JP2021011836A - スピンドル装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(1) 複数のタービン羽根が円周方向に亙って設けられ、前端部に搭載物を取り付け可能な回転軸と、
該回転軸を収容するハウジングと、
該ハウジングに取り付けられ、気体の供給により前記ハウジングに対して前記回転軸を非接触で浮上支持するラジアル軸受と、
前記ハウジングに取り付けられ、気体の供給により前記ハウジングに対して前記回転軸をスラスト方向に非接触で支持するスラスト軸受と、
を備え、
前記複数のタービン羽根に気体が噴出されることにより前記回転軸を回転駆動するスピンドル装置であって、
前記搭載物の重心から前記ラジアル軸受の軸方向中心までの距離は、前記スラスト軸受の最外径より小さい、スピンドル装置。
(2) 前記回転軸は、該回転軸の後端部に前記回転軸から径方向外方に延設されたフランジ部を備え、
前記スラスト軸受は、前記フランジ部の一方の側面に対向して前記フランジ部に軸方向の吸引力を作用させる磁石、及び前記フランジ部の前記一方の側面に対向するように前記ハウジングに取り付けられ、気体の供給により前記フランジ部に向けて圧縮空気を吹き付ける気体軸受を備える、(1)に記載のスピンドル装置。
(3) 前記ラジアル軸受は、多孔質絞り方式の気体軸受である、(1)又は(2)に記載のスピンドル装置。
(4) 前記ラジアル軸受は、軸方向寸法(L)と内径(D)との比が、0.5≦L/D≦1.5となるように構成される、(1)〜(3)のいずれかに記載のスピンドル装置。
(5) 前記スラスト軸受を構成する気体軸受は、自成絞り方式である、(1)〜(4)のいずれかに記載のスピンドル装置。
(6) 前記ハウジングは、比重が4.0以下であり、前記ラジアル軸受及び前記スラスト軸受を構成する気体軸受を締め代を持って嵌合させる、(1)〜(5)のいずれかに記載のスピンドル装置。
なお、ラジアル軸受の軸方向中心とは、ラジアル軸受として機能(ラジアル方向の荷重を支持)している範囲の出力側端面と反出力側端面の軸方向中心を意味する。
なお、前蓋部32も、ハウジング本体31の前端面に不図示のボルトによって締結固定される。
なお、ラジアル軸受20は、グラファイトで形成される多孔質絞り方式の気体軸受によって構成されている。多孔質部材を用いた気体軸受は、剛性を確保しやすく、したがって、気体の流量が少ない場合であっても十分な剛性を確保することができる。
また、ラジアル軸受20は、単一の部材に限定されず、必要に応じて複数個に分割して配置されていてもよい。
また、気体軸受のみで回転軸12を支持する場合は、フランジ部16の両側から気体を吹き付ける必要があるため、スピンドル装置10の軸方向長さが長くなるが、磁石50を用いた場合は、フランジ部16の2つの側面のうち一方の側面に気体の吹き付けと磁石50による引きつけとを行うので、スピンドル装置10の軸方向長さを短くできる。
このような設定は、回転軸12の軸方向長さを短くすることで与えられ、スピンドル装置10が小型、軽量化される。従って、スピンドル装置10が搭載されるロボットを軽量化することができ、省エネルギー、省電力に寄与する。さらに、回転軸12の軸方向長さが短くなることで、塗装経路が短縮され、塗装色の色換え時などにおける塗料廃棄量が削減されて省資源と共に、環境問題に寄与する。
例えば、本実施形態では、本発明のスピンドル装置10を静電塗装機に利用されるものとして説明したが、これに限定されず、半導体製造装置(ウェーハ外周部面取機)や、機械加工物のエッジバリ取り機にも適用することができる。
10 スピンドル装置
11 タービン羽根
12 回転軸
16 フランジ部
16a 前側面(フランジ部の一方の側面)
20 ラジアル軸受
21 スラスト軸受
21A 気体軸受
21B 磁気軸受
30 ハウジング
50 磁石
C ラジアル軸受の軸方向中心
D ラジアル軸受の内径
G 搭載物の重心
L ラジアル軸受の軸方向寸法
L1 搭載物の重心からラジアル軸受の軸方向中心までの距離
L2 スラスト軸受の最外径
Claims (6)
- 複数のタービン羽根が円周方向に亙って設けられ、前端部に搭載物を取り付け可能な回転軸と、
該回転軸を収容するハウジングと、
該ハウジングに取り付けられ、気体の供給により前記ハウジングに対して前記回転軸を非接触で浮上支持するラジアル軸受と、
前記ハウジングに取り付けられ、気体の供給により前記ハウジングに対して前記回転軸をスラスト方向に非接触で支持するスラスト軸受と、
を備え、
前記複数のタービン羽根に気体が噴出されることにより前記回転軸を回転駆動するスピンドル装置であって、
前記搭載物の重心から前記ラジアル軸受の軸方向中心までの距離は、前記スラスト軸受の最外径より小さい、スピンドル装置。 - 前記回転軸は、該回転軸の後端部に前記回転軸から径方向外方に延設されたフランジ部を備え、
前記スラスト軸受は、前記フランジ部の一方の側面に対向して前記フランジ部に軸方向の吸引力を作用させる磁石、及び前記フランジ部の前記一方の側面に対向するように前記ハウジングに取り付けられ、気体の供給により前記フランジ部に向けて圧縮空気を吹き付ける気体軸受を備える、請求項1に記載のスピンドル装置。 - 前記ラジアル軸受は、多孔質絞り方式の気体軸受である、請求項1又は2に記載のスピンドル装置。
- 前記ラジアル軸受は、軸方向寸法(L)と内径(D)との比が、0.5≦L/D≦1.5となるように構成される、請求項1〜3のいずれか1項に記載のスピンドル装置。
- 前記スラスト軸受を構成する気体軸受は、自成絞り方式である、請求項1〜4のいずれか1項に記載のスピンドル装置。
- 前記ハウジングは、比重が4.0以下であり、前記ラジアル軸受及び前記スラスト軸受を構成する気体軸受を締め代を持って嵌合させる、請求項1〜5のいずれか1項に記載のスピンドル装置。
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