JP2017181248A - センサおよび測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図1は、本発明によるセンサの第1の実施形態の構成例を示す模式図である。図1に示したセンサ10は、圧電基板1と、アンテナ2と、櫛形電極3と、櫛形電極4と、バリキャップダイオード5と、振動検出素子6と、インダクタ7とを備える。櫛形電極3と櫛形電極4とは、互いに離して配置されて圧電基板1上に形成されている。ここで、振動検出素子6は、振動に応じた電圧を発生する受動素子である。振動検出素子6としては、一例として圧電素子があげられる。櫛形電極3はアンテナ2に接続されている。櫛形電極4を構成する互いに対向する電極4aと電極4bとのうち、電極4aはバリキャップダイオード5のカソードとインダクタ7の一端とに接続されている。電極4bはグランドに接続されている。バリキャップダイオード5のアノードはグランドに接続されている。インダクタ7の他端は振動検出素子6の一端に接続されている。そして、振動検出素子6の他端はグランドに接続されている。
次に、図6を参照して、本発明の第2の実施形態について説明する。図6(A)は本発明の第2の実施形態のセンサ100の構成例を示した模式図である。図6(B)〜(F)は、図6(A)に示したセンサ100の動作を説明するための模式図である。なお、図6において、図1に示したものと同一または対応する構成には同一の符号を付けて説明を省略する。
次に、図7および図8を参照して、本発明の第3の実施形態について説明する。図7は本発明の第3の実施形態の計測装置200の構成例を示した模式図である。そして、図8は、図7に示した計測装置200の動作例を説明するための模式図である。
なお、本発明の実施形態は上記のものに限定されず、発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。例えば、振動検出素子6を他の物理量を電圧に変換する検出素子に代えてもよい。例えば、図1に示した振動検出素子6を、熱電対や熱電堆に代えることで熱や光を検出するセンサに変更することができる。また、例えば、図1に示した振動検出素子6を、例えば風力や水力を動力源とする発電機に代えることで風力や水力を検出するセンサに変更することができる。
200 計測装置
23 親機
1 圧電基板
2、24、25 アンテナ
3、4 櫛形電極
5、61、62 バリキャップダイオード
6、66 振動検出素子
7、43、52、63〜65 インダクタ
41 コンデンサ
42、51 抵抗
Claims (5)
- アンテナに接続された第1櫛形電極と、前記第1櫛形電極から離れて配置された第2櫛形電極とを有する圧電基板と、
振動に応じた電圧を発生する振動検出素子と、
前記第2櫛形電極に接続されるとともに前記振動検出素子が発生した電圧が印加される可変容量素子と
を備え、
前記第1櫛形電極が、前記アンテナから入力された電気信号を表面弾性波に変換して送信し、
前記第2櫛形電極が、当該第2櫛形電極間のインピーダンスに応じて反射率を変化させて前記第1櫛形電極が送信した表面弾性波を反射し、そして、
前記第1櫛形電極が、前記第2櫛形電極が反射した表面弾性波を受信して、電気信号に変換して前記アンテナへ出力する
センサ。 - 前記振動検出素子が圧電素子である
請求項1に記載のセンサ。 - 前記第2櫛形電極に接続される回路のインピーダンスを調整する調整用素子を
さらに備える請求項1または2に記載のセンサ。 - 前記第2櫛形電極を構成する互いに対向する第1電極と第2電極とのうち、
前記第1電極に前記可変容量素子(以下、第1可変容量素子)の一端が接続され、
前記第2電極に前記第1可変容量素子とは異なる第2可変容量素子の一端が接続され、
前記第1可変容量素子の他端と前記第2可変容量素子の他端とがともに負荷素子の一端に接続されている
請求項1から3のいずれか1項に記載のセンサ。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載のセンサであって、前記表面弾性波の動作特性が互いに異なる複数のセンサと、
前記センサの前記アンテナに対して所定の電波を送信する送信部と、
前記センサの前記アンテナから送信された電波を受信する受信部と
を備えた測定装置。
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JP2012255706A (ja) * | 2011-06-08 | 2012-12-27 | National Univ Corp Shizuoka Univ | 無給電ワイヤレス式センサモジュールおよびワイヤレス式物理量検出システム |
JP2015145808A (ja) * | 2014-02-03 | 2015-08-13 | 国立大学法人静岡大学 | 物理量検出センサモジュールおよび物理量検出システム |
WO2016019755A1 (zh) * | 2014-08-02 | 2016-02-11 | 软控股份有限公司 | 声表面波谐振器型振动传感器以及振动检测系统 |
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- 2016-03-30 JP JP2016067626A patent/JP6519803B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS50147647A (ja) * | 1974-05-16 | 1975-11-26 | ||
JP2009041938A (ja) * | 2007-08-06 | 2009-02-26 | Nec Tokin Corp | 振動検知装置 |
JP2012255706A (ja) * | 2011-06-08 | 2012-12-27 | National Univ Corp Shizuoka Univ | 無給電ワイヤレス式センサモジュールおよびワイヤレス式物理量検出システム |
JP2015145808A (ja) * | 2014-02-03 | 2015-08-13 | 国立大学法人静岡大学 | 物理量検出センサモジュールおよび物理量検出システム |
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