JP2017130404A - イオン注入装置 - Google Patents
イオン注入装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017130404A JP2017130404A JP2016010555A JP2016010555A JP2017130404A JP 2017130404 A JP2017130404 A JP 2017130404A JP 2016010555 A JP2016010555 A JP 2016010555A JP 2016010555 A JP2016010555 A JP 2016010555A JP 2017130404 A JP2017130404 A JP 2017130404A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductor
- protrusion
- bushing
- ion implantation
- implantation apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 127
- 230000004323 axial length Effects 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 11
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 41
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 14
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 8
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 7
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】イオン注入装置は、真空領域18に配置されるイオン源11と、イオン源11を囲むよう配設される第1導体ハウジング本体20と、真空領域18内で第1導体ハウジング本体20から軸方向に延出する筒状導体突起22と、を備える第1導体ハウジング12と、イオン源11を保持し、筒状導体突起22から軸方向に離れて配設される第2導体ハウジング14と、第1導体ハウジング12と第2導体ハウジング14との間に配設される絶縁ブッシング16と、を備える。絶縁ブッシング16は、筒状導体突起22から径方向外側に離間して配設され真空領域18に面するブッシング内周凹凸面28を備える。筒状導体突起22からブッシング内周凹凸面28の凸部32への径方向距離d1が筒状導体突起22の軸方向延出長さL2の1/5以下である。
【選択図】図1
Description
Claims (11)
- 真空領域に配置されるイオン源と、
前記イオン源を囲むよう配設される第1導体ハウジング本体と、前記真空領域内で前記第1導体ハウジング本体から軸方向に延出する筒状導体突起と、を備える第1導体ハウジングと、
前記イオン源を保持し、前記筒状導体突起から軸方向に離れて配設される第2導体ハウジングと、
前記第1導体ハウジングを前記第2導体ハウジングから絶縁するよう前記第1導体ハウジングと前記第2導体ハウジングとの間に配設される絶縁ブッシングであって、前記筒状導体突起から径方向外側に離間して配設され前記真空領域に面するブッシング内周凹凸面を備え、前記筒状導体突起から前記ブッシング内周凹凸面の凸部への径方向距離が前記筒状導体突起の軸方向延出長さの1/5以下である絶縁ブッシングと、を備えることを特徴とするイオン注入装置。 - 前記筒状導体突起から前記ブッシング内周凹凸面の凸部への径方向距離が前記筒状導体突起の軸方向延出長さの1/50以上であることを特徴とする請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記絶縁ブッシングは、前記第1導体ハウジング本体から前記第2導体ハウジングへと軸方向に延在し、前記筒状導体突起の軸方向延出長さが前記絶縁ブッシングの軸方向長さの1/2以上であることを特徴とする請求項1または2に記載のイオン注入装置。
- 前記筒状導体突起の軸方向延出長さが前記絶縁ブッシングの軸方向長さの3/4以下であることを特徴とする請求項3に記載のイオン注入装置。
- 前記筒状導体突起と前記ブッシング内周凹凸面との間には、前記筒状導体突起の軸方向延出長さにわたって径方向隙間が形成されており、
前記ブッシング内周凹凸面は、各々が周方向に延びる多数の凹部と、各々が周方向に延びる多数の凸部と、を有し、前記多数の凹部と前記多数の凸部とは軸方向に交互に形成されており、前記多数の凸部のうち少なくとも3本の凸部が前記径方向隙間に配置されることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のイオン注入装置。 - 前記多数の凹部の各々は、周方向に垂直な断面が矩形状であることを特徴とする請求項5に記載のイオン注入装置。
- 前記多数の凹部の各々は、径方向の凹部深さが軸方向の凹部幅より大きいことを特徴とする請求項5または6に記載のイオン注入装置。
- 前記凹部深さは、前記筒状導体突起から前記ブッシング内周凹凸面の凸部への径方向距離以上であることを特徴とする請求項7に記載のイオン注入装置。
- 前記凹部幅は、3mm以上10mm以下であることを特徴とする請求項7または8に記載のイオン注入装置。
- 前記筒状導体突起から前記ブッシング内周凹凸面の凸部への径方向距離は、3mm以上5mm以下であることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載のイオン注入装置。
- 前記第2導体ハウジングに前記第1導体ハウジングに対して正の高電圧を印加するよう構成された電源部をさらに備えることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載のイオン注入装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016010555A JP6509135B2 (ja) | 2016-01-22 | 2016-01-22 | イオン注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016010555A JP6509135B2 (ja) | 2016-01-22 | 2016-01-22 | イオン注入装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017130404A true JP2017130404A (ja) | 2017-07-27 |
JP6509135B2 JP6509135B2 (ja) | 2019-05-08 |
Family
ID=59396284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016010555A Active JP6509135B2 (ja) | 2016-01-22 | 2016-01-22 | イオン注入装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6509135B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001152334A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-05 | Sony Corp | イオン注入装置 |
JP2002279929A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-27 | Applied Materials Inc | イオン注入装置の絶縁ブッシングおよびイオン注入装置 |
JP2003077415A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | イオン注入装置およびそのイオン注入装置を用いた半導体装置の製造方法 |
JP2010531529A (ja) * | 2007-06-25 | 2010-09-24 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | トリプルジャンクション破壊に起因するイオン注入装置における不安定性を防ぐ高圧絶縁装置 |
JP2014194888A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-09 | Sen Corp | イオン注入装置のための高電圧電極の絶縁構造 |
-
2016
- 2016-01-22 JP JP2016010555A patent/JP6509135B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001152334A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-05 | Sony Corp | イオン注入装置 |
JP2002279929A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-27 | Applied Materials Inc | イオン注入装置の絶縁ブッシングおよびイオン注入装置 |
JP2003077415A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | イオン注入装置およびそのイオン注入装置を用いた半導体装置の製造方法 |
JP2010531529A (ja) * | 2007-06-25 | 2010-09-24 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | トリプルジャンクション破壊に起因するイオン注入装置における不安定性を防ぐ高圧絶縁装置 |
JP2014194888A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-09 | Sen Corp | イオン注入装置のための高電圧電極の絶縁構造 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6509135B2 (ja) | 2019-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6184441B2 (ja) | イオンビームエッチング装置、およびイオンビーム発生装置 | |
JP5965345B2 (ja) | イオン注入装置のための高電圧電極の絶縁構造および高電圧絶縁方法 | |
KR102099483B1 (ko) | 절연구조 및 절연방법 | |
JP3210105U (ja) | ユニバーサルプロセスキット | |
KR20180103951A (ko) | 개선된 이온 소스 캐소드 쉴드 | |
JP6509135B2 (ja) | イオン注入装置 | |
KR102463668B1 (ko) | 절연구조 | |
WO2015141641A1 (ja) | プラズマcvd装置 | |
KR101484652B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 | |
CN111584334B (zh) | 用于离子注入装置的绝缘结构 | |
EP3683821B1 (en) | Ion source and ion implanter | |
JP2012033297A (ja) | 電子銃 | |
JP2003077415A (ja) | イオン注入装置およびそのイオン注入装置を用いた半導体装置の製造方法 | |
KR102556786B1 (ko) | 전계 방사 장치 및 전계 방사 방법 | |
JP2018018609A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2016171092A (ja) | イオン注入装置のための高電圧電極の絶縁構造および高電圧絶縁方法 | |
WO2017221832A1 (ja) | プラズマ源及びプラズマ処理装置 | |
CN112687506A (zh) | 离子源室及设备 | |
JPH11176369A (ja) | 真空装置における電気絶縁構造 | |
KR20170137986A (ko) | 아킹 제어된 이온빔 소스 | |
JP2004277785A (ja) | スパッタリング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180604 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190306 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190402 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6509135 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |