JP2017127929A - Adsorber - Google Patents
Adsorber Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017127929A JP2017127929A JP2016009007A JP2016009007A JP2017127929A JP 2017127929 A JP2017127929 A JP 2017127929A JP 2016009007 A JP2016009007 A JP 2016009007A JP 2016009007 A JP2016009007 A JP 2016009007A JP 2017127929 A JP2017127929 A JP 2017127929A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- piston
- adsorber
- pressure
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
本発明は、紙、フィルム、穴が開いた薄板(例えばPCB基板)などの対象物(被吸着物)を吸着して移動、積載する装置に使用する吸着器に関するものである。 The present invention relates to an adsorber used in an apparatus for adsorbing, moving, and stacking an object (adsorbed object) such as paper, a film, or a thin plate (for example, a PCB substrate) having holes.
従来の吸着器は、それぞれ独立したゴムパットを真空にし、対象物の表面に当て吸着していた。このタイプだと紙、穴が開いた物に対しては、吸着出来なかったり、あるいは、2枚取りしたりしていた。また穴が開いた基板(PCB基板)に対しては、吸着場所を手動で位置を変える機構が必要であった。またフィルムに対しては、吸着後、フィルム上に吸着痕が付き、製品として問題が生じた。穴が開いた基板等に対して、自栓式吸着器で、穴が有る位置の所をボールもしくは板バネで蓋をして、それ以外の所で真空吸着する方式もあるが、自栓した穴から空気を少し吸い込む為、真空度が落ちて、吸着力が弱くなる。また上記従来の吸着器では、ブロワーや真空エジェクター等の減圧手段を用いて真空を作成しているため、対象物を吸着している間は、常に減圧手段を動作させている必要があり、省エネルギー化が出来なかった。 In the conventional adsorber, each independent rubber pad is evacuated and adsorbed to the surface of the object. In this type, it was not possible to adsorb or take two sheets of paper or objects with holes. Further, for a substrate (PCB substrate) with a hole, a mechanism for manually changing the position of the suction location is required. Further, after the adsorption, the film had adsorption marks on the film, which caused a problem as a product. There is a self-plugging type adsorber for a substrate with a hole, etc., and a place where the hole is located is covered with a ball or leaf spring, and vacuum suction is used in other places. Since a little air is sucked in from the hole, the degree of vacuum drops and the adsorption power becomes weak. Further, in the above conventional adsorber, since the vacuum is created by using a decompression means such as a blower or a vacuum ejector, it is necessary to always operate the decompression means while the object is adsorbed. I could not make it.
本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、対象物が紙、薄いフィルム、穴が開いている基板等であっても、これらを確実にかつ一枚ずつ吸着し、また吸着位置を調整せずに使用でき、さらに省エネルギー運転ができる吸着器を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above points, and its purpose is to reliably adsorb these objects one by one, even if the object is paper, a thin film, a substrate with holes, etc. An object of the present invention is to provide an adsorber that can be used without adjusting the adsorbing position and can perform energy saving operation.
本発明にかかる吸着器は、独立したピストン・シリンダー方式のポンプを複数具備し、前記各シリンダーの一端側に外部に繋がる吸着用孔を形成し、前記各シリンダーの他端側に加減圧手段によって真空又は与圧を与えることで、前記ポンプのピストンを駆動して前記各吸着用孔による対象物の吸着及びリリースを行うことを特徴としている。
本発明は、紙、薄いフィルム、穴が開いた基板等の対象物を安定して、かつ一枚ずつ確実に吸着する吸着器を提供する為、吸着器の中に複数のピストン・シリンダー機構からなるポンプを有し、各シリンダーのピストンで分けられたエーリア(領域)の空気圧を変える事でピストンを動かす。これにより対象物を吸引する際は、ピストンにて分けられたシリンダーの対象物側の空間の体積を増加し、各吸着用孔から空気が吸込まれようとするのを、これを塞いでいる対象物で阻止し、この吸着用孔を塞いでいる対象物を、大気圧とピストンで体積が増加したエーリアの圧力との差圧で吸着する方式である。この方式によれば、対象物に貫通穴が有り、このため何れかのシリンダーの対象物側の空間内に大気が吸い込まれて大気圧になって吸着が行われなくても、別のポンプはそれぞれ独立している為、別の各ポンプによる対象物の吸着は前記大気圧になったことの影響を全く受けず、安定して吸着することが出来る。
真空エジェクターもしくはブロワー等の真空発生手段の先端に、独立した吸着器や自栓式吸着器を取付けた従来の吸着器の場合、吸着して対象物を保持している間、真空発生手段を動作させ続ける必要がある為、高圧空気の使用量もしくはブロワーの消費電力を減らす事が出来ない。これに対して、本発明の場合、一回毎の吸引量(体積)は、吸着器内の各シリンダー内の体積と、この吸着器を真空発生手段に接続するホース内の体積分のみ吸引するだけで吸着を保持出来る為、真空発生手段を、対象物を吸着している間中、動作させる必要がなく、この為、省エネルギー運転が出来る。
The adsorber according to the present invention comprises a plurality of independent piston / cylinder type pumps, and an adsorption hole connected to the outside is formed on one end side of each cylinder, and a pressure increasing / decreasing means is provided on the other end side of each cylinder. By applying a vacuum or a pressurized pressure, the piston of the pump is driven to suck and release the object through the suction holes.
The present invention provides an adsorber that stably and reliably adsorbs objects such as paper, thin films, and substrates with holes, one by one. The piston is moved by changing the air pressure of the area (area) divided by the piston of each cylinder. As a result, when the object is sucked, the volume of the space on the object side of the cylinder divided by the piston is increased so that air is sucked from each suction hole. In this system, an object that is blocked by an object and that closes the suction hole is adsorbed by a differential pressure between the atmospheric pressure and the pressure of the area increased in volume by the piston. According to this method, there is a through hole in the object, so even if the atmosphere is sucked into the space on the object side of one of the cylinders and becomes atmospheric pressure, no other pump is used. Since they are independent of each other, the adsorption of the object by each of the different pumps is not affected at all by the atmospheric pressure, and can be stably adsorbed.
In the case of a conventional adsorber in which an independent adsorber or a self-plugging adsorber is attached to the tip of a vacuum generating means such as a vacuum ejector or blower, the vacuum generating means is operated while the object is adsorbed and held. Because it is necessary to keep it running, the amount of high-pressure air used or the power consumption of the blower cannot be reduced. On the other hand, in the case of the present invention, the suction amount (volume) for each time sucks only the volume in each cylinder in the adsorber and the volume in the hose connecting the adsorber to the vacuum generating means. Since the suction can be held only by this, it is not necessary to operate the vacuum generating means while the object is being sucked, and therefore, an energy saving operation can be performed.
また本発明は、前記シリンダーの他端側に各シリンダーを繋げる連結空洞を形成し、前記連結空洞内に前記加減圧手段によって真空又は与圧を与えることを特徴としている。 Further, the present invention is characterized in that a connecting cavity for connecting the cylinders is formed on the other end side of the cylinder, and a vacuum or a pressurized pressure is applied to the connecting cavity by the pressurizing / depressurizing means.
また本発明は、シリンダーケースに設けた複数のシリンダー内にピストンをスライド自在に収納すると共に、各シリンダーの一端に外部に繋がる前記シリンダーよりも小径の吸着用孔を形成し、さらに前記各シリンダーの他端に各シリンダーを繋げる前記連結空洞を設けることで、前記独立したピストン・シリンダー方式のポンプを構成することを特徴としている。 Further, the present invention slidably accommodates pistons in a plurality of cylinders provided in a cylinder case, and forms an adsorption hole having a smaller diameter than the cylinder connected to the outside at one end of each cylinder. The independent piston / cylinder type pump is configured by providing the connecting cavity for connecting the cylinders to the other end.
また本発明にかかる吸着器は、ピストン・シリンダー方式のポンプを複数具備し、前記複数のピストンを一体駆動するように連結し、前記各シリンダーの一端側に外部に繋がる吸着用孔を形成し、前記各シリンダーの内の何れかのシリンダーの他端側に加減圧手段によって真空又は与圧を与えて前記何れかのポンプのピストンを駆動することで、複数のピストンを同時に駆動して、前記各吸着用孔による対象物の吸着及びリリースを行うことを特徴としている。
このように構成すれば、加減圧するシリンダーの数が減少するので、対象物を吸着する時の空気の吸引量(体積)を減らすことができ、より省エネルギー運転を行うことができる。またピストンを連結したので、対象物に貫通穴が開いていてこの対象物を吸引する場合、この貫通穴に対向(連通)するシリンダー内のピストンを大気圧が押し上げる力を、他のピストンを押し上げる力に利用できる。
Further, the adsorber according to the present invention comprises a plurality of piston-cylinder pumps, is connected so as to integrally drive the plurality of pistons, and forms an adsorption hole connected to the outside on one end side of each cylinder, A plurality of pistons are driven simultaneously by applying a vacuum or a pressurized pressure to the other end of any one of the cylinders by driving a piston of any one of the pumps. It is characterized in that the object is adsorbed and released by the adsorption holes.
If comprised in this way, since the number of the cylinders to pressurize and depressurize will decrease, the amount (volume) of air at the time of adsorb | sucking a target object can be reduced, and an energy saving operation can be performed more. Also, since the piston is connected, when a through hole is opened in the object and this object is sucked, the force that atmospheric pressure pushes up the piston in the cylinder facing (communicating with) this through hole pushes up the other piston. Available for power.
本発明によれば、対象物(紙、薄いフィルム、穴のある基板等)の種類によらず吸着を安定して実行することができる。このため、投入機、受取機、ロボットアーム等に取付けて、種類によらず、吸着位置の場所、2枚取り、吸着時の吸着痕等の調整をせず、かつ省エネルギーで運転することができる。 According to the present invention, it is possible to stably perform adsorption regardless of the type of object (paper, thin film, substrate with holes, etc.). For this reason, it can be mounted on the input device, receiver, robot arm, etc., and regardless of the type, it can be operated with energy saving, without adjusting the location of the suction position, taking two pieces, and the suction marks at the time of suction. .
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
図1は本発明の一実施形態にかかる吸着器100を示す図であり、図1(a)は平面図(但し、ワンタッチ継手5とエアーホース6の記載は省略)、図1(b)は側面断面図、図1(c)は正面断面図(但し、エアーホース6の記載は省略)である。なお図1(b)、図1(c)に記載の吸着器100は断面で示しているが、断面部分の斜線の記載は省略している(下記する図2、図3、図4に示す吸着器100においても同様である)。これらの図に示すように、吸着器100は、矩形板状の蓋(第1部材)1とシリンダーケース(第2部材)2とを一体に接合固定して構成されている。シリンダーケース2の前記蓋1に対向する側の面の反対側の面は、下記する対象物(被吸着物)14を吸着する対象物吸着面となっている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a view showing an
蓋1のシリンダーケース2に対向する側の面には、蓋1の外周より内側のエーリア(下記するシリンダーケース2に形成されている全てのシリンダーに対向する範囲)に、深さの浅い矩形状の凹部(1mm深さの座繰り)を設けている。また蓋1の中央付近の1箇所には、蓋の上下面を貫通する貫通孔が設けられ、この貫通孔にはワンタッチ継手5を介してエアーホース6が接続される構成となっている。
The surface of the
シリンダーケース2には、ピストン4が入る円柱状の穴からなるシリンダーを複数(この例では35個)形成し、その中に上下動自在にピストン4が挿入されている。ピストン4の外周にはOリングがピストン移動方向に向かって2つずつ2重に取付けられている。また前記シリンダーケース2に設けるシリンダーを構成する穴は、シリンダーケース2の上下面に貫通しており、蓋1に対向する側の面にはシリンダーの内径と同一の内径でそのまま開口し、対象物吸着面側はシリンダーの内径よりも小さい内径とした上で開口している。この内径を小さくした穴の部分を、外部に繋がる吸着用孔とする。なおこの例では、シリンダーケース2の対象物吸着面に、一体型ゴムパット3が取り付けられている。一体型ゴムパット3は一括成形された薄板矩形状であって、前記シリンダーケース2の全ての吸着用孔を覆う外形寸法に形成され、各吸着用孔に対向する位置にはそれぞれ、一体型ゴムパット3を貫通する貫通孔が形成されている。さらに各貫通孔の下側(外側)には、円錐台形状(ラッパ状)に広がる吸着部が前記一体型ゴムパット3と一体に形成されている。
The
そして、前記一体型ゴムパット3を取り付けたシリンダーケース2の各シリンダー内に、Oリングを取り付けたピストン4を挿入し、その上に蓋1を被せ、複数本(この例では16本)のボルトによって、蓋1とシリンダーケース2を一体に固定する。これによって、吸着器100が完成する。
Then, a piston 4 with an O-ring is inserted into each cylinder of the
これにより、各シリンダーとピストン4によって35組のポンプが構成される。また蓋1に設けた凹部によって、各シリンダーを繋げる連結空洞が形成される。各ピストン4は、シリンダーの上端(シリンダーケース2の上面)と、シリンダーの下端の径を小さくした段差部の間を移動できる。ピストン4には何ら貫通孔等が無いので、シリンダー内の空間はピストン4によって確実に上下に2分割される。そして前記蓋1に設けた貫通孔に、ワンタッチ継手5によってエアーホース6を接続する。
Thereby, 35 sets of pumps are constituted by each cylinder and the piston 4. Moreover, the connection cavity which connects each cylinder by the recessed part provided in the lid |
図2は、上記吸着器100を用いて構成した吸着システムの一例を示すシステム構成図である。同図に示すように、この吸着システムにおいては、複数の吸着器100のエアーホース6を、切替器(この例では電磁弁)7に接続する。切替器7はエアーホース6の他に、真空ポンプ8に接続するホースと、図示しない加圧手段に接続するホースとに接続されている。切替器7は、エアーホース6を、真空ポンプ8または加圧手段に切り換える動作を行う。真空ポンプ8は、その代りに、ブロワーや真空エジェクター等の他の真空生成装置(減圧手段)を用いても良い。要は大気圧よりも低い気圧を供給する手段であればよい。加圧手段は、大気圧P0よりも少し高い圧力P1(P1>P0)を供給する装置であり、例えばブロア、ポンプ、コンプレッサー等が用いられる。
FIG. 2 is a system configuration diagram illustrating an example of an adsorption system configured using the
図3、図4はそれぞれ、対象物14を解放したときと吸着したときの吸着器100の状態を示す状態説明図(動作説明図)である。ここでまず図3に示す状態は、切替器7を加圧手段側に切り換えることで、各シリンダーのピストン4よりも上側の空間を圧力P1とし、大気圧P0よりも高くすることで、各ピストン4をシリンダーの下端位置(シリンダーの下端の径を小さくした段差部の上面に当接する位置)まで下降させている。図3に示す斜線部分9は、圧力P1となっている部分(空間)を示している。
3 and 4 are state explanatory views (operation explanatory views) showing the state of the
そしてこの状態で、図4に示すように、吸着器100を対象物14の上に乗せ、対象物14に一体型ゴムパッド3の吸着部を当接し、次に切替器7を真空ポンプ8側に切り換えると、各シリンダーのピストン4よりも上側の空間の圧力が、大気圧より高い圧力P1から、真空ポンプ8によって大気圧より低い圧力P2(P2<P0)に変換され、これによって各ピストン4はシリンダー内を最も上の位置まで移動し、図4の状態になる。図4に示す斜線部分11は、圧力P2となっている部分(空間)を示している。この事により、ピストン4で分離されていたシリンダー内の下側の空間の体積が変動する。即ち、シリンダーの対象物14側の空間は、元々の状態(図3の状態)からその体積が100倍程度増加する事で、対象物14で塞がれたシリンダーの前記対象物14側の空間12内の圧力は圧力P3(P3<P0)まで低下する。この事により各独立したシリンダーの対象物14側の空間12内の圧力に大気圧P0との差圧(P0−P3)が生じ、対象物14が吸引される。
In this state, as shown in FIG. 4, the
このとき図4に示すように、対象物14に形成されている貫通穴15が何れかの吸着部内にあるシリンダーは、貫通穴15を通して空気を吸込む為、その内部の圧力は大気圧P0になり、対象物14を吸引しない。図4に示す斜線部分13は、圧力P0となっている部分(空間)を示している。しかし、本吸着器100においては、各シリンダーがピストン4によって分割されていて、吸込んだ空気は、吸い込んだシリンダー内のピストン4の下側の空間13内までしか入らないで止められる為、真空側(各シリンダーを繋げる連結空洞側)に流れ込む事が出来ない。よって、真空ポンプ8が対象物14を吸着する時の吸引量(図2に斜線で示す体積16)は常に一定となる。この事により、例えば容量60L/min程度の小型の真空ポンプ8を用いて本発明の吸着器100を複数個連結しても省エネルギーで運転が出来る。
At this time, as shown in FIG. 4, the cylinder in which the through hole 15 formed in the
一方、対象物14を解放する場合は、前記切替器7を加圧手段側に切り換える。これによって、各シリンダーのピストン4よりも上側の空間が圧力P1となり、大気圧P0よりも高くなるので、図3に示すように、各ピストン4はシリンダーの下端位置まで下降する。これによって各シリンダーの下側の空間の圧力は、大気圧P0又はそれよりも少し高くなり、対象物14は解放される。
On the other hand, when releasing the
本発明の他の実施形態として、シリンダー内の各ピストンを連結して一体に駆動するように構成し、何れか1又は複数のシリンダーに対して加圧/減圧を行うことで、動作させるように構成しても良い。このように構成した場合、加圧/減圧を印加するシリンダーやピストンの径を大きめの径にしても良い。これによって、前記図2に示す体積16は減らせる事になり、より省エネルギー運転を行うことが可能となる。またピストンを連結する事で、対象物に貫通穴が開いていた場合、この貫通穴に対応(連通)するピストンを大気圧が下から押し上げる力が他のピストンを押し上げる力にもなる為、ピストン全体の動きを助ける事となる。 As another embodiment of the present invention, the pistons in the cylinder are connected to be integrally driven and operated by pressurizing / depressurizing any one or a plurality of cylinders. It may be configured. When configured in this way, the diameter of the cylinder or piston to which pressure / decompression is applied may be made larger. Accordingly, the volume 16 shown in FIG. 2 can be reduced, and more energy saving operation can be performed. In addition, when a through hole is opened in the object by connecting the piston, the force that pushes up the piston that corresponds (communication) to this through hole from the bottom also becomes the force that pushes up the other piston. It will help the whole movement.
以上本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお直接明細書及び図面に記載がない何れの形状や構造や材質であっても、本願発明の作用・効果を奏する以上、本願発明の技術的思想の範囲内である。例えば、Oリングは1又は3個以上取付けても良い。また上記例では各々の吸着用孔に一括成形したゴムパットを取り付けた例を示したが、各々の吸着用孔にそれぞれ独立したゴムパットを取り付けてもよい。また場合によっては、Oリングやゴムパッドは省略しても良い。また、ピストンの材料として、金属(AL、SUS)より軽量化の出来る樹脂系を用いて軽量化を図るほうが良い。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the technical idea described in the claims and the specification and drawings. Is possible. Note that any shape, structure, or material not directly described in the specification and drawings is within the scope of the technical idea of the present invention as long as the effects and advantages of the present invention are exhibited. For example, one or more O-rings may be attached. Moreover, although the example which attached the rubber pad integrally molded to each suction hole was shown in the said example, you may attach an independent rubber pad to each suction hole. In some cases, the O-ring and the rubber pad may be omitted. Moreover, it is better to reduce the weight by using a resin system that can be made lighter than metal (AL, SUS) as a material of the piston.
また、上記記載及び各図で示した実施形態は、その目的及び構成等に矛盾がない限り、互いの記載内容を組み合わせることが可能である。また、上記記載及び各図の記載内容は、その一部であっても、それぞれ独立した実施形態になり得るものであり、本発明の実施形態は上記記載及び各図を組み合わせた一つの実施形態に限定されるものではない。 Moreover, as long as there is no contradiction in the objective, a structure, etc., the embodiment shown by the said description and each figure can combine the description content of each other. In addition, the above description and the description of each drawing can be an independent embodiment even if it is a part of it, and the embodiment of the present invention is an embodiment in which the above description and each drawing are combined. It is not limited to.
1 蓋(第1部材)
2 シリンダーケース(第2部材)
3 一体型ゴムパット
4 ピストン
5 ワンタッチ継手
6 エアーホース
7 切替器
8 真空ポンプ
9 圧力P1となっている空間
11 圧力P2となっている空間
12 圧力P3となっている空間
13 圧力P0となっている空間
14 対象物(被吸着物)
15 貫通穴
16 体積(真空ポンプ8が対象物14を吸着する時の吸引量)
100 吸着器
1 Lid (first member)
2 Cylinder case (second member)
DESCRIPTION OF
15 Through hole 16 Volume (amount of suction when the vacuum pump 8 sucks the object 14)
100 Adsorber
Claims (4)
前記各シリンダーの一端側に外部に繋がる吸着用孔を形成し、
前記各シリンダーの他端側に加減圧手段によって真空又は与圧を与えることで、前記ポンプのピストンを駆動して前記各吸着用孔による対象物の吸着及びリリースを行うことを特徴とする吸着器。 Multiple independent piston / cylinder pumps
A suction hole connected to the outside is formed on one end side of each cylinder,
An adsorber characterized in that the piston of the pump is driven and the object is adsorbed and released by the adsorption holes by applying a vacuum or a pressurized pressure to the other end side of each cylinder by a pressure-increasing / decreasing means. .
前記シリンダーの他端側に各シリンダーを繋げる連結空洞を形成し、
前記連結空洞内に前記加減圧手段によって真空又は与圧を与えることを特徴とする吸着器。 The adsorber according to claim 1, wherein
Forming a connecting cavity for connecting each cylinder to the other end of the cylinder;
An adsorber characterized in that a vacuum or a pressurized pressure is applied to the connecting cavities by the pressurizing and depressurizing means.
シリンダーケースに設けた複数のシリンダー内にピストンをスライド自在に収納すると共に、各シリンダーの一端に外部に繋がる前記シリンダーよりも小径の前記吸着用孔を形成し、一方前記各シリンダーの他端に各シリンダーを繋げる前記連結空洞を設けることで、前記独立したピストン・シリンダー方式のポンプを複数構成することを特徴とする吸着器。 The adsorber according to claim 2, wherein
The piston is slidably accommodated in a plurality of cylinders provided in the cylinder case, and the suction hole having a smaller diameter than the cylinder connected to the outside is formed at one end of each cylinder. An adsorber comprising a plurality of independent piston / cylinder pumps by providing the connecting cavity for connecting cylinders.
前記複数のピストンを一体駆動するように連結し、
前記各シリンダーの一端側に外部に繋がる吸着用孔を形成し、
前記各シリンダーの内の何れかのシリンダーの他端側に加減圧手段によって真空又は与圧を与えて前記何れかのポンプのピストンを駆動することで、複数のピストンを同時に駆動して、前記各吸着用孔による対象物の吸着及びリリースを行うことを特徴とする吸着器。 Equipped with multiple piston / cylinder pumps,
Connecting the plurality of pistons so as to integrally drive,
A suction hole connected to the outside is formed on one end side of each cylinder,
A plurality of pistons are driven simultaneously by applying a vacuum or a pressurized pressure to the other end of any one of the cylinders by driving a piston of any one of the pumps. An adsorber for adsorbing and releasing an object through an adsorption hole.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016009007A JP2017127929A (en) | 2016-01-20 | 2016-01-20 | Adsorber |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016009007A JP2017127929A (en) | 2016-01-20 | 2016-01-20 | Adsorber |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017127929A true JP2017127929A (en) | 2017-07-27 |
Family
ID=59396411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016009007A Pending JP2017127929A (en) | 2016-01-20 | 2016-01-20 | Adsorber |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017127929A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108995200A (en) * | 2018-08-28 | 2018-12-14 | 莱芜钢铁集团有限公司 | Gas extraction formula film laying apparatus and method |
US11383337B2 (en) | 2018-01-05 | 2022-07-12 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Workpiece support system and workpiece support method |
-
2016
- 2016-01-20 JP JP2016009007A patent/JP2017127929A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11383337B2 (en) | 2018-01-05 | 2022-07-12 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Workpiece support system and workpiece support method |
CN108995200A (en) * | 2018-08-28 | 2018-12-14 | 莱芜钢铁集团有限公司 | Gas extraction formula film laying apparatus and method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10328681B2 (en) | Vacuum laminating device | |
JP4582484B2 (en) | Vacuum adsorption device | |
CN105526235A (en) | Suction cup mechanism and taking and placing device comprising same | |
JP2001282126A5 (en) | ||
WO2017181742A1 (en) | Pre-bonding head and operation method thereof | |
JP2017127929A (en) | Adsorber | |
EP2946890A1 (en) | Reduced pressure adhesion device | |
CN101559602A (en) | Adsorption device | |
JP2005138276A (en) | Suction supporting device | |
TW201431669A (en) | Vacuum lamination mechanism | |
WO2018135229A1 (en) | Wall surface suction-type travel device | |
JP2015005742A (en) | Peeling device | |
JP5996566B2 (en) | Work chuck device, work laminating machine, and work laminating method | |
JP6398301B2 (en) | Adsorption / detachment device | |
JP2000185890A (en) | Attracting device | |
JP2009083017A (en) | Workpiece adsorbing and holding device | |
JP2015066666A (en) | Suction cylinder device | |
TW200624243A (en) | Portable bonding device and bonding method | |
TWI629125B (en) | Object suction mechanism | |
JP4217190B2 (en) | Adsorption device | |
CN107601097B (en) | Suction nozzle device | |
JP2003094368A (en) | Vacuum suction hand | |
JP2012055977A (en) | Apparatus and method for support of workpiece | |
JP2004114220A (en) | Article adsorbing device | |
JPS6110939Y2 (en) |