JP2017154220A - 直動装置および基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】移動原点を設定する作業の効率を向上させると共に構成を簡易化して製造コストを低減する。【解決手段】移動体23を移動原点Poから指定された距離だけ矢印Aの方向に移動させる移動機構22と、移動機構22を制御する処理を実行する処理部と、矢印Aの方向に沿って離間した状態で移動体23に取り付けられた遮蔽板41a,41bと、移動体23の移動に伴う遮蔽板41a,41bの最大移動範囲の中間位置Pmに配置されて中間位置Pmに位置した遮蔽板41a,41bを検出するセンサ25とを備え、処理部は、遮蔽板41a,41bのいずれもがセンサ25によって検出されていない状態において移動機構22に対して矢印A1の向きに移動体23を移動させ、センサ25によって遮蔽板41aが最初に検出されたときの移動体23における予め決められた部位の位置に基づいて移動原点Poを設定する設定処理を実行する。【選択図】図8
Description
本発明は、移動体を直線方向に移動させる直動装置、およびその直動装置を備えた基板検査装置に関するものである。
この種の直動装置として、下記特許文献1に開示された直動装置が知られている。この直動装置は、フレームと、フレームの両端に配設された一対の軸受けによって回転自在に支持された螺旋溝を有する送り軸と、送り軸の回転によって移動させられる移動テーブルと、送り軸を回転させるモータと、モータを制御する制御回路と、モータに連結されてモータのロータの回転位置を検出するインクリメンタリエンコーダと、フレーム上のモータ側に配設されたテーブル原点センサと、フレームの両端部にそれぞれ配設された一対のリミッタセンサとを備えて構成されている。この場合、この種の直動装置では、移動テーブルを移動させる際の移動原点を設定する必要があるが、この直動装置では、次のようにして移動原点を設定している。まず、モータを作動させて送り軸を回転させ、移動テーブルをテーブル原点センサの配設位置に向けて移動させる。次いで、テーブル原点センサが移動テーブルを検出してテーブル原点信号を出力した時点でモータを停止させる。続いて、モータのロータ(送り軸を)を手動で回転させ、インクリメンタリエンコーダから回転原点信号を検出した時点で回転を停止して制御回路内のエンコーダカウンタをリセットする。次いで、回転原点信号とテーブル原点信号とが約180度の位相差を持つように、テーブル原点センサの位置の調整(テーブル原点センサの移動)、またはインクリメンタリエンコーダの取り付け角度の調整を行う。この場合、これらの調整を行った後のテーブル原点センサの位置が移動原点となる。
ところが、上記の直動装置には、解決すべき以下の課題がある。すなわち、この直動装置では、上記したように、テーブル原点センサの位置の調整やインクリメンタリエンコーダの取り付け角度の調整を手作業で行って原点を設定しているため、作業効率が悪いという課題が存在する。また、この直動装置では、テーブル原点センサの他に、移動テーブルのオーバーランを防止するための一対のリミッタセンサを備えている。このため、この直動装置には、3つのセンサを用いる分、構成が複雑で製造コストが上昇するという課題も存在する。
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、移動原点を設定する作業の効率を向上させると共に構成を簡易化して製造コストを低減し得る直動装置および基板検査装置を提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく請求項1記載の直動装置は、移動体を移動原点から指定された距離だけ直線方向に移動させる移動機構と、当該移動機構を制御する処理を実行する処理部とを備えた直動装置であって、前記直線方向に沿って離間した状態で前記移動体に取り付けられた一対の被検出部と、前記移動体の移動に伴う前記各被検出部の前記直線方向に沿った最大移動範囲の中間位置に配置されて当該中間位置に当該各被検出部が位置したときに当該各被検出部を検出する第1検出部とを備え、前記処理部は、前記各被検出部のいずれもが前記第1検出部によって検出されていない状態において前記移動機構に対して前記直線方向におけるいずれか一方の向きに前記移動体を移動させ、前記第1検出部によっていずれか一方の前記被検出部が最初に検出されたときの前記移動体における予め決められた部位の位置に基づいて前記移動原点を設定する設定処理を実行する。
また、請求項2記載の直動装置は、請求項1記載の直動装置において、前記いずれか一方の被検出部が前記中間位置に位置しているときに前記移動体に付勢力を加える付勢部と、前記付勢力を検出する第2検出部とを備え、前記処理部は、前記設定処理を開始した際に第2検出部によって予め規定された値以上の付勢力が検出されているときに、前記移動機構に対して前記各被検出部のいずれもが前記第1検出部によって検出されていない位置に前記移動体を移動させた後に前記いずれか一方の向きに当該移動体を移動させる。
また、請求項3記載の直動装置は、請求項1または2記載の直動装置において、前記各被検出部が一体に形成されている。
また、請求項4記載の基板検査装置は、請求項1から3のいずれかに記載の直動装置を備えて基板に対してプローブをプロービングさせるプロービング装置と、前記基板にプロービングされている前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている。
請求項1記載の直動装置、および請求項4記載の基板検査装置によれば、一対の被検出部と各被検出部の最大移動範囲の中間位置に配置された第1検出部とを備え、処理部が、各被検出部のいずれもが第1検出部によって検出されていない状態において直線方向におけるいずれか一方の向きに移動体を移動させ、第1検出部によっていずれか一方の被検出部が最初に検出されたときの移動体における予め決められた部位の位置に基づいて移動原点を設定することにより、第1検出部を移動(第1検出部の配置位置を変更)することなく、移動原点を自動的に設定することができる。このため、この直動装置および基板検査装置によれば、テーブル原点センサの位置の調整を手作業で行って原点を設定する従来の直動装置と比較して、移動原点を設定する作業の効率を十分に向上させることができる。また、この直動装置および基板検査装置によれば、移動原点を設定した後に直動装置を用いて移動体を移動させる処理(例えば、プローブをプロービングさせる処理)において、第1検出部によって被検出部が検出されたときに処理部が移動機構による移動体の移動を停止させることで、移動体のオーバーランを防止することができるため、オーバーラン防止用の一対のリミッタセンサをテーブル原点センサとは別に備えた(つまり、3つのセンサを備えた)従来の直動装置と比較して、センサの数が少ない分、構成を簡易化して製造コストを十分に低減することができる。
また、請求項2記載の直動装置、および請求項4記載の基板検査装置によれば、いずれか一方の被検出部が中間位置に位置しているときに移動体に付勢力を加える付勢部と、付勢力を検出する第2検出部とを備え、処理部が、設定処理を開始した際に第2検出部によって予め規定された値以上の付勢力が検出されているときに、各被検出部のいずれもが第1検出部によって検出されていない位置に移動体を移動させた後にいずれか一方の向きに移動体を移動させることにより、設定処理を開始した際に各被検出部のどちらが中間位置に位置しているか(第1検出部が各被検出部のどちらを検出しているか)が不明な場合においても、移動原点を確実に設定することができる。
また、請求項3記載の直動装置、および請求項4記載の基板検査装置によれば、各被検出部を一体に形成したことにより、別体に形成した各被検出部を移動体に別々に取り付ける構成と比較して、各被検出部を移動体に取り付ける際に位置決めを正確かつ容易に行うことができる。また、各被検出部を一体に形成したことにより、各被検出部を別体に形成した構成と比較して、製造コストを低減することができる。
以下、直動装置および基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
最初に、基板検査装置の一例としての図1に示す基板検査装置1の構成について説明する。基板検査装置1は、同図に示すように、基板保持部2、プロービング装置3、操作部4、記憶部5および処理部6を備えて、基板100(図2参照)を検査可能に構成されている。
基板保持部2は、図2に示すように、基板100をクランプするクランプ部2aを備え、基板100を保持可能に構成されている。
プロービング装置3は、図2に示すように、直動装置11a,11b(以下、区別しないときには「直動装置11」ともいう)、スライド機構12および上下動装置13を備えて構成され、処理部6の制御に従って基板100に対してプローブ15をプロービングさせる。
直動装置11a,11bは、図3,5に示すように、フレーム21、移動機構22、移動体23、遮蔽部24、センサ25およびストッパー26a,26bをそれぞれ備えて構成されている。フレーム21は、両図に示すように、長方形の板状に形成されている。
移動機構22は、図3,5に示すように、ボールねじ31、軸受け32a,32bおよびモータ33を備えてフレーム21上に配設されている。ボールねじ31は、ねじ山(図示せず)が形成されたねじ軸31aと、ねじ軸31aの回転に伴ってねじ軸31aの長さ方向に移動させられるナット31bとを備えている。軸受け32a,32bは、フレーム21の両端部にそれぞれ配設されて、ねじ軸31aの両端部を回転可能に支持する。
モータ33は、処理部6の制御に従って作動して、ねじ軸31aを回転させる。この場合、ボールねじ31は、ねじ軸31aの長さ方向がフレーム21の長さ方向(直線方向に相当し、図3,5に示す矢印Aの方向)に沿うように配設されている。このため、ナット31bおよびナット31bに固定されている移動体23は、フレーム21の長さ方向(直線方向)に沿って移動させられる。
移動体23は、図3,5に示すように、板状に形成されて、ボールねじ31のナット31bの上に固定されている。この場合、図2に示すように、直動装置11aの移動体23の上には、直動装置11bのフレーム21の一端部が固定される。
遮蔽部24は、図5に示すように、2つの遮蔽板41a,41b(以下、区別しないときには「遮蔽板41」ともいう)と、遮蔽板41a,41bを連結する連結部42とを備えて構成され、これらが一体に形成されている。また、遮蔽部24は、移動体23に取り付けられている。この場合、遮蔽部24の各遮蔽板41は、被検出部に相当し、同図に示すように、センサ25の設置位置である中間位置Pmに位置したときに、図4に示すように、センサ25から出力される検出用の光Lを遮蔽する機能を有している。また、遮蔽板41a,41bの配設位置は、移動体23が軸受け32a,32bに接触する位置よりもやや手前に位置したときに中間位置Pmに位置する(つまり、センサ25に検出される)ように規定されている。
センサ25は、第1検出部に相当し、一例として、透過形の光学式センサで構成されている。また、センサ25は、図4に示すように、移動体23の移動に伴うフレーム21の直線方向(矢印Aの方向)に沿った遮蔽板41a,41bの最大移動範囲W(図5参照)の中間位置Pmに配置されて、中間位置Pm(配置位置)に遮蔽板41a,41bが位置したときに遮蔽板41a,41bを検出して検出信号を出力する。この場合、この例では、最大移動範囲Wの中心位置を中間位置Pmとして規定しているが、最大移動範囲Wにおける中心位置以外の任意の中間の位置を中間位置Pmとして規定することができる。
ストッパー26aは、図3,5に示すように、移動機構22の軸受け32aに配設され、移動体23が予め決められた停止位置Ps1(図5参照)を超えて軸受け32a側に移動したときに移動体23に当接して移動体23の移動(オーバーラン)を規制する機能を有している。
ストッパー26bは、図3,5に示すように、コイルバネ等の弾性部材を備えて構成され、移動機構22の軸受け32bに配設されている。このストッパー26bは、遮蔽板41a(いずれか一方の被検出部)が中間位置Pm(センサ25の配設位置)に位置しているときに先端部が移動体23に当接し、移動体に付勢力を加える付勢部として機能する。また、ストッパー26bは、移動体23が予め決められた停止位置Ps2(図5参照)を超えて軸受け32b側に移動したときに移動体23に当接して移動体23の移動(オーバーラン)を規制する機能も有している。
スライド機構12は、図2に示すように、直動装置11aのフレーム21と平行に配設されたレール12aと、レール12a上をスライド可能なスライダ12bとを備えて構成されている。この場合、同図に示すように、直動装置11aの移動体23およびスライダ12bの間に直動装置11bのフレーム21が掛け渡されており、この構成により、直動装置11bは、直動装置11aにおける矢印Aの方向(長さ方向)に移動することが可能となっている。
上下動装置13は、図2に示すように、直動装置11bにおける移動体23に配設されて、処理部6の制御に従い、基板保持部2に保持されている基板100に対して接離する方向にプローブ15を移動させる。
操作部4は、後述する設定処理50(図6参照)の実行を指示するための操作ボタン、や検査の実行を指示するための操作ボタンを備え、これらの操作ボタンが操作されたときに操作信号を出力する。
記憶部5は、基板100におけるプロービング位置(プローブ15のプロービングさせる位置)を示す基板データを記憶する。また、記憶部5は、処理部6によって実行される設定処理50において設定される移動原点Po(図8参照)を示すデータを記憶する。
処理部6は、操作部4から出力される操作信号に従って基板検査装置1を構成する各構成要素を制御すると共に各種の処理を実行する。具体的には、処理部6は、図6に示す設定処理50を実行して、移動原点Poを設定する。この場合、移動原点Poは、プロービング装置3における直動装置11の移動機構22が移動体23を移動させる際の(移動距離を特定する際の)基準位置となる。また、処理部6は、第2検出部として機能し、設定処理50において、直動装置11の移動機構22におけるモータ33のトルク(ストッパー26bの付勢力)を検出する。また、処理部6は、移動機構22による移動体23の移動を制御する。この場合、処理部6は、移動原点Poに基づいて移動体23の移動距離を特定する。また、処理部6は、センサ25によって遮蔽板41が検出されたときに移動機構22による移動体23の移動を停止させて、移動体23のオーバーランを防止する。また、処理部6は、検査部として機能し、基板100にプロービングされているプローブ15を介して入出力する電気信号に基づいて基板100を検査する。
次に、基板検査装置1を用いて基板100を検査する方法、およびその際の基板検査装置1の各部の動作について、図面を参照して説明する。
基板100の検査に先立ち、プロービング装置3における直動装置11a,11bの移動原点Poを設定するために、操作部4を操作して、図6に示す設定処理50の実行を指示する。この際に、操作部4が操作信号を出力し、処理部6が操作信号に従って設定処理50を実行する。なお、処理部6は、直動装置11a,11bの双方についてそれぞれ設定処理50を実行して移動原点Poを設定するが、直動装置11aについての設定処理50のみ、以下説明する。
この設定処理50では、処理部6は、直動装置11aのセンサ25が遮蔽板41a,41bのいずれかを検出しているか否かを判別する(ステップ51)。この場合、図7に示すように、遮蔽板41a,41bのいずれもが中間位置Pmに位置していないときには、センサ25が遮蔽板41a,41bのいずれも検出していないため、処理部6は、ステップ51において、その旨(検出していない旨)を判別し、次いで、ステップ56を実行する。このステップ56では、処理部6は、直動装置11aにおける移動機構22のモータ33を制御してボールねじ31のねじ軸31aを回転させて、移動体23を矢印A1の向き(直線方向におけるいずれか一方の向きに相当し、同図における左向き)に移動させる。続いて、処理部6は、センサ25が遮蔽板41a,41bのいずれかを検出したか否かを判別する(ステップ57)。この場合、処理部6は、ステップ57において、センサ25が遮蔽板41a,41bのいずれも検出していないと判別したときには、ステップ56を実行して、矢印A1の向きでの移動体23の移動を継続させる。
次いで、図8に示すように、遮蔽板41aが中間位置Pm(センサ25の配置位置)に位置したときには、センサ25が遮蔽板41aを検出して検出信号を出力し、処理部6が、ステップ57においてセンサ25が遮蔽板41a,41bのいずれかを検出したと判別する。この際には、処理部6は、同図に示すように、そのときの移動体23における予め決められた位置(この例では、矢印A1の向きにおける下流側の端部の位置)に基づいて移動原点Poを設定する(ステップ58)。一例として、処理部6は、センサ25が遮蔽板41a,41bのいずれかを検出したと判別したときの移動体23における矢印A1の向きの下流側の端部の位置から矢印A1の向きとは逆向き(同図に示す矢印A2の向き)に予め決められた距離(一例として、2mm程度:以下「オフセット分」ともいう)だけ離間した位置を移動原点Poとして設定する。続いて、処理部6は、移動原点Poを示すデータを記憶部5に記憶させて設定処理50を終了する。この場合、この例では、同図に示すように、直動装置11aにおける矢印A1の向きの下流側に移動原点Poが設定される。なお、処理部6は、移動体23の位置および移動原点Poを、モータ33の初期状態からの回転量に基づいて特定する。この場合、移動原点Poに対応するモータ33の回転量を示すデータを、移動原点Poを示すデータとして記憶部5に記憶させることもできる。
一方、図9に示すように、設定処理50を開始したときに遮蔽板41bが中間位置Pmに位置しているときには、センサ25が遮蔽板41bを検出しているため、処理部6は、ステップ51において、センサ25が遮蔽板41a,41bのいずれかを検出していると判別し、続いて、直動装置11aのモータ33を制御して移動体23を矢印A1の向き(同図における左向き)に移動させる(ステップ52)。次いで、処理部6は、モータ33のトルクを検出し、トルクが規定値以上であるか否かを判別する(ステップ53)。この場合、移動体23を移動させる(ボールねじ31を駆動する)のに必要なトルクよりもやや大きい値に規定値とて規定されている。
ここで、図9に示すように、移動体23がストッパー26bに当接していない状態では、移動の向き(矢印A1の向き)とは逆の矢印A2の向きのストッパー26bの付勢力が移動体23には加えられないため、モータ33のトルクが規定値未満となっている。このため、この状態では、処理部6は、ステップ53において、モータ33のトルクが規定値以上ではない(つまり、ストッパー26bの付勢力が加えられていない)と判別し、上記したステップ51を実行する。
この場合、センサ25が遮蔽板41bを検出しているときには、処理部6は、ステップ51においてその旨を判別し、ステップ52を実行して矢印A1の向きでの移動体23の移動を継続させ、続いて、ステップ53を実行する。つまり、センサ25が遮蔽板41bを検出しなくなるまで繰り返してステップ51〜53を実行する。次いで、センサ25が遮蔽板41bを検出しなくなるまで移動体23が矢印A1の向きに移動したときには、処理部6は、ステップ51においてセンサ25が遮蔽板41a,41bのいずれも検出していないと判別し、続いて、上記したステップ56〜58を実行して、移動原点Poを設定し、移動原点Poを示すデータを記憶部5に記憶させて設定処理50を終了する。
また、図10に示すように、設定処理50を開始したときに遮蔽板41aが中間位置Pmに位置しているときにも、センサ25が遮蔽板41aを検出しているため、処理部6は、ステップ51において、センサ25が遮蔽板41a,41bのいずれかを検出していると判別し、次いで、直動装置11aのモータ33を制御して移動体23を矢印A1の向き(同図における左向き)に移動させる(ステップ52)。続いて、処理部6は、上記したステップ53を実行してモータ33のトルクが規定値以上であるか否かを判別する。
ここで、図10に示すように、移動体23がストッパー26bに当接している状態では、移動の向き(矢印A1の向き)とは逆の矢印A2の向きの付勢力がストッパー26bよって移動体23に加えられるため、モータ33のトルクが規定値以上となる。このため、この状態では、処理部6は、ステップ53において、モータ33のトルクが規定値以上である(つまり、ストッパー26bの付勢力が加えられている)と判別し、次いで、直動装置11aのモータ33を制御して移動体23を矢印A2の向き(同図における右向き)に移動させる(ステップ54)。
続いて、処理部6は、センサ25が遮蔽板41a,41bのいずれかを検出したか否かを判別する(ステップ55)。この場合、センサ25が遮蔽板41aを検出しているときには、処理部6は、ステップ55においてその旨を判別し、ステップ54を実行して矢印A2の向きでの移動体23の移動を継続させ、次いで、ステップ55を実行する。つまり、センサ25が遮蔽板41aを検出しなくなるまで繰り返してステップ54,55を実行する。
続いて、図11に示すように、センサ25が遮蔽板41aを検出しなくなるまで(遮蔽板41aが中間位置Pmから外れるまで)移動体23が矢印A2の向きに移動したときには、処理部6は、ステップ55においてセンサ25が遮蔽板41a,41bのいずれも検出していないと判別し、次いで、上記したステップ56〜58を実行し、図12に示すように、移動体23を矢印A1の向きに移動させて移動原点Poを設定し、移動原点Poを示すデータを記憶部5に記憶させて設定処理50を終了する。以上により、移動原点Poの設定が完了する。
上記したように、この基板検査装置1では、遮蔽板41a(いずれか一方の被検出部)が中間位置Pmに位置しているときに移動体23に付勢力を加えるストッパー26bを備え、処理部6がモータ33のトルクが規定値以上であるか否かを判別することによってストッパー26bの付勢力を検出する第2検出部として機能する。また、この基板検査装置1では、設定処理50を開始した際に処理部6がストッパー26bの付勢力を検出したときには、各遮蔽板41a,41bのいずれもがセンサ25によって検出されていない位置に移動体23を移動させた後に矢印A1の向きに移動体23を移動させる。このため、この基板検査装置1では、設定処理50を開始した際に遮蔽板41a,41bのどちらが中間位置Pmに位置しているか(センサ25によって検出されているか)が不明な場合においても、移動原点Poを確実に設定することが可能となっている。
続いて、基板100を検査する際には、基板保持部2に載置した基板100をクランプ部2aで固定して基板保持部2に基板100を保持させる。次いで、操作部4を操作して検査の開始を指示する。これに応じて、処理部6が基板データおよび移動原点Poを示すデータを記憶部5から読み出す。続いて、処理部6は、基板データによって示される基板100におけるプロービング位置(プローブ15をプロービングさせる位置)および移動原点Poに基づいて、プローブ15を移動させるべき移動距離を特定し、その移動距離だけプロービング装置3における各直動装置11の各移動体23を移動させるのに必要な各ボールねじ31における各ねじ軸31aの回転量を特定する。
次いで、処理部6は、各モータ33を制御して各ねじ軸31aを回転させることにより、プローブ15がプロービング位置の上方に位置するように各移動体23を移動させる。続いて、処理部6は、プロービング装置3の上下動装置13を制御して、プローブ15を基板100に近接させる。これにより、プローブ15がプロービング位置にプロービングされる。
この場合、処理部6は、プローブ15をプロービングさせる処理においては、センサ25によって遮蔽板41が検出されたときに、移動機構22を制御して移動体23の移動を停止させる。このような制御を行うことで、オーバーラン防止用のリミッタセンサをセンサ25とは別に設けることなく、移動体23のオーバーランを防止することが可能となっている。
次いで、処理部6は、図外の信号供給部を制御して検査用の電気信号を出力させる。この際に、電気信号がプローブ15を介して基板100に出力され、これに伴ってプローブ15を介して電気信号が入力する。続いて、処理部6は、プローブ15を介して入出力する電気信号に基づいて物理量を測定し、その物理量の測定値に基づいて基板100の良否を検査する。
このように、この直動装置11および基板検査装置1によれば、一対の遮蔽板41a,41bと遮蔽板41a,41bの最大移動範囲Wの中間位置Pmに配置されたセンサ25とを備え、処理部6が、遮蔽板41a,41bのいずれもがセンサ25によって検出されていない状態において矢印A1の向き(直線方向におけるいずれか一方の向き)に移動体23を移動させ、センサ25によって遮蔽板41aが最初に検出したときの移動体23における予め決められた部位の位置に基づいて移動原点Poを設定することにより、センサ25を移動(センサ25の配置位置を変更)することなく、移動原点Poを自動的に設定することができる。このため、この直動装置11および基板検査装置1によれば、テーブル原点センサの位置の調整を手作業で行って原点を設定する従来の直動装置と比較して、移動原点Poを設定する作業の効率を十分に向上させることができる。また、この直動装置11および基板検査装置1によれば、移動原点Poを設定した後に直動装置11を用いて移動体23を移動させる処理(上記の例では、プローブ15をプロービングさせる処理)において、センサ25によって遮蔽板41が検出されたときに処理部6が移動機構22による移動体23の移動を停止させることで、移動体23のオーバーランを防止することができるため、オーバーラン防止用の一対のリミッタセンサをテーブル原点センサとは別に備えた(つまり、3つのセンサを備えた)従来の直動装置と比較して、センサの数が少ない分、構成を簡易化して製造コストを十分に低減することができる。
また、この直動装置11および基板検査装置1によれば、遮蔽板41aが中間位置Pmに位置しているときに移動体23に付勢力を加えるストッパー26bを備え、処理部6が設定処理50を開始した際に予め規定された規定値以上の付勢力(この例ではトルク)を検出したときに、遮蔽板41a,41bのいずれもがセンサ25によって検出されていない位置に移動体23を移動させた後に矢印A1の向きに移動体23を移動させることにより、設定処理50を開始した際に遮蔽板41a,41bのどちらが中間位置Pmに位置しているか(センサ25が遮蔽板41a,41bのどちらを検出しているか)が不明な場合においても、移動原点Poを確実に設定することができる。
また、この直動装置11および基板検査装置1によれば、遮蔽板41a,41bを一体に形成したことにより、別体に形成した遮蔽板41a,41bを移動体23に別々に取り付ける構成と比較して、遮蔽板41a,41bを移動体23に取り付ける際に位置決めを正確かつ容易に行うことができる。また、遮蔽板41a,41bを一体に形成したことにより、遮蔽板41a,41bを別体に形成した構成と比較して、製造コストを低減することができる。
なお、直動装置および基板検査装置は、上記の構成に限定されない。例えば、設定処理50において、遮蔽板41aを遮蔽板41a,41b(一対の被検出部)のいずれか一方とし、矢印A1の向きを矢印Aの方向(直線方向)におけるいずれか一方の向きとして、矢印A1の向きの下流側(図8における左側)に移動原点Poを設定する例について上記したが、設定処理50において、遮蔽板41bを一対の被検出部のいずれか一方とし、矢印A2の向きを直線方向におけるいずれか一方の向きとして、矢印A2の向きの下流側(図8における右側)に移動原点Poを設定することもできる。この場合、この構成において、コイルバネ等の弾性部材を備えてストッパー26aを構成し、ストッパー26aを付勢部として機能させることで、上記した直動装置11と同様の効果を実現することができる。
また、移動体23における予め決められた位置として、矢印A1の向きにおける下流側の端部の位置を採用した例について上記したが、移動体23の中央部の位置や、矢印A1の向きにおける上流側の端部の位置などの任意の位置を予め決められた位置として規定することができる。また、2mm程度のオフセット分を設ける例について上記したが、オフセット分は、2mmに限定されず任意の数値に規定することができる。また、オフセット分を設けない構成を採用することもできる。
また、ストッパー26bが付勢部として機能する例について上記したが、移動体23のオーバーランを防止する機能のみを有するストッパー26bを用いると共に、ストッパー26bとは別に付勢部を設ける構成を採用することもできる。また、透過形の光学式センサであるセンサ25を第1検出部として用いる構成例について上記したが、反射形の光学式センサや機械式のセンサを第1検出部として用いる構成を採用することもできる。
また、遮蔽板41a,41bを連結部42で連結してこれらを一体に形成した遮蔽部24を用いる例について上記したが、別体に形成した遮蔽板41a,41bを用いる構成を採用することもできる。
また、直動装置11を基板検査装置1に搭載した例について上記したが、基板検査装置1以外の各種の装置に直動装置11を搭載することができる。
1 基板検査装置
3 プロービング装置
6 処理部
11a,11b 直動装置
15 プローブ
21 フレーム
22 移動機構
23 移動体
24 遮蔽部
25 センサ
26b ストッパー
41a,41b 遮蔽板
42 連結部
Pm 中間位置
Po 移動原点
W 最大移動範囲
3 プロービング装置
6 処理部
11a,11b 直動装置
15 プローブ
21 フレーム
22 移動機構
23 移動体
24 遮蔽部
25 センサ
26b ストッパー
41a,41b 遮蔽板
42 連結部
Pm 中間位置
Po 移動原点
W 最大移動範囲
Claims (4)
- 移動体を移動原点から指定された距離だけ直線方向に移動させる移動機構と、当該移動機構を制御する処理を実行する処理部とを備えた直動装置であって、
前記直線方向に沿って離間した状態で前記移動体に取り付けられた一対の被検出部と、前記移動体の移動に伴う前記各被検出部の前記直線方向に沿った最大移動範囲の中間位置に配置されて当該中間位置に当該各被検出部が位置したときに当該各被検出部を検出する第1検出部とを備え、
前記処理部は、前記各被検出部のいずれもが前記第1検出部によって検出されていない状態において前記移動機構に対して前記直線方向におけるいずれか一方の向きに前記移動体を移動させ、前記第1検出部によっていずれか一方の前記被検出部が最初に検出されたときの前記移動体における予め決められた部位の位置に基づいて前記移動原点を設定する設定処理を実行する直動装置。 - 前記いずれか一方の被検出部が前記中間位置に位置しているときに前記移動体に付勢力を加える付勢部と、前記付勢力を検出する第2検出部とを備え、
前記処理部は、前記設定処理を開始した際に第2検出部によって予め規定された値以上の付勢力が検出されているときに、前記移動機構に対して前記各被検出部のいずれもが前記第1検出部によって検出されていない位置に前記移動体を移動させた後に前記いずれか一方の向きに当該移動体を移動させる請求項1記載の直動装置。 - 前記各被検出部が一体に形成されている請求項1または2記載の直動装置。
- 請求項1から3のいずれかに記載の直動装置を備えて基板に対してプローブをプロービングさせるプロービング装置と、前記基板にプロービングされている前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016040706A JP2017154220A (ja) | 2016-03-03 | 2016-03-03 | 直動装置および基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016040706A JP2017154220A (ja) | 2016-03-03 | 2016-03-03 | 直動装置および基板検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017154220A true JP2017154220A (ja) | 2017-09-07 |
Family
ID=59807553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016040706A Pending JP2017154220A (ja) | 2016-03-03 | 2016-03-03 | 直動装置および基板検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017154220A (ja) |
-
2016
- 2016-03-03 JP JP2016040706A patent/JP2017154220A/ja active Pending
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