JP2017212048A - 基板処理システム、基板処理方法及び正孔注入層形成装置 - Google Patents
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Abstract
Description
有機発光ダイオード1は、赤色有機EL素子1R、緑色有機EL素子1G、青色有機EL素子1Bを有し、青色及び青色とは別の色(赤色及び緑色)に発光するする。
青色有機EL素子1Bの正孔輸送層13Bには、青色の発光効率等の関係から、赤色有機EL素子1Rの正孔輸送層13R、緑色有機EL素子1Gの正孔輸送層13Gの材料とは異なる材料が用いられる。
正孔輸送層13R、13G、13Bはインクジェット方式を用いた成膜法で形成される。
電子注入層18は、電子注入効率を高めるための層である。
陰極19には、例えばアルミニウムが用いられる。
これら電子輸送層17、電子注入層18及び陰極19は、例えば蒸着法により形成される。
また、各色の正孔注入層の焼成温度を低くすると、正孔注入効率が上昇すること、すなわち電流量が増加することが明らかになった。さらに、赤色有機EL素子と緑色有機EL素子について、正孔注入層の焼成温度を低くすると、これらの素子の発光特性が悪化すること、具体的には、赤色有機EL素子、緑色有機EL素子からの光において、青色成分が増加することが明らかになった。
言い換えると、本実施形態に係る有機発光ダイオードの正孔注入層の材料は、焼成温度が低い場合に、青色の光の発光寿命が長くなり且つ赤色及び緑色有機EL素子の発光特性が低下する材料であることが明らかになった。
本発明の第1の実施形態に係る有機層の形成方法を説明する前に、有機発光ダイオードの有機層の従来の形成方法について説明する。
従来の有機発光ダイオード1の有機層の形成方法では、まず、図2(A)に示すように、赤色有機EL素子1R、緑色有機EL素子1G及び青色有機EL素子1Bのそれぞれの陽極11R、11G、11B上に、正孔注入層12R、12G、12Bをインクジェット方式による成膜方法で形成する。具体的には、各陽極11R、11G、11B上に正孔注入層12R、12G、12Bの有機材料をインクジェット方式で塗布し、その後、該有機材料を乾燥し、所定の焼成温度(例えば150℃)で焼成し、正孔注入層12R、12G、12Bを形成する。
そこで、本発明の第1の実施形態に係る基板処理システムでは、有機発光ダイオード1の有機層を以下のように形成する。
本形成方法では、図3(A)に示すように、赤色有機EL素子1R及び緑色有機EL素子1Gのそれぞれの陽極11R、11G上に、正孔注入層12R、12Gをインクジェット方式による成膜方法で形成する。具体的には、各陽極11R、11G上に正孔注入層12R、12Gの有機材料をインクジェット方式で塗布し、その後、該有機材料を乾燥し、第1の焼成温度(例えば150℃)で焼成し、正孔注入層12R、12Gを形成する。
図4は、本実施形態に係る基板処理システムの構成例を説明するための図である。なお、図4の基板処理システム100で処理される基板10上には予め陽極11R、11G、11Bが形成されており、当該基板処理システム100は、正孔注入層12R、12G、12B、正孔輸送層13R、13G、13B、赤色発光層14R、緑色発光層14Gを形成する。
図4の基板処理システム100は、赤色発光層14R、緑色発光層14G及び青色有機EL素子1Bの正孔注入層12Bについては、同じ焼成温度(第4の焼成温度)で焼成するため、同一の装置すなわち異種層形成装置140で形成していた。
この構成は、発光層形成装置210の焼成機213の焼成温度、すなわち赤色発光層14R及び緑色発光層14Gの焼成温度と、正孔輸送層形成装置220の焼成機213の焼成温度、すなわち正孔注入層12Bの焼成温度とが異なる場合に好ましい。なお、これらの焼成温度は、上述の第3の焼成温度は低くなるよう設計される。
図6の第2の正孔注入層形成装置130´は、乾燥機132´に付着防止機構134を有する。
110…第1の正孔注入層形成装置
111、121、131、141、211、221…インクジェット式塗布装置(IJ装置)
112、122、132、132´、142、212、222…乾燥機
113、123、133、143、213、223…焼成機
120…正孔輸送層形成装置
130、130´…第2の正孔注入層形成装置
134…付着防止機構
140…異種層形成装置
210…発光層形成装置
220…正孔輸送層形成装置
Claims (9)
- 青色及び青色とは別の色に発光する有機発光ダイオードの各色用の正孔注入層及び正孔輸送層並びに前記別の色用の発光層を基板上に形成する基板処理システムであって、
前記別の色用の正孔注入層を第1の焼成温度で基板上に形成する第1の正孔注入層形成装置と、
基板に形成された前記別の色用の正孔注入層上に、前記第1の焼成温度より高い第2の焼成温度で、前記別の色用の正孔輸送層を形成する正孔輸送層形成装置と、
前記別の色用の正孔注入層及び前記別の色用の正孔輸送層が形成された基板上に、前記第1の焼成温度以下の第3の焼成温度で、青色用の正孔注入層を形成する第2の正孔注入層形成装置と、を備えることを特徴とする、基板処理システム。 - 基板に形成された前記別の色用の正孔輸送層及び青色用の正孔注入層上に、前記第3の焼成温度より低い焼成温度で、前記別の色用の発光層及び青色用の正孔輸送層をそれぞれ形成する異種層形成装置を備えることを特徴とする、請求項1に記載の基板処理システム。
- 基板に形成された前記別の色用の正孔輸送層上に、前記第3の焼成温度より低い焼成温度で、前記別の色用の発光層を形成する発光層形成装置と、
基板に形成された前記青色用の正孔注入層上に、前記第3の焼成温度より低い別の焼成温度で、前記青色用の正孔輸送層を形成する別の正孔輸送層形成装置を備えることを特徴とする、請求項1に記載の基板処理システム。 - 前記有機発光ダイオードは、前記別の色用の正孔輸送層上に、インクジェット方式を用いた成膜法で形成される前記別の色用の発光層と、青色用の正孔輸送層上に、前記別の色用の発光層をも覆うように、蒸着法で形成される青色発光層とを有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 青色及び青色とは別の色に発光する有機発光ダイオードの青色用の正孔注入層を基板上に形成する正孔注入層形成装置であって、
前記別の色の正孔注入層及び前記別の色の正孔輸送層が形成された基板上に、青色用の正孔注入層を構成する有機材料を基板に吐出する吐出装置を有することを特徴とする、正孔注入層形成装置。 - 前記吐出装置により基板に吐出された有機材料を乾燥する乾燥装置と、
該乾燥装置により乾燥された有機材料を焼成し前記青色用の正孔注入層を形成する焼成装置と、を有することを特徴とする、請求項5に記載の正孔注入層形成装置。 - 前記青色用の正孔注入層の形成時に、該青色の正孔注入層を構成する有機材料の気化成分が、前記別の色の正孔輸送層に付着することを防ぐ付着防止機構を有することを特徴とする、請求項5または6に記載の正孔注入層形成装置。
- 前記有機発光ダイオードは、前記別の色用の正孔輸送層上に、インクジェット方式を用いた成膜法で形成される前記別の色用の発光層と、青色用の正孔輸送層上に、前記別の色用の発光層をも覆うように、蒸着法で形成される青色発光層とを有することを特徴とする、請求項5〜7のいずれか1項に記載の正孔注入層形成装置。
- 青色及び青色とは別の色に発光する有機発光ダイオードの各色用の正孔注入層及び正孔輸送層並びに前記別の色用の発光層を基板上に形成する基板処理方法であって、
前記別の色用の正孔注入層を第1の焼成温度で基板上に形成するステップと、
基板に形成された前記別の色用の正孔注入層上に、前記第1の焼成温度より高い第2の焼成温度で、前記別の色用の正孔輸送層を形成するステップと、
前記別の色用の正孔注入層及び前記別の色用の正孔輸送層が形成された基板上に、前記第1の焼成温度以下の第3の焼成温度で、青色用の正孔注入層を形成するステップと、を含むことを特徴とする、基板処理方法。
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