JP2017194272A - ノズル式電子線照射装置およびこれを具備する電子線滅菌設備 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空チャンバ2と、この真空チャンバ2の内部に配置された電子線発生器3と、真空チャンバ2に接続されて電子線発生器3からの電子線Eを案内して外部に照射する真空ノズル4とを備えるノズル式電子線照射装置1である。このノズル式電子線照射装置1は、真空チャンバ2において真空ノズル4が接続されている部分の近傍から吸引し得る高真空ポンプ5を備える。
【選択図】図1
Description
上記真空チャンバにおいて真空ノズルが接続されている部分の近傍から吸引し得る高真空ポンプを備えるものである。
上記イオンポンプからの磁場を、電子線発生器からの電子線に影響させない程度にする磁場無力化手段を備えるものである。
上記ターンテーブルにノズル式電子線照射装置を固定したフランジとを具備し、
上記フランジが、上記ノズル式電子線照射装置の真空チャンバ、真空ノズルおよび高真空ポンプを接続するものである。
また、第7の発明に係る電子線滅菌設備は、第5の発明に係る電子線滅菌設備において、ターンテーブルに配置されたノズル式電子線照射装置が複数あり、
上記ノズル式電子線照射装置の高真空ポンプが、ターンテーブルの外側に向けて、且つ当該ノズル式電子線照射装置とこれに隣接するノズル式電子線照射装置との間に配置されたものであり、
上記ノズル式電子線照射装置の磁場無力化手段が、当該ノズル式電子線照射装置のイオンポンプからの磁場を、これに隣接するノズル式電子線照射装置の電子線発生器からの電子線にも影響させない程度にするものである。
まず、上記ノズル式電子線照射装置について図1に基づき説明する。
この電子線滅菌設備は、図2に示すように、上記ノズル式電子線照射装置1を外周部に配置するターンテーブル6と、上記ターンテーブル6にノズル式電子線照射装置1を固定するフランジ7とを具備する。上記フランジ7は、上記ノズル式電子線照射装置1の真空チャンバ2、真空ノズル4および高真空ポンプ5を接続するものである。
まず、上記ノズル式電子線照射装置1について図3に基づき説明する。
上記イオンポンプ50は、図4に示すように、ポンプ本体部51と、L型配管8側に位置するマグネット部52とを有する。このマグネット部52は、図5に示すように、互いに向き合う第一磁石53および第二磁石54(いずれも永久磁石)を含む。この第一磁石53はそのN極を第二磁石54のS極に向けるものであり、上記第二磁石54はそのS極を第一磁石53のN極に向けるものである。また、上記マグネット部52は、これら永久磁石53,54の効率を高めるためのヨーク55も含む。このヨーク55は、第一磁石53を保持する第一部分56と、第二磁石54を保持する第二部分57と、これら第一部分56および第二部分57を接続する中間部分58とからなる。また、上記ヨーク55は、その中間部分58が真空チャンバ2にまたは真空ノズル4のいずれか近い方に向けて配置されることで、永久磁石53,54からの磁力線を電子線Eに到達しにくくするものでもある。このようなヨーク55の配置により、イオンポンプ50を真空チャンバ2の近くに配置しても、マグネット部52の電子線Eに対する影響は小さいまま(本発明者による実験でも示された)である。
この電子線滅菌設備100は、図6に示すように、上記ノズル式電子線照射装置1を外周部に等ピッチで多数配置したターンテーブル6を具備する。このターンテーブル6は、その中心61を軸にして回転することにより、外周部に多数配置したノズル式電子線照射装置1を円移動させるものである。
さらに、各ノズル式電子線照射装置1の重心がターンテーブル6の中心61側に寄ることにより、各ノズル式電子線照射装置1に作用する遠心力が低減されるので、装置のひずみを原因とする電子線Eの損失が低減され、その結果として、適切な電子線Eを照射することができる。
ところで、上記実施の形態および実施例では電子線Eが真空ノズル4よりも多少(例えば約10%)大径であるとして説明したが、この構成により、真空ノズルから外部に照射する電子線の出力が安定しないという、従来の課題を解決することができる。このようなノズル式電子線照射装置は、図10に示すように、
真空チャンバ2と、この真空チャンバ2の内部に配置された電子線発生器3と、上記真空チャンバ2に接続されて上記電子線発生器3からの電子線Eを案内して外部に照射する真空ノズル4とを備えるノズル式電子線照射装置1であって、
上記電子線発生器3が、上記真空ノズル2の軸心Zに沿うとともに当該真空ノズル2の内径よりも大径の電子線Eを発生させるものであることを特徴とする。
1 ノズル式電子線照射装置
2 真空チャンバ
3 電子線発生器
4 真空ノズル
5 高真空ポンプ
Claims (7)
- 真空チャンバと、この真空チャンバの内部に配置された電子線発生器と、上記真空チャンバに接続されて上記電子線発生器からの電子線を案内して外部に照射する真空ノズルとを備えるノズル式電子線照射装置であって、
上記真空チャンバにおいて真空ノズルが接続されている部分の近傍から吸引し得る高真空ポンプを備えることを特徴とするノズル式電子線照射装置。 - 高真空ポンプが、イオンポンプであり、
上記イオンポンプからの磁場を、電子線発生器からの電子線に影響させない程度にする磁場無力化手段を備えることを特徴とする請求項1に記載のノズル式電子線照射装置。 - 磁場無力化手段が、イオンポンプを覆う磁気シールドであることを特徴とする請求項2に記載のノズル式電子線照射装置。
- 磁場無力化手段が、イオンポンプと真空チャンバとを接続するとともに当該イオンポンプを退避位置にする退避用配管であることを特徴とする請求項2に記載のノズル式電子線照射装置。
- 請求項1乃至4のいずれか一項に記載のノズル式電子線照射装置を外周部に配置したターンテーブルと、
上記ターンテーブルにノズル式電子線照射装置を固定したフランジとを具備し、
上記フランジが、上記ノズル式電子線照射装置の真空チャンバ、真空ノズルおよび高真空ポンプを接続するものであることを特徴とする電子線滅菌設備。 - 高真空ポンプが、ターンテーブルの中心側に向けて配置されたものであることを特徴とする請求項5に記載の電子線滅菌設備。
- ターンテーブルに配置されたノズル式電子線照射装置が複数あり、
上記ノズル式電子線照射装置の高真空ポンプが、ターンテーブルの外側に向けて、且つ当該ノズル式電子線照射装置とこれに隣接するノズル式電子線照射装置との間に配置されたものであり、
上記ノズル式電子線照射装置の磁場無力化手段が、当該ノズル式電子線照射装置のイオンポンプからの磁場を、これに隣接するノズル式電子線照射装置の電子線発生器からの電子線にも影響させない程度にするものであることを特徴とする請求項5に記載の電子線滅菌設備。
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