JP2017149621A - Honeycomb structure and method for producing honeycomb structure - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a honeycomb structure including an oxidation prevention layer which can adjust the degree of softening of silicate glass.SOLUTION: The honeycomb structure in which a surface of the substrate of a silicon carbide ceramic sintered body formed in a honeycomb structure including plural cells sectioned by partitions that extend in a single direction and that are disposed in rows is coated with an oxidation prevention layer has a configuration in which the oxidation prevention layer includes a silicate glass phase and a crystal phase of silicon dioxide. In the configuration, the rate of cristobalite included in the crystal phase to silicon carbide can be set at 3 mass% to 28 mass%.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、蓄熱体としての使用に適したハニカム構造体、及び、該ハニカム構造体の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a honeycomb structure suitable for use as a heat storage body, and a method for manufacturing the honeycomb structure.

蓄熱式バーナ(リジェネバーナ)等で使用されるセラミックス製の蓄熱体としては、従前より、アルミナ製のボールが多用されている(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、加熱されたガスから蓄熱体が熱を回収する際、及び、回収した熱を未加熱のガスに与える際、ガスはボール間の空隙を流通するため、圧力損失が大きいという問題があった。また、ボールは表面積が小さいことに加え、中心部は熱交換に寄与しないため、熱交換が不十分であるという問題もあった。   As a ceramic heat storage body used in a heat storage burner (regenerative burner) or the like, balls made of alumina have been frequently used (for example, see Patent Document 1). However, when the heat storage body recovers heat from the heated gas and when the recovered heat is applied to the unheated gas, there is a problem that the pressure loss is large because the gas flows through the gaps between the balls. . In addition to the small surface area of the ball, the center portion does not contribute to heat exchange, so that there is a problem that heat exchange is insufficient.

一方、アルミナ、コージェライト、ムライト等のセラミックスのハニカム構造体を、蓄熱体として使用する技術も提案されている(例えば、特許文献2参照)。ハニカム構造体は、多数の隔壁により区画されたセルを備え、セルは単一の方向に延びているため、ガス流通に伴う圧力損失が小さいという利点がある。また、ハニカム構造体は、ボールに比べて表面積が非常に大きいという利点もある。   On the other hand, a technique of using a ceramic honeycomb structure such as alumina, cordierite, or mullite as a heat storage body has also been proposed (see, for example, Patent Document 2). The honeycomb structure includes cells partitioned by a large number of partition walls, and the cells extend in a single direction. Therefore, there is an advantage that the pressure loss accompanying the gas flow is small. In addition, the honeycomb structure has an advantage that the surface area is much larger than that of the ball.

しかしながら、アルミナ、コージェライト、ムライト等のセラミックスは熱伝導率が低い。そのため、蓄熱と放熱とを交互に繰り返す材料として適しているとは言えず、熱交換の効率の点で課題を有していた。また、ハニカム構造体の表面積を非常に大きなものとならしめている多数の隔壁は、厚さが1mmに満たない非常に薄いものである。そのため、ハニカム構造の蓄熱体は、蓄熱と放熱との繰り返しに伴う温度変化により、亀裂や割れを生じ易いという問題、すなわち、耐熱衝撃性が低いという問題があった。   However, ceramics such as alumina, cordierite, and mullite have low thermal conductivity. Therefore, it cannot be said that it is suitable as a material that alternately repeats heat storage and heat dissipation, and has a problem in terms of heat exchange efficiency. Further, many partition walls that make the surface area of the honeycomb structure very large are very thin with a thickness of less than 1 mm. Therefore, the heat storage body having a honeycomb structure has a problem that cracks and cracks are likely to occur due to a temperature change caused by repeated heat storage and heat release, that is, a thermal shock resistance is low.

そこで、本出願人は過去に、ハニカム構造の基体を炭化珪素質セラミックス焼結体とした蓄熱体を提案している(特許文献3参照)。炭化珪素は、セラミックスの中では熱伝導率が高い材料である。具体的には、アルミナ、コージェライト、及び、ムライトの熱伝導率は、それぞれ9〜30W/m・K、0.6W/m・K、及び、1.5W/m・Kであるのに対し、炭化珪素の熱伝導率は75〜130W/m・Kと高い。そのため、炭化珪素質セラミックス焼結体を基体とする蓄熱体は、熱交換の効率が高い。   In view of this, the present applicant has previously proposed a heat storage body in which a honeycomb structure base is a silicon carbide ceramic sintered body (see Patent Document 3). Silicon carbide is a material having high thermal conductivity among ceramics. Specifically, the thermal conductivity of alumina, cordierite, and mullite is 9-30 W / m · K, 0.6 W / m · K, and 1.5 W / m · K, respectively. The thermal conductivity of silicon carbide is as high as 75 to 130 W / m · K. Therefore, the heat storage body using the silicon carbide based ceramic sintered body as a base has high heat exchange efficiency.

加えて、炭化珪素の熱膨張率は、温度1000℃で0.4〜0.6%と小さい。これは、アルミナの熱膨張率の約1/2である。すなわち、炭化珪素は、熱伝導率が高いと共に熱膨張率が小さいため、耐熱衝撃性に優れている。従って、炭化珪素質セラミックス焼結体を基体とする蓄熱体は、蓄熱と放熱との繰り返しに伴う温度変化を受け続ける蓄熱体として適している。   In addition, the thermal expansion coefficient of silicon carbide is as low as 0.4 to 0.6% at a temperature of 1000 ° C. This is about 1/2 of the thermal expansion coefficient of alumina. That is, since silicon carbide has high thermal conductivity and low thermal expansion coefficient, it has excellent thermal shock resistance. Therefore, a heat storage body using a silicon carbide based ceramic sintered body as a base is suitable as a heat storage body that continues to undergo temperature changes associated with repeated heat storage and heat dissipation.

ところが、炭化珪素は酸素の存在する雰囲気において高温下で使用されると、酸化してしまうという問題がある。そこで、特許文献3の技術では、炭化珪素質セラミックス焼結体である基体の表面に、珪酸系ガラスの酸化防止層を形成させるという手段を採用した。この珪酸系ガラスの層によって、基体の炭化珪素と酸素との接触が妨げられるため、炭化珪素の酸化が有効に抑制される。   However, there is a problem that silicon carbide is oxidized when it is used at a high temperature in an atmosphere containing oxygen. In view of this, the technique of Patent Document 3 employs means for forming an anti-oxidation layer of silicate glass on the surface of the base body, which is a silicon carbide ceramic sintered body. This silicate glass layer prevents the silicon carbide and oxygen on the substrate from coming into contact with each other, so that the oxidation of silicon carbide is effectively suppressed.

加えて、本出願人の検討の結果、珪酸系ガラスの酸化防止層を備えることによって、もともと耐熱衝撃性の高い炭化珪素より更に、耐熱衝撃性が高められることが判明した。これは、珪酸系ガラスが高温下で軟化し塑性変形する性質のために、亀裂の伸展が抑制されると共に、炭化珪素質セラミックス焼結体の脆性的な破壊が抑制されるためと考えられた。   In addition, as a result of the study by the present applicant, it has been found that the thermal shock resistance can be further improved by providing an anti-oxidation layer of silicate glass, compared with silicon carbide having a high thermal shock resistance. This is thought to be due to the fact that silicate glass is softened and plastically deformed at high temperatures, so that crack extension is suppressed and brittle fracture of the silicon carbide ceramic sintered body is suppressed. .

しかしながら、珪酸系ガラスが高温下で軟化する性質は、上記のように利点である反面、軟化の程度が大きい場合は、ダスト等の異物が付着してハニカム構造体のセルを目詰まりさせ、熱交換の効率を低下させるおそれがあった。また、軟化した珪酸系ガラスを介して、蓄熱体同士あるいは蓄熱体とケーシングとが付着してしまう不具合が生じるおそれがあった。   However, the property that silicate glass softens at high temperatures is an advantage as described above, but when the degree of softening is large, foreign matter such as dust adheres to clog the cells of the honeycomb structure, and heat There was a risk of reducing the efficiency of the exchange. Moreover, there existed a possibility that the malfunction that heat storage bodies or a heat storage body and a casing might adhere via a softened silicate type glass might arise.

特開2003−343829号公報JP 2003-343829 A 特開2003−287379号公報JP 2003-287379 A 特許第5709007号公報Japanese Patent No. 5709007

そこで、本発明は、上記の実情に鑑み、珪酸系ガラスの軟化の程度を調整できる酸化防止層を備えるハニカム構造体、及び、該ハニカム構造体の製造方法の提供を、課題とするものである。   Therefore, in view of the above circumstances, the present invention has an object to provide a honeycomb structure including an antioxidant layer capable of adjusting the degree of softening of the silicate glass and a method for manufacturing the honeycomb structure. .

上記の課題を解決するため、本発明にかかるハニカム構造体は、
「単一の方向に延びて列設された隔壁により区画された複数のセルを備えるハニカム構造に形成された炭化珪素質セラミックス焼結体の基体の表面が、酸化防止層で被覆されているハニカム構造体であり、
前記酸化防止層は、珪酸系ガラス相と、二酸化珪素の結晶相とを含む」ものである。
In order to solve the above problems, the honeycomb structure according to the present invention is
“Honeycomb in which the surface of a silicon carbide based ceramic sintered body formed in a honeycomb structure having a plurality of cells partitioned by partition walls extending in a single direction is coated with an antioxidant layer A structure,
The antioxidant layer includes a silicate glass phase and a silicon dioxide crystal phase.

本構成のハニカム構造体は、次のハニカム構造体の製造方法(以下、単に「製造方法」と称することがある)により製造することができる。すなわち、
「単一の方向に延びて列設された隔壁により区画された複数のセルを備えるハニカム構造に形成された炭化珪素質セラミックス焼結体の基体の表面に、二酸化珪素を含有する酸化防止剤を被覆し、
熱処理によって、前記酸化防止剤を珪酸系ガラスとすると共に、二酸化珪素の一部を結晶化させる」ものである。
The honeycomb structure of the present configuration can be manufactured by the following manufacturing method of the honeycomb structure (hereinafter sometimes simply referred to as “manufacturing method”). That is,
“An antioxidant containing silicon dioxide is applied to the surface of a silicon carbide based ceramic sintered body formed in a honeycomb structure having a plurality of cells partitioned by partition walls extending in a single direction. Coat,
By the heat treatment, the antioxidant is made silicate glass and a part of silicon dioxide is crystallized.

二酸化珪素の結晶は、珪酸系ガラスが軟化する温度で溶融することはない。従って、二酸化珪素を含有する酸化防止剤から酸化防止層を形成するに当たり、二酸化珪素の一部を結晶化させ、珪酸系ガラス相中に二酸化珪素の結晶を析出させることにより、二酸化珪素の全量を珪酸系ガラスとする場合に比べて、酸化防止層が高温下で軟化する程度が低減する。これにより、珪酸系ガラスの軟化によって耐熱衝撃性が高められる作用を維持しつつ、酸化防止層が高温下で軟化する程度を低減させる調整が可能となる。換言すれば、基体の炭化珪素の酸化を抑制する酸化防止層が、炭化珪素の耐熱衝撃性を更に高める作用を損なうことなく、高温下で軟化する程度が調整されたハニカム構造体を、提供することができる。   The silicon dioxide crystals do not melt at a temperature at which the silicate glass softens. Therefore, in forming an antioxidant layer from an antioxidant containing silicon dioxide, a portion of silicon dioxide is crystallized, and silicon dioxide crystals are precipitated in the silicate glass phase, thereby reducing the total amount of silicon dioxide. Compared with the case of using silicate glass, the degree of softening of the antioxidant layer at a high temperature is reduced. Thereby, the adjustment which reduces the grade which an antioxidant layer softens under high temperature is attained, maintaining the effect | action which a thermal shock resistance is improved by the softening of a silicate type glass. In other words, there is provided a honeycomb structure in which the antioxidant layer that suppresses the oxidation of silicon carbide on the base body is adjusted to the extent that it is softened at a high temperature without impairing the effect of further improving the thermal shock resistance of silicon carbide. be able to.

本発明にかかるハニカム構造体は、上記構成に加え
「前記結晶相はクリストバライトを含み、
炭化珪素に対するクリストバライトの割合は、3質量%〜28質量%である」ものとすることができる。
The honeycomb structure according to the present invention has, in addition to the above-described configuration, “the crystal phase includes cristobalite,
The ratio of cristobalite to silicon carbide is 3% to 28% by weight.

二酸化珪素は多形であって1気圧下での結晶構造には、石英、トリジマイト、クリストバライトの3種類があり、それぞれに高温型(β型)と低温型(α型)とがある。詳細は後述するように、基体の表面が酸化防止層で被覆されているハニカム構造体の全体として、炭化珪素に対するクリストバライトの割合を3質量%〜28質量%とすることにより、耐熱衝撃性に優れたハニカム構造体とすることができる。   Silicon dioxide is polymorphic, and there are three types of crystal structures at 1 atm, quartz, tridymite, and cristobalite, each of which has a high temperature type (β type) and a low temperature type (α type). As will be described in detail later, the entire honeycomb structure in which the surface of the substrate is coated with an antioxidant layer has excellent thermal shock resistance by adjusting the ratio of cristobalite to silicon carbide to 3% by mass to 28% by mass. A honeycomb structure can be obtained.

以上のように、本発明の効果として、珪酸系ガラスの軟化の程度を調整できる酸化防止層を備えるハニカム構造体、及び、該ハニカム構造体の製造方法を、提供することができる。   As described above, as an effect of the present invention, it is possible to provide a honeycomb structure including an antioxidant layer that can adjust the degree of softening of the silicate glass, and a method for manufacturing the honeycomb structure.

実施例1の結晶相を示すX線回折パターンである。2 is an X-ray diffraction pattern showing a crystal phase of Example 1. FIG. 実施例4の結晶相を示すX線回折パターンである。4 is an X-ray diffraction pattern showing a crystal phase of Example 4. (a)実施例2の顕微鏡観察像、及び、(b)実施例4の顕微鏡観察像である。(A) The microscope observation image of Example 2, and (b) The microscope observation image of Example 4. 二酸化珪素の結晶の温度に対する膨張率の変化を示すグラフである。It is a graph which shows the change of the expansion coefficient with respect to the temperature of the crystal | crystallization of silicon dioxide.

以下、本発明の一実施形態であるハニカム構造体、及び、その製造方法について説明する。本実施形態のハニカム構造体は、炭化珪素質セラミックス焼結体の基体の表面が、酸化防止層で被覆されている構成である。基体は、ハニカム構造、すなわち単一の方向に延びて列設された隔壁により区画された複数のセルを備える構造に形成されている。そして、酸化防止層は、珪酸系ガラス相と、二酸化珪素の結晶相とを含んでいる。   Hereinafter, a honeycomb structure according to an embodiment of the present invention and a manufacturing method thereof will be described. The honeycomb structure of the present embodiment has a configuration in which the surface of the silicon carbide ceramic sintered body is covered with an antioxidant layer. The substrate is formed in a honeycomb structure, that is, a structure including a plurality of cells partitioned by partition walls extending in a single direction. The antioxidant layer includes a silicate glass phase and a silicon dioxide crystal phase.

このような構成のハニカム構造体は、ハニカム構造に形成された炭化珪素質セラミックス焼結体の基体の表面に、二酸化珪素を含有する酸化防止剤を被覆する処理と、酸化防止剤を珪酸系ガラスとすると共に、二酸化珪素の一部を結晶化させる熱処理によって、製造される。   The honeycomb structure having such a structure is obtained by coating the surface of the silicon carbide ceramic sintered body formed in the honeycomb structure with an antioxidant containing silicon dioxide, and using the silicate glass as the antioxidant. And a heat treatment for crystallizing a part of silicon dioxide.

より具体的には、酸化防止剤の被覆処理は、酸化防止剤を基体の表面に塗布またはスプレーする処理、基体を酸化防止剤に浸漬する処理、或いは、酸化防止剤を基体に含浸させる処理とすることができる。   More specifically, the coating process of the antioxidant includes a process of applying or spraying the antioxidant to the surface of the substrate, a process of immersing the substrate in the antioxidant, or a process of impregnating the substrate with the antioxidant. can do.

二酸化珪素を含有する酸化防止剤は、加熱により溶融させてからガラス転移点より低い温度まで冷却する熱処理により、珪酸系ガラス相となる。ここで、酸化防止剤には、二酸化珪素の他、酸化ナトリウム、酸化カリウム、炭酸カリウム、ホウ酸などを含有させることができる。これらの成分により、生成される珪酸系ガラスの軟化点、強度、粘性を調整することができる。   The antioxidant containing silicon dioxide becomes a silicate glass phase by heat treatment after being melted by heating and then cooled to a temperature lower than the glass transition point. Here, in addition to silicon dioxide, the antioxidant can contain sodium oxide, potassium oxide, potassium carbonate, boric acid and the like. With these components, the softening point, strength, and viscosity of the produced silicate glass can be adjusted.

酸化防止剤に含まれる二酸化珪素の一部を結晶化させる熱処理は、冷却の際の降温速度を小さくする処理、或いは、ガラス転移点とガラス軟化点との間の温度、特にガラス軟化点に近い温度で長時間保持する処理とすることができる。また、これらの処理に当たり、結晶の核となる物質を酸化防止剤に含有させることができる。或いは、結晶の生成を促進する成分を、酸化防止剤に含有させることができる。例えば、酸化アルミニウムはクリストバライトの結晶生成を促進し、酸化カルシウムはトリジマイトの結晶生成を促進すると言われている。   The heat treatment for crystallizing a part of silicon dioxide contained in the antioxidant is a treatment for decreasing the cooling rate during cooling, or a temperature between the glass transition point and the glass softening point, particularly close to the glass softening point. It can be set as the process hold | maintained at temperature for a long time. Further, in these treatments, a substance serving as a crystal nucleus can be contained in the antioxidant. Or the component which accelerates | stimulates the production | generation of a crystal | crystallization can be contained in antioxidant. For example, aluminum oxide is said to promote cristobalite crystal formation, and calcium oxide is said to promote tridymite crystal formation.

次に、実施例1〜6のハニカム構造体を用いて、二酸化珪素の結晶相の存在が、酸化防止層の軟化やハニカム構造体の耐熱衝撃性に及ぼす影響を、検討した結果を示す。   Next, using the honeycomb structures of Examples 1 to 6, the results of examining the influence of the presence of the silicon dioxide crystal phase on the softening of the antioxidant layer and the thermal shock resistance of the honeycomb structure will be shown.

実施例1〜6の試料には、同一条件で作製した基体を使用した。この基体は、骨材としての炭化珪素、及び、炭化珪素を反応生成する珪素源と炭素源とを含む原料を成形し、非酸化性雰囲気で焼成した後、過剰の炭素分を酸化雰囲気下で加熱除去したものである。基体は、炭化珪素の他、ごく僅かに過剰分の珪素(単体)を含有する。基体のハニカム構造は、隔壁厚さ0.65mm、セル密度50セル/inchとし、外形は50mm×50mm×50mmの立方体とした。炭素源として使用した炭素質物質の消失跡に気孔が形成されており、隔壁は多孔質である。 For the samples of Examples 1 to 6, substrates prepared under the same conditions were used. This substrate is formed from silicon carbide as an aggregate, and a raw material containing a silicon source and a carbon source that reacts and produces silicon carbide. After firing in a non-oxidizing atmosphere, excess carbon is removed in an oxidizing atmosphere. It has been removed by heating. The substrate contains a slight excess of silicon (single substance) in addition to silicon carbide. The honeycomb structure of the substrate had a partition wall thickness of 0.65 mm, a cell density of 50 cells / inch 2 , and an outer shape of a cube of 50 mm × 50 mm × 50 mm. The pores are formed in the disappearance trace of the carbonaceous material used as the carbon source, and the partition walls are porous.

上記の基体に対し、異なる割合で酸化防止剤を含浸させた。含浸処理では、まず、密閉できる容器内に基体を収容し、容器内の空気を真空ポンプ等で吸引する。これにより、多孔質の基体の開気孔が脱気される。次に、開閉弁付きのパイプやホースを介して、酸化防止剤のスラリーを、基体が収容されている密閉容器内に導入する。これにより、基体の外表面が酸化防止剤によって被覆されると共に、脱気された開気孔の内部まで酸化防止剤が浸入する。   The above substrates were impregnated with antioxidants at different ratios. In the impregnation treatment, first, the substrate is accommodated in a container that can be sealed, and the air in the container is sucked by a vacuum pump or the like. Thereby, the open pores of the porous substrate are degassed. Next, the slurry of the antioxidant is introduced into the sealed container in which the substrate is accommodated through a pipe or hose with an on-off valve. As a result, the outer surface of the substrate is covered with the antioxidant, and the antioxidant penetrates into the degassed open pores.

その後、基体から余剰の酸化防止剤を除去した。例えば、基体に連続して振動を与えることにより、或いは、圧縮空気を基体に吹き付けることにより、余剰の酸化防止剤を除去することができる。   Thereafter, excess antioxidant was removed from the substrate. For example, excess antioxidant can be removed by continuously applying vibration to the substrate or by blowing compressed air onto the substrate.

ここで、酸化防止剤としては、実施例6を除く実施例1〜5の試料に、同一組成の酸化防止剤を含浸させた。実施例6の試料には、クリストバライトの結晶生成を促進する成分として、5質量%のアルミナを添加した酸化防止剤を含浸させた。   Here, as the antioxidant, the samples of Examples 1 to 5 except Example 6 were impregnated with an antioxidant having the same composition. The sample of Example 6 was impregnated with an antioxidant to which 5% by mass of alumina was added as a component for promoting cristobalite crystal formation.

熱処理は、実施例1〜6それぞれの試料について、後述する加熱温度、加熱時間、降温速度で行った。   The heat treatment was performed on the samples of Examples 1 to 6 at the heating temperature, the heating time, and the temperature lowering rate described later.

熱処理後の各試料について、湿式化学分析法による定量を行った。定量に際しては、フッ化水素酸に溶融させた溶液から検出されたSiから二酸化珪素分(ガラス相及び結晶相を含む全体量)を算出し、フッ化水素酸に溶融しなかった残部から検出されたSiを、二酸化珪素以外の珪素化合物(炭化珪素を含む)として算出した。その結果を表1に示す。   Each sample after the heat treatment was quantified by a wet chemical analysis method. At the time of quantification, the silicon dioxide content (total amount including glass phase and crystal phase) is calculated from Si detected from the solution melted in hydrofluoric acid and detected from the remainder not melted in hydrofluoric acid. Si was calculated as a silicon compound (including silicon carbide) other than silicon dioxide. The results are shown in Table 1.

また、熱処理後の各試料について、X線回折パターンを測定し、結晶相の同定、及び、リートベルト法による定量を行った。ここで、X線回折パターンの測定には、X線回折装置(リガク製、Ultima III)を使用し、銅管球,電圧40kV,電流40mA,ステップスキャン法にてステップ幅0.02度、2度/minの条件で測定した。   Moreover, about each sample after heat processing, the X-ray-diffraction pattern was measured and the crystal phase identification and fixed_quantity | quantitative_assay by the Rietveld method were performed. Here, to measure the X-ray diffraction pattern, an X-ray diffractometer (manufactured by Rigaku, Ultimate III) is used, and a copper tube, a voltage of 40 kV, a current of 40 mA, a step width of 0.02 degrees, 2 It measured on the conditions of degree / min.

各試料のX線回折パターンに認められた二酸化珪素の結晶相は、実施例1ではクリストバライトであり、他の実施例2〜6ではクリストバライト及びトリジマイトであった。何れの試料のX線回折パターンにおいても、二酸化珪素の結晶相、炭化珪素の結晶相に加えて、単体の珪素など珪素を含有する他の結晶相のピークが認められた。例として、実施例2及び実施例4のX線回折パターンを、それぞれ図1及び図2に示す。   The crystal phase of silicon dioxide observed in the X-ray diffraction pattern of each sample was cristobalite in Example 1, and cristobalite and tridymite in the other Examples 2 to 6. In the X-ray diffraction pattern of any sample, in addition to the silicon dioxide crystal phase and the silicon carbide crystal phase, peaks of other crystal phases containing silicon such as simple silicon were observed. As an example, the X-ray diffraction patterns of Example 2 and Example 4 are shown in FIGS. 1 and 2, respectively.

X線回折パターンから定量した炭化珪素と、炭化珪素でも二酸化珪素でもない他の珪素を含有する結晶相との和は、湿式化学分析法により定量された二酸化珪素以外の珪素化合物と、定量の対象が同一である。この関係に基づき、湿式化学分析法による二酸化珪素以外の珪素化合物を、炭化珪素とその他の珪素化合物に分けた組成を、表2に示す。   The sum of silicon carbide quantified from the X-ray diffraction pattern and a crystalline phase containing other silicon that is neither silicon carbide nor silicon dioxide is a silicon compound other than silicon dioxide quantified by wet chemical analysis and the subject of quantification. Are the same. Table 2 shows the composition in which silicon compounds other than silicon dioxide by wet chemical analysis are divided into silicon carbide and other silicon compounds based on this relationship.

また、上記の関係に基づき、X線回折パターンから定量した二酸化珪素の結晶相と、湿式化学分析法により定量された二酸化珪素分(ガラス相及び結晶相を含む全体量)とを対比し、二酸化珪素のガラス相を定量した。各試料における二酸化珪素のガラス相、及び、二酸化珪素の結晶相としてクリストバライト及びトリジマイトの定量結果を、熱処理の条件と共に表3に示す。   In addition, based on the above relationship, the silicon dioxide crystal phase determined from the X-ray diffraction pattern is compared with the silicon dioxide content (total amount including the glass phase and crystal phase) determined by the wet chemical analysis method. The glass phase of silicon was quantified. Table 3 shows the quantitative results of cristobalite and tridymite as the glassy phase of silicon dioxide and the crystalline phase of silicon dioxide in each sample together with the heat treatment conditions.

二酸化珪素のガラス相と二酸化珪素の結晶相(クリストバライト及びトリジマイト)との和に対する二酸化珪素の結晶相の割合を算出した結果を、表3にあわせて示す。この算出結果を、熱処理条件において加熱温度のみが相違する実施例1と実施例2を対比すると、加熱温度が高い(ガラス軟化点に近い)方が、二酸化珪素の結晶相の生成割合が増加している。また、熱処理条件において加熱時間のみが相違する実施例2と実施例3、実施例4と実施例5をそれぞれ対比すると、加熱時間が長い方が二酸化珪素の結晶相の生成割合が増加している。更に、熱処理条件において降温速度のみが相違する実施例2と実施例4、実施例3と実施例5をそれぞれ対比すると、降温速度が小さい方が二酸化珪素の結晶相の生成割合が増加している。加えて、酸化防止剤へのアルミナの添加の有無のみが相違する実施例5と実施例6を対比すると、アルミナを添加することにより二酸化珪素の結晶相の生成割合が増加していると共に、クリストバライトが多く生成していることが分かる。   Table 3 shows the results of calculating the ratio of the silicon dioxide crystal phase to the sum of the silicon dioxide glass phase and the silicon dioxide crystal phase (cristobalite and tridymite). When this calculation result is compared between Example 1 and Example 2 in which only the heating temperature is different under the heat treatment conditions, the higher the heating temperature (closer to the glass softening point), the higher the generation rate of the crystalline phase of silicon dioxide. ing. In addition, when Example 2 and Example 3, and Example 4 and Example 5 in which only the heating time is different under the heat treatment conditions are compared, the longer the heating time, the higher the generation rate of the crystalline phase of silicon dioxide. . Furthermore, when Example 2 and Example 4, and Example 3 and Example 5 which differ only in the temperature-fall rate in heat processing conditions are contrasted respectively, the one where the temperature-fall rate is small has increased the production | generation ratio of the crystal phase of silicon dioxide. . In addition, when Example 5 and Example 6 which differ only in the presence or absence of addition of alumina to the antioxidant are compared, the generation rate of the silicon dioxide crystal phase is increased by adding alumina, and cristobalite It can be seen that a lot is generated.

各試料について、酸化防止層で被覆された表面をデジタル顕微鏡(マイクロスコープ)で観察したところ、何れの試料でも二酸化珪素と考えられる結晶が観察された。例として、実施例2の観察像を図3(a)に、実施例4の観察像を図3(b)に示す。実施例2では、クリストバライトの結晶が明瞭に観察され、実施例4ではクリストバライトの結晶(円で囲んだ範囲C)とトリジマイトの結晶(円で囲んだ範囲T)の双方が、明瞭に観察された。   For each sample, the surface covered with the antioxidant layer was observed with a digital microscope (microscope), and crystals considered to be silicon dioxide were observed in any sample. As an example, the observation image of Example 2 is shown in FIG. 3A, and the observation image of Example 4 is shown in FIG. In Example 2, cristobalite crystals were clearly observed, and in Example 4, both cristobalite crystals (circled range C) and tridymite crystals (circled area T) were clearly observed. .

上記のように、それぞれ酸化防止層に二酸化珪素のガラス相と二酸化珪素の結晶相とを含む実施例1〜6の試料について、次のように酸化防止層の軟化による付着性と、耐熱衝撃性を評価した。   As described above, with respect to the samples of Examples 1 to 6 each including the glass phase of silicon dioxide and the crystal phase of silicon dioxide in the antioxidant layer, adhesion due to softening of the antioxidant layer and thermal shock resistance are as follows: Evaluated.

<酸化防止層の軟化による付着性>
各試料を温度1000℃の電気炉内で30分保持した後、炉外に取り出し、硫酸カルシウム粉末5gを試料の表面(酸化防止層)に散布した。硫酸カルシウム粉末は、ダストに見立てたものである。試料を室温まで冷却した後、圧縮空気で粉末を吹き飛ばしてから、試料の質量を測定した。試験前の質量と対比した増加分は、試料に付着した硫酸カルシウム粉末の質量である。この付着量が試料1個当たり0.5g以上の場合を、酸化防止層の軟化による付着が多いとして「×」と評価し、0.05〜0.5gの場合を、やや付着が多いとして「△」と評価し、0.05g以下の場合を付着が殆どないとして「○」と評価した。
<Adhesion due to softening of antioxidant layer>
Each sample was held in an electric furnace at a temperature of 1000 ° C. for 30 minutes, then taken out of the furnace, and 5 g of calcium sulfate powder was sprayed on the surface (antioxidation layer) of the sample. Calcium sulfate powder is like dust. After cooling the sample to room temperature, the powder was blown off with compressed air, and then the mass of the sample was measured. The increase compared with the mass before the test is the mass of the calcium sulfate powder attached to the sample. When the adhesion amount is 0.5 g or more per sample, it is evaluated as “x” because there is much adhesion due to softening of the antioxidant layer, and when 0.05 to 0.5 g, the adhesion is slightly high. The case of 0.05 g or less was evaluated as “◯” because there was almost no adhesion.

<耐熱衝撃性>
各試料を温度1000℃の電気炉内で30分保持した後、炉外に取り出し、水中に投下して急冷した。亀裂または割れの発生の有無を目視で観察し、1回の試験で亀裂または割れが発生した場合を「×」と評価し、2〜3回の繰り返し試験で亀裂または割れが発生した場合を「△」と評価し、4〜5回の繰り返し試験で亀裂または割れが発生した場合を「○」と評価し、5回の繰り返し試験で亀裂も割れも発生しなかった場合を「◎」と評価した。
<Heat shock resistance>
Each sample was held in an electric furnace at a temperature of 1000 ° C. for 30 minutes, then taken out of the furnace, dropped in water and rapidly cooled. The presence or absence of occurrence of cracks or cracks was visually observed, the case where cracks or cracks occurred in one test was evaluated as “x”, and the case where cracks or cracks occurred in two or three repeated tests was evaluated as “ Evaluated as “△”, evaluated as “◯” when cracks or cracks occurred in 4 to 5 repeated tests, and evaluated as “◎” when neither cracks nor cracks occurred in 5 repeated tests did.

酸化防止層の軟化による付着性、及び、耐熱衝撃性の評価結果を、表4に示す。また、対比のために、比較例4の試料について、同様の評価試験を行った結果を、表4に合わせて示す。比較例4は、熱処理条件における降温速度を除き実施例4と同一の試料であり、降温速度は300℃/hと大きく、酸化防止層はガラス相のみからなる。   Table 4 shows the evaluation results of adhesion due to softening of the antioxidant layer and thermal shock resistance. For comparison, the results of a similar evaluation test for the sample of Comparative Example 4 are also shown in Table 4. Comparative Example 4 is the same sample as Example 4 except for the temperature lowering rate under heat treatment conditions, the temperature lowering rate is as large as 300 ° C./h, and the antioxidant layer is composed only of the glass phase.

表4から分かるように、酸化防止層にガラス相に加えて二酸化珪素の結晶相を析出させることにより、ハニカム構造体を高温下で使用したときの酸化防止層の軟化が抑制され、軟化に伴う付着が防止できることが確認された。表3に示した結果と考え合わせると、二酸化珪素のガラス相と二酸化珪素の結晶相との和に対する二酸化珪素の結晶相の割合が、少なくとも20質量%〜61質量%の範囲(実施例1〜6によって確認できた範囲)であれば、軟化に伴う付着を抑制することができる。   As can be seen from Table 4, by precipitating the silicon dioxide crystal phase in addition to the glass phase in the antioxidant layer, softening of the antioxidant layer when the honeycomb structure is used at a high temperature is suppressed, and accompanying softening It was confirmed that adhesion could be prevented. In combination with the results shown in Table 3, the ratio of the silicon dioxide crystal phase to the sum of the silicon dioxide glass phase and the silicon dioxide crystal phase is in the range of at least 20 mass% to 61 mass% (Example 1 6), adhesion due to softening can be suppressed.

また、表4に、炭化珪素に対するクリストバライトの割合(質量%)の算出値を合わせて示す。クリストバライトの割合が28質量%である実施例6では耐熱衝撃性の評価は「○」であるが、クリストバライトの割合が31質量%である実施例3では耐熱衝撃性の評価は「△」と低下している。このことから、クリストバライトの割合が増加すると、酸化防止層を有するハニカム構造体の耐熱衝撃性が低下すると考えられた。これは、図4に示すように、1気圧下での二酸化珪素の結晶構造である石英、トリジマイト、クリストバライトのうち、クリストバライトは常温から1000℃に至る全温度域で熱膨張率が大きいことから、温度変化に伴う膨張及び圧縮と、基体の炭化珪素との熱膨張率の差異に起因する応力の発生により、耐熱衝撃性が低下するためと考えられた。   Table 4 also shows the calculated values of the ratio (mass%) of cristobalite to silicon carbide. In Example 6 in which the proportion of cristobalite is 28% by mass, the thermal shock resistance is evaluated as “◯”, but in Example 3 in which the proportion of cristobalite is 31% by mass, the evaluation of the thermal shock resistance is reduced to “Δ”. doing. From this, it was considered that when the proportion of cristobalite increases, the thermal shock resistance of the honeycomb structure having the antioxidant layer decreases. This is because, as shown in FIG. 4, among quartz, tridymite, and cristobalite, which is a crystal structure of silicon dioxide at 1 atm, cristobalite has a large coefficient of thermal expansion in the entire temperature range from room temperature to 1000 ° C. It was thought that the thermal shock resistance decreased due to the generation of stress due to the difference in thermal expansion coefficient between the expansion and compression accompanying the temperature change and the silicon carbide of the substrate.

加えて、図4から明らかなように、クリストバライトは高温型と低温型との転移に際して熱膨張率が大きく急激に変化する。このことからも、二酸化珪素の結晶としてクリストバライトを多く含有する場合、温度変化に伴い発生する応力によって耐熱衝撃性が低下すると考えられた。ここで、耐熱衝撃性の評価が「〇」または「◎」であることが確認された範囲として、炭化珪素に対するクリストバライトの割合を、少なくとも3質量%〜28質量%とすると好適であり、耐熱衝撃性の評価が「◎」であることが確認された範囲として、炭化珪素に対するクリストバライトの割合を、少なくとも14質量%〜17質量%とするとより好適である。   In addition, as is apparent from FIG. 4, the thermal expansion coefficient of cristobalite changes greatly when it transitions between the high temperature type and the low temperature type. From this, it was considered that when a large amount of cristobalite is contained as a silicon dioxide crystal, the thermal shock resistance is reduced by the stress generated with the temperature change. Here, it is preferable that the ratio of cristobalite to silicon carbide is at least 3% by mass to 28% by mass as the range in which the thermal shock resistance evaluation is confirmed to be “◯” or “「 ”. As a range in which the evaluation of the property is confirmed to be “◎”, it is more preferable that the ratio of cristobalite to silicon carbide is at least 14 mass% to 17 mass%.

なお、図4は、窯業教育委員会 著、「セラミック化学」、社団法人窯業協会 発行、昭和57年6月30日、137ページ、から引用したものである。   FIG. 4 is quoted from “Ceramic Chemistry” written by the Ceramic Industry Board of Education, published by the Ceramic Association of Japan, June 30, 1982, page 137.

上述したように、本実施形態によれば、ハニカム構造の炭化珪素質セラミックス焼結体である基体の表面を酸化防止層で被覆し、酸化防止層を珪酸系ガラス相中に二酸化珪素の結晶が析出している層とすることにより、高温下で使用する際の酸化防止層の軟化による付着を抑制することができる。   As described above, according to the present embodiment, the surface of the substrate, which is a silicon carbide ceramic sintered body having a honeycomb structure, is coated with the oxidation preventing layer, and the oxidation preventing layer is formed of silicon dioxide crystals in the silicate glass phase. By setting it as the layer which has precipitated, adhesion by the softening of the antioxidant layer at the time of using at high temperature can be suppressed.

また、基体の炭化珪素が本来有している耐熱衝撃性や、珪酸系ガラス相により耐熱衝撃性が更に高められる作用を損なうことなく、酸化防止層の軟化の程度を、結晶相によって調整することができる。特に、炭化珪素に対するクリストバライトの割合を、上記の所定範囲とすることにより、耐熱衝撃性に優れており、且つ、軟化による付着が抑制されているハニカム構造体を、製造することができる。   In addition, the degree of softening of the antioxidant layer should be adjusted by the crystalline phase without impairing the thermal shock resistance inherent to the silicon carbide of the substrate and the effect of further improving the thermal shock resistance due to the silicate glass phase. Can do. In particular, by setting the ratio of cristobalite to silicon carbide within the above predetermined range, a honeycomb structure having excellent thermal shock resistance and suppressed adhesion due to softening can be manufactured.

以上、本発明について好適な実施形態を挙げて説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、以下に示すように、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改良及び設計の変更が可能である。   The present invention has been described with reference to the preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various improvements can be made without departing from the scope of the present invention as described below. And design changes are possible.

例えば、本発明のハニカム構造体は、蓄熱体としての使用に適しているが、蓄熱式バーナ用の蓄熱体に用途が限定されるものではなく、太陽熱発電装置の集熱体など他の装置用の蓄熱体としても使用することができる。また、蓄熱体としての用途に限定されるものではなく、隣接するセルを流通する媒体間で隔壁を介して熱交換する熱交換体に、本発明のハニカム構造体を適用することができる。   For example, the honeycomb structure of the present invention is suitable for use as a heat storage body, but the application is not limited to a heat storage body for a heat storage burner, and for other devices such as a heat collector of a solar thermal power generation apparatus. It can also be used as a heat storage body. In addition, the honeycomb structure of the present invention can be applied to a heat exchange body that is not limited to the use as a heat storage body, and that exchanges heat between media flowing through adjacent cells via partition walls.

Claims (3)

単一の方向に延びて列設された隔壁により区画された複数のセルを備えるハニカム構造に形成された炭化珪素質セラミックス焼結体の基体の表面が、酸化防止層で被覆されているハニカム構造体であり、
前記酸化防止層は、珪酸系ガラス相と、二酸化珪素の結晶相とを含む
ことを特徴とするハニカム構造体。
Honeycomb structure in which the surface of a silicon carbide ceramic sintered body formed in a honeycomb structure having a plurality of cells partitioned by partition walls extending in a single direction is coated with an antioxidant layer Body,
The honeycomb structure according to claim 1, wherein the antioxidant layer includes a silicate glass phase and a silicon dioxide crystal phase.
前記結晶相はクリストバライトを含み、
炭化珪素に対するクリストバライトの割合は、3質量%〜28質量%である
ことを特徴とする請求項1に記載のハニカム構造体。
The crystalline phase comprises cristobalite;
The honeycomb structure according to claim 1, wherein the ratio of cristobalite to silicon carbide is 3 mass% to 28 mass%.
単一の方向に延びて列設された隔壁により区画された複数のセルを備えるハニカム構造に形成された炭化珪素質セラミックス焼結体の基体の表面に、二酸化珪素を含有する酸化防止剤を被覆し、
熱処理によって、前記酸化防止剤を珪酸系ガラスとすると共に、二酸化珪素の一部を結晶化させる
ことを特徴とするハニカム構造体の製造方法。
The surface of a silicon carbide ceramic sintered body formed in a honeycomb structure having a plurality of cells partitioned by partition walls extending in a single direction is coated with an antioxidant containing silicon dioxide. And
A method for manufacturing a honeycomb structure, characterized in that, by heat treatment, the antioxidant is made into silicate glass and a part of silicon dioxide is crystallized.
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