JP2017162557A - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】試料の形態観察と同時に物性値を計測することができる電子顕微鏡を提供する。【解決手段】電子顕微鏡100は、試料Sに電子線を照射して、試料の観察を行う電子顕微鏡であって、レーザー光Lを発生させるレーザー光源22と、レーザー光Lが試料Sに照射されることにより試料Sから発生する光を検出する光検出部36と、を含む。【選択図】図2
Description
本発明は、電子顕微鏡に関する。
試料に電子線を照射して試料を観察しながら電子線以外の粒子線などを試料に照射するシステムが知られている。これまでに、電子線以外の粒子線としてイオンビームを用いたシステムが実用化されており、多くの研究成果が報告されている。このようなシステムは、例えば、原子炉の障壁や溶接部等のシミュレーション実験に用いられている。このようなシステムで得られた実験結果は、稼働中の原子力発電装置に使用されている材料の基礎データとなり、材料設計に役立てられている。
試料に電子線を照射して試料を観察しながらイオンビームを試料に照射するシステムとして、例えば、特許文献1には、対物レンズポールピースの上極にイオンビーム導入用の貫通孔を備えた透過電子顕微鏡が開示されている。
上述した特許文献1の電子顕微鏡では、イオンビームの照射によって生じる試料の挙動を形態観察することが可能となったが、材料に関する新たな知見を得るために、形態観察と同時に材料の物性値を計測することが可能な電子顕微鏡が望まれている。
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、試料の形態観察と同時に物性値を計測することができる電子顕微鏡を提供することにある。
(1)本発明に係る電子顕微鏡は、
試料に電子線を照射して、試料の観察を行う電子顕微鏡であって、
レーザー光を発生させるレーザー光源と、
前記レーザー光が前記試料に照射されることにより前記試料から発生する光を検出する光検出部と、
を含む。
試料に電子線を照射して、試料の観察を行う電子顕微鏡であって、
レーザー光を発生させるレーザー光源と、
前記レーザー光が前記試料に照射されることにより前記試料から発生する光を検出する光検出部と、
を含む。
このような電子顕微鏡では、試料に電子線を照射して試料を観察しながら、レーザー光を試料に照射して試料から発生する光を検出することができる。したがって、このような電子顕微鏡によれば、レーザー光と試料とを相互作用させた状態において、電子顕微鏡像による形態観察と同時に、試料の物性値を計測することができる。
(2)本発明に係る電子顕微鏡において、
前記試料で反射された前記レーザー光を検出して、前記レーザー光の照射領域の画像を取得する撮像部を含んでいてもよい。
前記試料で反射された前記レーザー光を検出して、前記レーザー光の照射領域の画像を取得する撮像部を含んでいてもよい。
このような電子顕微鏡では、レーザー光の照射領域を画像で確認することができる。
(3)本発明に係る電子顕微鏡において、
前記試料から発生する光を、前記光検出部に送る光ファイバーを含んでいてもよい。
前記試料から発生する光を、前記光検出部に送る光ファイバーを含んでいてもよい。
このような電子顕微鏡では、試料の近傍において試料から発生する光を取り込むことができる。
(4)本発明に係る電子顕微鏡において、
前記試料と、前記試料から発生する光を取り込む前記光ファイバーの先端部と、の間の距離が変化するように、前記光ファイバーを移動させる光ファイバー移動部を含んでいてもよい。
前記試料と、前記試料から発生する光を取り込む前記光ファイバーの先端部と、の間の距離が変化するように、前記光ファイバーを移動させる光ファイバー移動部を含んでいてもよい。
このような電子顕微鏡では、例えば、試料の発光量に応じて、試料と光ファイバーの先端部との間の距離を適切な距離に調整することができる。また、このような電子顕微鏡では、例えば、試料から発生した光の検出を行う場合には、光ファイバーの先端部を試料の近傍に配置し、試料から発生した光の検出を行わない場合には、光ファイバーの先端部を試料の近傍から退避させることができる。
(5)本発明に係る電子顕微鏡において、
前記光ファイバーの先端部に設けられたボールレンズを含んでいてもよい。
前記光ファイバーの先端部に設けられたボールレンズを含んでいてもよい。
このような電子顕微鏡では、試料で発生した光を、光ファイバーに効率よく取り込むことができる。
(6)本発明に係る電子顕微鏡において、
前記試料を移動可能に保持する試料ステージと、
前記試料ステージの座標ごとの前記レーザー光の強度情報が記憶されている記憶部と、を含んでいてもよい。
前記試料を移動可能に保持する試料ステージと、
前記試料ステージの座標ごとの前記レーザー光の強度情報が記憶されている記憶部と、を含んでいてもよい。
このような電子顕微鏡では、試料ステージの各座標におけるレーザー光の強度を知ることができる。したがって、このような電子顕微鏡では、例えば、観察している領域のレーザー光の強度の情報を得ることができる。
(7)本発明に係る電子顕微鏡において、
前記記憶部に記憶されている前記レーザー光の強度情報に基づいて、前記レーザー光の強度分布図を表示部に表示させる制御を行う表示制御部を含んでいてもよい。
前記記憶部に記憶されている前記レーザー光の強度情報に基づいて、前記レーザー光の強度分布図を表示部に表示させる制御を行う表示制御部を含んでいてもよい。
このような電子顕微鏡では、レーザー光の強度分布を容易に把握することができる。
(8)本発明に係る電子顕微鏡において、
前記レーザー光の強度分布図上の位置を指定するための操作部を含み、
前記表示制御部は、前記操作部を介して指定された前記レーザー光の強度分布図上の位置に対応する前記試料ステージの座標を前記表示部に表示させる制御を行ってもよい。
前記レーザー光の強度分布図上の位置を指定するための操作部を含み、
前記表示制御部は、前記操作部を介して指定された前記レーザー光の強度分布図上の位置に対応する前記試料ステージの座標を前記表示部に表示させる制御を行ってもよい。
このような電子顕微鏡では、例えば、表示部に表示されたレーザー光の強度分布図からレーザー光が所望の強度で照射されている領域を指定して、当該領域に対応する試料ステージの座標を表示部に表示させることができる。これにより、試料の所望の領域に、所望の強度のレーザー光を照射することができる。
(9)本発明に係る電子顕微鏡は、
試料に電子線を照射して、試料の観察を行う電子顕微鏡であって、
レーザー光を発生させるレーザー光源と、
前記試料で反射された光を検出して、前記レーザー光の照射領域の画像を取得する撮像部と、
を含む。
試料に電子線を照射して、試料の観察を行う電子顕微鏡であって、
レーザー光を発生させるレーザー光源と、
前記試料で反射された光を検出して、前記レーザー光の照射領域の画像を取得する撮像部と、
を含む。
このような電子顕微鏡では、レーザー光の照射領域の画像を取得する撮像部を含むため、レーザー光の照射領域を画像で確認することができる。
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1. 第1実施形態
まず、第1実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1および図2は、第1実施形態に係る電子顕微鏡100を模式的に示す図である。なお、図1では、電子顕微鏡100を構成する各部を簡略化して図示している。また、図2は、図1の領域IIを図示している。また、図2では、試料ホルダー13の図示を省略している。
まず、第1実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1および図2は、第1実施形態に係る電子顕微鏡100を模式的に示す図である。なお、図1では、電子顕微鏡100を構成する各部を簡略化して図示している。また、図2は、図1の領域IIを図示している。また、図2では、試料ホルダー13の図示を省略している。
電子顕微鏡100は、試料Sに電子線を照射し、試料Sを透過した電子を検出して、試料Sの観察を行うことができる透過電子顕微鏡である。また、電子顕微鏡100では、試料Sにレーザー光Lを照射して、レーザー光Lが試料Sに照射されることにより試料Sから発生する光を検出することができる。
電子顕微鏡100は、図1に示すように、電子源10と、照射レンズ系11と、試料ステージ12と、試料ホルダー13と、対物レンズ14と、中間レンズ15と、投影レンズ16と、像取得部17と、レーザーユニット20と、光検出ユニット30と、を含む。
電子源10は、電子を発生させる。電子源10は、例えば、陰極から放出された電子を陽極で加速し電子線を放出する電子銃である。
照射レンズ系11は、電子源10で発生した電子線を集束して試料Sに照射する。試料室2において、試料Sに電子線が照射される。
試料ステージ12は、試料Sを移動可能に保持する。試料ステージ12は、試料ホルダー13を介して、試料Sを保持している。試料ステージ12は、試料ホルダー13(試料S)を移動および静止させることができる。試料ステージ12は、試料Sの位置決めを行うことができる。
試料Sを保持している試料ホルダー13が試料ステージ12の挿入部に挿入されることにより、試料Sが試料室2に収容される。図1では、試料ホルダー13が試料室2に挿入されている状態を図示している。
試料室2は、試料Sが配置される空間である。試料室2において試料Sに電子が照射される。試料室2内は、真空排気装置(図示せず)により真空排気される。
対物レンズ14は、試料を透過した電子で透過電子顕微鏡像(TEM像)を結像するための初段のレンズである。
対物レンズ14は、図2に示すように、コイル14aと、ヨーク14bと、ポールピース14cと、を含んで構成されている。対物レンズ14は、コイル14aを励磁することによって発生した磁束を、ヨーク14bを通じてポールピース14cから空間に漏洩させる。ポールピース14cの上極14c−1と下極14c−2との間には回転対称の強い磁場が発生し、電子線を集束させることができる。
試料Sは、図2に示すように、ポールピース14cの上極14c−1と下極14c−2の間に配置される。そのため、対物レンズ14を動作させると、試料Sには、強い磁場が印加される。試料Sは、試料ステージ12(試料ホルダー13)によってポールピース14cの上極14c−1と下極14c−2の間に保持されている。
ポールピース14cの上極14c−1には、レーザーユニット20から射出されたレーザー光Lを通過させる貫通孔14d−1が設けられている。ポールピース14cの上極14c−1には、さらに、光ファイバー32が挿入される貫通孔14d−2が設けられている。
中間レンズ15および投影レンズ16は、対物レンズ14によって結像された像をさらに拡大し、像取得部17に結像させる。電子顕微鏡100では、対物レンズ14、中間レンズ15、および投影レンズ16によって、結像系が構成されている。
像取得部17は、結像系によって結像された透過電子顕微鏡像(TEM像)を取得する。像取得部17は、例えば、CCDカメラやCMOSカメラ等のデジタルカメラを用いてTEM像を取得する。
レーザーユニット20は、レーザー光Lを試料Sに照射する。レーザーユニット20は、図2に示すように、レーザー光源22と、レーザー光学系24と、制御部26と、を含んで構成されている。レーザーユニット20は、チャンバー4に取り付けられている。
レーザー光源22は、レーザー光Lを発生させる。レーザー光源22は、例えば、固体レーザーや、ファイバーレーザー等である。レーザー光Lの波長は特に限定されず、赤外線や、可視光線、紫外線であってもよい。また、レーザー光源22は、フェムト秒レーザー発振器であってもよい。これにより、試料Sにフェムト秒レーザーパルスを照射するこ
とができる。レーザー光源22は、制御部26によって制御される。
とができる。レーザー光源22は、制御部26によって制御される。
レーザー光学系24は、レーザー光源22から射出されたレーザー光Lを集束する。例えば、レーザー光学系24によって、レーザー光源22から射出された直径数mm程度のレーザー光Lを集束して、直径1mm以下のレーザー光Lとする。
レーザー光学系24は、レーザー光Lの照射位置を調整するアライメント機構を有している。レーザー光学系24のアライメント機構によってレーザー光Lのアライメントを行うことにより、直径1mm以下の微小なレーザー光Lを、貫通孔14d−1を通過させて試料Sに照射することができる。レーザー光学系24のアライメント機構は、装置の外部からレーザー光Lのアライメントができるように構成されている。
光検出ユニット30は、レーザーユニット20から射出されたレーザー光Lが試料Sに照射されることにより試料Sから発生する光を検出する。そして、光検出ユニット30は、検出された光からスペクトルを生成する。光検出ユニット30は、チャンバー4に取り付けられている。
レーザー光Lが照射されることにより試料Sから発生する光は、例えば、レーザー光Lと試料Sとの相互作用により発生した光である。レーザー光Lと試料Sとの相互作用により発生した光を検出することにより、試料Sが持つ性質を表す物性値を計測することができる。
光検出ユニット30は、光ファイバー32と、光ファイバー移動部34と、制御部35と、光検出部36と、を含んで構成されている。
光ファイバー32は、レーザー光Lの照射により試料Sから発生した光を、光検出部36に送る。光ファイバー32の先端部は、試料Sの近傍に配置され、試料Sから発生した光を取り込む。光ファイバー32は、例えばステンレス製の管の中に挿入されていてもよい。光ファイバー32の先端部には、ボールレンズ31が設けられている。ボールレンズ31は、試料Sから発生した光を集光して光ファイバー32に入射させる。
光ファイバー移動部34は、試料Sと光ファイバー32の先端部との間の距離が変化するように、光ファイバー32を移動させる。光ファイバー移動部34は、制御部35によって制御される。
図3および図4は、光ファイバー32の先端部の移動の様子を模式的に示す図である。
電子顕微鏡100では、試料Sから発生した光の検出を行う場合には、光ファイバー移動部34によって、図3に示すように光ファイバー32の先端部を試料Sの近傍に配置することができる。
また、試料Sから発生した光の検出を行わない場合には、光ファイバー移動部34によって、図4に示すように光ファイバー32の先端部を試料Sの近傍から退避させることができる。図4に示す例では、光ファイバー移動部34によって、光ファイバー32の先端部を試料Sの近傍からポールピース14cの上極14c−1に設けられた貫通孔14d−2内まで退避させている。
また、試料Sから発生した光の検出を行う場合には、光ファイバー移動部34によって、試料Sと光ファイバー32の先端部との間の距離を調整することができる。光検出部36でレーザー光Lを検出してレーザー光Lの強度をモニターしつつ、光ファイバー移動部
34で光ファイバー32を移動させることで、光ファイバー32の先端部を最適な位置に配置することができる。
34で光ファイバー32を移動させることで、光ファイバー32の先端部を最適な位置に配置することができる。
光ファイバー移動部34は、例えば、モーター等によって光ファイバー32を移動させる。なお、光ファイバー移動部34は、ユーザーが手動で光ファイバー32を装置の外部から移動できるように構成されていてもよい。
光検出部36は、レーザー光Lが照射されることにより試料Sから発生する光を検出する。光検出部36は、図2に示すように、信号変換装置36aと、AD変換器36bと、計測装置36cと、を含んで構成されている。
信号変換装置36aには、光ファイバー32が接続されている。信号変換装置36aは、光ファイバー32から送られた光を電気信号(電圧信号)に変換する。
AD変換器36bは、信号変換装置36aからの電気信号をデジタル化する。
計測装置36cは、AD変換器36bでデジタル化された信号を受け付けて、光強度を計測する処理や、スペクトルを生成する処理を行う。また、計測装置36cは、計測された光強度の情報や、スペクトルを表示部(図示せず)に表示させる処理を行う。
なお、光検出ユニット30(光検出部36)は、レーザー光Lの照射により試料Sから発生する光の検出に加えて、電子線の照射により試料Sから発生する光の検出を行ってもよい。
図5は、チャンバー4を電子顕微鏡100の光学系の光軸に沿って見た模式図である。なお、図5では、チャンバー4、レーザーユニット20、および光検出ユニット30以外の部材の図示を省略している。
図5に示すように、レーザーユニット20および光検出ユニット30は、電子顕微鏡100の光学系の光軸を中心として対称な位置に配置されている。なお、電子顕微鏡100の光学系の光軸上には、試料Sが配置される。
電子顕微鏡100では、電子源10で発生した電子線を照射レンズ系11によって試料Sに照射し、対物レンズ14、中間レンズ15、投影レンズ16によって試料Sを透過した電子で透過電子顕微鏡像(TEM像)を結像する。TEM像は、像取得部17によって取得される。
また、電子顕微鏡100では、レーザー光源22で発生したレーザー光Lを試料Sに照射して、レーザー光Lが試料Sに照射されることにより試料Sから発生する光を、光検出部36で検出する。これにより、試料Sから発生した光のスペクトルや強度を計測することができる。
電子顕微鏡100では、TEM像の取得、レーザー光Lの照射、およびレーザー光Lの照射により試料Sから発生する光の検出を同時に行うことができる。すなわち、電子顕微鏡100では、試料Sに電子線を照射して試料Sを観察しながら、レーザー光Lを試料Sに照射して試料Sから発生する光を検出することができる。
なお、上述した実施形態では、光ファイバー32をポールピース14cに設けられた貫通孔14d−2を通して試料Sの近傍に配置したが、例えば光ファイバー32を試料ホルダー13の先端部に取り付けて、光ファイバー32の先端部を試料Sの近傍に配置しても
よい。
よい。
電子顕微鏡100は、例えば、以下の特徴を有する。
電子顕微鏡100は、レーザー光Lを発生させるレーザー光源22と、レーザー光Lが試料Sに照射されることにより試料Sから発生する光を検出する光検出部36と、を含む。そのため、電子顕微鏡100では、上述したように、試料Sに電子線を照射して試料Sを観察しながら、レーザー光Lを試料Sに照射して試料Sから発生する光を検出することができる。これにより、電子顕微鏡100では、レーザー光Lと試料Sとを相互作用させた状態において、TEM像による形態観察と同時に、試料Sの物性値を計測することができる。したがって、電子顕微鏡100によれば、材料とレーザー光との相互作用に関する様々な知見を得ることができ、例えば原子炉材料や、航空宇宙関連の材料等に関する基礎データの取得が可能となる。
電子顕微鏡100は、レーザー光Lの照射により試料Sから発生する光を、光検出部36に送る光ファイバー32を含む。そのため、試料Sの近傍において試料Sから発生する光を取り込むことができる。したがって、電子顕微鏡100によれば、検出感度を高めることができる。
電子顕微鏡100は、試料Sと、光ファイバー32の先端部と、の間の距離が変化するように、光ファイバー32を移動させる光ファイバー移動部34を含む。そのため、電子顕微鏡100では、例えば試料Sの発光量に応じて、試料Sと光ファイバー32の先端部との間の距離を適切な距離に調整することができる。具体的には、試料Sの発光量が少ない場合には、光ファイバー32の先端部と試料Sとの間の距離を小さくして光検出部36で検出される信号強度を増加させることができる。また、試料Sの発光量が多い場合には、信号強度とともにバックグラウンドノイズが増加してしまうため、試料Sと光ファイバー32の先端部との間の距離を大きくしてバックグラウンドノイズを低減しつつ適切な信号強度とすることができる。
また、電子顕微鏡100は、光ファイバー移動部34を含むため、試料Sから発生した光の検出を行う場合には、光ファイバー32の先端部を試料Sの近傍に配置し、試料Sから発生した光の検出を行わない場合には、光ファイバー32の先端部を試料Sの近傍から退避させることができる。これにより、電子線が光ファイバー32に照射されることによって光ファイバー32(およびボールレンズ31)がチャージアップし、TEM像に影響を与えることを防ぐことができる。また、試料Sに電子線が照射されることにより試料Sから発生するX線(特性X線等)による光ファイバー32(およびボールレンズ31)の劣化を低減できる。
電子顕微鏡100は、光ファイバー32の先端部に設けられたボールレンズ31を含む。そのため、電子顕微鏡100では、試料Sで発生した光を、光ファイバー32に効率よく取り込むことができる。
2. 第2実施形態
次に、第2実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図6および図7は、第2実施形態に係る電子顕微鏡200を模式的に示す図である。なお、図6では、電子顕微鏡200を構成する各部を簡略化して図示している。また、図7は、図6の領域VIIを図示している。また、図7では、試料ホルダー13の図示を省略している。
次に、第2実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図6および図7は、第2実施形態に係る電子顕微鏡200を模式的に示す図である。なお、図6では、電子顕微鏡200を構成する各部を簡略化して図示している。また、図7は、図6の領域VIIを図示している。また、図7では、試料ホルダー13の図示を省略している。
以下、第2実施形態に係る電子顕微鏡200において、第1実施形態に係る電子顕微鏡100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説
明を省略する。
明を省略する。
上述した電子顕微鏡100は、図1および図2に示すように、光検出ユニット30を含んで構成されていた。
これに対して、電子顕微鏡200は、図6および図7に示すように、光検出ユニット30を含まずに撮像ユニット40を含む点で、電子顕微鏡100と異なる。
撮像ユニット40は、図7に示すように、撮像部42と、画像表示部44と、を含んで構成されている。
撮像部42は、試料Sで反射されたレーザー光Lを検出して、レーザー光Lの照射領域の画像を取得する。これにより、レーザー光Lが試料Sのどの領域に照射されているのかをリアルタイムで確認することができる。撮像部42は、例えば、CCDカメラやCMOSカメラ等のデジタルカメラである。
撮像部42は、光軸41がポールピース14cの上極14c−1に設けられた貫通孔14d−2を通るように配置されている。すなわち、撮像部42は、貫通孔14d−2を通して試料Sのレーザー光Lの照射領域を撮影することができる。
画像表示部44は、撮像部42で撮影された画像を取得して、表示部に表示させる処理を行う。
また、画像表示部44は、撮像部42で撮影された画像を加工する処理を行ってもよい。例えば、撮像部42の取り付け位置によっては、電子顕微鏡200の光学系の光軸に沿った方向から見たレーザー光Lの照射領域と、撮像部42で撮影されたレーザー光Lの照射領域と、が異なる見え方をしてしまう場合がある。例えば電子顕微鏡200の光学系の光軸に沿った方向から見た場合のレーザー光Lの照射領域が円であっても、撮像部42で撮影されたレーザー光Lの照射領域は楕円状になってしまう場合がある。このような場合に、画像表示部44は、表示部72に表示される画像が、電子顕微鏡200の光学系の光軸に沿った方向から見た状態となるように、撮像部42で撮影された画像を補正してもよい。
図8は、チャンバー4を電子顕微鏡200の光学系の光軸に沿って見た模式図である。なお、図8では、チャンバー4、レーザーユニット20、および撮像ユニット40以外の部材の図示を省略している。
図8に示すように、レーザーユニット20および撮像ユニット40は、電子顕微鏡200の光学系の光軸を中心として、対称な位置に配置されている。
電子顕微鏡200では、電子源10で発生した電子線を照射レンズ系11によって試料Sに照射し、対物レンズ14、中間レンズ15、投影レンズ16によって試料Sを透過した電子で透過電子顕微鏡像(TEM像)を結像する。TEM像は、像取得部17によって取得される。
また、電子顕微鏡200では、レーザー光源22で発生したレーザー光Lを試料Sに照射し、撮像ユニット40によって試料Sで反射されたレーザー光Lを検出してレーザー光Lの照射領域の画像を取得することができる。これにより、レーザー光Lの照射領域を画像で確認することができる。
電子顕微鏡200では、TEM像の取得、レーザー光Lの照射、およびレーザー光Lの照射領域の画像の取得を同時に行うことができる。すなわち、電子顕微鏡200では、試料Sに電子線を照射して試料Sを観察しながら、レーザー光Lの照射領域の観察を行うことができる。
電子顕微鏡200は、例えば、以下の特徴を有する。
電子顕微鏡200は、レーザー光Lを発生させるレーザー光源22と、試料Sで反射されたレーザー光Lを検出して、レーザー光Lの照射領域の画像を取得する撮像部42と、を含む。そのため、電子顕微鏡200では、上述したように、試料Sに電子線を照射して試料Sを観察しながら、レーザー光Lの照射領域を画像で確認することができる。したがって、電子顕微鏡200では、レーザー光Lと試料Sとを相互作用させた状態において、TEM像による形態観察と同時に、レーザー光Lの照射領域の確認を行うことができる。
また、電子顕微鏡200では、レーザー光Lの照射領域の画像を取得することができるため、レーザー光Lが試料Sのどの領域に照射されているのかをリアルタイムで確認することができる。これにより、レーザー光Lを試料Sの所望の領域に照射するためのアライメントを容易に行うことができる。
3. 第3実施形態
次に、第3実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図9は、第3実施形態に係る電子顕微鏡300を模式的に示す図である。なお、図9では、電子顕微鏡300を構成する各部を簡略化して図示している。図10は、チャンバー4を電子顕微鏡200の光学系の光軸に沿って見た模式図である。なお、図10では、チャンバー4、レーザーユニット20、光検出ユニット30、および撮像ユニット40以外の部材の図示を省略している。
次に、第3実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図9は、第3実施形態に係る電子顕微鏡300を模式的に示す図である。なお、図9では、電子顕微鏡300を構成する各部を簡略化して図示している。図10は、チャンバー4を電子顕微鏡200の光学系の光軸に沿って見た模式図である。なお、図10では、チャンバー4、レーザーユニット20、光検出ユニット30、および撮像ユニット40以外の部材の図示を省略している。
以下、第3実施形態に係る電子顕微鏡300において、第1実施形態に係る電子顕微鏡100および第2実施形態に係る電子顕微鏡200の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
上述した電子顕微鏡100は、図1および図2に示すように、光検出ユニット30を含んで構成されていた。また、上述した電子顕微鏡200では、図6および図7に示すように、撮像ユニット40を含んで構成されていた。
これに対して、電子顕微鏡300は、図9および図10に示すように、光検出ユニット30および撮像ユニット40の両方を含んで構成されている。
図10に示すように、レーザーユニット20、光検出ユニット30、および撮像ユニット40は、電子顕微鏡300の光学系の光軸を中心として対称な位置に配置されている。すなわち、レーザーユニット20、光検出ユニット30、および撮像ユニット40は、光軸まわりに120度おきに配置されている。このとき、図示はしないが、対物レンズ14のポールピース14cの上極14c−1には、レーザー光Lが通過する貫通孔、光ファイバー32を通す貫通孔、および試料Sのレーザー光Lの照射領域を撮影するための貫通孔が設けられていてもよい。
電子顕微鏡300では、電子源10で発生した電子線を照射レンズ系11によって試料Sに照射し、対物レンズ14、中間レンズ15、投影レンズ16によって試料Sを透過した電子で透過電子顕微鏡像(TEM像)を結像する。TEM像は、像取得部17によって取得される。
また、電子顕微鏡300では、レーザー光源22で発生したレーザー光Lを試料Sに照射して、レーザー光Lが試料Sに照射されることにより試料Sから発生する光を、光検出部36で検出する。これにより、試料Sから発生した光のスペクトルや強度の情報を得ることができる。
また、電子顕微鏡300では、レーザー光源22で発生したレーザー光Lを試料Sに照射し、撮像部42によって試料Sで反射されたレーザー光Lを検出して、レーザー光Lの照射領域の画像を取得することができる。これにより、レーザー光Lの照射領域を画像で確認することができる。
電子顕微鏡300では、TEM像の取得、レーザー光Lの照射、レーザー光Lの照射により試料Sから発生する光の検出、およびレーザー光Lの照射領域の画像の取得を同時に行うことができる。すなわち、電子顕微鏡300では、試料Sに電子線を照射して試料Sを観察しながら、レーザー光Lを試料Sに照射して試料Sから発生する光の検出、およびレーザー光Lの照射領域の観察を行うことができる。
なお、図11に示すように、電子顕微鏡300は、レーザーユニット20、光検出ユニット30、および撮像ユニット40に加えて、さらに、試料SにイオンビームIを照射するためのイオンビーム源50を含んで構成されていてもよい。図11に示すように、レーザーユニット20、光検出ユニット30、撮像ユニット40、およびイオンビーム源50は、電子顕微鏡300の光学系の光軸を中心として対称な位置に配置されてもよい。
このような電子顕微鏡300では、TEM像の取得、レーザー光LおよびイオンビームIの照射、試料Sから発生する光の検出、およびレーザー光Lの照射領域の画像の取得を同時に行うことができる。
4. 第4実施形態
次に、第4実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図12は、第4実施形態に係る電子顕微鏡400を模式的に示す図である。なお、図12では、電子顕微鏡400を構成する各部を簡略化して図示している。
次に、第4実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図12は、第4実施形態に係る電子顕微鏡400を模式的に示す図である。なお、図12では、電子顕微鏡400を構成する各部を簡略化して図示している。
以下、第4実施形態に係る電子顕微鏡400において、第3実施形態に係る電子顕微鏡300の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
上述した電子顕微鏡300は、図9および図10に示すように、レーザーユニット20、光検出ユニット30、および撮像ユニット40を含んで構成されていた。
これに対して、電子顕微鏡400では、図12に示すように、処理部60と、操作部70と、表示部72と、記憶部74と、をさらに含む点で、電子顕微鏡300と異なる。
電子顕微鏡400では、表示部72にレーザー光Lの強度分布図を表示させることができ、操作部70を介して指定されたレーザー光Lの強度分布図上の位置に対応する試料ステージ12の座標を表示部72に表示させることができる。
操作部70は、ユーザーによる操作に応じた操作信号を取得し、処理部60に送る処理を行う。操作部70は、表示部72に表示されたレーザー光Lの強度分布図上の位置を指定するために用いられる。操作部70の機能は、例えば、ボタン、キー、タッチパネル型ディスプレイ、マイクなどにより実現できる。
表示部72は、処理部60によって生成された画像を表示するものであり、その機能は、LCD、CRTなどにより実現できる。表示部72には、レーザー光Lの強度分布図や、レーザー光Lの強度分布図上の位置に対応する試料ステージ12の座標などが表示される。
記憶部74は、処理部60が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。また、記憶部74は、処理部60の作業領域として用いられ、処理部60が各種プログラムに従って実行した算出結果等を一時的に記憶するためにも使用される。記憶部74の機能は、ハードディスク、RAMなどにより実現できる。記憶部74には、試料ステージ12の座標ごとのレーザー光Lの強度情報が記憶されている。
処理部60は、レーザー光Lの強度分布図を表示部72に表示させる制御や、指定されたレーザー光Lの強度分布図上の位置に対応する試料ステージ12の座標を表示部72に表示させる制御などの処理を行う。処理部60の機能は、各種プロセッサ(CPU、DSP等)などのハードウェアや、プログラムにより実現できる。処理部60は、表示制御部62を含む。
表示制御部62は、記憶部74に記憶されている試料ステージ12の座標ごとのレーザー光Lの強度情報に基づいて、レーザー光Lの強度分布図を表示部72に表示させる制御を行う。ここで、試料ステージ12の座標は、例えば、電子顕微鏡400の光学系の光軸と直交する平面内(水平方向)における2次元的な位置を表す。
図13は、レーザー光Lの強度分布図の一例を模式的に示す図である。図13に示すレーザー光Lの強度分布図では、同じ光強度が同じである点を結んだ等値線によって光強度の分布を表している。図14は、図13に示すレーザー光Lの強度分布図上のラインAにおける強度を示すグラフである。図14に示すグラフでは、横軸はラインA上の試料ステージ12の座標を表し、縦軸はレーザー光Lの強度を表している。
表示制御部62は、記憶部74に記憶されている試料ステージ12の座標ごとのレーザー光Lの強度情報を読み出して、図13に示すレーザー光Lの強度分布図を生成し、表示部72に表示させる制御を行う。また、表示制御部62は、操作部70を介してラインAが指定された場合に、図14に示すグラフを生成し、表示部72に表示させる制御を行う。
また、表示制御部62は、操作部70を介して指定されたレーザー光Lの強度分布図上の位置に対応する試料ステージ12の座標を表示部72に表示させる制御を行う。
図15は、指定されたレーザー光Lの強度分布図上の位置に対応する試料ステージ12の座標が表示部72に表示された状態を模式的に示す図である。
図15に示すように、ユーザーが操作部70を操作してポインターPでレーザー光Lの強度分布図上の位置を指定すると、表示制御部62は、操作部70からの操作信号に基づいて、ポインターPで指定された位置に対応する試料ステージ12の座標をウィンドウWに表示させる制御を行う。ウィンドウWには、図15に示すように、ポインターPで指定された位置に対応する試料ステージ12の座標と、その座標におけるレーザー光Lの強度と、が表示される。
次に、試料ステージ12の座標ごとのレーザー光Lの強度の測定方法について説明する。
まず、試料ホルダー13の先端部にフォトセンサーを組み込む。そして、フォトセンサーが組み込まれた試料ホルダー13を電子顕微鏡400に導入する。これにより、フォトセンサーが試料室2に配置される。
次に、レーザーユニット20(レーザー光源22)でレーザー光Lを発生させて、試料Sにレーザー光Lを照射する。そして、フォトセンサーでレーザー光Lの強度を計測しながら、試料ステージ12で試料ホルダー13を移動させて、試料ステージ12の各座標でのレーザー光Lの強度を測定する。例えば、電子顕微鏡400において、観察可能な視野が、一辺が2mmの正方形の領域であった場合、0.1mm間隔でレーザー光Lの強度を測定する。
このようにして、試料ステージ12の座標ごとのレーザー光Lの強度を測定することができる。測定された試料ステージ12の座標ごとのレーザー光Lの強度は、記憶部74に記憶される。
なお、表示制御部62は、測定された試料ステージ12の座標ごとのレーザー光Lの強度から強度分布図を生成する際において、上記測定でレーザー光Lの強度情報が得られていない試料ステージ12の座標については、直線近似、または多項式近似等による近似値を用いてもよい。
電子顕微鏡400は、例えば、以下の特徴を有する。
電子顕微鏡400は、試料ステージ12の座標ごとのレーザー光Lの強度情報が記憶されている記憶部74を含む。そのため、電子顕微鏡400では、試料ステージ12の各座標におけるレーザー光Lの強度を知ることができる。したがって、電子顕微鏡400では、観察している領域のレーザー光Lの強度の情報を得ることができる。
電子顕微鏡400は、記憶部74に記憶されているレーザー光Lの強度情報に基づいて、レーザー光Lの強度分布図を表示部72に表示させる制御を行う表示制御部62を含む。そのため、電子顕微鏡400では、レーザー光Lの強度分布を容易に把握することができる。
電子顕微鏡400は、レーザー光Lの強度分布図上の位置を指定するための操作部70を含み、表示制御部62は、操作部70を介して指定されたレーザー光Lの強度分布図上の位置に対応する試料ステージ12の座標を表示部72に表示させる制御を行う。そのため、電子顕微鏡400では、例えば、表示部72に表示されたレーザー光Lの強度分布図からレーザー光Lが所望の強度で照射されている領域を指定して、当該領域に対応する試料ステージ12の座標を表示部72に表示させることができる。そして、表示部72に表示された試料ステージ12の座標に試料Sの所望の領域を移動させることにより、試料Sの所望の領域に、所望の強度のレーザー光Lを照射することができる。
なお、上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した
構成を含む。
構成を含む。
2…試料室、4…チャンバー、10…電子源、11…照射レンズ系、12…試料ステージ、13…試料ホルダー、14…対物レンズ、14a…コイル、14b…ヨーク、14c…ポールピース、14c−1…上極、14c−2…下極、14d−1…貫通孔、14d−2…貫通孔、15…中間レンズ、16…投影レンズ、17…像取得部、20…レーザーユニット、22…レーザー光源、24…レーザー光学系、26…制御部、30…光検出ユニット、31…ボールレンズ、32…光ファイバー、34…光ファイバー移動部、35…制御部、36…光検出部、36a…信号変換装置、36b…AD変換器、36c…計測装置、40…撮像ユニット、41…光軸、42…撮像部、44…画像表示部、50…イオンビーム源、60…処理部、62…表示制御部、70…操作部、72…表示部、74…記憶部、100…電子顕微鏡、200…電子顕微鏡、300…電子顕微鏡、400…電子顕微鏡
Claims (9)
- 試料に電子線を照射して、試料の観察を行う電子顕微鏡であって、
レーザー光を発生させるレーザー光源と、
前記レーザー光が前記試料に照射されることにより前記試料から発生する光を検出する光検出部と、
を含む、電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記試料で反射された前記レーザー光を検出して、前記レーザー光の照射領域の画像を取得する撮像部を含む、電子顕微鏡。 - 請求項1または2において、
前記試料から発生する光を、前記光検出部に送る光ファイバーを含む、電子顕微鏡。 - 請求項3において、
前記試料と、前記試料から発生する光を取り込む前記光ファイバーの先端部と、の間の距離が変化するように、前記光ファイバーを移動させる光ファイバー移動部を含む、電子顕微鏡。 - 請求項3または4において、
前記光ファイバーの先端部に設けられたボールレンズを含む、電子顕微鏡。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記試料を移動可能に保持する試料ステージと、
前記試料ステージの座標ごとの前記レーザー光の強度情報が記憶されている記憶部と、を含む、電子顕微鏡。 - 請求項6において、
前記記憶部に記憶されている前記レーザー光の強度情報に基づいて、前記レーザー光の強度分布図を表示部に表示させる制御を行う表示制御部を含む、電子顕微鏡。 - 請求項7において、
前記レーザー光の強度分布図上の位置を指定するための操作部を含み、
前記表示制御部は、前記操作部を介して指定された前記レーザー光の強度分布図上の位置に対応する前記試料ステージの座標を前記表示部に表示させる制御を行う、電子顕微鏡。 - 試料に電子線を照射して、試料の観察を行う電子顕微鏡であって、
レーザー光を発生させるレーザー光源と、
前記試料で反射された光を検出して、前記レーザー光の照射領域の画像を取得する撮像部と、
を含む、電子顕微鏡。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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