JP2005138276A

JP2005138276A - Suction supporting device

Info

Publication number: JP2005138276A
Application number: JP2004300992A
Authority: JP
Inventors: Keiichiro Suzuki; 啓一郎鈴木; Takashi Yamazaki; 隆史山崎
Original assignee: Nissan Motor Co Ltd
Current assignee: Nissan Motor Co Ltd
Priority date: 2003-10-15
Filing date: 2004-10-15
Publication date: 2005-06-02

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a suction supporting device for exhibiting a workpiece fall preventing function equivalent to the conventional art if negative pressure should be cut off although the device has a compact structure. <P>SOLUTION: A magnet 13 integrated with a piston 11 is arranged in a housing 8 of a pad unit 6 having a suction pad 7 mounted to its tip. While the negative pressure is applied to a negative pressure chamber 12, the negative pressure is applied to the inside of the suction pad 7 to suck and support a workpiece W. If negative pressure is cut off, the magnet 13 is instantly dropped from a backup position P by a coil spring 14 in the negative pressure chamber 12 to suck and support the workpiece W instead of the negative pressure. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、負圧吸引力を利用した吸着パッド（バキュームパッドやバキュームカップもしくは吸着カップとも称される）を主要素として構成された吸着支持装置に関し、特にパネル状のワークの搬送および保持に際して、万が一負圧吸引力が低下した場合のワークの脱落もしくは落下を未然に防止できるようにしたいわゆる落下防止機構付きの吸着支持装置に関するものである。 The present invention relates to a suction support device composed mainly of a suction pad (also referred to as a vacuum pad, a vacuum cup or a suction cup) utilizing negative pressure suction force, and in particular, when transporting and holding a panel-shaped workpiece. The present invention relates to a suction support device with a so-called drop prevention mechanism that can prevent the workpiece from dropping or dropping when the negative pressure suction force is reduced.

この種の落下防止機構付きの吸着支持装置として例えば特許文献１に記載のものが提案されている。この従来の技術では、例えば板状のワークの上面側を負圧が導入されることになる複数の吸着パッドにて吸着支持して搬送する場合に、不慮の故障等により負圧吸引力またはその負圧発生のための圧縮空気の供給が断たれるとワークはそのまま落下してしまうことから、吸着パッドによるワークの正規吸着支持状態においてそのワークと干渉することがないように、ワークの下側に臨む受け部材を吸着パッドとは別に設けている。そして、受け部材が定位置固定式のものであると搬送後のワークの解放動作もしくは移載動作に支障をきたすことから、ワークの解放動作もしくは移載動作に先立って受け部材をその都度退避動作させるようにしている。 As this type of suction support device with a fall prevention mechanism, for example, a device described in Patent Document 1 has been proposed. In this conventional technique, for example, when the upper surface side of a plate-shaped workpiece is sucked and supported by a plurality of suction pads to which negative pressure is introduced, the negative pressure suction force or its If the supply of compressed air for generating negative pressure is cut off, the workpiece will drop as it is, so that it will not interfere with the workpiece in the normal suction support state of the workpiece by the suction pad. The receiving member that faces is provided separately from the suction pad. And, if the receiving member is of a fixed position type, it will interfere with the release operation or transfer operation of the workpiece after conveyance. Therefore, before the release operation or transfer operation of the workpiece, the receiving member is retracted each time. I try to let them.

なお、上記の特許文献１以外にも、同等の落下防止機構付き吸着支持装置が例えば特開平９−１２９７１０号公報および特開平８−１５６９号公報等に記載されている。
特開２００１−１５６１５１号公報（図１） In addition to the above-mentioned Patent Document 1, equivalent suction support devices with a fall prevention mechanism are described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 9-129710 and 8-1569.
Japanese Patent Laying-Open No. 2001-156151 (FIG. 1)

しかしながら、上記のような従来の吸着支持装置を例えば自動車の車体パネル等のハンドリングを司るロボットハンドに適用した場合、複数の吸着パッド以外に先に述べた受け部材やその受け部材を移動させるためのアクチュエータ等を付帯させる必要があるため、必然的にハンドの重量や占有スペースが大きくなって好ましくない。 However, when the conventional suction support device as described above is applied to, for example, a robot hand for handling a vehicle body panel or the like, the above-described receiving member other than the plurality of suction pads and the receiving member are moved. Since it is necessary to attach an actuator or the like, the weight and occupied space of the hand are inevitably increased, which is not preferable.

また、特に自動車の車体パネル等のハンドリングを司るロボットハンドにおいては、多車種の車体パネルのハンドリングに対応するためにハンドに予め多数の吸着パッドを付帯させておく一方で、ハンドリングすべきパネルのサイズや形状に応じて特定の吸着パッドを選択使用することが行われるが、同時に落下防止のための受け部材についてもパネルのサイズや形状に応じてその都度移動させて位置を切り換える必要がある。その結果、受け部材の位置変更のための駆動機構や位置決め機構までも付帯させなければならず、ハンドの重量増加や占有スペースの大型化が一段と顕著となる。 In particular, in the case of a robot hand that handles the handling of automobile body panels and the like, a large number of suction pads are attached to the hand in advance in order to handle the handling of a variety of vehicle body panels, while the size of the panel to be handled. Depending on the shape and shape, a specific suction pad is selectively used. At the same time, the receiving member for preventing the drop needs to be moved and switched depending on the size and shape of the panel. As a result, a drive mechanism and a positioning mechanism for changing the position of the receiving member must also be attached, and the increase in the weight of the hand and the increase in the occupied space become more remarkable.

本発明はこのような課題に着目してなされたものであり、とりわけコンパクトな構造でありながらも従来と同等の落下防止機能を備えた吸着支持装置を提供しようとするものである。 The present invention has been made paying attention to such a problem, and an object of the present invention is to provide a suction support device having a fall prevention function equivalent to that of the conventional one while having a compact structure.

請求項１に記載の発明は、吸着パッドを吸着支持対象となる磁性体製のワークに押し付けながらその吸着パッド内に負圧を発生させて、その負圧吸引力をもってワークを吸着支持するようにした吸着支持装置として、吸着パッドがワークを吸着支持している状態ではそのワークから所定距離離れたバックアップ位置に保持されている一方で、吸着パッドによるワークの吸着支持状態においてその負圧吸引力が予期せずに低下したときには直ちに負圧吸引力に代わってワークを吸着支持するマグネットを吸着パッドの内部に設けたことを特徴とする。 According to the first aspect of the present invention, a negative pressure is generated in the suction pad while pressing the suction pad against a workpiece made of a magnetic material to be sucked and supported, and the workpiece is sucked and supported by the negative pressure suction force. As the suction support device, while the suction pad is supporting the workpiece, the negative pressure suction force is maintained at the backup position at a predetermined distance from the workpiece while the suction pad is supporting the workpiece. A magnet for attracting and supporting the workpiece immediately in place of the negative pressure suction force when it is unexpectedly lowered is provided inside the attraction pad.

ここで、吸着パッドによるワークの吸着支持状態においてその負圧吸引力が予期せずに低下したときとは、ワークの吸着支持状態を維持しようとしているにもかかわらず不意にその負圧吸引力またはその負圧発生のための圧縮空気の供給が断たれるかもしくは低下した場合であって、一旦吸着支持したワークを積極的に解放動作させるにあたって負圧吸引を断つ場合を含まない。なお、上記の負圧吸引力の低下は、ワークの吸着支持状態において吸着パッドそのもののシール不良あるいは負圧供給系のシール不良等を原因として発生する可能性がある。 Here, when the negative pressure suction force is unexpectedly reduced in the workpiece suction support state by the suction pad, the negative pressure suction force or This does not include the case where the supply of compressed air for generating the negative pressure is cut off or lowered, and the negative pressure suction is cut off when the workpiece once supported by suction is actively released. The decrease in the negative pressure suction force may occur due to a sealing failure of the suction pad itself or a sealing failure of the negative pressure supply system in a workpiece suction support state.

すなわち、請求項１に記載の発明によれば、従来の落下防止用の受け部材に代わり、それと同等のバックアップ部材としてマグネットを備えていることになる。 That is, according to the first aspect of the present invention, the magnet is provided as a backup member equivalent to the conventional fall-preventing receiving member.

この場合、請求項２に記載のように、上記マグネットはワークに対し単独で接近離間可能であって、吸着パッドによるワークの吸着支持状態においてその負圧吸引力が予期せずに低下したときに負圧吸引力に代わって磁力にてワークを吸着可能な位置までマグネットを移動させる弾性体等の手段を備えていることが望ましい。 In this case, as described in claim 2, when the magnet can be approached and separated independently from the work, and the negative pressure suction force is unexpectedly reduced in the work support state of the work by the suction pad. It is desirable to provide means such as an elastic body that moves the magnet to a position where the work can be attracted by magnetic force instead of the negative pressure attractive force.

したがって、この請求項１に記載の発明では、吸着パッドがワークを正規に吸着支持している状態では、そのワークから所定距離離れたバックアップ位置にマグネットが保持されていて、マグネットは吸着パッドによる正規吸着支持状態に何ら支障をきたすことはない。その一方、吸着パッドによる正規吸着支持状態においてその負圧吸引力が予期せずに低下したときには、ワークは自重により落下しようとするも、直ちに負圧吸引力に代わってマグネットがワークを吸着支持することで従前と同様の位置にワークを保持することが可能となる。 Therefore, according to the first aspect of the present invention, in a state where the suction pad normally holds and supports the work, the magnet is held at a backup position that is a predetermined distance away from the work. There is no problem with the adsorption support state. On the other hand, when the negative pressure suction force falls unexpectedly in the normal suction support state with the suction pad, the work will try to drop due to its own weight, but the magnet will immediately support the work instead of the negative pressure suction force. This makes it possible to hold the workpiece at the same position as before.

請求項１に記載の発明によれば、吸着パッドの内部に設けたマグネットが従来の落下防止機構と同等のはたらきをすることになるので、吸着パッドとは別に受け部材やその受け部材の位置の切り換えのための機構および位置決め機構等を付帯させる必要がなくなる。その結果、当該吸着支持装置を例えばロボットハンド等に適用した場合にその重量や占有スペースを大幅に小さくすることが可能となる。 According to the first aspect of the present invention, the magnet provided in the inside of the suction pad functions in the same manner as the conventional fall prevention mechanism, so that the receiving member and the position of the receiving member are separated from the suction pad. There is no need to attach a switching mechanism and a positioning mechanism. As a result, when the suction support device is applied to, for example, a robot hand, the weight and occupied space can be significantly reduced.

図１〜５は本発明に係る吸着支持装置の好ましい第１の実施の形態を示しており、自動車の車体パネルに代表されるようなパネル状のワークＷを吸着支持して搬送するロボットハンド（以下、単にハンドという）３に適用した場合の例を示している。 FIGS. 1 to 5 show a first preferred embodiment of a suction support device according to the present invention. A robot hand for sucking and supporting a panel-like work W as represented by a vehicle body panel of an automobile. In the following, an example of application to 3) will be described.

図１に示すように、ハンドリングロボットにおけるアーム１の先端のリスト部２にはハンド３が装着されている。このハンド３は、平面視にて例えば矩形状をなすハンドフレーム４を母体としてそのハンドフレーム４の下面にポスト５を介して複数のパッドユニット６を装着したもので、各パッドユニット６は下面に吸着パッド７を備えている。そして、ハンドリングロボットの自律動作により各パッドユニット６，６…をパネル状のワークＷに押し付けながら各吸着パッド７，７…に負圧を導入することにより、その吸着パッド７，７…で発生する負圧吸引力をもってワークＷが吸着支持されることになる。 As shown in FIG. 1, a hand 3 is attached to the wrist 2 of the tip of the arm 1 in the handling robot. This hand 3 has a hand frame 4 having a rectangular shape in plan view, for example, and a plurality of pad units 6 mounted on the lower surface of the hand frame 4 via posts 5 on the lower surface. A suction pad 7 is provided. Then, by introducing a negative pressure to each of the suction pads 7, 7... While pressing the pad units 6, 6... Against the panel-shaped workpiece W by the autonomous operation of the handling robot, the suction pads 7, 7. The workpiece W is sucked and supported with a negative pressure suction force.

なお、ハンド３側に吸着支持されたワークＷは、ハンドリングロボットの自律動作により所定位置まで搬送され、その搬送先の位置にて各吸着パッド７，７…への負圧導入に代えて大気開放または圧縮空気を導入することにより各吸着パッド７，７…がワークＷを解放することになる。 The workpiece W supported by suction on the hand 3 side is transported to a predetermined position by the autonomous operation of the handling robot, and is released into the atmosphere instead of introducing negative pressure to each suction pad 7, 7. Or each suction pad 7,7 ... will release the workpiece | work W by introduce | transducing compressed air.

図２は上記各パッドユニット６，６…の詳細として負圧が導入されていない自由状態での断面図を示している。同図に示すように有底円筒状をなすハウジング８は隔壁９を有しており、その隔壁９と底壁部８ａを貫通するようにしてハウジング８の中心にはガイドロッド１０が装着されている。また、ハウジング８の先端部にはゴム等の可撓性部材からなるカップ状の吸着パッド７が装着されており、この吸着パッド７はその内下面に実際のワークＷの吸着を司るワーク吸着面７ａを有している。ハウジング８内のうち底壁部８ａと隔壁９とで挟まれた空間には中心部に穴のあいたピストン１１が摺動可能に収容されており、これによって負圧室１２が形成されている。 FIG. 2 shows a cross-sectional view of the pad units 6, 6... In a free state where no negative pressure is introduced. As shown in the figure, the bottomed cylindrical housing 8 has a partition wall 9. A guide rod 10 is attached to the center of the housing 8 so as to penetrate the partition wall 9 and the bottom wall portion 8a. Yes. A cup-shaped suction pad 7 made of a flexible member such as rubber is attached to the front end of the housing 8, and the suction pad 7 has a work suction surface for sucking the actual work W on its inner and lower surfaces. 7a. A piston 11 with a hole in the center is slidably accommodated in a space sandwiched between the bottom wall 8a and the partition wall 9 in the housing 8, thereby forming a negative pressure chamber 12.

また、ハウジング８のうち隔壁９よりも下側の空間には中心部に穴のあいた円筒状のマグネット（永久磁石）１３が摺動可能に収容配置されていて、このマグネット１３はピストン１１に一体に固定されているとともに、上記負圧室１２にはマグネット１３をピストン１２とともに常時下方に付勢する弾性体として圧縮コイルばね１４が収容されている。したがって、マグネット１３は圧縮コイルばね１４にて常時下方に付勢されてはいても、ピストン１１とともにガイドロッド１０に案内されるかたちで上下方向に摺動可能となっている。 A cylindrical magnet (permanent magnet) 13 having a hole in the center is slidably accommodated in the space below the partition wall 9 in the housing 8, and the magnet 13 is integrated with the piston 11. A compression coil spring 14 is housed in the negative pressure chamber 12 as an elastic body that constantly biases the magnet 13 downward together with the piston 12. Therefore, even if the magnet 13 is always urged downward by the compression coil spring 14, it can slide in the vertical direction while being guided by the guide rod 10 together with the piston 11.

ここで、ハウジング８には負圧導入ポート１５と圧縮空気導入ポート１６が設定されており、負圧導入ポート１５につながる通路１７は負圧室１２に開口している一方、圧縮空気導入ポート１６につながる通路１８はピストン１１で仕切られた負圧室１２とは反対側の室１９に開口している。そして、負圧導入ポート１５には後述する負圧発生手段としての負圧発生回路２３から負圧が導入されるとともに、圧縮空気導入ポート１６には負圧ではなく圧縮空気が導入されるようになっている。 Here, a negative pressure introduction port 15 and a compressed air introduction port 16 are set in the housing 8, and a passage 17 connected to the negative pressure introduction port 15 opens into the negative pressure chamber 12, while the compressed air introduction port 16 The passage 18 connected to is opened in a chamber 19 on the side opposite to the negative pressure chamber 12 partitioned by the piston 11. A negative pressure is introduced into the negative pressure introduction port 15 from a negative pressure generation circuit 23 as a negative pressure generation means described later, and compressed air is introduced into the compressed air introduction port 16 instead of a negative pressure. It has become.

また、ピストン１１およびガイドロッド１０にもそれぞれ負圧通路２０または２１が形成されていて、ピストン１１側の負圧通路２０の一端は負圧室１２に、他端はピストン１１の内周面にそれぞれ開口している。他方、ガイドロッド１０に形成された負圧通路２１の一端はガイドロッド１０の外周面に開口しているとともに、他端はそのガイドロッド１０の先端面ひいては吸着パッド７のワーク吸着面７ａ側に吸入口２２として開口している。したがって、図２の状態ではピストン１１側の負圧通路２０とガイドロッド１０側の負圧通路２１とが非連通ではあっても、後述するようにピストン１１がマグネット１３とともに上下方向に所定量だけ変位することで双方の負圧通路２０，２１同士が連通し、もって吸着パッド７のワーク吸着面７ａ側にまで負圧を導入することが可能となっている。 Also, the piston 11 and the guide rod 10 are respectively formed with a negative pressure passage 20 or 21, and one end of the negative pressure passage 20 on the piston 11 side is in the negative pressure chamber 12 and the other end is in the inner peripheral surface of the piston 11. Each is open. On the other hand, one end of the negative pressure passage 21 formed in the guide rod 10 is open to the outer peripheral surface of the guide rod 10, and the other end is on the tip end surface of the guide rod 10 and thus on the work suction surface 7 a side of the suction pad 7. The inlet 22 is opened. Therefore, even if the negative pressure passage 20 on the piston 11 side and the negative pressure passage 21 on the guide rod 10 side are not in communication in the state of FIG. By displacing, both the negative pressure passages 20 and 21 communicate with each other, so that the negative pressure can be introduced to the work suction surface 7 a side of the suction pad 7.

図３は、上記負圧発生手段としての負圧（真空）発生回路２３を含む負圧および圧縮空気供給系の回路を示している。なお、図３では便宜上二つのパッドユニット６，６のみ図示してそれ以外のパッドユニット６，６…を図示省略してあるが、図示したもの以外のパッドユニット６，６…についても共通の空気圧力源２４に対して各パッドユニット６，６…が並列関係となるように接続される。 FIG. 3 shows a circuit of a negative pressure and compressed air supply system including a negative pressure (vacuum) generating circuit 23 as the negative pressure generating means. 3, only two pad units 6, 6 are shown for convenience, and the other pad units 6, 6,... Are not shown, but common air is also used for pad units 6, 6. The pad units 6, 6... Are connected to the pressure source 24 in a parallel relationship.

図３に示すように、単一のハンド３に装着された複数のパッドユニット６，６…について各パッドユニット６ごとに独立した負圧発生回路２３が設けられていて、その負圧発生回路２３で発生した負圧を供給するための負圧通路２５が各パッドユニット６側の負圧導入ポート１５（図２参照）に接続されている。なお、その負圧通路２５にはエアフィルタ２６が介装されている。また、各負圧発生回路２３には電磁弁２７を介して空気圧力源２４から圧縮空気が導入されるようになっているとともに、同じくパッドユニット６の圧縮空気導入ポート１６（図２参照）にも電磁弁２８を介して圧縮空気が導入されるようになっている。 As shown in FIG. 3, a plurality of pad units 6, 6... Mounted on a single hand 3 are provided with an independent negative pressure generating circuit 23 for each pad unit 6, and the negative pressure generating circuit 23 is provided. The negative pressure passage 25 for supplying the negative pressure generated in the above is connected to the negative pressure introduction port 15 (see FIG. 2) on each pad unit 6 side. An air filter 26 is interposed in the negative pressure passage 25. In addition, compressed air is introduced into each negative pressure generation circuit 23 from an air pressure source 24 through an electromagnetic valve 27, and also into the compressed air introduction port 16 (see FIG. 2) of the pad unit 6. Also, compressed air is introduced through the electromagnetic valve 28.

負圧発生回路２３は、図３に示すように電磁弁２９のほかベンチュリノズル方式のエジェクタ３０、負圧破壊バルブ３１、真空スイッチ３２およびサイレンサ（消音器）３３等から構成されている。エジェクタ３０は、電磁弁２７および２９の切換動作により空気圧力源２４からの圧縮空気が導入されるとベンチュリ効果により負圧を発生し、その負圧がエアフィルタ２６を介してパッドユニット６側の負圧室１２に導入されることになる。なお、負圧破壊バルブ３１は、電磁弁２９の切換動作によりエジェクタ３０側への圧縮空気の導入ひいてはそのエジェクタ３０での負圧発生を断った場合に、それと同時に負圧通路２５側に所定時間だけ圧縮空気を吹き込んで吸着パッド７からのワークＷの離脱を容易にする役目をする。 As shown in FIG. 3, the negative pressure generating circuit 23 includes a venturi nozzle type ejector 30, a negative pressure breaking valve 31, a vacuum switch 32, a silencer (silencer) 33 and the like in addition to the electromagnetic valve 29. When the compressed air from the air pressure source 24 is introduced by the switching operation of the electromagnetic valves 27 and 29, the ejector 30 generates a negative pressure due to the venturi effect, and the negative pressure is passed through the air filter 26 to the pad unit 6 side. It will be introduced into the negative pressure chamber 12. The negative pressure breaking valve 31 is provided for a predetermined period of time in the negative pressure passage 25 side at the same time when the introduction of compressed air to the ejector 30 side by the switching operation of the electromagnetic valve 29 and the generation of negative pressure in the ejector 30 is cut off. Only the compressed air is blown to serve to facilitate the removal of the workpiece W from the suction pad 7.

なお、ピストン１１の内外周面はＯリングにてシールされている。 The inner and outer peripheral surfaces of the piston 11 are sealed with an O-ring.

次に、このように構成されたハンド３によるワークＷの吸着支持から解放動作までの一連の動作を、図４，５のほか図６のフローチャートおよび図７のタイムチャートを参照しながら説明する。 Next, a series of operations from the suction support and release operation of the workpiece W by the hand 3 configured as described above will be described with reference to the flowchart of FIG. 6 and the time chart of FIG. 7 in addition to FIGS.

最初に、複数のパッドユニット６，６…を備えたハンド３を搬送対象（吸着支持対象）となるワークＷに対しアプローチ動作（接近動作）させるのに先立って図３に示す電磁弁２８を切り換えて、パッドユニット６，６…の圧縮空気導入ポート１６からハウジング８内の室１９に圧縮空気を導入する（図６のステップＳ１）。室１９に圧縮空気が導入されると、図４に示すようにマグネット１３がピストン１１とともに圧縮コイルばね１４を圧縮させながら上昇して、同図に示すバックアップ位置Ｐに保持される。このようにマグネット１３をバックアップ位置Ｐに保持することにより、ピストン１１側の負圧通路２０とガイドロッド１０側の負圧通路２１とが初めて連通することになる。 First, the electromagnetic valve 28 shown in FIG. 3 is switched before the hand 3 having a plurality of pad units 6, 6... Is approached (approached) to the workpiece W to be conveyed (adsorption support target). Then, compressed air is introduced into the chamber 19 in the housing 8 from the compressed air introduction port 16 of the pad units 6, 6... (Step S1 in FIG. 6). When compressed air is introduced into the chamber 19, the magnet 13 rises while compressing the compression coil spring 14 together with the piston 11 as shown in FIG. 4 and is held at the backup position P shown in FIG. By holding the magnet 13 at the backup position P in this way, the negative pressure passage 20 on the piston 11 side and the negative pressure passage 21 on the guide rod 10 side are in communication for the first time.

次いで、同図に示すようにハンド３を吸着支持すべきワークＷにアプローチ動作させて、各パッドユニット６，６…の吸着パッド７をワークＷに押し付けながら（ステップＳ２）、それと相前後して各真空発生回路２３の上流側の電磁弁２７（図３参照）を切り換えて、真空発生回路２３のエジェクタ３０に圧縮空気を導入して負圧を発生させる。エジェクタ３０で発生した負圧は負圧通路２５を通して直ちにパッドユニット６，６…の負圧室１２に導入され、同時にその負圧は負圧通路２０，２１を通して、吸着パッド７のワーク吸着面７ａとワークＷとの間の空間にも及ぶことになる。これにより、ワークＷは各パッドユニット６，６…の吸着パッド７にて吸着支持されることになる（ステップＳ３）。 Next, as shown in the figure, the hand 3 approaches the work W to be sucked and supported, and the suction pads 7 of the pad units 6, 6... Are pressed against the work W (step S2). The solenoid valve 27 (see FIG. 3) on the upstream side of each vacuum generation circuit 23 is switched, and compressed air is introduced into the ejector 30 of the vacuum generation circuit 23 to generate a negative pressure. The negative pressure generated in the ejector 30 is immediately introduced into the negative pressure chamber 12 of the pad units 6, 6... Through the negative pressure passage 25, and at the same time, the negative pressure passes through the negative pressure passages 20, 21 to the work suction surface 7 a of the suction pad 7. And the space between the workpiece W. As a result, the workpiece W is sucked and supported by the suction pads 7 of the pad units 6, 6... (Step S3).

この時、上記のように予めマグネット１３をバックアップ位置Ｐまで上昇動作させてあることによって、図４に示すように吸着パッド７がワークＷを吸着支持したとしてもマグネット１３がワークＷに接触することもなければワークＷを吸着してしまうことがない。つまり、吸着パッド７がワークＷを吸着支持した時点でマグネット１３までもがワークＷを吸着してしまうことがないように予めマグネット１３をバックアップ位置Ｐまで上昇動作させてあることによって、例えばマグネット１３に付着している鉄粉等にてワークＷに傷を付けてしまうのを未然に防止することができる。 At this time, since the magnet 13 is moved up to the backup position P in advance as described above, the magnet 13 contacts the workpiece W even if the suction pad 7 attracts and supports the workpiece W as shown in FIG. Otherwise, the workpiece W is not attracted. That is, when the suction pad 7 sucks and supports the workpiece W, the magnet 13 is moved up to the backup position P in advance so that the magnet 13 does not suck the workpiece W. For example, the magnet 13 It is possible to prevent the workpiece W from being damaged by iron powder or the like adhering to the surface.

こうして、複数の吸着パッド７，７…にてワークＷが吸着支持されたならば図３の電磁弁２８を切り換えて、各パッドユニット６，６…の室１９への圧縮空気の導入を断つ（ステップＳ４）。室１９への圧縮空気の導入を断ったとしても、それと反対側の負圧室１２が負圧となっているが故にマグネット１３の位置が変動することはなく、マグネット１３はピストン１１とともになおも従前のバックアップ位置Ｐに保持される。 In this way, if the workpiece W is sucked and supported by the plurality of suction pads 7, 7,..., The electromagnetic valve 28 in FIG. Step S4). Even if the introduction of the compressed air into the chamber 19 is refused, the negative pressure chamber 12 on the opposite side has a negative pressure, so the position of the magnet 13 does not change, and the magnet 13 still remains together with the piston 11. It is held at the previous backup position P.

この後、ハンド３側に吸着支持されているワークＷは、ハンドリングロボットの自律動作により所定位置への搬送される（ステップＳ５）。なお、エジェクタ３０での負圧発生に基づく各吸着パッド７，７…側への負圧の導入はそのワーク搬送動作中においても継続されたままであり、各吸着パッド７，７…は図４の状態を保持している。 Thereafter, the workpiece W sucked and supported on the hand 3 side is transported to a predetermined position by the autonomous operation of the handling robot (step S5). In addition, the introduction of the negative pressure to each suction pad 7, 7... Based on the generation of the negative pressure in the ejector 30 is continued even during the work transfer operation, and each suction pad 7, 7. The state is retained.

ワーク搬送後の所定位置において、搬送されてきたワークＷが例えばワーク受け台等に正しく着座すると（ステップＳ６）、電磁弁２８の切換動作により再び各パッドユニット６，６…の圧縮空気導入ポート１６から室１９内に圧縮空気が導入される（ステップＳ７）。ただし、この時点ではなおも室１９と反対側の負圧室１２に負圧が作用しているので、圧縮空気の導入によってピストン１１と一体のマグネット１３の位置が変動することはなく、なおも従前のバックアップ位置Ｐに保持されたままである。 When the conveyed work W is correctly seated on, for example, a work cradle or the like at a predetermined position after the work is conveyed (step S6), the compressed air introduction port 16 of each pad unit 6, 6. Compressed air is introduced into the chamber 19 (step S7). However, since the negative pressure still acts on the negative pressure chamber 12 opposite to the chamber 19 at this time, the position of the magnet 13 integrated with the piston 11 does not fluctuate due to the introduction of compressed air. It remains held at the previous backup position P.

それに続いて、図３の電磁弁２９を切り換えてエジェクタ３０での負圧の発生を断ち、各吸着パッド７，７…による吸着支持からワークＷを解放する（ステップＳ８）。この時、先に述べたように負圧発生を断つのと同時に負圧破壊バルブ３１側から負圧通路２５側へ圧縮空気を供給することにより、各吸着パッド７，７…での負圧が速やかに破壊され、各吸着パッド７，７…からのワークＷの離脱が速やかに且つ確実に行われる。 Subsequently, the electromagnetic valve 29 in FIG. 3 is switched to cut off the generation of negative pressure at the ejector 30 and the work W is released from the suction support by the suction pads 7, 7... (Step S8). At this time, as described above, the generation of negative pressure is interrupted, and at the same time, compressed air is supplied from the negative pressure destruction valve 31 side to the negative pressure passage 25 side, whereby the negative pressure at each of the suction pads 7, 7. The workpiece W is quickly destroyed and the workpiece W is detached from each of the suction pads 7, 7.

ここで、上記のようなワーク搬送動作中において万が一何らかのトラブルによりワークＷを吸着支持している負圧吸引力が予期せずに断たれた場合（負圧吸引力が予期せずに低下した場合を含む）、従来の構造であれば該当する吸着パッドからワークＷが脱落もしくは落下することになるものの、本実施の形態によれば負圧吸引力に代わってマグネット１３がワークＷを瞬時に吸着支持してワークＷの落下を未然に防止することになる。 When the negative pressure suction force that sucks and supports the workpiece W is unexpectedly cut off due to some trouble during the workpiece transfer operation as described above (when the negative pressure suction force decreases unexpectedly) However, according to the present embodiment, the magnet 13 instantaneously attracts the workpiece W instead of the negative pressure attraction force although the workpiece W is dropped or dropped from the corresponding suction pad in the conventional structure. In this way, the workpiece W is prevented from falling.

より詳しくは、ハンド３によるワーク搬送動作中においては、各パッドユニット６，６…は本来図４の状態にあるべきところ、上記のように何らかのトラブルによりワークＷを吸着支持している負圧が予期せずに断たれた場合には、図５に示すように吸着パッド７はそのワークＷを解放しようとすることになる。その一方、上記のように負圧が断たれた場合には（図６のステップＳ９）、パッドユニット６のうち圧縮コイルばね１４が収容されている負圧室１２が大気圧に近い状態となるため、負圧が断たれた瞬間に圧縮コイルばね１４の付勢力によりマグネット１３がピストン１１とともに下降し、ワークＷに密着してそのワークＷを吸着支持することになる（ステップＳ１０）。これにより、ワークＷを吸着支持するための負圧が万が一不意に断たれたとしてもワークＷの脱落もしくは落下を未然に防止することができるようになる。 More specifically, during the workpiece transfer operation by the hand 3, the pad units 6, 6... Should originally be in the state shown in FIG. When it is cut off unexpectedly, the suction pad 7 tries to release the workpiece W as shown in FIG. On the other hand, when the negative pressure is cut off as described above (step S9 in FIG. 6), the negative pressure chamber 12 in the pad unit 6 in which the compression coil spring 14 is accommodated is close to the atmospheric pressure. Therefore, at the moment when the negative pressure is cut off, the magnet 13 is lowered together with the piston 11 by the urging force of the compression coil spring 14, and comes into close contact with the workpiece W to support the workpiece W by suction (step S10). Thereby, even if the negative pressure for adsorbing and supporting the workpiece W is unexpectedly cut off, it is possible to prevent the workpiece W from dropping or falling.

また、負圧導入が予期せずに断たれた場合以外でも、例えばワークＷの正規吸着支持状態において吸着パッドのシール不良等により吸着パッド７の内部の負圧の度合いが低下した場合でも、同様の機能が発揮される。 In addition, even when the negative pressure introduction is unexpectedly cut off, the same applies even when the negative pressure inside the suction pad 7 is reduced due to, for example, a suction pad seal failure in the normal suction support state of the workpiece W. The function of is demonstrated.

なお、圧縮コイルばね１４の強さは、図４の正規吸着支持状態において室１９に圧縮空気を導入した際もしくは負圧室１２に負圧を導入した際に、ピストン１１の上方への戻り力によって圧縮される大きさに予め設定されている。 It should be noted that the strength of the compression coil spring 14 is such that when the compressed air is introduced into the chamber 19 or the negative pressure is introduced into the negative pressure chamber 12 in the normal suction support state of FIG. Is set in advance to a size to be compressed.

このように本実施の形態によれば、例えばワークＷの搬送動作中に突然負圧が断たれるかもしくは低下したとしても、実質的に各パッドユニット６，６…に内蔵されたマグネット１３が負圧吸引力に代わってワークＷを吸着支持することになるので、ワークＷの突然の脱落もしくは落下を未然に防止できることはもちろんのこと、従来のような大がかりな機械的な落下防止機構を設ける必要がなくなる。 As described above, according to the present embodiment, for example, even if the negative pressure is suddenly cut or reduced during the transfer operation of the workpiece W, the magnets 13 substantially incorporated in the pad units 6, 6. Since the workpiece W is sucked and supported in place of the negative pressure suction force, it is possible to prevent the workpiece W from suddenly dropping or dropping, and of course, a conventional large mechanical fall prevention mechanism is provided. There is no need.

なお、上記実施の形態では、各パッドユニット６，６…ごとに負圧発生回路２３を独立して設けた場合について例示したが、必要に応じて単一の負圧発生回路２３を複数のパッドユニット６，６…が共有する形態としても同様の機能が発揮できることは言うまでもない。また、図３の負圧発生回路２３に代えて真空ポンプを用いてもよい。 In the above embodiment, the case where the negative pressure generating circuit 23 is provided independently for each of the pad units 6, 6... Is illustrated, but a single negative pressure generating circuit 23 is provided as a plurality of pads as necessary. It goes without saying that the same function can be exhibited even when the units 6, 6... Are shared. Further, a vacuum pump may be used instead of the negative pressure generating circuit 23 of FIG.

図８は本発明に係る吸着支持装置の第２の実施の形態を示す図で、先の第１の実施の形態と共通する部分には同一符号を付してある。ただし、図８では単一のパッドユニット４６を記載しているにすぎないが、本実施の形態においても第１の実施の形態のものと同様に複数のパッドユニット４６，４６…が併用される。 FIG. 8 is a diagram showing a second embodiment of the suction support apparatus according to the present invention, and the same reference numerals are given to the parts common to the first embodiment. However, although only a single pad unit 46 is shown in FIG. 8, a plurality of pad units 46, 46... Are used in this embodiment as well as in the first embodiment. .

同図に示すように、円環状のハウジング４８を主体として形成されたパッドユニット４６はブラケット４１を介してハンド３のハンドフレーム４に装着されている。より詳しくは、ハウジング４８の上面に一体に突出形成された中空軸部４２にはストッパ４５が付設されていて、この中空軸部４２がブラケット４１に上下動可能に挿入支持されているとともに、ハウジング４８とブラケット４１との間には圧縮コイルばね４９が介装されていることにより、ハウジング４８が常時下方に弾性付勢されている。これにより、例えばハンド３がワークＷを吸着支持するべくパッドユニット４６をワークＷに押し付けたときには、そのパッドユニット４６はブラケット４１に対して上下動可能ないわゆるフローティング構造となっている。 As shown in the figure, a pad unit 46 formed mainly of an annular housing 48 is attached to the hand frame 4 of the hand 3 via a bracket 41. More specifically, a stopper 45 is attached to a hollow shaft portion 42 integrally formed on the upper surface of the housing 48. The hollow shaft portion 42 is inserted and supported by the bracket 41 so as to be movable up and down. A compression coil spring 49 is interposed between the bracket 48 and the bracket 41 so that the housing 48 is always elastically biased downward. Thus, for example, when the hand 3 presses the pad unit 46 against the work W to suck and support the work W, the pad unit 46 has a so-called floating structure that can move up and down with respect to the bracket 41.

ハウジング４８の下端には可撓性を有するゴム製の吸着パッド４７が装着されているとともに、ハウジング４８の内部にはマグネット４３が収容配置されている一方、中空軸部４２の上端には圧縮コイルばね４４を内蔵したいわゆるばね付きの単動型エアシリンダ（以下、単に「エアシリンダ」という）５０が立設されている。ハウジング４８および吸着パッド４７の内部は共に中空軸部４２の内部空間と連通していて、その中空軸部４２のポート５１から負圧が導入されたときには上記内部空間が負圧室５２として機能することになる。 A flexible rubber suction pad 47 is attached to the lower end of the housing 48, and a magnet 43 is accommodated in the housing 48, while a compression coil is placed on the upper end of the hollow shaft portion 42. A so-called spring-loaded single-acting air cylinder (hereinafter simply referred to as “air cylinder”) 50 having a built-in spring 44 is erected. Both the housing 48 and the suction pad 47 communicate with the internal space of the hollow shaft portion 42, and when the negative pressure is introduced from the port 51 of the hollow shaft portion 42, the internal space functions as the negative pressure chamber 52. It will be.

エアシリンダ５０は、そのシリンダチューブ５３が中空軸部４２に固定されているとともに、ピストンロッド５４が中空軸部４３を貫通しつつハウジング４８内まで伸びていて、そのハウジング４８内のマグネット４３に連結されている。そして、同図に示すように、エアシリンダ５０のポート５５から圧縮空気（正圧）が導入されてそのエアシリンダ５０が収縮状態にあるときにはマグネット４３が上昇してバックアップ位置Ｐに保持される一方、逆にポート５５からの圧縮空気の導入が断たれるかまたは大気開放されたときには圧縮コイルばね４４の力によりマグネット４３がピストンロッド５４とともに直ちに下降して下降限位置Ｐ１に保持されるようになっている。なお、図８の符号Ｓはマグネット４３の昇降ストロークを示している。 In the air cylinder 50, the cylinder tube 53 is fixed to the hollow shaft portion 42, and the piston rod 54 extends through the hollow shaft portion 43 into the housing 48 and is connected to the magnet 43 in the housing 48. Has been. As shown in the figure, when compressed air (positive pressure) is introduced from the port 55 of the air cylinder 50 and the air cylinder 50 is in a contracted state, the magnet 43 is raised and held at the backup position P. On the contrary, when the introduction of the compressed air from the port 55 is cut off or released to the atmosphere, the magnet 43 is immediately lowered together with the piston rod 54 by the force of the compression coil spring 44 so as to be held at the lower limit position P1. It has become. 8 indicates the up / down stroke of the magnet 43.

また、同図から明らかなように、ポート５１には負圧発生手段としての負圧発生回路２３のエジェクタ３０で発生した負圧が導入されるとともに、ポート５５には負圧発生回路２３に導入されるべきそれよりも上流側の圧縮空気が分岐されて導入されるようになっている。 Further, as is apparent from the figure, the negative pressure generated in the ejector 30 of the negative pressure generating circuit 23 as a negative pressure generating means is introduced into the port 51, and the negative pressure generating circuit 23 is introduced into the port 55. Compressed air upstream from that to be done is branched and introduced.

したがって、このような構成のもとでは、図９のフローチャートに示すように、最初に複数のパッドユニット４６，４６…を備えたハンド３をワークＷに対しアプローチ動作させるのに先立って電磁弁２７を切り換えて、パッドユニット４６におけるエアシリンダ５０のポート５５から圧縮空気を導入して、そのエアシリンダ５０を収縮動作させる（図９のステップＳ１１）。エアシリンダ５０が収縮動作すると、マグネット４３がピストンロッド５４とともに圧縮コイルばね４４を圧縮させながら上昇して、同図に示すバックアップ位置Ｐに保持される。なお、この時には電磁弁２９は図示の位置とは反対側の切換位置にあって、エジェクタ３０は負圧を発生しない。 Therefore, under such a configuration, as shown in the flowchart of FIG. 9, the electromagnetic valve 27 is first placed before the hand 3 having the plurality of pad units 46, 46. Are switched, compressed air is introduced from the port 55 of the air cylinder 50 in the pad unit 46, and the air cylinder 50 is contracted (step S11 in FIG. 9). When the air cylinder 50 contracts, the magnet 43 rises while compressing the compression coil spring 44 together with the piston rod 54 and is held at the backup position P shown in FIG. At this time, the electromagnetic valve 29 is in the switching position opposite to the illustrated position, and the ejector 30 does not generate negative pressure.

次いで、ハンド３を吸着支持すべきワークＷにアプローチ動作させて、パッドユニット４６の吸着パッド４７をワークＷに押し付けながら（ステップＳ１２）、それと相前後して真空発生回路２３の電磁弁２９を切り換えて、エジェクタ３０に圧縮空気を導入して負圧を発生させる。エジェクタ３０で発生した負圧は負圧通路２５を通してポート５１から直ちにパッドユニット４６の負圧室５２に導入され、同時にその負圧は吸着パッド４７のワーク吸着面４７ａとワークＷとの間の空間にも及ぶことになる。これにより、ワークＷはパッドユニット４６の吸着パッド４７にて吸着支持されることになる（ステップＳ１３）。 Next, the hand 3 is approached to the work W to be sucked and supported, and the suction pad 47 of the pad unit 46 is pressed against the work W (step S12), and the electromagnetic valve 29 of the vacuum generation circuit 23 is switched around that time. Thus, compressed air is introduced into the ejector 30 to generate a negative pressure. The negative pressure generated in the ejector 30 is immediately introduced from the port 51 through the negative pressure passage 25 into the negative pressure chamber 52 of the pad unit 46, and at the same time, the negative pressure is a space between the work suction surface 47 a of the suction pad 47 and the work W. It will extend to. Thereby, the work W is sucked and supported by the suction pad 47 of the pad unit 46 (step S13).

この時、上記のように予めマグネット４３をバックアップ位置Ｐまで上昇動作させてあることによって、吸着パッド４７がワークＷを吸着支持したとしてもマグネット４３がワークＷに接触することもなければワークＷを吸着してしまうこともない。 At this time, since the magnet 43 is moved up to the backup position P in advance as described above, even if the suction pad 47 sucks and supports the work W, the magnet 43 does not come into contact with the work W. There is no adsorption.

こうして、吸着パッド４７にてワークＷが吸着支持されたならば、そのワークＷはハンドリングロボットの自律動作により所定位置へと搬送される（ステップＳ１４）。 Thus, if the workpiece W is sucked and supported by the suction pad 47, the workpiece W is transported to a predetermined position by the autonomous operation of the handling robot (step S14).

ワーク搬送後の所定位置において、搬送されてきたワークＷが例えばワーク受け台等に正しく着座すると（ステップＳ１５）、電磁弁２９を再び切り換えてエジェクタ３０での負圧の発生ひいてはポート５１からの負圧室５２への負圧の導入を断ち、吸着パッド４７による吸着支持からワークＷを解放する（ステップＳ１６）。この時、先に述べたように負圧発生を断つのと同時に負圧破壊バルブ３１側から負圧通路２５側へ圧力空気を供給することにより、各吸着パッド４７での負圧が速やかに破壊され、吸着パッド４７からのワークＷの離脱が速やかに且つ確実に行われる。 When the transferred work W is correctly seated on, for example, a work cradle at a predetermined position after the work is transferred (step S15), the solenoid valve 29 is switched again to generate negative pressure in the ejector 30 and thus to generate negative pressure from the port 51. The introduction of the negative pressure into the pressure chamber 52 is cut off, and the workpiece W is released from the suction support by the suction pad 47 (step S16). At this time, as described above, the negative pressure in each suction pad 47 is quickly broken by supplying the pressure air from the negative pressure breaking valve 31 side to the negative pressure passage 25 side as soon as the negative pressure generation is cut off. Thus, the workpiece W is detached from the suction pad 47 promptly and reliably.

ここで、上記のようなワーク搬送動作中において万が一何らかのトラブルによりワークＷを吸着支持している負圧吸引力発生のための圧縮空気の供給が予期せずに断たれた場合（圧縮空気の圧力が低下した場合を含む）には、吸着パッド４７への負圧導入が断たれるかもしくはその負圧度合いが低下することを意味することから、吸着パッド４７はそのワークＷを解放しようとすることになる。 If the supply of compressed air for generating a negative pressure suction force that sucks and supports the workpiece W is unexpectedly cut off due to some trouble during the workpiece transfer operation as described above (pressure of the compressed air) Means that the introduction of the negative pressure to the suction pad 47 is interrupted or the degree of the negative pressure is lowered, and the suction pad 47 attempts to release the workpiece W. It will be.

その一方、上記のように圧縮空気の供給が断たれるかもしくはその圧力が低下した場合には、その状態はそのままシリンダ５０に波及することから（ステップＳ１７）、その瞬間に圧縮コイルばね４４のばね力がエアシリンダ５０の内圧に打ち勝ち、その圧縮コイルばね４４の付勢力によりマグネット４３がピストンロッド５４とともに下降し、ワークＷに密着してそのワークＷを吸着支持することになる（ステップＳ１８）。これにより、ワークＷを吸着支持するための負圧発生源である圧縮空気の供給が万が一不意に断たれるかもしくは圧力が低下したとしてもワークＷの脱落もしくは落下を未然に防止することができるようになる。 On the other hand, when the supply of compressed air is cut off or the pressure is reduced as described above, the state is directly applied to the cylinder 50 (step S17). The spring force overcomes the internal pressure of the air cylinder 50, and the magnet 43 descends together with the piston rod 54 by the biasing force of the compression coil spring 44, and comes into close contact with the workpiece W to attract and support the workpiece W (step S18). . Thereby, even if supply of the compressed air which is a negative pressure generation source for adsorbing and supporting the workpiece W is unexpectedly cut off or the pressure is lowered, it is possible to prevent the workpiece W from dropping or falling. It becomes like this.

なお、圧縮コイルばね４４の強さは、ポート５５からの圧縮空気の導入の際にピストンロッド５４の上方への戻り力によって圧縮される大きさに予め設定されている。 It should be noted that the strength of the compression coil spring 44 is set in advance so as to be compressed by the upward return force of the piston rod 54 when the compressed air is introduced from the port 55.

このように本実施の形態によってもまた、ワークＷの搬送動作中に突然負圧吸引力およびその負圧発生のための圧縮空気の供給が断たれるかもしくは低下したとしても、パッドユニット４６に内蔵されたマグネット４３が負圧吸引力に代わってワークＷを吸着支持することになるので、ワークＷの突然の脱落もしくは落下を未然に防止できることはもちろんのこと、従来のような大がかりな機械的な落下防止機構を設ける必要がなくなる。 As described above, according to the present embodiment, even when the negative pressure suction force and the supply of compressed air for generating the negative pressure are suddenly cut or reduced during the transfer operation of the workpiece W, the pad unit 46 is Since the built-in magnet 43 attracts and supports the workpiece W in place of the negative pressure suction force, it is possible to prevent the workpiece W from being suddenly dropped or dropped, as well as the conventional large-scale mechanical mechanism. It is not necessary to provide a simple fall prevention mechanism.

本発明の好ましい実施の形態として、吸着支持装置をハンドリングロボットのロボットハンドに適用した状態を示す説明図。Explanatory drawing which shows the state which applied the adsorption | suction support apparatus to the robot hand of a handling robot as preferable embodiment of this invention. 図１に示すパッドユニットの自由状態での拡大断面説明図。Explanatory sectional explanatory drawing in the free state of the pad unit shown in FIG. 図１に示す各パッドユニットへの負圧および圧縮空気供給系を示す回路図。The circuit diagram which shows the negative pressure and compressed air supply system to each pad unit shown in FIG. 図２に示すパッドユニットによるワークの正規吸着支持状態を示す断面説明図。Cross-sectional explanatory drawing which shows the normal adsorption | suction support state of the workpiece | work by the pad unit shown in FIG. 図４の状態で負圧が断たれてマグネットがワークが吸着支持した状態を示す断面説明図。Cross-sectional explanatory drawing which shows the state by which the negative pressure was cut | disconnected in the state of FIG. 4, and the magnet attracted | supported the workpiece | work. 図１のロボットハンドによるワークの吸着支持から搬送後のワーク解放までの一連の動作を示すフローチャート。The flowchart which shows a series of operation | movement from the adsorption | suction support of the workpiece | work by the robot hand of FIG. 1 to the workpiece | work release after conveyance. 図６の動作に基づくタイムチャート。7 is a time chart based on the operation of FIG. 本発明の第２の実施の形態を示す要部の構成説明図。Structure explanatory drawing of the principal part which shows the 2nd Embodiment of this invention. 図８の構成のもとでのワークの吸着支持から搬送後のワーク解放までの一連の動作を示すフローチャート。The flowchart which shows a series of operation | movement from the adsorption | suction support of the workpiece | work under the structure of FIG. 8 to the workpiece | work release after conveyance.

Explanation of symbols

３…ロボットハンド
６…パッドユニット
７…吸着パッド
７ａ…ワーク吸着面
８…ハウジング
１１…ピストン
１２…負圧室
１３…マグネット
１４…圧縮コイルばね（弾性体）
１９…室
２３…負圧発生回路（負圧発生手段）
４３…マグネット
４４…圧縮コイルばね（弾性体）
４６…パッドユニット
４７…吸着パッド
４７ａ…ワーク吸着面
４８…ハウジング
５０…ばね付きの単動型エアシリンダ
５２…負圧室
５３…シリンダチューブ
５４…ピストンロッド
Ｐ…バックアップ位置
Ｗ…ワーク DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... Robot hand 6 ... Pad unit 7 ... Adsorption pad 7a ... Work adsorption surface 8 ... Housing 11 ... Piston 12 ... Negative pressure chamber 13 ... Magnet 14 ... Compression coil spring (elastic body)
19 ... Chamber 23 ... Negative pressure generating circuit (negative pressure generating means)
43 ... Magnet 44 ... Compression coil spring (elastic body)
46 ... Pad unit 47 ... Suction pad 47a ... Work suction surface 48 ... Housing 50 ... Single acting air cylinder with spring 52 ... Negative pressure chamber 53 ... Cylinder tube 54 ... Piston rod P ... Backup position W ... Work

Claims

A suction support device configured to generate a negative pressure in the suction pad while pressing the suction pad against a workpiece made of a magnetic material to be sucked and supported, and suck and support the workpiece with the negative pressure suction force.
While the suction pad is holding and supporting the workpiece, it is held at the backup position at a predetermined distance from the workpiece. On the other hand, the negative pressure suction force is unexpectedly reduced in the workpiece's suction support state by the suction pad. A suction support device characterized in that a magnet for sucking and supporting a workpiece is provided inside the suction pad immediately in place of the negative pressure suction force.

The magnet can be moved closer to and away from the workpiece.When the negative pressure suction force is unexpectedly reduced in the state of suction support of the workpiece by the suction pad, the workpiece is moved by magnetic force instead of the negative pressure suction force. 2. The adsorption support device according to claim 1, further comprising means for moving the magnet to a position where adsorption is possible.

3. The adsorption support device according to claim 2, wherein the means for moving the magnet to a position where the workpiece can be attracted is an elastic body that urges the magnet toward the workpiece.

The suction support according to any one of claims 1 to 3, wherein the magnet is held at a backup position by a negative pressure introduced to the suction pad in the suction support state of the workpiece by the suction pad. apparatus.

A housing with a suction pad attached to one end;
A piston slidably accommodated in the housing to form a negative pressure chamber;
A magnet that is connected to the piston and has one end faced on the work suction surface side of the suction pad;
Moved to a position where the workpiece can be attracted by the magnetic force instead of the negative pressure suction force when the negative pressure suction force is unexpectedly reduced when the workpiece is housed in the housing and the workpiece is sucked and supported by the suction pad. An elastic body,
The adsorption support device according to claim 1, comprising:

6. The suction support device according to claim 5, wherein a negative pressure is introduced into the suction pad via a negative pressure chamber in the housing.

A negative pressure generated by the negative pressure generating means based on the introduction of compressed air is introduced into the suction pad,
The magnet is held at a backup position by causing the piston to act on the piston as a force that opposes the biasing force of the elastic body prior to the introduction of the negative pressure to the suction pad. 6. The adsorption support device according to 6.

The magnet is held at the backup position with the lifting force due to the positive pressure in the workpiece suction support state with the above suction pad, and the negative pressure suction force with the positive pressure in the suction support state of the workpiece with the suction pad unexpectedly The suction support apparatus according to claim 1, wherein when the pressure is lowered, the workpiece is suctioned and supported by a magnet instead of the negative pressure suction force.

9. The suction support device according to claim 8, wherein the lifting force is obtained by an air cylinder connected to a magnet.

The air cylinder is a single-acting air cylinder with a spring, and the spring built in the air cylinder urges the magnet toward the workpiece side with an elastic force against positive pressure. Item 10. The adsorption support device according to Item 9.

A suction support device configured to generate a negative pressure in the suction pad while pressing the suction pad against a workpiece made of a magnetic material to be sucked and supported, and suck and support the workpiece with the negative pressure suction force.
A housing that has a suction pad attached to one end and that forms a negative pressure chamber with the suction pad when introducing negative pressure;
A magnet that is slidably accommodated in the housing and has one end faced on the work suction surface side of the suction pad;
When the cylinder tube is connected to the housing and the piston rod is connected to the magnet, and the suction pad supports the workpiece, the magnet is held at a backup position that is a predetermined distance away from the workpiece with a positive pulling force. On the other hand, if the negative suction force decreases unexpectedly with the positive pressure when the workpiece is attracted and supported by the suction pad, the magnet is immediately moved to a position where the workpiece can be attracted by magnetic force instead of the negative pressure suction force. A single-acting air cylinder with a spring
An adsorption support device comprising:

A negative pressure generated by the negative pressure generating means upon introduction of compressed air is introduced into the negative pressure chamber, and a positive pressure upstream of the negative pressure generating means is introduced into the single-acting air cylinder. The adsorption support device according to claim 11, wherein