JP2017178646A - 炭化珪素単結晶製造用の黒鉛坩堝 - Google Patents
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Abstract
Description
(1) 上端開口筒状に形成された黒鉛製の坩堝本体とこの坩堝本体の上端開口部を閉塞する坩堝上蓋とを有し、前記坩堝本体下部の原料充填部に原料炭化珪素を充填すると共に、前記坩堝上蓋の内面に炭化珪素単結晶からなる種結晶基板を設置し、前記原料炭化珪素を加熱して昇華させ、発生した昇華ガスを前記種結晶基板の表面で再結晶化させて炭化珪素を成長させる昇華再結晶法により炭化珪素単結晶を製造するための黒鉛坩堝であって、前記坩堝本体の内壁面に多孔質カーボン部材を備えたことを特徴とする炭化珪素単結晶製造用の黒鉛坩堝。
(2) 前記多孔質カーボン部材は炭化珪素の結晶成長方向の両端が開口した円筒状に形成されており、該円筒状の多孔質カーボン部材が坩堝本体の内壁面において坩堝本体下部の原料充填部より上方で入れ子状に配置されていることを特徴とする前記(1)に記載の炭化珪素単結晶製造用の黒鉛坩堝。
(3) 前記多孔質カーボン部材の厚さが1mm以上10mm未満であることを特徴とする前記(1)又は(2)に記載の炭化珪素単結晶製造用の黒鉛坩堝。
(4) 前記多孔質カーボン部材の体積気孔率が20%以上95%未満であることを特徴とする前記(1)又は(2)に記載の炭化珪素単結晶製造用の黒鉛坩堝。
図1は、昇華再結晶法により炭化珪素単結晶を育成する際に用いられる従来の育成装置の構成を示す説明図であり、この育成装置に組み込まれた黒鉛坩堝1は、上端開口筒状に形成された黒鉛製の坩堝本体2とこの坩堝本体2の上端開口部を閉塞する黒鉛製の坩堝上蓋3とを有し、前記坩堝本体2下部の原料充填部には原料の炭化珪素粉末(SiC原料粉末)4が充填されていると共に、前記坩堝上蓋3の内面には炭化珪素単結晶からなる種結晶基板5が設置されている。
なお、図2に示す例では、坩堝本体2下部の原料充填部より上の部分であって、坩堝上蓋3の種結晶設置部や設置された種結晶側面位置に対応する(対向する)坩堝本体2の周壁部を除いた周壁部内面のほぼ全面を覆うように多孔質カーボン部材10が設置されているが、この多孔質カーボン部材10については、上記のような種結晶設置部や種結晶側面位置に対応した周壁部を除いた領域であれば、坩堝本体2の周壁部及び底壁部を含めて坩堝本体2の内壁面全面を覆うように設置されていてもよく、また、底壁部を除く周壁部の内面全面を覆うように設置されていてもよく、更に、周壁部の内面を部分的に覆うように設置されていてもよく、更にはその形状やパターンについても昇華ガスとの接触面積が増加して反応性が高くなれば、特に制限されるものではない。
実施例1においては、昇華再結晶法により炭化珪素単結晶を育成する際に用いられる図1に示す育成装置において、図2に示す構造を有する3インチ口径の黒鉛坩堝を採用した。ここで、多孔質カーボン部材としては、カーボン繊維基材へ樹脂を含浸させ、高温焼成・黒鉛化処理したものを、結晶成長方向の両端が開口した円筒状に成型した円筒状成型体を用いた。この円筒状成型体は厚み(肉厚)が5mmであり、また、その一部の試験片のかさ密度及び気相置換法により測定された真密度から計算された体積気孔率が40%であった。
黒鉛坩堝1の坩堝口径を6インチとし、多孔質カーボン部材10として上記の実施例1と同様にして得た円筒状成型体(体積気孔率40%、厚み6mm)を用いて、実施例1と同様に、坩堝本体2の原料充填部直上から種結晶配置部直下までの周壁部を多孔質カーボン部材10で覆うようにして実施例2に係る黒鉛坩堝とした。そして、実施例1と同様にして、昇華再結晶法によるSiC単結晶の結晶成長を行った。その結果、成長実施後の多孔質カーボン部材はおよそ4〜5mm程度の消耗・減肉が見られ、坩堝本体の内壁面の露出は見られなかった。この実施例2における結晶成長の歩留りは72%であった。
体積気孔率が60%となるようにした以外は実施例1と同様にして得られた同寸法の円筒状成型体を多孔質カーボン部材10として、実施例3に係る坩堝口径3インチの黒鉛坩堝を準備した。そして、実施例1と同様にして、昇華再結晶法によるSiC単結晶の結晶成長を行った。この実施例3における結晶成長の歩留りは71%であった。
この実施例3においては、成長実施後の多孔質カーボン材はおよそ3mm程度の消耗・減肉が見られたが、坩堝本体の内壁面の露出は見られなかった。
実施例2と同寸法の口径(6インチ口径)であって多孔質カーボン部材を配置していない従来の黒鉛坩堝を備えた図1に示す育成装置を用い、実施例2と同様にしてSiC単結晶の結晶成長を行った。
この比較例1においては、結晶成長後の坩堝本体2の内壁面は厚み1mm程度エッチングされ、消耗が確認されたものの、結晶成長の歩留りは約45%に過ぎなかった。
また、その他の比較例として、坩堝口径を6インチとし、坩堝本体の内壁面に粗面加工を施して粗面部を形成した黒鉛坩堝を用いて、実施例2及び比較例1と同様の条件でSiC単結晶の結晶成長を行った。この際に粗面加工で形成された粗面部の表面粗度Ra(JIS B0601:2013)が1.2μmのものを用いた。前記粗面部を形成する粗面加工は、坩堝本体下部の原料充填部より上の種結晶基板に至るまでの坩堝本体の周壁部内面に対してサンドペーパーでの粗面化を実施し、表面粗度Raの測定は、接触式段差計(Mitutoyo製SURFTEST型番SV-3100)を用い、4μm走査の粗さ測定により行った。
Claims (4)
- 上端開口筒状に形成された黒鉛製の坩堝本体とこの坩堝本体の上端開口部を閉塞する坩堝上蓋とを有し、前記坩堝本体下部の原料充填部に原料炭化珪素を充填すると共に、前記坩堝上蓋の内面に炭化珪素単結晶からなる種結晶基板を設置し、前記原料炭化珪素を加熱して昇華させ、発生した昇華ガスを前記種結晶基板の表面で再結晶化させて炭化珪素を成長させる昇華再結晶法により炭化珪素単結晶を製造するための黒鉛坩堝であって、前記坩堝本体の内壁面に多孔質カーボン部材を備えたことを特徴とする炭化珪素単結晶製造用の黒鉛坩堝。
- 前記多孔質カーボン部材は炭化珪素の結晶成長方向の両端が開口した円筒状に形成されており、該円筒状の多孔質カーボン部材が坩堝本体の内壁面において坩堝本体下部の原料充填部より上方で入れ子状に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶製造用の黒鉛坩堝。
- 前記多孔質カーボン部材の厚さが1mm以上10mm未満であることを特徴とする請求項1又は2に記載の炭化珪素単結晶製造用の黒鉛坩堝。
- 前記多孔質カーボン部材の体積気孔率が20%以上95%未満であることを特徴とする請求項1又は2に記載の炭化珪素単結晶製造用の黒鉛坩堝。
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