JP2017135481A - Coil device and wireless IC device - Google Patents

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登 加藤
誠 安武
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誠 安武
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To implement a small coil device having a desired inductance value, and capable of reducing the DC resistance.SOLUTION: A coil device CD1 includes large diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4 having a winding axis in a first direction (Y axis direction), small diameter loops SL1, SL2, SL3, SL4 having a winding axis in the Y axis direction, and a wiring board having a first principal surface parallel with the Y axis direction. The large diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4 are in conduction with the small diameter loops SL1, SL2, SL3, SL4, and are constituted to include a large diameter bridge-like conductor placed on the outside of the wiring board. The small diameter loops SL1, SL2, SL3, SL4 are constituted to include a small diameter bridge-like conductor mounted on the first principal surface. The large diameter bridge-like conductor and small diameter bridge-like conductor are non-parallel with the first principal surface (XY plane). The small diameter bridge-like conductor is placed on the inside of the external diameter of large diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4, when viewing from the Y axis direction.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、RFID(Radio Frequency Identification)タグをはじめとする近距離無線通信装置等に用いられるコイルデバイス、および上記コイルデバイスを備える無線ICデバイスに関する発明である。   The present invention relates to a coil device used in a short-range wireless communication apparatus such as an RFID (Radio Frequency Identification) tag, and a wireless IC device including the coil device.

HF帯のRFIDタグはカードサイズのものが一般的であるが、商品管理等に用いるために、占有面積の小さな小型のRFIDタグが求められることがある。小型のHF帯RFIDタグとしては、特許文献1,2に示されるような形状のRFIDタグが知られている。これら小型のRFIDタグは、いわゆるシート積層工法を利用したRFIDタグであり、積層型のコイルアンテナを多層基板に内蔵し、RFICチップを多層基板に搭載したものである。   An HF band RFID tag is generally card-sized, but a small RFID tag with a small occupied area may be required for use in merchandise management or the like. As a small HF band RFID tag, an RFID tag having a shape as shown in Patent Documents 1 and 2 is known. These small RFID tags are RFID tags using a so-called sheet lamination method, in which a laminated coil antenna is built in a multilayer substrate and an RFIC chip is mounted on the multilayer substrate.

特開2007−102348号公報JP 2007-102348 A 国際公開第2011/108340号International Publication No. 2011/108340

発明者等は、上記小型のRFIDタグを開発する過程で、特許文献1,2に示されるようなRFIDタグにおいては、次のような課題があることを見いだした。   The inventors have found that the RFID tag as disclosed in Patent Documents 1 and 2 has the following problems in the process of developing the small RFID tag.

(a)特許文献1,2に示されるRFIDタグは、RFICチップの主面がコイルアンテナの中心軸と交差する位置に配置されたものである。そのため、RFICチップを実装するための電極(ランドパターン)がコイルアンテナの巻回軸と交差する。その結果、RFICチップ実装用電極およびRFICチップが、コイルアンテナによる磁界の形成を妨げてしまう傾向にある。なお、RFICチップをコイル開口の外側に配置すれば、磁界の形成を妨げにくくなるが、占有面積が大きくなってしまう。 (A) The RFID tags shown in Patent Documents 1 and 2 are arranged at a position where the main surface of the RFIC chip intersects the central axis of the coil antenna. Therefore, an electrode (land pattern) for mounting the RFIC chip intersects with the winding axis of the coil antenna. As a result, the RFIC chip mounting electrode and the RFIC chip tend to hinder the formation of a magnetic field by the coil antenna. If the RFIC chip is arranged outside the coil opening, it becomes difficult to prevent the formation of the magnetic field, but the occupied area becomes large.

(b)特に、コイルアンテナをシート積層工法で製造する場合に、シートの積みずれ(積層位置精度)や積層体の平坦性を考慮する必要があり、シートの積層数の増加やコイルパターンの厚膜化には限界がある。そのため、得られるインダクタンス値には制限があり、特に直流抵抗(DCR:direct current resistance)の小さなコイルアンテナを得ることは難しい。なお、シートの面方向にコイル巻回軸が向くようにコイルパターンを形成することは可能であるが、この場合には上記シートの積層数の限界により、コイル開口面積を大きくすることは困難であり、直流抵抗の小さなコイルアンテナを得ることは難しい。 (B) In particular, when a coil antenna is manufactured by a sheet lamination method, it is necessary to consider sheet stacking error (stacking position accuracy) and flatness of the laminate, and increase the number of sheets stacked and the thickness of the coil pattern. There is a limit to film formation. Therefore, the inductance value obtained is limited, and it is particularly difficult to obtain a coil antenna with a small direct current resistance (DCR). Although it is possible to form a coil pattern so that the coil winding axis faces the sheet surface direction, in this case, it is difficult to increase the coil opening area due to the limit of the number of stacked sheets. Yes, it is difficult to obtain a coil antenna with a small DC resistance.

本発明の目的は、所望のインダクタンス値を有し、且つ、優れた電気特性を有する、特に直流抵抗の低減が可能な小型のコイルデバイス、および上記コイルデバイスを備える無線ICデバイスを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a small coil device having a desired inductance value and excellent electrical characteristics, particularly capable of reducing a direct current resistance, and a wireless IC device including the coil device. is there.

(1)本発明のコイルデバイスは、
第1方向に巻回軸を有し、大径ブリッジ状導体を含んで構成される大径ループと、
前記第1方向に沿った巻回軸を有し、前記第1方向から視て、前記大径ループの外径の内側に配置される小径ブリッジ状導体を含んで構成される小径ループと、
前記第1方向から視て、少なくとも一部が前記大径ループの内側に配置され、前記第1方向に平行な第1主面および第2主面を有する配線板と、
を備え、
前記大径ループは前記小径ループに導通し、
前記大径ブリッジ状導体および前記小径ブリッジ状導体は、前記第1主面に対して非平行であり、
前記小径ブリッジ状導体は前記第1主面に実装され、
前記大径ブリッジ状導体の第1端および第2端は、前記配線板の外側に配置されることを特徴とする。
(1) The coil device of the present invention includes:
A large-diameter loop having a winding axis in the first direction and including a large-diameter bridge-shaped conductor;
A small-diameter loop having a winding axis along the first direction, and including a small-diameter bridge-like conductor disposed inside the outer diameter of the large-diameter loop as viewed from the first direction;
A wiring board having a first main surface and a second main surface that are at least partially disposed inside the large-diameter loop and are parallel to the first direction, as viewed from the first direction;
With
The large diameter loop is connected to the small diameter loop,
The large-diameter bridge-shaped conductor and the small-diameter bridge-shaped conductor are non-parallel to the first main surface,
The small-diameter bridge-shaped conductor is mounted on the first main surface,
The first end and the second end of the large-diameter bridge-shaped conductor are arranged outside the wiring board.

この構成では、大径ブリッジ状導体の第1端および第2端を配線板に実装する構造ではないため、大径ブリッジ状導体の第1端および第2端を実装するためのランドを配線板に形成する必要がない。そのため、大径ブリッジ状導体および小径ブリッジ状導体を第1方向に狭いピッチで配列することができる。したがって、この構成により、ターン数の割にはコイルの占有面積(特に第1方向の寸法)を小さくできる。   In this configuration, since the first end and the second end of the large-diameter bridge-shaped conductor are not mounted on the wiring board, the land for mounting the first end and the second end of the large-diameter bridge-shaped conductor is provided on the wiring board. There is no need to form. Therefore, the large diameter bridge-shaped conductor and the small diameter bridge-shaped conductor can be arranged at a narrow pitch in the first direction. Therefore, with this configuration, the area occupied by the coil (particularly the dimension in the first direction) can be reduced for the number of turns.

また、この構成では、コイルデバイスを構成する大径ブリッジ状導体および小径ブリッジ状導体の少なくとも一部が、金属部材で構成されている。そのため、導電性ペーストの焼成による焼結金属体や、導電性薄膜のエッチングによる薄膜金属体等で構成する場合に比べて大径ブリッジ状導体および小径ブリッジ状導体のDCRを小さくできるので、Q値が高く、低損失のコイルデバイスが得られる。   Further, in this configuration, at least a part of the large-diameter bridge-like conductor and the small-diameter bridge-like conductor constituting the coil device is constituted by a metal member. Therefore, the DCR of the large-diameter bridge-like conductor and the small-diameter bridge-like conductor can be reduced as compared with the case where the sintered metal body is formed by firing the conductive paste, or the thin film metal body is formed by etching the conductive thin film. And a low-loss coil device can be obtained.

(2)上記(1)において、樹脂部材をさらに備え、前記大径ループ、前記小径ループおよび前記配線板の少なくとも一部は、樹脂部材に埋設されることが好ましい。この構成により、大径ループの少なくとも一部および小径ループの少なくとも一部が樹脂部材で保護されるため、コイルデバイス全体の堅牢性が高まる。 (2) In the above (1), it is preferable that a resin member is further provided, and at least a part of the large-diameter loop, the small-diameter loop, and the wiring board is embedded in the resin member. With this configuration, at least a part of the large-diameter loop and at least a part of the small-diameter loop are protected by the resin member, so that the robustness of the entire coil device is enhanced.

(3)上記(2)において、前記配線板は、前記第1主面が前記樹脂部材の内側に埋設し、前記第2主面が前記樹脂部材から露出するように配置されていてもよい。 (3) In the above (2), the wiring board may be disposed such that the first main surface is embedded inside the resin member and the second main surface is exposed from the resin member.

(4)上記(1)から(3)のいずれかにおいて、前記大径ループは、前記大径ブリッジ状導体の第1端または第2端に接続される大径ループ接続導体を含み、前記小径ループは、前記小径ブリッジ状導体の第1端または第2端に接続される小径ループ接続導体を含み、前記大径ループ接続導体の少なくとも一部は、前記配線板の内部または前記第2主面に形成され、前記小径ループ接続導体は、前記配線板の内部または前記第1主面に形成されることが好ましい。この構成では、配線板に形成された導体を利用することにより、大径ループ接続導体および小径ループ接続導体を容易に構成できる。 (4) In any one of (1) to (3), the large-diameter loop includes a large-diameter loop connecting conductor connected to a first end or a second end of the large-diameter bridge-shaped conductor, and the small-diameter The loop includes a small-diameter loop connection conductor connected to the first end or the second end of the small-diameter bridge-shaped conductor, and at least a part of the large-diameter loop connection conductor is inside the wiring board or the second main surface. Preferably, the small-diameter loop connection conductor is formed inside the wiring board or on the first main surface. In this configuration, the large-diameter loop connection conductor and the small-diameter loop connection conductor can be easily configured by using the conductor formed on the wiring board.

(5)上記(1)から(4)のいずれかにおいて、前記大径ブリッジ状導体は、前記第1主面に直交する方向に延伸する第1柱状金属部および第2柱状金属部と、大径接続導体と、を有し、前記大径接続導体は、前記第1柱状金属部の第1端と前記第2柱状金属部の第1端との間を接続し、前記第1柱状金属部および前記第2柱状金属部は、前記配線板の外側に配置されることが好ましい。この構成により、導電性ペーストの焼成による焼結金属体や、導電性薄膜のエッチングによる薄膜金属体等で構成する場合に比べて大径ブリッジ状導体のDCRを小さくできるので、Q値が高く、低損失のコイルデバイスが得られる。また、この構成により、たとえば層間導体を有する複数の基材層を積層して高さ方向の接続部を形成する場合に比べて、接続箇所を減らすことができ、コイルデバイスの電気的信頼性が高まる。 (5) In any one of (1) to (4), the large-diameter bridge-shaped conductor includes a first columnar metal portion and a second columnar metal portion that extend in a direction orthogonal to the first main surface, A diameter connecting conductor, wherein the large diameter connecting conductor connects between a first end of the first columnar metal portion and a first end of the second columnar metal portion, and the first columnar metal portion. It is preferable that the second columnar metal part is disposed outside the wiring board. With this configuration, the DCR of the large-diameter bridge-shaped conductor can be reduced as compared with a sintered metal body obtained by firing conductive paste, a thin film metal body obtained by etching a conductive thin film, etc. A low-loss coil device is obtained. In addition, with this configuration, for example, compared to the case where a plurality of base material layers having interlayer conductors are stacked to form a height-wise connection portion, the number of connection points can be reduced, and the electrical reliability of the coil device can be reduced. Rise.

(6)上記(1)から(5)のいずれかにおいて、前記小径ブリッジ状導体は、前記第1主面に直交する方向に延伸する第3柱状金属部および第4柱状金属部と、小径接続導体と、を有し、前記小径接続導体は、前記第3柱状金属部の第1端と前記第4柱状金属部の第1端との間を接続し、前記第3柱状金属部の第2端および前記第4柱状金属部の第2端は、前記配線板の前記第1主面にそれぞれ実装されることが好ましい。この構成により、導電性ペーストの焼成による焼結金属体や、導電性薄膜のエッチングによる薄膜金属体等で構成する場合に比べて小径ブリッジ状導体のDCRを小さくできるので、Q値が高く、低損失のコイルデバイスが得られる。また、この構成により、たとえば層間導体を有する複数の基材層を積層して高さ方向の接続部を形成する場合に比べて、接続箇所を減らすことができ、コイルデバイスの電気的信頼性が高まる。 (6) In any one of the above (1) to (5), the small-diameter bridge-shaped conductor is connected to a third columnar metal portion and a fourth columnar metal portion that extend in a direction orthogonal to the first main surface, and a small-diameter connection. The small-diameter connection conductor connects between a first end of the third columnar metal part and a first end of the fourth columnar metal part, and a second of the third columnar metal part. It is preferable that the end and the second end of the fourth columnar metal part are respectively mounted on the first main surface of the wiring board. With this configuration, since the DCR of the small-diameter bridge-shaped conductor can be reduced as compared with the case where the sintered metal body is formed by firing the conductive paste, or the thin film metal body is formed by etching the conductive thin film, the Q value is high and low. A lossy coil device is obtained. In addition, with this configuration, for example, compared to the case where a plurality of base material layers having interlayer conductors are stacked to form a height-wise connection portion, the number of connection points can be reduced, and the electrical reliability of the coil device can be reduced. Rise.

(7)上記(1)から(6)のいずれかにおいて、前記大径ブリッジ状導体は一連の金属部材であることが好ましい。この構成により、導電性ペーストの焼成による焼結金属体や、導電性薄膜のエッチングによる薄膜金属体等で構成する場合に比べて大径ブリッジ状導体のDCRを十分に小さくできるので、さらにQ値が高く、低損失のコイルデバイスが得られる。また、この構成により、たとえば層間導体を有する複数の基材層を積層して高さ方向の接続部を形成する場合に比べて、接続箇所を減らすことができるため、コイルデバイスの電気的信頼性がさらに高まる。 (7) In any one of the above (1) to (6), the large-diameter bridge-shaped conductor is preferably a series of metal members. With this configuration, the DCR of the large-diameter bridge-shaped conductor can be sufficiently reduced as compared with the case of a sintered metal body obtained by firing conductive paste or a thin film metal body obtained by etching a conductive thin film. And a low-loss coil device can be obtained. In addition, this configuration can reduce the number of connection points as compared with the case where, for example, a plurality of base material layers having interlayer conductors are stacked to form a connection portion in the height direction, so that the electrical reliability of the coil device can be reduced. Is further increased.

(8)上記(1)から(7)のいずれかにおいて、前記小径ブリッジ状導体は一連の金属部材であることが好ましい。この構成により、導電性ペーストの焼成による焼結金属体や、導電性薄膜のエッチングによる薄膜金属体等で構成する場合に比べて小径ブリッジ状導体のDCRを十分に小さくできるので、さらにQ値が高く、低損失のコイルデバイスが得られる。また、この構成により、たとえば層間導体を有する複数の基材層を積層して高さ方向の接続部を形成する場合に比べて、接続箇所を減らすことができるため、コイルデバイスの電気的信頼性がさらに高まる。 (8) In any one of the above (1) to (7), the small-diameter bridge-shaped conductor is preferably a series of metal members. With this configuration, the DCR of the small-diameter bridge-shaped conductor can be sufficiently reduced as compared with the case where the sintered metal body is formed by firing the conductive paste, or the thin film metal body is formed by etching the conductive thin film. A high and low loss coil device can be obtained. In addition, this configuration can reduce the number of connection points as compared with the case where, for example, a plurality of base material layers having interlayer conductors are stacked to form a connection portion in the height direction, so that the electrical reliability of the coil device can be reduced. Is further increased.

(9)上記(1)から(8)のいずれかにおいて、前記大径ブリッジ状導体および前記小径ブリッジ状導体は、前記第1主面を平面視して、前記第1方向に沿って隙間なく配列されることが好ましい。この構成により、コイルデバイスに発生した磁束が、互いに隣接する大径ブリッジ状導体と小径ブリッジ状導体との間隙から漏れ難い。そのため、高いインダクタンス値を有するコイルデバイスを構成できる。 (9) In any one of the above (1) to (8), the large-diameter bridge-shaped conductor and the small-diameter bridge-shaped conductor have no gap along the first direction in plan view of the first main surface. Preferably they are arranged. With this configuration, the magnetic flux generated in the coil device hardly leaks from the gap between the large-diameter bridge-shaped conductor and the small-diameter bridge-shaped conductor that are adjacent to each other. Therefore, a coil device having a high inductance value can be configured.

(10)上記(1)から(9)のいずれかにおいて、前記大径ブリッジ状導体及び前記小径ブリッジ状導体は、前記第1主面に平行な方向、且つ前記第1方向に直交する方向から視て、前記第1方向に沿って隙間なく配列されることが好ましい。この構成により、コイルデバイスに発生した磁束が、互いに隣接する大径ブリッジ状導体と小径ブリッジ状導体との間隙から漏れ難い。そのため、高いインダクタンス値を有するコイルデバイスを構成できる。 (10) In any one of the above (1) to (9), the large-diameter bridge-shaped conductor and the small-diameter bridge-shaped conductor are from a direction parallel to the first main surface and a direction orthogonal to the first direction. As viewed, it is preferable that they are arranged without gaps along the first direction. With this configuration, the magnetic flux generated in the coil device hardly leaks from the gap between the large-diameter bridge-shaped conductor and the small-diameter bridge-shaped conductor that are adjacent to each other. Therefore, a coil device having a high inductance value can be configured.

(11)上記(1)から(10)のいずれかにおいて、前記大径ループおよび前記小径ループは、前記第1方向に交互に順次配列され、且つ、交互に順次接続されてヘリカル状のコイルを構成することが好ましい。この構成により、ターン数の割に占有面積(特に第1方向の寸法)が小さなコイルデバイスを実現できる。また、この構成により、この構成により、インダクタンスに寄与しない導体を短くできるため、コイルデバイスのDCRをさらに低減できる。 (11) In any one of the above (1) to (10), the large-diameter loop and the small-diameter loop are alternately arranged in the first direction, and are alternately connected in order to form a helical coil. It is preferable to configure. With this configuration, it is possible to realize a coil device having a small occupied area (particularly, dimension in the first direction) relative to the number of turns. In addition, with this configuration, a conductor that does not contribute to inductance can be shortened by this configuration, so that the DCR of the coil device can be further reduced.

(12)上記(1)から(10)のいずれかにおいて、前記大径ループの数および前記小径ループの数は複数であり、複数の前記大径ループは、互いに接続されてヘリカル状の大径コイルを構成し、複数の前記小径ループは、互いに接続されてヘリカル状の小径コイルを構成し、前記大径コイルは前記小径コイルに接続されることが好ましい。この構成により、小型の割にターン数の多いコイルを容易に構成できる。 (12) In any one of the above (1) to (10), the number of the large diameter loops and the number of the small diameter loops are plural, and the plurality of large diameter loops are connected to each other to form a helical large diameter Preferably, the plurality of small-diameter loops are connected to each other to form a helical small-diameter coil, and the large-diameter coil is connected to the small-diameter coil. With this configuration, it is possible to easily configure a coil having a large number of turns for a small size.

(13)上記(12)において、前記第1方向における前記大径コイルの前記第1端から第2端へ向かう延伸方向は、前記第1方向における前記小径コイルの第1端から第2端へ向かう延伸方向とは逆方向であり、前記大径コイルの第2端は、前記小径コイルの第1端に接続されることが好ましい。この構成により、ターン数の割に占有面積(特に第1方向の寸法)が小さなコイルデバイスを実現できる。また、この構成により、インダクタンスに寄与しない導体を短くできるため、コイルデバイスのDCRをさらに低減できる。 (13) In the above (12), the extending direction from the first end to the second end of the large-diameter coil in the first direction is from the first end to the second end of the small-diameter coil in the first direction. The extending direction is opposite to the extending direction, and the second end of the large-diameter coil is preferably connected to the first end of the small-diameter coil. With this configuration, it is possible to realize a coil device having a small occupied area (particularly, dimension in the first direction) relative to the number of turns. Also, with this configuration, the conductor that does not contribute to the inductance can be shortened, so that the DCR of the coil device can be further reduced.

(14)本発明の無線ICデバイスは、
上記(1)から(13)のいずれかに記載のコイルデバイスと、
前記配線板に実装されるRFICと、
を備え、
前記コイルデバイスは、前記RFICのアンテナポートに接続されることを特徴とする。
(14) The wireless IC device of the present invention
The coil device according to any one of (1) to (13),
RFIC mounted on the wiring board;
With
The coil device is connected to an antenna port of the RFIC.

この構成により、所望のインダクタンス値を有し、且つ、優れた電気特性を有する、特に直流抵抗の低減が可能な小型のコイルデバイスを備える無線ICデバイスを実現できる。   With this configuration, it is possible to realize a wireless IC device including a small coil device having a desired inductance value and excellent electrical characteristics, and particularly capable of reducing direct current resistance.

本発明によれば、所望のインダクタンス値を有し、且つ、優れた電気特性を有する、特に直流抵抗の低減が可能な小型のコイルデバイス、および上記コイルデバイスを備える無線ICデバイスを実現できる。   According to the present invention, it is possible to realize a small coil device having a desired inductance value and excellent electrical characteristics, particularly capable of reducing a direct current resistance, and a wireless IC device including the coil device.

図1は第1の実施形態に係る無線ICデバイス101の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a wireless IC device 101 according to the first embodiment. 図2(A)は無線ICデバイス101の断面図であり、図2(B)は無線ICデバイス101の異なる部分の断面図である。2A is a cross-sectional view of the wireless IC device 101, and FIG. 2B is a cross-sectional view of a different part of the wireless IC device 101. 図3は無線ICデバイス101が備えるコイルデバイスCD1の各導体を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing each conductor of the coil device CD1 provided in the wireless IC device 101. FIG. 図4はコイルデバイスCD1の各導体部分を模式的に示した斜視図である。FIG. 4 is a perspective view schematically showing each conductor portion of the coil device CD1. 図5(A)は、コイルデバイスCD1が備える大径ループの導体部分を模式的に示した斜視図であり、図5(B)はコイルデバイスCD1が備える小径ループの導体部分を模式的に示した斜視図である。FIG. 5A is a perspective view schematically showing a conductor portion of a large-diameter loop included in the coil device CD1, and FIG. 5B schematically shows a conductor portion of a small-diameter loop included in the coil device CD1. FIG. 図6は無線ICデバイス101の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of the wireless IC device 101. 図7(A)はコイルデバイスCD1の平面図であり、図7(B)はコイルデバイスCD1の側面図である。FIG. 7A is a plan view of the coil device CD1, and FIG. 7B is a side view of the coil device CD1. 図8は無線ICデバイス101の製造工程を順に示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating the manufacturing process of the wireless IC device 101 in order. 図9は無線ICデバイス101の製造工程を順に示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view sequentially illustrating the manufacturing process of the wireless IC device 101. 図10は第2の実施形態に係るコイルデバイスCD2の各導体部分を模式的に示した斜視図である。FIG. 10 is a perspective view schematically showing each conductor portion of the coil device CD2 according to the second embodiment. 図11(A)は、コイルデバイスCD2が備える大径ループの導体部分を模式的に示した斜視図であり、図11(B)はコイルデバイスCD2が備える小径ループの導体部分を模式的に示した斜視図である。FIG. 11A is a perspective view schematically showing a conductor portion of a large-diameter loop provided in the coil device CD2, and FIG. 11B schematically shows a conductor portion of a small-diameter loop provided in the coil device CD2. FIG. 図12(A)は第3の実施形態に係る無線ICデバイス103の断面図であり、図12(B)は無線ICデバイス103の異なる部分の断面図である。12A is a cross-sectional view of the wireless IC device 103 according to the third embodiment, and FIG. 12B is a cross-sectional view of a different part of the wireless IC device 103. 図13は無線ICデバイス103の製造工程を順に示す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating the manufacturing process of the wireless IC device 103 in order. 図14は無線ICデバイス103の製造工程を順に示す断面図である。FIG. 14 is a cross-sectional view sequentially illustrating the manufacturing process of the wireless IC device 103. 図15は無線ICデバイス103Aの製造工程を順に示す断面図である。FIG. 15 is a cross-sectional view sequentially illustrating the manufacturing process of the wireless IC device 103A. 図16は無線ICデバイス103Aの製造工程を順に示す断面図である。FIG. 16 is a cross-sectional view sequentially illustrating the manufacturing process of the wireless IC device 103A. 図17は第4の実施形態に係る無線ICデバイス104の断面図である。FIG. 17 is a cross-sectional view of the wireless IC device 104 according to the fourth embodiment. 図18(A)は第5の実施形態に係る無線ICデバイス105の断面図であり、図18(B)は無線ICデバイス105の異なる部分の断面図である。18A is a cross-sectional view of the wireless IC device 105 according to the fifth embodiment, and FIG. 18B is a cross-sectional view of a different part of the wireless IC device 105.

以降、図を参照して幾つかの具体的な例を挙げて、本発明を実施するための複数の形態を示す。各図中には同一箇所に同一符号を付している。要点の説明または理解の容易性を考慮して、便宜上実施形態を分けて示すが、異なる実施形態で示した構成の部分的な置換または組み合わせが可能である。第2の実施形態以降では第1の実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態毎には逐次言及しない。   Hereinafter, several specific examples will be given with reference to the drawings to show a plurality of modes for carrying out the present invention. In each figure, the same reference numerals are assigned to the same portions. In consideration of ease of explanation or understanding of the main points, the embodiments are shown separately for convenience, but the components shown in different embodiments can be partially replaced or combined. In the second and subsequent embodiments, description of matters common to the first embodiment is omitted, and only different points will be described. In particular, the same operation effect by the same configuration will not be sequentially described for each embodiment.

以降に示す幾つかの実施形態に係るコイルデバイスは、例えば磁束の放射素子としてHF帯やLF帯、UHF帯、SHF帯等で使用することのできるコイルアンテナである。また、上記コイルデバイスはインダクタ素子として使用することもできる。そのため、特に説明がない場合、以降に示す幾つかの実施形態に係るコイルデバイスはコイルアンテナおよびインダクタ素子の両方についての例示である。また、以降に示す幾つかの実施形態に係る無線ICデバイスは、RFICとコイルデバイスとを備え、例えば管理対象の物品に設けられるチップ状のRFIDタグ等のRFID通信用デバイスである。上記RFIDタグが付される物品とは、例えば玩具や携帯電話等の携帯型情報端末、足場材のような建材、ガスボンベ等の産業材である。   The coil devices according to some embodiments described below are coil antennas that can be used in, for example, the HF band, the LF band, the UHF band, the SHF band, and the like as magnetic flux radiating elements. The coil device can also be used as an inductor element. Therefore, unless otherwise specified, coil devices according to some embodiments described below are examples of both a coil antenna and an inductor element. In addition, wireless IC devices according to some embodiments described below include an RFIC and a coil device, and are, for example, RFID communication devices such as chip-shaped RFID tags provided in articles to be managed. The article to which the RFID tag is attached is, for example, portable information terminals such as toys and mobile phones, building materials such as scaffolding materials, and industrial materials such as gas cylinders.

《第1の実施形態》
図1は第1の実施形態に係る無線ICデバイス101の斜視図である。図2(A)は無線ICデバイス101の断面図であり、図2(B)は無線ICデバイス101の異なる部分の断面図である。図1において、図の煩雑化を避けるため、大径ループ接続導体および小径ループ接続導体の図示を省略している。
<< First Embodiment >>
FIG. 1 is a perspective view of a wireless IC device 101 according to the first embodiment. 2A is a cross-sectional view of the wireless IC device 101, and FIG. 2B is a cross-sectional view of a different part of the wireless IC device 101. In FIG. 1, the large-diameter loop connection conductor and the small-diameter loop connection conductor are not shown in order to avoid complication of the drawing.

無線ICデバイス101は、コイルデバイスCD1およびRFIC3(後に詳述する)を備える。   The wireless IC device 101 includes a coil device CD1 and an RFIC3 (described in detail later).

図3は無線ICデバイス101が備えるコイルデバイスCD1の各導体を示す斜視図である。図4はコイルデバイスCD1の各導体部分を模式的に示した斜視図である。図5(A)は、コイルデバイスCD1が備える大径ループの導体部分を模式的に示した斜視図であり、図5(B)はコイルデバイスCD1が備える小径ループの導体部分を模式的に示した斜視図である。なお、図3において、図の煩雑化を避けるため、樹脂部材10、大径ループ接続導体および小径ループ接続導体の図示を省略している。図4では、コイルデバイスの構造を解りやすくするため、小径ループを破線で図示している。   FIG. 3 is a perspective view showing each conductor of the coil device CD1 provided in the wireless IC device 101. FIG. FIG. 4 is a perspective view schematically showing each conductor portion of the coil device CD1. FIG. 5A is a perspective view schematically showing a conductor portion of a large-diameter loop included in the coil device CD1, and FIG. 5B schematically shows a conductor portion of a small-diameter loop included in the coil device CD1. FIG. In FIG. 3, the resin member 10, the large-diameter loop connection conductor, and the small-diameter loop connection conductor are not shown in order to avoid complication of the drawing. In FIG. 4, small-diameter loops are illustrated by broken lines in order to facilitate understanding of the structure of the coil device.

コイルデバイスCD1は、複数の大径ループBL1,BL2,BL3,BL4、複数の小径ループSL1,SL2,SL3,SL4、配線板1および樹脂部材10を備える。   The coil device CD1 includes a plurality of large-diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4, a plurality of small-diameter loops SL1, SL2, SL3, SL4, a wiring board 1, and a resin member 10.

配線板1は第1主面PS1および第2主面PS2を有し、平面形状が矩形状の平板である。樹脂部材10は直方体状であり、第1面VS1および第2面VS2を有する。本実施形態では、樹脂部材10が、配線板1の第1主面PS1上に形成される樹脂部材10Aと、樹脂部材10Bとで構成されている。樹脂部材10は例えばエキポシ系樹脂等の熱硬化性樹脂である。配線板1は例えばエキポシ系等の熱硬化性のプリント配線板であり、代表的には両面スルーホール基板である。但し、配線板1はこれに限定されるものではなく、ポリイミド系等の熱可塑性のプリント配線板やセラミック系の基板であってもよい。また、配線板1は単層基板でもよく、多層基板でもよい。   The wiring board 1 is a flat plate having a first main surface PS1 and a second main surface PS2 and having a rectangular planar shape. The resin member 10 has a rectangular parallelepiped shape, and has a first surface VS1 and a second surface VS2. In the present embodiment, the resin member 10 includes a resin member 10A formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1 and a resin member 10B. The resin member 10 is, for example, a thermosetting resin such as an epoxy resin. The wiring board 1 is, for example, an epoxy-based thermosetting printed wiring board, and is typically a double-sided through-hole board. However, the wiring board 1 is not limited to this, and may be a polyimide-based thermoplastic printed wiring board or a ceramic-based substrate. The wiring board 1 may be a single layer substrate or a multilayer substrate.

配線板1は、第1主面PS1が樹脂部材10の内側に埋設され、第2主面PS2が樹脂部材10から露出するように配置される。本実施形態では、配線板1の第2主面PS2と樹脂部材10の第2面VS2とが同一面になるように、配線板1が樹脂部材10に埋設されている。また、配線板1の少なくとも一部は、Y軸方向(本発明における「第1方向」に相当する)から視て、大径ループBL1,BL2,BL3,BL4の内側に配置される。図2に示すように、配線板1の第1主面PS1および第2主面PS2は、X軸方向およびY軸方向に平行である。   The wiring board 1 is arranged such that the first main surface PS1 is embedded inside the resin member 10 and the second main surface PS2 is exposed from the resin member 10. In the present embodiment, the wiring board 1 is embedded in the resin member 10 so that the second main surface PS2 of the wiring board 1 and the second surface VS2 of the resin member 10 are on the same plane. Further, at least a part of the wiring board 1 is disposed inside the large-diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4 when viewed from the Y-axis direction (corresponding to the “first direction” in the present invention). As shown in FIG. 2, the first main surface PS1 and the second main surface PS2 of the wiring board 1 are parallel to the X-axis direction and the Y-axis direction.

複数の大径ループBL1,BL2,BL3,BL4は、Y軸方向(本発明の「第1方向」に相当する)に巻回軸AXを有する。本実施形態では、図1等に示すように、複数の大径ループBL1,BL2,BL3,BL4の少なくとも一部が、樹脂部材10に埋設される。   The plurality of large-diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4 have a winding axis AX in the Y-axis direction (corresponding to the “first direction” of the present invention). In the present embodiment, as shown in FIG. 1 and the like, at least a part of the plurality of large-diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4 is embedded in the resin member 10.

複数の大径ループBL1,BL2,BL3,BL4は、大径ループ接続導体Bj1,Bj2,Bj3,Bj4および大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4を含んで構成される。具体的には、大径ループBL1は、大径ループ接続導体Bj1および大径ブリッジ状導体Bb1を含んで構成される。大径ループBL2は、大径ループ接続導体Bj2および大径ブリッジ状導体Bb2を含んで構成される。大径ループBL3は、大径ループ接続導体Bj3および大径ブリッジ状導体Bb3を含んで構成される。大径ループBL4は、大径ループ接続導体Bj4および大径ブリッジ状導体Bb4を含んで構成される。   The plurality of large diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4 include large diameter loop connection conductors Bj1, Bj2, Bj3, Bj4 and large diameter bridge-shaped conductors Bb1, Bb2, Bb3, Bb4. Specifically, the large-diameter loop BL1 includes a large-diameter loop connection conductor Bj1 and a large-diameter bridge-shaped conductor Bb1. The large-diameter loop BL2 includes a large-diameter loop connection conductor Bj2 and a large-diameter bridge conductor Bb2. The large-diameter loop BL3 includes a large-diameter loop connection conductor Bj3 and a large-diameter bridge conductor Bb3. The large-diameter loop BL4 includes a large-diameter loop connection conductor Bj4 and a large-diameter bridge conductor Bb4.

複数の大径ループ接続導体Bj1,Bj2,Bj3,Bj4は、主に配線板1の内部および第2主面PS2に形成される導体であり、大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4の第1端または第2端に接続される。本実施形態では、大径ブリッジ状導体が、配線板1の第1主面PS1に形成される導体パターン、配線板1の内部に形成される層間接続導体や導体パターン、および配線板1の第2主面PS2から樹脂部材10の第2面VS2に亘って形成される導体パターン等で構成される。例えば、大径ループ接続導体Bj2は、図2(A)に示すように、配線板1の第1主面PS1に形成される導体パターン91、配線板1の内部に形成される層間接続導体V1、および配線板1の第2主面PS2から樹脂部材10の第2面VS2に亘って形成される導体パターン72等で構成されている。   The plurality of large-diameter loop connection conductors Bj1, Bj2, Bj3, Bj4 are conductors mainly formed in the inside of the wiring board 1 and the second main surface PS2, and the large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, Bb4 Connected to the first end or the second end. In the present embodiment, the large-diameter bridge-shaped conductor includes a conductor pattern formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1, an interlayer connection conductor and a conductor pattern formed inside the wiring board 1, and the first of the wiring board 1. It is comprised by the conductor pattern etc. which are formed over 2nd surface VS2 of the resin member 10 from 2 main surface PS2. For example, the large-diameter loop connection conductor Bj2 includes a conductor pattern 91 formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1 and an interlayer connection conductor V1 formed inside the wiring board 1, as shown in FIG. And a conductive pattern 72 formed from the second main surface PS2 of the wiring board 1 to the second surface VS2 of the resin member 10.

大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4は、X軸方向およびY軸方向に延伸するコの字状(または逆U字状)の導体であり、配線板1の第1主面PS1に対して垂直である。大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4の第1端および第2端は、図3等に示すように、Y軸方向またはZ軸方向から視て、配線板1の外側に配置されている。本実施形態では、大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4のそれぞれが略同形状である。   The large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, and Bb4 are U-shaped (or inverted U-shaped) conductors that extend in the X-axis direction and the Y-axis direction, and are formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1. It is perpendicular to it. The first end and the second end of the large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, Bb4 are arranged outside the wiring board 1 when viewed from the Y-axis direction or the Z-axis direction, as shown in FIG. Yes. In the present embodiment, each of the large diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, and Bb4 has substantially the same shape.

また、大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4は、第1金属ポスト11,12,13,14、第2金属ポスト21,22,23,24および大径接続導体51,52,53,54を有する。具体的には、大径ブリッジ状導体Bb1は、第1金属ポスト11、大径接続導体51および第2金属ポスト21を順次接続して構成される。大径ブリッジ状導体Bb2は、第1金属ポスト12、大径接続導体52および第2金属ポスト22を順次接続して構成される。大径ブリッジ状導体Bb3は、第1金属ポスト13、大径接続導体53および第2金属ポスト23を順次接続して構成される。大径ブリッジ状導体Bb4は、第1金属ポスト14、大径接続導体54および第2金属ポスト24を順次接続して構成される。   Further, the large diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, Bb4 include the first metal posts 11, 12, 13, 14, the second metal posts 21, 22, 23, 24 and the large diameter connection conductors 51, 52, 53, 54. Specifically, the large-diameter bridge-shaped conductor Bb1 is configured by sequentially connecting the first metal post 11, the large-diameter connection conductor 51, and the second metal post 21. The large-diameter bridge-shaped conductor Bb2 is configured by sequentially connecting the first metal post 12, the large-diameter connection conductor 52, and the second metal post 22. The large-diameter bridge conductor Bb3 is configured by sequentially connecting the first metal post 13, the large-diameter connection conductor 53, and the second metal post 23. The large-diameter bridge conductor Bb4 is configured by sequentially connecting the first metal post 14, the large-diameter connection conductor 54, and the second metal post 24.

第1金属ポスト11,12,13,14および第2金属ポスト21,22,23,24は、Z軸方向(本発明における配線板の「第1主面に直交する方向」に相当する)に延伸し、且つ、Y軸方向に配列される柱状の金属体である。図3等に示すように、第1金属ポスト11,12,13,14および第2金属ポスト21,22,23,24は、Y軸方向またはZ軸方向から視て、配線板1の外側に配置されている。第1金属ポスト11,12,13,14および第2金属ポスト21,22,23,24は、いずれも例えば円柱状のCu製ピンであり、例えば、断面円形のCuワイヤーを所定長単位で切断することで得られる。なお、この断面形状は必ずしも円形である必要は無く、矩形や多角形等であってもよい。   First metal posts 11, 12, 13, 14 and second metal posts 21, 22, 23, 24 are in the Z-axis direction (corresponding to “direction perpendicular to the first main surface” of the wiring board in the present invention). It is a columnar metal body that is stretched and arranged in the Y-axis direction. As shown in FIG. 3 and the like, the first metal posts 11, 12, 13, 14 and the second metal posts 21, 22, 23, 24 are outside the wiring board 1 when viewed from the Y-axis direction or the Z-axis direction. Has been placed. The first metal posts 11, 12, 13, 14 and the second metal posts 21, 22, 23, 24 are all, for example, cylindrical Cu pins, for example, cutting a Cu wire having a circular cross section in predetermined length units. It is obtained by doing. The cross-sectional shape is not necessarily circular, and may be a rectangle or a polygon.

本実施形態では、これら第1金属ポスト11,12,13,14が本発明における「第1柱状金属部」に相当し、第2金属ポスト21,22,23,24が本発明における「第2柱状金属部」に相当する。   In the present embodiment, these first metal posts 11, 12, 13, and 14 correspond to the “first columnar metal portion” in the present invention, and the second metal posts 21, 22, 23, and 24 in the present invention “second column”. Corresponds to “columnar metal part”.

大径接続導体51,52,53,54は、樹脂部材10の第1面VS1に形成される導体パターンであり、第1金属ポスト11,12,13,14の第1端と第2金属ポスト21,22,23,24の第1端とを接続する。具体的には、大径接続導体51は、第1金属ポスト11の第1端と第2金属ポスト21の第1端とを接続する。大径接続導体52は、第1金属ポスト12の第1端と第2金属ポスト22の第1端とを接続する。大径接続導体53は、第1金属ポスト13の第1端と第2金属ポスト23の第1端とを接続する。大径接続導体54は、第1金属ポスト14の第1端と第2金属ポスト24の第1端とを接続する。大径接続導体51,52,53,54は例えばCuやAgを主成分とした金属膜である。   The large-diameter connection conductors 51, 52, 53, and 54 are conductor patterns formed on the first surface VS1 of the resin member 10, and the first ends of the first metal posts 11, 12, 13, and 14 and the second metal posts. The first ends of 21, 22, 23, and 24 are connected. Specifically, the large-diameter connection conductor 51 connects the first end of the first metal post 11 and the first end of the second metal post 21. The large-diameter connection conductor 52 connects the first end of the first metal post 12 and the first end of the second metal post 22. The large-diameter connection conductor 53 connects the first end of the first metal post 13 and the first end of the second metal post 23. The large-diameter connection conductor 54 connects the first end of the first metal post 14 and the first end of the second metal post 24. The large-diameter connection conductors 51, 52, 53, 54 are metal films mainly composed of Cu or Ag, for example.

複数の小径ループSL1,SL2,SL3,SL4は、Y軸方向に沿った巻回軸AXを有する。なお、本実施形態では、大径ループBL1,BL2,BL3,BL4の巻回軸と小径ループSL1,SL2,SL3,SL4の巻回軸とが一致している。また、本実施形態では、複数の小径ループSL1,SL2,SL3,SL4の少なくとも一部が、樹脂部材10に埋設される。   The plurality of small-diameter loops SL1, SL2, SL3, and SL4 have a winding axis AX along the Y-axis direction. In the present embodiment, the winding axes of the large-diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4 and the winding axes of the small-diameter loops SL1, SL2, SL3, SL4 coincide. In the present embodiment, at least a part of the plurality of small-diameter loops SL1, SL2, SL3, SL4 is embedded in the resin member 10.

複数の小径ループSL1,SL2,SL3,SL4は、小径ループ接続導体Sj1,Sj2,Sj3および小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4を含んで構成される。具体的には、小径ループSL1は、小径ブリッジ状導体Sb1および小径ループ接続導体Sj1を含んで構成される。小径ループSL2は、小径ブリッジ状導体Sb2および小径ループ接続導体Sj2を含んで構成される。小径ループSL3は、小径ブリッジ状導体Sb3および小径ループ接続導体Sj3を含んで構成される。小径ループSL4は、小径ブリッジ状導体Sb4を含んで構成される。   The plurality of small-diameter loops SL1, SL2, SL3, SL4 include small-diameter loop connection conductors Sj1, Sj2, Sj3 and small-diameter bridge-shaped conductors Sb1, Sb2, Sb3, Sb4. Specifically, the small-diameter loop SL1 includes a small-diameter bridge conductor Sb1 and a small-diameter loop connection conductor Sj1. The small diameter loop SL2 includes a small diameter bridge conductor Sb2 and a small diameter loop connection conductor Sj2. The small-diameter loop SL3 includes a small-diameter bridge-shaped conductor Sb3 and a small-diameter loop connection conductor Sj3. The small-diameter loop SL4 includes a small-diameter bridge-shaped conductor Sb4.

複数の小径ループ接続導体Sj1,Sj2,Sj3は、主に配線板1の内部および第1主面PS1に形成される導体であり、小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3の第1端または第2端に接続される。本実施形態では、小径ループ接続導体が、配線板1の第1主面PS1に形成される導体パターン、配線板1の内部に形成される層間接続導体や導体パターン、および配線板1の第2主面PS2から樹脂部材10の第2面VS2に亘って形成される導体パターン等で構成される。例えば、小径ループ接続導体Sj1は、図2(B)に示すように、配線板1の第1主面PS1に形成される導体パターン92、配線板1の内部に形成される層間接続導体V2、および配線板1の第2主面PS2から樹脂部材10の第2面VS2に亘って形成される導体パターン71等で構成されている。   The plurality of small-diameter loop connection conductors Sj1, Sj2, Sj3 are conductors mainly formed on the inside of the wiring board 1 and the first main surface PS1, and the first end or the second end of the small-diameter bridge-shaped conductors Sb1, Sb2, Sb3. Connected to the end. In the present embodiment, the small-diameter loop connection conductor is a conductor pattern formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1, an interlayer connection conductor or conductor pattern formed inside the wiring board 1, and the second of the wiring board 1. The conductor pattern is formed from the main surface PS2 to the second surface VS2 of the resin member 10. For example, the small-diameter loop connection conductor Sj1 includes a conductor pattern 92 formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1, an interlayer connection conductor V2 formed inside the wiring board 1, as shown in FIG. And a conductor pattern 71 formed from the second main surface PS2 of the wiring board 1 to the second surface VS2 of the resin member 10.

小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4は、X軸方向およびY軸方向に延伸するコの字状(または逆U字状)の導体であり、配線板1の第1主面PS1に対して垂直である。小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4は、配線板1の第1主面PS1に実装されている。本実施形態では、小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4のそれぞれが略同形状である。   The small-diameter bridge-shaped conductors Sb1, Sb2, Sb3, and Sb4 are U-shaped (or inverted U-shaped) conductors that extend in the X-axis direction and the Y-axis direction, and are connected to the first main surface PS1 of the wiring board 1. And vertical. The small diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, and Sb4 are mounted on the first main surface PS1 of the wiring board 1. In the present embodiment, each of the small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, Sb4 has substantially the same shape.

小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4の外径寸法は、Y軸方向から視て、大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4の外径寸法よりも小さい。また、小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4の内径寸法は、Y軸方向から視て、大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4の内径寸法よりも小さい。そのため、小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4は、Y軸方向から視て、大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4の外径の内側に配置される。なお、本実施形態では、小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4が、Y軸方向から視て、大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4の内径の内側に配置されている。   The outer diameter dimensions of the small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, Sb4 are smaller than the outer diameter dimensions of the large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, Bb4 when viewed from the Y-axis direction. Further, the inner diameter dimensions of the small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, Sb4 are smaller than the inner diameter dimensions of the large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, Bb4 when viewed from the Y-axis direction. Therefore, the small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, and Sb4 are disposed inside the outer diameter of the large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, and Bb4 when viewed from the Y-axis direction. In the present embodiment, the small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, and Sb4 are arranged inside the inner diameters of the large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, and Bb4 when viewed from the Y-axis direction.

また、小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4は、第3金属ポスト31,32,33,34、第4金属ポスト41,42,43,44および小径接続導体61,62,63,64を有する。具体的には、小径ブリッジ状導体Sb1は、第3金属ポスト31、小径接続導体61および第4金属ポスト41を順次接続して構成される。小径ブリッジ状導体Sb2は、第3金属ポスト32、小径接続導体62および第4金属ポスト42を順次接続して構成される。小径ブリッジ状導体Sb3は、第3金属ポスト33、小径接続導体63および第4金属ポスト43を順次接続して構成される。小径ブリッジ状導体Sb4は、第3金属ポスト34、小径接続導体64および第4金属ポスト44を順次接続して構成される。   The small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, and Sb4 include the third metal posts 31, 32, 33, and 34, the fourth metal posts 41, 42, 43, and 44, and the small-diameter connection conductors 61, 62, 63, and 64, respectively. Have. Specifically, the small-diameter bridge-shaped conductor Sb1 is configured by sequentially connecting the third metal post 31, the small-diameter connection conductor 61, and the fourth metal post 41. The small-diameter bridge-shaped conductor Sb2 is configured by sequentially connecting the third metal post 32, the small-diameter connection conductor 62, and the fourth metal post 42. The small-diameter bridge conductor Sb3 is configured by sequentially connecting the third metal post 33, the small-diameter connection conductor 63, and the fourth metal post 43. The small-diameter bridge conductor Sb4 is configured by sequentially connecting the third metal post 34, the small-diameter connection conductor 64, and the fourth metal post 44.

第3金属ポスト31,32,33,34および第4金属ポスト41,42,43,44は、Z軸方向に延伸し、且つ、Y軸方向に配列される柱状の金属体である。図3等に示すように、第3金属ポスト31,32,33,34の第2端および第4金属ポスト41,42,43,44の第2端は、配線板1の第1主面PS1にそれぞれ実装されている。第3金属ポスト31,32,33,34および第4金属ポスト41,42,43,44は、いずれも例えば円柱状のCu製ピンであり、例えば、断面円形のCuワイヤーを所定長単位で切断することで得られる。なお、この断面形状は必ずしも円形である必要は無く、矩形や多角形等であってもよい。   The third metal posts 31, 32, 33, and 34 and the fourth metal posts 41, 42, 43, and 44 are columnar metal bodies that extend in the Z-axis direction and are arranged in the Y-axis direction. As shown in FIG. 3 and the like, the second ends of the third metal posts 31, 32, 33 and 34 and the second ends of the fourth metal posts 41, 42, 43 and 44 are the first main surface PS 1 of the wiring board 1. Are implemented respectively. The third metal posts 31, 32, 33, 34 and the fourth metal posts 41, 42, 43, 44 are all, for example, cylindrical Cu pins, for example, cutting a Cu wire having a circular cross section in a predetermined length unit. It is obtained by doing. The cross-sectional shape is not necessarily circular, and may be a rectangle or a polygon.

本実施形態では、これら第3金属ポスト31,32,33,34が本発明における「第3柱状金属部」に相当し、第4金属ポスト41,42,43,44が本発明における「第4柱状金属部」に相当する。   In the present embodiment, these third metal posts 31, 32, 33, and 34 correspond to the “third columnar metal portion” in the present invention, and the fourth metal posts 41, 42, 43, and 44 in the present invention are “fourth”. Corresponds to “columnar metal part”.

なお、図2(A)および図2(B)等に示すように、大径ループの一部を構成する第1金属ポストおよび第2金属ポストは、小径ループの一部を構成する第3金属ポストおよび第4金属ポストよりも導体径が太い。言い換えると、第1金属ポストおよび第2金属ポストの断面積は、第3金属ポストおよび第4金属ポストの断面積よりも大きい。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the first metal post and the second metal post that constitute a part of the large-diameter loop are the third metal that constitutes a part of the small-diameter loop. The conductor diameter is thicker than the post and the fourth metal post. In other words, the cross-sectional areas of the first metal post and the second metal post are larger than the cross-sectional areas of the third metal post and the fourth metal post.

小径接続導体61,62,63,64は、樹脂部材10の内部に形成される導体パターンであり、第3金属ポスト31,32,33,34の第1端と第4金属ポスト41,42,43,44の第1端とを接続する。具体的には、小径接続導体61は、第3金属ポスト31の第1端と第4金属ポスト41の第1端とを接続する。小径接続導体62は、第3金属ポスト32の第1端と第4金属ポスト42の第1端とを接続する。小径接続導体63は、第3金属ポスト33の第1端と第4金属ポスト43の第1端とを接続する。小径接続導体64は、第3金属ポスト34の第1端と第4金属ポスト44の第1端とを接続する。小径接続導体61,62,63,64は例えばCuやAgを主成分とした金属膜である。   The small-diameter connection conductors 61, 62, 63, 64 are conductor patterns formed inside the resin member 10, and the first ends of the third metal posts 31, 32, 33, 34 and the fourth metal posts 41, 42, The first ends of 43 and 44 are connected. Specifically, the small-diameter connection conductor 61 connects the first end of the third metal post 31 and the first end of the fourth metal post 41. The small-diameter connection conductor 62 connects the first end of the third metal post 32 and the first end of the fourth metal post 42. The small-diameter connection conductor 63 connects the first end of the third metal post 33 and the first end of the fourth metal post 43. The small diameter connecting conductor 64 connects the first end of the third metal post 34 and the first end of the fourth metal post 44. The small-diameter connection conductors 61, 62, 63, 64 are metal films mainly composed of Cu or Ag, for example.

本実施形態に係るコイルデバイスCD1は、上記複数の大径ループBL1,BL2,BL3,BL4および複数の小径ループSL1,SL2,SL3,SL4が、Y軸方向に交互に順次交互に配列され、且つ、交互に順次接続されて導通する。そのため、コイルデバイスCD1は、図4に示すようなヘリカル状のコイルを構成する。   In the coil device CD1 according to this embodiment, the plurality of large-diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4 and the plurality of small-diameter loops SL1, SL2, SL3, SL4 are alternately and sequentially arranged in the Y-axis direction, and , Are alternately connected in sequence and conducted. Therefore, the coil device CD1 constitutes a helical coil as shown in FIG.

RFIC3は、図1および図2(A)に示すように、樹脂部材10に埋設され、配線板1の第1主面PS1に実装される。RFIC3のアンテナポートは、配線板1の第1主面PS1に形成される実装用電極81,82にそれぞれ接続される。これら実装用電極81,82は、図4に示すコイルデバイスCD1の第1端E1および第2端E2にそれぞれ導通する。RFIC3は例えばパッケージングされたRFICチップ(ベアチップ)である。なお、RFIC3は、ベアチップ形状のRFICチップであってもよい。RFICチップと実装用電極81,82(ランドパターン)とがワイヤーで接続されていてもよい。   1 and 2A, the RFIC 3 is embedded in the resin member 10 and mounted on the first main surface PS1 of the wiring board 1. The antenna port of the RFIC 3 is connected to mounting electrodes 81 and 82 formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1, respectively. These mounting electrodes 81 and 82 are electrically connected to the first end E1 and the second end E2 of the coil device CD1 shown in FIG. The RFIC 3 is, for example, a packaged RFIC chip (bare chip). The RFIC 3 may be a bare chip-shaped RFIC chip. The RFIC chip and the mounting electrodes 81 and 82 (land pattern) may be connected by a wire.

図6は無線ICデバイス101の回路図である。   FIG. 6 is a circuit diagram of the wireless IC device 101.

RFIC3は、HF帯RFIDシステム用の例えばHF帯の高周波無線ICチップを備える。RFIC3に上記コイルデバイスCD1が接続され、上記コイルデバイスCD1とRFIC3自身が持つ容量成分とでLC共振回路が構成される。その共振周波数はRFIDシステムの通信周波数と実質的に等しい。通信周波数帯域は例えば13.56MHz帯である。   The RFIC 3 includes, for example, an HF band high-frequency wireless IC chip for an HF band RFID system. The coil device CD1 is connected to the RFIC 3, and an LC resonance circuit is constituted by the coil device CD1 and the capacitance component of the RFIC 3 itself. Its resonant frequency is substantially equal to the communication frequency of the RFID system. The communication frequency band is, for example, the 13.56 MHz band.

なお、「RFIC」は、RFICチップそのものであってもよいし、整合回路等を設けた基板にRFICチップを搭載し、一体化したRFICパッケージであってもよい。また、「RFIDタグ」は、RFIC素子とRFIC素子に接続されたコイルアンテナとを有したものであって、電波(電磁波)または磁界を用いて、内蔵したメモリのデータを非接触で読み書きする情報媒体と定義する。つまり、本実施形態の無線ICデバイスはRFICタグとして構成される。   The “RFIC” may be an RFIC chip itself or an RFIC package in which an RFIC chip is mounted on a substrate provided with a matching circuit and the like. An “RFID tag” has an RFIC element and a coil antenna connected to the RFIC element, and uses non-contact information to read and write data in a built-in memory using radio waves (electromagnetic waves) or magnetic fields. Defined as medium. That is, the wireless IC device of this embodiment is configured as an RFIC tag.

次に、本実施形態における大径ブリッジ状導体および小径ブリッジ状導体の配置について、図を参照して説明する。図7(A)はコイルデバイスCD1の平面図であり、図7(B)はコイルデバイスCD1の側面図である。なお、図7(A)および図7(B)では、コイルデバイスCD1の構造を解りやすくするため、樹脂部材の図示を省略している。   Next, the arrangement of the large-diameter bridge-like conductor and the small-diameter bridge-like conductor in the present embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 7A is a plan view of the coil device CD1, and FIG. 7B is a side view of the coil device CD1. 7A and 7B, the resin member is not shown in order to facilitate understanding of the structure of the coil device CD1.

本実施形態では、複数の大径接続導体51,52,53,54および複数の小径接続導体61,62,63,64が、Y軸方向に対してそれぞれ交互に配列される。図7(A)に示すように、コイルデバイスCD1では、大径ブリッジ状導体および小径ブリッジ状導体が、Z軸方向から視て、Y軸方向に沿って隙間なく配列されている。   In the present embodiment, the plurality of large-diameter connection conductors 51, 52, 53, and 54 and the plurality of small-diameter connection conductors 61, 62, 63, and 64 are alternately arranged in the Y-axis direction. As shown in FIG. 7A, in the coil device CD1, the large-diameter bridge-shaped conductors and the small-diameter bridge-shaped conductors are arranged without gaps along the Y-axis direction when viewed from the Z-axis direction.

また、本実施形態では、複数の第1金属ポスト11,12,13,14および複数の第3金属ポスト31,32,33,34が、Y軸方向に対してそれぞれ交互に配列される。また、複数の第2金属ポスト21,22,23,24および複数の第4金属ポスト41,42,43,44が、Y軸方向に対してそれぞれ交互に配列される。図7(B)に示すように、コイルデバイスCD1では、大径ブリッジ状導体および小径ブリッジ状導体が、X軸方向(本発明のおける「第1主面に平行な方向、且つ第1方向に直交する方向」に相当する)から視て、Y軸方向に沿って隙間なく配列されている。   In the present embodiment, the plurality of first metal posts 11, 12, 13, and 14 and the plurality of third metal posts 31, 32, 33, and 34 are alternately arranged in the Y-axis direction. The plurality of second metal posts 21, 22, 23, and 24 and the plurality of fourth metal posts 41, 42, 43, and 44 are alternately arranged in the Y-axis direction. As shown in FIG. 7B, in the coil device CD1, the large-diameter bridge-shaped conductor and the small-diameter bridge-shaped conductor are arranged in the X-axis direction (in the direction parallel to the first main surface and the first direction in the present invention). (Corresponding to the “perpendicular direction”), they are arranged without gaps along the Y-axis direction.

本実施形態に係る無線ICデバイス101によれば、次のような効果を奏する。   The wireless IC device 101 according to the present embodiment has the following effects.

(a)本実施形態では、大径ブリッジ状導体の第1端および第2端(第1金属ポスト11,12,13,14および第2金属ポスト21,22,23,24)を配線板1に実装する構造ではないため、大径ブリッジ状導体の第1端および第2端を実装するためのランドを配線板1に形成する必要がない。そのため、大径ブリッジ状導体および小径ブリッジ状導体をY軸方向に狭いピッチで配列することができる。したがって、この構成により、ターン数の割にはコイルの占有面積(Y軸方向の寸法)を小さくできる。 (A) In the present embodiment, the first end and the second end (first metal posts 11, 12, 13, and 14 and second metal posts 21, 22, 23, and 24) of the large-diameter bridge-shaped conductor are connected to the wiring board 1. Therefore, it is not necessary to form lands on the wiring board 1 for mounting the first end and the second end of the large-diameter bridge-shaped conductor. Therefore, the large-diameter bridge conductor and the small-diameter bridge conductor can be arranged at a narrow pitch in the Y-axis direction. Therefore, with this configuration, the area occupied by the coil (dimension in the Y-axis direction) can be reduced for the number of turns.

(b)本実施形態では、コイルデバイスCD1を構成する大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4および小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4の少なくとも一部が、金属ポスト(金属部材)で構成されている。そのため、導電性ペーストの焼成による焼結金属体や、導電性薄膜のエッチングによる薄膜金属体等で構成する場合に比べて大径ブリッジ状導体および小径ブリッジ状導体のDCRを小さくできるので、Q値が高く、低損失のコイルデバイスが得られる。また、コイルデバイス全体の低抵抗化が可能となるため、高感度の無線ICデバイス、または高感度の割に小型の無線ICデバイスが得られる。 (B) In the present embodiment, at least a part of the large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, Bb4 and the small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, Sb4 constituting the coil device CD1 are metal posts (metal members). It consists of Therefore, the DCR of the large-diameter bridge-like conductor and the small-diameter bridge-like conductor can be reduced as compared with the case where the sintered metal body is formed by firing the conductive paste, or the thin film metal body is formed by etching the conductive thin film. And a low-loss coil device can be obtained. In addition, since the resistance of the entire coil device can be reduced, a highly sensitive wireless IC device or a small wireless IC device for high sensitivity can be obtained.

(c)本実施形態では、大径ブリッジ状導体の一部および小径ブリッジ状導体の一部に金属ポストを利用する構造であるため、多層基板にコイルを形成する必要がなく、複雑な配線を引回す必要もない。そのため、コイル開口サイズの設計上の自由度に優れたコイル構造を容易に実現できる。さらに、比較的大きな高さ寸法を持った部分を金属ポストによって形成できるので、たとえば層間導体を有する複数の基材層を積層して高さ方向の接続部を形成する場合に比べて、接続箇所を減らすことができ、コイルデバイスの電気的信頼性が高まる。 (C) In this embodiment, since the metal post is used for a part of the large-diameter bridge-shaped conductor and a part of the small-diameter bridge-shaped conductor, it is not necessary to form a coil on the multilayer substrate, and a complicated wiring is provided. There is no need to run around. Therefore, it is possible to easily realize a coil structure excellent in design freedom of the coil opening size. Furthermore, since a portion having a relatively large height can be formed by a metal post, for example, compared with a case where a plurality of base material layers having interlayer conductors are stacked to form a connection portion in the height direction. And the electrical reliability of the coil device is increased.

(d)本実施形態では、大径ブリッジ状導体の一部および小径ブリッジ状導体の一部に利用される大径接続導体51,52,53,54および小径接続導体61,62,63,64が、ワイヤ等ではなく、ともに樹脂部材10の内部または第1面VS1上に形成される導体パターンである。そのため、隣接する大径接続導体同士または隣接する小径接続導体同士の接触(線間ショート)の可能性は低いため、Y軸方向に配列される大径接続導体同士の間隙を容易に小さくでき、Y軸方向に配列される小径接続導体同士の間隙を容易に小さくできる。また、大径接続導体同士の間隙や小径接続導体同士の間隙を選定することにより、占有面積(Y軸方向の寸法)が同じであっても、所期のターン数・所期のインダクタンス値を有するヘリカル状のコイルを得やすくなる。 (D) In the present embodiment, the large-diameter connection conductors 51, 52, 53, and 54 and the small-diameter connection conductors 61, 62, 63, and 64 used for a part of the large-diameter bridge-shaped conductor and a part of the small-diameter bridge-shaped conductor. Are not wires or the like, but are both conductor patterns formed inside the resin member 10 or on the first surface VS1. Therefore, since the possibility of contact (short between lines) between adjacent large-diameter connection conductors or between adjacent small-diameter connection conductors is low, the gap between large-diameter connection conductors arranged in the Y-axis direction can be easily reduced, The gap between the small diameter connecting conductors arranged in the Y-axis direction can be easily reduced. Also, by selecting the gap between the large-diameter connection conductors and the gap between the small-diameter connection conductors, the desired number of turns and the desired inductance value can be obtained even if the occupation area (dimension in the Y-axis direction) is the same. It becomes easy to obtain the helical coil which has.

(e)本実施形態では、RFIC3が実装された配線板1の第1主面PS1が、大径ループおよび小径ループの巻回軸AXに平行な方向(Y軸方向)であるため、RFIC3の実装用電極81,82(ランドパターン)がコイルデバイスCD1の磁界の形成を妨げにくい。また、コイルデバイスCD1の磁界によるRFIC3への悪影響(誤動作や不安定動作等)が小さい。さらにRFIC3のデジタル回路部から発生するノイズによるコイルデバイスへの悪影響(受信感度の低下・送信信号の受信回路への回り込み等)が小さい。 (E) In the present embodiment, the first main surface PS1 of the wiring board 1 on which the RFIC 3 is mounted is a direction (Y-axis direction) parallel to the winding axis AX of the large-diameter loop and the small-diameter loop. The mounting electrodes 81 and 82 (land pattern) are unlikely to hinder the formation of the magnetic field of the coil device CD1. Further, the adverse effect (malfunction, unstable operation, etc.) on the RFIC 3 due to the magnetic field of the coil device CD1 is small. Furthermore, the adverse effect on the coil device due to noise generated from the digital circuit portion of the RFIC 3 (decrease in reception sensitivity, wraparound of transmission signals to the reception circuit, etc.) is small.

(f)無線ICデバイスは、RFIC3がコイルデバイスの内側に配置されている。そのため、RFIC3の保護機能が高くなり、RFIC3をコイルデバイスの外部に搭載することによる大型化が避けられる。 (F) As for the wireless IC device, the RFIC 3 is arranged inside the coil device. Therefore, the protection function of the RFIC 3 is enhanced, and an increase in size due to mounting the RFIC 3 outside the coil device can be avoided.

(g)無線ICデバイス101は、RFIC3等の表面実装部品、大径ループの一部(第1金属ポスト、第2金属ポスト)および小径ループの一部(第3金属ポスト、第4金属ポスト)が樹脂部材10で保護されるため、無線ICデバイス全体が堅牢である。特に、この無線ICデバイスを樹脂成型物品に埋設する際、射出成型時に流動する高温の樹脂(例えば300℃以上の高温樹脂)に対して上記表面実装チップ部品のはんだ接続部が保護される。つまり、RFIC3は、コイルデバイスCD1を構成する大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4、小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4、大径ループ接続導体Bj1,Bj2,Bj3,Bj4および小径ループ接続導体Sj1,Sj2,Sj3等によって囲まれたエリアに配置され、且つ、樹脂部材10および配線板1によって囲まれている。この構成により、RFIC3と実装用電極81,82との間の接続部やRFIC3に、大きな熱的負荷が加わり難くなる。そのため、無線ICデバイス101を樹脂成型物品(玩具や容器等)に埋め込んだ場合でも、RFIC3の動作信頼性を確保でき、RFIC3と実装用電極との間の接続部の信頼性を高めることができる。すなわち、樹脂成型体に内蔵可能な、つまり、射出成型時の高温下にも耐えられる、高耐熱性の無線ICデバイスを実現できる。また、はんだ接合部は高温化で一旦溶融する場合でも、樹脂部材10と配線板1は樹脂同士の接合により接着しており、表面実装部品や小径ブリッジ状導体が外れたり変形したりしないので、冷却後、はんだ接合部の接合状態は正常に戻る。また、そのため、コイルアンテナのインダクタンス値を維持できる。 (G) The wireless IC device 101 includes a surface mount component such as RFIC3, a part of a large-diameter loop (first metal post, second metal post), and a part of a small-diameter loop (third metal post, fourth metal post). Is protected by the resin member 10, the entire wireless IC device is robust. In particular, when the wireless IC device is embedded in a resin molded article, the solder connection portion of the surface mount chip component is protected against a high temperature resin (for example, a high temperature resin of 300 ° C. or higher) that flows during injection molding. That is, the RFIC 3 includes the large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, Bb4, the small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, Sb4, the large-diameter loop connection conductors Bj1, Bj2, Bj3, Bj4 and the small-diameter that constitute the coil device CD1. It is disposed in an area surrounded by the loop connection conductors Sj1, Sj2, Sj3 and the like, and is surrounded by the resin member 10 and the wiring board 1. With this configuration, it is difficult to apply a large thermal load to the connection portion between the RFIC 3 and the mounting electrodes 81 and 82 and the RFIC 3. Therefore, even when the wireless IC device 101 is embedded in a resin molded article (toy, container, etc.), the operational reliability of the RFIC 3 can be ensured, and the reliability of the connection portion between the RFIC 3 and the mounting electrode can be increased. . That is, a highly heat-resistant wireless IC device that can be built into a resin molded body, that is, can withstand high temperatures during injection molding can be realized. In addition, even when the solder joint is once melted at a high temperature, the resin member 10 and the wiring board 1 are bonded to each other by joining the resins, and the surface-mounted component and the small-diameter bridge-shaped conductor are not detached or deformed. After cooling, the joined state of the solder joint returns to normal. Therefore, the inductance value of the coil antenna can be maintained.

(h)RFIC3が無線ICデバイス101の外方へ露出することがないため、RFIC3の保護機能が高くなり、RFIC3を外部に搭載することによる大型化が避けられる。また、配線板1に対するRFIC3の接続部の信頼性が高まる。これにより、プラスチック等の樹脂成形品に内蔵可能な、つまり、射出成形時の高温下にも耐えられる、高耐熱性の無線ICデバイスを実現できる。 (H) Since the RFIC 3 is not exposed to the outside of the wireless IC device 101, the protection function of the RFIC 3 is enhanced, and an increase in size caused by mounting the RFIC 3 outside can be avoided. Further, the reliability of the connection portion of the RFIC 3 with respect to the wiring board 1 is increased. As a result, it is possible to realize a highly heat-resistant wireless IC device that can be incorporated in a resin molded product such as plastic, that is, can withstand high temperatures during injection molding.

(i)本実施形態では、図2(A)に示すように、大径ループを構成する大径ループ接続導体の主要部が配線板1の第2主面PS2側に形成されているため、コイルデバイスCD1の実質的な開口径は大きい。よって、チップ状の無線ICデバイス101のサイズと略同等のサイズを持ったコイルアンテナを構成することができ、小型のチップ状部品であるにも関わらず、大きな通信距離を確保することができ、また、通信相手のアンテナに対して相対的に広い位置関係で通信できる。 (I) In the present embodiment, as shown in FIG. 2A, the main part of the large-diameter loop connection conductor constituting the large-diameter loop is formed on the second main surface PS2 side of the wiring board 1, The substantial opening diameter of the coil device CD1 is large. Therefore, a coil antenna having a size substantially equal to the size of the chip-shaped wireless IC device 101 can be configured, and a large communication distance can be ensured despite being a small chip-shaped component, Further, communication can be performed with a relatively wide positional relationship with the antenna of the communication partner.

(j)また、本実施形態では、パターニングによって樹脂部材10の表面に大径接続導体51,52,53,54を形成するため、第1金属ポスト11,12,13,14の第1端と第2金属ポスト21,22,23,24の第1端との間の接続が容易となる。 (J) In the present embodiment, since the large-diameter connection conductors 51, 52, 53, 54 are formed on the surface of the resin member 10 by patterning, the first ends of the first metal posts 11, 12, 13, 14 Connection between the first ends of the second metal posts 21, 22, 23, 24 is facilitated.

(k)後に詳述するように、大径ループおよび小径ループを構成するパターンのうち、X軸方向に延伸する大径接続導体51,52,53,54および小径接続導体61,62,63,64は、全てCu等のめっき膜を形成することにより、膜厚を厚くできる。そのため、コイルデバイスのDCRをさらに低減できる。 (K) As described in detail later, among the patterns constituting the large-diameter loop and the small-diameter loop, the large-diameter connection conductors 51, 52, 53, 54 and the small-diameter connection conductors 61, 62, 63, extending in the X-axis direction. No. 64 can be made thicker by forming a plating film such as Cu. Therefore, the DCR of the coil device can be further reduced.

(l)本実施形態では、複数の大径ループBL1,BL2,BL3,BL4および複数の小径ループSL1,SL2,SL3,SL4が、Y軸方向に交互に順次配列され、且つ、交互に順次接続されてヘリカル状のコイルを構成する。この構成により、小型の割にターン数の多いコイルデバイスを容易に構成できる。また、ターン数の割に占有面積(特にY軸方向の寸法)が小さなコイルデバイスを実現できる。また、この構成により、インダクタンスに寄与しない導体を短くできるため、コイルデバイスのDCRをさらに低減できる。 (L) In this embodiment, a plurality of large-diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4 and a plurality of small-diameter loops SL1, SL2, SL3, SL4 are alternately arranged in the Y-axis direction, and are alternately connected in sequence. This constitutes a helical coil. With this configuration, it is possible to easily configure a coil device having a large number of turns for a small size. In addition, a coil device having a small occupied area (particularly, a dimension in the Y-axis direction) relative to the number of turns can be realized. Also, with this configuration, the conductor that does not contribute to the inductance can be shortened, so that the DCR of the coil device can be further reduced.

(m)無線ICデバイス101は、配線板1の第2主面PS2と樹脂部材10の第2面VS2とが同一面になるように配線板1を樹脂部材10に埋設した構造であり、大径ループ接続導体の一部が第2主面PS2と第2面VS2とを跨って引回される。そのため、大径ブリッジ状導体と大径ループ接続導体との接続が容易である。 (M) The wireless IC device 101 has a structure in which the wiring board 1 is embedded in the resin member 10 so that the second main surface PS2 of the wiring board 1 and the second surface VS2 of the resin member 10 are on the same plane. A part of the radial loop connection conductor is routed across the second main surface PS2 and the second surface VS2. Therefore, it is easy to connect the large diameter bridge conductor and the large diameter loop connection conductor.

(n)本実施形態では、複数の大径ループ接続導体Bj1,Bj2,Bj3,Bj4が、主に配線板1の内部および第2主面PS2に形成される導体であり、複数の小径ループ接続導体Sj1,Sj2,Sj3が、主に配線板1の内部および第1主面PS1に形成される導体である。この構成では、配線板1に形成された導体を利用することにより、大径ループ接続導体Bj1,Bj2,Bj3,Bj4および小径ループ接続導体Sj1,Sj2,Sj3を容易に構成できる。 (N) In the present embodiment, the plurality of large-diameter loop connection conductors Bj1, Bj2, Bj3, Bj4 are conductors mainly formed in the inside of the wiring board 1 and the second main surface PS2, and a plurality of small-diameter loop connections The conductors Sj1, Sj2, and Sj3 are conductors formed mainly on the inside of the wiring board 1 and the first main surface PS1. In this configuration, the large-diameter loop connection conductors Bj1, Bj2, Bj3, Bj4 and the small-diameter loop connection conductors Sj1, Sj2, Sj3 can be easily configured by using the conductor formed on the wiring board 1.

(o)本実施形態では、大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4および小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4が、Z軸方向から視て、Y軸方向に沿って隙間なく配列されている。この構成により、コイルデバイスに発生した磁束が、互いに隣接する大径ブリッジ状導体と小径ブリッジ状導体との間隙から漏れ難い。そのため、高いインダクタンス値を有するコイルデバイスを構成できる。また、コイルデバイスをコイルアンテナとして利用した場合には、通信相手側のコイルアンテナに対して相対的に広い位置関係で磁界結合できる。なお、互いに隣接する大径ブリッジ状導体と小径ブリッジ状導体との間隙から磁束がより漏れ難くするため、Z軸方向から視て、大径ブリッジ状導体のY軸方向における縁端部と小径ブリッジ状導体のY軸方向における縁端部とが、一部重なることが好ましい(図7(A)を参照)。 (O) In this embodiment, the large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, and Bb4 and the small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, and Sb4 are arranged without gaps along the Y-axis direction as viewed from the Z-axis direction. Has been. With this configuration, the magnetic flux generated in the coil device hardly leaks from the gap between the large-diameter bridge-shaped conductor and the small-diameter bridge-shaped conductor that are adjacent to each other. Therefore, a coil device having a high inductance value can be configured. Further, when the coil device is used as a coil antenna, magnetic field coupling can be performed with a relatively wide positional relationship with respect to the coil antenna on the communication partner side. Since the magnetic flux is more difficult to leak from the gap between the large-diameter bridge-shaped conductor and the small-diameter bridge-shaped conductor adjacent to each other, the edge of the large-diameter bridge-shaped conductor in the Y-axis direction and the small-diameter bridge are viewed from the Z-axis direction. It is preferable that the edge portion in the Y-axis direction of the shaped conductor partially overlaps (see FIG. 7A).

(p)また、本実施形態では、大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4および小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4が、X軸方向から視て、Y軸方向に沿って隙間なく配列されている。上述した通り、この構成により、高いインダクタンス値を有するコイルデバイスを構成できる。また、コイルデバイスをコイルアンテナとして利用した場合には、通信相手側のコイルアンテナに対して相対的に広い位置関係で磁界結合できる。なお、互いに隣接する大径ブリッジ状導体と小径ブリッジ状導体との間隙から磁束がより漏れ難くするため、X軸方向から視て、大径ブリッジ状導体のY軸方向における縁端部と小径ブリッジ状導体のY軸方向における縁端部とが、一部重なることが好ましい(図7(B)を参照)。 (P) In the present embodiment, the large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, and Bb4 and the small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, and Sb4 are gaps along the Y-axis direction when viewed from the X-axis direction. There is no array. As described above, with this configuration, a coil device having a high inductance value can be configured. Further, when the coil device is used as a coil antenna, magnetic field coupling can be performed with a relatively wide positional relationship with respect to the coil antenna on the communication partner side. In order to make it more difficult for magnetic flux to leak from the gap between the large-diameter bridge-shaped conductor and the small-diameter bridge-shaped conductor that are adjacent to each other, the edge portion in the Y-axis direction of the large-diameter bridge-shaped conductor It is preferable that the edge portion in the Y-axis direction of the shaped conductor partially overlaps (see FIG. 7B).

なお、本実施形態では、樹脂部材10を備えるコイルデバイスCD1の構成例を示したが、この構成に限定されるものではない。コイルデバイスが樹脂部材10を備えていない構成であってもよい。その場合、大径接続導体51,52,53,54や小径接続導体61,62,63,64は、フープ材や金属ポスト等、何らかの支持体に支持されていない金属部材であればよい。   In addition, in this embodiment, although the structural example of coil device CD1 provided with the resin member 10 was shown, it is not limited to this structure. The coil device may not be provided with the resin member 10. In that case, the large-diameter connection conductors 51, 52, 53, and 54 and the small-diameter connection conductors 61, 62, 63, and 64 may be metal members that are not supported by any support such as a hoop material or a metal post.

また、本実施形態では、大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4および小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4が、配線板1の第1主面PS1に対して垂直である構成を示したが、これに限定されるものではない。大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4および小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4は、配線板1の第1主面PS1に対して非平行であればよく、配線板1の第1主面PS1との間の成す角度が0°を超え、且つ、90未満であればよい。   In the present embodiment, the large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, Bb4 and the small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, Sb4 are perpendicular to the first main surface PS1 of the wiring board 1. Although shown, it is not limited to this. The large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, Bb4 and the small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, Sb4 need only be non-parallel to the first main surface PS1 of the wiring board 1. It suffices if the angle formed with one principal surface PS1 exceeds 0 ° and is less than 90.

また、本実施形態では、配線板1の第1主面PS1にRFIC3が実装された無線ICデバイスの例を示したが、この構成に限定されるものではない。RFIC3だけでなく、チップキャパシタ等の表面実装部品が、配線板1の第1主面PS1に実装されていてもよい。   In the present embodiment, an example of a wireless IC device in which the RFIC 3 is mounted on the first main surface PS1 of the wiring board 1 is shown, but the present invention is not limited to this configuration. In addition to the RFIC 3, a surface mount component such as a chip capacitor may be mounted on the first main surface PS 1 of the wiring board 1.

また、本実施形態では、4つの大径ループと4つの小径ループを備える構成例を示したが、これに限定されるものではない。大径ループの数と小径ループの数が同数である必要はない。大径ループの数と小径ループの数が1であり、1つの大径ループと1つの小径ループとを接続して2ターンのヘリカル状のコイルを構成してもよい。また、1つの大径ループに1つの小径ループを接続してスパイラル状のコイルを構成してもよい。   In the present embodiment, the configuration example including four large-diameter loops and four small-diameter loops is shown, but the present invention is not limited to this. The number of large diameter loops and the number of small diameter loops need not be the same. The number of large-diameter loops and the number of small-diameter loops may be 1, and one large-diameter loop and one small-diameter loop may be connected to form a two-turn helical coil. Further, a spiral coil may be formed by connecting one small diameter loop to one large diameter loop.

また、本実施形態では、複数の大径ブリッジ状導体Bb1,Bb2,Bb3,Bb4のそれぞれが略同形状であり、複数の小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2,Sb3,Sb4のそれぞれが略同形状である構成例を示したが、これに限定されるものではない。本発明の作用・効果を奏する範囲において、複数の大径ブリッジ状導体はそれぞれが異なる形状でもよく、複数の小径ブリッジ状導体はそれぞれが異なる形状でもよい。なお、コイルデバイスCD1の製造の容易性等の観点から、複数の大径ブリッジ状導体はそれぞれが略同形状であることが好ましく、複数の小径ブリッジ状導体はそれぞれが略同形状であることが好ましい。   In the present embodiment, each of the plurality of large-diameter bridge conductors Bb1, Bb2, Bb3, and Bb4 has substantially the same shape, and each of the plurality of small-diameter bridge conductors Sb1, Sb2, Sb3, and Sb4 has approximately the same shape. Although a certain configuration example is shown, the present invention is not limited to this. In the range where the functions and effects of the present invention are exhibited, the plurality of large-diameter bridge conductors may have different shapes, and the plurality of small-diameter bridge conductors may have different shapes. In view of ease of manufacturing the coil device CD1, etc., it is preferable that each of the plurality of large-diameter bridge conductors has substantially the same shape, and each of the plurality of small-diameter bridge conductors has substantially the same shape. preferable.

本実施形態に係る無線ICデバイス101は、例えば次の工程で製造される。図8および図9は無線ICデバイス101の製造工程を順に示す断面図である。   The wireless IC device 101 according to the present embodiment is manufactured by, for example, the following process. 8 and 9 are cross-sectional views sequentially showing the manufacturing process of the wireless IC device 101. FIG.

まず、図8中の(1)に示すように、配線板1を準備する。具体的には、配線板1の第1主面PS1に導体パターン91,92やRFICを実装するための実装用電極81,82(ランドパターン)等を形成する。さらに、配線板1の厚み方向には、導体パターン91に接続され、配線板1の内部に形成される層間接続導体V1を形成する。   First, as shown in (1) in FIG. 8, the wiring board 1 is prepared. Specifically, conductor patterns 91 and 92 and mounting electrodes 81 and 82 (land patterns) for mounting RFIC are formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1. Further, in the thickness direction of the wiring board 1, an interlayer connection conductor V <b> 1 connected to the conductor pattern 91 and formed inside the wiring board 1 is formed.

その後、RFICを実装するための実装用電極81,82や金属ポストを実装するための導体パターン91,92等に、はんだペースト等の導電性接合材4を形成する。このとき、配線板1の第2主面PS2側に導体パターンは形成されていない。   Thereafter, the conductive bonding material 4 such as solder paste is formed on the mounting electrodes 81 and 82 for mounting the RFIC, the conductor patterns 91 and 92 for mounting the metal posts, and the like. At this time, no conductor pattern is formed on the second main surface PS2 side of the wiring board 1.

配線板1は、例えばガラスエポキシ基板やエキポシ系の熱硬化性のプリント配線板であるが、ポリイミド系等の熱可塑性基板やセラミック系基板に厚膜パターンを形成したものであってもよい。また、配線板1は、単層基板でも多層基板でもよい。実装用電極81,82や導体パターン91,92線状導体パターンは例えばCuやAg等の比抵抗の小さな金属箔をパターンニングしたものであるが、配線板1の第1主面PS1にめっき膜をパターニングしたものや、導体ペーストをパターニングしたものであってもよい。例えば、実装用電極81,82や導体パターン91,92の断面寸法は、18μm×100μmである。これらのパターンニングを行った後に、Cu等のめっきを施してトータル膜厚を40〜50μmに厚くすることが好ましい。層間接続導体V1は、例えば配線板1を貫通する貫通孔の内壁にめっき膜を付与したスルーホールである。   The wiring board 1 is, for example, a glass epoxy board or an epoxy thermosetting printed wiring board, but may be a polyimide board or other thermoplastic board or ceramic board formed with a thick film pattern. The wiring board 1 may be a single layer substrate or a multilayer substrate. The mounting electrodes 81 and 82 and the conductor patterns 91 and 92 linear conductor patterns are formed by patterning a metal foil having a small specific resistance such as Cu or Ag, but the plating film is formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1. Or a pattern obtained by patterning a conductive paste. For example, the cross-sectional dimensions of the mounting electrodes 81 and 82 and the conductor patterns 91 and 92 are 18 μm × 100 μm. After performing these patterning, it is preferable to perform plating of Cu or the like to increase the total film thickness to 40 to 50 μm. The interlayer connection conductor V <b> 1 is a through hole in which a plating film is provided on the inner wall of a through hole that penetrates the wiring board 1, for example.

次に、図8中の(2)に示すように、配線板1に、RFIC3、第3金属ポスト32および第4金属ポスト42等の部品をそれぞれはんだ等の導電性接合材を介して実装する。具体的には、配線板1の第1主面PS1に各部品をマウンターで実装した後、これら部品をリフロープロセスではんだ付けする。この工程により、RFIC3、第3金属ポスト32および第4金属ポスト42等を配線板1に電気的に導通させ、且つ構造的に接合する。   Next, as shown in (2) in FIG. 8, components such as the RFIC 3, the third metal post 32, and the fourth metal post 42 are mounted on the wiring board 1 through conductive bonding materials such as solder. . Specifically, after mounting each component on the first main surface PS1 of the wiring board 1 with a mounter, these components are soldered by a reflow process. Through this process, the RFIC 3, the third metal post 32, the fourth metal post 42, and the like are electrically connected to the wiring board 1 and structurally joined.

RFIC3はRFIDタグ用のRFICチップをパッケージングしたものである。第3金属ポストおよび第4金属ポストはそれぞれCu製の円柱状のポストである。第3金属ポストおよび第4金属ポストは、Cuを主成分としたものに限定されるわけではないが、導電率や加工性の点でCuを主成分としたものが好ましい。   RFIC3 is a packaged RFIC chip for an RFID tag. Each of the third metal post and the fourth metal post is a cylindrical post made of Cu. The third metal post and the fourth metal post are not limited to those having Cu as a main component, but those having Cu as a main component are preferable in terms of conductivity and workability.

次に、図8中の(3)に示すように、第3金属ポスト32および第4金属ポスト42等と同じ高さ(少なくともRFIC3および配線板1の第1主面PS1が埋設する高さ)まで樹脂部材10Bを形成(樹脂を被覆)する。具体的には、エポキシ樹脂等を所定高さ(第3金属ポスト32および第4金属ポスト42等の高さ以上)に塗布し、その後、樹脂部材10Bの表面を平面的に研磨していくことで、第1金属ポスト32および第2金属ポスト42等の頭部を露出させる。なお、エポキシ系樹脂等を所定高さ(金属ポストの高さ以下)に塗付し、その後、樹脂部材10Bを金属ポストごと平面的に研磨(または切削)することで、樹脂部材10Bの表面に金属ポストの頭部を露出させてもよい。   Next, as shown in (3) in FIG. 8, the same height as the third metal post 32 and the fourth metal post 42 (at least the height at which the RFIC 3 and the first main surface PS1 of the wiring board 1 are embedded). The resin member 10B is formed (covered with resin). Specifically, an epoxy resin or the like is applied to a predetermined height (more than the height of the third metal post 32 and the fourth metal post 42), and then the surface of the resin member 10B is polished planarly. Then, the heads of the first metal post 32 and the second metal post 42 are exposed. An epoxy resin or the like is applied to a predetermined height (not more than the height of the metal post), and then the resin member 10B is polished (or cut) together with the metal post in a planar manner on the surface of the resin member 10B. The head of the metal post may be exposed.

なお、樹脂部材10Bは、液状樹脂の塗布により設けてもよいし、半硬化シート状樹脂の積層によって設けてもよい。   The resin member 10B may be provided by applying a liquid resin, or may be provided by stacking semi-cured sheet-like resins.

その後、樹脂部材10Bの表面に小径接続導体62等を形成する。具体的には、第3金属ポスト32および第4金属ポスト42等の頭部が露出する樹脂部材10Bの第3面VS3にめっき法等によってCu膜等の導体膜を形成し、これをフォトレジスト膜形成およびエッチングによってパターニングする。また、導電性ペーストをスクリーン印刷することによって小径接続導体62等を形成してもよい。これにより、小径接続導体が第3金属ポストの第2端と第4金属ポストの第2端との間に接続される。   Thereafter, the small-diameter connection conductor 62 and the like are formed on the surface of the resin member 10B. Specifically, a conductor film such as a Cu film is formed by plating or the like on the third surface VS3 of the resin member 10B where the heads of the third metal post 32 and the fourth metal post 42 are exposed, and this is formed into a photoresist. Patterning is performed by film formation and etching. Further, the small-diameter connection conductor 62 and the like may be formed by screen printing a conductive paste. As a result, the small diameter connecting conductor is connected between the second end of the third metal post and the second end of the fourth metal post.

なお、その後、Cu等のめっきによって、小径接続導体62等にめっき膜を形成することが好ましい。Cuめっき膜の場合は、Cu等のめっき膜の表面にAuめっき膜をさらに形成してもよい。これらのことで、小径接続導体62等の膜厚が厚くなり、それらのDCRが小さくなって、導体損失が低減できる。これにより、第3金属ポスト32および第4金属ポスト42等のDCRと同等程度にまで、小径接続導体62等のDCRを小さくできる。すなわち、この段階の素体は、外表面に小径接続導体が露出したものであるため、この素体300Aをめっき液に浸漬することにより、小径接続導体の厚みを選択的に厚くすることができる。   After that, it is preferable to form a plating film on the small-diameter connection conductor 62 or the like by plating with Cu or the like. In the case of a Cu plating film, an Au plating film may be further formed on the surface of a plating film such as Cu. By these things, the film thickness of the small diameter connecting conductor 62 etc. becomes thick, those DCR becomes small, and conductor loss can be reduced. Thereby, the DCR of the small-diameter connection conductor 62 and the like can be reduced to the same extent as the DCR of the third metal post 32 and the fourth metal post 42 and the like. That is, since the element body at this stage has the small-diameter connection conductor exposed on the outer surface, the thickness of the small-diameter connection conductor can be selectively increased by immersing the element body 300A in the plating solution. .

その後、必要に応じて、樹脂部材10Bのうち小径接続導体62等の形成面に酸化防止用の保護用樹脂膜(ソルダーレジスト膜等)を形成する。   Thereafter, as required, a protective resin film (such as a solder resist film) for preventing oxidation is formed on the surface of the resin member 10B where the small-diameter connection conductor 62 and the like are formed.

なお、上記の工程は、マザー基板状態のまま処理される。上記の工程の後、マザー基板を個々の素体300A(個片)に分離する。   In addition, said process is processed with a mother substrate state. After the above steps, the mother substrate is separated into individual element bodies 300A (individual pieces).

次に、図8中の(4)に示すように、粘着層等を有する支持台7上に素体300Aを実装する。素体300Aは、配線板1の第2主面PS2側が粘着層を介して支持台7に実装される。これにより、配線板1は、支持台7に強固に固定した状態で実装される。   Next, as shown in (4) in FIG. 8, the element body 300A is mounted on the support base 7 having an adhesive layer or the like. In the element body 300A, the second main surface PS2 side of the wiring board 1 is mounted on the support base 7 via an adhesive layer. Thereby, the wiring board 1 is mounted in a state of being firmly fixed to the support base 7.

その後、図9中の(5)に示すように、第1金属ポスト12等の第1端側および第2金属ポスト22等の第1端側を、支持台7側にして、立てた状態で実装する。これにより、第1金属ポスト12および第2金属ポスト22等は、支持台7に強固に固定した状態で実装される。   Thereafter, as shown in (5) in FIG. 9, the first end side of the first metal post 12 and the like and the first end side of the second metal post 22 and the like are set to the support base 7 side in a standing state. Implement. Thus, the first metal post 12 and the second metal post 22 are mounted in a state of being firmly fixed to the support base 7.

支持台7が有する粘着層は、例えば粘着性を有する樹脂等である。第1金属ポストおよび第2金属ポストはそれぞれCu製の円柱状のポストである。第1金属ポストおよび第2金属ポストは、Cuを主成分としたものに限定されるわけではないが、導電率や加工性の点でCuを主成分としたものが好ましい。   The adhesive layer included in the support base 7 is, for example, an adhesive resin. Each of the first metal post and the second metal post is a cylindrical post made of Cu. The first metal post and the second metal post are not limited to those having Cu as a main component, but those having Cu as a main component are preferable in terms of conductivity and workability.

次に、図9中の(6)(7)に示すように、第1金属ポスト12および第2金属ポスト22等と同じ高さ(少なくとも素体300A全体が埋設する高さ)まで樹脂部材10Aを形成(樹脂を被覆)する。具体的には、エポキシ系樹脂等を所定高さ(金属ポストの高さ以下)に塗付した樹脂部材10Aを金属ポストごと、図9中の(6)に示した研磨線PL1まで平面的に研磨(または切削)することで、樹脂部材10Aの表面から第1金属ポスト12および第2金属ポスト22等の頭部を露出させる。なお、支持台7上に形成される樹脂部材10Aは、第1金属ポスト12および第2金属ポスト22等の高さ以下であってもよい。   Next, as shown in (6) and (7) in FIG. 9, the resin member 10 </ b> A to the same height as the first metal post 12, the second metal post 22, etc. (at least the height at which the entire element body 300 </ b> A is embedded). Is formed (coated with resin). Specifically, the resin member 10A coated with an epoxy-based resin or the like at a predetermined height (the height of the metal post) is planarized to the polishing line PL1 shown in FIG. By polishing (or cutting), heads such as the first metal post 12 and the second metal post 22 are exposed from the surface of the resin member 10A. The resin member 10 </ b> A formed on the support base 7 may be equal to or less than the height of the first metal post 12, the second metal post 22, and the like.

また、図9中の(6)(7)に示すように、樹脂部材10Aおよび素体300A等から支持台7を取り除き、第1金属ポスト12および第2金属ポスト22等の頭部および層間接続導体V1等を樹脂部材10Aの表面から露出させる。具体的には、樹脂部材10Aを支持台7、配線板1および金属ポストごと、図9中の(6)に示した研磨線PL2まで平面的に研磨(または切削)していくことで、第1金属ポスト12および第2金属ポスト22等の頭部および層間接続導体V1を、配線板1の第2主面PS2および樹脂部材10Aの第2面VS2から露出させる。   Further, as shown in (6) and (7) in FIG. 9, the support base 7 is removed from the resin member 10A, the base body 300A, and the like, and the heads and interlayer connection of the first metal post 12 and the second metal post 22 and the like. The conductor V1 and the like are exposed from the surface of the resin member 10A. Specifically, the resin member 10A is polished (or cut) in a planar manner to the polishing line PL2 indicated by (6) in FIG. 9 together with the support base 7, the wiring board 1, and the metal post. Heads such as the first metal post 12 and the second metal post 22 and the interlayer connection conductor V1 are exposed from the second main surface PS2 of the wiring board 1 and the second surface VS2 of the resin member 10A.

次に、図9中の(8)に示すように、樹脂部材10の第1面VS1に大径接続導体52等を形成し、樹脂部材10の第2面VS2および配線板1の第2主面PS2に導体パターン71,72等を形成する。その後、Cu等のめっきによって、大径接続導体52および導体パターン71,72等にめっき膜を形成する。   Next, as shown at (8) in FIG. 9, the large-diameter connection conductor 52 and the like are formed on the first surface VS1 of the resin member 10, and the second surface VS2 of the resin member 10 and the second main main portion of the wiring board 1 are formed. Conductive patterns 71 and 72 are formed on the surface PS2. Thereafter, a plating film is formed on the large-diameter connection conductor 52 and the conductor patterns 71 and 72 by plating with Cu or the like.

その後、必要に応じて、配線板1の外面(第2主面PS2)および樹脂部材10の第2面VS2に形成された導体パターン71,72の形成面に酸化防止用の保護用樹脂膜(ソルダーレジスト膜等)を形成する。   Then, if necessary, a protective resin film (for prevention of oxidation) is formed on the formation surfaces of the conductor patterns 71 and 72 formed on the outer surface (second main surface PS2) of the wiring board 1 and the second surface VS2 of the resin member 10. A solder resist film).

なお、上記の工程は、マザー基板状態のまま処理される。最後に、マザー基板を個々の無線ICデバイス101単位(個片)に分離する。   In addition, said process is processed with a mother substrate state. Finally, the mother board is separated into individual wireless IC device 101 units (pieces).

上記製造方法によれば、所望のインダクタンス値を有し、且つ、優れた電気特性を有する、特に直流抵抗の低減が可能な小型のコイルデバイスを備える無線ICデバイスを容易に製造できる。   According to the above manufacturing method, it is possible to easily manufacture a wireless IC device including a small coil device having a desired inductance value and excellent electrical characteristics, and particularly capable of reducing direct current resistance.

《第2の実施形態》
第2の実施形態では、複数の大径ループと複数の小径ループとの接続関係が、第1の実施形態に係るコイルデバイスCD1とは異なる例を示す。その他の構成についてはコイルデバイスCD1と実質的に同じである。
<< Second Embodiment >>
In the second embodiment, an example in which the connection relationship between the plurality of large-diameter loops and the plurality of small-diameter loops is different from that of the coil device CD1 according to the first embodiment is shown. Other configurations are substantially the same as those of the coil device CD1.

図10は第2の実施形態に係るコイルデバイスCD2の各導体部分を模式的に示した斜視図である。図11(A)は、コイルデバイスCD2が備える大径ループの導体部分を模式的に示した斜視図であり、図11(B)はコイルデバイスCD2が備える小径ループの導体部分を模式的に示した斜視図である。図10では、コイルデバイスの構造を解りやすくするため、小径ループを破線で図示している。   FIG. 10 is a perspective view schematically showing each conductor portion of the coil device CD2 according to the second embodiment. FIG. 11A is a perspective view schematically showing a conductor portion of a large-diameter loop provided in the coil device CD2, and FIG. 11B schematically shows a conductor portion of a small-diameter loop provided in the coil device CD2. FIG. In FIG. 10, in order to make the structure of the coil device easier to understand, the small-diameter loop is shown by a broken line.

コイルデバイスCD2は、複数の大径ループBL1,BL2,BL3,BL4、複数の小径ループSL1,SL2,SL3,SL4を備える。   The coil device CD2 includes a plurality of large diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4 and a plurality of small diameter loops SL1, SL2, SL3, SL4.

複数の大径ループBL1,BL2,BL3,BL4は、互いに接続されて約4ターンのヘリカル状の大径コイルBCを構成し、複数の小径ループSL1,SL2,SL3,SL4は、互いに接続されて約4ターンのヘリカル状の小径コイルSCを構成する。   The plurality of large diameter loops BL1, BL2, BL3, BL4 are connected to each other to form a helical large diameter coil BC of about 4 turns, and the plurality of small diameter loops SL1, SL2, SL3, SL4 are connected to each other. A helical small-diameter SC having about 4 turns is formed.

図11(A)に示すように、Y軸方向における大径コイルBCの第1端Be1から第2端Be2へ向かう延伸方向(+Y方向)は、Y軸方向における小径コイルSCの第1端Se1から第2端Se2へ向かう延伸方向(−Y方向)とは逆方向である。大径コイルBCの第2端Be2は、小径コイルSCの第1端Se1に接続される。   As shown in FIG. 11A, the extending direction (+ Y direction) from the first end Be1 to the second end Be2 of the large-diameter coil BC in the Y-axis direction is the first end Se1 of the small-diameter coil SC in the Y-axis direction. The direction opposite from the extending direction (-Y direction) toward the second end Se <b> 2 is the opposite direction. The second end Be2 of the large diameter coil BC is connected to the first end Se1 of the small diameter coil SC.

また、図10に示すように、Y軸方向における大径ループの形成領域BFEの少なくとも一部は、Y軸方向における小径ループの形成領域SFEに重なる。   As shown in FIG. 10, at least part of the large-diameter loop formation region BFE in the Y-axis direction overlaps the small-diameter loop formation region SFE in the Y-axis direction.

この構成により、第1の実施形態に係るコイルデバイスCD1と同様の作用・効果を奏することができる。   With this configuration, it is possible to achieve the same operations and effects as those of the coil device CD1 according to the first embodiment.

なお、本実施形態では、約4ターンの大径コイルBCと約4ターンの小径コイルSCとを備えるコイルデバイスCD2を示したが、これに限定されるものではない。大径コイルBCのターン数および小径コイルのターン数は、1よりも大きいのであれば適宜変更可能である。また、本実施形態では、1つの大径コイルBCと1つの小径コイルSCとを接続した構成を示したが、これに限定されるものではない。複数の大径コイルおよび複数の小径コイルが、交互に順次接続される構成であってもよい。また、大径コイルの数と小径コイルの数が同数である必要はない。複数の大径コイルのターン数がそれぞれ異なっていてもよく、複数の小径コイルのターン数がそれぞれ異なっていてもよい。   In the present embodiment, the coil device CD2 including the large-diameter coil BC of about 4 turns and the small-diameter coil SC of about 4 turns is shown, but the present invention is not limited to this. The number of turns of the large-diameter coil BC and the number of turns of the small-diameter coil can be appropriately changed as long as they are larger than one. In the present embodiment, the configuration in which one large-diameter coil BC and one small-diameter coil SC are connected is shown, but the present invention is not limited to this. A plurality of large-diameter coils and a plurality of small-diameter coils may be alternately and sequentially connected. Moreover, the number of large diameter coils and the number of small diameter coils do not need to be the same number. The plurality of large-diameter coils may have different numbers of turns, and the plurality of small-diameter coils may have different numbers of turns.

また、第1の実施形態では、大径ループと小径ループとを備える構成のコイルデバイスCD1を示し、本実施形態では、大径コイルと小径コイルとを備える構成のコイルデバイスCD2を示したが、これに限定されるものではない。本発明におけるコイルデバイスは、大径ループ、小径ループ、大径コイルおよび小径コイルの2つ以上を組み合わせる構成であればよい。なお、大径ループ、小径ループ、大径コイルおよび小径コイルの2つ以上を組み合わせる場合、それらを接続する順序についても適宜変更可能である。   Moreover, in 1st Embodiment, although coil device CD1 of the structure provided with a large diameter loop and a small diameter loop was shown, in this embodiment, coil device CD2 of the structure provided with a large diameter coil and a small diameter coil was shown, It is not limited to this. The coil device in this invention should just be the structure which combines two or more of a large diameter loop, a small diameter loop, a large diameter coil, and a small diameter coil. In addition, when combining two or more of a large diameter loop, a small diameter loop, a large diameter coil, and a small diameter coil, the order in which they are connected can be appropriately changed.

《第3の実施形態》
第3の実施形態では、大径ブリッジ状導体および小径ブリッジ状導体の構造が、第1の実施形態に係る無線ICデバイス101とは異なる例を示す。その他の構成については無線ICデバイス101と実質的に同じである。
<< Third Embodiment >>
In the third embodiment, an example in which the structures of the large-diameter bridge-like conductor and the small-diameter bridge-like conductor are different from those of the wireless IC device 101 according to the first embodiment is shown. Other configurations are substantially the same as those of the wireless IC device 101.

図12(A)は第3の実施形態に係る無線ICデバイス103の断面図であり、図12(B)は無線ICデバイス103の異なる部分の断面図である。   12A is a cross-sectional view of the wireless IC device 103 according to the third embodiment, and FIG. 12B is a cross-sectional view of a different part of the wireless IC device 103.

本実施形態に係る複数の大径ブリッジ状導体(図12(A)および図12(B)では、大径ブリッジ状導体Bb2が表れている)は、それぞれ一連の金属部材であり、X軸方向およびZ軸方向に延伸し、且つ、Y軸方向に配列されるコの字(または逆U字状)の金属体である。本実施形態では、大径ブリッジ状導体全体が、いずれも樹脂部材10に埋設される。本実施形態に係る大径ブリッジ状導体は、例えば断面円形のCuワイヤーを逆U字状に屈曲させた後、切断することで得られる。なお、この断面形状は必ずしも円形である必要は無く、矩形や多角形等であってもよい。   The plurality of large-diameter bridge-shaped conductors according to the present embodiment (in FIG. 12A and FIG. 12B, the large-diameter bridge-shaped conductor Bb2 appears) are each a series of metal members, and the X-axis direction And a U-shaped (or inverted U-shaped) metal body extending in the Z-axis direction and arranged in the Y-axis direction. In the present embodiment, the entire large-diameter bridge-like conductor is embedded in the resin member 10. The large-diameter bridge-shaped conductor according to the present embodiment can be obtained by, for example, bending a Cu wire having a circular cross section into an inverted U shape and then cutting it. The cross-sectional shape is not necessarily circular, and may be a rectangle or a polygon.

本実施形態では、大径ブリッジ状導体のうちZ軸方向に延伸する部分が本発明における「第1柱状金属部」および「第2柱状金属部」に相当する。   In the present embodiment, the portion extending in the Z-axis direction in the large-diameter bridge-shaped conductor corresponds to the “first columnar metal portion” and the “second columnar metal portion” in the present invention.

本実施形態に係る複数の小径ブリッジ状導体(図12(A)および図12(B)では、小径ブリッジ状導体Sb1,Sb2が表れている)は、それぞれ一連の金属部材であり、X軸方向およびZ軸方向に延伸し、且つ、Y軸方向に配列されるコの字(または逆U字状)の金属体である。本実施形態では、小径ブリッジ状導体全体が、いずれも樹脂部材10に埋設される。また、本実施形態では、図12(A)および図12(B)に示すように、小径ブリッジ状導体が、Y軸方向から視て、大径ブリッジ状導体の内側に配置される。本実施形態に係る小径ブリッジ状導体は、例えば断面円形のCuワイヤーを逆U字状に屈曲させた後、切断することで得られる。なお、この断面形状は必ずしも円形である必要は無く、矩形や多角形等であってもよい。   A plurality of small-diameter bridge-shaped conductors according to the present embodiment (the small-diameter bridge-shaped conductors Sb1 and Sb2 appear in FIGS. 12A and 12B) are a series of metal members, respectively, in the X-axis direction. And a U-shaped (or inverted U-shaped) metal body extending in the Z-axis direction and arranged in the Y-axis direction. In the present embodiment, the entire small-diameter bridge-like conductor is embedded in the resin member 10. Moreover, in this embodiment, as shown to FIG. 12 (A) and FIG. 12 (B), a small diameter bridge-like conductor is arrange | positioned inside a large diameter bridge-like conductor seeing from a Y-axis direction. The small-diameter bridge-shaped conductor according to the present embodiment can be obtained by, for example, bending a Cu wire having a circular cross section into an inverted U shape and then cutting it. The cross-sectional shape is not necessarily circular, and may be a rectangle or a polygon.

本実施形態では、小径ブリッジ状導体のうちZ軸方向に延伸する部分が本発明における「第3柱状金属部」および「第4柱状金属部」に相当する。   In the present embodiment, the portion extending in the Z-axis direction of the small-diameter bridge-shaped conductor corresponds to the “third columnar metal portion” and the “fourth columnar metal portion” in the present invention.

本実施形態に係る無線ICデバイス103によれば、第1の実施形態で述べた効果以外に、次のような効果を奏する。   The wireless IC device 103 according to the present embodiment has the following effects in addition to the effects described in the first embodiment.

(q)本実施形態では、複数の大径ブリッジ状導体および複数の小径ブリッジ状導体が、一連の金属部材で構成されている。この構成により、導電性ペーストの焼成による焼結金属体や、導電性薄膜のエッチングによる薄膜金属体等で構成する場合に比べて大径ブリッジ状導体および小径ブリッジ状導体のDCRを十分に小さくできるので、さらにQ値が高く、低損失のコイルデバイスが得られる。 (Q) In the present embodiment, the plurality of large-diameter bridge-shaped conductors and the plurality of small-diameter bridge-shaped conductors are formed of a series of metal members. With this configuration, the DCR of the large-diameter bridge-like conductor and the small-diameter bridge-like conductor can be sufficiently reduced as compared with the case of a sintered metal body obtained by firing conductive paste, a thin film metal body obtained by etching a conductive thin film, or the like. Therefore, a coil device with a higher Q value and a lower loss can be obtained.

(r)また、本実施形態では、大径ブリッジ状導体および小径ブリッジ状導体に一連の金属部材を利用する構造であるため、多層基板にコイルを形成する必要がなく、複雑な配線を引回す必要もない。そのため、コイル開口サイズの設計上の自由度に優れたコイル構造を容易に実現できる。また、この構成により、層間導体を有する複数の基材層を積層して高さ方向の接続部を形成する場合に比べて、接続箇所を減らすことができるため、コイルデバイスの電気的信頼性がさらに高まる。 (R) Further, in this embodiment, since a series of metal members are used for the large-diameter bridge-shaped conductor and the small-diameter bridge-shaped conductor, it is not necessary to form a coil on the multilayer substrate, and complicated wiring is routed. There is no need. Therefore, it is possible to easily realize a coil structure excellent in design freedom of the coil opening size. In addition, this configuration can reduce the number of connection points as compared with the case where a plurality of base material layers having interlayer conductors are stacked to form a connection portion in the height direction, so that the electrical reliability of the coil device is improved. Further increase.

本実施形態に係る無線ICデバイス103は、例えば次の工程で製造される。図13および図14は無線ICデバイス103の製造工程を順に示す断面図である。   The wireless IC device 103 according to the present embodiment is manufactured by, for example, the following process. 13 and 14 are cross-sectional views sequentially showing the manufacturing process of the wireless IC device 103.

まず、図13中の(1)に示すように、配線板1を準備する。具体的には、配線板1の第1主面PS1に導体パターン91,92やRFICを実装するための実装用電極81,82(ランドパターン)等を形成する。さらに、配線板1の厚み方向には、導体パターン91,92に接続され、配線板1の内部に形成される層間接続導体V1を形成する。   First, as shown in (1) in FIG. 13, the wiring board 1 is prepared. Specifically, conductor patterns 91 and 92 and mounting electrodes 81 and 82 (land patterns) for mounting RFIC are formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1. Further, in the thickness direction of the wiring board 1, an interlayer connection conductor V <b> 1 connected to the conductor patterns 91 and 92 and formed inside the wiring board 1 is formed.

その後、RFICを実装するための実装用電極81,82や金属ポストを実装するための導体パターン91,92等に、はんだペースト等の導電性接合材4を形成する。このとき、配線板1の第2主面PS2側に導体パターンは形成されていない。   Thereafter, the conductive bonding material 4 such as solder paste is formed on the mounting electrodes 81 and 82 for mounting the RFIC, the conductor patterns 91 and 92 for mounting the metal posts, and the like. At this time, no conductor pattern is formed on the second main surface PS2 side of the wiring board 1.

次に、図13中の(2)に示すように、粘着層等を有する支持台7上に上記配線板1を実装する。配線板1は、第2主面PS2側が粘着層を介して支持台7に実装される。これにより、配線板1は、支持台7に強固に固定した状態で実装される。   Next, as shown in (2) in FIG. 13, the wiring board 1 is mounted on a support base 7 having an adhesive layer or the like. As for the wiring board 1, the 2nd main surface PS2 side is mounted in the support stand 7 through the adhesion layer. Thereby, the wiring board 1 is mounted in a state of being firmly fixed to the support base 7.

次に、図13中の(3)に示すようにRFIC3、複数の小径ブリッジ状導体Sb2等を、それぞれはんだ等の導電性接合材を介して配線板1に実装する。具体的には、配線板1の第1主面PS1にRFIC3をマウンターで実装した後、RFIC3をリフロープロセスではんだ付けする。また、配線板1の第1主面PS1に複数の小径ブリッジ状導体Sb2等の第1端および第2端を立てた状態で実装した後、複数の小径ブリッジ状導体Sb2等をリフロープロセスではんだ付けする。この工程により、RFIC3、小径ブリッジ状導体Sb2等を配線板1に電気的に導通させ、且つ構造的に接合する。   Next, as shown in (3) in FIG. 13, the RFIC 3, the plurality of small-diameter bridge-like conductors Sb2, and the like are each mounted on the wiring board 1 via a conductive bonding material such as solder. Specifically, after mounting the RFIC 3 on the first main surface PS1 of the wiring board 1 with a mounter, the RFIC 3 is soldered by a reflow process. In addition, after mounting the first end and the second end of the plurality of small-diameter bridge conductors Sb2 and the like on the first main surface PS1 of the wiring board 1, the plurality of small-diameter bridge conductors Sb2 and the like are soldered by a reflow process. Attach. By this step, the RFIC 3, the small diameter bridge conductor Sb2, and the like are electrically connected to the wiring board 1 and structurally joined.

複数の小径ブリッジ状導体はそれぞれ一連の金属部材であり、例えば逆U字状に屈曲させた断面円形のCuワイヤーである。複数の小径ブリッジ状導体は、Cuを主成分としたものに限定されるわけではないが、導電率や加工性の点でCuを主成分としたものが好ましい。   Each of the plurality of small-diameter bridge-like conductors is a series of metal members, for example, a Cu wire having a circular cross section bent in an inverted U shape. The plurality of small-diameter bridge-like conductors are not limited to those containing Cu as the main component, but those containing Cu as the main component are preferable in terms of conductivity and workability.

その後、図13中の(4)に示すように、複数の大径ブリッジ状導体Bb2等の第1端および第2端を、支持台7側にして、立てた状態で実装する。これにより、複数の大径ブリッジ状導体Bb2等は、支持台7に強固に固定した状態で実装される。   Thereafter, as shown in (4) in FIG. 13, the first end and the second end of the plurality of large-diameter bridge conductors Bb2 and the like are mounted on the support base 7 side in an upright state. Thereby, the plurality of large-diameter bridge conductors Bb2 and the like are mounted in a state of being firmly fixed to the support base 7.

複数の大径ブリッジ状導体はそれぞれ一連の金属部材であり、例えば逆U字状に屈曲させた断面円形のCuワイヤーである。複数の大径ブリッジ状導体は、Cuを主成分としたものに限定されるわけではないが、導電率や加工性の点でCuを主成分としたものが好ましい。   Each of the plurality of large-diameter bridge-shaped conductors is a series of metal members, for example, a Cu wire having a circular cross section bent in an inverted U shape. The plurality of large-diameter bridge-shaped conductors are not limited to those having Cu as a main component, but those having Cu as a main component are preferable in terms of conductivity and workability.

次に、図14中の(5)に示すように、RFIC3、大径ブリッジ状導体Bb2および小径ブリッジ状導体Sb2等が埋設する高さまで樹脂部材10を形成(樹脂を被覆)する。具体的には、エポキシ樹脂等を所定高さ(RFIC3、大径ブリッジ状導体Bb2および小径ブリッジ状導体Sb2等の高さ以上)に塗布する。   Next, as shown in (5) in FIG. 14, the resin member 10 is formed (covered with resin) to a height at which the RFIC 3, the large-diameter bridge conductor Bb2, the small-diameter bridge conductor Sb2, and the like are embedded. Specifically, an epoxy resin or the like is applied to a predetermined height (more than the height of the RFIC 3, the large-diameter bridge conductor Bb2, the small-diameter bridge conductor Sb2, etc.).

なお、樹脂部材10は、液状樹脂の塗布により設けてもよいし、半硬化シート状樹脂の積層によって設けてもよい。   The resin member 10 may be provided by application of a liquid resin, or may be provided by stacking semi-cured sheet-like resins.

次に、図14中の(5)(6)に示すように、樹脂部材10および配線板1等から支持台7を取り除き、大径ブリッジ状導体Bb2等の両端(第1端および第2端)および層間接続導体V1を、樹脂部材10および配線板1の表面から露出させる。具体的には、樹脂部材10を支持台7、配線板1および大径ブリッジ状導体Bb2等ごと、図14中の(5)に示した研磨線PL2まで平面的に研磨(または切削)していくことで、複数の大径ブリッジ状導体Bb2等の両端および層間接続導体V1を、配線板1の第2主面PS2および樹脂部材10の第2面VS2から露出させる。   Next, as shown in (5) and (6) in FIG. 14, the support base 7 is removed from the resin member 10 and the wiring board 1 etc., and both ends (first end and second end of the large-diameter bridge-shaped conductor Bb2 etc.) are removed. And the interlayer connection conductor V1 are exposed from the surface of the resin member 10 and the wiring board 1. Specifically, the resin member 10 is polished (or cut) in a planar manner to the polishing line PL2 indicated by (5) in FIG. 14 together with the support base 7, the wiring board 1, the large-diameter bridge conductor Bb2, and the like. Thus, both ends of the plurality of large-diameter bridge conductors Bb2 and the interlayer connection conductor V1 are exposed from the second main surface PS2 of the wiring board 1 and the second surface VS2 of the resin member 10.

次に、図14中の(7)に示すように、樹脂部材10の第2面VS2および配線板1の第2主面PS2に導体パターン71,72等を形成する。その後、Cu等のめっきによって、導体パターン71,72等にめっき膜を形成する。   Next, as shown in (7) in FIG. 14, conductor patterns 71, 72 and the like are formed on the second surface VS <b> 2 of the resin member 10 and the second main surface PS <b> 2 of the wiring board 1. Thereafter, a plating film is formed on the conductor patterns 71, 72, etc. by plating with Cu or the like.

その後、必要に応じて、配線板1の外面(第2主面PS2)および樹脂部材10の第2面VS2に形成された導体パターン71,72の形成面に酸化防止用の保護用樹脂膜(ソルダーレジスト膜等)を形成する。   Then, if necessary, a protective resin film (for prevention of oxidation) is formed on the formation surfaces of the conductor patterns 71 and 72 formed on the outer surface (second main surface PS2) of the wiring board 1 and the second surface VS2 of the resin member 10. A solder resist film).

なお、上記の工程は、マザー基板状態のまま処理される。最後に、マザー基板を個々の無線ICデバイス103単位(個片)に分離する。   In addition, said process is processed with a mother substrate state. Finally, the mother board is separated into individual wireless IC device 103 units (pieces).

また、本実施形態に係る別の無線ICデバイス103Aは例えば次の工程で製造される。図15および図16は無線ICデバイス103Aの製造工程を順に示す断面図である。   Further, another wireless IC device 103A according to the present embodiment is manufactured by, for example, the following process. 15 and 16 are cross-sectional views sequentially showing the manufacturing process of the wireless IC device 103A.

まず、図15中の(1)に示すように、素体300Aを準備する。素体300Aは、第1の実施形態で示した素体300Aと同じものである。   First, as shown in (1) in FIG. 15, an element body 300A is prepared. The element body 300A is the same as the element body 300A shown in the first embodiment.

次に、図15中の(2)に示すように、粘着層等を有する支持台7上に素体300Aを実装する。素体300Aは、配線板1の第2主面PS2側が粘着層を介して支持台7に実装される。これにより、配線板1は、支持台7に強固に固定した状態で実装される。   Next, as shown in (2) in FIG. 15, the element body 300A is mounted on the support base 7 having an adhesive layer or the like. In the element body 300A, the second main surface PS2 side of the wiring board 1 is mounted on the support base 7 via an adhesive layer. Thereby, the wiring board 1 is mounted in a state of being firmly fixed to the support base 7.

その後、図15中の(3)に示すように、大径ブリッジ状導体Bb2等の第1端および第2端を、支持台7側にして、立てた状態で実装する。これにより、大径ブリッジ状導体Bb2等は、支持台7に強固に固定した状態で実装される。   Thereafter, as shown in (3) of FIG. 15, the first end and the second end of the large-diameter bridge conductor Bb2 and the like are mounted on the support base 7 side in an upright state. Thereby, the large-diameter bridge-like conductor Bb2 and the like are mounted in a state of being firmly fixed to the support base 7.

次に、図16中の(4)に示すように、大径ブリッジ状導体Bb2等および素体300Aが埋設する高さまで樹脂部材10Aを形成(樹脂を被覆)する。具体的には、エポキシ樹脂等を所定高さ(大径ブリッジ状導体Bb2等および素体300Aの高さ以上)に塗布する。   Next, as shown in (4) in FIG. 16, the resin member 10A is formed (covered with resin) to a height at which the large-diameter bridge conductor Bb2 and the like and the element body 300A are embedded. Specifically, an epoxy resin or the like is applied to a predetermined height (the height of the large-diameter bridge-like conductor Bb2 or the like and the element body 300A).

次に、図16中の(4)(5)に示すように、樹脂部材10および配線板1等から支持台7を取り除き、大径ブリッジ状導体Bb2等およびの両端(第1端および第2端)および層間接続導体V1を、樹脂部材10および配線板1の表面から露出させる。具体的には、樹脂部材10を支持台7、配線板1および大径ブリッジ状導体Bb2等ごと、図16中の(4)に示した研磨線PL2まで平面的に研磨(または切削)していくことで、大径ブリッジ状導体Bb2等の両端および層間接続導体V1を、配線板1の第2主面PS2および樹脂部材10の第2面VS2から露出させる。   Next, as shown in (4) and (5) in FIG. 16, the support base 7 is removed from the resin member 10 and the wiring board 1 and the like, and both ends (first and second ends) of the large-diameter bridge-shaped conductor Bb2 and the like. End) and the interlayer connection conductor V1 are exposed from the surface of the resin member 10 and the wiring board 1. Specifically, the resin member 10 is polished (or cut) in a planar manner to the polishing line PL2 indicated by (4) in FIG. 16 together with the support base 7, the wiring board 1, the large-diameter bridge conductor Bb2, and the like. As a result, both ends of the large-diameter bridge conductor Bb2 and the interlayer connection conductor V1 are exposed from the second main surface PS2 of the wiring board 1 and the second surface VS2 of the resin member 10.

次に、図16中の(6)に示すように、樹脂部材10の第2面VS2および配線板1の第2主面PS2に導体パターン71,72等を形成する。その後、Cu等のめっきによって、導体パターン71,72等にめっき膜を形成する。   Next, as shown in (6) in FIG. 16, conductor patterns 71, 72 and the like are formed on the second surface VS <b> 2 of the resin member 10 and the second main surface PS <b> 2 of the wiring board 1. Thereafter, a plating film is formed on the conductor patterns 71, 72, etc. by plating with Cu or the like.

その後、必要に応じて、配線板1の外面(第2主面PS2)および樹脂部材10の第2面VS2に形成された導体パターン71,72の形成面に酸化防止用の保護用樹脂膜(ソルダーレジスト膜等)を形成する。   Then, if necessary, a protective resin film (for prevention of oxidation) is formed on the formation surfaces of the conductor patterns 71 and 72 formed on the outer surface (second main surface PS2) of the wiring board 1 and the second surface VS2 of the resin member 10. A solder resist film).

なお、上記の工程は、マザー基板状態のまま処理される。最後に、マザー基板を個々の無線ICデバイス103A単位(個片)に分離する。   In addition, said process is processed with a mother substrate state. Finally, the mother board is separated into individual wireless IC device 103A units (pieces).

なお、本実施形態で示した無線ICデバイス103Aのように、複数の大径ブリッジ状導体および複数の小径ブリッジ状導体のいずれか一方が、一連の金属部材であってもよい。   Note that, as in the wireless IC device 103A shown in the present embodiment, any one of the plurality of large-diameter bridge conductors and the plurality of small-diameter bridge conductors may be a series of metal members.

また、本実施形態では、樹脂部材10を備える無線ICデバイス103の例を示したが、この構成に限定されるものではない。第1の実施形態に係る無線ICデバイス101と同様に、複数の大径ブリッジ状導体および複数の小径ブリッジ状導体が一連の金属部材である無線ICデバイス103が樹脂部材10を備えていない構成であってもよい。また、無線ICデバイス103Aのように、複数の大径ブリッジ状導体が一連の金属部材である場合には、樹脂部材10Aを備えていない構成でもよい。   In the present embodiment, an example of the wireless IC device 103 including the resin member 10 has been described, but the present invention is not limited to this configuration. As with the wireless IC device 101 according to the first embodiment, the wireless IC device 103 in which the plurality of large-diameter bridge-shaped conductors and the plurality of small-diameter bridge-shaped conductors are a series of metal members does not include the resin member 10. There may be. Further, when the plurality of large-diameter bridge-shaped conductors are a series of metal members as in the wireless IC device 103A, a configuration without the resin member 10A may be used.

《第4の実施形態》
第4の実施形態では、大径ブリッジ状導体および小径ブリッジ状導体の構造が、第3の実施形態に係る無線ICデバイス103とは異なる例を示す。その他の構成については無線ICデバイス103と実質的に同じである。
<< Fourth Embodiment >>
In the fourth embodiment, an example in which the structures of the large-diameter bridge-like conductor and the small-diameter bridge-like conductor are different from those of the wireless IC device 103 according to the third embodiment is shown. Other configurations are substantially the same as those of the wireless IC device 103.

図17は第4の実施形態に係る無線ICデバイス104の断面図である。   FIG. 17 is a cross-sectional view of the wireless IC device 104 according to the fourth embodiment.

図17に示すように、複数の大径ブリッジ状導体(図17では、大径ブリッジ状導体Bb2が表れている)および複数の小径ブリッジ状導体(図17では、小径ブリッジ状導体Sb2が表れている)は、円弧状(または逆U字状)の導体である。   As shown in FIG. 17, a plurality of large diameter bridge conductors (in FIG. 17, the large diameter bridge conductor Bb2 appears) and a plurality of small diameter bridge conductors (in FIG. 17, the small diameter bridge conductor Sb2 appears). Is an arc-shaped (or inverted U-shaped) conductor.

したがって、本実施形態に係る無線ICデバイス104は、第1柱状金属部、第2柱状金属部、第3柱状金属部および第4柱状金属部を備えていない。   Therefore, the wireless IC device 104 according to the present embodiment does not include the first columnar metal part, the second columnar metal part, the third columnar metal part, and the fourth columnar metal part.

このような構成であっても、無線ICデバイス104の基本的な構成は、第3の実施形態に係る無線ICデバイス103と同様であり、無線ICデバイス103と同様の作用・効果を奏する。   Even in such a configuration, the basic configuration of the wireless IC device 104 is the same as that of the wireless IC device 103 according to the third embodiment, and the same operations and effects as the wireless IC device 103 are achieved.

《第5の実施形態》
第5の実施形態では、第2配線板2および第2配線板2に形成される導体パターン73,74,75等をさらに備える点で、第3の実施形態に係る無線ICデバイス103と異なる。その他の構成については無線ICデバイス103と実質的に同じである。
<< Fifth Embodiment >>
The fifth embodiment is different from the wireless IC device 103 according to the third embodiment in that the second wiring board 2 and conductor patterns 73, 74, 75 and the like formed on the second wiring board 2 are further provided. Other configurations are substantially the same as those of the wireless IC device 103.

図18(A)は第5の実施形態に係る無線ICデバイス105の断面図であり、図18(B)は無線ICデバイス105の異なる部分の断面図である。   18A is a cross-sectional view of the wireless IC device 105 according to the fifth embodiment, and FIG. 18B is a cross-sectional view of a different part of the wireless IC device 105.

第2配線板2の第3主面(図18における第2配線板2の上面)には、導体パターン73,74,75等が形成されている。第2配線板2の第3主面上に配線板1の第2主面が実装されることで、大径ループ接続導体の両端が、第2配線板2の第3主面に形成される導体パターンに接続される。大径ブリッジ状導体の両端は、はんだ等の導電性接合材を介して第2配線板2の第3主面に形成される導体パターンに接続される。   Conductor patterns 73, 74, 75, etc. are formed on the third main surface of the second wiring board 2 (the upper surface of the second wiring board 2 in FIG. 18). By mounting the second main surface of the wiring board 1 on the third main surface of the second wiring board 2, both ends of the large-diameter loop connection conductor are formed on the third main surface of the second wiring board 2. Connected to conductor pattern. Both ends of the large-diameter bridge-like conductor are connected to a conductor pattern formed on the third main surface of the second wiring board 2 via a conductive bonding material such as solder.

本実施形態では、大径ループ接続導体が、配線板1の第1主面PS1に形成される導体パターン、配線板1の内部に形成される層間接続導体、および第2配線板2の第3主面に形成される導体パターン等で構成される。例えば、大径ループ接続導体Bj2は、図18(A)に示すように、配線板1の第1主面PS1に形成される導体パターン91、配線板1の内部に形成される層間接続導体V1、および第2配線板2の第3主面に形成される導体パターン74等で構成されている。   In the present embodiment, the large-diameter loop connection conductor includes a conductor pattern formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1, an interlayer connection conductor formed inside the wiring board 1, and the third wiring board 2 of the second wiring board 2. It is composed of a conductor pattern formed on the main surface. For example, the large-diameter loop connection conductor Bj2 includes a conductor pattern 91 formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1 and an interlayer connection conductor V1 formed inside the wiring board 1, as shown in FIG. , And a conductor pattern 74 formed on the third main surface of the second wiring board 2.

本実施形態では、小径ループ接続導体が、配線板1の第1主面PS1に形成される導体パターン、配線板1の内部に形成される層間接続導体、および第2配線板2の第3主面に形成される導体パターン等で構成される。例えば、小径ループ接続導体Sj1は、図18(B)に示すように、配線板1の第1主面PS1に形成される導体パターン92、配線板1の内部に形成される層間接続導体V2、および第2配線板2の第3主面に形成される導体パターン73等で構成されている。   In the present embodiment, the small-diameter loop connection conductor includes a conductor pattern formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1, an interlayer connection conductor formed inside the wiring board 1, and a third main wiring board of the second wiring board 2. It is composed of a conductor pattern formed on the surface. For example, the small-diameter loop connection conductor Sj1 includes a conductor pattern 92 formed on the first main surface PS1 of the wiring board 1, an interlayer connection conductor V2 formed inside the wiring board 1, as shown in FIG. And a conductor pattern 73 formed on the third main surface of the second wiring board 2.

このような構成であっても、無線ICデバイス105の基本的な構成は、第3の実施形態に係る無線ICデバイス103と同様であり、無線ICデバイス103と同様の作用・効果を奏する。   Even in such a configuration, the basic configuration of the wireless IC device 105 is the same as that of the wireless IC device 103 according to the third embodiment, and has the same operations and effects as the wireless IC device 103.

なお、本実施形態では、第2配線板2の第3主面に形成される導体パターン74が、大径ループ接続導体の一部に利用される構成例を示したが、これに限定されるものではない。第2配線板2の第4主面(図18における第2配線板2の下面)に形成される導体パターンや、第2配線板2の内部に形成される導体パターンまたは層間接続導体を大径ループ接続導体の一部に利用してもよい。このことは、小径ループ接続導体についても同様である。   In the present embodiment, the conductor pattern 74 formed on the third main surface of the second wiring board 2 is used as a part of the large-diameter loop connection conductor. However, the present invention is not limited to this. It is not a thing. The conductor pattern formed on the fourth main surface of the second wiring board 2 (the lower surface of the second wiring board 2 in FIG. 18), the conductor pattern formed inside the second wiring board 2, or the interlayer connection conductor has a large diameter. You may utilize for a part of loop connection conductor. The same applies to the small-diameter loop connection conductor.

《その他の実施形態》
以上に示した各実施形態では、複数の大径ループの巻回軸AXと複数の小径ループの巻回軸とが一致している構成例を示したが、この構成に限定されるものではない。複数の小径ループの巻回軸は、複数の大径ループの巻回軸AX(Y軸方向)と完全に一致している必要はなく、Y軸方向に沿っていればよい。なお、本発明における第1方向に「沿った」状態とは、例えば小径ループの巻回軸が第1方向(Y軸方向)に対して0°から±45°未満の範囲内をいう。
<< Other Embodiments >>
In each of the above-described embodiments, the configuration example in which the winding axes AX of the plurality of large-diameter loops and the winding shafts of the plurality of small-diameter loops coincide with each other has been described. . The winding axes of the plurality of small-diameter loops do not need to completely coincide with the winding axis AX (Y-axis direction) of the plurality of large-diameter loops, and may be along the Y-axis direction. In addition, the state “along” in the first direction in the present invention means, for example, that the winding axis of the small-diameter loop is within a range of 0 ° to less than ± 45 ° with respect to the first direction (Y-axis direction).

また、以上に示した各実施形態では、小径ブリッジ状導体が、Y軸方向から視て、大径ブリッジ状導体の内側に配置されている構成例を示したが、これに限定されるものではない。小径ブリッジ状導体の内外径寸法が、Y軸方向から視て、大径ブリッジ状導体の内外径寸法よりも小さければよく、小径ブリッジ状導体の一部が、Y軸方向から視て、大径ブリッジ状導体に重なっていてもよい。   In each of the above-described embodiments, the small-diameter bridge-shaped conductor is shown inside the large-diameter bridge-shaped conductor as viewed from the Y-axis direction. However, the present invention is not limited to this. Absent. The inner and outer diameter dimensions of the small-diameter bridge-shaped conductor need only be smaller than the inner and outer diameter dimensions of the large-diameter bridge-shaped conductor as viewed from the Y-axis direction, and a part of the small-diameter bridge-shaped conductor has a large diameter as viewed from the Y-axis direction. It may overlap the bridge-like conductor.

なお、以上に示した各実施形態では、RFIC3が配線板1の第1主面PS1に搭載されている構成について示したが、これに限定されるものではない。RFIC3は、例えば配線板1の第2主面PS2に搭載されていてもよく、配線板1に内蔵されていてもよい。また、配線板1の第1主面PS1または第2主面PS2のいずれかにキャビティが形成され、このキャビティ内にRFICが収容される構成であってもよい。   In each of the embodiments described above, the configuration in which the RFIC 3 is mounted on the first main surface PS1 of the wiring board 1 has been described. However, the present invention is not limited to this. The RFIC 3 may be mounted on the second main surface PS2 of the wiring board 1, for example, or may be built in the wiring board 1. Further, a configuration may be adopted in which a cavity is formed in either the first main surface PS1 or the second main surface PS2 of the wiring board 1, and the RFIC is accommodated in the cavity.

さらに、以上に示した各実施形態では、RFICとコイルデバイスとを備える無線ICデバイスを示したが、この構成に限定されるものではない。例えば、チップキャパシタおよびDC/DCコンバータ用集積回路素子を、コイルデバイスが備える配線板1の第1主面に設けることによってDC/DCコンバータモジュールを構成することもできる。   Furthermore, in each embodiment shown above, although the radio | wireless IC device provided with RFIC and a coil device was shown, it is not limited to this structure. For example, a DC / DC converter module can be configured by providing a chip capacitor and an integrated circuit element for a DC / DC converter on the first main surface of the wiring board 1 provided in the coil device.

最後に、本発明の範囲は、以上に示した各実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲内と均等の範囲内で各実施形態からの変更が含まれる。   Finally, the scope of the present invention is shown not by the embodiments described above but by the claims. Furthermore, the scope of the present invention includes modifications from the embodiments within the scope equivalent to the claims.

AX…大径ループの巻回軸
CD1,CD2…コイルデバイス
E1…コイルデバイスの第1端
E2…コイルデバイスの第2端
BC…大径コイル
Be1…大径コイルの第1端
Be2…大径コイルの第2端
SC…小径コイル
Se1…小径コイルの第1端
Se2…小径コイルの第2端
BL1,BL2,BL3,BL4…大径ループ
Bb1Bb2,Bb3,Bb4…大径ブリッジ状導体
Bj1,Bj2,Bj3,Bj4…大径ループ接続導体
SL1,SL2,SL3,SL4…小径ループ
Sb1,Sb2,Sb3,Sb4…小径ブリッジ状導体
Sj1,Sj2,Sj3…小径ループ接続導体
BFE…第1方向における大径ループの形成領域
SFE…第1方向における小径ループの形成領域
1…配線板
2…第2配線板
3…RFIC
4…導電性接合材
7…支持台
PL1,PL2…研磨線
PS1…配線板の第1主面
PS2…配線板の第2主面
V1,V2…層間接続導体
VS1…樹脂部材の第1面
VS2…樹脂部材の第2面
10,10A,10B…樹脂部材
11,12,13,14…第1金属ポスト
21,22,23,24…第2金属ポスト
31,32,33,34…第3金属ポスト
41,42,43,44…第4金属ポスト
51,52,53,54…大径接続導体
61,62,63,64…小径接続導体
71,72,73,74,75…導体パターン
81,82…実装用電極
91,92…導体パターン
101,103,103A,104,105…無線ICデバイス
300A…素体
AX ... winding axis CD1, CD2 of large-diameter loop ... coil device E1 ... first end E2 of coil device ... second end BC of coil device ... large-diameter coil Be1 ... first end Be2 of large-diameter coil ... large-diameter coil The second end SC of the small-diameter coil Se1, the first end Se2 of the small-diameter coil, the second ends BL1, BL2, BL3, BL4 of the small-diameter coil, the large-diameter loops Bb1Bb2, Bb3, Bb4, the large-diameter bridge conductors Bj1, Bj2, Bj3, Bj4: Large diameter loop connection conductors SL1, SL2, SL3, SL4 ... Small diameter loops Sb1, Sb2, Sb3, Sb4 ... Small diameter bridge conductors Sj1, Sj2, Sj3 ... Small diameter loop connection conductors BFE ... Large diameter loop in the first direction Forming area SFE ... small diameter loop forming area 1 in the first direction ... wiring board 2 ... second wiring board 3 ... RFIC
4 ... conductive bonding material 7 ... supports PL1, PL2 ... polishing wire PS1 ... first main surface PS2 of wiring board ... second main surface V1, V2 of wiring board ... interlayer connection conductor VS1 ... first surface VS2 of resin member ... 2nd surface 10, 10A, 10B of resin member ... Resin member 11, 12, 13, 14 ... 1st metal post 21, 22, 23, 24 ... 2nd metal post 31, 32, 33, 34 ... 3rd metal Posts 41, 42, 43, 44 ... fourth metal posts 51, 52, 53, 54 ... large diameter connection conductors 61, 62, 63, 64 ... small diameter connection conductors 71, 72, 73, 74, 75 ... conductor pattern 81, 82 ... Mounting electrodes 91, 92 ... Conductor patterns 101, 103, 103A, 104, 105 ... Wireless IC device 300A ... Element

Claims (14)

第1方向に巻回軸を有し、大径ブリッジ状導体を含んで構成される大径ループと、
前記第1方向に沿った巻回軸を有し、前記第1方向から視て、前記大径ループの外径の内側に配置される小径ブリッジ状導体を含んで構成される小径ループと、
前記第1方向から視て、少なくとも一部が前記大径ループの内側に配置され、前記第1方向に平行な第1主面および第2主面を有する配線板と、
を備え、
前記大径ループは前記小径ループに導通し、
前記大径ブリッジ状導体および前記小径ブリッジ状導体は、前記第1主面に対して非平行であり、
前記小径ブリッジ状導体は前記第1主面に実装され、
前記大径ブリッジ状導体の第1端および第2端は、前記配線板の外側に配置される、コイルデバイス。
A large-diameter loop having a winding axis in the first direction and including a large-diameter bridge-shaped conductor;
A small-diameter loop having a winding axis along the first direction, and including a small-diameter bridge-like conductor disposed inside the outer diameter of the large-diameter loop as viewed from the first direction;
A wiring board having a first main surface and a second main surface that are at least partially disposed inside the large-diameter loop and are parallel to the first direction, as viewed from the first direction;
With
The large diameter loop is connected to the small diameter loop,
The large-diameter bridge-shaped conductor and the small-diameter bridge-shaped conductor are non-parallel to the first main surface,
The small-diameter bridge-shaped conductor is mounted on the first main surface,
The coil device, wherein the first end and the second end of the large-diameter bridge-shaped conductor are disposed outside the wiring board.
樹脂部材をさらに備え、
前記大径ループ、前記小径ループおよび前記配線板の少なくとも一部は、樹脂部材に埋設される、請求項1に記載のコイルデバイス。
A resin member;
The coil device according to claim 1, wherein at least a part of the large-diameter loop, the small-diameter loop, and the wiring board is embedded in a resin member.
前記配線板は、前記第1主面が前記樹脂部材の内側に埋設し、前記第2主面が前記樹脂部材から露出するように配置される、請求項2に記載のコイルデバイス。   The coil device according to claim 2, wherein the wiring board is disposed such that the first main surface is embedded inside the resin member and the second main surface is exposed from the resin member. 前記大径ループは、前記大径ブリッジ状導体の第1端または第2端に接続される大径ループ接続導体を含み、
前記小径ループは、前記小径ブリッジ状導体の第1端または第2端に接続される小径ループ接続導体を含み、
前記大径ループ接続導体の少なくとも一部は、前記配線板の内部または前記第2主面に形成され、
前記小径ループ接続導体は、前記配線板の内部または前記第1主面に形成される、請求項1から3のいずれかに記載のコイルデバイス。
The large-diameter loop includes a large-diameter loop connection conductor connected to a first end or a second end of the large-diameter bridge-shaped conductor,
The small-diameter loop includes a small-diameter loop connection conductor connected to the first end or the second end of the small-diameter bridge-shaped conductor,
At least a part of the large-diameter loop connection conductor is formed inside the wiring board or the second main surface,
The coil device according to any one of claims 1 to 3, wherein the small-diameter loop connection conductor is formed inside the wiring board or on the first main surface.
前記大径ブリッジ状導体は、前記第1主面に直交する方向に延伸する第1柱状金属部および第2柱状金属部と、大径接続導体と、を有し、
前記大径接続導体は、前記第1柱状金属部の第1端と前記第2柱状金属部の第1端との間を接続し、
前記第1柱状金属部および前記第2柱状金属部は、前記配線板の外側に配置される、請求項1から4のいずれかに記載のコイルデバイス。
The large-diameter bridge-shaped conductor has a first columnar metal part and a second columnar metal part extending in a direction orthogonal to the first main surface, and a large-diameter connection conductor,
The large-diameter connection conductor connects between the first end of the first columnar metal part and the first end of the second columnar metal part,
The coil device according to any one of claims 1 to 4, wherein the first columnar metal part and the second columnar metal part are arranged outside the wiring board.
前記小径ブリッジ状導体は、前記第1主面に直交する方向に延伸する第3柱状金属部および第4柱状金属部と、小径接続導体と、を有し、
前記小径接続導体は、前記第3柱状金属部の第1端と前記第4柱状金属部の第1端との間を接続し、
前記第3柱状金属部の第2端および前記第4柱状金属部の第2端は、前記配線板の前記第1主面にそれぞれ実装される、請求項1から5のいずれかに記載のコイルデバイス。
The small-diameter bridge-shaped conductor has a third columnar metal portion and a fourth columnar metal portion extending in a direction orthogonal to the first main surface, and a small-diameter connection conductor,
The small-diameter connection conductor connects between the first end of the third columnar metal part and the first end of the fourth columnar metal part,
The coil according to any one of claims 1 to 5, wherein a second end of the third columnar metal part and a second end of the fourth columnar metal part are respectively mounted on the first main surface of the wiring board. device.
前記大径ブリッジ状導体は一連の金属部材である、請求項1から6のいずれかに記載のコイルデバイス。   The coil device according to any one of claims 1 to 6, wherein the large-diameter bridge-shaped conductor is a series of metal members. 前記小径ブリッジ状導体は一連の金属部材である、請求項1から7のいずれかに記載のコイルデバイス。   The coil device according to claim 1, wherein the small-diameter bridge-shaped conductor is a series of metal members. 前記大径ブリッジ状導体および前記小径ブリッジ状導体は、前記第1主面を平面視して、前記第1方向に沿って隙間なく配列される、請求項1から8のいずれかに記載のコイルデバイス。   9. The coil according to claim 1, wherein the large-diameter bridge-shaped conductor and the small-diameter bridge-shaped conductor are arranged without a gap along the first direction in a plan view of the first main surface. device. 前記大径ブリッジ状導体及び前記小径ブリッジ状導体は、前記第1主面に平行な方向、且つ前記第1方向に直交する方向から視て、前記第1方向に沿って隙間なく配列される、請求項1から9のいずれかに記載のコイルデバイス。   The large-diameter bridge-like conductor and the small-diameter bridge-like conductor are arranged without a gap along the first direction when viewed from a direction parallel to the first main surface and a direction orthogonal to the first direction. The coil device according to any one of claims 1 to 9. 前記大径ループおよび前記小径ループは、前記第1方向に交互に順次配列され、且つ、交互に順次接続されてヘリカル状のコイルを構成する、請求項1から10のいずれかに記載のコイルデバイス。   The coil device according to any one of claims 1 to 10, wherein the large-diameter loop and the small-diameter loop are alternately arranged in the first direction and are alternately connected in order to form a helical coil. . 前記大径ループの数および前記小径ループの数は複数であり、
複数の前記大径ループは、互いに接続されてヘリカル状の大径コイルを構成し、
複数の前記小径ループは、互いに接続されてヘリカル状の小径コイルを構成し、
前記大径コイルは前記小径コイルに接続される、請求項1から10のいずれかに記載のコイルデバイス。
The number of the large diameter loops and the number of the small diameter loops are plural,
The plurality of large-diameter loops are connected to each other to form a helical large-diameter coil,
The plurality of small-diameter loops are connected to each other to form a helical small-diameter coil,
The coil device according to claim 1, wherein the large-diameter coil is connected to the small-diameter coil.
前記第1方向における前記大径コイルの前記第1端から第2端へ向かう延伸方向は、前記第1方向における前記小径コイルの第1端から第2端へ向かう延伸方向とは逆方向であり、
前記大径コイルの第2端は、前記小径コイルの第1端に接続され、
前記第1方向における大径コイルの形成領域の少なくとも一部は、前記第1方向における小径コイルの形成領域に重なる、請求項12に記載のコイルデバイス。
The extending direction from the first end to the second end of the large-diameter coil in the first direction is opposite to the extending direction from the first end to the second end of the small-diameter coil in the first direction. ,
A second end of the large diameter coil is connected to a first end of the small diameter coil;
The coil device according to claim 12, wherein at least a part of a formation area of the large-diameter coil in the first direction overlaps with a formation area of the small-diameter coil in the first direction.
請求項1から13のいずれかに記載のコイルデバイスと、
前記配線板に実装されるRFICと、
を備え、
前記コイルデバイスは、前記RFICのアンテナポートに接続される、無線ICデバイス。
A coil device according to any one of claims 1 to 13,
RFIC mounted on the wiring board;
With
The coil device is a wireless IC device connected to an antenna port of the RFIC.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPWO2017145505A1 (en) * 2016-02-25 2018-08-16 株式会社村田製作所 Wireless IC device and method of manufacturing wireless IC device
US11651186B2 (en) 2019-03-13 2023-05-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. RFID tag and RFID tagged article

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