JP2017096800A - 充填材の充填量の測定方法、及び充填材の充填量の測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】流路に充填される充填材の充填量を簡便に測定できる充填材の充填量の測定方法、及び測定装置を提供する。【解決手段】充填材２２の充填量の測定方法においては、流路２１の入口２１ａ側と出口２１ｂ側の圧力差を測定し、当該測定結果に基づいて充填材２２の充填量を推定することによって、充填量を取得することができる。以上によって、流路２１に充填される充填材２２の充填量を簡便に測定できる。また、充填量測定装置１００も、同様の作用・効果を得ることができる。【選択図】図１

Description

本発明は、充填材の充填量の測定方法、及び充填材の充填量の測定装置に関する。

従来、充填材が充填された複数の流路を有する容器として、特許文献１に示されるものが知られている。このような容器に対しては、各流路に対して均一に充填材を充填し、又は各流路に対して定められた量の充填材を充填する必要がある。これによって、容器の使用時に所望の特性を得ることができる。

特許５０９７９６３号公報

しかしながら、上述のような容器の複数の流路に充填された充填材の充填量を簡便に推定する方法は従来存在しておらず、充填材の充填量を簡便に推定する方法が要請されていた。そこで、本発明は、流路に充填される充填材の充填量を簡便に測定できる充填材の充填量の測定方法、及び測定装置を提供することを目的とする。

本発明に係る充填材の充填量の測定方法は、充填材が充填された複数の流路を有する容器における充填材の充填量の測定方法であって、流路の入口側と出口側の圧力差を測定する測定工程と、測定工程での測定結果に基づいて流路における充填材の充填量を推定する充填量推定工程と、を備える。

本発明に係る充填材の充填量の測定方法によれば、流路の入口側と出口側の圧力差を測定し、当該測定結果に基づいて充填材の充填量を推定することによって、充填量を取得することができる。以上によって、流路に充填される充填材の充填量を簡便に測定できる。

本発明に係る充填材の充填量の測定方法では、測定工程において、流路の入口側から気体を供給してよい。これによって、簡便に流路の入口側の圧力を高めることができる。

本発明に係る充填材の充填量の測定方法では、測定工程において、流路の圧力差を複数本について同時に測定してよい。これによって、容器の複数の流路における充填材の充填量を効率よく測定することができる。

本発明に係る充填材の充填量の測定方法は、測定工程の前段階において、気体を供給する複数の気体供給部の供給量を調整する供給量調整工程を更に備え、測定工程において、複数の気体供給部から複数の流路のそれぞれの入口側から気体を供給し、複数の気体供給部は、単一の気体供給源に接続されていてよい。供給量調整工程でそれぞれの気体供給部にて供給量の調整を行うことで、複数の流路の充填材の充填量を同時に測定し易くなる。また、単一の気体供給源を用いることで、測定装置の複雑化を抑制し、簡便に充填量を測定することができる。

本発明に係る充填材の充填量の測定方法では、供給量調整工程において、流量測定部を複数の気体供給部に対して着脱することで、複数の気体供給部の供給量の調整を順次行ってよい。このように、複数の気体供給部に対して一対一で流量測定部を設けなくとも、流量測定部を複数の気体供給部に対して着脱して、順次供給量の調整を行うことができる。これにより、流量測定部の数量の増加を抑制して測定装置の複雑化を抑制し、簡便に充填量を測定することができる。

本発明に係る充填材の充填量の測定装置は、充填材が充填された複数の流路を有する容器における充填材の充填量の測定装置であって、流路の入口側と出口側の圧力差を測定する測定部と、測定部での測定結果に基づいて流路における充填材の充填量を推定する充填量推定部と、を備える。

本発明に係る充填材の充填量の測定装置によれば、上述の充填材の充填量の測定装置と同様の作用・効果を得ることができる。

本発明に係る充填材の充填量の測定装置は、複数の流路に対してそれぞれ気体を供給可能であり、且つ、気体の供給量を調整可能な複数の気体供給部と、複数の気体供給部が接続される単一の気体供給源と、を更に備えてよい。それぞれの気体供給部にて供給量の調整を行うことで、複数の流路の充填材の充填量を同時に測定し易くなる。また、単一の気体供給源を用いることで、測定装置の複雑化を抑制し、簡便に充填量を測定することができる。

本発明に係る充填材の充填量の測定装置は、複数の気体供給部に対して着脱可能な流量測定部を更に備えてよい。複数の気体供給部に対して一対一で流量測定部を設けなくとも、流量測定部を複数の気体供給部に対して着脱して、順次供給量の調整を行うことができる。これにより、流量測定部の数量の増加を抑制して測定装置の複雑化を抑制し、簡便に充填量を測定することができる。

本発明によれば、流路に充填される充填材の充填量を簡便に測定できる。

本発明の第１実施形態に係る充填材の充填量の測定方法を実行するための充填量測定装置を示す概略構成図である。 本発明の第２実施形態に係る充填材の充填量の測定方法を実行するための充填量測定装置を示す概略構成図である。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する場合がある。

［第１実施形態］
まず、図１を参照して、第１実施形態に係る充填材の充填量の測定方法を実行するための充填量測定装置について説明する。充填量測定装置１００は、充填材２２が充填された複数の流路２１を有する容器２０における充填材２２の充填量を測定する装置である。本実施形態における測定対象物の容器２０として、多管式の反応器が例示されている。当該反応器は、円筒状の複数（３〜２０００本）の管が互いに平行に配列されており、流路２１を構成する管の内部に充填材２２が充填されている。流路２１は、充填材２２が充填されている充填層Ｅ１と、流路２１の出口側で充填材２２を支持する支持部材２３が充填されているダミー層Ｅ２と、を備えている。充填材２２として、脱水素触媒、水蒸気改質触媒、脱硫触媒、脱硝触媒、燃焼触媒、支持触媒、セラミックボール等が適用される。なお、本実施形態においては、流路２１の紙面上端部が入口２１ａに該当し、紙面下端部が出口２１ｂに該当する。

充填量測定装置１００は、気体供給部５０と、流量測定部５１と、測定部５２と、制御部３０と、表示部３１と、入力部３２と、を備えている。

気体供給部５０は、流路２１に対して入口２１ａ側から気体を供給する。気体供給部５０は、気体供給管１２と、流量調整弁１６と、圧力調整弁１７と、アキュムレータ１８と、ポンプ１９と、気体供給ラインＬ１と、を備えている。気体供給ラインＬ１は、先端側の気体供給管１２と、ポンプ１９とを接続している。流量調整弁１６、圧力調整弁１７、及びアキュムレータ１８は、気体供給ラインＬ１上に設けられている。なお、気体供給部５０が供給する気体として、空気、窒素、アルゴン、ヘリウム、水素、二酸化炭素等を採用してよい。

気体供給管１２は、取付部材１３を介して流路２１の入口２１ａに取り付けられる。取付部材１３は、気密性を確保した状態にて、流路２１の入口２１ａ側の端部に取り付けられるキャップ状の部材である。取付部材１３は、流路２１の入口２１ａ側の端部を覆うように、着脱可能に取り付けられる。気体供給管１２は、取付部材１３の上端部を貫通するように、当該取付部材１３に固定されている。従って、取付部材１３が流路２１の入口２１ａに取り付けられることで、気体供給管１２は、入口２１ａ側が封止された状態の流路２１に対して、気体を供給することができる。なお、以降の説明においては、充填材２２の界面と、取付部材１３とで形成される入口２１ａ側の空間を「空間ＳＰ」と称する。空間ＳＰ内の圧力は、気体供給管１２から気体を供給されるに従って上昇する。気体供給管１２から供給された気体は、流路２１に充填された充填材２２及び支持部材２３を介して、流路２１の出口２１ｂから大気中へ放出される。これにより、所定時間経過後は、空間ＳＰ内は充填材２２の充填量に応じて一定の圧力に保たれる。

流量調整弁１６は、絞り量を調節することによって、気体供給管１２から供給される気体の圧力を調整可能な弁である。圧力調整弁１７は、気体供給管１２から供給される圧力の圧力を調整可能な弁である。アキュムレータ１８は、気体を貯留可能なタンクを有しており、当該タンクに気体を貯めることにより、突発的な圧力変化に対応し、気体の脈動を抑制する機能を有している。ポンプ１９は、気体を圧縮して気体供給ラインＬ１を介して気体供給管１２へ気体を圧送する。なお、ポンプ１９は、制御部３０と電気的に接続されており、制御部３０からの制御信号に基づいて動作する。

流量測定部５１は、気体供給部５０によって供給される気体の流量を測定する。流量測定部５１は、気体供給ラインＬ１を流れる気体の流量を絞る絞り部１５と、絞り部１５の上流側と下流側との差圧を測定する差圧センサ１４と、を備えている。絞り部１５は、例えばオリフィス、マスフローコントローラー等によって構成される。絞り部１５による絞り量と、差圧センサ１４の測定結果に係る差圧の値から、気体供給ラインＬ１の気体の流量を把握することができる。従って、流量測定部５１は、測定結果として差圧センサ１４によって測定された差圧を制御部３０へ送信する。具体的には、差圧センサ１４は、制御部３０と電気的に接続されており、測定結果を制御部３０へ送信する。

測定部５２は、流路２１の入口２１ａ側と出口２１ｂ側の圧力差を測定する。測定部５２は、流路２１の入口２１ａ側の空間ＳＰと、流路２１外の大気圧との差圧を測定する差圧センサ１１を備えている。差圧センサ１１は、取付部材１３の外面に設けられている。差圧センサ１１の計測部は、取付部材１３の壁面を貫通して取付部材１３の内部、すなわち空間ＳＰの圧力を測定できる。ここで、差圧センサ１１は、出口２１ｂ側の圧力を直接測定していないが、出口２１ｂ側は大気圧であるため、入口２１ａ側の外部の大気圧との圧力差を測定すればよい。従って、本実施形態に係る態様も、請求項における「入口側と出口側の圧力差を測定する」ものに含まれる。差圧センサ１１は、例えば、ＭＥＭＳ差圧センサによって構成される。差圧センサ１１は、制御部３０と電気的に接続されており、測定結果を制御部３０へ送信する。

制御部３０は、充填量測定装置１００全体の制御を行う。制御部３０は、差圧センサ１４から出力された測定結果に基づいて、気体供給部５０によって流路２１の入口２１ａ側に供給される気体の流量（「流量Ｑ」と称する）を取得する。また、制御部３０は、差圧センサ１１から出力された測定結果に基づいて、流路２１の入口２１ａ側と出口２１ｂ側の圧力差（「差圧ΔＰ」と称する）を取得する。また、制御部３０は、取得した流量Ｑ及び差圧ΔＰに基づいて、流路２１における充填材２２の充填量を推定する充填量推定部として機能する。

例えば、制御部３０は、Ｃｖ値を演算し、当該演算結果と予め取得しておいたデータに基づいて、充填材２２の充填量を推定してよい。当該データは、充填材２２の充填量と、所定のパラメータ（Ｃｖ値でもよく、Ｃｖ値を変換させた値であってもよい）との関係を示すデータであり、予め実験によって取得しておく。これによって、制御部３０は、取得された測定結果に基づいて演算したＣｖ値（又はＣｖ値を変換させた値）と、予め取得されたデータとを比較することにより、充填材２２の充填量を推定する。なお、Ｃｖ値は、以下の式（１）によって演算できる。なお、本実施形態では、出口２１ｂ側の圧力「Ｐ_２」は、大気圧であるため「１」となる。また、入口２１ａ側の圧力は、差圧センサ１１の出力値であるため、ΔＰと等しくなる。

Ｃｖ＝Ｑ／２９１６ × √［Ｇ（２７３＋ｔ）／ΔＰ（Ｐ_１＋Ｐ_２）］ …（１）

Ｑ：流量
Ｇ：気体の比重
Ｐ：圧力（ΔＰ：差圧、Ｐ_１：入口側の圧力、Ｐ_２：出口側の圧力）
ｔ：温度（℃）

表示部３１は、各種情報を表示する部分である。表示部３１は、例えば、充填材２２の充填量の推定結果を表示してよい。入力部３２は、各種情報を制御部３０へ入力する部分である。入力部３２は、使用者の操作に基づいて、充填量の測定のために必要な条件を制御部３０へ入力してよい。

次に、上述の充填量測定装置１００を用いた充填材２２の充填量の測定方法について説明する。

まず、流路２１の入口２１ａ側と出口２１ｂ側の圧力差を測定する測定工程が実行される。測定工程では、測定対象となる流路２１の入口２１ａ側に、取付部材１３が取り付けられる。次に、気体供給部５０によって、流路２１の入口側から気体を供給する。流量測定部５１は、このときの気体の流量を測定する。気体供給管１２から空間ＳＰ内に供給された気体は、当該空間ＳＰ内の圧力を所定の値まで高めると共に、充填材２２を介して出口２１ｂ側から大気へ放出される。

次に、測定工程での測定結果に基づいて流路２１における充填材２２の充填量を推定する充填量推定工程を実行する。充填量推定工程においては、制御部３０が、流量測定部５１によって得られた気体の流量と、測定部５２によって得られた差圧と、に基づいて、前述のＣｖ値を演算する。制御部３０は、当該Ｃｖ値と予め準備されたデータとを比較することで、充填材２２の充填量を推定する。

以上より、本実施形態に係る充填材２２の充填量の測定方法においては、流路２１の入口２１ａ側と出口２１ｂ側の圧力差を測定し、当該測定結果に基づいて充填材２２の充填量を推定することによって、充填量を取得することができる。以上によって、流路２１に充填される充填材２２の充填量を簡便に測定できる。また、本実施形態に係る充填量測定装置１００も、同様の作用・効果を得ることができる。

本実施形態に係る充填材２２の充填量の測定方法では、測定工程において、流路２１の入口２１ａ側から気体を供給する。これによって、簡便に流路２１の入口２１ａ側の圧力を高めることができる。

［第２実施形態］
図２を参照して、第２実施形態に係る充填材の充填量の測定方法を実行するための充填量測定装置２００について説明する。第２実施形態に係る充填量の測定方法及び充填量測定装置２００は、複数の流路２１の充填材２２の充填量を同時に測定可能な点で、第１実施形態に係る充填材の充填量の測定方法及び充填量測定装置１００と主に異なる。

充填量測定装置２００は、単一の気体供給源６５と、複数の気体供給部６０と、流量測定部６１と、測定部６２と、制御部６３と、を備えている。

気体供給部６０は、気体供給ラインＬ１の下流側の端部に設けられたヘッダ部３３から、複数個分岐している。具体的には、ヘッダ部３３からはＮ＋１個の気体供給部６０が分岐している。各気体供給部６０は、それぞれ流量調整弁Ｖｘ、Ｖ１、Ｖ２…ＶＮを備えている。これにより、各気体供給部６０は、気体の供給量を調整可能に構成されている。なお、ヘッダ部３３より上流側の気体供給ラインＬ１には、第１実施形態と同様な圧力調整弁１７、アキュムレータ１８、及びポンプ１９が設けられている。ポンプ１９は、複数の気体供給部６０が接続される単一の気体供給源６５として機能する。また、流量調整弁Ｖ１、Ｖ２…ＶＮの下流側には、第１実施形態と同様な気体供給管１２及び取付部材１３が設けられている。

各取付部材１３には、測定部６２として、第１実施形態と同様な差圧センサ１１が設けられている。各差圧センサ１１は、制御部６３を構成するデータロガー４０と電気的に接続されている。なお、制御部６３は、測定データを取得するデータロガー４０と、データロガー４０で取得したデータに基づいて各種演算を行う演算部４１と、を備えている。

充填量測定装置２００は、複数の気体供給部６０に対して、一つの流量測定部６１を備えている。流量測定部６１は、第１実施形態と同様な絞り部１５と、差圧センサ１４と、を備えている。流量測定部６１は、各気体供給部６０に対して着脱可能に構成されている。具体的には、流量測定部６１は、各気体供給部６０の流量調整弁Ｖｘ、Ｖ１、Ｖ２…ＶＮのポートＣｘ、Ｃ１、Ｃ２…ＣＮに対し、着脱可能な継手等を備えている。流量測定部６１の差圧センサ１４は、データロガー４０に接続されている。

次に、上述のような充填量測定装置２００を用いた充填材２２の充填量の測定方法について説明する。本実施形態に係る充填材２２の充填量の測定方法は、測定工程の前段階において、気体を供給する複数の気体供給部６０の供給量を調整する供給量調整工程を備えている。なお、本実施形態に係る方法においては、アキュムレータ１８における圧力Ｐ１と、圧力調整弁１７の直後の圧力Ｐ２との差は、圧力調整弁の制御圧力差範囲内である必要がある。また、圧力Ｐ２と、後述の流量調整弁Ｖｘ、Ｖ１、Ｖ２…ＶＮの下流側の圧力Ｐ３（測定部６２の測定値と等しくなる）との差圧をΔＰｖとした場合、ΔＰｖに比して圧力Ｐ３が十分に小さい（ΔＰｖ＞＞Ｐ３）場合、後述の流量の補正が不要となる。

供給量調整工程では、流量測定部６１を取り付けたときの流量の測定結果が、流量調整弁Ｖｘ、Ｖ１、Ｖ２…ＶＮにおいて全て同じ値となるように調整が行われる。具体的に、各取付部材１３が各流路２１から取り外された状態にて、流量測定部６１が、流量調整弁ＶｘのポートＣｘに取り付けられる。そして、所定流量となるように流量調整弁Ｖｘの調整が行われる。なお、このときの他の流量調整弁Ｖ１、Ｖ２…ＶＮは、すべて全閉という状態になっている。

次に、流量測定部６１が、流量調整弁Ｖ１のポートＣ１に取り付けられる。そして、流量調整弁Ｖｘにおける流量と同じ値となるように、流量調整弁Ｖ１の調整が行われる。以降、流量調整弁Ｖ２〜ＶＮの全てについて、順次、流量調整弁Ｖｘにおける流量と同じ値となるように調整が行われる。以上により、流量調整弁Ｖｘ、Ｖ１、Ｖ２…ＶＮからの気体の流量はすべて同じ値となる。

なお、流量調整弁Ｖｘ、Ｖ１、Ｖ２…ＶＮの前後の差圧が、充填材２２の充填量の違いによって生じる差圧よりも十分に大きい場合（ΔＰｖ＞＞Ｐ３が成り立つ）、流量調整弁Ｖｘ、Ｖ１、Ｖ２…ＶＮの開度の調整中に各開度が変動しても、十分に供給源側の圧力が高いことにより、既に調整が行われた流量制御弁の流量はほとんど影響を受けないため、一度調整を行った後の流量調整弁Ｖｘ、Ｖ１、Ｖ２…ＶＮの流量の変動が防止される。なお、ΔＰｖは、Ｐ３の２倍〜１００００倍が好ましく、さらに１０倍〜１０００倍であることが好ましい。

上述のような流量調整弁Ｖｘ、Ｖ１、Ｖ２…ＶＮの調整が完了した後、各流量調整弁Ｖ１、Ｖ２…ＶＮに対応する各差圧センサ１１を流路２１の入口２１ａ側に取付部材１３を介して取り付ける。なお、取付部材１３は、各流路２１に順次取り付けられてもよく、同時にとりつけられてもよい。各差圧センサ１１が、各入口２１ａ側の圧力と出口２１ｂ側の圧力（大気圧）との差圧を測定する測定工程が実行される。

流量調整弁Ｖｎに対応する差圧センサ１１で測定した差圧を「ΔＰｃａｔｎ」と称する。また、各差圧センサ１１で各流路２１の差圧の測定を行う際、流量測定部６１は、流量調整弁ＶｘのポートＣｘに取り付けられる。流量測定部６１は、流量調整弁Ｖｘでの気体の流量を測定することによって、当該流量調整弁Ｖｘと同流量となるように調整された流量調整弁Ｖ１、Ｖ２…ＶＮ全体の監視を行うことができる。

各差圧センサ１１で取得された測定結果は、データロガー４０へ送信され、演算部４１へ送信される。演算部４１は、流量調整弁Ｖｎに対応する差圧センサ１１で測定された差圧ΔＰｃａｔｎに基づいて、Ｃｖ値を演算し、それに基づいて各流路２１における充填材２２の充填量を推定する。なお、ここでの充填量の推定には、具体的な充填量の値を演算することのみならず、具体的な充填量を演算することなく、他の流路２１の充填量と比較して充填量が多いか少ないかの判断をすることも含まれる。

ここで、流路２１の充填材２２の量が増えてきた場合、流量調整弁Ｖ１、Ｖ２…ＶＮの流量は多少変わる。従って、Ｃｖ値を演算するときに、当該点を考慮して流量を補正して演算してもよい。例えば、式（２）に基づいて、流量Ｑを推定してもよい。その後、式（２）に示す補正流量Ｗを式（３）に代入することで、各流量調整弁に対応するＣｖ値を求めてよい。

Ｑｎ＝２９１６Ｃｖｘ／√［Ｇ（２７３＋ｔ）／ΔＰｃａｔｎ（Ｐ_１＋ΔＰｃａｔｎ）］ …（２）

Ｃｖｎ＝Ｑｎ／２９１６ × √［Ｇ（２７３＋ｔ）／ΔＰｃａｔｎ（１＋ΔＰｃａｔｎ）］ …（３）

なお、本実施形態に係る充填量の測定方法では、流路２１が空の状態から、充填材２２が満たされる状態となるまでの途中経過における充填量を測定してもよい。あるいは、流路２１に充填材２２が満たされた状態（あるいは途中の状態でもよい）になったときに取付部材１３を流路２１の入口２１ａに取り付けて測定を行ってもよい。すなわち、本実施形態に係る充填量測定装置２００は、充填作業におけるどの段階であっても充填量を測定することが可能である。

次に、本実施形態に係る充填材の充填量の測定方法及び充填量測定装置２００の作用・効果について説明する。

本実施形態に係る充填材２２の充填量の測定方法は、測定工程の前段階において、気体を供給する複数の気体供給部６０の供給量を調整する供給量調整工程を備えている。また、測定工程において、複数の気体供給部６０から複数の流路２１のそれぞれの入口２１ａ側から気体を供給し、複数の気体供給部６０は、単一の気体供給源６５に接続されている。供給量調整工程でそれぞれの気体供給部６０にて供給量の調整を行うことで、複数の流路２１の充填材２２の充填量を同時に測定し易くなる。また、単一の気体供給源６５を用いることで、充填量測定装置２００の複雑化を抑制し、簡便に充填量を測定することができる。なお、ΔＰｖをＰ３に比して十分に高くしておくことで、各気体供給部６０の流量調整弁Ｖｘ、Ｖ１、Ｖ２…ＶＮの調整時に他の流量調整弁の開度が変動した場合や、流路２１の充填量が変化することで圧力抵抗が変動した場合であっても、各気体供給部６０における気体の供給量の変動を抑制できる。その一方、流路２１の充填量が変化した場合は、差圧センサ１１によって入口２１ａ側と出口２１ｂ側の差圧に十分な変化が生じるため、充填材２２の充填量を測定できる。

本実施形態に係る充填材２２の充填量の測定方法では、供給量調整工程において、流量測定部６１を複数の気体供給部６０に対して着脱することで、複数の気体供給部６０の供給量の調整を順次行っている。このように、複数の気体供給部６０に対して一対一で流量測定部６１を設けなくとも、流量測定部６１を複数の気体供給部６０に対して着脱して、順次供給量の調整を行うことができる。これにより、流量測定部６１の数量の増加を抑制して充填量測定装置２００の複雑化を抑制し、簡便に充填量を測定することができる。

本実施形態に係る充填材２２の充填量の充填量測定装置２００は、複数の流路２１に対してそれぞれ気体を供給可能であり、且つ、気体の供給量を調整可能な複数の気体供給部６０と、複数の気体供給部６０が接続される単一の気体供給源６５と、を備えている。それぞれの気体供給部６０にて供給量の調整を行うことで、複数の流路２１の充填材２２の充填量を同時に測定し易くなる。また、単一の気体供給源６５を用いることで、充填量測定装置２００の複雑化を抑制し、簡便に充填量を測定することができる。

本実施形態に係る充填材２２の充填量の充填量測定装置２００は、複数の気体供給部６０に対して着脱可能な流量測定部６１を更に備えている。複数の気体供給部６０に対して一対一で流量測定部６１を設けなくとも、流量測定部６１を複数の気体供給部６０に対して着脱して、順次供給量の調整を行うことができる。これにより、流量測定部６１の数量の増加を抑制して充填量測定装置２００の複雑化を抑制し、簡便に充填量を測定することができる。

本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態に係る容器の流路は、出口側が大気開放されることで圧力が大気圧となるため、差圧センサは入口側の圧力と大気圧の差圧を測定した。これに代えて、流路の出口側の圧力が大気圧とならない場合を鑑みて、差圧センサが実際に出口側の圧力を測定してもよい。

また、上述の第２実施形態においては、複数の気体供給部に対して一つの着脱可能な流量測定部が設けられていたが、複数の着脱可能な流量測定部を設けてもよい。また、各気体供給部に対して一対一で流量測定部を設けてもよい。

２０…容器、２１…流路、２２…充填材、５０，６０…気体供給部、５１，６１…流量測定部、５２，６２…測定部、３０，６３…制御部（充填量推定部）、６５…気体供給源、１００，２００…充填量測定装置。

Claims (8)

1. 充填材が充填された複数の流路を有する容器における充填材の充填量の測定方法であって、
   前記流路の入口側と出口側の圧力差を測定する測定工程と、
   前記測定工程での測定結果に基づいて前記流路における前記充填材の充填量を推定する充填量推定工程と、を備える充填材の充填量の測定方法。
2. 前記測定工程において、前記流路の入口側から気体を供給する、請求項１に記載の充填材の充填量の測定方法。
3. 前記測定工程において、前記流路の前記圧力差を複数本について同時に測定する請求項１又は２に記載の充填材の充填量の測定方法。
4. 前記測定工程の前段階において、気体を供給する複数の気体供給部の供給量を調整する供給量調整工程を更に備え、
   前記測定工程において、複数の前記気体供給部から複数の前記流路のそれぞれの入口側から気体を供給し、
   複数の前記気体供給部は、単一の気体供給源に接続されている、請求項３に記載の充填材の充填量の測定方法。
5. 前記供給量調整工程において、流量測定部を複数の前記気体供給部に対して着脱することで、複数の前記気体供給部の供給量の調整を順次行う、請求項４に記載の充填材の充填量の測定方法。
6. 充填材が充填された複数の流路を有する容器における充填材の充填量の測定装置であって、
   前記流路の入口側と出口側の圧力差を測定する測定部と、
   前記測定部での測定結果に基づいて前記流路における前記充填材の充填量を推定する充填量推定部と、を備える充填材の充填量の測定装置。
7. 複数の前記流路に対してそれぞれ気体を供給可能であり、且つ、気体の供給量を調整可能な複数の気体供給部と、
   複数の気体供給部が接続される単一の気体供給源と、を更に備える請求項６に記載の充填材の充填量の測定装置。
8. 複数の気体供給部に対して着脱可能な流量測定部を更に備える、請求項６又は７に記載の充填材の充填量の測定装置。

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