JP2017146036A - スターリング冷凍機 - Google Patents

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Kyosuke Nakano
恭介 中野
善勝 平塚
Yoshikatsu Hiratsuka
善勝 平塚
健太 湯本
Kenta Yumoto
健太 湯本
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Abstract

【課題】蓄冷材と容器との隙間を通る作動ガス流れを遮断するシール構造をもつスターリング冷凍機を提供する。
【解決手段】スターリング冷凍機は、シリンダ56と、シリンダ56の径方向外側に隣接配置されている蓄冷器38と、シリンダ56基端に固定されている第1蓄冷器支持部材37と、を備える第1組立体と、蓄冷器容器54と、容器基端に固定されている第2蓄冷器支持部材39と、を備える第2組立体であって、蓄冷器38が蓄冷器容器54の径方向内側に隣接配置されかつ第1蓄冷器支持部材37と第2蓄冷器支持部材39とにより軸方向に挟持されるように、第1組立体に取り外し可能に取り付けられている第2組立体と、シリンダ56先端と第2蓄冷器支持部材39との間に挟み込まれている環状シール部材64と、を備える。
【選択図】図2

Description

本発明は、スターリング冷凍機に関する。
スターリング冷凍機などの極低温冷凍機の蓄冷材として、積層された複数枚の金網が使用されることがある。そうした蓄冷材は容器に詰められて冷凍機に装着される。
特開平8−14684号公報
製造上の公差によって、僅かな隙間が蓄冷材と容器との間に生じうる。隙間は作動ガスの通路となりうる。作動ガスが蓄冷材を迂回して隙間を流れると、作動ガスと蓄冷材との熱交換が有効に行われない。そのため、蓄冷器の効率が低下してしまうことになる。
こうした作動ガスの漏れは、容器部材とその隣接構造部材とをろう付けなどの適切な方法で接合して隙間の出入口を塞ぐことによって、なくすことができる。しかし、これら部材に不所望の変形を与えることなく接合するには高度の技術が必要とされうる。高い寸法精度が求められる場合においてはとりわけ、そうである。また、蓄冷器の組立や分解に手間がかかる。
本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、本発明のある態様の例示的な目的のひとつは、蓄冷材と容器との隙間を通る作動ガス流れを遮断するシール構造をもつスターリング冷凍機を提供することにある。
本発明のある態様によると、スターリング冷凍機は、シリンダ基端およびシリンダ先端を備え前記シリンダ基端から前記シリンダ先端へと軸方向に延在するシリンダと、前記シリンダの径方向外側に隣接配置されている蓄冷器と、前記シリンダ基端に固定されている第1蓄冷器支持部材と、を備える第1組立体と、容器基端および容器先端を備え前記容器基端から前記容器先端へと軸方向に延在する蓄冷器容器と、前記容器基端に固定されている第2蓄冷器支持部材と、を備える第2組立体であって、前記蓄冷器が前記蓄冷器容器の径方向内側に隣接配置されかつ前記第1蓄冷器支持部材と前記第2蓄冷器支持部材とにより軸方向に挟持されるように、前記第1組立体に取り外し可能に取り付けられている第2組立体と、前記シリンダ先端と前記第2蓄冷器支持部材との間に挟み込まれている環状シール部材と、を備える。
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや本発明の構成要素や表現を、方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。
本発明によれば、蓄冷材と容器との隙間を通る作動ガス流れを遮断するシール構造をもつスターリング冷凍機を提供することができる。
ある実施形態に係るスターリング冷凍機の全体構成を概略的に示す図である。 ある実施形態に係るスターリング冷凍機の膨張機を概略的に示す図である。 ある実施形態に係るスターリング冷凍機の膨張機の分解組立図である。 あるスターリング冷凍機の蓄冷器を概略的に示す図である。 他の実施形態に係るスターリング冷凍機の膨張機を概略的に示す図である。 他の実施形態に係るスターリング冷凍機の膨張機を概略的に示す図である。 他の実施形態に係るスターリング冷凍機の膨張機を概略的に示す図である。
以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。なお、説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。また、以下に述べる構成は例示であり、本発明の範囲を何ら限定するものではない。
図1は、ある実施形態に係るスターリング冷凍機10の全体構成を概略的に示す図である。スターリング冷凍機10は、圧縮機11、接続管12、及び膨張機13を備える。圧縮機11は膨張機13から離れて配置されている。接続管12は、圧縮機11の作動ガス室を膨張機13の作動ガス室に接続する。接続管12は、圧縮機11と膨張機13との間で作動ガスを流通させるガス流路を提供する。作動ガスは例えばヘリウムガスである。
スターリング冷凍機10は、例えば、スプリット式のスターリング冷凍機である。この場合、圧縮機11は作動ガスの圧力振動を生成する。これが接続管12を通じて膨張機13に伝達される。膨張機13には圧縮機11の圧力振動と同一の周波数で当該振動と位相差を有する圧力振動が生じる。圧縮機11と膨張機13との間に逆スターリングサイクルが形成される。このようにして、膨張機13は寒冷を発生させる。
図2は、図1に示す膨張機13を概略的に示す図である。図2には膨張機13の内部構造の概略を示す。図3は、図2に示す膨張機13の一部分の分解組立図である。
膨張機13は、第1組立体13aおよび第2組立体13bを備える。第1組立体13aは、シリンダ56、環状シール部材64、蓄冷器38、および第1蓄冷器支持部材37を備える。第2組立体13bは、蓄冷器容器54、第2蓄冷器支持部材39、および冷却ステージ29を備える。
シリンダ56は、シリンダ基端56a、シリンダ先端56b、およびシリンダ内周面56cを備える。シリンダ56は、シリンダ基端56aからシリンダ先端56bへと軸方向に延在する。シリンダ56は、金属または樹脂で形成されている。蓄冷器38は、シリンダ56の径方向外側に隣接配置されている。蓄冷器38は、蓄冷材積層体、例えば、金網の積層構造を備える。第1蓄冷器支持部材37は、シリンダ基端56aに固定されている。第1蓄冷器支持部材37からのシリンダ56の軸長は、蓄冷器38の軸方向高さより長い。そのため、シリンダ先端56bは蓄冷器38から軸方向に突き出している。
蓄冷器容器54は、容器基端54aおよび容器先端54bを備え、容器基端54aから容器先端54bへと軸方向に延在する。蓄冷器容器54は、シリンダ56と同軸に配設されており、シリンダ56との間に蓄冷器38のための環状またはドーナツ状収容空間を形成する。第2蓄冷器支持部材39は、容器基端54aに固定されている。冷却ステージ29は、第2蓄冷器支持部材39に対し蓄冷器38と軸方向反対側に配設され容器基端54aに固定されている。冷却ステージ29はドーム状の内面を有する。作動ガスの膨張空間28が冷却ステージ29のドーム状内面と第2蓄冷器支持部材39との間に形成されている。
第2組立体13bは、第1組立体13aに取り外し可能に取り付けられている。第1組立体13aを第2組立体13bに取り付けることにより、蓄冷器38は、蓄冷器容器54の径方向内側に隣接配置され、かつ第1蓄冷器支持部材37と第2蓄冷器支持部材39とにより軸方向に挟持される。
また、膨張機13は、膨張機本体20、ディスプレーサ22、及び少なくとも1つの支持部40を備える。
膨張機本体20は、高圧の作動ガスを気密に保持するよう構成されている圧力容器である。この圧力容器は、内部を気密に保持するよう相互に連結された複数の容器部分から構成されていてもよい。ディスプレーサ22は、膨張機本体20の中で往復移動するよう構成されている可動部材である。支持部40は、ディスプレーサ22の往復移動を可能とするようにディスプレーサ22を膨張機本体20に支持する。
膨張機本体20は、第1区画24及び第2区画26を備える。第1区画24は、膨張機本体20とディスプレーサ22との間に形成される作動ガスの膨張空間28を含む。膨張空間28に隣接する膨張機本体20の部分には、対象物を冷却するための冷却ステージ29が設けられている。第2区画26は、弾性部材30を介してディスプレーサ22を膨張機本体20に支持するよう構成されている。
膨張機本体20のうち、第1区画24側の一部は、図示しない真空容器に収容される。フランジ47は、真空容器内部の真空層と真空容器外部の大気層とを分離する。
第2区画26は、ディスプレーサ22の往復移動方向(図において矢印Cで示す)において第1区画24と隣接する。第2区画26と第1区画24との間にはシール部25が設けられており、これにより第2区画26は第1区画24から仕切られている。よって、第1区画24における作動ガスの圧力変動は、第2区画26に伝わらないか、または第2区画26における作動ガスの圧力にあまり影響しない。なお、第2区画26は、圧縮機11から送られる作動ガスの平均圧力と同等の圧力となるように、作動ガスと同種のガスが封入されている。
ディスプレーサ22は、シリンダ56内を軸方向に延在する。ディスプレーサ22は、シリンダ56に沿って軸方向に往復動可能に配設されている。ディスプレーサ22は、第1ディスプレーサ外周面32a、第2ディスプレーサ外周面32b、およびディスプレーサ段部32cを備える。
ディスプレーサ22は、第1区画24に収容されているディスプレーサヘッド32と、ディスプレーサロッド34と、を備える。ディスプレーサロッド34は、ディスプレーサヘッド32より細い軸部である。ディスプレーサ22はその往復移動方向に平行である中心軸(図において一点鎖線Aで示す)を有しており、ディスプレーサヘッド32及びディスプレーサロッド34はディスプレーサ22の中心軸に同軸に設けられている。ディスプレーサ22は内部空間を有しており、作動ガスと同種のガスで満たされている。
ディスプレーサロッド34は、ディスプレーサヘッド32からシール部25を通って第2区画26へと延在する。ディスプレーサロッド34は、ディスプレーサ22の往復移動を可能とするよう第2区画26において膨張機本体20により支持される。上述のシール部25は例えば、ディスプレーサロッド34と膨張機本体20との間に形成されるロッドシールであってもよい。なお、ディスプレーサロッド34もディスプレーサ22と同様に内部空間を有している。ディスプレーサロッド34はディスプレーサヘッド32と接続しており、ディスプレーサ22の内部空間と連通している。
膨張機13は、ディスプレーサ22の往復移動方向における複数の異なる位置で、ディスプレーサ22の往復移動を可能とするようディスプレーサ22を膨張機本体20に支持する。そのために、膨張機13には2つの支持部40が備えられている。これら2つの支持部40は第2区画26に設けられている。このようにして、中心軸に対するディスプレーサ22の傾動を抑制することができる。
支持部40に設けられている弾性部材30は、ディスプレーサ22が中立位置から変位するときディスプレーサ22に弾性的復元力が作用するように、ディスプレーサロッド34と膨張機本体20との間に配設されている。これにより、ディスプレーサ22は、弾性部材30のバネ定数、作動ガスの圧力に起因するバネ定数、ディスプレーサ22の重量などから定まる固有振動数で往復移動する。例えば、ディスプレーサロッド34の断面積に応じたガスバネ作用も固有振動数に影響する。
弾性部材30は例えば、少なくとも1つの板バネを含むバネ機構を備える。板バネはフレクシャベアリングとも呼ばれるバネであり、ディスプレーサ22の往復移動方向に柔軟であり、往復移動方向に垂直な方向に剛である。したがって、弾性部材30により、ディスプレーサ22はその中心軸に沿う方向への移動が許容されているが、それと直交する方向への移動は規制されている。ディスプレーサロッド34は、弾性部材取付部51を介して弾性部材30に固定される。
このようにして、ディスプレーサ22と弾性部材30とからなる振動系が構成されている。この振動系は、圧縮機11の可動部材の振動と同一の周波数で当該振動と位相差を有してディスプレーサ22が振動するよう構成されている。ディスプレーサ22は、圧縮機11の可動部材の振動によって生じる作動ガス圧力の脈動によって駆動される。ディスプレーサ22及び圧縮機11の可動部材の往復動によって膨張空間28と圧縮機11の作動ガス室との間に逆スターリングサイクルが形成される。こうして、膨張空間28に隣接する冷却ステージが冷却され、スターリング冷凍機10は対象物を冷却することができる。
膨張空間28は、ディスプレーサヘッド32の先端面と冷却ステージ29との間に形成されている。膨張空間28は、ディスプレーサヘッド32とディスプレーサロッド34との接合部と軸方向反対側に形成されている。この接合部とシール部25との間には、接続管12に接続されるガス空間36が形成されている。膨張空間28とガス空間36との間の作動ガスの流通は蓄冷器38を通じて可能である。
第1蓄冷器支持部材37は、蓄冷器38とガス空間36の間に、つまりスターリング冷凍機10の常温部に配置されている。第1蓄冷器支持部材37は、蓄冷器38と同様に、環状またはドーナツ状の形状を有する。第1蓄冷器支持部材37は、シリンダ基端56aから径方向外側に向けて延びている。第1蓄冷器支持部材37は作動ガス流路を有しており、ガス空間36と蓄冷器38との間の作動ガスの流通は第1蓄冷器支持部材37を通じてなされる。
第1蓄冷器支持部材37は、第1熱交換器37aを備える。第1熱交換器37aは、例えば、水冷式熱交換器、または、冷却液または冷媒を用いる熱交換器であってもよい。第1熱交換器37aは、圧縮機11から供給された作動ガスを冷却し、その熱を膨張機13の外部へ放出するための熱交換を実現する。第1蓄冷器支持部材37は第1熱交換器37aと一体に形成されていてもよい。
第2蓄冷器支持部材39は、蓄冷器38と冷却ステージ29との間に、つまりスターリング冷凍機10の低温部に配置されている。第2蓄冷器支持部材39は、蓄冷器38と同様に、環状またはドーナツ状の形状を有する。第2蓄冷器支持部材39は、容器基端54aから径方向内側に向けて延びている。第2蓄冷器支持部材39は作動ガス流路を有しており、膨張空間28と蓄冷器38との間の作動ガスの流通は第2蓄冷器支持部材39を通じてなされる。第2蓄冷器支持部材39は、低温熱交換器であってもよい。第2蓄冷器支持部材39は、金属(例えば、無酸素銅)で形成されている。
第1蓄冷器支持部材37および第2蓄冷器支持部材39は、蓄冷器38のための一対の保持具として設けられている。これら一対の保持具は、蓄冷材積層体を軸方向に圧縮保持するよう蓄冷材積層体をその軸方向両端から挟持する。このように蓄冷材を圧縮保持するのは、作動ガスの流れによる蓄冷材の位置変動を防止するためである。こうして、蓄冷材積層体を形成する多数の蓄冷材部材が一対の保持具の間に固定される。
第2蓄冷器支持部材39は、環状溝39aおよび支持部材内周面39bを備える。環状溝39aは、シリンダ先端56bに対応する位置に形成されている。シリンダ内周面56cは、第1内径D1を有し、支持部材内周面39bは、第1内径D1より小さい第2内径D2を有する。
第1ディスプレーサ外周面32aは、シリンダ内周面56cに面し、第1外径d1を有する。第2ディスプレーサ外周面32bは、支持部材内周面39bに面し、第1外径d1より小さい第2外径d2を有する。ディスプレーサ段部32cは、第1ディスプレーサ外周面32aと第2ディスプレーサ外周面32bとの間に形成されている。ディスプレーサ段部32cは、ディスプレーサヘッド32とシリンダ56との隙間を通る作動ガスの漏れを低減することに役立つ。
環状シール部材64は、シリンダ先端56bと第2蓄冷器支持部材39との間に挟み込まれている。具体的には、シリンダ先端56bが環状シール部材64を備えており、シリンダ先端56bが環状シール部材64とともに環状溝39aに嵌め込まれている。環状シール部材64は、シリンダ先端56bの内面および外面を被覆するようシリンダ先端56bに装着されている。図3に矢印で示すように、第1組立体13aが第2組立体13bに挿入され、両者は合体される。シリンダ先端56bと第2蓄冷器支持部材39とはろう付けによる接合はなされない。
環状シール部材64は、樹脂材料で形成されている。例えば、環状シール部材64は、フッ素系樹脂(例えば、ポリテトラフルオロエチレン、PTFE)製またはポリアミド樹脂製のスリーブ、ポリイミドフィルム製の粘着テープ(例えば、カプトン(登録商標)テープ)、熱収縮チューブ、スリッパーシール、または、Oリングであってもよい。環状シール部材64は、弾性体であってもよい。
図4は、あるスターリング冷凍機の蓄冷器138を概略的に示す。図4においては、ディスプレーサの図示を省略し、その中心軸を一点鎖線で示す。蓄冷器138は、ディスプレーサの中心軸と同軸に配設されている。
蓄冷器138は、容器外筒154及び容器内筒156を有する蓄冷材容器152を備える。容器内筒156はディスプレーサを案内するシリンダとして機能する。容器外筒154と容器内筒156との間に蓄冷材積層体158が収容されている。蓄冷材積層体158は、軸方向に積層された多数の金網部材160から形成されている。個々の金網部材160は、軸方向に垂直な平面に沿って延在する。蓄冷材積層体158の軸方向両端には一対の保持具162が設けられている。金網部材160は、環状またはドーナツ状の形状を有する。保持具162も同様に、環状またはドーナツ状の形状を有する。
一般に、金網部材160は、蓄冷材容器152の中の空間を完全に埋め、蓄冷材容器152と蓄冷材積層体158との間に隙間が生じないように寸法が定められている。しかし、実際には、図示されるように、蓄冷材積層体158と蓄冷材容器152との間には僅かな隙間が生じうる。容器外筒154と蓄冷材積層体158との間には外側隙間164aが生じ、容器内筒156と蓄冷材積層体158との間には内側隙間164bが生じうる。こうした隙間は、金網部材160の製造上の公差に起因する。隙間は作動ガスの通路となりうる。作動ガスが隙間を流れると、作動ガスと蓄冷材との熱交換が有効に行われない。そのため、蓄冷器138の効率が低下してしまうことになる。僅かな隙間であっても、蓄冷器138の性能は顕著に低下しうる。
これに対して、実施形態に係るスターリング冷凍機10には環状シール部材64が設けられ、第2蓄冷器支持部材39とシリンダ56との間に生じうる隙間が塞がれている。たとえ蓄冷器38とシリンダ56との間に隙間が生じたとしても、そこでの作動ガス流れを環状シール部材64が遮断することができる。よって、蓄冷器38の効率低下を防止または緩和することができる。
また、環状シール部材64は、低温熱交換器である第2蓄冷器支持部材39とシリンダ56との間に生じうる隙間を塞いでいる。そのため、低温熱交換器の熱交換効率を改善することができる。
環状シール部材64は、蓄冷器38の抜け止めのためにシリンダ56に設けられていてもよい。第1組立体13aが第2組立体13bに取り付けられる前において、第1組立体13aを逆さにしたときに蓄冷器38が落下するのを防止できる。組立の作業性を向上することができる。
図5は、他の実施形態に係る膨張機13を概略的に示す図である。図5に示されるように、環状シール部材64は、シリンダ先端56bの外面のみを被覆するようシリンダ先端56bに装着されていてもよい。環状シール部材64は、シリンダ先端56bと第2蓄冷器支持部材39との間に挟み込まれている。このようにしても、環状シール部材64は、蓄冷器38とシリンダ56との隙間における作動ガス流れを遮断することができる。
図6は、他の実施形態に係る膨張機13を概略的に示す図である。図示されるように、環状シール部材64については、図2および図3の実施形態と同様である。ただし、第2蓄冷器支持部材39は、環状シール部材64に接触する内周部39cと、容器基端54aに固定されている外周部39dと、を備える。内周部39cは、外周部39dに対し膨張空間28内で冷却ステージ29に向けて軸方向に突き出している。このような第2蓄冷器支持部材39の形状は、第2蓄冷器支持部材39と膨張空間28との間の作動ガス流れ66を冷却ステージ29のほうに向けるのに役立つ。
図7は、他の実施形態に係る膨張機13を概略的に示す図である。第1熱交換器37aが第1蓄冷器支持部材として設けられてもよい。図示されるように、第1熱交換器37aが蓄冷器38を直接支持してもよい。このように、図2等に示される第1蓄冷器支持部材37が省略されてもよい。
第2蓄冷器支持部材39は、第2熱交換器41(例えば、上述の低温熱交換器)と、第2熱交換器41と蓄冷器38とに挟まれる蓄冷器押さえ部材42と、を備えてもよい。このように、第2蓄冷器支持部材39は、図2に示す第1蓄冷器支持部材37と同様に、互いに別体である熱交換器と押さえ部材で構成されていてもよい。
図7に示される熱交換器一体型の第1蓄冷器支持部材は、既述の実施形態のいずれかに適用されうる。例えば、図2に示す実施形態に適用される場合には、第1蓄冷器支持部材37および第2蓄冷器支持部材39がともに熱交換器一体型に構成される。また、図7に示される熱交換器分離型の第2蓄冷器支持部材は、既述の実施形態のいずれかに適用されうる。例えば、図2に示す実施形態に適用される場合には、第1蓄冷器支持部材37および第2蓄冷器支持部材39がともに熱交換器分離型に構成される。
以上、本発明を実施例にもとづいて説明した。本発明は上記実施形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは、当業者に理解されるところである。
実施形態に係るシール構造は、ディスプレーサ22を有しないスターリング冷凍機、例えば、スターリング型パルス管冷凍機に適用されてもよい。この場合、上述のシリンダ56は、パルス管のシリンダであってもよい。
10 スターリング冷凍機、 13a 第1組立体、 13b 第2組立体、 22 ディスプレーサ、 25 シール部、 28 膨張空間、 29 冷却ステージ、 32a 第1ディスプレーサ外周面、 32b 第2ディスプレーサ外周面、 32c ディスプレーサ段部、 37 第1蓄冷器支持部材、 37a 第1熱交換器、 38 蓄冷器、 39 第2蓄冷器支持部材、 39a 環状溝、 39b 支持部材内周面、 39c 内周部、 39d 外周部、 40 支持部、 41 第2熱交換器、 54 蓄冷器容器、 54a 容器基端、 54b 容器先端、 56 シリンダ、 56a シリンダ基端、 56b シリンダ先端、 56c シリンダ内周面、 64 環状シール部材。

Claims (7)

  1. シリンダ基端およびシリンダ先端を備え前記シリンダ基端から前記シリンダ先端へと軸方向に延在するシリンダと、前記シリンダの径方向外側に隣接配置されている蓄冷器と、前記シリンダ基端に固定されている第1蓄冷器支持部材と、を備える第1組立体と、
    容器基端および容器先端を備え前記容器基端から前記容器先端へと軸方向に延在する蓄冷器容器と、前記容器基端に固定されている第2蓄冷器支持部材と、を備える第2組立体であって、前記蓄冷器が前記蓄冷器容器の径方向内側に隣接配置されかつ前記第1蓄冷器支持部材と前記第2蓄冷器支持部材とにより軸方向に挟持されるように、前記第1組立体に取り外し可能に取り付けられている第2組立体と、
    前記シリンダ先端と前記第2蓄冷器支持部材との間に挟み込まれている環状シール部材と、を備えることを特徴とするスターリング冷凍機。
  2. 前記シリンダ先端が前記環状シール部材を備えており、前記第2蓄冷器支持部材は環状溝を有し、前記シリンダ先端が前記環状シール部材とともに前記環状溝に嵌め込まれていることを特徴とする請求項1に記載のスターリング冷凍機。
  3. 前記環状シール部材は、前記シリンダ先端の内面および外面を被覆するよう前記シリンダ先端に装着されていることを特徴とする請求項1または2に記載のスターリング冷凍機。
  4. 前記第2組立体は、前記第2蓄冷器支持部材に対し前記蓄冷器と軸方向反対側に配設され前記容器基端に固定されている冷却ステージを備え、作動ガスの膨張空間が前記冷却ステージと前記第2蓄冷器支持部材との間に形成されており、
    前記第2蓄冷器支持部材は、前記環状シール部材に接触する内周部と、前記容器基端に固定されている外周部と、を備え、前記内周部が前記外周部に対し前記膨張空間内で前記冷却ステージに向けて軸方向に突き出していることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のスターリング冷凍機。
  5. 前記シリンダ内を軸方向に延在するディスプレーサであって、前記シリンダに沿って軸方向に往復動可能に配設されているディスプレーサをさらに備え、
    前記シリンダは、第1内径を有するシリンダ内周面を備え、前記第2蓄冷器支持部材は、前記第1内径より小さい第2内径を有する支持部材内周面を備え、
    前記ディスプレーサは、前記シリンダ内周面に面し第1外径を有する第1ディスプレーサ外周面と、前記支持部材内周面に面し、前記第1外径より小さい第2外径を有する第2ディスプレーサ外周面と、前記第1ディスプレーサ外周面と前記第2ディスプレーサ外周面との間に形成されているディスプレーサ段部と、を備えることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のスターリング冷凍機。
  6. 前記第1蓄冷器支持部材は、第1熱交換器を備えることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のスターリング冷凍機。
  7. 前記第2蓄冷器支持部材は、第2熱交換器を備えることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のスターリング冷凍機。
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