10b(i,j)を備える。
<表示パネル断面図>
図13および図14は、表示ユニット110の構成を説明する断面図である。図13(A)は、図12(A)の切断線X1−X2、切断線X3−X4、図12(B)の切断線X5−X6における断面図であり、図13(B)は、図13(A)の一部を説明する図である。
図14(A)は、図12(B)の切断線X7−X8、図12(A)の切断線X9−X10における断面図であり、図14(B)は、図14(A)の一部を説明する図である。
以下、図13および図14用いて、表示ユニット110の各構成要素について説明を行う。
《基板570》
作製工程中の熱処理に耐えうる程度の耐熱性を有する材料を基板570等に用いることができる。例えば、厚さ0.7mm以下厚さ0.1mm以上の材料を基板570に用いることができる。具体的には、厚さ0.1mm程度まで研磨した材料を用いることができる。
例えば、第6世代(1500mm×1850mm)、第7世代(1870mm×2200mm)、第8世代(2200mm×2400mm)、第9世代(2400mm×2800mm)、第10世代(2950mm×3400mm)等の面積が大きなガラス基板を基板570等に用いることができる。これにより、大型の表示装置を作製することができる。
有機材料、無機材料または有機材料と無機材料等の複合材料等を基板570等に用いることができる。例えば、ガラス、セラミックス、金属等の無機材料を基板570等に用いることができる。
具体的には、無アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、カリガラス、クリスタルガラス、アルミノ珪酸ガラス、強化ガラス、化学強化ガラス、石英またはサファイア等を、基板570等に用いることができる。具体的には、無機酸化物膜、無機窒化物膜または無機酸窒化物膜等を、基板570等に用いることができる。例えば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜等を、基板570等に用いることができる。ステンレス・スチールまたはアルミニウム等を、基板570等に用いることができる。
例えば、シリコンや炭化シリコンからなる単結晶半導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウム等の化合物半導体基板、SOI基板等を基板570等に用いることができる。これにより、半導体素子を基板570等に形成することができる。
例えば、樹脂、樹脂フィルムまたはプラスチック等の有機材料を基板570等に用いることができる。具体的には、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネートまたはアクリル樹脂等の樹脂フィルムまたは樹脂板を、基板570等に用いることができる。
例えば、金属板、薄板状のガラス板または無機材料等の膜を樹脂フィルム等に貼り合わせた複合材料を基板570等に用いることができる。例えば、繊維状または粒子状の金属、ガラスもしくは無機材料等を樹脂フィルムに分散した複合材料を、基板570等に用いることができる。例えば、繊維状または粒子状の樹脂もしくは有機材料等を無機材料に分散した複合材料を、基板570等に用いることができる。
また、単層の材料または複数の層が積層された材料を、基板570等に用いることができる。例えば、基材と基材に含まれる不純物の拡散を防ぐ絶縁膜等が積層された材料を、基板570等に用いることができる。具体的には、ガラスとガラスに含まれる不純物の拡散を防ぐ酸化シリコン層、窒化シリコン層または酸化窒化シリコン層等から選ばれた一または複数の膜が積層された材料を、基板570等に用いることができる。または、樹脂と樹脂を透過する不純物の拡散を防ぐ酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜等が積層された材料を、基板570等に用いることができる。
具体的には、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート若しくはアクリル樹脂等の樹脂フィルム、樹脂板または積層材料等を基板570等に用いることができる。
具体的には、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド(ナイロン、アラミド等)、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリウレタン、アクリル樹脂、エポキシ樹脂もしくはシリコーン等のシロキサン結合を有する樹脂を含む材料を基板570等に用いることができる。
具体的には、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)またはアクリル樹脂等を基板570等に用いることができる。または、シクロオレフィンポリマー(COP)、シクロオレフィンコポリマー(COC)等を用いることができる。
また、紙または木材などを基板570等に用いることができる。
例えば、可撓性を有する基板を基板570等に用いることができる。
なお、トランジスタまたは容量素子等を基板に直接形成する方法を用いることができる。また、例えば作製工程中に加わる熱に耐熱性を有する工程用の基板にトランジスタまたは容量素子等を形成し、形成されたトランジスタまたは容量素子等を基板570等に転置する方法を用いることができる。これにより、例えば可撓性を有する基板にトランジスタまたは容量素子等を形成できる。
《基板770》
例えば、透光性を備える材料を基板770に用いることができる。具体的には、基板570に用いることができる材料から選択された材料を基板770に用いることができる。
例えば、アルミノ珪酸ガラス、強化ガラス、化学強化ガラスまたはサファイア等を、表示パネルの使用者に近い側に配置される基板770に好適に用いることができる。これにより、使用に伴う表示パネルの破損や傷付きを防止することができる。
また、例えば、厚さ0.7mm以下厚さ0.1mm以上の材料を基板770に用いることができる。具体的には、厚さを薄くするために研磨した基板を用いることができる。これにより、機能膜770Dを反射素子10a(i,j)に近づけて配置することができる。その結果、画像のボケを低減し、画像を鮮明に表示することができる。
《構造体KB1》
例えば、有機材料、無機材料または有機材料と無機材料の複合材料を構造体KB1等に用いることができる。これにより、所定の間隔を、構造体KB1等を挟む構成の間に設けることができる。
具体的には、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリシロキサン若しくはアクリル樹脂等またはこれらから選択された複数の樹脂の複合材料などを構造体KB1に用いることができる。また、感光性を有する材料を用いて形成してもよい。
《封止材705》
無機材料、有機材料または無機材料と有機材料の複合材料等を、封止材705等に用いることができる。
例えば、熱溶融性の樹脂または硬化性の樹脂等の有機材料を、封止材705等に用いることができる。
例えば、反応硬化型接着剤、光硬化型接着剤、熱硬化型接着剤または/および嫌気型接着剤等の有機材料を、封止材705等に用いることができる。
具体的には、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、PVC(ポリビニルクロライド)樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)樹脂、EVA(エチレンビニルアセテート)樹脂等を含む接着剤を、封止材705等に用いることができる。
《接合層505》
例えば、封止材705に用いることができる材料を、接合層505に用いることができる。
《絶縁膜521、絶縁膜518》
例えば、絶縁性の無機材料、絶縁性の有機材料または無機材料と有機材料を含む絶縁性の複合材料を、絶縁膜521、518等に用いることができる。
具体的には、無機酸化物膜、無機窒化物膜または無機酸化窒化物膜等またはこれらから選ばれた複数を積層した積層材料を、絶縁膜521、518等に用いることができる。例えば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜等、またはこれらから選ばれた複数を積層した積層材料を含む膜を、絶縁膜521、518等に用いることができる。
具体的には、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリシロキサン若しくはアクリル樹脂等、またはこれらから選択された複数の樹脂の積層材料もしくは複合材料などを、絶縁膜521、518等に用いることができる。また、感光性を有する材料を用いて形成してもよい。
これにより、例えば絶縁膜521、518と重なるさまざまな構造に由来する段差を平坦化することができる。
《絶縁膜528》
例えば、絶縁膜521に用いることができる材料を、絶縁膜528等に用いることができる。具体的には、厚さ1μmのポリイミドを含む膜を絶縁膜528に用いることができる。
《絶縁膜501A》
例えば、絶縁膜521に用いることができる材料を、絶縁膜501Aに用いることができる。また、例えば、水素を供給する機能を備える材料を、絶縁膜501Aに用いることができる。
具体的には、シリコンおよび酸素を含む材料と、シリコンおよび窒素を含む材料と、を積層した材料を、絶縁膜501Aに用いることができる。例えば、加熱等により水素を放出し、放出した水素を他の構成に供給する機能を備える材料を、絶縁膜501Aに用いることができる。具体的には、作製工程中に取り込まれた水素を加熱等により放出し、他の構成に供給する機能を備える材料を絶縁膜501Aに用いることができる。
例えば、原料ガスにシラン等を用いる化学気相成長法により形成されたシリコンおよび酸素を含む膜を、絶縁膜501Aに用いることができる。
具体的には、シリコンおよび酸素を含む厚さ200nm以上600nm以下の材料と、シリコンおよび窒素を含む厚さ200nm程度の材料と、を積層した材料を絶縁膜501Aに用いることができる。
《絶縁膜501C》
例えば、絶縁膜521に用いることができる材料を、絶縁膜501Cに用いることができる。具体的には、シリコンおよび酸素を含む材料を、絶縁膜501Cに用いることができる。これにより、画素回路または第2の表示素子等への不純物の拡散を抑制することができる。
例えば、シリコン、酸素および窒素を含む厚さ200nmの膜を絶縁膜501Cに用いることができる。
《中間膜754A、中間膜754B、中間膜754C》
例えば、10nm以上500nm以下、好ましくは10nm以上100nm以下の厚さを有する膜を、中間膜754A、中間膜754Bまたは中間膜754Cに用いることができる。なお、本明細書において、中間膜754A、中間膜754Bまたは中間膜754Cを中間膜という。
例えば、水素を透過または供給する機能を備える材料を、中間膜に用いることができる。
例えば、導電性を備える材料を中間膜に用いることができる。
例えば、透光性を備える材料を中間膜に用いることができる。
具体的には、インジウムおよび酸素を含む材料、インジウム、ガリウム、亜鉛および酸素を含む材料、またはインジウム、スズおよび酸素を含む材料等を中間膜に用いることができる。なお、これらの材料は水素を透過する機能を備える。
具体的には、インジウム、ガリウム、亜鉛および酸素を含む厚さ50nmの膜または厚さ100nmの膜を中間膜に用いることができる。
なお、エッチングストッパーとして機能する膜が積層された材料を中間膜に用いることができる。具体的には、インジウム、ガリウム、亜鉛および酸素を含む厚さ50nmの膜と、インジウム、スズおよび酸素を含む厚さ20nmの膜と、をこの順で積層した積層材料を中間膜に用いることができる。
《配線、端子、導電膜》
導電性を備える材料を配線等に用いることができる。具体的には、導電性を備える材料を、信号線S1(j)、信号線S2(j)、走査線G1(i)、走査線G2(i)、配線CSCOM、配線ANO、導電膜511Bまたは導電膜511C等に用いることができる。
例えば、無機導電性材料、有機導電性材料、金属または導電性セラミックスなどを配線等に用いることができる。
具体的には、アルミニウム、金、白金、銀、銅、クロム、タンタル、チタン、モリブデン、タングステン、ニッケル、鉄、コバルト、パラジウム、またはマンガンから選ばれた金属元素などを、配線等に用いることができる。または、上述した金属元素を含む合金などを、配線等に用いることができる。特に、銅とマンガンの合金がウエットエッチング法を用いた微細加工に好適である。
具体的には、アルミニウム膜上にチタン膜を積層する二層構造、窒化チタン膜上にチタン膜を積層する二層構造、窒化チタン膜上にタングステン膜を積層する二層構造、窒化タンタル膜または窒化タングステン膜上にタングステン膜を積層する二層構造、チタン膜と、そのチタン膜上にアルミニウム膜を積層し、さらにその上にチタン膜を形成する三層構造等を配線等に用いることができる。
具体的には、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物を、配線等に用いることができる。
具体的には、グラフェンまたはグラファイトを含む膜を配線等に用いることができる。
例えば、酸化グラフェンを含む膜を形成し、酸化グラフェンを含む膜を還元することにより、グラフェンを含む膜を形成することができる。還元する方法としては、熱を加える方法や還元剤を用いる方法等を挙げることができる。
例えば、金属ナノワイヤーを含む膜を配線等に用いることができる。具体的には、銀を含むナノワイヤーを用いることができる。
具体的には、導電性高分子を配線等に用いることができる。
なお、例えば、導電材料ACF1を用いて、端子519Bとフレキシブルプリント基板FPC1を電気的に接続することができる。
《反射素子10a(i,j)》
反射素子10a(i,j)は、光の反射を制御する機能を備えた表示素子であり、例えば、液晶素子、電気泳動素子、またはMEMS表示素子等を用いることができる。具体的には、反射型の液晶表示素子を反射素子10a(i,j)に用いることができる。反射型の表示素子を用いることにより、表示パネルの消費電力を抑制することができる。
例えば、IPS(In−Plane−Switching)モード、TN(Twisted Nematic)モード、FFS(Fringe Field Switching)モード、ASM(Axially Symmetric aligned Micro−cell)モード、OCB(Optically Compensated Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モードなどの駆動方法を用いて駆動することができる液晶素子を用いることができる。
また、例えば垂直配向(VA)モード、具体的には、MVA(Multi−Domain Vertical Alignment)モード、PVA(Patterned Vertical Alignment)モード、ECB(Electrically Controlled Birefringence)モード、CPA(Continuous Pinwheel Alignment)モード、ASV(Advanced Super−View)モードなどの駆動方法を用いて駆動することができる液晶素子を用いることができる。
反射素子10a(i,j)は、電極751(i,j)と、電極752と、液晶材料を含む層753と、を有する。層753は、電極751(i,j)および電極752の間の電圧を用いて配向を制御することができる液晶材料を含む。例えば、層753の厚さ方向(縦方向ともいう)、縦方向と交差する方向(横方向または斜め方向ともいう)の電界を、液晶材料の配向を制御する電界に用いることができる。
例えば、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を、層753に用いることができる。または、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す液晶材料を用いることができる。または、ブルー相を示す液晶材料を用いることができる。
例えば、配線等に用いる材料を電極751(i,j)に用いることができる。具体的には、反射膜を電極751(i,j)に用いることができる。例えば、透光性を備える導電膜と、開口部を備える反射膜と、を積層した材料を電極751(i,j)に用いることができる。
例えば、導電性を備える材料を、電極752に用いることができる。可視光について透光性を備える材料を、電極752に用いることができる。
例えば、導電性酸化物、光が透過する程度に薄い金属膜または金属ナノワイヤーを、電極752に用いることができる。
具体的には、インジウムを含む導電性酸化物を電極752に用いることができる。または、厚さ1nm以上10nm以下の金属薄膜を電極752に用いることができる。また、銀を含む金属ナノワイヤーを電極752に用いることができる。
具体的には、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛、アルミニウムを添加した酸化亜鉛などを、電極752に用いることができる。
《反射膜》
例えば、可視光を反射する材料を反射膜に用いることができる。具体的には、銀を含む材料を反射膜に用いることができる。例えば、銀およびパラジウム等を含む材料または銀および銅等を含む材料を反射膜に用いることができる。
反射膜は、例えば、層753を透過してくる光を反射する。これにより、反射素子10a(i,j)を反射型の表示素子にすることができる。また、例えば、表面に凹凸を備える材料を、反射膜に用いることができる。これにより、入射する光をさまざまな方向に反射して、白色の表示をすることができる。
例えば、電極751(i,j)等を反射膜に用いることができる。
例えば、層753と電極751(i,j)の間に挟まれる領域を備える膜を、反射膜に用いることができる。または、電極751(i,j)が透光性を有する場合、電極751(i,j)を間に介して、層753と重なる領域を有する膜を、反射膜に用いることができる。
反射膜は、例えば、発光素子10b(i,j)が射出する光を遮らない領域を有することが好ましい。例えば、単数または複数の開口部751Hを備える形状を反射膜に用いることが好ましい。
多角形、四角形、楕円形、円形または十字等の形状を開口部に用いることができる。また、細長い筋状、スリット状、市松模様状の形状を開口部751Hに用いることができる。
非開口部の総面積に対する開口部751Hの総面積の比の値が大きすぎると、反射素子10a(i,j)を用いた表示が暗くなってしまう。
また、非開口部の総面積に対する開口部751Hの総面積の比の値が小さすぎると、発光素子10b(i,j)を用いた表示が暗くなってしまう。
図15は、表示ユニット110の画素に用いることができる反射膜の形状を説明する模式図である。
例えば、画素702(i,j)に隣接する画素702(i,j+1)の開口部751Hは、画素702(i,j)の開口部751Hを通る行方向(図中に矢印R1で示す方向)に延びる直線上に配設されない(図15(A)参照)。または、例えば、画素702(i,j)に隣接する画素702(i+1,j)の開口部751Hは、画素702(i,j)の開口部751Hを通る、列方向(図中に矢印C1で示す方向)に延びる直線上に配設されない(図15(B)参照)。
例えば、画素702(i,j+2)の開口部751Hは、画素702(i,j)の開口部751Hを通る、行方向に延びる直線上に配設される(図15(A)参照)。また、画素702(i,j+1)の開口部751Hは、画素702(i,j)の開口部751Hおよび画素702(i,j+2)の開口部751Hの間において当該直線と直交する直線上に配設される。
または、例えば、画素702(i+2,j)の開口部751Hは、画素702(i,j)の開口部751Hを通る、列方向に延びる直線上に配設される(図15(B)参照)。また、例えば、画素702(i+1,j)の開口部751Hは、画素702(i,j)の開口部751Hおよび画素702(i+2,j)の開口部751Hの間において、当該直線と直交する直線上に配設される。
これにより、一の画素に隣接する他の画素の開口部に重なる領域を備える第2の表示素子を、一の画素の開口部に重なる領域を備える第2の表示素子から遠ざけることができる。または、一の画素に隣接する他の画素の第2の表示素子に、一の画素の第2の表示素子が表示する色とは異なる色を表示する表示素子を配設することができる。または、異なる色を表示する複数の表示素子を、隣接して配設する難易度を軽減することができる。
なお、例えば、発光素子10b(i,j)が射出する光を遮らない領域751Eが形成されるように、端部が切除されたような形状を備える材料を、反射膜に用いることができる(図15(C)参照)。具体的には、列方向(図中に矢印C1で示す方向)が短くなるように端部が切除された電極751(i,j)を、反射膜に用いることができる。
《配向膜AF1、配向膜AF2》
例えば、ポリイミド等を含む材料を配向膜AF1または配向膜AF2に用いることができる。具体的には、液晶材料が所定の方向に配向するようにラビング処理または光配向技術を用いて形成された材料を用いることができる。
例えば、可溶性のポリイミドを含む膜を配向膜AF1または配向膜AF2に用いることができる。これにより、配向膜AF1または配向膜AF2を形成する際に必要とされる温度を低くすることができる。その結果、配向膜AF1または配向膜AF2を形成する際に他の構成に与える損傷を軽減することができる。
《着色膜CF1、着色膜CF2》
所定の色の光を透過する材料を、着色膜CF1または着色膜CF2に用いることができる。これにより、着色膜CF1または着色膜CF2を、例えばカラーフィルターに用いることができる。例えば、青色、緑色または赤色の光を透過する材料を、着色膜CF1または着色膜CF2に用いることができる。また、黄色の光または白色の光等を透過する材料を着色膜CF1または着色膜CF2に用いることができる。
なお、照射された光を所定の色の光に変換する機能を備える材料を着色膜CF2に用いることができる。具体的には、量子ドットを着色膜CF2に用いることができる。これにより、色純度の高い表示をすることができる。
《遮光膜BM》
光の透過を妨げる材料を遮光膜BMに用いることができる。これにより、遮光膜BMを例えばブラックマトリクスに用いることができる。
《絶縁膜771》
例えば、ポリイミド、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等を絶縁膜771に用いることができる。
《機能膜770P、機能膜770D》
例えば、反射防止フィルム、偏光フィルム、位相差フィルム、光拡散フィルムまたは集光フィルム等を機能膜770Pまたは機能膜770Dに用いることができる。
具体的には、2色性色素を含む膜を機能膜770Pまたは機能膜770Dに用いることができる。または、基材の表面と交差する方向に沿った軸を備える柱状構造を有する材料を、機能膜770Pまたは機能膜770Dに用いることができる。これにより、光を軸に沿った方向に透過し易く、他の方向に散乱し易くすることができる。
また、ゴミの付着を抑制する帯電防止膜、汚れを付着しにくくする撥水性の膜、使用に伴う傷の発生を抑制するハードコート膜などを、機能膜770Pに用いることができる。
具体的には、円偏光フィルムを機能膜770Pに用いることができる。また、光拡散フィルムを機能膜770Dに用いることができる。
《発光素子10b(i,j)》
例えば、有機EL素子、無機EL素子、または発光ダイオードなどを、発光素子10b(i,j)に用いることができる。
発光素子10b(i,j)は、電極551(i,j)と、電極552と、発光性の材料を含む層553(j)と、を備える。
例えば、発光性の有機化合物を層553(j)に用いることができる。
例えば、量子ドットを層553(j)に用いることができる。これにより、半値幅が狭く、鮮やかな色の光を発することができる。
例えば、青色の光を射出するように積層された積層材料、緑色の光を射出するように積層された積層材料、または赤色の光を射出するように積層された積層材料等を、層553(j)に用いることができる。
例えば、信号線S2(j)に沿って列方向に長い帯状の積層材料を、層553(j)に用いることができる。
また、例えば、白色の光を射出するように積層された積層材料を、層553(j)に用いることができる。具体的には、青色の光を射出する蛍光材料を含む発光性の材料を含む層と、緑色および赤色の光を射出する蛍光材料以外の材料を含む層または黄色の光を射出する蛍光材料以外の材料を含む層と、を積層した積層材料を、層553(j)に用いることができる。
例えば、配線等に用いることができる材料を電極551(i,j)に用いることができる。
例えば、配線等に用いることができる材料から選択された、可視光について透光性を有する材料を、電極551(i,j)に用いることができる。
具体的には、導電性酸化物またはインジウムを含む導電性酸化物、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛などを、電極551(i,j)に用いることができる。または、光が透過する程度に薄い金属膜を電極551(i,j)に用いることができる。または、光の一部を透過し、光の他の一部を反射する金属膜を電極551(i,j)に用いることができる。これにより、微小共振器構造を発光素子10b(i,j)に設けることができる。その結果、所定の波長の光を他の波長の光より効率よく取り出すことができる。
例えば、配線等に用いることができる材料を電極552に用いることができる。具体的には、可視光について反射性を有する材料を、電極552に用いることができる。
《ゲートドライバGD》
シフトレジスタ等のさまざまな順序回路等をゲートドライバGDに用いることができる。例えば、トランジスタMD、容量素子等をゲートドライバGDに用いることができる。具体的には、スイッチSW1に用いることができるトランジスタ、またはトランジスタMと同一の工程で形成することができる半導体膜を備えるトランジスタを用いることができる。
例えば、スイッチSW1に用いることができるトランジスタと異なる構成をトランジスタMDに用いることができる。具体的には、導電膜524を有するトランジスタをトランジスタMDに用いることができる。
なお、トランジスタMと同一の構成を、トランジスタMDに用いることができる。
《トランジスタ》
例えば、同一の工程で形成することができる半導体膜を、ゲートドライバ、ソースドライバ、および画素回路のトランジスタに用いることができる。
例えば、ボトムゲート型のトランジスタまたはトップゲート型のトランジスタなどを、ゲートドライバ、ソースドライバのトランジスタ、または画素回路のトランジスタに用いることができる。
例えば、実施の形態1で説明したOSトランジスタを利用することができる。これにより、先述のアイドリングストップが可能になる。
例えば、酸化物半導体膜508、導電膜504、導電膜512Aおよび導電膜512Bを備えるトランジスタをスイッチSW1に用いることができる(図14(B)参照)。なお、絶縁膜506は、酸化物半導体膜508および導電膜504の間に挟まれる領域を備える。
導電膜504は、酸化物半導体膜508と重なる領域を備える。導電膜504はゲート電極の機能を備える。絶縁膜506はゲート絶縁膜の機能を備える。
導電膜512Aおよび導電膜512Bは、酸化物半導体膜508と電気的に接続される。導電膜512Aはソース電極の機能またはドレイン電極の機能の一方を備え、導電膜512Bはソース電極の機能またはドレイン電極の機能の他方を備える。
また、導電膜524を有するトランジスタを、ゲートドライバ、ソースドライバ、または画素回路のトランジスタに用いることができる。導電膜524は、導電膜504との間に酸化物半導体膜508を挟む領域を備える。なお、絶縁膜516は、導電膜524および酸化物半導体膜508の間に挟まれる領域を備える。また、例えば、導電膜504と同じ電位を供給する配線に導電膜524を電気的に接続する。
例えば、タンタルおよび窒素を含む厚さ10nmの膜と、銅を含む厚さ300nmの膜と、を積層した導電膜を導電膜504に用いることができる。なお、銅を含む膜は、絶縁膜506との間に、タンタルおよび窒素を含む膜を挟む領域を備える。
例えば、シリコンおよび窒素を含む厚さ400nmの膜と、シリコン、酸素および窒素を含む厚さ200nmの膜と、を積層した材料を絶縁膜506に用いることができる。なお、シリコンおよび窒素を含む膜は、酸化物半導体膜508との間に、シリコン、酸素および窒素を含む膜を挟む領域を備える。
例えば、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含む厚さ25nmの膜を、酸化物半導体膜508に用いることができる。
例えば、タングステンを含む厚さ50nmの膜と、アルミニウムを含む厚さ400nmの膜と、チタンを含む厚さ100nmの膜と、をこの順で積層した導電膜を、導電膜512Aまたは導電膜512Bに用いることができる。なお、タングステンを含む膜は、酸化物半導体膜508と接する領域を備える。
なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
図16(A)は、図12(B)に示す表示パネルの画素の一部を説明する下面図であり、図16(B)は、図16(A)に示す構成の一部を省略して説明する下面図である。
(実施の形態3)
本実施の形態では、上記実施の形態の表示ユニットにタッチセンサユニットを適用した表示装置について説明を行う。
図17は、タッチセンサユニット120と表示ユニット110を備えた、表示装置100の構成を説明するブロック図である。図18(A)は、表示装置100の上面図である。図18(B)は、表示装置100の入力部の一部を説明する模式図である。
タッチセンサユニット120は、センサアレイ121、TSドライバ126およびセンス回路127を備える(図17参照)。
センサアレイ121は、表示ユニット110の画素アレイ111と重なる領域を備える。センサアレイ121は、画素アレイ111と重なる領域に近接するものを検知する機能を備える。
センサアレイ121は、一群の検知素子775(g,1)乃至検知素子775(g,q)と、他の一群の検知素子775(1,h)乃至検知素子775(p,h)と、を有する。なお、gは1以上p以下の整数であり、hは1以上q以下の整数であり、pおよびqは1以上の整数である。
一群の検知素子775(g,1)乃至検知素子775(g,q)は、検知素子775(g,h)を含み、行方向(図中に矢印R2で示す方向)に配設される。
また、他の一群の検知素子775(1,h)乃至検知素子775(p,h)は、検知素子775(g,h)を含み、行方向と交差する列方向(図中に矢印C2で示す方向)に配設される。
行方向に配設される一群の検知素子775(g,1)乃至検知素子775(g,q)は、制御線DRL(g)と電気的に接続される電極SE(g)を含む(図18(B)参照)。
列方向に配設される他の一群の検知素子775(1,h)乃至検知素子775(p,h)は、検知信号線SNL(h)と電気的に接続される電極ME(h)を含む(図18(B)参照)。
電極SE(g)および電極ME(h)は、透光性を備えることが好ましい。
配線DRL(g)は、制御信号を供給する機能を備える。
配線SNL(h)は、検知信号を供給される機能を備える。
電極ME(h)は、電極SE(g)との間に電界を形成するように配置される。センサアレイ121に、指などの物体が近接すると上記電界が遮蔽され、検知素子775(g,h)は、検知信号を供給する。
TSドライバ126は、配線DRL(g)と電気的に接続され、制御信号を供給する機能を備える。例えば、矩形波、のこぎり波また三角波等を制御信号に用いることができる。
センス回路127は、配線SNL(h)と電気的に接続され、配線SNL(h)の電位の変化に基づいて検知信号を供給する機能を備える。なお、検知信号は、例えば、位置情報を含む。
検知信号は、コントローラIC115に供給される。コントローラIC115は、検知信号に対応した情報をホスト140に供給し、画素アレイ111に表示される画像が更新される。
図19および図20は、表示装置100の構成を説明する図である。図19(A)は、図18(A)の切断線X1−X2、切断線X3−X4、切断線X5−X6における断面図であり、図19(B)は、図19(A)の一部の構成を説明する断面図である。
図20は、図18(A)の切断線X7−X8、X9−X10、X11−X12における断面図である。
表示装置100は、機能層720を備える点およびトップゲート型のトランジスタを有する点が、例えば、実施の形態2の表示ユニット110とは異なる。ここでは、異なる部分について詳細に説明し、同様の構成を用いることができる部分については、上記の説明を援用する。
機能層720は、例えば、基板770、絶縁膜501Cおよび封止材705に囲まれる領域を備える(図19参照)。
機能層720は、例えば、配線DRL(g)と、配線SNL(h)と、検知素子775(g,h)と、を備える。
なお、配線DRL(g)および電極752の間、または、配線SNL(h)および電極752の間に、0.2μm以上16μm以下、好ましくは1μm以上8μm以下、より好ましくは2.5μm以上4μm以下の間隔を備える。
また、表示装置100は、導電膜511Dを有す(図20参照)。
なお、配線DRL(g)および導電膜511Dの間に導電材料CP等を配設し、配線DRL(g)と導電膜511Dを電気的に接続することができる。または、配線SNL(h)および導電膜511Dの間に導電材料CP等を配設し、配線SNL(h)と導電膜511Dを、電気的に接続することができる。例えば、配線等に用いることができる材料を導電膜511Dに用いることができる。
また、表示装置100は、端子519Dを有する(図20参照)。
端子519Dは、導電膜511Dと、中間膜754Dと、を備え、中間膜754Dは、導電膜511Dと接する領域を備える。
例えば、配線等に用いることができる材料を端子519Dに用いることができる。具体的には、端子519Bまたは端子519Cと同じ構成を端子519Dに用いることができる。
なお、例えば、導電材料ACF2を用いて、端子519Dとフレキシブルプリント基板FPC2を電気的に接続することができる。これにより、例えば、端子519Dを用いて制御信号を配線DRL(g)に供給することができる。または、端子519Dを用いて検知信号を、配線SNL(h)から供給されることができる。
スイッチSW1に用いることができるトランジスタ、トランジスタMおよびトランジスタMDは、絶縁膜501Cと重なる領域を備える導電膜504と、絶縁膜501Cおよび導電膜504の間に挟まれる領域を備える酸化物半導体膜508と、を備える。なお、導電膜504はゲート電極の機能を備える(図19(B)参照)。
酸化物半導体膜508は、導電膜504と重ならない第1の領域508Aおよび第2の領域508Bと、第1の領域508Aおよび第2の領域508Bの間に導電膜504と重なる第3の領域508Cと、を備える。
トランジスタMDは、第3の領域508Cおよび導電膜504の間に絶縁膜506を備える。なお、絶縁膜506はゲート絶縁膜の機能を備える。
第1の領域508Aおよび第2の領域508Bは、第3の領域508Cに比べて抵抗率が低く、ソース領域の機能またはドレイン領域の機能を備える。
例えば、酸化物半導体膜に希ガスを含むガスを用いるプラズマ処理を施して、第1の領域508Aおよび第2の領域508Bを酸化物半導体膜508に形成することができる。
また、例えば、導電膜504をマスクに用いることができる。これにより、第3の領域508Cの一部の形状を、導電膜504の端部の形状に自己整合させることができる。
トランジスタMDは、第1の領域508Aと接する導電膜512Aと、第2の領域508Bと接する導電膜512Bと、を備える。導電膜512Aおよび導電膜512Bは、ソース電極またはドレイン電極の機能を備える。
例えば、トランジスタMDと同一の工程で形成することができるトランジスタを、トランジスタMに用いることができる。
(実施の形態4)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置を有する電子機器について、説明を行う。
本表示装置は、反射素子による表示と発光素子による表示を適宜組み合わせて表示を行うことができるので、気象(晴天、雨天、曇天)、時間(昼、夜)等に制約されず、高品位の表示が可能である。そのため、本表示装置は、様々な場所で使用される携帯型電子機器の表示部に好適である。本表示装置は、なめらかな動画表示と低消費電力を両立することができるため、バッテリを電源とする携帯型電子機器の使用時間を長くすることができる。もちろん、携帯型電子機器に限らず、様々な電子機器の表示部に、本表示装置を適用することができる。ここでは、図21を参照して、表示部を備えた電子機器の幾つかの例を説明する。
図21(A)乃至図21(G)は、電子機器を示す図である。これらの電子機器は、筐体5000、表示部5001、スピーカ5003、LEDランプ5004、操作キー5005(電源スイッチ、又は操作スイッチを含む)、接続端子5006、センサ5007(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい、又は赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン5008、等を有することができる。
図21(A)はモバイルコンピュータであり、上述したものの他に、スイッチ5009、赤外線ポート5010、等を有することができる。図21(B)は記録媒体を備えた携帯型の画像再生装置(たとえば、DVD再生装置)であり、上述したものの他に、第2表示部5002、記録媒体読込部5011、等を有することができる。図21(C)はゴーグル型ディスプレイであり、上述したものの他に、第2表示部5002、支持部5012、イヤホン5013、等を有することができる。図21(D)は携帯型遊技機であり、上述したものの他に、記録媒体読込部5011、等を有することができる。図21(E)はテレビ受像機能付きデジタルカメラであり、上述したものの他に、アンテナ5014、シャッターボタン5015、受像部5016、等を有することができる。図21(F)は携帯型遊技機であり、上述したものの他に、第2表示部5002、記録媒体読込部5011、等を有することができる。図21(G)は持ち運び型テレビ受像器であり、上述したものの他に、信号の送受信が可能な充電器5017、等を有することができる。
図21(A)乃至図21(G)に示す電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示する機能、様々なソフトウエア(プログラム)によって処理を制御する機能、無線通信機能、無線通信機能を用いて様々なコンピュータネットワークに接続する機能、無線通信機能を用いて様々なデータの送信又は受信を行う機能、記録媒体に記録されているプログラム又はデータを読み出して表示部に表示する機能、等を有することができる。さらに、複数の表示部を有する電子機器においては、一つの表示部を主として画像情報を表示し、別の一つの表示部を主として文字情報を表示する機能、または、複数の表示部に視差を考慮した画像を表示することで立体的な画像を表示する機能、等を有することができる。さらに、受像部を有する電子機器においては、静止画を撮影する機能、動画を撮影する機能、撮影した画像を自動または手動で補正する機能、撮影した画像を記録媒体(外部又はカメラに内蔵)に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有することができる。なお、図21(A)乃至図21(G)に示す電子機器が有することのできる機能はこれらに限定されず、様々な機能を有することができる。
図21(H)は、スマートウオッチであり、筐体7302、表示パネル7304、操作ボタン7311、7312、接続端子7313、バンド7321、留め金7322、等を有する。
ベゼル部分を兼ねる筐体7302に搭載された表示パネル7304は、非矩形状の表示領域を有している。なお、表示パネル7304としては、矩形状の表示領域としてもよい。表示パネル7304は、時刻を表すアイコン7305、その他のアイコン7306等を表示することができる。
なお、図21(H)に示すスマートウオッチは、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示する機能、様々なソフトウエア(プログラム)によって処理を制御する機能、無線通信機能、無線通信機能を用いて様々なコンピュータネットワークに接続する機能、無線通信機能を用いて様々なデータの送信又は受信を行う機能、記録媒体に記録されているプログラム又はデータを読み出して表示部に表示する機能、等を有することができる。
また、筐体7302の内部に、スピーカ、センサ(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい、又は赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン等を有することができる。なお、スマートウオッチは、発光素子をその表示パネル7304に用いることにより作製することができる。
(実施の形態5)
<CAC−OSの構成>
本実施の形態では、OSトランジスタに用いることができるCAC(Cloud Aligned Composite)−OSの構成について説明する。
CAC−OSとは、例えば、酸化物半導体を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、酸化物半導体において、一つあるいはそれ以上の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
なお、酸化物半導体は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OS(CAC−OSの中でもIn−Ga−Zn酸化物を、特にCAC−IGZOと呼称してもよい)とは、インジウム酸化物(以下、InOX1(X1は0よりも大きい実数)とする)、またはインジウム亜鉛酸化物(以下、InX2ZnY2Z2(X2、Y2、およびZ2は0よりも大きい実数)とする)と、ガリウム酸化物(以下、GaOX3(X3は0よりも大きい実数)とする)、またはガリウム亜鉛酸化物(以下、GaX4ZnY4Z4(X4、Y4、およびZ4は0よりも大きい実数)とする)などと、に材料が分離することでモザイク状となり、モザイク状のInOX1、またはInX2ZnY2Z2が、膜中に均一に分布した構成(以下、クラウド状ともいう)である。
つまり、CAC−OSは、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、混合している構成を有する複合酸化物半導体である。なお、本明細書において、例えば、第1の領域の元素Mに対するInの原子数比が、第2の領域の元素Mに対するInの原子数比よりも大きいことを、第1の領域は、第2の領域と比較して、Inの濃度が高いとする。
なお、IGZOは通称であり、In、Ga、Zn、およびOによる1つの化合物をいう場合がある。代表例として、InGaO(ZnO)m1(m1は自然数)、またはIn(1+x0)Ga(1−x0)(ZnO)m0(−1≦x0≦1、m0は任意数)で表される結晶性の化合物が挙げられる。
上記結晶性の化合物は、単結晶構造、多結晶構造、またはCAAC(c−axis aligned crystalline)構造を有する。なお、CAAC構造とは、複数のIGZOのナノ結晶がc軸配向を有し、かつa−b面においては配向せずに連結した結晶構造である。
一方、CAC−OSは、酸化物半導体の材料構成に関する。CAC−OSとは、In、Ga、Zn、およびOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。従って、CAC−OSにおいて、結晶構造は副次的な要素である。
なお、CAC−OSは、組成の異なる二種類以上の膜の積層構造は含まないものとする。例えば、Inを主成分とする膜と、Gaを主成分とする膜との2層からなる構造は、含まない。
なお、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
なお、ガリウムの代わりに、アルミニウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれている場合、CAC−OSは、一部に該金属元素を主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。
CAC−OSは、例えば基板を意図的に加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、CAC−OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、及び窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好ましくは0%以上10%以下とすることが好ましい。
CAC−OSは、X線回折(XRD:X−ray diffraction)測定法のひとつであるOut−of−plane法によるθ/2θスキャンを用いて測定したときに、明確なピークが観察されないという特徴を有する。すなわち、X線回折から、測定領域のa−b面方向、およびc軸方向の配向は見られないことが分かる。
またCAC−OSは、プローブ径が1nmの電子線(ナノビーム電子線ともいう)を照射することで得られる電子線回折パターンにおいて、リング状に輝度の高い領域と、該リング領域に複数の輝点が観測される。従って、電子線回折パターンから、CAC−OSの結晶構造が、平面方向、および断面方向において、配向性を有さないnc(nano−crystal)構造を有することがわかる。
また例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X−ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
CAC−OSは、金属元素が均一に分布したIGZO化合物とは異なる構造であり、IGZO化合物と異なる性質を有する。つまり、CAC−OSは、GaOX3などが主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と、に互いに相分離し、各元素を主成分とする領域がモザイク状である構造を有する。
ここで、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域は、GaOX3などが主成分である領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域を、キャリアが流れることにより、酸化物半導体としての導電性が発現する。従って、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域が、酸化物半導体中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度(μ)が実現できる。
一方、GaOX3などが主成分である領域は、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、GaOX3などが主成分である領域が、酸化物半導体中に分布することで、リーク電流を抑制し、良好なスイッチング動作を実現できる。
従って、CAC−OSを半導体素子に用いた場合、GaOX3などに起因する絶縁性と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1に起因する導電性とが、相補的に作用することにより、高いオン電流(Ion)、および高い電界効果移動度(μ)を実現することができる。
また、CAC−OSを用いた半導体素子は、信頼性が高い。従って、CAC−OSは、ディスプレイをはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。
ACF1 導電材料
ACF2 導電材料
AF1 配向膜
AF2 配向膜
C1 矢印
C2 矢印
C3 容量素子
C6 容量素子
C11 容量素子
C12 容量素子
CF1 着色膜
CF2 着色膜
CK1 クロック信号
CK2 クロック信号
CK3 クロック信号
CK4 クロック信号
CS1 容量素子
FPC1 フレキシブルプリント基板
FPC2 フレキシブルプリント基板
G1 走査線
G2 走査線
INV1 インバータ
INV2 インバータ
KB1 構造体
MW1 トランジスタ
N1 ノード
R1 矢印
R2 矢印
S1 信号線
S2 信号線
SD1 ソースドライバ
SD2 ソースドライバ
SIN データ
SO[1] 信号
SO[2] 信号
SW1 スイッチ
SW2 スイッチ
T1 時刻
T2 時刻
T3 時刻
T4 時刻
T5 時刻
T6 時刻
T7 時刻
T8 時刻
T9 時刻
T10 時刻
T11 時刻
T12 時刻
T13 時刻
T14 時刻
T15 時刻
T16 時刻
T17 時刻
T18 時刻
T19 時刻
T20 時刻
TR1 トランジスタ
TR2 トランジスタ
TR3 トランジスタ
TR4 トランジスタ
TR5 トランジスタ
TR6 トランジスタ
TR7 トランジスタ
TR8 トランジスタ
TR9 トランジスタ
TR10 トランジスタ
TR11 トランジスタ
VCOM1 配線
VCOM2 配線
VH 高電源電位
Q[1] 信号
Q[2] 信号
10 画素
10a 反射素子
10b 発光素子
20 領域
100 表示装置
110 表示ユニット
111 画素アレイ
113 ゲートドライバ
114 ゲートドライバ
115 コントローラIC
117 コントローラIC
120 タッチセンサユニット
121 センサアレイ
125 周辺回路
126 TSドライバ
127 センス回路
140 ホスト
143 光センサ
144 開閉センサ
145 外光
150 インターフェース
151 フレームメモリ
152 デコーダ
153 センサコントローラ
154 コントローラ
155 クロック生成回路
160 画像処理部
161 ガンマ補正回路
162 調光回路
163 調色回路
164 EL補正回路
170 メモリ
173 タイミングコントローラ
175 レジスタ
175A スキャンチェーンレジスタ部
175B レジスタ部
180 ソースドライバ
181 ソースドライバ
182 ソースドライバ
184 タッチセンサコントローラ
186 ソースドライバIC
190 領域
191 領域
202 制御部
203 セルアレイ
204 センスアンプ回路
205 ドライバ
206 メインアンプ
207 入出力回路
208 周辺回路
209 メモリセル
230 レジスタ
231 レジスタ
501A 絶縁膜
501C 絶縁膜
504 導電膜
505 接合層
506 絶縁膜
508 酸化物半導体膜
508A 領域
508B 領域
508C 領域
511B 導電膜
511C 導電膜
511D 導電膜
512A 導電膜
512B 導電膜
516 絶縁膜
518 絶縁膜
519B 端子
519C 端子
519D 端子
521 絶縁膜
524 導電膜
528 絶縁膜
551 電極
552 電極
553 層
570 基板
702 画素
705 封止材
720 機能層
751 電極
751E 領域
751H 開口部
752 電極
753 層
754A 中間膜
754B 中間膜
754C 中間膜
754D 中間膜
770 基板
770D 機能膜
770P 機能膜
771 絶縁膜
775 検知素子
5000 筐体
5001 表示部
5002 表示部
5003 スピーカ
5004 LEDランプ
5005 操作キー
5006 接続端子
5007 センサ
5008 マイクロフォン
5009 スイッチ
5010 赤外線ポート
5011 記録媒体読込部
5012 支持部
5013 イヤホン
5014 アンテナ
5015 シャッターボタン
5016 受像部
5017 充電器
7302 筐体
7304 表示パネル
7305 アイコン
7306 アイコン
7311 操作ボタン
7312 操作ボタン
7313 接続端子
7321 バンド
7322 留め金

Claims (15)

  1. 第1コントローラと、
    レジスタと、
    フレームメモリと、
    画像処理部と、を有し、
    前記フレームメモリは、画像データを格納する機能を有し、
    前記画像処理部は、前記画像データを処理する機能を有し、
    前記レジスタは、前記画像処理部が処理を行うためのパラメータを格納する機能を有し、
    前記フレームメモリは、前記フレームメモリへの電源供給が遮断されている状態で、前記画像データを保持する機能を備え、
    前記レジスタは、スキャンチェーンレジスタと、第1レジスタと、第2レジスタと、を有し、
    前記スキャンチェーンレジスタは、前記レジスタへの電源供給が遮断されている状態で、前記パラメータを保持する機能を備え、
    前記スキャンチェーンレジスタを構成するトランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体を含み、
    前記第1コントローラは、前記レジスタ、前記フレームメモリ、および前記画像処理部に対する電源供給を制御する機能を有する、半導体装置。
  2. 請求項1において、
    前記スキャンチェーンレジスタは、第3レジスタと、第4レジスタと、を有し、
    前記第3レジスタの出力端子は、前記第4レジスタの入力端子に電気的に接続され、
    前記第1レジスタは、前記第3レジスタに格納されたデータを読み込む機能を有し、
    前記第2レジスタは、前記第4レジスタに格納されたデータを読み込む機能を有し、
    前記第1レジスタおよび前記第2レジスタに読み込まれたデータは、前記パラメータとして、前記画像処理部に出力される、半導体装置。
  3. 請求項1において、
    前記スキャンチェーンレジスタは、第3レジスタと、第4レジスタと、を有し、
    前記第1レジスタは、第1入力端子と、第1出力端子と、第2出力端子と、を有し、
    前記第2レジスタは、第2入力端子と、第3出力端子と、第4出力端子と、を有し、
    前記第3レジスタは、第3入力端子と、第4入力端子と、第5出力端子と、を有し、
    前記第4レジスタは、第5入力端子と、第6入力端子と、第6出力端子と、を有し、
    前記第1レジスタの第1出力端子は、前記画像処理部に電気的に接続され、
    前記第2レジスタの第3出力端子は、前記画像処理部に電気的に接続され、
    前記第1レジスタの第1入力端子は、前記第3レジスタの第5出力端子に電気的に接続され、
    前記第1レジスタの第2出力端子は、前記第3レジスタの第4入力端子に電気的に接続され、
    前記第2レジスタの第2入力端子は、前記第4レジスタの第6出力端子に電気的に接続され、
    前記第2レジスタの第4出力端子は、前記第4レジスタの第6入力端子に電気的に接続され、
    前記第3レジスタの第5出力端子は、前記第4レジスタの第5入力端子に電気的に接続され、
    前記第1レジスタは、前記第1入力端子に入力されるデータを格納する機能を有し、
    前記第2レジスタは、前記第2入力端子に入力されるデータを格納する機能を有する、半導体装置。
  4. 請求項3において、
    前記レジスタには、第1乃至第4クロック信号、第1電位、および第2電位が入力され、
    前記第1電位は、前記第2電位よりも高く、
    前記第3レジスタおよび前記第4レジスタは、それぞれ、第1乃至第6トランジスタと、第1容量素子と、第2容量素子と、を有し、
    前記第3レジスタ、および前記第4レジスタそれぞれにおいて、
    前記第1トランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第1電位が入力され、
    前記第1トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第2トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第2トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第3トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第3トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第2電位が入力され、
    前記第2トランジスタのゲートは、前記第2クロック信号が入力され、
    前記第3トランジスタのゲートは、前記第1クロック信号が入力され、
    前記第1容量素子の第1端子は、前記第3トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第1容量素子の第2端子は、前記第2電位が入力され、
    前記第4トランジスタのゲートは、前記第1容量素子の第1端子に電気的に接続され、
    前記第4トランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第1電位が入力され、
    前記第4トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第5トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第5トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第6トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第6トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第2電位が入力され、
    前記第5トランジスタのゲートは、前記第4クロック信号が入力され、
    前記第6トランジスタのゲートは、前記第3クロック信号が入力され、
    前記第2容量素子の第1端子は、前記第6トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第2容量素子の第2端子は、前記第2電位が入力され、
    前記第3レジスタにおいて、前記第1トランジスタのゲートは前記第3入力端子に電気的に接続され、前記第4トランジスタのゲートは前記第4入力端子に電気的に接続され、前記第6トランジスタのソースまたはドレインの一方は前記第5出力端子に電気的に接続され、
    前記第4レジスタにおいて、前記第1トランジスタのゲートは前記第5入力端子に電気的に接続され、前記第4トランジスタのゲートは前記第6入力端子に電気的に接続され、前記第6トランジスタのソースまたはドレインの一方は前記第6出力端子に電気的に接続される、半導体装置。
  5. 請求項3において、
    前記レジスタには、第1乃至第3信号、第1電位、および第2電位が入力され、
    前記第1電位は、前記第2電位よりも高く、
    前記第1レジスタおよび前記第2レジスタは、それぞれ、第7乃至第11トランジスタと、第1インバータと、第2インバータと、を有し、
    前記第1レジスタ、および前記第2レジスタそれぞれにおいて、
    前記第7トランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第1電位が入力され、
    前記第7トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第8トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第8トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第9トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第8トランジスタのゲートは、前記第1信号が入力され、
    前記第9トランジスタのゲートは、前記第2信号が入力され、
    前記第9トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第2電位が入力され、
    前記第1インバータの入力端子は、前記第2インバータの出力端子に電気的に接続され、
    前記第2インバータの入力端子は、前記第1インバータの出力端子に電気的に接続され、
    前記第10トランジスタのゲートは、前記第9トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第10トランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第1電位が入力され、
    前記第10トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第11トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第11トランジスタのゲートは、前記第3信号が入力され、
    前記第1レジスタにおいて、前記第7トランジスタのゲートは前記第1入力端子に電気的に接続され、前記第1インバータの入力端子は前記第1出力端子に電気的に接続され、前記第11トランジスタのソースまたはドレインの他方は前記第2出力端子に電気的に接続され、
    前記第2レジスタにおいて、前記第7トランジスタのゲートは前記第2入力端子に電気的に接続され、前記第1インバータの入力端子は前記第3出力端子に電気的に接続され、前記第11トランジスタのソースまたはドレインの他方は前記第4出力端子に電気的に接続される、半導体装置。
  6. 請求項3において、
    前記レジスタには、第1乃至第4クロック信号、第1乃至第3信号、第1電位、および第2電位が入力され、
    前記第1電位は、前記第2電位よりも高く、
    前記第3レジスタおよび前記第4レジスタは、それぞれ、第1乃至第6トランジスタと、第1容量素子と、第2容量素子と、を有し、
    前記第1レジスタおよび前記第2レジスタは、それぞれ、第7乃至第11トランジスタと、第1インバータと、第2インバータと、を有し、
    前記第3レジスタ、および前記第4レジスタそれぞれにおいて、
    前記第1トランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第1電位が入力され、
    前記第1トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第2トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第2トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第3トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第3トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第2電位が入力され、
    前記第2トランジスタのゲートは、前記第2クロック信号が入力され、
    前記第3トランジスタのゲートは、前記第1クロック信号が入力され、
    前記第1容量素子の第1端子は、前記第3トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第1容量素子の第2端子は、前記第2電位が入力され、
    前記第4トランジスタのゲートは、前記第1容量素子の第1端子に電気的に接続され、
    前記第4トランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第1電位が入力され、
    前記第4トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第5トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第5トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第6トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第6トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第2電位が入力され、
    前記第5トランジスタのゲートは、前記第4クロック信号が入力され、
    前記第6トランジスタのゲートは、前記第3クロック信号が入力され、
    前記第2容量素子の第1端子は、前記第6トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第2容量素子の第2端子は、前記第2電位が入力され、
    前記第3レジスタにおいて、前記第1トランジスタのゲートは前記第3入力端子に電気的に接続され、前記第4トランジスタのゲートは前記第4入力端子に電気的に接続され、前記第6トランジスタのソースまたはドレインの一方は前記第5出力端子に電気的に接続され、
    前記第4レジスタにおいて、前記第1トランジスタのゲートは前記第5入力端子に電気的に接続され、前記第4トランジスタのゲートは前記第6入力端子に電気的に接続され、前記第6トランジスタのソースまたはドレインの一方は前記第6出力端子に電気的に接続され、
    前記第1レジスタ、および前記第2レジスタそれぞれにおいて、
    前記第7トランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第1電位が入力され、
    前記第7トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第8トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第8トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第9トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第8トランジスタのゲートは、前記第1信号が入力され、
    前記第9トランジスタのゲートは、前記第2信号が入力され、
    前記第9トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第2電位が入力され、
    前記第1インバータの入力端子は、前記第2インバータの出力端子に電気的に接続され、
    前記第2インバータの入力端子は、前記第1インバータの出力端子に電気的に接続され、
    前記第10トランジスタのゲートは、前記第9トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第10トランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第1電位が入力され、
    前記第10トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第11トランジスタのソースまたはドレインの一方に電気的に接続され、
    前記第11トランジスタのゲートは、前記第3信号が入力され、
    前記第1レジスタにおいて、前記第7トランジスタのゲートは前記第1入力端子に電気的に接続され、前記第1インバータの入力端子は前記第1出力端子に電気的に接続され、前記第11トランジスタのソースまたはドレインの他方は前記第2出力端子に電気的に接続され、
    前記第2レジスタにおいて、前記第7トランジスタのゲートは前記第2入力端子に電気的に接続され、前記第1インバータの入力端子は前記第3出力端子に電気的に接続され、前記第11トランジスタのソースまたはドレインの他方は前記第4出力端子に電気的に接続される、半導体装置。
  7. 請求項5または請求項6において、
    前記第7乃至第11トランジスタは、それぞれ、チャネル形成領域に酸化物半導体を含む、半導体装置。
  8. 請求項1乃至請求項7のいずれか一項において、
    前記フレームメモリは、複数のメモリセルを有し、
    前記メモリセルは、第12トランジスタと、第3容量素子と、を有し、
    前記第12トランジスタは、前記第3容量素子の充放電を制御し、
    前記第12トランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体を含む、半導体装置。
  9. 請求項1乃至請求項8のいずれか一項において、
    第2コントローラを有し、
    前記第2コントローラは、タイミング信号を生成する機能を有し、
    前記レジスタは、前記第2コントローラが前記タイミング信号を生成するためのパラメータを格納する機能を有する、半導体装置。
  10. 請求項9において、
    前記第1コントローラは、前記第2コントローラに対する電源供給を制御する機能を有する、半導体装置。
  11. 請求項1乃至請求項10のいずれか一項において、
    第3コントローラを有し、
    前記第3コントローラは、光センサからの第4信号を受け取る機能と、前記第4信号をもとに前記画像処理部が処理を行うための第5信号を生成する機能と、を有する半導体装置。
  12. 請求項1乃至請求項11のいずれか一項において、
    外部装置から画像データおよびパラメータが入力されない場合、前記フレームメモリに格納された前記画像データ、および前記レジスタに格納された前記パラメータをもとに、静止画を表示するための第6信号を生成する機能を有する、半導体装置。
  13. 請求項1乃至請求項12のいずれか一項において、
    ソースドライバを有し、
    前記ソースドライバは、前記画像処理部で処理された画像データをもとに、データ信号を生成する機能を有する、半導体装置。
  14. 請求項1乃至請求項12のいずれか一項において、
    ソースドライバを有し、
    前記ソースドライバは、前記画像処理部で処理された画像データをもとに、第1データ信号または第2データ信号を生成する機能を有し、
    前記第1データ信号は、反射素子を駆動する機能を有し、
    前記第2データ信号は、発光素子を駆動する機能を有する、半導体装置。
  15. 請求項13または請求項14において、
    前記第1コントローラは、前記ソースドライバに対する電源供給を制御する機能を有する、半導体装置。
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