JP2017195708A - Ic chip mounting substrate - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a down sized IC chip mounting substrate.SOLUTION: An IC chip mounting substrate comprises: a substrate 1 which has a pair of principal surfaces and a cavity 7 formed at least on one principal surface; a connection electrode 8 formed in the cavity 7; and a tabular IC chip S1 which has a pair of principal surfaces and a terminal electrode formed on one principal surface, in which the IC chip S1 is stored in the cavity 7; and the terminal electrode 9 is connected to the connection electrode 8 via a conductive bonding material 10; and the connection electrode 8 is formed on a side wall of the cavity 7; and the IC chip S1 is stored in the cavity 7 so as to make the principal surface of the IC chip S1 follow the side wall of the cavity 7.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、ICチップ実装基板に関し、さらに詳しくは、小型化されたICチップ実装基板に関する。   The present invention relates to an IC chip mounting substrate, and more particularly to a miniaturized IC chip mounting substrate.

基板にICチップが実装されたICチップ実装基板が、電子モジュールなどとして種々の電子機器に使用されている。   An IC chip mounting substrate in which an IC chip is mounted on a substrate is used in various electronic devices as an electronic module or the like.

特許文献1(WO2015-152333号公報)に、そのようなICチップ実装基板が開示されている。なお、特許文献1に開示されたICチップ実装基板は、積層基板に、ICチップとしてスイッチングICや、キャパシタが実装されて、DC-DCコンバータモジュールが構成されている。   Patent Document 1 (WO2015-152333) discloses such an IC chip mounting substrate. Note that the IC chip mounting substrate disclosed in Patent Document 1 has a DC-DC converter module configured by mounting a switching IC or a capacitor as an IC chip on a multilayer substrate.

図12に、特許文献1に開示されたDC-DCコンバータモジュール(ICチップ実装基板)1000を示す。   FIG. 12 shows a DC-DC converter module (IC chip mounting substrate) 1000 disclosed in Patent Document 1.

DC-DCコンバータモジュール1000は、積層基板101を備える。   The DC-DC converter module 1000 includes a laminated substrate 101.

積層基板101の主面には、2個のスイッチングIC(IC)102a、102bと、2個のキャパシタ103a、103bとが実装されている。   Two switching ICs (ICs) 102 a and 102 b and two capacitors 103 a and 103 b are mounted on the main surface of the multilayer substrate 101.

WO2015-152333号公報WO2015-152333

電子機器の小型化に伴い、電子機器に使用される電子部品や電子モジュール(ICチップ実装基板など)にも、小型化が求められている。たとえば、電子機器の一例であるスマートフォンでは、薄型化を含めた小型化が進んでおり、内蔵される電子部品や電子モジュールに対して、縦寸法および横寸法を小さくすること(平面方向における小型化)、および、高さ寸法を小さくすること(高さ方向における小型化=低背化)が強く求められている。   With downsizing of electronic devices, downsizing is also required for electronic components and electronic modules (IC chip mounting substrates, etc.) used in electronic devices. For example, smartphones, which are examples of electronic devices, are becoming smaller and thinner, and the vertical and horizontal dimensions of the built-in electronic components and modules are reduced (downsizing in the planar direction). ) And reducing the height dimension (reduction in size in the height direction = reduction in height) is strongly demanded.

しかしながら、上述したDC-DCコンバータモジュール1000は、積層基板101の主面とスイッチングIC102a、102bとが平行となるように、積層基板101にスイッチングIC102a、102bが実装されているため、積層基板101の主面にスイッチングIC102a、102bを実装するための大きなスペースが必要となり、平面方向に大型化しているという問題があった。   However, in the DC-DC converter module 1000 described above, the switching ICs 102a and 102b are mounted on the multilayer substrate 101 so that the main surface of the multilayer substrate 101 and the switching ICs 102a and 102b are parallel to each other. There is a problem that a large space for mounting the switching ICs 102a and 102b is required on the main surface, and the size is increased in the planar direction.

また、DC-DCコンバータモジュール1000は、積層基板101の主面上にスイッチングIC102a、102bなどが実装されているため、高さ方向にも大型化しているという問題があった。   Further, the DC-DC converter module 1000 has a problem that the switching ICs 102a and 102b and the like are mounted on the main surface of the multilayer substrate 101, so that the size is increased in the height direction.

本発明は、上述した従来の問題を解決するためになされたものであり、その手段として本発明のICチップ実装基板は、1対の主面を有し、少なくとも一方の主面にキャビティが形成された基板と、キャビティ内に形成された接続用電極と、1対の主面を有し、一方の主面に端子電極が形成された板状のICチップと、を備え、ICチップがキャビティ内に収容され、端子電極が接続用電極に導電性接合材を介して接続されたものであって、接続用電極がキャビティの側壁に形成され、ICチップの主面がキャビティの側壁に沿うように、ICチップがキャビティ内に収容されたものとした。   The present invention has been made to solve the above-described conventional problems. As a means for achieving this, the IC chip mounting substrate of the present invention has a pair of main surfaces, and a cavity is formed on at least one main surface. A substrate, a connection electrode formed in the cavity, and a plate-like IC chip having a pair of main surfaces and terminal electrodes formed on one main surface, the IC chip being a cavity The terminal electrode is connected to the connection electrode via a conductive bonding material, the connection electrode is formed on the side wall of the cavity, and the main surface of the IC chip is along the side wall of the cavity. Furthermore, the IC chip was accommodated in the cavity.

基板が、磁性体によって形成された磁性体部を有し、その磁性体部内に、キャビティの深さ方向に巻回軸を有するコイルが内蔵されたものとしても良い。この場合には、内蔵されたコイルを使って電子モジュールを構成することができる。なお、上述したように、本発明のICチップ実装基板は、ICチップの主面がキャビティの側壁に沿うようにICチップがキャビティ内に収容されているため、ICチップが基板に内蔵されているにもかかわらず、コイルの形成する磁束がICチップの影響を受けにくい。   The substrate may have a magnetic part formed of a magnetic material, and a coil having a winding axis in the depth direction of the cavity may be incorporated in the magnetic material part. In this case, an electronic module can be configured using a built-in coil. As described above, the IC chip mounting substrate of the present invention has the IC chip housed in the cavity so that the main surface of the IC chip is along the side wall of the cavity. Nevertheless, the magnetic flux formed by the coil is not easily affected by the IC chip.

磁性体部の内部にコイルを内蔵させた場合には、磁性体部に、基板の主面と平行な方向に広がる、非磁性体によって形成された非磁性体層を設けても良い。この場合には、その非磁性体層によって、コイルの直流重畳特性を改善することができる。   When the coil is built in the magnetic part, a non-magnetic layer made of a non-magnetic substance that extends in a direction parallel to the main surface of the substrate may be provided in the magnetic part. In this case, the DC superimposition characteristics of the coil can be improved by the nonmagnetic layer.

キャビティとICチップとの隙間に樹脂が充填されたものとしても良い。この場合には、樹脂によって、ICチップを保護することができる。また、樹脂によって、基板の強度を向上させることができる。   The gap between the cavity and the IC chip may be filled with resin. In this case, the IC chip can be protected by the resin. Moreover, the strength of the substrate can be improved by the resin.

ICチップにスイッチングICを用いて、DC-DCコンバータモジュールを構成することができる。   A DC-DC converter module can be configured by using a switching IC for the IC chip.

本発明のICチップ実装基板は、ICチップの主面が基板に形成されたキャビティの側壁に沿うようにICチップがキャビティ内に収容されているため、小型化がはかられている。   The IC chip mounting substrate of the present invention is miniaturized because the IC chip is accommodated in the cavity so that the main surface of the IC chip is along the side wall of the cavity formed on the substrate.

図1(A)は、第1実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100を示す斜視図である。図1(B)は、DC-DCコンバータモジュール100を示す断面図である。FIG. 1A is a perspective view showing a DC-DC converter module 100 according to the first embodiment. FIG. 1B is a cross-sectional view showing the DC-DC converter module 100. DC-DCコンバータモジュール100の要部斜視図である。2 is a perspective view of a main part of a DC-DC converter module 100. FIG. DC-DCコンバータモジュール100の等価回路図である。2 is an equivalent circuit diagram of a DC-DC converter module 100. FIG. 図4(A-1)は、実施例にかかるICチップ実装基板Xの平面方向の透視図である。図4(A-2)は、ICチップ実装基板Xを示す側面方向の透視図である。図4(B-1)は、比較例にかかるICチップ実装基板Yの平面方向の透視図である。図4(B-2)は、ICチップ実装基板Yを示す側面方向の透視図である。FIG. 4A-1 is a perspective view in the planar direction of the IC chip mounting substrate X according to the example. 4A-2 is a perspective view of the IC chip mounting board X in the side surface direction. FIG. 4B-1 is a perspective view in the planar direction of the IC chip mounting substrate Y according to the comparative example. FIG. 4B-2 is a perspective view of the IC chip mounting substrate Y in the side surface direction. 図5(A)は、DC-DCコンバータモジュール100の製造方法の一例において実施される工程を示す断面図である。FIG. 5A is a cross-sectional view illustrating steps performed in an example of a method for manufacturing the DC-DC converter module 100. 図6(B)は、図5(A)の続きであり、DC-DCコンバータモジュール100の製造方法の一例において実施される工程を示す断面図である。FIG. 6B is a continuation of FIG. 5A, and is a cross-sectional view illustrating steps performed in an example of a method for manufacturing the DC-DC converter module 100. 図7(C)、(D)は、図6(B)の続きであり、それぞれ、DC-DCコンバータモジュール100の製造方法の一例において実施される工程を示す断面図である。FIGS. 7C and 7D are continuations of FIG. 6B and are cross-sectional views illustrating steps performed in an example of a method for manufacturing the DC-DC converter module 100. FIG. 図8(E)、(F)は、図7(D)の続きであり、それぞれ、DC-DCコンバータモジュール100の製造方法の一例において実施される工程を示す断面図である。FIGS. 8E and 8F are continuations of FIG. 7D, and are cross-sectional views illustrating steps performed in an example of a method for manufacturing the DC-DC converter module 100. 図9(G)、(H)は、図8(F)の続きであり、それぞれ、DC-DCコンバータモジュール100の製造方法の一例において実施される工程を示す断面図である。FIGS. 9G and 9H are continuations of FIG. 8F and are cross-sectional views illustrating steps performed in an example of a method for manufacturing the DC-DC converter module 100, respectively. 図10(A)は、第2実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール200を示す斜視図である。図10(B)は、DC-DCコンバータモジュール200を示す断面図である。FIG. 10A is a perspective view showing a DC-DC converter module 200 according to the second embodiment. FIG. 10B is a cross-sectional view showing the DC-DC converter module 200. 第3実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール300を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the DC-DC converter module 300 concerning 3rd Embodiment. 従来のICチップ実装基板(DC-DCコンバータモジュール1000)を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional IC chip mounting substrate (DC-DC converter module 1000).

以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、実施形態の理解を助けるためのものであり、必ずしも厳密に描画されていない場合がある。たとえば、描画された構成要素ないし構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。   Each embodiment shows an embodiment of the present invention exemplarily, and the present invention is not limited to the content of the embodiment. Moreover, it is also possible to implement combining the content described in different embodiment, and the implementation content in that case is also included in this invention. Further, the drawings are for helping understanding of the embodiment, and may not be drawn strictly. For example, a drawn component or a dimensional ratio between the components may not match the dimensional ratio described in the specification. In addition, the constituent elements described in the specification may be omitted in the drawings or may be drawn with the number omitted.

[第1実施形態]
第1実施形態においては、ICチップ実装基板として、DC-DCコンバータモジュール100を構成した。すなわち、本実施形態のICチップ実装基板は、DC-DCコンバータモジュールしての機能を有している。DC-DCコンバータモジュール100の斜視図を図1(A)に、断面図を図1(B)に、要部斜視図を図2は、等価回路図を図3に、それぞれ示す。
[First Embodiment]
In the first embodiment, the DC-DC converter module 100 is configured as an IC chip mounting substrate. That is, the IC chip mounting substrate of this embodiment has a function as a DC-DC converter module. FIG. 1A is a perspective view of the DC-DC converter module 100, FIG. 1B is a cross-sectional view thereof, FIG. 2 is a perspective view of essential parts, and FIG. 3 is an equivalent circuit diagram thereof.

DC-DCコンバータモジュール100は、積層基板1を備える。   The DC-DC converter module 100 includes a multilayer substrate 1.

積層基板1は、下から順に、第1の非磁性体部1Aと、磁性体部1Bと、第2の非磁性体部1Cとが積層された構造を有する。第1の非磁性体部1Aは、複数の非磁性体層1aが積層されている。磁性体部1Bは、複数の磁性体層1bが積層されている。第2の非磁性体部1Cは、複数の非磁性体層1cが積層されている。非磁性体部1A、1C(非磁性体層1a、1c)は、低透磁率または非磁性のセラミックにより形成されている。磁性体部1B(磁性体層1b)は、非磁性体部1A、1C(非磁性体層1a、1c)よりも透磁率が大きい磁性セラミックにより形成されている。磁性体部1B(磁性体層1b)の材料としては、例えば、磁性フェライトセラミックが用いられる。具体的には、酸化鉄を主成分とし、亜鉛、ニッケルおよび銅のうち少なくとも1つ以上を含むフェライトが用いられる。非磁性体部1A、1C(非磁性体層1a、1c)の材料としては、例えば、非磁性フェライトセラミックスやアルミナおよびガラスを主成分とする絶縁性ガラスセラミックスが用いられる。   The laminated substrate 1 has a structure in which a first non-magnetic part 1A, a magnetic part 1B, and a second non-magnetic part 1C are laminated in order from the bottom. The first nonmagnetic part 1A has a plurality of nonmagnetic layers 1a laminated thereon. In the magnetic body portion 1B, a plurality of magnetic body layers 1b are laminated. The second nonmagnetic portion 1C is formed by laminating a plurality of nonmagnetic layers 1c. The nonmagnetic parts 1A and 1C (nonmagnetic layers 1a and 1c) are made of low magnetic permeability or nonmagnetic ceramic. The magnetic body portion 1B (magnetic body layer 1b) is formed of a magnetic ceramic having a higher magnetic permeability than the nonmagnetic body portions 1A and 1C (nonmagnetic body layers 1a and 1c). As a material of the magnetic part 1B (magnetic substance layer 1b), for example, a magnetic ferrite ceramic is used. Specifically, ferrite containing iron oxide as a main component and containing at least one of zinc, nickel, and copper is used. As the material of the nonmagnetic parts 1A, 1C (nonmagnetic layers 1a, 1c), for example, nonmagnetic ferrite ceramics or insulating glass ceramics mainly composed of alumina and glass are used.

第1の非磁性体部1Aには、非磁性体層1aの層間に形成された配線パターン2や、非磁性体層1aを貫通して形成されたビア電極3によって、内部配線が形成されている。配線パターン2、ビア電極3は、たとえば、銀を主成分として形成されている。   In the first nonmagnetic portion 1A, internal wiring is formed by the wiring pattern 2 formed between the nonmagnetic layer 1a and the via electrode 3 formed through the nonmagnetic layer 1a. Yes. The wiring pattern 2 and the via electrode 3 are formed with silver as a main component, for example.

磁性体部1Bには、コイルL1が内蔵されている。コイルL1は、磁性体層1bの層間に形成されたコイルパターン4が、磁性体層1bを貫通して形成されたビア電極(図示せず)によって螺旋状に接続されて形成されている。コイルパターン4は、たとえば、銀を主成分として形成されている。また、磁性体部1Bには、磁性体層1bの層間に形成された配線パターン2や、磁性体層1bを貫通して形成されたビア電極3によって、内部配線が形成されている。   A coil L1 is incorporated in the magnetic part 1B. The coil L1 is formed such that a coil pattern 4 formed between the magnetic layers 1b is spirally connected by via electrodes (not shown) formed through the magnetic layers 1b. The coil pattern 4 is formed with silver as a main component, for example. Further, in the magnetic part 1B, internal wiring is formed by the wiring pattern 2 formed between the magnetic layer 1b and the via electrode 3 formed through the magnetic layer 1b.

第2の非磁性体部1Cには、2つのキャパシタC1、C2が内蔵されている。キャパシタC1、C2は、それぞれ、非磁性体層1cの層間に形成された対向する1対のキャパシタ電極5によって形成されている。キャパシタ電極5は、たとえば、銀を主成分として形成されている。また、第2の非磁性体部1Cには、非磁性体層1cの層間に形成された配線パターン(図示せず)や、非磁性体層1cを貫通して形成されたビア電極(図示せず)によって、内部配線が形成されている。   Two capacitors C1 and C2 are built in the second nonmagnetic portion 1C. The capacitors C1 and C2 are each formed by a pair of opposing capacitor electrodes 5 formed between the nonmagnetic layers 1c. The capacitor electrode 5 is formed with silver as a main component, for example. The second nonmagnetic portion 1C has a wiring pattern (not shown) formed between the nonmagnetic layers 1c and a via electrode (not shown) formed through the nonmagnetic layer 1c. The internal wiring is formed.

積層基板1の下側の主面には、DC‐DCコンバータモジュール100を基板などに実装する際に使用する、複数の実装用電極6が形成されている。実装用電極6は、積層基板1の第1の非磁性体部1Aに形成された内部配線と接続されている。なお、実装用電極6は、図3の等価回路図においては、入力端子T1、出力端子T2、制御端子T3、グランド端子T4として示している。   A plurality of mounting electrodes 6 that are used when the DC-DC converter module 100 is mounted on a substrate or the like are formed on the lower main surface of the multilayer substrate 1. The mounting electrode 6 is connected to an internal wiring formed on the first nonmagnetic body portion 1 </ b> A of the multilayer substrate 1. The mounting electrode 6 is shown as an input terminal T1, an output terminal T2, a control terminal T3, and a ground terminal T4 in the equivalent circuit diagram of FIG.

積層基板1の上側の主面の中央部分には、キャビティ7が形成されている。キャビティ7は、積層基板1の主面と垂直方向に深さ方向を有している。   A cavity 7 is formed in the central portion of the upper main surface of the multilayer substrate 1. The cavity 7 has a depth direction perpendicular to the main surface of the multilayer substrate 1.

キャビティ7の側壁には、接続用電極8が形成されている。接続用電極8は、図2に示すように、本実施形態においては、磁性体部1Bや第2の非磁性体部1Cに設けられた配線パターン2やビア電極3が、キャビティ7を形成する際の切削加工によって露出されたのである。   A connection electrode 8 is formed on the side wall of the cavity 7. As shown in FIG. 2, in the present embodiment, the connection electrode 8 includes the wiring pattern 2 and the via electrode 3 provided in the magnetic part 1 </ b> B and the second non-magnetic part 1 </ b> C to form the cavity 7. It was exposed by the cutting process.

キャビティ7には、スイッチングIC(ICチップ)S1が収容されている。スイッチングICS1は、板状で、本実施形態においては平面方向の形状が矩形をしている。ただし、平面方向の形状は任意であり、矩形には限定されない。   The cavity 7 accommodates a switching IC (IC chip) S1. The switching ICS1 has a plate shape, and in the present embodiment, the planar shape is rectangular. However, the shape in the plane direction is arbitrary and is not limited to a rectangle.

図2に示すように、スイッチングIC S1は、一方の主面(底面)に端子電極9が形成されている。そして、スイッチングICS1の各端子電極9の表面には、予め、はんだバンプ(導電性接合材)10が形成されている。スイッチングIC S1は、キャビティ7に収容された後に、加熱され、はんだバンプ10がリフローされ、再び自然冷却されて固化されることによって、はんだバンプ10によって端子電極9が接続用電極8に接続されている。この結果、スイッチングIC S1の主面は、積層基板1の主面に対して、ほぼ垂直に配置される。   As shown in FIG. 2, the switching IC S1 has a terminal electrode 9 formed on one main surface (bottom surface). A solder bump (conductive bonding material) 10 is formed in advance on the surface of each terminal electrode 9 of the switching ICS1. After the switching IC S1 is accommodated in the cavity 7, it is heated, the solder bumps 10 are reflowed, and naturally cooled again to be solidified, whereby the terminal electrodes 9 are connected to the connection electrodes 8 by the solder bumps 10. Yes. As a result, the main surface of the switching IC S1 is disposed substantially perpendicular to the main surface of the multilayer substrate 1.

キャビティ7の側壁と、スイッチングIC S1の上側の主面(天面)との隙間(クリアランス)の大きさは、50μm〜500μm程度とするのが好ましい。また、キャビティ7の側壁と、スイッチングIC S1の側面との隙間の大きさは、両側の合計で、50μm〜500μm程度とするのが好ましい。隙間がこれよりも小さいと、スイッチングIC S1をキャビティ7内に収容するのが難しくなるからである。また、隙間がこれよりも大きいと、磁性体部1Bの体積が減少して、コイルL1のインダクタンス形成にとって好ましくないからである。なお、キャビティ7の内底面と、スイッチングIC S1の側面との隙間の大きさは任意であり、スイッチングIC S1の側面がキャビティ7の内底面に接していても良いし、接していなくても良い。   The size of the gap (clearance) between the side wall of the cavity 7 and the upper main surface (top surface) of the switching IC S1 is preferably about 50 μm to 500 μm. The size of the gap between the side wall of the cavity 7 and the side surface of the switching IC S1 is preferably about 50 μm to 500 μm in total on both sides. This is because it is difficult to accommodate the switching IC S1 in the cavity 7 if the gap is smaller than this. Further, if the gap is larger than this, the volume of the magnetic body portion 1B decreases, which is not preferable for the inductance formation of the coil L1. The size of the gap between the inner bottom surface of the cavity 7 and the side surface of the switching IC S1 is arbitrary, and the side surface of the switching IC S1 may be in contact with the inner bottom surface of the cavity 7 or may not be in contact therewith. .

キャビティ7とスイッチングIC S1との隙間に、樹脂21が充填されている。樹脂21は、スイッチングIC S1を保護するとともに、積層基板1の強度を向上させている。   Resin 21 is filled in the gap between the cavity 7 and the switching IC S1. The resin 21 protects the switching IC S1 and improves the strength of the multilayer substrate 1.

以上の構造を有する、第1実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100は、図3に示す等価回路を有する。   The DC-DC converter module 100 according to the first embodiment having the above structure has an equivalent circuit shown in FIG.

DC-DCコンバータモジュール100は、入力端子T1、出力端子T2、制御端子T3、グランド端子T4を備える。入力端子T1と出力端子T2との間に、スイッチングIC S1とコイルL1とが接続されている。コイルL1は、チョークコイルとして機能する。入力端子T1とスイッチングIC S1との接続点が、キャパシタC1を介して、グランド端子T4に接続されている。また、スイッチングIC S1と出力端子T2との接続点が、キャパシタC2を介して、グランド端子T4に接続されている。さらに、制御端子T3とグランド端子T4とが、それぞれ、スイッチングIC S1に接続されている。   The DC-DC converter module 100 includes an input terminal T1, an output terminal T2, a control terminal T3, and a ground terminal T4. A switching IC S1 and a coil L1 are connected between the input terminal T1 and the output terminal T2. The coil L1 functions as a choke coil. A connection point between the input terminal T1 and the switching IC S1 is connected to the ground terminal T4 via the capacitor C1. A connection point between the switching IC S1 and the output terminal T2 is connected to the ground terminal T4 via the capacitor C2. Furthermore, the control terminal T3 and the ground terminal T4 are each connected to the switching IC S1.

以上の構造および等価回路を有する、第1実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100は、次のような特長を備えている。   The DC-DC converter module 100 according to the first embodiment having the above structure and equivalent circuit has the following features.

DC-DCコンバータモジュール100は、スイッチングIC S1の主面がキャビティ7の側壁に沿うように、スイッチングIC S1がキャビティ7内に収容されているため、小型化がはかられている。すなわち、DC-DCコンバータモジュール100は、積層基板1の主面に、スイッチングIC S1を実装するためのスペースを必要としないため、平面方向の大きさ(縦寸法および横寸法)が抑制されている。また、DC-DCコンバータモジュール100は、スイッチングIC S1がキャビティ7内に収容されているため、高さ方向の大きさ(高さ寸法)も抑制されている。   The DC-DC converter module 100 is miniaturized because the switching IC S1 is accommodated in the cavity 7 so that the main surface of the switching IC S1 is along the side wall of the cavity 7. That is, since the DC-DC converter module 100 does not require a space for mounting the switching IC S1 on the main surface of the multilayer substrate 1, the size in the plane direction (vertical dimension and horizontal dimension) is suppressed. . Further, in the DC-DC converter module 100, since the switching IC S1 is accommodated in the cavity 7, the size in the height direction (height dimension) is also suppressed.

また、DC-DCコンバータモジュール100は、スイッチングIC S1の主面がキャビティ7の側壁に沿うように、スイッチングIC S1がキャビティ7内に収容されているため、コイルL1の形成する磁束が、スイッチングIC S1によって妨げられにくい。以下に、図面を参照しながら説明する。図4(A-1)、(A-2)に、DC-DCコンバータモジュール100と同じく、ICチップ51の主面が基板52の主面に対して垂直となるように、ICチップ51を基板52の内部に埋設した、実施例にかかるICチップ実装基板Xを示す。また、図4(B-1)、(B-2)に、ICチップ61の主面が基板62の主面に対して平行となるように、ICチップ61を基板62の内部に埋設した、比較例にかかるICチップ実装基板Yを示す。ただし、図4(A-1)、図4(B-1)は平面方向の透視図、図4(A-2)、図4(B-2)は側面方向の透視図である。   Further, in the DC-DC converter module 100, since the switching IC S1 is accommodated in the cavity 7 so that the main surface of the switching IC S1 is along the side wall of the cavity 7, the magnetic flux formed by the coil L1 is changed to the switching IC S1. Hard to be disturbed by S1. Hereinafter, description will be given with reference to the drawings. 4A-1 and 4A-2, the IC chip 51 is mounted on the substrate so that the main surface of the IC chip 51 is perpendicular to the main surface of the substrate 52, as in the DC-DC converter module 100. An IC chip mounting substrate X according to an example embedded in 52 is shown. 4B-1 and 4B-2, the IC chip 61 is embedded in the substrate 62 so that the main surface of the IC chip 61 is parallel to the main surface of the substrate 62. The IC chip mounting substrate Y concerning a comparative example is shown. 4A-1 and 4B-1 are perspective views in a plane direction, and FIGS. 4A-2 and 4B-2 are perspective views in a side surface direction.

実施例にかかるICチップ実装基板Xは、図4(A-1)、(A-2)に示すように、コイル53が形成する磁束(矢印で示す)が、ICチップ51によって妨げられにくい。これに対し、比較例にかかるICチップ実装基板Yは、図4(B-1)、(B-2)に示すように、コイル63が形成する磁束(矢印で示す)が、ICチップ61によって妨げられている。この結果、コイル53とコイル63とが同じ条件で形成されている場合には、コイル53のインダクタンス値の方がコイル63のインダクタンス値よりも大きくなる。そして、コイル53の直流重畳特性の方が、コイル63の直流重畳特性よりも優れたものになる。   In the IC chip mounting substrate X according to the example, as shown in FIGS. 4A-1 and 4A-2, the magnetic flux (indicated by the arrow) formed by the coil 53 is not easily disturbed by the IC chip 51. On the other hand, in the IC chip mounting substrate Y according to the comparative example, the magnetic flux (indicated by the arrow) formed by the coil 63 is generated by the IC chip 61 as shown in FIGS. It is hindered. As a result, when the coil 53 and the coil 63 are formed under the same conditions, the inductance value of the coil 53 is larger than the inductance value of the coil 63. The direct current superimposition characteristic of the coil 53 is superior to the direct current superimposition characteristic of the coil 63.

DC-DCコンバータモジュール100は、スイッチングIC S1の主面がキャビティ7の側壁に沿うように、スイッチングIC S1がキャビティ7内に収容されているため、コイルL1の形成する磁束がスイッチングIC S1によって妨げられにくく、大きなインダクタンス値を備えている。   In the DC-DC converter module 100, since the switching IC S1 is accommodated in the cavity 7 so that the main surface of the switching IC S1 is along the side wall of the cavity 7, the magnetic flux formed by the coil L1 is blocked by the switching IC S1. It is hard to be formed and has a large inductance value.

次に、本実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100の製造方法の一例について説明する。   Next, an example of a method for manufacturing the DC-DC converter module 100 according to the present embodiment will be described.

まず、図5(A)に示すように、非磁性体層1aを形成するためのセラミックグリーンシート11a、磁性体層1bを形成するためのセラミックグリーンシート11b、非磁性体層1cを形成するためのセラミックグリーンシート11cを作製する。セラミックグリーンシート11a、11cは、たとえば、非磁性フェライトを主成分にして形成されている。セラミックグリーンシート11bは、たとえば、磁性フェライトを主成分にして形成されている。続いて、同じく図5(A)に示すように、セラミックグリーンシート11a〜11cに、必要に応じて、レーザー光を照射するなどの方法によって、ビア電極3を形成するための孔13を形成する。   First, as shown in FIG. 5A, the ceramic green sheet 11a for forming the nonmagnetic layer 1a, the ceramic green sheet 11b for forming the magnetic layer 1b, and the nonmagnetic layer 1c are formed. The ceramic green sheet 11c is prepared. The ceramic green sheets 11a and 11c are formed with nonmagnetic ferrite as a main component, for example. The ceramic green sheet 11b is formed, for example, with magnetic ferrite as a main component. Subsequently, as shown in FIG. 5A, holes 13 for forming the via electrodes 3 are formed in the ceramic green sheets 11a to 11c by a method such as irradiating laser light as necessary. .

次に、図6(B)に示すように、セラミックグリーンシート11a〜11cの孔13に、導電性ペースト23を充填する。併せて、セラミックグリーンシート11a〜11cの主面に、配線パターン2を形成するための導電性ペースト22、コイルパターン4を形成するための導電性ペースト24、キャパシタ電極5を形成するための導電性ペースト25、実装用電極6を形成するための導電性ペースト26を、それぞれ、所定のパターン形状に塗布する。導電性ペースト22〜26には、たとえば、銀を主成分とする導電性ペーストを用いることができる。導電性ペースト23の充填および導電性ペースト22、24、25、26の塗布は、たとえばスクリーン印刷により、同時におこなうことができる。   Next, as shown in FIG. 6B, the conductive paste 23 is filled into the holes 13 of the ceramic green sheets 11a to 11c. In addition, the conductive paste 22 for forming the wiring pattern 2, the conductive paste 24 for forming the coil pattern 4, and the conductivity for forming the capacitor electrode 5 are formed on the main surfaces of the ceramic green sheets 11a to 11c. The paste 25 and the conductive paste 26 for forming the mounting electrode 6 are respectively applied in a predetermined pattern shape. For the conductive pastes 22 to 26, for example, a conductive paste mainly composed of silver can be used. The filling of the conductive paste 23 and the application of the conductive pastes 22, 24, 25, and 26 can be performed simultaneously by screen printing, for example.

次に、図7(C)に示すように、セラミックグリーンシート11a〜11cを積層し、加圧して一体化し、所定のプロファイルで焼成して積層基板1を作製する。   Next, as shown in FIG. 7C, the ceramic green sheets 11a to 11c are laminated, pressed and integrated, and fired with a predetermined profile to produce the laminated substrate 1.

次に、図7(D)に示すように、積層基板1の上側の主面(天面)をドリル71などで切削加工して、図8(E)に示すように、積層基板1の上側の主面にキャビティ7を形成する。このとき、キャビティ7の側壁に、接続用電極8が露出する。   Next, as shown in FIG. 7D, the upper main surface (top surface) of the multilayer substrate 1 is cut with a drill 71 or the like, and as shown in FIG. A cavity 7 is formed on the main surface of the substrate. At this time, the connection electrode 8 is exposed on the side wall of the cavity 7.

次に、図8(F)に示すように、キャビティ7に、スイッチングIC S1を収容する。   Next, as illustrated in FIG. 8F, the switching IC S <b> 1 is accommodated in the cavity 7.

次に、積層基板1を例えばリフローにより所定の温度で加熱し、はんだバンプ10を溶融させ、再び自然冷却させて固化させて、図9(G)に示すように、スイッチングIC S1の端子電極(図9(G)には図示せず)を、はんだバンプ(導電性接合材)10によって、キャビティ7の側壁に設けられた接続用電極8に接続する。このとき、スイッチングIC S1がセルフアライメントによって移動するため、端子電極と接続用電極8とが確実に接続される。なお、この工程は、図9(G)に示された積層基板1を、図における反時計回りに90度回転させ、スイッチングIC S1のはんだバンプ10が形成された主面が下側になるようにしたうえで、おこなうことが好ましい。この場合には、スイッチングIC S1のセルフアライメントが、より適正におこなわれる。   Next, the laminated substrate 1 is heated at a predetermined temperature by, for example, reflow, the solder bumps 10 are melted, and then naturally cooled again to be solidified, and as shown in FIG. 9G, the terminal electrodes of the switching IC S1 ( 9 (G) is connected to the connection electrode 8 provided on the side wall of the cavity 7 by a solder bump (conductive bonding material) 10. At this time, since the switching IC S1 moves by self-alignment, the terminal electrode and the connection electrode 8 are reliably connected. In this step, the multilayer substrate 1 shown in FIG. 9G is rotated 90 degrees counterclockwise in the drawing so that the main surface on which the solder bumps 10 of the switching IC S1 are formed is on the lower side. In addition, it is preferable to do this. In this case, the self-alignment of the switching IC S1 is performed more appropriately.

次に、図9(H)に示すように、スイッチングIC S1とキャビティ7との隙間に、樹脂21を充填する。以上により、第1実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100が完成する。   Next, as illustrated in FIG. 9H, a resin 21 is filled in a gap between the switching IC S <b> 1 and the cavity 7. As described above, the DC-DC converter module 100 according to the first embodiment is completed.

[第2実施形態]
図10(A)、(B)に、第2実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール(ICチップ実装基板)200を示す。なお、図10(A)はDC-DCコンバータモジュール200の斜視図、図10(B)は断面図である。
[Second Embodiment]
FIGS. 10A and 10B show a DC-DC converter module (IC chip mounting substrate) 200 according to the second embodiment. 10A is a perspective view of the DC-DC converter module 200, and FIG. 10B is a cross-sectional view.

DC-DCコンバータモジュール200は、第1実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100に変更を加えた。   The DC-DC converter module 200 is a modification of the DC-DC converter module 100 according to the first embodiment.

DC-DCコンバータモジュール100では、図1(B)に示すように、キャパシタC1、C2が、それぞれ、積層基板1の第2の非磁性体部1Cの非磁性体層1cの層間に形成された対向する1対のキャパシタ電極5によって形成されていた。DC-DCコンバータモジュール200は、これに代えて、キャパシタC1、C2を別部品として構成するとともに、積層基板1の上側の主面(天面)にランド電極36を形成して、キャパシタC1、C2をランド電極36に実装した。   In the DC-DC converter module 100, as shown in FIG. 1B, capacitors C1 and C2 are formed between the nonmagnetic layers 1c of the second nonmagnetic portion 1C of the multilayer substrate 1, respectively. It was formed by a pair of opposing capacitor electrodes 5. Instead of this, the DC-DC converter module 200 includes capacitors C1 and C2 as separate components, and forms a land electrode 36 on the upper main surface (top surface) of the multilayer substrate 1 to provide capacitors C1 and C2. Was mounted on the land electrode 36.

また、DC-DCコンバータモジュール100では、図1(A)、(B)に示すように、スイッチングIC S1が、キャビティ7内に完全に収容されていた。DC-DCコンバータモジュール200は、これに代えて、スイッチングIC S1の一部を、キャビティ7の外部に露出させた。DC-DCコンバータモジュール200の他の構成は、DC-DCコンバータモジュール100と同じにした。   In the DC-DC converter module 100, the switching IC S1 is completely accommodated in the cavity 7, as shown in FIGS. Instead of this, the DC-DC converter module 200 exposes a part of the switching IC S1 to the outside of the cavity 7. Other configurations of the DC-DC converter module 200 are the same as those of the DC-DC converter module 100.

第2実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール200も、スイッチングIC S1の主面がキャビティ7の側壁に沿うように、スイッチングIC S1がキャビティ7内に収容されており、積層基板1の主面にスイッチングIC S1を実装するためのスペースを必要としないため、平面方向の大きさ(縦寸法および横寸法)が抑制されている。また、DC-DCコンバータモジュール200は、スイッチングIC S1の主面がキャビティ7の側壁に沿うように、スイッチングIC S1がキャビティ7内に収容されているため、コイルL1の形成する磁束が、スイッチングIC S1によって妨げられにくい。さらに、DC-DCコンバータモジュール200は、DC-DCコンバータモジュール100よりもキャビティ7の深さを小さくすることができるため、DC-DCコンバータモジュール100よりも積層基板1の強度が向上している。   In the DC-DC converter module 200 according to the second embodiment, the switching IC S1 is accommodated in the cavity 7 so that the main surface of the switching IC S1 is along the side wall of the cavity 7, and Since a space for mounting the switching IC S1 is not required, the size in the planar direction (vertical dimension and horizontal dimension) is suppressed. Further, in the DC-DC converter module 200, since the switching IC S1 is accommodated in the cavity 7 so that the main surface of the switching IC S1 is along the side wall of the cavity 7, the magnetic flux formed by the coil L1 is changed to the switching IC S1. Hard to be disturbed by S1. Furthermore, since the DC-DC converter module 200 can make the depth of the cavity 7 smaller than the DC-DC converter module 100, the strength of the multilayer substrate 1 is improved as compared with the DC-DC converter module 100.

[第3実施形態]
図11に、第3実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール(ICチップ実装基板)300を示す。なお、図11は、DC-DCコンバータモジュール300の断面図である。
[Third Embodiment]
FIG. 11 shows a DC-DC converter module (IC chip mounting substrate) 300 according to the third embodiment. FIG. 11 is a cross-sectional view of the DC-DC converter module 300.

DC-DCコンバータモジュール300は、第1実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100に変更を加えた。具体的には、積層基板1の磁性体部1Bを構成する磁性体層1bのうちの1層を、非磁性体層1xに置換えた。非磁性体層1xは、非磁性体層1aや非磁性体層1cと同じ材質によって形成されている。DC-DCコンバータモジュール300の他の構成は、DC-DCコンバータモジュール100と同じにした。   The DC-DC converter module 300 is a modification of the DC-DC converter module 100 according to the first embodiment. Specifically, one of the magnetic layers 1b constituting the magnetic portion 1B of the multilayer substrate 1 was replaced with a nonmagnetic layer 1x. The nonmagnetic layer 1x is formed of the same material as the nonmagnetic layer 1a and the nonmagnetic layer 1c. Other configurations of the DC-DC converter module 300 are the same as those of the DC-DC converter module 100.

第3実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール300は、非磁性体層1xを設けたことにより、コイルL1の直流重畳特性が改善されている。   In the DC-DC converter module 300 according to the third embodiment, the direct current superposition characteristics of the coil L1 are improved by providing the nonmagnetic layer 1x.

以上、第1〜第3実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール(ICチップ実装基板)100〜300について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って、種々の変更をなすことができる。   The DC-DC converter modules (IC chip mounting substrates) 100 to 300 according to the first to third embodiments have been described above. However, the present invention is not limited to the contents described above, and various modifications can be made in accordance with the spirit of the invention.

たとえば、第1〜第3実施形態では、ICチップ実装基板としてDC-DCコンバータモジュールを作製したが、作製される電子モジュールはDC-DCコンバータモジュールには限られない。たとえば、RFIDモジュール、RFフロントエンドモジュールなどであっても良い。   For example, in the first to third embodiments, the DC-DC converter module is manufactured as the IC chip mounting substrate, but the manufactured electronic module is not limited to the DC-DC converter module. For example, an RFID module or an RF front end module may be used.

1・・・積層基板
1A・・・第1の非磁性体部
1a・・・非磁性体層
1B・・・磁性体部
1b・・・磁性体層
1C・・・第2の非磁性体部
1c・・・非磁性体層
1x・・・非磁性体層(磁性体部1Bに設けられたもの)
2・・・配線パターン
3・・・ビア電極
4・・・コイルパターン
5・・・キャパシタ電極
6・・・実装用電極
7・・・キャビティ
8・・・接続用電極
9・・・端子電極
10・・・はんだバンプ
21・・・樹脂
36・・・ランド電極
S1・・・スイッチングIC(ICチップ)
T1・・・入力端子
T2・・・出力端子
T3・・・制御端子
T4・・・グランド端子
L1・・・コイル
C1、C2・・・キャパシタ
100、200、300・・・DC-DCコンバータモジュール(ICチップ実装基板)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laminated substrate 1A ... 1st nonmagnetic body part 1a ... Nonmagnetic body layer 1B ... Magnetic body part 1b ... Magnetic body layer 1C ... 2nd nonmagnetic body part 1c: Nonmagnetic layer 1x: Nonmagnetic layer (provided on the magnetic portion 1B)
2 ... wiring pattern 3 ... via electrode 4 ... coil pattern 5 ... capacitor electrode 6 ... mounting electrode 7 ... cavity 8 ... connection electrode 9 ... terminal electrode 10 ... Solder bump 21 ... Resin 36 ... Land electrode S1 ... Switching IC (IC chip)
T1 ... input terminal T2 ... output terminal T3 ... control terminal T4 ... ground terminal L1 ... coils C1, C2 ... capacitors 100, 200, 300 ... DC-DC converter module ( IC chip mounting board)

Claims (5)

1対の主面を有し、少なくとも一方の前記主面にキャビティが形成された基板と、
前記キャビティ内に形成された接続用電極と、
1対の主面を有し、一方の前記主面に端子電極が形成された板状のICチップと、を備え、
前記ICチップが前記キャビティ内に収容され、前記端子電極が前記接続用電極に導電性接合材を介して接続されたICチップ実装基板であって、
前記接続用電極が前記キャビティの側壁に形成され、前記ICチップの前記主面が前記キャビティの前記側壁に沿うように、前記ICチップが前記キャビティ内に収容されたICチップ実装基板。
A substrate having a pair of main surfaces and having a cavity formed in at least one of the main surfaces;
A connection electrode formed in the cavity;
A plate-shaped IC chip having a pair of main surfaces and terminal electrodes formed on one of the main surfaces;
The IC chip is accommodated in the cavity, and the terminal electrode is an IC chip mounting substrate connected to the connection electrode via a conductive bonding material,
An IC chip mounting substrate in which the IC chip is accommodated in the cavity such that the connection electrode is formed on a side wall of the cavity, and the main surface of the IC chip is along the side wall of the cavity.
前記基板が、磁性体によって形成された磁性体部を有し、当該磁性体部内に、前記キャビティの深さ方向に巻回軸を有するコイルが内蔵されている、請求項1に記載されたICチップ実装基板。   2. The IC according to claim 1, wherein the substrate has a magnetic body portion formed of a magnetic body, and a coil having a winding axis in the depth direction of the cavity is built in the magnetic body portion. Chip mounting board. 前記磁性体部に、前記基板の前記主面と平行な方向に広がる、非磁性体によって形成された非磁性体層が設けられた、請求項2に記載されたICチップ実装基板。   The IC chip mounting substrate according to claim 2, wherein the magnetic body portion is provided with a nonmagnetic layer formed of a nonmagnetic material that extends in a direction parallel to the main surface of the substrate. 前記キャビティと前記ICチップとの隙間に樹脂が充填されている、請求項1ないし3のいずれか1項に記載されたICチップ実装基板。   The IC chip mounting substrate according to any one of claims 1 to 3, wherein a resin is filled in a gap between the cavity and the IC chip. 前記ICチップがスイッチングICであり、DC-DCコンバータモジュールを構成している請求項1ないし4のいずれか1項に記載されたICチップ実装基板。


The IC chip mounting substrate according to any one of claims 1 to 4, wherein the IC chip is a switching IC and constitutes a DC-DC converter module.


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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021022510A (en) * 2019-07-29 2021-02-18 トヨタ自動車株式会社 Fuel cell module

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10163415A (en) * 1996-10-04 1998-06-19 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor device and module
WO2005076351A1 (en) * 2004-02-09 2005-08-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Module with built-in part and its manufacturing method
WO2007049788A1 (en) * 2005-10-28 2007-05-03 Hitachi Metals, Ltd. Dc-dc converter
US20110225816A1 (en) * 2010-03-16 2011-09-22 Cheng-Hsien Chou Method of manufacturing a multilayer printed circuit board with a built-in electronic device
JP2012195471A (en) * 2011-03-17 2012-10-11 Murata Mfg Co Ltd Method for producing multilayer substrate and multilayer substrate produced by the method
JP2014161003A (en) * 2012-08-09 2014-09-04 Murata Mfg Co Ltd Antenna device, radio communication device, and antenna device manufacturing method
WO2015152333A1 (en) * 2014-04-03 2015-10-08 株式会社村田製作所 Laminated coil component, module component and method for producing laminated coil component

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10163415A (en) * 1996-10-04 1998-06-19 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor device and module
WO2005076351A1 (en) * 2004-02-09 2005-08-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Module with built-in part and its manufacturing method
WO2007049788A1 (en) * 2005-10-28 2007-05-03 Hitachi Metals, Ltd. Dc-dc converter
US20110225816A1 (en) * 2010-03-16 2011-09-22 Cheng-Hsien Chou Method of manufacturing a multilayer printed circuit board with a built-in electronic device
JP2012195471A (en) * 2011-03-17 2012-10-11 Murata Mfg Co Ltd Method for producing multilayer substrate and multilayer substrate produced by the method
JP2014161003A (en) * 2012-08-09 2014-09-04 Murata Mfg Co Ltd Antenna device, radio communication device, and antenna device manufacturing method
WO2015152333A1 (en) * 2014-04-03 2015-10-08 株式会社村田製作所 Laminated coil component, module component and method for producing laminated coil component

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021022510A (en) * 2019-07-29 2021-02-18 トヨタ自動車株式会社 Fuel cell module
JP7159992B2 (en) 2019-07-29 2022-10-25 トヨタ自動車株式会社 fuel cell module

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