JP2017096425A - スピンドル装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(1) 複数のタービン羽根が円周方向に亙って設けられる回転軸と、
該回転軸を収容するハウジングと、
該ハウジングに取り付けられ、気体の供給により、前記ハウジングに対して前記回転軸を非接触で浮上支持する気体軸受と、
を備え、前記複数のタービン羽根に気体が噴出されることにより前記回転軸を回転駆動するスピンドル装置であって、
前記複数のタービン羽根は、前記気体軸受に対して径方向外側に配置され、該気体軸受と軸方向においてオーバーラップすることを特徴とするスピンドル装置。
(2) 前記回転軸に設けられたフランジ部を軸方向に引き付ける磁石をさらに備え、
前記気体軸受は、前記回転軸の内周面、及び前記フランジ部の軸方向側面に向けて気体を吹き付け、
前記回転軸は、前記磁石及び前記気体軸受によって、前記ハウジングに対してラジアル方向及びスラスト方向に支持されることを特徴とする(1)に記載のスピンドル装置。
(3) 前記気体軸受は、軸方向における複数の位置で気体が供給されることを特徴とする(1)または(2)に記載のスピンドル装置。
また、複数のタービン羽根は、気体軸受に対して径方向外側に配置されるので、タービン外径を大きくすることができ、タービントルクが増加して塗装スピードを上げることができる。
図1及び図2に示すように、本実施形態のスピンドル装置10は、静電塗装機用に利用されるエアタービン駆動方式のスピンドル装置である。スピンドル装置10は、複数のタービン羽根11が円周方向に亙って設けられる回転軸12と、回転軸12を収容するハウジング20と、気体軸受40及び磁石50によって構成され、回転軸12をハウジング20に対してラジアル方向及びスラスト方向に支持するラジアル軸受及びスラスト軸受と、を備える。
複数のタービン羽根11は、円筒部17の外周面を加工することで形成されている。
したがって、磁石50の磁力により、フランジ部16が後方に引き寄せられる。一方、気体軸受40は、フランジ部16の後側面(軸方向側面)に向けて圧縮空気を吹き付けることで反力を生じ、磁石50の引きつける力と、気体軸受40の反力とによって、回転軸12がハウジング20に対してスラスト方向に支持される。
また、前ハウジング21と後ハウジング22には、タービン羽根11にブレーキ用の圧縮空気を供給するための他のタービンエア供給経路28が形成され、さらに、前ハウジング21には、他のタービンエア供給経路28と連通し、径方向に対して円周方向他方側に傾斜して直線状に延びる逆転ノズル29が形成されている。
次に、本発明の第2実施形態のスピンドル装置10について説明する。
本実施形態のスピンドル装置10aでは、気体軸受40aは、第1実施形態の気体軸受40よりも軸方向寸法が長く構成されている。また、気体軸受40aには、軸方向において2箇所の位置で、2つに分岐した軸受エア供給経路24の開口から気体が供給されると共に、軸方向中間部に径方向に貫通する排気孔41を設け、後ハウジング22に形成された軸受エア排出経路32が連通して、外部に気体を排出している。
なお、その他の構成及び作用については、第1実施形態のものと同様である。
例えば、本実施形態では、本発明のスピンドル装置を静電塗装機に利用されるものとして説明したが、これに限定されず、半導体製造装置(ウェーハ外周部面取機)や、機械加工物のエッジバリ取り機にも適用することができる。
11 タービン羽根
12 回転軸
16 フランジ部
20 ハウジング
40 気体軸受
50 磁石
Claims (3)
- 複数のタービン羽根が円周方向に亙って設けられる回転軸と、
該回転軸を収容するハウジングと、
該ハウジングに取り付けられ、気体の供給により、前記ハウジングに対して前記回転軸を非接触で浮上支持する気体軸受と、
を備え、前記複数のタービン羽根に気体が噴出されることにより前記回転軸を回転駆動するスピンドル装置であって、
前記複数のタービン羽根は、前記気体軸受に対して径方向外側に配置され、該気体軸受と軸方向においてオーバーラップすることを特徴とするスピンドル装置。 - 前記回転軸に設けられたフランジ部を軸方向に引き付ける磁石をさらに備え、
前記気体軸受は、前記回転軸の内周面、及び前記フランジ部の軸方向側面に向けて気体を吹き付け、
前記回転軸は、前記磁石及び前記気体軸受によって、前記ハウジングに対してラジアル方向及びスラスト方向に支持されることを特徴とする請求項1に記載のスピンドル装置。 - 前記気体軸受は、軸方向における複数の位置で気体が供給されることを特徴とする請求項1または2に記載のスピンドル装置。
Priority Applications (5)
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PCT/JP2016/084975 WO2017090729A1 (ja) | 2015-11-25 | 2016-11-25 | スピンドル装置 |
CN201680079905.XA CN108496018A (zh) | 2015-11-25 | 2016-11-25 | 主轴装置 |
US15/778,328 US20180345304A1 (en) | 2015-11-25 | 2016-11-25 | Spindle device |
EP16868672.3A EP3382223A4 (en) | 2015-11-25 | 2016-11-25 | Spindle device |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2015229995A JP6613846B2 (ja) | 2015-11-25 | 2015-11-25 | スピンドル装置 |
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JP6613846B2 JP6613846B2 (ja) | 2019-12-04 |
Family
ID=58817591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015229995A Active JP6613846B2 (ja) | 2015-11-25 | 2015-11-25 | スピンドル装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6613846B2 (ja) |
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2015
- 2015-11-25 JP JP2015229995A patent/JP6613846B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
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JP6613846B2 (ja) | 2019-12-04 |
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