JP2017150856A - Measurement device, sensor device, and portable terminal - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compact and low cost measurement device for measuring light absorption and light emission.SOLUTION: Provided is a measurement device for measuring a light component of a target wavelength in incident light, comprising: an optical system for extracting a light component of a target wavelength from incident light; an optical sensor unit for detecting the light component extracted by the optical system; a magnet and a coil, of which one is fixed to a housing and other is attached to an optical component included in the optical sensor unit or the optical system; a drive unit for sending a drive current to the coil and driving the optical sensor unit or the optical component, and changing the target wavelength; and a measurement unit for measuring the light component detected by the optical sensor unit. Also provided are a sensor device and a portable terminal.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、測定装置、センサ装置、および携帯端末に関する。   The present invention relates to a measuring device, a sensor device, and a mobile terminal.

従来、入射光の成分を検出する場合、分光器および干渉計等の光学装置を用いて分光し、対象波長の光成分を抽出して検出していた。また、このような光検出を簡易的に実行する場合、入射光に対象波長を透過させるバンドパスフィルタ等の光フィルタを挿入し、透過光の光成分を検出していた。   Conventionally, when detecting a component of incident light, the light is separated using an optical device such as a spectroscope and an interferometer, and the light component of the target wavelength is extracted and detected. Further, when such light detection is simply executed, an optical filter such as a bandpass filter that transmits the target wavelength is inserted into the incident light, and the light component of the transmitted light is detected.

しかしながら、光フィルタを用いた検出は、複数の対象波長の光成分を検出することが困難であった。また、分光器および干渉計等の光学装置は、光学部品の移動により抽出する光成分の対象波長を変更するので、高い位置精度と、広い移動範囲とを有する駆動装置を用いて当該光学部品を移動させていた。しかしながら、このような駆動装置は、大型でコストがかかるので、小型の測定装置を低コストで提供することは困難であった。   However, detection using an optical filter has been difficult to detect light components of a plurality of target wavelengths. In addition, since optical devices such as a spectroscope and an interferometer change the target wavelength of the light component to be extracted by moving the optical component, the optical component is mounted using a driving device having high positional accuracy and a wide moving range. It was moved. However, since such a driving device is large and expensive, it has been difficult to provide a small measuring device at low cost.

本発明の第1の態様においては、入射光における対象波長の光成分を測定する測定装置であって、入射光から対象波長の光成分を抽出する光学系と、光学系により抽出された光成分を検出する光センサ部と、一方が筐体に対して固定され、他方が光センサ部または光学系に含まれる光学部品に取り付けられた磁石およびコイルと、コイルに駆動電流を流して光センサ部または光学部品を駆動して、対象波長を変更する駆動部と、光センサ部により検出された光成分を測定する測定部と、を備える測定装置、センサ装置、および携帯端末を提供する。   In the first aspect of the present invention, there is provided a measuring apparatus for measuring an optical component of a target wavelength in incident light, an optical system for extracting the optical component of the target wavelength from incident light, and an optical component extracted by the optical system An optical sensor unit for detecting the optical sensor unit, one of which is fixed to the housing and the other is a magnet and a coil attached to the optical sensor unit or an optical component included in the optical system, and an optical sensor unit that causes a drive current to flow in the coil. Alternatively, a measuring device, a sensor device, and a portable terminal including a driving unit that drives an optical component and changes a target wavelength and a measuring unit that measures a light component detected by the optical sensor unit are provided.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   It should be noted that the above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.

本実施形態に係る検出装置10の構成例を示す。The structural example of the detection apparatus 10 which concerns on this embodiment is shown. 本実施形態に係る測定装置100の第1構成例を示す。The 1st structural example of the measuring apparatus 100 which concerns on this embodiment is shown. 本実施形態に係る測定装置100の第2構成例を示す。The 2nd structural example of the measuring apparatus 100 which concerns on this embodiment is shown. 本実施形態に係る測定装置100の第3構成例を示す。The 3rd structural example of the measuring apparatus 100 which concerns on this embodiment is shown. 本実施形態に係る測定装置100の第4構成例を示す。The 4th structural example of the measuring apparatus 100 which concerns on this embodiment is shown. 本実施形態に係る測定装置100の第5構成例を示す。The 5th structural example of the measuring apparatus 100 which concerns on this embodiment is shown. 本実施形態に係る携帯端末300の構成例を示す。The structural example of the portable terminal 300 which concerns on this embodiment is shown.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.

図1は、本実施形態に係る検出装置10の構成例を示す。検出装置10は、対象波長の光成分を検出する。検出装置10は、光フィルタ12と、光センサ部14とを備える。光フィルタ12は、対象波長の光成分を透過させる。光フィルタ12は、一例として、バンドバスフィルタである。光センサ部14は、光フィルタ12を通過した光を検出する。光センサ部14は、フォトダイオード等でよい。   FIG. 1 shows a configuration example of a detection apparatus 10 according to the present embodiment. The detection device 10 detects the light component of the target wavelength. The detection device 10 includes an optical filter 12 and an optical sensor unit 14. The optical filter 12 transmits the light component of the target wavelength. The optical filter 12 is a band-pass filter as an example. The optical sensor unit 14 detects light that has passed through the optical filter 12. The optical sensor unit 14 may be a photodiode or the like.

このような検出装置10は、入射光に含まれる対象波長の光成分を検出することができるので、例えば、当該入射光の経路に測定対象を挿入し、挿入前後の検出結果を比較することにより、測定対象の光吸収および光放出等を測定することができる。なお、測定対象は、気体、液体、および固体等でよい。また、検出装置10を用いて光吸収および光放出等を測定することにより、当該測定対象を同定してもよい。   Since such a detection apparatus 10 can detect the light component of the target wavelength included in the incident light, for example, by inserting a measurement target in the path of the incident light and comparing the detection results before and after the insertion The light absorption and light emission of the measurement object can be measured. The measurement object may be a gas, a liquid, a solid, or the like. Further, the measurement object may be identified by measuring light absorption and light emission using the detection device 10.

一例として、測定対象を気体とし、光フィルタ12の透過波長を一の気体成分の吸収線と略一致させることにより、検出装置10は、測定対象の光吸収の測定結果から、当該測定対象が一の気体成分を含むか否かを判定することができる。また、検出装置10は、光吸収量から、一の気体成分の濃度を更に判定してもよい。   As an example, by making the measurement object gas and making the transmission wavelength of the optical filter 12 substantially coincide with the absorption line of one gas component, the detection apparatus 10 determines that the measurement object is one from the measurement result of the light absorption of the measurement object. It is possible to determine whether or not a gas component is included. Moreover, the detection apparatus 10 may further determine the concentration of one gas component from the light absorption amount.

このように、検出装置10は、単一の波長を透過させる光フィルタ12の透過波長を光吸収線等の対象波長と略一致させることにより、測定対象に含まれる成分の濃度等を判定できる。したがって、検出装置10は、例えば、小型で低コストのガスセンサ等を提供することができる。   As described above, the detection apparatus 10 can determine the concentration of the component included in the measurement target by substantially matching the transmission wavelength of the optical filter 12 that transmits a single wavelength with the target wavelength such as a light absorption line. Therefore, the detection apparatus 10 can provide, for example, a small and low-cost gas sensor.

しかしながら、光フィルタ12の透過波長を変更することは困難であり、当該透過波長と異なる波長の吸収または放出を検出することは困難であった。したがって、検出装置10は、例えば、複数の吸収線の吸収量を測定することができなかった。このような複数の対象波長の光吸収および光放出等を測定する場合、分光器および干渉計等の光学装置を用いて、入射光から抽出する光成分の対象波長を変更することで、吸収スペクトルおよび放出スペクトル等を測定していた。   However, it is difficult to change the transmission wavelength of the optical filter 12, and it is difficult to detect absorption or emission at a wavelength different from the transmission wavelength. Therefore, the detection apparatus 10 could not measure the amount of absorption of a plurality of absorption lines, for example. When measuring such light absorption and light emission of a plurality of target wavelengths, an absorption spectrum is obtained by changing the target wavelength of a light component extracted from incident light using an optical device such as a spectroscope and an interferometer. The emission spectrum was measured.

このような分光器および干渉計等の光学装置は、モータ等の駆動装置を搭載し、光学部品を移動させて入射光の透過波長を可変させていた。したがって、駆動装置は、光学部品の位置精度を保ったまま、光スペクトルが得られる程度に光学部品を移動させることが望ましく、大型でコストのかかる装置となっていた。そこで、本実施形態に係る測定装置100は、光学部品を広範囲に移動させ、小型、かつ高い位置精度で駆動する駆動部を設け、小型かつ低コストの測定装置を提供する。このような測定装置100について、次に説明する。   Such an optical device such as a spectroscope and an interferometer is equipped with a driving device such as a motor, and the optical component is moved to vary the transmission wavelength of incident light. Therefore, it is desirable that the driving device move the optical component to the extent that an optical spectrum can be obtained while maintaining the positional accuracy of the optical component, and has become a large and expensive device. Therefore, the measurement apparatus 100 according to the present embodiment provides a small-sized and low-cost measurement apparatus provided with a drive unit that moves an optical component over a wide range and is driven with a small size and high positional accuracy. Such a measuring apparatus 100 will be described next.

図2は、本実施形態に係る測定装置100の第1構成例を示す。測定装置100は、入射光における対象波長の光成分を測定する。測定装置100は、入射光における複数の対象波長の吸収および放出を測定してよい。なお、入射光は、平行光で測定装置100に入射することが望ましい。測定装置100は、光学系110と、光センサ部120と、磁石130と、コイル140と、磁気センサ150と、駆動部160と、測定部170と、を備える。   FIG. 2 shows a first configuration example of the measuring apparatus 100 according to the present embodiment. The measuring apparatus 100 measures the light component of the target wavelength in the incident light. The measuring apparatus 100 may measure absorption and emission of a plurality of target wavelengths in incident light. The incident light is preferably incident on the measuring apparatus 100 as parallel light. The measuring apparatus 100 includes an optical system 110, an optical sensor unit 120, a magnet 130, a coil 140, a magnetic sensor 150, a driving unit 160, and a measuring unit 170.

光学系110は、入射光から対象波長の光成分を抽出する。光学系110は、抽出する光成分の対象波長を可変とする。光学系110は、干渉計、分光器、または可変波長フィルタ等を有してよい。図2は、光学系110がマイケルソン干渉計を有する例を示す。光学系110は、ビームスプリッタ112と、第1ミラー114と、第2ミラー116と、を有する。   The optical system 110 extracts a light component having a target wavelength from incident light. The optical system 110 makes the target wavelength of the light component to be extracted variable. The optical system 110 may include an interferometer, a spectroscope, a variable wavelength filter, or the like. FIG. 2 shows an example in which the optical system 110 has a Michelson interferometer. The optical system 110 includes a beam splitter 112, a first mirror 114, and a second mirror 116.

ビームスプリッタ112は、入射光の一部を透過させ、一部を反射する。ビームスプリッタ112は、ハーフミラーでよい。ビームスプリッタ112は、入射光の進行方向と略同一方向に入射光の一部を透過させ、入射光の進行方向に対して略垂直方向に入射光の一部を反射する。図2は、ビームスプリッタ112が−X方向に入射する入射光の一部を−X方向に透過させ、入射光の残りの一部を+Y方向に反射する例を示す。   The beam splitter 112 transmits a part of incident light and reflects a part thereof. The beam splitter 112 may be a half mirror. The beam splitter 112 transmits a part of the incident light in a direction substantially the same as the traveling direction of the incident light, and reflects a part of the incident light in a direction substantially perpendicular to the traveling direction of the incident light. FIG. 2 shows an example in which the beam splitter 112 transmits a part of incident light incident in the −X direction in the −X direction and reflects the remaining part of the incident light in the + Y direction.

第1ミラー114は、ビームスプリッタ112を透過した光を当該ビームスプリッタ112の方向に反射する。第2ミラー116は、ビームスプリッタ112により反射された光を当該ビームスプリッタ112の方向に反射する。図2は、ビームスプリッタ112が−X方向に透過させた光を第1ミラー114が+X方向に反射し、ビームスプリッタ112が+Y方向に反射した光を第2ミラー116が−Y方向に反射する例を示す。   The first mirror 114 reflects the light transmitted through the beam splitter 112 in the direction of the beam splitter 112. The second mirror 116 reflects the light reflected by the beam splitter 112 in the direction of the beam splitter 112. In FIG. 2, the light transmitted by the beam splitter 112 in the −X direction is reflected by the first mirror 114 in the + X direction, and the light reflected by the beam splitter 112 in the + Y direction is reflected by the second mirror 116 in the −Y direction. An example is shown.

このように、光学系110は、入射した光を2つの方向に分岐し、分岐した光を再び合波して略同一方向に出射する。これにより、光学系110は、2つの異なる光路を進行した光を合成させて干渉させる。即ち、光学系110は、第1ミラー114および第2ミラー116の配置に応じて、2つの光路に光路差を生じさせ、当該光路差が0および波長の半分の偶数倍となる光の強度を強くし、当該光路差が波長の半分の奇数倍となる光の強度を弱くする。これにより、光学系110は、第1ミラー114および第2ミラー116の位置を調節することにより、対象波長の光成分を抽出する。   As described above, the optical system 110 branches the incident light in two directions, combines the branched light again, and emits the light in substantially the same direction. As a result, the optical system 110 synthesizes and interferes with the light traveling in two different optical paths. In other words, the optical system 110 generates an optical path difference between the two optical paths according to the arrangement of the first mirror 114 and the second mirror 116, and the intensity of the light that causes the optical path difference to be an even multiple of 0 and half of the wavelength. The light intensity is increased and the light intensity at which the optical path difference is an odd multiple of half the wavelength is decreased. As a result, the optical system 110 extracts the light component of the target wavelength by adjusting the positions of the first mirror 114 and the second mirror 116.

光センサ部120は、光学系により抽出された光成分を検出する。光センサ部120は、光学系110が出射した光を受光する。即ち、光センサ部120は、第1ミラー114が反射してビームスプリッタ112を介して出射する光と、第2ミラー116が反射してビームスプリッタ112を介して出射する光とが、入射する。光センサ部120は、フォトダイオードおよび光伝導セル等の半導体光検出器でよい。これに代えて、光センサ部120は、焦電型検出器でもよい。   The optical sensor unit 120 detects the light component extracted by the optical system. The optical sensor unit 120 receives light emitted from the optical system 110. That is, in the optical sensor unit 120, the light reflected by the first mirror 114 and emitted through the beam splitter 112 and the light reflected by the second mirror 116 and emitted through the beam splitter 112 are incident. The optical sensor unit 120 may be a semiconductor photodetector such as a photodiode and a photoconductive cell. Alternatively, the photosensor unit 120 may be a pyroelectric detector.

磁石130およびコイル140のうちの一方は、当該測定装置100の筐体に対して固定され、他方は、光学系110に含まれる光学部品に取り付けられる。即ち、磁石130およびコイル140の一方が、光学部品としての第1ミラー114または第2ミラー116に取り付けられる。磁石130は、永久磁石でよい。コイル140は、電流が流れることにより、磁石130を吸引または反発する磁場を発生させる。これにより、コイル140は、磁石130を光学部品ごと移動させてよい。   One of the magnet 130 and the coil 140 is fixed to the housing of the measurement apparatus 100, and the other is attached to an optical component included in the optical system 110. That is, one of the magnet 130 and the coil 140 is attached to the first mirror 114 or the second mirror 116 as an optical component. The magnet 130 may be a permanent magnet. The coil 140 generates a magnetic field that attracts or repels the magnet 130 when a current flows. Thereby, the coil 140 may move the magnet 130 together with the optical components.

図2は、磁石130が第1ミラー114に取り付けられ、コイル140が筐体に固定された例を示す。この場合、コイル140は、電流が流れることに応じて、第1ミラー114を移動させることになる。即ち、図2は、第1ミラー114が移動鏡であり、第2ミラー116が固定鏡となる例を示す。図2の例において、コイル140は、第1ミラー114をX方向と略平行に移動させる。   FIG. 2 shows an example in which the magnet 130 is attached to the first mirror 114 and the coil 140 is fixed to the housing. In this case, the coil 140 moves the first mirror 114 according to the current flowing. That is, FIG. 2 shows an example in which the first mirror 114 is a moving mirror and the second mirror 116 is a fixed mirror. In the example of FIG. 2, the coil 140 moves the first mirror 114 substantially parallel to the X direction.

磁気センサ150は、コイル140に対して固定された位置に設けられ、当該磁石130の磁場の強さを検出する。即ち、磁気センサ150は、コイル140によって移動する磁石130の磁場を検出する。即ち、磁気センサ150は、磁石130の位置に応じた磁場の強さを検出する。磁気センサ150は、ホール素子、磁気抵抗素子(MR)、巨大磁気抵抗素子(GMR)、トンネル効果磁気抵抗素子(TMR)、マグネトインピーダンス素子(MI素子)GMR(Giant Magneto Resistive)素子、および/またはインダクタンスセンサ等を有してよい。   The magnetic sensor 150 is provided at a position fixed with respect to the coil 140 and detects the strength of the magnetic field of the magnet 130. That is, the magnetic sensor 150 detects the magnetic field of the magnet 130 that is moved by the coil 140. That is, the magnetic sensor 150 detects the strength of the magnetic field according to the position of the magnet 130. The magnetic sensor 150 includes a Hall element, a magnetoresistive element (MR), a giant magnetoresistive element (GMR), a tunnel effect magnetoresistive element (TMR), a magneto-impedance element (MI element) GMR (Giant Magneto Resistive) element, and / or An inductance sensor or the like may be included.

駆動部160は、コイル140に駆動電流を流して光学部品を駆動して、光学系110が抽出する光成分の対象波長を変更する。即ち、駆動部160は、第1ミラー114を移動させて、光学系110において分岐した2つの光の光路差を調節する。また、駆動部160は、磁気センサ150により検出された磁場の強さを用いて、光学部品の位置を特定する。即ち、駆動部160は、磁石130の位置に応じた磁場の強さに応じて第1ミラー114の位置を特定し、特定した位置に基づき、第1ミラー114を移動させる。このように、本実施形態に係る測定装置100は、駆動用磁石と位置検出用磁石を1つの磁石で兼用するので、部材点数の削減および小型化が可能になる。なお、着磁は2極磁石や4極磁石が好ましいが、それ以外でも構わない。   The driving unit 160 drives the optical component by passing a driving current through the coil 140 to change the target wavelength of the light component extracted by the optical system 110. That is, the drive unit 160 moves the first mirror 114 to adjust the optical path difference between the two lights branched in the optical system 110. Further, the drive unit 160 specifies the position of the optical component using the strength of the magnetic field detected by the magnetic sensor 150. That is, the drive unit 160 specifies the position of the first mirror 114 according to the strength of the magnetic field corresponding to the position of the magnet 130, and moves the first mirror 114 based on the specified position. Thus, since the measuring apparatus 100 according to the present embodiment combines the driving magnet and the position detection magnet with one magnet, the number of members can be reduced and the size can be reduced. Magnetization is preferably a dipole magnet or a quadrupole magnet, but other magnets may be used.

これにより、駆動部160は、第1ミラー114の位置を予め定められた位置に移動させるようにフィードバック制御して、精度良く第1ミラー114を位置決めできる。これにより、駆動部160は、光学系110が抽出する光成分の対象波長を、測定対象の吸収線等に略一致させることができる。また、これに加えて、駆動部160は、第1ミラー114を予め定められた第1位置から第2位置までを移動させてもよい。これにより、駆動部160は、光学系110が抽出する光成分の対象波長を掃引させることができる。   Thereby, the drive part 160 can feedback-control so that the position of the 1st mirror 114 may be moved to a predetermined position, and can position the 1st mirror 114 accurately. Thereby, the drive unit 160 can substantially match the target wavelength of the light component extracted by the optical system 110 with the absorption line or the like of the measurement target. In addition to this, the drive unit 160 may move the first mirror 114 from a predetermined first position to a second position. Accordingly, the driving unit 160 can sweep the target wavelength of the light component extracted by the optical system 110.

測定部170は、光センサ部120により検出された光成分を測定する。測定部170は、例えば、第1ミラー114の複数の位置に対する光センサ部120の検出結果をフーリエ変換することにより、光学系110に入射する光の光スペクトラムを測定する。測定部170は、入射光の光スペクトラムと、入射光の経路に測定対象を挿入した場合に測定される光スペクトラムとの波長毎の比を算出することにより、測定対象の光吸収(透過)スペクトルを測定してよい。   The measurement unit 170 measures the light component detected by the optical sensor unit 120. The measurement unit 170 measures the optical spectrum of the light incident on the optical system 110 by, for example, Fourier transforming the detection results of the optical sensor unit 120 for a plurality of positions of the first mirror 114. The measurement unit 170 calculates a ratio for each wavelength between the optical spectrum of the incident light and the optical spectrum measured when the measurement target is inserted in the path of the incident light, thereby measuring the light absorption (transmission) spectrum of the measurement target. May be measured.

測定部170は、物質に固有の吸収線等に対応する吸収の有無、および吸収量から、測定対象に含まれる成分を特定してよい。また、測定部170は、対象波長を掃引した帯域の光透過スペクトルを測定できるので、複数の吸収線等に対応する吸収量を測定することができる。即ち、測定部170は、測定対象に含まれる成分を複数特定してもよい。なお、測定対象が挿入する前の初期状態の光スペクトラムは、予め測定して記憶部等に記憶されてよい。また、測定対象物を通らない行路の光を測定のリファレンスとしてもよい。この場合、測定装置100は、測定対象物を通る光を測定する光センサ部120に加えて、リファレンス測定用の光センサ部を更に設けてもよい。これに代えて、測定装置100は、リファレンス測定の場合に、光センサ部120を移動させてもよい。また、ソフトウエア処理にてバックグラウンドを求めてもよい。   The measurement unit 170 may specify a component included in the measurement target from the presence / absence of absorption corresponding to an absorption line unique to the substance and the amount of absorption. Moreover, since the measurement part 170 can measure the light transmission spectrum of the band which swept the object wavelength, it can measure the amount of absorption corresponding to a plurality of absorption lines and the like. That is, the measurement unit 170 may specify a plurality of components included in the measurement target. Note that the optical spectrum in the initial state before the measurement object is inserted may be measured in advance and stored in a storage unit or the like. Alternatively, light on a path that does not pass through the measurement target may be used as a measurement reference. In this case, the measuring apparatus 100 may further include an optical sensor unit for reference measurement in addition to the optical sensor unit 120 that measures light passing through the measurement object. Instead of this, the measurement apparatus 100 may move the optical sensor unit 120 in the case of reference measurement. Further, the background may be obtained by software processing.

これにより、測定部170は、一例として、入射光の光成分が通過する領域に位置し、当該光成分の一部を透過させる測定対象の成分を測定することができる。なお、測定対象は、当該測定装置100の外部の外気を含んでよい。この場合、光学系110は、外気中を通過した入射光から光成分を抽出し、測定部170は、当該光成分を用いて外気中における対象の気体成分を測定してよい。これに代えて、またはこれに加えて、測定対象は、当該測定装置100の内部の気体を含んでもよい。この場合、測定対象は、光学系110から光センサ部120の間の領域の気体を含んでもよい。また、測定装置100は、外気を測定装置100の内部に取り込んで当該外気を測定してもよい。   Thereby, the measurement part 170 can be located in the area | region through which the optical component of incident light passes as an example, and can measure the component of the measuring object which permeate | transmits a part of the said optical component. Note that the measurement target may include outside air outside the measurement apparatus 100. In this case, the optical system 110 may extract a light component from incident light that has passed through the outside air, and the measurement unit 170 may measure a target gas component in the outside air using the light component. Instead of or in addition to this, the measurement object may include a gas inside the measurement apparatus 100. In this case, the measurement target may include a gas in a region between the optical system 110 and the optical sensor unit 120. Moreover, the measuring device 100 may take outside air into the measuring device 100 and measure the outside air.

以上のように、本実施形態に係る測定装置100は、磁石130およびコイル140を用いて光学部品である第1ミラー114を移動させることにより、移動させた距離に応じた波長帯域の光透過スペクトルを測定できる。このような磁石130およびコイル140は、光学部品の大きさと比較して小さくすることができ、モータ、動力シリンダ、およびリニアアクチュエータ等と比較して、より小さい駆動装置を形成することができる。また、磁気センサ150と駆動部160とを同一のICとして一体化すれば、より小さくすることができる。ここで、駆動部160には、PID制御を行う制御部とコイルを駆動するドライバとが含まれてよい。   As described above, the measuring apparatus 100 according to the present embodiment moves the first mirror 114, which is an optical component, using the magnet 130 and the coil 140, and thereby transmits a light transmission spectrum in a wavelength band corresponding to the moved distance. Can be measured. Such magnets 130 and coils 140 can be made smaller compared to the size of the optical components, and smaller drive devices can be formed compared to motors, power cylinders, linear actuators, and the like. Further, if the magnetic sensor 150 and the driving unit 160 are integrated as the same IC, the size can be further reduced. Here, the drive unit 160 may include a control unit that performs PID control and a driver that drives a coil.

磁石130およびコイル140の組み合わせは、光学部品の可動範囲を数百μm程度以上にすることができる。また、磁石130およびコイル140は、それぞれ複数設けられてよく、この場合、光学部品の可動範囲を更に広くすることができる。また、測定装置100は、このような光学部品の移動を、磁気センサ150を用いてフィードバック制御することができるので、位置精度を数μm程度以下にすることができる。したがって、本実施形態に係る測定装置100によれば、小型かつ低コストで、複数の対象波長の光成分を測定することができる。   The combination of the magnet 130 and the coil 140 can make the movable range of the optical component about several hundred μm or more. A plurality of magnets 130 and coils 140 may be provided, and in this case, the movable range of the optical component can be further widened. Moreover, since the measuring apparatus 100 can feedback-control the movement of such optical components using the magnetic sensor 150, the position accuracy can be reduced to about several μm or less. Therefore, according to the measuring apparatus 100 according to the present embodiment, it is possible to measure light components of a plurality of target wavelengths with a small size and low cost.

以上の本実施形態に係る測定装置100は、磁石130およびコイル140を用いて、第1ミラー114を移動させることを説明した。これに代えて、測定装置100は、磁石130およびコイル140を用いて、第2ミラー116を移動させてもよい。即ち、第1ミラー114が固定鏡であり、第2ミラー116が移動鏡であってもよく、この場合、コイル140は、第2ミラー116の近傍に配置されて当該第2ミラー116をY方向と略平行に移動させる。   The measurement apparatus 100 according to this embodiment described above has been described using the magnet 130 and the coil 140 to move the first mirror 114. Instead of this, the measuring apparatus 100 may move the second mirror 116 using the magnet 130 and the coil 140. That is, the first mirror 114 may be a fixed mirror and the second mirror 116 may be a movable mirror. In this case, the coil 140 is disposed in the vicinity of the second mirror 116 and moves the second mirror 116 in the Y direction. And move it approximately parallel.

また、測定装置100は、第1ミラー114の移動に加えて、第2ミラー116を更に移動させてもよい。即ち、第1ミラー114および第2ミラー116がそれぞれ移動鏡であってもよい。この場合、測定装置100は、第1ミラー114に対応する磁石130およびコイル140に加えて、第2ミラー116に固定された第2磁石と、第2磁石を第2ミラー116ごと移動させる第2コイルを備えてよい。また、測定装置100は、第2ミラー116の位置に応じた磁場を検出する第2磁気センサを更に備えてもよい。   In addition to the movement of the first mirror 114, the measuring apparatus 100 may further move the second mirror 116. That is, each of the first mirror 114 and the second mirror 116 may be a movable mirror. In this case, in addition to the magnet 130 and the coil 140 corresponding to the first mirror 114, the measuring device 100 moves the second magnet fixed to the second mirror 116 and the second magnet 116 together with the second mirror 116. A coil may be provided. The measuring apparatus 100 may further include a second magnetic sensor that detects a magnetic field according to the position of the second mirror 116.

磁石130、コイル140、および磁気センサ150は、小型に形成することができるので、測定装置100は、複数の光学部品に対応してこれらをそれぞれ設け、当該複数の光学部品をそれぞれ移動可能にしてよい。測定装置100は、例えば、第1ミラー114および第2ミラー116を移動可能とすることにより、対象波長の掃引幅および掃引速度を向上させることができる。また、一方の可動鏡が故障した場合に、他方の移動鏡を移動させることにより、装置を長寿命化させることもできる。   Since the magnet 130, the coil 140, and the magnetic sensor 150 can be formed in a small size, the measuring apparatus 100 is provided with each corresponding to a plurality of optical components, and each of the plurality of optical components can be moved. Good. For example, the measurement apparatus 100 can improve the sweep width and sweep speed of the target wavelength by making the first mirror 114 and the second mirror 116 movable. In addition, when one movable mirror breaks down, the life of the apparatus can be extended by moving the other movable mirror.

なお、ミラー等の光学部品は、ボールガイド、シャフト、およびスプリング等を用いて、所定の方向に移動可能に設けられてよい。また、磁石は、バックヨークを用いることで、光学部材の保持力を持たせる構成としてもよい。また、ミラーは、凹面および凸面を有してよく、平面上だけではなく、湾曲し、焦点を合わせる形状であってもよい。   The optical component such as a mirror may be provided so as to be movable in a predetermined direction using a ball guide, a shaft, a spring, and the like. Further, the magnet may be configured to have a holding force of the optical member by using a back yoke. Further, the mirror may have a concave surface and a convex surface, and may have a curved and focused shape as well as a flat surface.

図3は、本実施形態に係る測定装置100の第2構成例を示す。図3に示す第2構成例の測定装置100において、図2に示された本実施形態に係る測定装置100の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。第2構成例の測定装置100は、磁石130が筐体に固定され、コイル140が第1ミラー114に取り付けられた例を示す。   FIG. 3 shows a second configuration example of the measuring apparatus 100 according to the present embodiment. In the measurement apparatus 100 of the second configuration example shown in FIG. 3, the same reference numerals are given to substantially the same operations as those of the measurement apparatus 100 according to the present embodiment shown in FIG. 2, and description thereof is omitted. The measuring apparatus 100 of the second configuration example shows an example in which the magnet 130 is fixed to the housing and the coil 140 is attached to the first mirror 114.

この場合、磁石130は、磁性材料等の芯の周囲にコイルが巻かれ、当該コイルに電流を流すことによって磁場が発生する電磁石でよい。駆動部160は、磁石130に電流を供給することにより、コイル140を吸引して第1ミラー114を移動させる。また、測定装置100は、このような磁石130を複数備えてよく、駆動部160は、複数の磁石130にそれぞれ供給する電流を変更して、第1ミラー114を移動させてよい。この場合、測定装置100は、コイル140に代えて、またはコイル140に加えて、ヨークを備えてもよい。   In this case, the magnet 130 may be an electromagnet in which a coil is wound around a core made of a magnetic material or the like and a magnetic field is generated by passing a current through the coil. The driving unit 160 attracts the coil 140 and moves the first mirror 114 by supplying a current to the magnet 130. The measuring apparatus 100 may include a plurality of such magnets 130, and the driving unit 160 may change the currents supplied to the plurality of magnets 130 and move the first mirror 114. In this case, the measuring apparatus 100 may include a yoke instead of or in addition to the coil 140.

これに代えて、駆動部160は、第1ミラー114に取り付けられたコイル140に電流を供給し、筐体に固定された磁石130を吸引または反発させて第1ミラー114を移動させてもよい。また、駆動部160は、同様に、第2ミラー116を移動させてもよい。   Instead, the driving unit 160 may supply current to the coil 140 attached to the first mirror 114, and move the first mirror 114 by attracting or repelling the magnet 130 fixed to the housing. . Similarly, the drive unit 160 may move the second mirror 116.

また、第2構成例の測定装置100は、光学部品に取り付けられた位置検出用磁石210を更に備える。この場合、磁気センサ150は、測定装置100の筐体に対して固定される。駆動部160は、磁気センサ150により検出された、位置検出用磁石210による磁場の強さを用いて、光学部品の位置を特定する。   The measuring apparatus 100 of the second configuration example further includes a position detection magnet 210 attached to the optical component. In this case, the magnetic sensor 150 is fixed to the housing of the measuring apparatus 100. The drive unit 160 specifies the position of the optical component using the strength of the magnetic field detected by the magnetic sensor 150 and generated by the position detection magnet 210.

これに代えて、第2構成例の測定装置100は、磁気センサ150が光学部品に取り付けられ、位置検出用磁石210が測定装置の筐体に対して固定されてもよい。この場合においても、駆動部160は、磁気センサ150により検出された、位置検出用磁石210による磁場の強さを用いて、光学部品の位置を特定することができる。   Instead of this, in the measuring apparatus 100 of the second configuration example, the magnetic sensor 150 may be attached to the optical component, and the position detection magnet 210 may be fixed to the housing of the measuring apparatus. Even in this case, the driving unit 160 can specify the position of the optical component using the strength of the magnetic field detected by the magnetic sensor 150 and generated by the position detection magnet 210.

図4は、本実施形態に係る測定装置100の第3構成例を示す。図4に示す第3構成例の測定装置100において、図2および図3に示された本実施形態に係る測定装置100の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。   FIG. 4 shows a third configuration example of the measuring apparatus 100 according to the present embodiment. In the measurement apparatus 100 of the third configuration example shown in FIG. 4, the same reference numerals are given to substantially the same operations as those of the measurement apparatus 100 according to the present embodiment shown in FIGS. 2 and 3, and the description thereof is omitted. .

第3構成例の測定装置100は、磁石130が第1ミラー114に取り付けられ、コイル140が筐体に固定された例を示す。この場合の磁石130およびコイル140の動作は、図1で説明した動作と略同一である。また第3構成例の測定装置100は、光学部品に取り付けられた位置検出用磁石210を更に備える。磁気センサ150は、測定装置100の筐体に対して固定される。駆動部160は、磁気センサ150により検出された、位置検出用磁石210による磁場の強さを用いて、光学部品の位置を特定する。以上の第2構成例および第3構成例で示した測定装置100のように、光学部品を移動させる場合に用いる磁石と、光学部品の位置を特定する場合に用いる磁石は、別個独立に設けられてよい。   The measuring apparatus 100 of the third configuration example shows an example in which the magnet 130 is attached to the first mirror 114 and the coil 140 is fixed to the casing. The operations of the magnet 130 and the coil 140 in this case are substantially the same as the operations described in FIG. The measuring apparatus 100 of the third configuration example further includes a position detection magnet 210 attached to the optical component. The magnetic sensor 150 is fixed to the housing of the measuring apparatus 100. The drive unit 160 specifies the position of the optical component using the strength of the magnetic field detected by the magnetic sensor 150 and generated by the position detection magnet 210. As in the measurement apparatus 100 shown in the second configuration example and the third configuration example above, the magnet used when moving the optical component and the magnet used when specifying the position of the optical component are provided separately and independently. It's okay.

以上の本実施形態に係る測定装置100は、磁石130およびコイル140を用いて、第1ミラー114および/または第2ミラー116を移動させることを説明した。これに加えて、測定装置100は、光センサ部120を移動させてもよい。測定装置100は、第3磁石および第3コイルを更に備え、第3磁石および第3コイルのうちの一方を、測定装置100の筐体に固定し、他方を光センサ部120に取り付けてよい。   The measurement apparatus 100 according to the present embodiment described above has been described using the magnet 130 and the coil 140 to move the first mirror 114 and / or the second mirror 116. In addition to this, the measuring apparatus 100 may move the optical sensor unit 120. The measuring apparatus 100 may further include a third magnet and a third coil, and one of the third magnet and the third coil may be fixed to the housing of the measuring apparatus 100 and the other may be attached to the optical sensor unit 120.

測定装置100は、一例として、光センサ部120をY方向と略平行な方向に移動可能にしてよい。例えば、測定装置100は、駆動部160が光センサ部120を+Y方向に移動させて光学系110および光センサ部120の間の距離を近接させた第1距離において、第1光スペクトルを測定する。そして、測定装置100は、駆動部160が光センサ部120を−Y方向に移動させて光学系110および光センサ部120の間の距離を離間させた第2距離において、第2光スペクトルを測定する。   For example, the measuring apparatus 100 may make the optical sensor unit 120 movable in a direction substantially parallel to the Y direction. For example, the measurement apparatus 100 measures the first optical spectrum at the first distance in which the driving unit 160 moves the optical sensor unit 120 in the + Y direction to bring the distance between the optical system 110 and the optical sensor unit 120 closer. . Then, the measuring apparatus 100 measures the second optical spectrum at the second distance in which the driving unit 160 moves the optical sensor unit 120 in the −Y direction to separate the distance between the optical system 110 and the optical sensor unit 120. To do.

このように、測定装置100は、光学系110および光センサ部120の間の距離を変更させるので、光学系110から射出された光成分が測定対象を通過する距離を変更させることができる。即ち、光学系110および光センサ部120の間の気体を測定対象とすることができる。したがって、例えば、第1スペクトルに対する第2スペクトルの波長毎の比を算出することにより、第1距離および第2距離の差分において、光成分が測定対象によって吸収される吸収スペクトルを測定することができる。   Thus, since the measuring apparatus 100 changes the distance between the optical system 110 and the optical sensor unit 120, the distance by which the light component emitted from the optical system 110 passes through the measurement target can be changed. That is, the gas between the optical system 110 and the optical sensor unit 120 can be a measurement target. Therefore, for example, by calculating the ratio of the second spectrum for each wavelength with respect to the first spectrum, the absorption spectrum in which the light component is absorbed by the measurement object can be measured at the difference between the first distance and the second distance. .

図5は、本実施形態に係る測定装置100の第4構成例を示す。図5に示す第4構成例の測定装置100において、図2に示された本実施形態に係る測定装置100の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。第4構成例の測定装置100は、光学系110が、光学部品として分光プリズム220を有する。分光プリズム220は、入射光が光センサ部120に受光される前に当該分光プリズム220を通過するように、入射光の入力部および光センサ部120の間に設けられる。   FIG. 5 shows a fourth configuration example of the measuring apparatus 100 according to the present embodiment. In the measurement apparatus 100 of the fourth configuration example shown in FIG. 5, the same reference numerals are given to substantially the same operations as those of the measurement apparatus 100 according to the present embodiment shown in FIG. 2, and description thereof is omitted. In the measurement apparatus 100 of the fourth configuration example, the optical system 110 includes a spectral prism 220 as an optical component. The spectral prism 220 is provided between the incident light input unit and the optical sensor unit 120 so that the incident light passes through the spectral prism 220 before being received by the optical sensor unit 120.

分光プリズム220は、入射光を波長分散させて光スペクトルを出射する。即ち、分光プリズム220は、入射光を波長に応じた方向に屈折させて射出する。したがって、光センサ部120を対象波長に対応する屈折方向に配置することで、当該光センサ部120は、当該対象波長の光成分を受光できる。また、複数の対象波長の屈折方向が光センサ部120の方向を向くように分光プリズム220を移動させることで、光センサ部120は、複数の対象波長の光成分を分光プリズム220の移動に伴って受光できる。   The spectral prism 220 emits an optical spectrum by wavelength-dispersing incident light. That is, the spectroscopic prism 220 refracts incident light in a direction corresponding to the wavelength and emits it. Therefore, by arranging the optical sensor unit 120 in the refraction direction corresponding to the target wavelength, the optical sensor unit 120 can receive the light component of the target wavelength. Further, by moving the spectral prism 220 so that the refraction directions of the plurality of target wavelengths are directed toward the optical sensor unit 120, the optical sensor unit 120 causes the light components of the plurality of target wavelengths to move along with the movement of the spectral prism 220. Can receive light.

そこで、第4構成例の測定装置100は、磁石130およびコイル140のうちの一方を、測定装置100の筐体に固定し、他方を分光プリズム220に取り付ける。そして、駆動部160は、コイル140に駆動電流を流して光学部品である分光プリズム220を駆動して、対象波長を変更する。駆動部160は、入射光の分光プリズム220に対する入射角を変更させるように、分光プリズム220を移動させる。駆動部160は、例えば、XY平面における−Y方向に入射光が入射する場合、当該XY平面と略垂直なZ方向を回転軸として分光プリズム220を回転させる。   Therefore, in the measurement apparatus 100 of the fourth configuration example, one of the magnet 130 and the coil 140 is fixed to the housing of the measurement apparatus 100 and the other is attached to the spectroscopic prism 220. Then, the drive unit 160 drives the spectral prism 220, which is an optical component, by passing a drive current through the coil 140 to change the target wavelength. The drive unit 160 moves the spectroscopic prism 220 so as to change the incident angle of the incident light with respect to the spectroscopic prism 220. For example, when incident light is incident in the −Y direction on the XY plane, the driving unit 160 rotates the spectroscopic prism 220 about the Z direction substantially perpendicular to the XY plane.

図5は、分光プリズム220に磁石130を取り付け、コイル140を測定装置100の筐体に固定した例を示す。測定装置100は、図2で説明したように、コイル140に対して固定された位置に設けられる磁気センサ150が設けられてよく、この場合、駆動部160は、磁気センサ150により検出された磁場の強さを用いて分光プリズム220の位置を特定してよい。また、駆動部160は、特定した分光プリズム220の位置を用いて、分光プリズム220の位置をフィードバック制御してよい。   FIG. 5 shows an example in which the magnet 130 is attached to the spectroscopic prism 220 and the coil 140 is fixed to the housing of the measuring apparatus 100. As described with reference to FIG. 2, the measuring apparatus 100 may be provided with a magnetic sensor 150 provided at a position fixed with respect to the coil 140. In this case, the driving unit 160 detects the magnetic field detected by the magnetic sensor 150. The position of the spectroscopic prism 220 may be specified using the intensity of. In addition, the driving unit 160 may perform feedback control on the position of the spectroscopic prism 220 using the position of the spectroscopic prism 220 thus identified.

なお、本実施形態における測定装置100においても、図3および図4で説明したように、コイル140が分光プリズム220に取り付けられて磁石130が固定されてよく、また、位置検出用磁石210が更に設けられてもよい。   In the measurement apparatus 100 according to this embodiment, as described with reference to FIGS. 3 and 4, the coil 140 may be attached to the spectroscopic prism 220 and the magnet 130 may be fixed, and the position detection magnet 210 may be further provided. It may be provided.

本実施形態における測定装置100は、分光プリズム220を移動させて対象波長を変更する例を説明したが、これに代えて、光センサ部120を移動させてもよい。分光プリズム220は、入射光を波長に応じた方向に屈折させて射出するので、光センサ部120を対象波長に対応する位置に配置することで、当該光センサ部120は、対象波長の光成分を受光することができる。したがって、光センサ部120を複数の対象波長に対応する複数の位置に移動させれば、当該光センサ部120は、当該複数の対象波長の光成分を移動に伴って受光することができる。   Although the measuring apparatus 100 in this embodiment demonstrated the example which moves the spectral prism 220 and changes an object wavelength, it may replace with this and may move the optical sensor part 120. FIG. Since the spectroscopic prism 220 refracts the incident light in the direction corresponding to the wavelength and emits it, the optical sensor unit 120 is arranged at a position corresponding to the target wavelength, so that the optical sensor unit 120 has the light component of the target wavelength. Can be received. Therefore, if the optical sensor unit 120 is moved to a plurality of positions corresponding to a plurality of target wavelengths, the optical sensor unit 120 can receive light components of the plurality of target wavelengths as they move.

そこで、測定装置100は、磁石130およびコイル140のうちの一方を、測定装置100の筐体に固定し、他方を光センサ部120に取り付けてよい。そして、駆動部160は、コイル140に駆動電流を流して光センサ部120を駆動して、対象波長を変更する。この場合、磁気センサ150は、光センサ部120に取り付けられた磁石130または位置検出用磁石210の磁場を検出し、駆動部160は、磁気センサ150により検出された磁場の強さを用いて光センサ部120の位置を特定してよい。   Therefore, the measurement apparatus 100 may fix one of the magnet 130 and the coil 140 to the housing of the measurement apparatus 100 and attach the other to the optical sensor unit 120. Then, the driving unit 160 drives the optical sensor unit 120 by passing a driving current through the coil 140 to change the target wavelength. In this case, the magnetic sensor 150 detects the magnetic field of the magnet 130 or the position detection magnet 210 attached to the optical sensor unit 120, and the driving unit 160 uses the intensity of the magnetic field detected by the magnetic sensor 150 to perform light The position of the sensor unit 120 may be specified.

また、測定装置100は、分光プリズム220および光センサ部120をそれぞれ移動させてもよい。以上のように、第4構成例の測定装置100は、分光プリズム220および/または光センサ部120を磁石130およびコイル140を用いて移動させて、光スペクトルを測定することができるので、図2で説明したように、測定対象の光透過スペクトルを測定することもできる。即ち、本実施形態に係る測定装置100によれば、小型かつ低コストで、複数の対象波長の光成分を測定することができる。   Moreover, the measuring apparatus 100 may move the spectroscopic prism 220 and the optical sensor unit 120, respectively. As described above, the measurement apparatus 100 of the fourth configuration example can measure the optical spectrum by moving the spectroscopic prism 220 and / or the optical sensor unit 120 using the magnet 130 and the coil 140, and therefore, FIG. As described above, the light transmission spectrum of the measurement object can also be measured. That is, according to the measurement apparatus 100 according to the present embodiment, it is possible to measure light components of a plurality of target wavelengths with a small size and low cost.

図6は、本実施形態に係る測定装置100の第5構成例を示す。図6に示す第5構成例の測定装置100において、図2および図5に示された本実施形態に係る測定装置100の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。第5構成例の測定装置100は、光学系110が光学部品としてのエタロン230を含むファブリペロー干渉計である。エタロン230は、入射光が光センサ部120に受光される前に当該エタロン230を通過するように、入射光の入力部およびエタロン230の間に設けられてよい。   FIG. 6 shows a fifth configuration example of the measuring apparatus 100 according to the present embodiment. In the measurement apparatus 100 of the fifth configuration example shown in FIG. 6, the same reference numerals are given to substantially the same operations as those of the measurement apparatus 100 according to the present embodiment shown in FIGS. 2 and 5, and description thereof is omitted. . The measurement apparatus 100 of the fifth configuration example is a Fabry-Perot interferometer in which the optical system 110 includes an etalon 230 as an optical component. The etalon 230 may be provided between the incident light input unit and the etalon 230 so that the incident light passes through the etalon 230 before being received by the optical sensor unit 120.

エタロン230は、入射光を多重干渉させる2つの対向する反射面を有し、当該2つの反射面の光路差に応じた周期的な透過ピークを有する波長フィルタである。したがって、エタロン230は、2つの対向する反射面の間隔に応じた波長を透過させる波長フィルタとなる。また、エタロン230の2つの反射面に入射光が入射する角度に応じて、当該2つの反射面に対する当該入射光の光路差が変化するので、当該エタロン230の透過波長は、入射角度に応じて変化することになる。   The etalon 230 is a wavelength filter having two opposing reflecting surfaces that cause multiple interference of incident light, and having a periodic transmission peak corresponding to the optical path difference between the two reflecting surfaces. Therefore, the etalon 230 becomes a wavelength filter that transmits a wavelength corresponding to the interval between two opposing reflecting surfaces. Further, since the optical path difference of the incident light with respect to the two reflecting surfaces changes according to the angle at which the incident light enters the two reflecting surfaces of the etalon 230, the transmission wavelength of the etalon 230 depends on the incident angle. Will change.

したがって、測定装置100がエタロン230の入射光に対する角度を調整することで、当該エタロン230の透過波長を対象波長に略一致させることができ、光センサ部120は、当該対象波長の光成分を受光できる。また、測定装置100が、エタロン230の透過波長を複数の対象波長と一致させるようにエタロン230を移動させることで、光センサ部120は、複数の対象波長の光成分をエタロン230の移動に伴って受光できる。   Therefore, the measurement apparatus 100 can adjust the angle of the etalon 230 with respect to the incident light, so that the transmission wavelength of the etalon 230 can be substantially matched with the target wavelength, and the optical sensor unit 120 receives the light component of the target wavelength. it can. In addition, the measurement apparatus 100 moves the etalon 230 so that the transmission wavelength of the etalon 230 matches the plurality of target wavelengths, so that the optical sensor unit 120 causes the light components of the plurality of target wavelengths to move along with the movement of the etalon 230. Can receive light.

そこで、第5構成例の測定装置100は、磁石130およびコイル140のうちの一方を、測定装置100の筐体に固定し、他方をエタロン230に取り付ける。そして、駆動部160は、コイル140に駆動電流を流して光学部品であるエタロン230を駆動して、対象波長を変更する。駆動部160は、入射光のエタロン230に対する入射角を変更させるように、エタロン230を移動させる。駆動部160は、例えば、XY平面における−Y方向に入射光が入射する場合、当該XY平面と略垂直なZ方向を回転軸としてエタロン230を回転させる。   Therefore, in the measurement apparatus 100 of the fifth configuration example, one of the magnet 130 and the coil 140 is fixed to the housing of the measurement apparatus 100 and the other is attached to the etalon 230. Then, the driving unit 160 drives the etalon 230, which is an optical component, by passing a driving current through the coil 140 to change the target wavelength. The driving unit 160 moves the etalon 230 so as to change the incident angle of the incident light with respect to the etalon 230. For example, when incident light is incident in the −Y direction on the XY plane, the driving unit 160 rotates the etalon 230 about the Z direction substantially perpendicular to the XY plane.

図6は、エタロン230に磁石130を取り付け、コイル140を測定装置100の筐体に固定した例を示す。測定装置100は、図2で説明したように、コイル140に対して固定された位置に設けられる磁気センサ150が設けられてよく、この場合、駆動部160は、磁気センサ150により検出された磁場の強さを用いてエタロン230の位置を特定してよい。また、駆動部160は、特定したエタロン230の位置を用いて、エタロン230の位置をフィードバック制御してよい。   FIG. 6 shows an example in which the magnet 130 is attached to the etalon 230 and the coil 140 is fixed to the housing of the measuring apparatus 100. As described with reference to FIG. 2, the measuring apparatus 100 may be provided with a magnetic sensor 150 provided at a position fixed with respect to the coil 140. In this case, the driving unit 160 detects the magnetic field detected by the magnetic sensor 150. The position of the etalon 230 may be specified using the strength of. Further, the driving unit 160 may perform feedback control of the position of the etalon 230 using the specified position of the etalon 230.

なお、本実施形態における測定装置100においても、図3および図4で説明したように、コイル140がエタロン230に取り付けられて磁石130が固定されてよく、また、位置検出用磁石210が更に設けられてもよい。以上のように、第5構成例の測定装置100は、エタロン230を磁石130およびコイル140を用いて移動させて、複数の対象波長の光成分を測定することができるので、測定対象の光透過スペクトルを測定することもできる。即ち、本実施形態に係る測定装置100によれば、小型かつ低コストで、複数の対象波長の光成分を測定することができる。   In the measurement apparatus 100 according to the present embodiment, as described with reference to FIGS. 3 and 4, the coil 140 may be attached to the etalon 230 and the magnet 130 may be fixed, and the position detection magnet 210 may be further provided. May be. As described above, the measurement apparatus 100 of the fifth configuration example can measure the light components of a plurality of target wavelengths by moving the etalon 230 using the magnet 130 and the coil 140, so that the light transmission of the measurement target is performed. A spectrum can also be measured. That is, according to the measurement apparatus 100 according to the present embodiment, it is possible to measure light components of a plurality of target wavelengths with a small size and low cost.

以上の本実施形態に係る測定装置100は、磁石130およびコイル140を用いて光学系110の光学部品および/または光センサ部120を移動させて、測定すべき対象波長を変更して、複数の対象波長の光成分を測定することを説明した。ここで、光学系110の光学部品は、図2から図6で説明したミラー、分光プリズム、およびエタロンといった光学部品に限定されない。光学部品は、グレーティング、長手方向の位置に応じて通過波長が異なるバンドパスフィルタ、液晶フィルタ、または導波路型フィルタ等でもよい。   The measurement apparatus 100 according to the present embodiment described above moves the optical components of the optical system 110 and / or the optical sensor unit 120 using the magnet 130 and the coil 140, changes the target wavelength to be measured, The measurement of the light component of the target wavelength has been described. Here, the optical components of the optical system 110 are not limited to the optical components such as the mirror, the spectroscopic prism, and the etalon described with reference to FIGS. The optical component may be a grating, a bandpass filter having a different pass wavelength depending on the position in the longitudinal direction, a liquid crystal filter, or a waveguide filter.

以上のように、本実施形態に係る測定装置100は、磁石130およびコイル140を用いた簡素な構成で光学部品等を移動させるので、測定対象の成分等を測定する測定装置を小型にすることができる。したがって、測定装置100は、携帯型の測定装置として形成されてよく、また、携帯型の装置または携帯端末等に組み込まれてもよい。測定装置100が携帯端末に組み込まれた場合の例を次に説明する。   As described above, since the measuring apparatus 100 according to the present embodiment moves the optical components and the like with a simple configuration using the magnet 130 and the coil 140, the measuring apparatus for measuring the component to be measured is downsized. Can do. Therefore, the measuring device 100 may be formed as a portable measuring device, or may be incorporated into a portable device or a portable terminal. Next, an example in which the measuring apparatus 100 is incorporated in a mobile terminal will be described.

図7は、本実施形態に係る携帯端末300の構成例を示す。携帯端末300は、例えば、スマートフォン、携帯電話、タブレット型PC、時計、またはパソコン等である。携帯端末300は、測定装置100と、筐体310と、情報処理部320と、無線通信部330と、表示部340と、光源部350と、を備える。測定装置100は、図2から図6で説明した測定装置100のうちのいずれかでよい。本実施形態において、測定装置100は、携帯端末300の周囲の外気に含まれる気体の成分を測定するガスセンサとして機能する例を説明する。   FIG. 7 shows a configuration example of the mobile terminal 300 according to the present embodiment. The mobile terminal 300 is, for example, a smartphone, a mobile phone, a tablet PC, a watch, a personal computer, or the like. The mobile terminal 300 includes the measurement device 100, a housing 310, an information processing unit 320, a wireless communication unit 330, a display unit 340, and a light source unit 350. The measuring device 100 may be any of the measuring devices 100 described with reference to FIGS. In the present embodiment, an example in which the measurement apparatus 100 functions as a gas sensor that measures a gas component contained in the outside air around the mobile terminal 300 will be described.

筐体310は、測定装置100を含む各部を収容する。筐体310は、外気を測定装置100の測定対象とするように、外気を内部に取り入れる穴部312を有する。測定装置100は、穴部312から取り入れた外気に含まれる気体の成分を測定する。   The housing 310 accommodates each part including the measuring apparatus 100. The casing 310 has a hole 312 for taking outside air into the inside so that the outside air can be measured by the measuring apparatus 100. The measuring device 100 measures a gas component contained in the outside air taken from the hole 312.

情報処理部320は、情報処理を行う。情報処理部320は、CPUを含み、通信、データ処理、および計算処理等を実行してよい。また、情報処理部320は、測定装置100の測定部170として機能してもよい。   The information processing unit 320 performs information processing. The information processing unit 320 includes a CPU and may execute communication, data processing, calculation processing, and the like. The information processing unit 320 may function as the measurement unit 170 of the measurement apparatus 100.

無線通信部330は、ネットワークを介して外部と通信する。無線通信部330は、インターネットへのアクセス、メール送受信、および電話機能等を実行してよい。また、無線通信部330は、測定装置100の測定結果を、ネットワークを介して外部に送信してもよい。また、無線通信部330は、測定装置100の動作指示、動作プログラムの更新、および用いるデータの更新等を、ネットワークを介して外部から受信してもよい。   The wireless communication unit 330 communicates with the outside via a network. The wireless communication unit 330 may perform access to the Internet, mail transmission / reception, a telephone function, and the like. Further, the wireless communication unit 330 may transmit the measurement result of the measurement apparatus 100 to the outside via a network. The wireless communication unit 330 may receive an operation instruction of the measurement apparatus 100, an update of an operation program, an update of data to be used, and the like from the outside via a network.

表示部340は、筐体の一の面に設けられ、画面を表示する。表示部340は、情報処理部320の処理結果、処理状況、および処理データ等を表示してよい。また、表示部340は、測定装置100の測定結果を表示してよい。   The display unit 340 is provided on one surface of the housing and displays a screen. The display unit 340 may display the processing result, processing status, processing data, and the like of the information processing unit 320. Further, the display unit 340 may display the measurement result of the measurement apparatus 100.

光源部350は、測定装置100に入射光を供給する。光源部350は、赤外波長領域の光を出射することが望ましい。光源部350は、LED、LD、ランプ、およびヒータ等でよい。光源部350は、筐体310における一の面と平行でない面に略垂直に入射光を測定装置100に供給してよい。即ち、光源部350は、携帯端末300の側面側から当該一の面に略平行に光を照射してよい。これにより、携帯端末300の厚さが増加することを低減させて、測定装置100を当該携帯端末300に搭載することができる。   The light source unit 350 supplies incident light to the measurement apparatus 100. The light source unit 350 preferably emits light in the infrared wavelength region. The light source unit 350 may be an LED, an LD, a lamp, a heater, or the like. The light source unit 350 may supply incident light to the measurement apparatus 100 substantially perpendicular to a surface that is not parallel to one surface of the housing 310. That is, the light source unit 350 may irradiate light substantially parallel to the one surface from the side surface side of the mobile terminal 300. Thereby, it is possible to reduce the increase in the thickness of the mobile terminal 300 and mount the measuring apparatus 100 on the mobile terminal 300.

以上のように、測定装置100は、携帯端末300に搭載され、携帯型のガスセンサとして機能してよい。本実施形態に係る携帯端末300は、光源部350を備え、測定装置100に入射光を供給することを説明したが、これに限定されるものではない。例えば、携帯端末300は、太陽光、照明、および街灯等を光源として用いる。また、携帯端末300は、発熱体、暖房装置、および動物の体温等、外部の熱源等を光源として用いてもよい。   As described above, the measuring apparatus 100 may be mounted on the portable terminal 300 and function as a portable gas sensor. Although the mobile terminal 300 according to the present embodiment has been described to include the light source unit 350 and supply incident light to the measurement apparatus 100, the present invention is not limited to this. For example, the mobile terminal 300 uses sunlight, illumination, streetlights, and the like as light sources. The mobile terminal 300 may use an external heat source such as a heating element, a heating device, and an animal body temperature as a light source.

この場合、携帯端末300は、筐体310に光入力用の穴部を設けることで、外部から入射する光を光源として用いることができる。なお、筐体310は、表示部340が設けられる位置の面と略垂直な側面側に光入力用の穴部が設けられてよい。そして、測定装置100は、筐体310における一の面と平行でない面から入射光を入射してよい。   In this case, the portable terminal 300 can use light incident from the outside as a light source by providing the housing 310 with a hole for light input. Note that the housing 310 may be provided with a hole for light input on a side surface substantially perpendicular to the surface where the display unit 340 is provided. Then, the measuring apparatus 100 may make incident light incident from a surface that is not parallel to one surface of the housing 310.

これに代えて、携帯端末300は、内部の発熱体を光源として用いてもよい。この場合、測定装置100は、情報処理部320、無線通信部330、または電源の少なくとも一部の部品から放射される赤外光を入射光として受けてよい。これにより、測定装置100は、更に小型化することができる。   Instead, the mobile terminal 300 may use an internal heating element as a light source. In this case, the measuring apparatus 100 may receive infrared light emitted from the information processing unit 320, the wireless communication unit 330, or at least a part of the power supply as incident light. Thereby, the measuring apparatus 100 can be further reduced in size.

以上の本実施形態に係る携帯端末300は、測定装置100を搭載してガスセンサの機能を加えたデバイスの例を説明した。これに代えて、測定装置100は、単独のセンサ装置として形成されてもよい。このようなセンサ装置は、例えば、赤外光を出力する光源部と、測定装置100を備え、当該測定装置100は、光源部からの赤外光を入射光として受ける。これにより、小型で低コストのガスセンサ等を提供することができるので、このようなセンサ装置を複数個所に設置することで、異常等の発生をより早期に発見することができる。また、測定装置100は、赤外光を分析することにより、出火を検出することも可能になる。   The portable terminal 300 according to the present embodiment has been described as an example of a device in which the measurement apparatus 100 is mounted and a gas sensor function is added. Instead of this, the measuring device 100 may be formed as a single sensor device. Such a sensor device includes, for example, a light source unit that outputs infrared light and a measurement device 100, and the measurement device 100 receives infrared light from the light source unit as incident light. Thereby, since a small and low-cost gas sensor or the like can be provided, the occurrence of an abnormality or the like can be detected earlier by installing such sensor devices at a plurality of locations. Moreover, the measuring apparatus 100 can also detect a fire by analyzing infrared light.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。   The order of execution of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior to”. It should be noted that the output can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.

10 検出装置、12 光フィルタ、14 光センサ部、100 測定装置、110 光学系、112 ビームスプリッタ、114 第1ミラー、116 第2ミラー、120 光センサ部、130 磁石、140 コイル、150 磁気センサ、160 駆動部、170 測定部、210 位置検出用磁石、220 分光プリズム、230 エタロン、300 携帯端末、310 筐体、312 穴部、320 情報処理部、330 無線通信部、340 表示部、350 光源部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Detection apparatus, 12 Optical filter, 14 Optical sensor part, 100 Measuring apparatus, 110 Optical system, 112 Beam splitter, 114 1st mirror, 116 2nd mirror, 120 Optical sensor part, 130 Magnet, 140 Coil, 150 Magnetic sensor, 160 driving unit, 170 measuring unit, 210 position detecting magnet, 220 spectral prism, 230 etalon, 300 portable terminal, 310 housing, 312 hole, 320 information processing unit, 330 wireless communication unit, 340 display unit, 350 light source unit

Claims (13)

入射光における対象波長の光成分を測定する測定装置であって、
前記入射光から前記対象波長の光成分を抽出する光学系と、
前記光学系により抽出された光成分を検出する光センサ部と、
一方が筐体に対して固定され、他方が前記光センサ部または前記光学系に含まれる光学部品に取り付けられた磁石およびコイルと、
前記コイルに駆動電流を流して前記光センサ部または前記光学部品を駆動して、前記対象波長を変更する駆動部と、
前記光センサ部により検出された光成分を測定する測定部と、
を備える測定装置。
A measuring device for measuring a light component of a target wavelength in incident light,
An optical system for extracting a light component of the target wavelength from the incident light;
An optical sensor unit for detecting a light component extracted by the optical system;
A magnet and a coil, one of which is fixed to the housing and the other is attached to an optical component included in the optical sensor unit or the optical system;
A drive unit for driving the optical sensor unit or the optical component by passing a drive current through the coil to change the target wavelength;
A measurement unit for measuring a light component detected by the optical sensor unit;
A measuring apparatus comprising:
前記測定部は、前記入射光の前記光成分が通過する領域に位置し、前記光成分の一部を透過させる測定対象に含まれる成分を測定する請求項1に記載の測定装置。   The measurement apparatus according to claim 1, wherein the measurement unit is located in a region through which the light component of the incident light passes and measures a component included in a measurement target that transmits a part of the light component. 前記光学系は、外気中を通過した前記入射光から前記光成分を抽出し、
前記測定部は、前記光成分を用いて前記外気中における対象の気体成分を測定する
請求項1または2に記載の測定装置。
The optical system extracts the light component from the incident light that has passed through the outside air,
The measurement device according to claim 1, wherein the measurement unit measures a target gas component in the outside air using the light component.
前記コイルに対して固定された位置に設けられる磁気センサを更に備え、
前記駆動部は、前記磁気センサにより検出された磁場の強さを用いて前記光センサ部または前記光学部品の位置を特定する
請求項1から3のいずれか一項に記載の測定装置。
A magnetic sensor provided at a fixed position with respect to the coil;
The measuring device according to any one of claims 1 to 3, wherein the driving unit specifies a position of the optical sensor unit or the optical component by using a magnetic field intensity detected by the magnetic sensor.
一方が前記測定装置の前記筐体に対して固定され、他方が前記光センサ部または前記光学部品に取り付けられた磁気センサおよび位置検出用磁石を更に備え、
前記駆動部は、前記磁気センサにより検出された、前記位置検出用磁石による磁場の強さを用いて前記光センサ部または前記光学部品の位置を特定する
請求項1から3のいずれか一項に記載の測定装置。
One is fixed to the casing of the measuring device, and the other further includes a magnetic sensor and a position detection magnet attached to the optical sensor unit or the optical component,
The said drive part specifies the position of the said optical sensor part or the said optical component using the strength of the magnetic field by the said position detection magnet detected by the said magnetic sensor. The measuring device described.
前記光学系は、
前記入射光の一部を透過させ、一部を反射するビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタを透過した光を反射して、前記ビームスプリッタを介して前記光センサ部へと入射させる第1ミラーと、
前記ビームスプリッタにより反射された光を反射して、前記ビームスプリッタを介して前記光センサ部へと入射させる第2ミラーと、
を有し、
前記磁石および前記コイルの一方が、前記光学部品としての前記第1ミラーまたは前記第2ミラーに取り付けられる
請求項1から5のいずれか一項に記載の測定装置。
The optical system is
A beam splitter that transmits a portion of the incident light and reflects a portion thereof;
A first mirror that reflects the light transmitted through the beam splitter and causes the light to enter the optical sensor unit via the beam splitter;
A second mirror that reflects the light reflected by the beam splitter and causes the light to enter the optical sensor unit via the beam splitter;
Have
The measuring device according to any one of claims 1 to 5, wherein one of the magnet and the coil is attached to the first mirror or the second mirror as the optical component.
前記光学系は、前記光学部品として分光プリズムを有する請求項1から5のいずれか一項に記載の測定装置。   The measuring apparatus according to claim 1, wherein the optical system includes a spectroscopic prism as the optical component. 前記光学系は、前記光学部品としてエタロンを含むファブリペロー干渉計である請求項1から5のいずれか一項に記載の測定装置。   The measuring apparatus according to claim 1, wherein the optical system is a Fabry-Perot interferometer including an etalon as the optical component. 前記光学系は、前記光学部品としてグレーティングを有する請求項1から5のいずれか一項に記載の測定装置。
The measuring apparatus according to claim 1, wherein the optical system includes a grating as the optical component.
筐体と、
情報処理を行う情報処理部と、
無線ネットワークを介して外部と通信する無線通信部と、
前記筐体の一の面に設けられ、画面を表示する表示部と、
請求項1から9のいずれか一項に記載の測定装置と、
を備える携帯端末。
A housing,
An information processing unit that performs information processing;
A wireless communication unit that communicates with the outside via a wireless network;
A display unit provided on one surface of the housing and displaying a screen;
A measuring device according to any one of claims 1 to 9,
A mobile terminal comprising:
前記測定装置は、前記筐体における前記一の面と平行でない面から前記入射光を入射する請求項10に記載の携帯端末。   The portable terminal according to claim 10, wherein the measuring device enters the incident light from a surface that is not parallel to the one surface of the housing. 前記測定装置は、前記情報処理部、前記無線通信部、または電源の少なくとも一部の部品から放射される赤外光を前記入射光として受ける請求項10に記載の携帯端末。   The portable terminal according to claim 10, wherein the measurement device receives infrared light emitted from the information processing unit, the wireless communication unit, or at least a part of a power supply as the incident light. 赤外光を出力する光源部と、
前記光源部からの赤外光を前記入射光として受ける請求項1から9のいずれか一項に記載の測定装置と、
を備えるセンサ装置。
A light source that outputs infrared light;
The measurement apparatus according to any one of claims 1 to 9, wherein infrared light from the light source unit is received as the incident light;
A sensor device comprising:
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