JP2017157366A - 静電気検出機能を備えた静電気除去装置及び静電気の検出を含む静電気除去方法 - Google Patents

Abstract

【課題】静電気除去に必要な電荷量及び気流量で静電気イオンを物品に吹き付けて静電気を除去し、静電気除去後に自動的に停止する静電気検出機能を備えた静電気除去装置及び静電気の検出を含む静電気除去方法を提供すること。【解決手段】静電気センサーにより検出された物品の静電気値に応じて、回路コントローラがイオン発生回路を制御してイオン放電プローブに検出された静電気値と反対極性のイオンのみを発生させると共に、気流制御回路を制御して気流発生器に適正な強さの気流を発生させて反対極性のイオンを物品に吹送し、物品の静電気を除去し、静電気センサーにより静電気値が検出されないとき、回路コントローラがイオン発生回路及び気流発生器を制御して動作を停止させる。【選択図】図２

Description

本発明は、静電気検出機能を備えた静電気除去装置及び静電気の検出を含む静電気除去方法に関する。

一般に、半導体製品の試験プロセスは、チップをパッケージした後、パッケージ後のチップの電気通信機能と外観をテストするのであるが、半導体製品試験の流れには、材料の準備、テスターの試験、電気試験、ラベルスキャン、手動または自動のピン検査、ピンテストと湾曲修正、包装等の作業フローが含まれる。
そのうち、テスター試験中のハンドラ（ｈａｎｄｌｅｒ）は、主に、試験対象の半導体製品がプロセス中に破壊されていないか、または静電気破壊が起こっていないかを判断するものである。所謂静電気とは、物体に接触または分離するときに負電荷イオンの移動によって物体に正電荷または負電荷が偏在することを指し、体積が小さい半導体製品は静電気放電（ＥｌｅｃｔｒｏＳｔａｔｉｃ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ、ＥＳＤ）によって破壊されてしまうため、静電気に対する保護は半導体産業が克服しなければならない課題の１つである。

図１に、特許文献１に開示されたワークの除電に用いる除電器１を示す。
この除電器１は、細長い外形輪郭のケース１ａの底面に、８つの主放電電極ユニット２と、４つの追加の放電電極ユニット３とが長手方向に離間して複数設けられている。４つの追加の放電電極ユニット３はユーザの選択により脱着されるものであり、この追加の放電電極ユニット３の構造は主放電電極ユニット２の基本構造と概略同じである。
除電器１はパルス幅変調（ＰＷＭ、Ｐｕｌｓｅ Ｗｉｄｔｈ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）方式で主放電電極ユニット２と追加の放電電極ユニット３を駆動して正イオン、負イオンの放電を行い、ワーク上の静電気電荷を除去する。

しかしながら、上記従来の除電器は、実際の使用上次のような欠点がある。
一．エネルギーの浪費：静電気除去方法はいずれも正イオン、負イオンを継続的に放出し続けており、検査対象のワークが存在するか否かにかかわらず、除電器が高圧で放電電極を駆動してイオンを発生させ続けており、ワーク上ですでに静電気の平衡が達成されていても、除電器は同じ量の正イオン、負イオンを放出するため、エネルギーの浪費を招いている。
二．静電気除去が不均一：従来の除電器は、離間して放電プローブ箇所に吹気孔が設置されており、放電プローブの尖った先端に異物が堆積して破壊を引き起こすことを回避できるが、離間して設置された吹気孔によってイオンの散布が不均一になる状況を生じ、主放電電極の中に追加の放電電極を設置してもイオンの散布状況を確実に変えることはできない。
三．使用寿命が短い：除電器は電子回路により高圧を発生し、放電プローブ箇所でイオンを発生するが、回路と放電プローブはいずれも寿命に制限があり、静電気の平衡が検出されても継続してイオンを発生すると、使用寿命が短くなる。

したがって、製品の信頼性を高め、静電気破壊により引き起こされるダメージを回避するために、従来の試験プロセス中で静電気を除去する方法及び装置には、まだ改善の必要がある。

台湾特許第Ｉ４３５６５９号明細書

本発明が解決しようとする課題は、静電気除去に必要な電荷量及び気流量で静電気イオンを物品に吹き付けて静電気を除去し、静電気除去後に自動的に停止する静電気検出機能を備えた静電気除去装置及び静電気の検出を含む静電気除去方法を提供することにある。

本発明は、物品の静電気電荷の除去に適用する静電気検出機能を備えた静電気除去装置に関し、イオン伝送ユニットと、イオン発生ユニットと、静電気センサーユニットを含み、前記イオン伝送ユニットが、ハウジングと、前記ハウジング中に設置された気流発生器と、前記気流発生器に電気的に接続された気流制御回路を含み、前記イオン発生ユニットが、前記気流制御回路に電気的に接続された回路コントローラと、前記回路コントローラに電気的に接続されたイオン発生回路と、前記ハウジング上に設置され、かつ前記イオン発生回路に電気的に接続された少なくとも１つのイオン放電プローブを含み、前記静電気センサーユニットが、前記回路コントローラに電気的に接続された静電気センサーを含み、前記静電気センサーが前記物品上の静電気値を検出して前記回路コントローラにフィードバックし、前記静電気センサーにより検出された前記物品上の静電気値が負の値のとき、前記回路コントローラが前記イオン発生回路を制御して、前記イオン放電プローブに静電気除去に必要な電荷量の正イオンのみを発生させると共に、前記気流制御回路を制御して前記気流発生器に、前記物品までの設定された距離に応じた強さの気流を発生させて正イオンを前記物品に吹送し、前記静電気センサーにより検出された前記物品上の静電気値が正の値のとき、前記回路コントローラが前記イオン発生回路を制御して、前記イオン放電プローブに静電気除去に必要な電荷量の負イオンのみを発生させると共に、前記気流制御回路を制御して前記気流発生器に、前記物品までの設定された距離に応じた強さの気流を発生させて負イオンを前記物品に吹送し、前記物品上の静電気を除去し、前記静電気センサーにより静電気値が検出されないとき、前記回路コントローラが前記イオン発生回路及び前記気流発生器を制御して動作を停止させる。

ヒューマンマシンユニットを含み、前記ヒューマンマシンユニットが、前記回路コントローラに電気的に接続され、前記静電気除去装置の情報を表示するディスプレイと、前記回路コントローラに電気的に接続され、外部からの設定操作が可能な操作パネルと、前記回路コントローラに電気的に接続され、警報を発生する警報器と、前記回路コントローラに電気的に接続され、機械停止情報を発生する制御出力ポートと、前記回路コントローラに電気的に接続され、前記物品の静電気除去に関する情報を保存するデータストレージを含むことがある。

本発明の静電気の検出を含む静電気除去方法は、上記した静電気検出機能を備えた静電気除去装置を用い、上記センサーで静電気除去エリアの静電気を検出し、検出された情報を回路コントローラに伝送する第１検出工程と、物品を前記静電気除去エリアまで運搬する第１運搬工程と、前記回路コントローラが前記物品の静電気情報を得て、検出された静電気値及び物品までの設定された距離に基づいて静電気除去に必要な電荷量と気流量を計算する静電気演算工程と、前記回路コントローラがイオン発生回路を制御してイオン放電プローブ上で前記電荷量の静電気イオンを発生し、前記イオン放電プローブが発生する静電気イオンの電気的極性が、前記物品の静電気と相反するとともに、気流制御回路を制御して気流発生器に前記気流量の空気気流を発生させ、前記イオン放電プローブが発生した静電気イオンを前記物品に吹送し、静電気を除去する静電気除去工程と、前記回路コントローラが前記イオン発生回路及び前記気流発生器の動作を停止させる静電気除去停止工程と、静電気除去が完了した物品を前記静電気除去エリアから搬出する第２運搬工程とを含む。

前記停止静電気除去工程と前記第２運搬工程の間に、前記静電気センサーが前記静電気除去エリアの静電気を継続して検出し、前記物品の静電気情報を前記回路コントローラに伝送する第２検出工程を含むことを特徴とする、請求項３に記載の静電気の検出を含むとよい。
この場合、前記第２検出工程と前記第２運搬工程の間に、前記回路コントローラにより前記物品の静電気値が設定値より大きいと判断されると、警報器により対外的に警報を発し、かつ制御出力ポートにより対外的に機械停止情報を発する静電気警報工程を含んでもよい。

本発明によれば、予め物品の電荷量を検出してから、静電気除去に必要な電荷量及び気流量を計算し、その値に基づいてイオン放電プローブが発生する静電気イオンを物品に吹送して、静電気値を中和すると共に、物品の静電気が除去された後、回路コントローラがイオン発生回路及び気流制御回路を制御して動作を停止させるので、静電気除去装置のエネルギー消費を減少することができる。

従来の除電器を示す概略図である。 本発明の実施例を示す静電気除去装置のブロック図である。 本発明の実施例に係るイオン伝送ユニットの概略図である。 本発明の実施例を示す静電気除去装置の負の静電気除去時における概略図である。 本発明の実施例を示す静電気除去装置の正の静電気除去時における概略図である。 本発明の実施例を示す静電気除去方法の流れ図である。

以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図２に示すように、実施例１の静電気検出機能を備えた静電気除去装置は、物品Ａの静電気電荷の除去に適用され、イオン伝送ユニット３、イオン発生ユニット４、静電気センサーユニット５を含む。

図３に示すように、イオン伝送ユニット３は、ハウジング３１と、ハウジング３１中に設置された気流発生器３２と、気流発生器３２に電気的に接続された気流制御回路３３を含む。
気流発生器３２は、ハウジング３１中に設置されたファン設備であり、気流制御回路３３が直流インバータ制御回路であり、ファン設備の回転速度と運転するか否かを制御できる。ファンのインバータ制御技術はすでに業界の周知の技術であるため、ここでは詳細な説明を省略する。

イオン発生ユニット４は、気流制御回路３３に電気的に接続された回路コントローラ４１と、回路コントローラ４１に電気的に接続されたイオン発生回路４２と、ハウジング３１上に設置され、かつイオン発生回路４２に電気的に接続された少なくとも１つのイオン放電プローブ４３を含み、実施例１においては４本のイオン放電プローブ４３が使用される。

イオン発生ユニット４は、気流制御回路３３に電気的に接続された回路コントローラ４１と、回路コントローラ４１に電気的に接続されたイオン発生回路４２と、ハウジング３１上に設置され、かつイオン発生回路４２に電気的に接続された少なくとも１つのイオン放電プローブ４３を含み、実施例１においては４本のイオン放電プローブ４３が使用される。

従来使用されている除電器は放電電極ユニットが正イオンと負イオンを交互に発生し、パルス幅変調（ＰＷＭ、Ｐｕｌｓｅ Ｗｉｄｔｈ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）方式を使用して正イオン、負イオンの発生量を調整している。
一方で本発明のイオン発生回路４２は複数のイオン放電プローブ４３を駆動して正イオン及び負イオンのいずれか一方のみを発生させており、正イオン及び負イオンを交互に発生させていない。イオン発生回路４２は正イオン発生区域と、負イオン発生区域を備え、回路コントローラ４１が正イオン発生区域または負イオン発生区域を制御して複数のイオン放電プローブ４３を駆動し、正イオン電荷または負イオン電荷を放出させる。

静電気センサーユニット５は、回路コントローラ４１に電気的に接続された静電気センサー５１を含み、静電気センサー５１が物品Ａの静電気値を検出して回路コントローラ４１にフィードバックする。
従来のアナログ信号は外部環境の干渉を受けやすいが、静電気センサー５１はデジタル静電気センサー５１を使用し、検出した静電気電荷をデジタル検出情報に変換して回路コントローラ４１に送信し、外部環境の干渉を回避する。また、回路コントローラ４１はデジタル制御信号を使用してイオン発生回路４２を制御し、外部環境の干渉を回避する。実際の実施時は、その他の種類の静電気センサー５１、またはアナログ信号で制御される静電気センサーチップを使用することもできるが、これらに限らない。

図４に示すように、静電気センサー５１が検出した物品Ａ上の静電気値が負の値であるとき、回路コントローラ４１がイオン発生回路４２（図３参照）を制御して、複数のイオン放電プローブ４３に正イオンのみを発生させ、さらに気流制御回路３３（図３参照）を制御して、気流発生器３２に適切な気流を発生させ、正イオンを物品Ａに吹送する。すると、物品Ａ上の負極性の静電気電荷と静電気除去装置が発生する正極性のイオン電荷に電荷中和反応が発生し、物品Ａの静電気が除去される。

図５に示すように、静電気センサー５１が検出した物品Ａ上の静電気値が正の値であるとき、回路コントローラ４１がイオン発生回路４２（図３参照）を制御して、複数のイオン放電プローブ４３に負イオンのみを発生させ、さらに気流制御回路３３（図３参照）を制御して、気流発生器３２に適切な気流を発生させ、負イオンを前記物品Ａに吹送する。すると、物品Ａ上の正極性の静電気電荷と静電気除去装置が発生する負極性のイオン電荷に電荷中和反応が発生し、物品Ａの静電気が除去される。

従来は正イオンと負イオンを交互に発生する技術（ＰＷＭ）を用いて物品Ａの静電気除去を行っており、正の静電気値が検出されたときもやはり物品Ａに対して正イオンを発生し、一方で負の静電気値が検出されたときも物品Ａに対して負イオンを発生しており、正イオン電荷が正の静電気電荷に遭遇する、または負イオン電荷が負の静電気電荷に遭遇すると、静電気除去の時間が長くなるだけでなく、物品Ａの静電気電荷も増加してしまう。

これに対して、本発明では、静電気センサー５１が検出した静電気値を基準として反対の極性のイオンのみを発生するもので、正極性の静電気値が検出されたときは、イオン発生ユニット４が負イオン電荷を発生し、負極性の静電気値が検出されたときは、イオン発生ユニット４が正イオン電荷を発生して、静電気中和反応を単純に実行しており、従来の静電気除去の速度より速い。
静電気センサー５１が静電気を検出しない（静電気値がゼロの）ときは、物品Ａからすでに静電気が除去された、または静電気センサー５１が検出した区域に物品Ａが置かれていないことを表し、回路コントローラ４１がイオン発生回路４２及び気流発生器３２を制御して動作を停止させ、静電気除去装置のエネルギー消費を抑える。

このほか、図１に示す従来の除電器と同様に、本発明の静電気検出機能を備えた静電気除去装置は、さらに、回路コントローラ４１に電気的に接続されたディスプレイ６１、回路コントローラ４１に電気的に接続された操作パネル６２、回路コントローラ４１に電気的に接続された警報器６３、回路コントローラ４１に電気的に接続された制御出力ポート６４、回路コントローラ４１に電気的に接続されたデータストレージ６５を含むヒューマンマシンユニット６を含む。

ディスプレイ６１は静電気除去装置の関連情報、または物品Ａの関連情報を表示することができる。たとえば、ディスプレイ６１は静電気除去装置の動作時間、気流発生器３３が発生した気流量等の装置に関する情報、または物品Ａが元々どのくらいの静電気を有しているか、どのくらいの時間とどのくらいのイオン電荷で物品Ａの静電気を除去するか、静電気除去後の物品Ａの静電気値、静電気除去装置の使用時間等のさまざまな情報を表示することができる。

操作パネル６２は外部から操作・設定することができ、通常は静電気除去装置の保守または較正時に、技術者が微調整を行い、物品Ａの除去する静電気値の精度を高めたり、物品Ａの静電気許容値を設定したりすることができる。この静電気許容値とは物品Ａの静電気除去後に許される最大静電気値である。
好ましくは、ディスプレイ６１及び操作パネル６２はタッチパネル（ｔｏｕｃｈ ｐａｎｅｌ）に統合し、回路コントローラ４１の情報を直接取得するとともに、回路コントローラ４１に対して設定を行うことができる。

静電気除去装置が物品Ａの静電気電荷を除去した後、静電気センサー５１が検出する静電気値が上述の静電気許容値より大きいとき、物品Ａの静電気電荷が確実に除去されていないことを表し、警報器６３が対外的に警報を発するとともに、制御出力ポート６４が対外的に機械停止情報を発する。
警報器６３は音、光の方式を使用して対外的に警報を発するか、或いは情報伝送の方式で遠方の技術者に通知して、現場に速やかに到達し、検査と保守を行うようにすることができる。
制御出力ポート６４は機械停止情報で物品Ａを運搬する運搬設備に動作を停止するように通知し、静電気を持つ物品Ａが次のプロセスに進むことがないようにして、製品が静電気による損失を受けないようにすることができる。

データストレージ６５は物品Ａの静電気除去に関連する情報を保存する。本発明の静電気検出機能を備えた静電気除去装置は通常自動化された生産設備に使用され、複数の物品Ａを大量に検査し、かつ静電気除去の作業を行い、データストレージ６５に各物品Ａの静電気に関連する情報を保存して、技術者が後でデータ閲覧と照合を行い、保守の参考にすることができる。
このほか、データストレージ６５に保存されたデータは下流のプロセスメーカーに提供する物品Ａの製造履歴でもあり、部品の製造プロセスの状況を理解できるようにすることで、製品の製作工程に対する管理をより確実にすることができる。
好ましくは、データストレージ６５はコンピュータを利用して保存し、実際の実施時は、ネットワークを利用してリモートのデータベースに保存することもできるが、これに限らない。

図６に示すように、本発明の静電気の検出を含む静電気除去方法は、次の工程を含む。
まず第１検出工程９０１を行い、静電気センサー５１で静電気除去エリアＢの静電気を検出し、検出された情報を回路コントローラ４１に伝送する（図４及び図５参照）。
静電気測定値は測定距離が大きくなると急激に減少するため、静電気センサー５１の静電気測定距離も考慮しなければ正確な静電気の検出情報を得ることはできない。なお、静電気センサー５１と物品Ａの距離はヒューマンマシンユニット６の操作パネル６２（図２参照）を使用して設定することができる。

続いて第１運搬工程９０２を行い、物品Ａを静電気除去エリアＢまで運搬する。
物品Ａはコンベアベルトを使用して運搬され、静電気除去エリアＢはコンベアベルトによる搬送経路中の一区間である。好ましくは、コンベアベルトの材質は静電気を発生しにくい材質を使用し、静電気の発生を回避する。
実際の実施時は、物品Ａの運搬作業にその他の運搬技術を使用することができ、これに限らない。

その後静電気演算工程９０３を行い、回路コントローラ４１が物品Ａの静電気情報を得て、静電気除去に必要な電荷量と気流量を計算する。
通常、物品Ａの静電気値を除去するには等量かつ相反する極性の電荷で中和する必要があり、それにより元々物品Ａに存在する静電気の電荷を除去する。このほか、極性電荷を持つイオンは伝送過程においても、この伝送距離に伴って空気中のイオンと中和反応を行い、極性電荷を持つイオンが伝送距離によって急激に減少する。
従って、回路コントローラ４１は、物品Ａまでの予め設定された距離に応じて正確な電荷量と、正確な気流量を計算し、反対の極性電荷を持つイオンを物品Ａに送る。静電気センサー５１が静電気値を測定すると、物品Ａが静電気除去エリアＢに進入したことを示し、イオン発生ユニット４の回路コントローラ４１が測定された静電気値及び設定された距離に基づいて正確な電荷量及び気流量を計算する。

続いて、静電気除去工程９０４を行い、回路コントローラ４１がイオン発生回路４２を制御して複数のイオン放電プローブ４３で静電気イオンを発生する。複数のイオン放電プローブ４３が発生する静電気イオンの電気的極性は物品Ａの静電気と相反し、かつ気流制御回路３３（図３参照）を制御して気流発生器３２により空気気流を発生させ、複数のイオン放電プローブ４３が発生した静電気イオンを物品Ａに吹送し、静電気を除去する。
物品Ａに到達するイオン電荷量は、気流発生器３２の運転吹送時間に伴って累積され、回路コントローラ４１はイオン放電プローブ４３の瞬間的イオン発生量に基づき、さらにイオン吹送の変数を考慮して、気流発生器３２の運転時間を制御することで、物品Ａに到達するイオン量を正確に制御し、物品Ａの静電気除去作業を行う必要がある。

静電気センサー５１は静電気除去エリアＢの物品Ａの静電気を継続的に検出するため、回路コントローラ４１はＰＩＤ制御回路（比例-積分-微分コントローラ）でイオン発生回路４２及び気流制御回路３３の制御を行うことが好ましい。ＰＩＤコントローラは工業制御アプリケーションでよく見受けられるフィードバックループ部材であり、発明の属する技術分野において通常の知識を有する者の知るところであるため、ここでは詳細な説明を省略する。実際の実施時は、その他の制御回路を利用してもよく、これに限らない。

その後静電気除去停止工程９０５を行い、物品Ａの静電気除去作業が完了した後、回路コントローラ４１がイオン発生回路４２（図３参照）と気流発生器３２の動作を停止させ、静電気除去装置のエネルギー消費を減少させる。
従来の除電器はパルス幅変調技術（ＰＷＭ）で正イオンと負イオンを交互に発生し、かつ物品Ａの静電気除去作業がすでに完了した後、または静電気除去エリアＢで静電気値が検出されないときも、除電器はやはり空気気流を継続して発生し、正イオンと負イオンを静電気除去エリアＢに吹送するため、エネルギーの浪費を招いている。
一方、本発明の静電気除去装置は物品Ａの静電気を除去した後、回路コントローラ４１がイオン発生回路４２及び気流発生器３２の動作を停止させるため、電力消費を減少できるだけでなく、電子設備には合計使用時間数があるが、不必要な動作を減少することで装置の使用寿命を延長することもできる。

続いて第２検出工程９０６を行い、静電気センサー５１で静電気除去エリアＢの静電気を継続して検出し、物品Ａの静電気情報を回路コントローラ４１に伝送する。第２検出工程９０６では物品Ａの静電気が除去されているかを確認し、イオン発生回路４２及び気流発生器３２の動作停止後に静電気が残留するのを回避する。

その後静電気警報工程９０７を行い、回路コントローラ４１により物品Ａの静電気値が設定値より大きいと判断されると、警報器６３（図２参照）が対外的に警報を発し、制御出力ポート６４（図２参照）を介して対外的に機械停止情報を発する。
静電気除去装置の主な目的は、物品Ａの静電気値を除去して、静電気センサーユニット５の静電気センサー５１が検出する静電気値がゼロ（電荷平衡）になるようにすることであるが、外部環境の電荷の物品Ａに対する影響を完全に回避することはできないため、技術者は操作パネル６２を利用して回路コントローラ４１に物品Ａの静電気許容値を設定することができる。

物品Ａの静電気値が設定された静電気許容値より小さいとき、物品Ａは静電気除去に合格した製品であることを示す。物品Ａの静電気値が設定された静電気許容値より大きいとき、静電気除去装置または物品Ａに問題が発生したことを示し、回路コントローラ４１が警報器６３を制御して対外的に警報を発し、技術者に現場で保守と検査を行うように通知することができる。かつ制御出力ポート６４により生産ライン全体に対して機械停止情報を発し、生産プロセスを停止させ、静電気を持つ物品Ａが次のプロセスへと進んでしまい、製品の品質に影響することを回避する。

続いて第２運搬工程９０８を行い、静電気除去が完了した物品Ａを静電気除去エリアＢから搬出する。現在の電子回路の実行速度は比較的高速であるため、物品Ａの静電気値測定と物品Ａの静電気値除去にかかる時間は非常に短く、このため、コンベアベルトの速度を調整すれば、物品Ａに静電気除去エリアＢで静電気除去の作業を完了させることができ、物品Ａの連続投入と出力で自動化した生産設備に有利にすることができる。実際の実施時は、物品Ａを静電気除去エリアＢで停止させ、静電気除去を完了した後、再び静電気除去エリアＢから移動させてもよく、これに限らない。

最後にデータ保存工程９０９を行い、回路コントローラ４１が物品Ａの静電気に関する情報をデータストレージ６５（図２参照）に保存する。回路コントローラ４１は物品Ａの静電気除去前と静電気除去後の履歴データをデータストレージ６５中に記録し、下流のプロセスまたはメーカーの参考に供する。かつ本発明の静電気除去装置に故障が発生したとき、技術者は物品Ａについて保存された生産履歴を参考にして問題を判断することもできる。

以上の説明からわかるように、本発明の静電気検出機能を備えた静電気除去装置には次のような利点が確実に存在する。
一．平衡速度が速い：本発明は静電気センサー５１が検出した静電気値を基準として反対の極性のイオンのみを発生するもので、正極性の静電気電荷が検出されたときは、イオン発生ユニット４が負イオン電荷を発生し、負極性の静電気電荷が検出されたときは、イオン発生ユニット４が正イオン電荷を発生して、単純に物品Ａ上で静電気中和反応を実行し、イオン平衡を加速して静電気除去速度をより速くすることができる。
二．省エネ使用：静電気センサー５１が静電気値を検出しないときは、物品Ａからすでに静電気が除去された、または静電気センサー５１が検出した区域に物品Ａが置かれていないことを表し、回路コントローラ４１がイオン発生回路４２及び気流発生器３２を制御して動作を停止させ、静電気除去装置のエネルギー消費を節約できる。
三．使用寿命が長い：本発明の静電気除去装置は物品Ａの静電気を除去した後、回路コントローラ４１がイオン発生回路４２及び気流発生器３２の動作を停止させるため、電力消費を減少できるだけでなく、電子設備には合計使用時間数があるが、不必要な動作を減少することで装置の使用寿命が延長される。

上述をまとめると、回路コントローラ４１は静電気センサー５１が検出した静電気値を基準として利用し、相反する極性のイオンを発生して静電気中和の反応を行うだけで、物品Ａの静電気除去を高速化し、かつ物品がない、または静電気が中和されたときは、静電気除去装置の動作を停止させて、電力消費を節約し、使用寿命を延長できるため、本発明の目的を確実に達することができる。

以上は、本発明の実施例を説明するものであり、これらを以って本発明の権利範囲を限定することはできず、特許請求の範囲を逸脱しない同等効果の変更や修飾はすべて本発明の権利範囲に含まれる。

Ａ 物品
Ｂ 静電気除去エリア
３ イオン伝送ユニット
３１ ハウジング
３２ 気流発生器
３３ 気流制御回路
４ イオン発生ユニット
４１ 回路コントローラ
４２ イオン発生回路
４３ イオン放電プローブ
５ 静電気センサーユニット
５１ 静電気センサー
６ ヒューマンマシンユニット
６１ ディスプレイ
６２ 操作パネル
６３ 警報器
６４ 制御出力ポート
６５ データストレージ器

Claims (5)

1. 物品の静電気電荷の除去に適用する静電気検出機能を備えた静電気除去装置であって、前記静電気除去装置が、イオン伝送ユニットと、イオン発生ユニットと、静電気センサーユニットを含み、
   前記イオン伝送ユニットが、ハウジングと、前記ハウジング中に設置された気流発生器と、前記気流発生器に電気的に接続された気流制御回路を含み、
   前記イオン発生ユニットが、前記気流制御回路に電気的に接続された回路コントローラと、前記回路コントローラに電気的に接続されたイオン発生回路と、前記ハウジング上に設置され、かつ前記イオン発生回路に電気的に接続された少なくとも１つのイオン放電プローブを含み、
   前記静電気センサーユニットが、前記回路コントローラに電気的に接続された静電気センサーを含み、前記静電気センサーが前記物品上の静電気値を検出して前記回路コントローラにフィードバックし、
   前記静電気センサーにより検出された前記物品上の静電気値が負の値のとき、前記回路コントローラが前記イオン発生回路を制御して、前記イオン放電プローブに静電気除去に必要な電荷量の正イオンのみを発生させると共に、前記気流制御回路を制御して前記気流発生器に、前記物品までの設定された距離に応じた強さの気流を発生させて正イオンを前記物品に吹送し、前記静電気センサーにより検出された前記物品上の静電気値が正の値のとき、前記回路コントローラが前記イオン発生回路を制御して、前記イオン放電プローブに静電気除去に必要な電荷量の負イオンのみを発生させると共に、前記気流制御回路を制御して前記気流発生器に、前記物品までの設定された距離に応じた強さの気流を発生させて負イオンを前記物品に吹送し、前記物品上の静電気を除去し、前記静電気センサーにより静電気値が検出されないとき、前記回路コントローラが前記イオン発生回路及び前記気流発生器を制御して動作を停止させることを特徴とする、静電気検出機能を備えた静電気除去装置。
2. ヒューマンマシンユニットを含み、前記ヒューマンマシンユニットが、前記回路コントローラに電気的に接続され、前記静電気除去装置の情報を表示するディスプレイと、前記回路コントローラに電気的に接続され、外部からの設定操作が可能な操作パネルと、前記回路コントローラに電気的に接続され、警報を発生する警報器と、前記回路コントローラに電気的に接続され、機械停止情報を発生する制御出力ポートと、前記回路コントローラに電気的に接続され、前記物品の静電気除去に関する情報を保存するデータストレージを含むことを特徴とする、請求項１に記載の静電気検出機能を備えた静電気除去装置。
3. 請求項１に記載の静電気除去装置を用いた静電気の検出を含む静電気除去方法であって、
   センサーで静電気除去エリアの静電気を検出し、検出された情報を回路コントローラに伝送する第１検出工程と、
   物品を前記静電気除去エリアまで運搬する第１運搬工程と、
   前記回路コントローラが前記物品の静電気情報を得て、検出された静電気値及び物品までの設定された距離に基づき静電気除去に必要な電荷量と気流量を計算する静電気演算工程と、
   前記回路コントローラがイオン発生回路を制御してイオン放電プローブ上で前記電荷量の静電気イオンを発生し、前記イオン放電プローブが発生する静電気イオンの電気的極性が、前記物品の静電気と相反するとともに、気流制御回路を制御して気流発生器に前記気流量の空気気流を発生させ、前記イオン放電プローブが発生した静電気イオンを前記物品に吹送し、静電気を除去する静電気除去工程と、
   前記回路コントローラが前記イオン発生回路及び前記気流発生器の動作を停止させる静電気除去停止工程と、
   静電気除去が完了した物品を前記静電気除去エリアから搬出する第２運搬工程と、
   を含むことを特徴とする、静電気の検出を含む静電気除去方法。
4. 前記停止静電気除去工程と前記第２運搬工程の間に、前記静電気センサーが前記静電気除去エリアの静電気を継続して検出し、前記物品の静電気情報を前記回路コントローラに伝送する第２検出工程を含むことを特徴とする、請求項３に記載の静電気の検出を含む静電気除去方法。
5. 前記第２検出工程と前記第２運搬工程の間に、前記回路コントローラにより前記物品の静電気値が設定値より大きいと判断されると、警報器により対外的に警報を発し、かつ制御出力ポートにより対外的に機械停止情報を発する静電気警報工程を含むことを特徴とする、請求項４に記載の静電気の検出を含む静電気除去方法。

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