JP2017122212A

JP2017122212A - アリールシクロブテン

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Publication number: JP2017122212A
Application number: JP2016236046A
Authority: JP
Inventors: デュアン・アール・ローマー; Duane R Romer; マイケル・ケイ・ギャラガー; Michael K Gallagher; チィフェン・バイ; Zhifeng Bai; マイケル・リーナー; Riener Michelle
Original assignee: Dow Global Technologies LLC; Rohm and Haas Electronic Materials LLC
Current assignee: Dow Global Technologies LLC; Rohm and Haas Electronic Materials LLC
Priority date: 2015-12-21
Filing date: 2016-12-05
Publication date: 2017-07-13
Anticipated expiration: 2036-12-05
Also published as: TWI638839B; CN106893032B; KR20170074753A; CN106893032A; KR101941017B1; JP6492046B2; TW201723011A; US20170174805A1; EP3184571A1

Abstract

【課題】電子デバイスの製造において有用なアリールシクロブテン系ポリマーの提供。
【解決手段】伸度等の改善された物理的特性を有するアリールシクロブテンポリマー。1つ以上のアリールシクロブテン第一モノマーと２つ以上のアリル部分を有する１つ以上の第二モノマーとを重合することを含む、ポリマー。前記１つ以上の第二モノマーが、アリールクロブテン部分を含まず、更にアリル置換ビスマレイミド誘導体ではない、ポリマー。前記１つ以上のアリールシクロブテン第一モノーマーがカルボン酸、保護カルボン酸又はスルホン酸から選択される一つ以上の管能基を有する、ポリマー。前記アリールシクロブテンポリマーをコーティングするための組成物及び方法。
【選択図】なし

Description

本発明は、概してポリマー材料の分野に関し、より具体的には、電子デバイスの製造において有用なアリールシクロブテン系ポリマーに関する。

アリールシクロブテン系ポリマーは、マイクロエレクトロニクス実装及び相互接続用途などの様々な電子用途において誘電材料として使用される。アリールシクロブテン系ポリマーは、これらの用途に対して多くの望ましい特性を有する。しかしながら、これらのポリマーは、ある特定の電子用途におけるこれらのポリマーの使用を制限する、低破壊靱性、低伸度、及び乏しい引張強度などのある特定の機械的制限に悩まされている。

アリールシクロブテン系ポリマーの機械的特性の改善への１つの取り組みは、米国特許第６，４２０，０９３号に開示されている。この特許は、改善された靱性を有するベンゾシクロブテン系ポリマーを提供する組成物を開示し、この組成物は、ａ）アリールシクロブテンモノマー、アリールシクロブテンオリゴマー、及びそれらの組み合わせから選択される少なくとも１つの前駆化合物と、ｂ）エチレン性不飽和（つまり、炭素−炭素二重結合（複数可））を含む骨格及び末端アクリレート基またはメタクリレート基を有するポリマーまたはオリゴマーとを含む。この特許に開示される強化添加剤は、ポリマー骨格においてかなりの量の炭素−炭素二重結合を有する。しかしながら、これらの組成物がある特定の光パターニング用途において使用される場合、ベンゾシクロブテンポリマーの改善された伸び靱性は、添加されたポリマーまたはオリゴマーの炭素−炭素二重結合を伴う競合反応によって失われる。加えて、添加されたポリマー骨格における残留炭素−炭素二重結合は、経時的な材料の黄変を引き起こし得、これはある特定の用途には有害であり得る。したがって、改善された機械的特性を有する、アリールシクロブテン系材料を提供することのできる代替の材料への必要性が未だ存在する。

公開された欧州特許出願第ＥＰ５２７２７２Ａ１号は、改善された可撓性、強度、及び亀裂防止特性などの改善された特性を有するベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）樹脂を開示する。この特許出願におけるＢＣＢ樹脂は、ビス−ベンゾシクロブテン（ビス−ＢＣＢ）モノマーと、ビス−ＢＣＢモノマー内の不飽和と比較してより高い親ジエン活性を有する不飽和化合物（親ジエンモノマー）とを反応させることによって調製される。親ジエンモノマーは、エチレン性またはアセチレン性の不飽和の単一サイトを有する。１つのかかる親ジエンモノマーは、無水マレイン酸である。親ジエンモノマーは、ビス−ＢＣＢモノマーと比較して比較的少ない量（０．００１〜０．２ｍｏｌ／ｍｏｌビス−ＢＣＢ）で使用され、ビス−ＢＣＢモノマーの重合の度合いを制御するように機能する。基本的に、親ジエンモノマーは、その単一親ジエン部分によって、成長するポリマー鎖を終端させるように機能し、それによってポリマー鎖の分子量を低減する。これらのポリマーのある特定の特性が改善され得る一方、従来のＢＣＢ樹脂と比較して低下した耐薬品性を有することなどの他の特性が、この手法による問題を抱え得る。特に、これらの従来のポリマーが光誘電材料内で使用されるとき、より低い分子量のポリマーが露光された領域と未露光の領域との間の対比（または溶解率の差異）を低減し、不十分な分解能及び未露光の領域におけるフィルム厚の比較的大きな損失をもたらす。

日本国公開特許出願第ＪＰ２００４／２２４８１７号は、ベンゾシクロブテン樹脂及びプリプレグ材料内での使用のための、ある特定のアリル置換ビスマレイミド誘導体を含有する樹脂組成物を開示する。ビスマレイミド誘導体は、ビス−マレイミド化合物と２モルのアリル置換シクロペンタジエンとの、シクロペンタジエンがマレイミド部分内の炭素−炭素二重結合と反応するディールスアルダー反応の生成物である。様々な半導体処理及び実装作業の間に典型的に遭遇するような、比較的高い温度への曝露の際、この日本国公報に開示される樹脂は逆ディールスアルダー反応に供され、これが樹脂の亀裂をもたらす。

本発明は、重合単位として、１つ以上のアリールシクロブテン第１モノマーと、２つ以上のアリル部分を有する１つ以上の第２モノマーとを含むポリマーであって、１つ以上の第２モノマーがアリールシクロブテン部分を含まず、１つ以上の第２モノマーがアリル置換ビスマレイミド誘導体ではない、ポリマーを提供する。好ましくは、第２モノマーはビスマレイミド部分を含まず、より好ましくは、第２モノマーはアリル置換シクロペンタジエン誘導体及びビスマレイミド化合物から形成されるビスマレイミド誘導体を含まない。

上述のポリマー及び１つ以上の有機溶媒を含む組成物もまた、本発明によって提供される。

本発明は、１つ以上のアリールシクロブテン第１モノマーと２つ以上のアリル部分を有する１つ以上の第２モノマーとを重合することを含む、上述のポリマーを形成する方法をさらに提供する。

なおさらに、本発明は、基材を提供することと、基材の表面上に上述の組成物の層をコーティングすることと、コーティングを硬化させることと、を含む、基材上にフィルムを形成する方法をさらに提供する。

上述の組成物から形成される硬化したフィルムを含む基材が、本発明によって追加で提供される。

本明細書を通して使用される場合、以下の省略語は、文脈が別途明確に示さない限り、以下の意味を有する：℃＝摂氏度、ｍｉｎ．＝分、ｈｒ．＝時間、ｇ＝グラム、Ｌ＝リットル、μｍ＝ミクロン＝マイクロメートル、ｎｍ＝ナノメートル、ｍｍ＝ミリメートル、ｍＬ＝ミリリットル、ＭＰａ＝メガパスカル、Ｍ_ｗ＝重量平均分子量、Ｍ_ｎ＝数平均分子量、及びＡＭＵ＝原子質量単位。別途述べられない限り、「重量％」は参照される組成物の合計重量に基づく重量％を指す。

「アルキル」という用語は、直鎖、分岐鎖、及び環状アルキルを含む。同様に「アルケニル」は、直鎖、分岐鎖、及び環状アルケニルを指す。「アルキニル」という用語は、直鎖または分岐鎖アルキニルを指す。「アリール」は、芳香族炭素環及び芳香族ヘテロ環を指す。本明細書において使用する場合、「脂肪族」という用語は、アルキル、アルケニル、及びアルキニル部分などの開鎖炭素含有部分を指し、これは直鎖または分岐鎖であり得る。また、本明細書において使用する場合、「脂環式」という用語は、環状脂肪族部分、例えば、シクロアルキル及びシクロアルケニルを指す。かかる脂環式部分は、芳香族ではないが、１つ以上の炭素−炭素二重結合を含み得る。文脈が別途明確に示さない限り、「置換」アルキル、アルケニル、またはアルキニルは、アルキル、アルケニル、またはアルキニル上の１つ以上の水素がハロ、ヒドロキシ、Ｃ_１−１０アルコキシ、アミノ、モノ−またはジ−Ｃ_１−１０ヒドロカルビル置換アミノ、Ｃ_５−２０アリール、及び置換Ｃ_５−２０アリールから選択される１つ以上の置換基で置換されることを意味する。文脈が別途明確に示さない限り、「置換」アリールは、アリール上の１つ以上の水素が、ハロ、ヒドロキシ、Ｃ_１−１０アルキル、Ｃ_２−１０アルケニル、Ｃ_２−１０アルキニル、Ｃ_１−１０アルコキシ、アミノ、モノ−またはジ−Ｃ_１−１０ヒドロカルビル置換アミノ、Ｃ_５−２０アリール、及び置換Ｃ_５−２０アリールから選択される１つ以上の置換基で置換されることを意味する。「アルキル」はアルカンラジカルを指し、アルカンジラジカル（アルキレン）及びより高次のラジカルを含む。同様に、「アルケニル」、「アルキニル」及び「アリール」という用語は、それぞれアルケン、アルキン、及びアレーンの対応するモノ−、ジ−、またはより高次のラジカルを指す。「ハロ」は、フルオロ、クロロ、ブロモ、及びヨードを指す。「（メタ）アクリレート」という用語は、メタクリレート及びアクリレートの両方を指し、同様に（メタ）アクリルアミドという用語は、メタクリルアミド及びアクリルアミドの両方を指す。

「硬化」という用語は、材料または組成物の分子量を増加させる、重合または縮合などの任意のプロセスを意味する。「硬化性」とは、ある特定の条件下で硬化されることが可能な任意の材料を指す。「ポリマー」という用語は、オリゴマーも含む。「オリゴマー」という用語は、さらなる硬化が可能である、Ｂステージ材料を含む、二量体、三量体、四量体、五量体、六量体などの比較的低い分子量材料を指す。本明細書において使用する場合、「芳香族有機残基」はフェニルなどの、芳香族の性質のみを有する有機残基、及び芳香族と脂肪族部分との組み合わせを含む有機残基を包含する。冠詞「ａ」、「ａｎ」、及び「ｔｈｅ」は、単数形及び複数形を指す。別途述べられない限り、全ての量は重量パーセントであり、全ての比はモル比である。全ての数的範囲は、かかる数的範囲がやむを得ず合計１００％になることが明らかである場合を除き、端点を含み、かつ任意の順序で組み合わせ可能である。

本発明は、重合単位として、１つ以上の第１アリールシクロブテンモノマーと、１つ以上の第２モノマーであって、２つ以上のアリル部分を有する第２モノマーとを含む、ある特定のアリールシクロブテンポリマーを提供する。かかるアリールシクロブテンポリマーは、従来のアリールシクロブテン系ポリマーと比較して改善された引張強度及び／または伸度を有する。好ましくは、本アリールシクロブテンポリマーはオリゴマーである。より好ましくは、１つ以上の第２モノマーはベンゾシクロブテン部分を含まず、さらにより好ましくはアリールシクロブテン部分を含まない。

本アリールシクロブテンポリマーの調製において有用であるアリールシクロブテン第１モノマーとしては、式（１）を有するものが挙げられるが、これらに限定されず、

式中、Ｂ^１はｎ価の連結基であり、Ａｒは多価アリール基であり、シクロブテン環の炭素原子はＡｒの同じ芳香族環上の隣接する炭素原子と結合し、ｍは１以上の整数であり、ｎは１以上の整数であり、Ｒ^１及びＲ^２の各々は独立して、一価の基であり、２つのＲ^１部分が、それらが結合する炭素と一緒になって、カルボニルまたはチオカルボニルを形成し得、２つのＲ^２部分が、それらが結合する炭素と一緒になって、カルボニルまたはチオカルボニルを形成し得る。好ましくは、多価アリール基、Ａｒは、１〜３つの芳香族炭素環またはヘテロ芳香族環で構成され得る。Ａｒは、単一の芳香族環、より好ましくはフェニル環を含むことが好ましい。Ａｒがフェニル環であるとき、モノマーはベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）モノマーである。Ａｒは、Ｃ_１−６アルキル、トリ−Ｃ_１−６−アルキルシリル、Ｃ_１−６アルコキシ、ハロ、及びカルボキシルから選択される１〜３個の基で、好ましくはＣ_１−６アルキル、トリ−Ｃ_１−３−アルキルシリル、Ｃ_１−３アルコキシ、クロロ、及びカルボキシルのうちの１つ以上で、ならびにより好ましくはＣ_１−３アルキル、トリ−Ｃ_１−３−アルキルシリル、Ｃ_１−３アルコキシ、及びカルボキシルのうちの１つ以上で、随意に置換される。Ａｒは、非置換であるか、またはカルボキシルで置換されていることが好ましい。ｎ＝１または２であり、より好ましくはｎ＝１であることが好ましい。ｍ＝１〜４であり、より好ましくはｍ＝２〜４であり、さらにより好ましくはｍ＝２であることが好ましい。好ましくは、各Ｒ^１及びＲ^２は独立して、Ｈ、Ｃ_１−６アルキル、Ｃ_１−６アルケニル、Ｃ_１−６アルコキシ、カルボキシ、Ｃ_２−６カルボキシ含有部分、Ｃ_２−６ケト含有部分、Ｃ_１−６アミド含有部分、Ｃ_２−６アルコキシアルカノール、Ｃ_２−６アルコキシエステル、及びハロから、ならびにより好ましくはＨ、Ｃ_１−３アルキル、Ｃ_１−３アルコキシ、及びハロから選択される。好適な単一の価のＢ^１基は、好ましくは式−［Ｃ（Ｒ^３）_２−Ｃ（Ｒ^４）_２］_×Ｚ^１または−［Ｃ（Ｒ^３）＝ＣＲ^４］_×Ｚ^１を有し、式中、各Ｒ^３及びＲ^４は独立して、水素、Ｃ_１−６アルキル、及びアリールから選択され、Ｚは、水素、Ｃ_１−６アルキル、Ｃ_６−１０アリール、シロキサリール、−ＣＯ_２Ｒ^５から選択され、各Ｒ^５は独立して、Ｈ、Ｃ_１−６アルキル、Ｃ_１−６ヒドロキシアルキル、Ｃ_６−１０アリール、Ｃ_６−１０ヒドロキシアリール、Ｃ_７−２０アラルキル、Ｃ_７−２０ヒドロキシアラルキル、及びＣ_７−２０アルカリールから選択され、ｘ＝１または２である。好ましくは、Ｒ^３及びＲ^４は独立して、Ｈ、Ｃ_１−３アルキル、アリール、ならびにより好ましくはＨ及びＣ_１−３アルキルから選択される。Ｒ^５は、Ｈ、Ｃ_１−３アルキル、Ｃ_１−６ヒドロキシアルキル、Ｃ_６−１０アリール、Ｃ_６−１０ヒドロキシアリール、及びＣ_７−２０ヒドロキシアラルキルであることが好ましい。Ｚ^１は、好ましくはシロキシルまたは−ＣＯ_２Ｒ^５である。好ましいシロキシル基は、式−［Ｓｉ（Ｒ^６）_２−Ｏ］ｐ−Ｓｉ（Ｒ^６）_２−を有し、式中、各Ｒ^６は独立して、Ｈ、Ｃ_１−６アルキル、アリール、アラルキル、及びアルカリールから選択され、ｐは１以上の整数である。Ｒ^６は、Ｃ_１−３アルキル、Ｃ_６−１０アリール、及びＣ_７−２０アラルキルから選択されることが好ましい。好適なアラルキル基としては、ベンジル、フェネチル、及びフェニルプロピルが挙げられる。好ましくは、Ｂ^１は１つ以上の炭素−炭素二重結合（エチレン性不飽和）を含む。

好ましくは、アリールシクロブテンポリマーは、重合単位として、式（２）の１つ以上のビス−ベンゾシクロブテンモノマーを含み、

式中、各Ｒ^７及びＲ^８は独立して、Ｈ、Ｃ_１−６アルキル、Ｃ_１−６アルケニル、Ｃ_１−６アルコキシ、ハロ、カルボキシ、Ｃ_２−６カルボキシ含有部分、Ｃ_２−６ケト含有部分、Ｃ_１−６アミド含有部分、Ｃ_２−６アルコキシアルカノール、Ｃ_２−６アルコキシエステル、−Ｏ−Ｃ_１−２０アルキル、−（Ｃ＝Ｏ）−Ｃ_１−２０アルキル、−Ｏ−（Ｃ＝Ｏ）−Ｃ_１−２０アルキル、−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−Ｃ_１−２０アルキル、−Ｏ−Ｃ_６−２０アリール、−Ｃ（Ｏ）−Ｃ_６−２０アリール、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｃ_６−２０アリール、及び−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−Ｃ_６−２０アリールから、ならびに好ましくはＨ、Ｃ_１−３アルキル、Ｃ_１−３アルコキシ及びハロから選択され、２つのＲ^７部分が、それらが結合する炭素と一緒になって、カルボニルまたはチオカルボニルを形成し得、２つのＲ^８部分が、それらが結合する炭素と一緒になって、カルボニルまたはチオカルボニルを形成し得、各Ｒ^９は独立して、Ｃ_１−６アルキル、トリ−Ｃ_１−６−アルキルシリル、Ｃ_１−６アルコキシ、及びハロから選択され、各Ｒ^１０は独立して、飽和またはエチレン性不飽和であり得る二価の有機基であり、各Ｒ^１１は独立して、Ｈ、Ｃ_１−６アルキル、Ｃ_７−２０アラルキル及びフェニルから選択され、ｐは１以上の整数であり、ｑは０〜３の整数である。各Ｒ^７及びＲ^８は好ましくは独立して、Ｈ、Ｃ_１−３アルキル、及びＣ_１−３アルコキシから選択され、ならびにより好ましくは、各Ｒ^７及びＲ^８はＨである。各Ｒ^９は独立して、Ｃ_１−６アルキル、トリ−Ｃ_１−３−アルキルシリル、Ｃ_１−３アルコキシ、及びクロロから、ならびにより好ましくはＣ_１−３アルキル、トリ−Ｃ_１−３−アルキルシリル、及びＣ_１−_３アルコキシから選択されることが好ましい。好ましくは、各Ｒ^１０は独立して、Ｃ_２−６アルキル、Ｃ_２−６アルケニル、及びＣ_２−６アルキニルから選択され、ならびにより好ましくは、各Ｒ^１０は独立して、−ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＣＨ＝ＣＨ−、及び−Ｃ≡Ｃ−から選択される。各Ｒ^１１は、好ましくはＣ_１−３アルキルから選択され、及びより好ましくは、各Ｒ^１１はメチルである。好ましくは、ｐ＝１〜５であり、より好ましくはｐ＝１〜３であり、さらにより好ましくはｐ＝１である。ｑ＝０であることが好ましい。式（２）の、特に好ましいアリールシクロブテンモノマーは、式（３）を有する、１，３−ビス（２−ビシクロ［４．２．０］オクタ−１，３，５−トリエン−３−イル−エテニル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン（ＤＶＳ−ビスＢＣＢ）である。

本アリールシクロブテンポリマーは、好ましくは重合単位として、式（４）の１つ以上のベンゾシクロブテンモノマーを含み、

式中、各Ｒ^１２及びＲ^１３は独立して、Ｈ、Ｃ_１−６アルキル、Ｃ_１−６アルケニル、Ｃ_１−６アルコキシ、ハロ、カルボキシ、Ｃ_２−６カルボキシ含有部分、Ｃ_２−６ケト含有部分、Ｃ_１−６アミド含有部分、Ｃ_２−６アルコキシアルカノール、Ｃ_２−６アルコキシエステル、−Ｏ−Ｃ_１−２０アルキル、−（Ｃ＝Ｏ）−Ｃ_１−２０アルキル、−Ｏ−（Ｃ＝Ｏ）−Ｃ_１−２０アルキル、−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−Ｃ_１−２０アルキル、−Ｏ−Ｃ_６−２０アリール、−（Ｃ＝Ｏ）−Ｃ_６−２０アリール、−Ｏ−（Ｃ＝Ｏ）−Ｃ_６−２０アリール、及び−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−Ｃ_６−２０アリールから、ならびに好ましくはＨ、Ｃ_１−３アルキル、及びＣ_１−３アルコキシから選択され、２つのＲ^１２部分が、それらが結合する炭素と一緒になって、カルボニルまたはチオカルボニルを形成し得、２つのＲ^１３部分が、それらが結合する炭素と一緒になって、カルボニルまたはチオカルボニルを形成し得、各Ｒ^１４は独立して、Ｃ_１−６アルキル、トリ−Ｃ_１−６−アルキルシリル、Ｃ_１−６アルコキシ、及びハロから選択され、Ｙは−ＳＯ_３Ｒ^１５または３〜１５個の炭素原子を有し、少なくとも１つの−ＯＨ部分または保護カルボキシル部分を有する一価のラジカルであり、Ｒ^１５はＨまたは１〜２０の炭素原子を有する一価のラジカルであり、ｆは０〜２の整数である。「Ｃ_１−６アミド含有部分」という用語は、１〜６個の炭素原子を有し、ＸがＨまたはヒドロカルビル部分であり得る−Ｃ（Ｏ）−ＮＸ２部分を有する任意の部分を指す。各Ｒ^１２及びＲ^１３は好ましくは独立して、Ｈ、Ｃ_１−３アルキル、Ｃ_１−３アルコキシ及びハロから選択され、ならびにより好ましくは、各Ｒ^１２及びＲ^１３はＨである。好ましくは、各Ｒ^１４は独立して、Ｃ_１−６アルキル、トリ−Ｃ_１−３−アルキルシリル、Ｃ_１−３アルコキシ、及びクロロから、ならびにより好ましくはＣ_１−３アルキル、トリ−Ｃ_１−３−アルキルシリル、及びＣ_１−_３アルコキシから選択される。Ｙの一価のラジカルは、脂肪族及び／または芳香族であり得る。典型的に、Ｙは、１〜５つの−ＯＨ部分、好ましくは１〜３つ、より好ましくは１または２つ、さらにより好ましくは１つの−ＯＨ部分を有する。Ｙは、３〜１５個の炭素原子を有し、少なくとも１つの−ＯＨ部分を有する、飽和または不飽和の一価のラジカルであり得、好ましくはエチレン性不飽和である。より好ましくは、Ｙの少なくとも１つの−ＯＨ部分は、−ＣＯ_２Ｈまたは−ＳＯ_３Ｈである。Ｒ^１５はＨ、Ｃ_１−１０アルキル、Ｃ_７−１６アラルキル、またはＣ_６−１２アリールであることが好ましい。式（４）の好ましい化合物は、式中、Ｙが−ＣＨ＝ＣＨＣ（＝Ｏ）ＯＲ^１６、−ＣＨ＝ＣＨ−ＣＨ_２ＯＨ、−ＣＨ_２−ＣＨ＝ＣＨＣ_６Ｈ_４ＯＨ、及び−ＣＨ＝ＣＨＣＨ_２Ｃ_６Ｈ_４ＯＨから選択され、式中、Ｒ^１６がＨ、Ｃ_２−８ヒドロキシアルキル、及びカルボキシル部分の酸素に直接結合する１つ以上の第四級炭素を有するＣ_４−８アルキルから選択されるものである。より好ましいものは、式（４）の化合物が、式中、Ｙが−ＣＨ＝ＣＨＣ（＝Ｏ）ＯＲ^１６、さらにより好ましくは−ＣＨ＝ＣＨＣ（＝Ｏ）ＯＨであるものである。ｆ＝０であることが好ましい。

本発明のポリマーは、重合単位として、１つのアリールシクロブテン第１モノマー、または２つ以上の異なるアリールシクロブテン第１モノマーの混合物を含み得る。好ましくは、本ポリマーは、２つの異なるアリールシクロブテンモノマーを含む。２つの異なるアリールシクロブテンモノマーが使用されるとき、第１の異なるアリールシクロブテンモノマーと第２の異なるアリールシクロブテンモノマーとのモル比は、１：９９〜９９：１、好ましくは５：９５〜９５：５、及びより好ましくは２５：７５〜７５：２５である。本ポリマーが、重合単位として、カルボン酸、保護カルボン酸、及びスルホン酸から選択される１つ以上の部分を含む、１つ以上のアリールシクロブテンモノマーを含むことが、さらに好ましい。本ポリマーが、重合単位として、上述の式（２）の１つ以上のアリールシクロブテンモノマーを含むことも、また好ましい。さらにより好ましくは、本ポリマーは、重合単位として、上述の式（２）の１つ以上のアリールシクロブテンモノマーならびにカルボン酸、保護カルボン酸、及びスルホン酸から選択される１つ以上の部分を含む１つ以上のアリールシクロブテンモノマーを含む。

アリールシクロブテン部分を含まない、２つ以上のアリル部分を有する、任意のモノマーであって、本アリールシクロブテンポリマーを形成するために、１つ以上のアリールシクロブテン第１モノマーと共重合する任意のモノマーは、本発明において第２モノマーとして好適に使用され得るが、但し、１つ以上の第２モノマーがアリル置換ビスマレイミド誘導体ではないことを条件とする。第２モノマーとして有用である化合物は、モノマー化合物またはオリゴマー化合物であり得る。第２モノマーは、２つ以上のアリル部分を有し、２〜２０のアリル部分を有し得る。好ましくは、第２モノマーは、２〜１０、より好ましくは２〜６つ、及びさらにより好ましくは２〜４つのアリル部分を有する。好適なアリル部分は、アリルエーテル部分、アリルエステル部分、アリルアミン部分、アリルアミド部分、アリルケトン部分、及びアリルアリール部分、ならびに好ましくはアリルエーテル部分、アリルエステル部分、及びアリルアリール部分から選択される。１つの好ましい実施形態において、第２モノマーは、好ましくはカルボン酸、保護カルボン酸、及びスルホン酸部分を含まない。

好ましくは、１つ以上の第２モノマーが式（５）の化合物から選択され、

式中、各Ｒ^１７は独立して、Ｈ及びＣ_１−３０一価ヒドロカルビル残基から選択され、Ｅは、Ｏ、Ｓ、Ｓ−Ｓ、Ｎ（Ｒ^１８）、Ｃ（Ｏ）、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、−Ｎ（Ｒ^１８）−Ｃ（Ｏ）−、−Ｎ（Ｒ^１８）−Ｃ（Ｏ）−Ｎ（Ｒ^１８）−、Ｓ（Ｏ）_２、Ｃ_６−２０アリール、置換Ｃ_６−２０アリール、及び−Ｏ−Ｇ^１−Ｏ−から選択され、各Ｒ^１８は独立して、Ｈ、Ｃ_１−１２アルキル、Ｃ_２−１２アルケニル、Ｃ_６−１０アリール、及び置換Ｃ_６−１０アリールから選択され、Ｇ^１は、ｎ＋１価の有機残基であり、ｎは１〜５の整数である。好ましくは、ｎ＝１〜３、及びより好ましくはｎ＝１または２である。各Ｒ^１７は独立して、Ｈ、Ｃ_１−３０アルキル、置換Ｃ_１−３０アルキル、Ｃ_２−３０アルケニル、置換Ｃ_２−３０アルケニル、Ｃ_２−３０アルキニル、置換Ｃ_２−３０アルキニル、Ｃ_５−３０アリール、及び置換Ｃ_５−３０アリールから、より好ましくはＨ、Ｃ_１−２０アルキル、置換Ｃ_１−２０アルキル、Ｃ_２−２０アルケニル、置換Ｃ_２−２０アルケニル、Ｃ_６−２０アリール、及び置換Ｃ_６−２０アリールから選択され、ならびにさらにより好ましくは、各Ｒ^１７はＨであることが好ましい。好ましくは、ＥはＯ、Ｓ、Ｎ（Ｒ^１８）、Ｃ（Ｏ）、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、−Ｎ（Ｒ^１８）−Ｃ（Ｏ）−Ｎ（Ｒ^１８）−、Ｓ（Ｏ）_２、Ｃ_６−２０アリール、置換Ｃ_６−２０アリール、及び−Ｏ−Ｇ^１−Ｏ−から、ならびにより好ましくはＯ、Ｃ（Ｏ）、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、Ｃ_６−２０アリール、置換Ｃ_６−２０アリール、及び−Ｏ−Ｇ^１−Ｏ−から選択される。各Ｒ^１８は独立して、Ｈ、Ｃ_１−１０アルキル、Ｃ_２−１０アルケニル、Ｃ_６−１０アリール、及び置換Ｃ_６−１０アリールから選択されることが好ましい。

式（５）において、Ｇ^１は、好ましくは、１〜１００個の炭素原子、より好ましくは１〜８０個、さらにより好ましくは１〜６０個、及びさらにより好ましくは１〜５０個の炭素原子を有する、ｎ＋１価の有機残基である。Ｇ^１の有機残基は、酸素、窒素、及び硫黄、好ましくは酸素及び窒素、ならびにより好ましくは酸素から選択される、１個以上のヘテロ原子を含有し得る。Ｇ^１の有機残基は、ヒドロキシル、第一級、第二級、または第三級アミノ、ケト、エステル、エーテル、スルフィド、ジスルフィド、及びスルホニルから選択される１つ以上の部分をさらに含有し得る。より好ましくは、Ｇ^１は、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ^１９−Ｃ（Ｏ）−、Ｃ_１−２０アルキル、置換Ｃ_１−２０アルキル、Ｃ_２−２０アルケニル、置換Ｃ_２−２０アルケニル、Ｃ_２−２０アルキニル、置換Ｃ_２−２０アルキニル、（Ｃ_２−８アルキレンオキシ）_ｙ１、Ｃ_６−３０アリール、置換Ｃ_６−３０アリール、及び−Ａｒ^１−Ｇ^２−Ａｒ^２−から選択され、式中、Ｒ^１９は、化学結合、Ｃ_１−２０アルキル、置換Ｃ_１−２０アルキル、Ｃ_２−２０アルケニル、置換Ｃ_２−２０アルケニル、Ｃ_２−２０アルキニル、置換Ｃ_２−２０アルキニル、Ｃ_６−２０アリール、及び置換Ｃ_６−２０アリールから選択され、ｙ１は、１〜１００の整数であり、Ａｒ^１及びＡｒ^２は独立して、Ｃ_６−２０アリールまたは置換Ｃ_６−２０アリールであり、Ｇ^２は、化学結合、Ｃ（Ｏ）、Ｓ（Ｏ）_２、Ｃ_１−２０アルキル、置換Ｃ_１−２０アルキル、及び−（ＣＲ^２０Ｒ^２１−Ａｒ^３）_ｙ２ＣＲ^２０Ｒ^２１−から選択され、Ｒ^２０及びＲ^２１の各々は独立して、Ｈ、ＯＨ、Ｃ_１−１０アルキル、Ｃ_１−１０アルコキシ、及びＣ_６−２０アリールから選択され、各Ａｒ^３は独立して、Ｃ_６−２０アリール及び置換Ｃ_６−２０アリールから選択され、ｙ２は１〜５０の整数である。Ｇ^１は、より好ましくは−Ｃ（Ｏ）−Ｒ^１９−Ｃ（Ｏ）−、Ｃ_１−２０アルキル、置換Ｃ_１−２０アルキル、Ｃ_２−２０アルケニル、（Ｃ_２−８アルキレンオキシ）_ｙ１、Ｃ_６−３０アリール、置換Ｃ_６−３０アリール、及び−Ａｒ^１−Ｇ^２−Ａｒ^２−から、ならびにさらにより好ましくは−Ｃ（Ｏ）−Ｒ^１９−Ｃ（Ｏ）−、Ｃ_１−２０アルキル、置換Ｃ_１−２０アルキル、（Ｃ_２−４アルキレンオキシ）_ｙ１、Ｃ_６−３０アリール、置換Ｃ_６−３０アリール、及び−Ａｒ^１−Ｇ^２−Ａｒ^２−から選択される。Ｒ^１９は、Ｃ_１−２０アルキル、置換Ｃ_１−２０アルキル、Ｃ_２−２０アルケニル、置換Ｃ_２−２０アルケニル、Ｃ_２−２０アルキニル、置換Ｃ_２−２０アルキニル、Ｃ_６−２０アリール、及び置換Ｃ_６−２０アリールから、ならびにより好ましくはＣ_１−２０アルキル、置換Ｃ_１−２０アルキル、Ｃ_２−２０アルケニル、置換Ｃ_２−２０アルケニル、Ｃ_６−２０アリール、及び置換Ｃ_６−２０アリールから選択されることが好ましい。好ましくは、ｙ１は、１〜７５、より好ましくは１〜５０の整数である。ｙ２は１〜３０の整数であることが好ましい。Ａｒ^１及びＡｒ^２は独立して、フェニル、置換フェニル、ナフチル、及び置換ナフチルから選択されることが好ましい。Ｇ^２は、好ましくは化学結合、Ｃ（Ｏ）、Ｓ（Ｏ）_２、Ｃ_１−１５アルキル、ハロＣ_１−１５アルキル、及び（ＣＲ^２０Ｒ^２１−Ａｒ^３）_ｙ２ＣＲ^２０Ｒ^２１から選択される。Ｒ^２０及びＲ^２１の各々は独立して、Ｈ、Ｃ_１−１０アルキル、及びＣ_６−２０アリールから選択されることが好ましい。各Ａｒ^３は独立して、フェニル、置換フェニル、ナフチル、及び置換ナフチルから選択される。

式（５）の好ましいモノマーは、ＥがＯ、Ｎ（Ｒ^１８）、Ｃ（Ｏ）、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、−Ｎ（Ｒ^１８）−Ｃ（Ｏ）−Ｎ（Ｒ^１８）−、Ｃ_６−２０アリール、置換Ｃ_６−２０アリール、及び−Ｏ−Ｇ^１−Ｏ−、ならびに式（６）〜（８）のモノマーから選択されるものであり、

式中、各Ａ^１は独立して、化学結合、−ＣＨ_２−、Ｏ、及び−Ｃ（Ｏ）Ｏ−から選択され、Ａｒ^４は、Ｃ_６−１０アリール及び置換Ｃ_６−１０アリールから選択され、ｔ１＝１〜２であり、

式中、各Ａ^２は独立して、化学結合、−ＣＨ_２−、Ｏ、及び−Ｃ（Ｏ）Ｏ−から選択され、各Ａｒ^５は、Ｃ_６−１０アリール及び置換Ｃ_６−１０アリールから選択され、Ｇ^３は、化学結合、Ｏ、Ｓ、Ｓ（Ｏ）_２、Ｃ（Ｏ）、Ｃ_１−１０アルキル、ハロ置換Ｃ_１−１０アルキル、及び（ＣＲ^２２Ｒ^２３−Ａｒ^５）_ｙ３ＣＲ^２２Ｒ^２３から選択され、Ｒ^２２及びＲ^２３の各々は独立して、Ｈ、Ｃ_１−１０アルキル、及びＣ_６−２０アリールから選択され、Ａｒ^５は独立して、Ｃ_６−２０アリール及び置換Ｃ_６−２０アリールから選択され、ｙ３は１〜５０の整数であり、ｔ２＝１〜２であり、ｔ３＝１〜２であり、

式中、各Ａ^３は独立して、化学結合、−ＣＨ_２−、Ｏ、及び−Ｃ（Ｏ）Ｏ−から選択され、Ｇ^４は、Ｃ_１−２０アルキル、ヒドロキシＣ_１−２０アルキル、Ｃ_２−２０アルケニル、（Ｃ_２−６アルキレンオキシ）_ｙ４、Ｃ_６−２０アリール−置換Ｃ_１−２０アルキル、及びヘテロ原子含有Ｃ_２−２０アルケニルであり、ｙ４は、１〜５０の整数であり、ｔ４＝１〜３であり、式中、Ｒ^１６及びＧ^１は上述の通りである。Ａｒ^４は、好ましくはフェニル、置換フェニル、ナフチル、置換ナフチル、ならびにより好ましくはフェニル及びナフチルである。各Ａｒ^５は、好ましくは独立して、フェニル、置換フェニル、ナフチル、置換ナフチル、ならびにより好ましくはフェニル及びナフチルから選択される。好ましくは、Ｇ^３は、化学結合、Ｏ、Ｓ（Ｏ）_２、Ｃ（Ｏ）、−ＣＨ_２−、−Ｃ（ＣＨ_３）_２−、−Ｃ（ＣＦ_３）_２−、及び（ＣＲ^２２Ｒ^２３−Ａｒ^５）_ｙ３ＣＲ^２２Ｒ^２３から選択される。好ましくは、Ｒ^２２及びＲ^２３の各々は独立して、Ｈ、Ｃ_１−１０アルキル、フェニル、置換フェニル、ナフチル、及び置換ナフチルから選択される。各Ａｒ^５は独立して、フェニル、置換フェニル、ナフチル、及び置換ナフチルから選択されることが好ましい。Ｇ^４は、Ｃ_１−１６アルキル、ヒドロキシＣ_１−１６アルキル、Ｃ_２−１６アルケニル、（Ｃ_２−４アルキレンオキシ）_ｙ４、Ｃ_６−２０アリール−置換Ｃ_１−１６アルキル、及び酸素含有Ｃ_２−１６アルケニルであることが好ましい。

式（５）の例示的な第２モノマーとしては、ジアリルエーテル；ジアリルスルフィド；ジアリルジスルフィド；ジアリルアミン；トリアリルアミン；ジアリルメチルアミン；ジアリルエチルアミン；ジアリルプロピルアミン；Ｎ，Ｎ−ジアリルアニリン；ジアリルケトン；ジアリルカーボネート；Ｎ，Ｎ’−ジアリル尿素；ジアリルスルホン；ｏ−、ｍ−、及びｐ−ジアリルベンゼン；１，３，５−トリアリルベンゼン；ジアリルアニソール；ジアリルナフタレン；１，５−ジアリルナフタレン−２，６−ジオール；４，４’−ジアリルオキシビフェニル及び２，２’−ジアリルオキシビフェニルなどのジアリルオキシビフェニル；ビスフェノールＡジアリルエーテル；ビスフェノールＳジアリルエーテル；ビスフェノールＦジアリルエーテル；ビスフェノールＡＦジアリルエーテル；１，２−ジアリルオキシナフタレン、１，５−ジアリルオキシナフタレン、１，８−ジアリルオキシナフタレン、２，７−ジアリルオキシナフタレン及び２，３−ジアリルオキシナフタレンなどのジアリルオキシナフタレン；ジアリルオキシビナフタレン；１，３−ジアリルオキシベンゼン；１，２−ジアリルオキシベンゼン；１，４−ジアリルオキシベンゼン；１，３，５−トリアリルオキシベンゼン；１，２，３−トリアリルオキシベンゼン；１，２，４−トリアリルオキシベンゼン；１，３−ジアリルオキシ−５−ヒドロキシベンゼン；トリメチロールプロパンジアリルエーテル；トリメチロールプロパントリアリルエーテル；ペンタエリスリトールジアリルエーテル；ペンタエリスリトールトリアリルエーテル；ペンタエリスリトールテトラアリルエーテル；２，２−ジメチルプロパン−１−３−ジアリルエーテル；エチレングリコールジアリルエーテル；ジエチレングリコールジアリルエーテル；プロピレングリコールジアリルエーテル；ジプロピレングリコールジアリルエーテル；トリプロピレングリコールジアリルエーテル；１，４−ブタンジアリルエーテル；ジアリルフタレート；ジアリルイソフタレート；ジアリルテレフタレート；トリアリルトリメサート；ジアリルシュウ酸；ジアリルマロン酸；ジアリルコハク酸；ジアリルマレイン酸；ジアリルグルタル酸；ジアリルアジピン酸；ジアリルｈｅｘ−３−エンジカルボキシレート（ｅｎｄｉｃａｒｂｏｘｙｌａｔｅ）；ジアリルチオフェンジカルボキシレート；ジアリルフランジカルボキシレート；ジアリルビピリジンジカルボキシレート；ジアリルピリジンジカルボキシレート；２，５−ビス（（アリルオキシ）メチル）テトラヒドロフラン；及び９，９−ビス（（アリルオキシ）メチル）フルオレンが挙げられるが、これらに限定されない。

本発明において、第２モノマーとして有用な化合物は、一般的に市販されているか、または当業界で既知の様々な方法によって調製され得る。例えば、無水フタル酸または無水コハク酸などのカルボン酸無水物は、アリル臭化マグネシウムの２つの等価物と好適な溶媒中で反応し、ジアリルフタレート及びジアリルコハク酸などの対応するジアリルエステルをそれぞれ供給し得る。

本アリールシクロブテンポリマーは、随意に、重合単位として、１つ以上のジエンまたは親ジエン部分を含む１つ以上の第３モノマーを、さらに含み得る。かかる第３モノマーは、第１及び第２モノマーと異なる。１つの親ジエン部分を含む第３モノマーは、成長するアリールシクロブテンポリマー鎖をキャップするために使用され得、かかる第３モノマーの非存在下で調製されるアリールシクロブテンポリマーに対する分子量を効果的に低減する。２つ以上の親ジエン部分を含む第３モノマーは、アリールシクロブテンポリマーに他の性質を加えるために使用され得る。かかる第３モノマーの選択は、当業者の能力の範囲内である。

アリールシクロブテン第１モノマーの合計のモルと、本ポリマーを形成するために使用される第２モノマーの合計のモルとの比率は、９９：１〜１：９９、好ましくは９９：１〜５０：５０、及びより好ましくは９０：１０〜６０：４０で変化し得る。随意の第３モノマーは、本アリールシクロブテンポリマーを形成するために使用されるモノマーの合計のモルに基づいて、０〜４０モル％、好ましくは０〜３０モル％、及びより好ましくは１〜１５モル％の量で使用され得る。典型的に、本アリールシクロブテンポリマーは、１，０００〜５０，０００ＡＭＵ、及び好ましくは１，５００〜３５，０００ＡＭＵ、ならびにより好ましくは２，５００〜２５，０００の重量平均分子量（Ｍ_ｗ）を有する。

本発明のアリールシクロブテンポリマーは、米国特許第４，８１２，５８８号、同第５，１３６，０６９号、同第５，１３８，０８１号、及び国際特許出願第ＷＯ９４／２５９０３号に記載されるものなどの、任意の好適な手段によって調製され得る。一般的に、本ポリマーは、本アリールシクロブテン第１モノマー及び１つ以上の第２モノマー、ならびにあらゆる随意の第３モノマーのうちの１つ以上を、典型的には好適な溶媒中で、使用される特定のモノマー（複数可）の重合開始温度まで加熱することによって調製される。理論によって制約されることを望むものではないが、これらのモノマーは、ディールスアルダー付加環化によって重合するために、重合を起こすのに触媒開始剤または硬化剤は必要でないと考えられる。典型的に、これらのモノマーの重合は、≧１５０℃、好ましくは≧１７０℃の温度で開始するが、より低い温度またはより高い温度が、選択された特定のモノマー（複数可）に応じて使用され得る。本モノマーが重合を起こす温度は、シクロブテン環上の任意の置換基によって影響を受ける。一般的に、シクロブテン環が非置換であるときは、重合は≧１７０℃で開始する。シクロブテン環上の電子供与性置換基または電子求引性置換基は、一般的に重合開始温度を下げる。好適な重合溶媒は、１つ以上のモノマーを溶解し、モノマーの重合温度を超える沸騰点を有する任意の有機溶媒である。例示的な有機溶媒としては、アミド及びスルホンなどの極性非プロトン性溶媒が挙げられる。重合時間は、典型的に１〜６０時間である。ある特定の用途について、オリゴマーの段階で重合を止めることが望ましい場合がある。本発明の１つ以上のモノマーで構成される、かかるオリゴマーは、二量体、トリマー、四量体等で主に構成され得、次いでさらに重合され得る。本明細書において使用する場合、「本発明のモノマー」及び「本モノマー」という用語は、本明細書に記載される個別の化合物、ならびに次いでさらに重合されるそれらの二量体、トリマー、及び四量体を含むことが意図される。本ポリマーは、そのままで使用され得るか、または水もしくはメタノールなどの非溶媒を添加して溶液からポリマーを沈殿させ、その後、有機溶媒を除去することにより単離され得る。

本ポリマーの組成物は、本発明の１つ以上のアリールシクロブテンポリマー及び１つ以上の有機溶媒を典型的に含む。好適な有機溶媒は、本ポリマーが可溶のものである。特に有用な有機溶媒は、アリールシクロブテンポリマーの製造または形成に有用な任意の溶媒である。例示的な有機溶媒としては、トルエン、キシレン、及びメシチレンなどの芳香族炭化水素；２−メチル−１−ブタノール、４−メチル−２−ペンタノール、及びメチルイソブチルカルビノールなどのアルコール；乳酸エチル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メチル２−ヒドロキシイソブチレート、メチル３−メトキシプロピオネート、及び３−メトキシ−１−ブチルアセテートなどのエステル；ガンマ−ブチロラクトンなどのラクトン；Ｎ−メチルピロリジノンなどのラクタム；プロピレングリコールメチルエーテル及びジプロピレングリコールジメチルエーテル異性体（ＴｈｅＤｏｗＣｈｅｍｉｃａｌＣｏｍｐａｎｙからＰ_{ＲＯＧＬＹＤＥ}（商標）ＤＭＭとして市販されている）などのエーテル；シクロヘキサノン及びメチルシクロヘキサノンなどのケトン；ならびにこれらの混合物が挙げられるが、これらに限定されない。

本架橋性組成物に有用な好適な随意の添加剤としては、硬化剤、界面活性剤、本モノマーとは異なる二次架橋剤、非架橋モノマー、無機充填剤、有機充填剤、可塑剤、接着促進剤、金属不動態化材料等の各々のうちの１つ以上、及び前述のもののうちの任意のものの組み合わせが挙げられるが、これらに限定されない。好適な界面活性剤は、当業者に周知であり、非イオン界面活性剤が好ましい。かかる界面活性剤は、０〜１０ｇ／Ｌ、好ましくは０〜５ｇ／Ｌの量で存在し得る。任意の好適な無機充填剤が、随意に本組成物に使用され得、当業者に周知である。例示的な無機充填剤としては、シリカ、炭化ケイ素、窒化ケイ素、アルミナ、炭化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ジルコニア等、及びこれらの混合物が挙げられるが、これらに限定されない。無機充填剤は、粉末、ロッド、球体の形態、または任意の他の好適な形状であり得る。かかる無機充填剤は、任意の好適な寸法を有し得る。無機充填剤は、組成物の合計重量に基づいて、０〜８０重量％の量で使用され得る。本発明のモノマーとは異なる任意の架橋モノマーが架橋剤として使用され得るが、但し、これらが、本組成物を硬化させるのに使用される条件の下、組成物中のアリールシクロブテンポリマーと架橋することを条件とする。好適な架橋剤としては、ポリアミン、ポリチオール、エポキシ樹脂、及び（メタ）アクリレート含有架橋剤が挙げられるが、これらに限定されない。かかる架橋剤の選択は、当業者の能力の範囲内である。かかる架橋剤は、組成物中の重合可能な構成成分の合計重量に基づいて、０〜２０重量％、好ましくは０〜１０重量％の量で典型的に使用される。１つ以上の非架橋モノマーもまた本組成物に添加され得、組成物中の重合可能な構成成分の合計重量に基づいて、０〜２０重量％の量で典型的に存在する。かかる非架橋モノマーは、本組成物中のベンゾシクロブテン系構成成分と重合し得る１つまたは２つの重合可能な部分を含有する。好ましくは、金属不動態化材料は、銅不動態化剤である。好適な銅不動態化剤は、当業界で周知であり、イミダゾール及びベンゾチアゾールを含む。

様々な硬化剤が本組成物に使用され得る。好適な硬化剤は、ベンゾシクロブテン系材料の硬化を助け得、熱または光によって活性化され得る。例示的な硬化剤としては、熱生成開始剤及び光活性化合物（光生成開始剤）が挙げられるが、これらに限定されない。かかる硬化剤の選択は、当業者の能力の範囲内である。好ましい熱生成開始剤は、アゾビスイソブチロニトリル、ジベンゾイルペルオキシド、及びジクミルパーオキサイドなどのフリーラジカル開始剤であるが、これらに限定されない。好ましい光活性硬化剤は、Ｉｒｇａｃｕｒｅの銘柄でＢＡＳＦから入手可なフリーラジカル光開始剤能及びＤＮＱ化合物のスルホン酸エステルを含むジアゾナフトキノン（ＤＮＱ）化合物である。例示的なフリーラジカル光開始剤は、Ｉｒａｃｕｒｅ３７９（２−ジメチルアミノ−２−（４−メチル−ベンジル）−１−（４−モルホリン−４−イル−フェニル）−ブタン−１−ワン）及びＩｒｇａｃｕｒｅ９０７（２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−（４−モルフォリニル）−１−プロパノン）である。好適なＤＮＱ化合物は、ＤＮＱスルホン酸エステル部分などのＤＮＱ部分を有し、本組成物中で光活性化合物として機能する任意の化合物であり、つまりこれらは、適切な放射に露出されると溶解抑制剤として機能する。好適なＤＮＱ化合物は、米国特許第７，１９８，８７８号及び同第８，１４３，３６０号に開示される。光活性化合物の量は、アリールシクロブテンポリマーの合計重量に基づいて、０〜３０重量％に変化する。存在するとき、光活性構成成分は、ベンゾシクロブテン系構成成分の合計重量に基づいて、５〜３０重量％、好ましくは５〜２５重量％、より好ましくは１０〜２５重量％の量で典型的に使用される。

任意の好適な接着促進剤が本組成物に使用され得、かかる接着促進剤の選択は、十分に当業者の能力の範囲内である。好ましい接着促進剤はシラン含有材料、及びより好ましくはトリアルコキシシラン含有材料である。例示的な接着促進剤としては、ビス（トリメトキシシリルエチル）ベンゼンなどのビス（トリアルコキシシリルアルキル）ベンゼン；アミノプロピルトリメトキシシラン、アミノプロピルトリエトキシシラン、トリメトキシシリルプロピルマレインアミド酸、トリエトキシシリルプロピルマレインアミド酸、及びフェニルアミノプロピルトリエトキシシランなどのアミノアルキルトリアルコキシシラン；ならびに他のシランカップリング剤、ひいては前述のものの混合物が挙げられるが、これらに限定されない。特に好適な接着促進剤としては、ＤｏｗＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＭａｔｅｒｉａｌｓ（Ｍａｒｌｂｏｒｏｕｇｈ，Ｍａｓｓａｃｈｕｓｅｔｔｓ）から入手可能な、ＡＰ３０００、ＡＰ８０００、及びＡＰ９０００Ｓが挙げられる。本架橋性組成物は、組成物の合計重量に基づいて、０〜１５重量％、好ましくは０．５〜１０重量％、より好ましくは１〜１０重量％、さらにより好ましくは２〜１０重量％の接着促進剤を典型的に含有する。

本組成物は、１つ以上の本ポリマーと、１つ以上のオリゴマーと、あらゆる随意の有機溶媒または追加の構成成分とを、任意の順序で合わせることによって調製される。本組成物が光活性化合物などの硬化剤を含有するとき、まず硬化剤を好適な有機溶媒に溶解し、次いで１つ以上の本ポリマーとあらゆる随意の界面活性剤と合わせ、次いであらゆる随意の接着促進剤と合わせることが好ましい。

本組成物のうちの任意のものは、基材上に、改善された引張強度及び伸度を有するアリールシクロブテンポリマーの層を形成する際に有用である。かかるアリールシクロブテンポリマー層は、誘電層、永久接合剤、応力緩衝層等として好適である。本組成物は、任意の好適な方法によって基材上にコーティングされ得る。本組成物を配置するための好適な方法としては、他の方法の中でも、スピンコーティング、カーテンコーティング、スプレーコーティング、ローラーコーティング、浸漬コーティング、蒸着、及び真空積層などの積層が挙げられるが、これらに限定されない。半導体製造産業では、スピンコーティングが、既存の器具及びプロセスを活用するために、好ましい方法である。スピンコーティングでは、組成物の固体分は回転速度と共に調整され得、それが適用される表面上の組成物の所望の厚さを達成する。典型的に、本組成物は４００〜４０００ｒｐｍの回転速度でスピンコーティングされる。ウエハまたは基材上に分配される本組成物の量は、組成物内の合計固体分、結果として得られる層の所望の厚さ、及び当業者に周知の他の要因に依存する。本組成物のフィルムまたは層がスピンコーティングなどによって流延されると、溶媒のほとんど（または全て）がフィルムの堆積中に蒸発する。好ましくは、組成物は、表面上に配置された後、加熱（ベーク）され、残りのいかなる溶媒をも除去する。典型的なベーク温度は９０〜１６０℃であるが、他の温度が好適に使用され得る。残留溶媒を除去するためのかかるベークは、典型的に約２分間行われるが、より長いかまたはより短い時間が好適に使用され得る。アリールシクロブテンオリゴマーは、ある時間加熱することによって典型的に硬化される。好適な硬化温度は、１８０〜２５０℃以上の範囲である。典型的に、硬化時間は１〜６００分間の範囲である。

代替の好ましい方法では、本組成物は、乾燥フィルムとして形成され得、積層により基材の表面上に配置される。真空積層技術を含む様々な好適な積層技術が使用され得、これらは当業者に周知である。乾燥フィルムを形成することにおいて、本組成物は、最初に、ポリエステルシート、好ましくはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シート、またはＫ_{ＡＰＴＯＮ}（商標）ポリイミドなどのポリイミドシートのような、好適なフィルム支持シートの前面に、スロットダイコーティング、グラビア印刷、または別の適切な方法を使用して、コーティングされるなどして配置される。組成物は、次いで好適な温度、例えば９０〜１４０℃で、適切な時間、例えば１〜３０分間ソフトベークされ、いかなる溶媒をも除去する。次いで、ポリエチレンなどのポリマーフィルム被覆シートが、室温で乾燥組成物上にロール積層され、保存及び操作中に組成物を保護する。最初に被覆シートが除去され、基材上に乾燥組成物を配置する。次いで、支持シート上の乾燥組成物は、ロール積層または真空積層を使用して、基材表面に積層される。積層温度は、２０〜１２０℃の範囲であり得る。次いで、支持シートは除去（剥離）され、その表面上に乾燥組成物を残す。

幅広い様々な電子デバイス基材が、本発明において用いられ得る。電子デバイス基材は、任意の電子デバイスの製造における使用のための任意の基材である。例示的な電子デバイス基材としては、半導体ウエハ、ガラス、サファイア、ケイ酸材料、窒化ケイ素材料、炭化ケイ素材料、ディスプレイデバイス基材、エポキシ成形化合物ウエハ、回路基板基材、及び熱安定性ポリマーが挙げられるが、これらに限定されない。本明細書において使用する場合、「半導体ウエハ」という用語は、半導体基材、半導体デバイス、及び単一チップウエハ、複数チップウエハ、様々なレベル用のパッケージ、発光ダイオード（ＬＥＤ）用の基材、またははんだ接続を必要とする他のアセンブリを含む、様々なレベルの相互接続用の様々なパッケージを包含することが意図される。ケイ素ウエハ、ガリウムヒ素ウエハ、及びケイ素ゲルマニウムウエハなどの半導体ウエハは、パターン化されてもパターン化されなくてもよい。本明細書において使用する場合、「半導体基材」という用語は、半導体デバイスの有効または動作可能部分を含む、１つ以上の半導体層または構造を有する、任意の基材を含む。「半導体基材」という用語は、半導体デバイスなどの、半導体材料を含む任意の構成を意味するように定義される。半導体デバイスは、少なくとも１つのマイクロエレクトロニクスデバイスが製作されたかまたはされている、半導体基材を指す。熱安定性ポリマーとしては、ポリイミド（例えば、ＤｕＰｏｎｔ，Ｗｉｌｍｉｎｇｔｏｎ，Ｄｅｌａｗａｒｅから入手可能なＫ_{ＡＰＴＯＮ}（商標）ポリイミド）などの、アリールシクロブテン材料を硬化させるために使用される温度に安定性である任意のポリマーが挙げられるが、これらに限定されない。

接着促進剤を含有しない本発明の組成物が使用されるとき、本組成物でコーティングされる基材の表面は、随意に最初に好適な接着促進剤に接触させられ得るか、または蒸気処理され得る。かかる処理は、本アリールシクロブテンポリマーの基材表面への接着を改善する。スピンコーティング、浸漬コーティング、スプレーコーティング、カーテンコーティング、ロールコーティング、蒸着などの任意の好適な方法が、基材表面を接着促進剤と接触させるために使用され得る。スピンコーティングは、基材表面を接着促進剤と接触させるための、好ましい方法である。任意の好適な接着促進剤が使用され得、かかる接着促進剤の選択は、十分に当業者の能力の範囲内である。好ましい接着促進剤はシラン含有材料、及びより好ましくはトリアルコキシシラン含有材料である。基材表面の前処理に有用な例示的な接着促進剤は、上述のものである。プラズマ処理などの、当業界で既知の様々な蒸気処理は、本発明のアリールシクロブテンポリマーの基材表面への接着を増加させるために使用され得る。ある特定の用途では、表面を本組成物でコーティングする前に、基材表面を処理するために接着促進剤を使用することが好ましい場合がある。

本アリールシクロブテン系ポリマーは、従来のベンゾシクロブテン系ポリマーから調製されたコーティングと比較して改善された引張強度、伸度及び／または低減した残留応力を有するアリールシクロブテン系コーティングの形成する際に有用である。

実施例１：窒素パージした反応容器内で、３−メトキシブチルアセテート（４１ｇ）中の、ベンゾシクロブテンアクリル酸（ＢＣＢ−ＡＡ、１４．６３ｇ、８４．００ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（１２．６６ｇ、３２．４０ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのジアリルフタレート（０．８８７ｇ、３．６０ｍｍｏｌ）との混合物を、２４時間、１７５℃まで加熱した。次いで、温度を１６５℃まで低下させ、少量の試料を周期的に除去し、ポリスチレン標準を使用したゲル浸透クロマトグラフィーによって結果として得られるポリマーのＭ_ｗを測定することによって分子量の増大を監視しながら反応させ続けた。観察したＭ_ｗが４８００〜６５００ＡＭＵになったとき、反応器を８０℃まで冷却し、混合物を熱いまま１μｍのポリプロピレンフィルターを通し濾過して、ポリマー１を得た。

実施例２：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：３−メトキシブチルアセテート（４１ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１４．６３ｇ、８４．００ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（１１．２５ｇ、２８．８０ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのジアリルフタレート（１．７７３ｇ、７．２０ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー２を得た。

実施例３：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：３−メトキシブチルアセテート（４１ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１４．６３ｇ、８４．００ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（９．８４５ｇ、２５．２０ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのジアリルフタレート（２．６６０ｇ、１０．８０ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー３を得た。

実施例４：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：３−メトキシブチルアセテート（５０ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１７．６８ｇ、１０１．５ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（１５．２９ｇ、３９．１５ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのジアリルイソフタレート（１．０７ｇ、４．３５ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー４を得た。

実施例５：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：３−メトキシブチルアセテート（５１ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１８．２９ｇ、１０５ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（１４．０６ｇ、３６ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのジアリルイソフタレート（２．２２ｇ、９．００ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー５を得た。

実施例６：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：３−メトキシブチルアセテート（５０ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１８．２９ｇ、１０５ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（１２．３１ｇ、３１．５ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのジアリルイソフタレート（３．３２ｇ、１３．５ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー６を得た。

実施例７：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：３−メトキシブチルアセテート（５１ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１８．２９ｇ、１０５ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（１５．８２ｇ、４０．５ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしての４，４’−ビス−Ａ−ジフェノール−ジアリルエーテル（１．３８８ｇ、４．５０ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー７を得た。

実施例８：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：３−メトキシブチルアセテート（５０ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１８．２９ｇ、１０５ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（１４．０６ｇ、３６．０ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしての４，４’−ビス−Ａ−ジフェノール−ジアリルエーテル（２．７７６ｇ、９．００ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー８を得た。

実施例９：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：３−メトキシブチルアセテート（５２ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１８．９ｇ、１０８．５ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（１２．７２ｇ、３２．５５ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしての４，４’−ビス−Ａ−ジフェノール−ジアリルエーテル（４．３０２ｇ、１３．９５ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー９を得た。

実施例１０：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：ＰｒｏｇｌｙｄｅＤＭＭ（３６．６ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１２．７２ｇ、７３．０ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（１０．１９ｇ、２６．１ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのトリメチロールプロパンジアリルエーテル（１．０８ｇ、５．０４ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー１０を得た。

実施例１１：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：ＰｒｏｇｌｙｄｅＤＭＭ（３６．０ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１３．２ｇ、７５．８ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（８．５４ｇ、２１．８ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのトリメチロールプロパンジアリルエーテル（２．３７ｇ、１１．０ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー１１を得た。

実施例１２：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：ＰｒｏｇｌｙｄｅＤＭＭ（４０ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１３．８ｇ、７９ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（６．７６ｇ、１７．３ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのトリメチロールプロパンジアリルエーテル（３．７６ｇ、１７．５ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー１２を得た。

実施例１３：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：ＰｒｏｇｌｙｄｅＤＭＭ（３７ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１４．４ｇ、８２．７ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（４．６３ｇ、１１．６ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのトリメチロールプロパンジアリルエーテル（５．２ｇ、２４．４ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー１３を得た。

実施例１４：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：ＰｒｏｇｌｙｄｅＤＭＭ（３６ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１２．６ｇ、７２．６ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（１０．２ｇ、２６．１ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのペンタエリスリトールトリアリルエーテル（１．３６ｇ、５．３ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー１４を得た。

実施例１５：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：ＰｒｏｇｌｙｄｅＤＭＭ（３７ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１３．０ｇ、７４．９ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（８．３５ｇ、２１．４ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのペンタエリスリトールトリアリルエーテル（２．８０ｇ、１０．９ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー１５を得た。

実施例１６：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：ＰｒｏｇｌｙｄｅＤＭＭ（３２ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１３．５ｇ、７７．５ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（６．４７ｇ、１６．６ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのペンタエリスリトールトリアリルエーテル（４．３３ｇ、１６．９ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー１６を得た。

実施例１７：実施例１の手順を、モノマーの量が以下の通りであることを除いて繰り返した：ＰｒｏｇｌｙｄｅＤＭＭ（３６ｇ）中の、ＢＣＢ−ＡＡ（１３．３ｇ、７６．３ｍｍｏｌ）と、第１モノマーとしてのＤＶＳ−ビスＢＣＢ（４．５４ｇ、１１．６ｍｍｏｌ）と、第２モノマーとしてのペンタエリスリトールトリアリルエーテル（５．７１ｇ、２２．３ｍｍｏｌ）とを、前の通りにＢステージ化して、ポリマー１７を得た。

実施例１８：実施例１の手順を、モノマーの量が変化され、第２モノマーが表１に示されるように変化されたことを除いて繰り返し、それは表１に示されるポリマーが得られると予想される。

実施例１９：コーティング組成物を、２．９３０ｇのプロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）中の３．２１６ｇのジアゾナフトキノン（ＤＮＱ）光活性化合物（ＰＡＣ）、１．６０４ｇの３−メトキシブチルアセテート、１．７５５ｇのアニソール、及び０．６２ｇのＤＣＴＬ−７６０４界面活性剤を瓶内のＰＧＭＥＡ溶媒中に溶解させることによって調製した。ＰＡＣは、平均で６５モル％のエステル化フェノールを有する、４，４’−（（２−ヒドロキシフェニル）メチレン）ビス（２，３，６−トリメチルフェノール）の２，１，５−ＤＮＱスルホン酸エステルである。次に、ＰＧＭＥＡ中の、４．６７９ｇの５０重量％溶液Ｎ−５４０エポキシ架橋剤溶液を、接着促進剤として、１２．５０４ｇの実施例１からのポリマー１（３−メトキシブチルアセテート中の４１重量％）及び０．２８８ｇのトリエトキシシリルプロピルマレインアミド酸（ＰＧＭＥＡ中の５０重量％）と共に添加した。瓶を１２時間回転させて、均質な溶液を形成した。消泡後、この溶液を、使用前に０．４５μｍのナイロンフィルターを通して濾過して、コーティング組成物１を得た。

実施例２０：実施例１９の手順を、実施例２及び３からのポリマー２及び３を使用してそれぞれ繰り返して、コーティング組成物２及び３をそれぞれ得た。

比較実施例１：実施例１９の手順を、ポリマー１を比較ポリマー１と置き換えたことを除いて繰り返して、比較コーティング組成物１を得た。比較ポリマー１は、重合単位として、７０：３０のモル比の、ＢＣＢ−ＡＡ及びＤＶＳ−ビス−ＢＣＢのみで構成される、市販されているアリールシクロブテンポリマーである。

実施例２１：コーティング組成物１〜３の各々、及び比較コーティング組成物１を、ＳｉｔｅＴｒａｃＴＴ５−ＸＰコーティング機を使用して、１７３５ｒｐｍで３０秒間、２００ｍｍ最高等級の銅コーティングされたケイ素ウエハ上にスパッタリングし、続いて９０℃で９０秒間、ソフトベークして、溶媒をさらに除去した。各コーティングのフィルム厚は約５．５μｍであった。次いで、コーティングされたウエハを、ＢｌｕｅＭＵｌｔｒａ−Ｔｅｍｐオーブン（ＩＧＦ−６６８０Ｆ−４型）中で、窒素下２５０℃で６０分間固く硬化させた。各コーティングの最終フィルム厚は約５μｍであり、ウエハを１０ｍｍ×９０ｍｍの試料に切断した。ウエハ試料を、過硫酸アンモニウムの１０％溶液に供して、ポリマーフィルムをウエハ試料から剥離させた。フィルムを水で慎重にすすぎ、完全に乾かした。一旦乾燥したら、試料を２５．４ｍｍのゲージ長を有する伸度テンプレート上に、透明テープを使用して取り付けた。伸度測定を、Ｉｎｓｔｒｏｎ３３Ｒ４４６４モデルの計器上で、５ｍｍ／秒のクロスヘッド速度及びＩｎｓｔｒｏｎＢｌｕｅｈｉｌｌ２ソフトウェアを使用して行った。引張強度値を、破断点荷重を元の最小横断面積で除算することによって計算した。各試料の平均引張強度及び伸度％を、本発明の試料と比較試料との間の引張強度及び伸度％の差異と共に表２に報告する。これらの結果から分かるように、本発明のアリールシクロブテンポリマーから形成したフィルムは、従来のアリールシクロブテンポリマーから形成したフィルムと比較して改善した伸度及び引張強度を有する。

Claims

重合単位として、１つ以上のアリールシクロブテン第１モノマーと、２つ以上のアリル部分を有する１つ以上の第２モノマーとを含むポリマーであって、前記１つ以上の第２モノマーがアリールシクロブテン部分を含まず、前記１つ以上の第２モノマーがアリル置換ビスマレイミド誘導体ではない、ポリマー。
前記１つ以上のアリールシクロブテン第１モノマーが、カルボン酸、保護カルボン酸、及びスルホン酸から選択される１つ以上の部分をさらに含む、請求項１に記載のポリマー。
２つの異なるアリールシクロブテン第１モノマーをさらに含む、請求項１に記載のポリマー。
前記アリル部分が、アリルエーテル部分、アリルエステル部分、アリルアミン部分、アリルアミド部分、アリルケトン部分、及びアリルアリール部分から選択される、請求項１に記載のポリマー。
重合単位として、１つ以上のジエンまたは親ジエン部分を含む１つ以上の第３モノマーをさらに含む、請求項１に記載のポリマー。
前記１つ以上のアリールシクロブテン第１モノマーが以下の式を有し、

式中、Ｂ^１はｎ価の連結基であり、Ａｒは多価アリール基であり、シクロブテン環の炭素原子がＡｒの同じ芳香族環上の隣接する炭素原子と結合し、ｍは１以上の整数であり、ｎは１以上の整数であり、Ｒ^１及びＲ^２の各々が独立して、一価の基であり、２つのＲ^１部分が、それらが結合する炭素と一緒になって、カルボニルまたはチオカルボニルを形成し得、２つのＲ^２部分が、それらが結合する炭素と一緒になって、カルボニルまたはチオカルボニルを形成し得る、請求項１に記載のポリマー。
前記１つ以上の第２モノマーが式（５）の化合物から選択され、

式中、各Ｒ^１７は独立して、Ｈ及びＣ_１−３０一価ヒドロカルビル残基から選択され、Ｅは、Ｏ、Ｓ、Ｓ−Ｓ、Ｎ（Ｒ^１８）、Ｃ（Ｏ）、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、−Ｎ（Ｒ^１８）−Ｃ（Ｏ）−、−Ｎ（Ｒ^１８）−Ｃ（Ｏ）−Ｎ（Ｒ^１８）−、Ｓ（Ｏ）_２、Ｃ_６−２０アリール、置換Ｃ_６−２０アリール、及び−Ｏ−Ｇ^１−Ｏ−から選択され、各Ｒ^１８は独立して、Ｈ、Ｃ_１−１２アルキル、Ｃ_２−１２アルケニル、Ｃ_６−１０アリール、及び置換Ｃ_６−１０アリールから選択され、Ｇ^１は、ｎ＋１価の有機残基であり、ｎは１〜５の整数である、請求項１に記載のポリマー。
ｎ＝１〜２である、請求項７に記載のポリマー。
各Ｒ^１７＝Ｈである、請求項７に記載のポリマー。
Ｇ^１は、１〜１００個の炭素原子を有するｎ＋１価の有機残基である、請求項７に記載のポリマー。
Ｇ^１は、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ^１９−Ｃ（Ｏ）−、Ｃ_１−２０アルキル、置換Ｃ_１−２０アルキル、Ｃ_２−２０アルケニル、置換Ｃ_２−２０アルケニル、Ｃ_２−２０アルキニル、置換Ｃ_２−２０アルキニル、（Ｃ_２−８アルキレンオキシ）_ｙ１、Ｃ_６−３０アリール、置換Ｃ_６−３０アリール、及び−Ａｒ^１−Ｇ^２−Ａｒ^２−から選択され、Ｒ^１９は、化学結合、Ｃ_１−２０アルキル、置換Ｃ_１−２０アルキル、Ｃ_２−２０アルケニル、置換Ｃ_２−２０アルケニル、Ｃ_２−２０アルキニル、置換Ｃ_２−２０アルキニル、Ｃ_６−２０アリール、及び置換Ｃ_６−２０アリールから選択され、ｙ１は１〜１００の整数であり、Ａｒ^１及びＡｒ^２は独立して、Ｃ_６−２０アリールまたは置換Ｃ_６−２０アリールであり、Ｇ^２は、化学結合、Ｃ（Ｏ）、Ｓ（Ｏ）_２、Ｃ_１−２０アルキル、置換Ｃ_１−２０アルキル、及び−（ＣＲ^２０Ｒ^２１−Ａｒ^３）_ｙ２ＣＲ^２０Ｒ^２１−から選択され、Ｒ^２０及びＲ^２１の各々は独立して、Ｈ、ＯＨ、Ｃ_１−１０アルキル、Ｃ_１−１０アルコキシ、及びＣ_６−２０アリールから選択され、各Ａｒ^３は独立して、Ｃ_６−２０アリール及び置換Ｃ_６−２０アリールから選択され、ｙ２は１〜５０の整数である、請求項７に記載のポリマー。
請求項１に記載のポリマー及び１つ以上の有機溶媒を含む、組成物。
１つ以上の光活性化合物をさらに含む、請求項１２に記載の組成物。
基材上にフィルムを形成する方法であって、基材を提供することと、前記基材の表面上に請求項１２に記載の組成物の層をコーティングすることと、随意に前記コーティングを乾燥させることと、前記コーティングを硬化させることと、を含む、方法。