JP2017094527A - 液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】記録幅の長さによらず、複数の吐出ヘッドチップを同一面に配列された液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体を吐出するためのノズルが配列された吐出ヘッドチップと、吐出ヘッドチップが接着剤によって接着された基材１と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法は、吐出ヘッドチップを保持するための保持面と、保持面と平行、且つ保持面からの高さ方向の距離が同じである、基準形成面７および基準突き当て面８と、を備えるフィンガー５によって、第１の吐出ヘッドチップ９を保持して、その第１の吐出ヘッドチップを、基材に対して、接着材３を介して基材から隙間を空けて接着するとともに、基準形成面で第１の基準部１０を形成する基準形成工程と、フィンガーによって、第２の吐出ヘッドチップ１１を保持して、その第２の吐出ヘッドチップを、基材に対して、基準突き当て面が第１の基準部に触れた高さで接着する基準突き当て接着工程と、を有する。【選択図】図５

Description

本発明は、液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッドに関し、詳しくは、複数の吐出ヘッドチップを配列してより長尺の吐出ヘッドを作成する際の位置決め技術に関するものである。

この種の液体吐出ヘッドの一例として、液体としてのインクを吐出するためのノズルを所定数配列した吐出ヘッドチップを、複数個配列して全体として長い記録幅（ノズル配列幅）の記録ヘッドを実現する構成が知られている。このような吐出ヘッドチップを複数個配列して構成される、より長い記録幅の記録ヘッドでは、それぞれの吐出ヘッドチップの位置決め精度によっては、例えば、インクの着弾位置ずれなどの問題が生じるおそれがある。

これに対し、特許文献１には、吐出ヘッドチップを、そのノズル面が下向きとなる姿勢で位置決めステージ上に配列し、吐出ヘッドチップの上記ノズル面の高さを揃えた状態で、吐出ヘッドチップを保持するための基材と接着する構成が記載されている。

特開２００８-９４０００号公報

しかしながら、特許文献１に記載の構成では、それぞれの吐出ヘッドチップは、位置決めステージの平面度に応じた傾きを持ってしまう。特に、比較的記録幅が長い記録ヘッドの製造においては、位置決めステージを大きくする必要あり、この場合は、位置決めステージの平面度の精度の低下に伴って、それぞれの吐出ヘッドチップが、許容範囲を超えた傾きを有して接着されるといった問題が生じる。

本発明は、記録幅の長さによらず、複数の吐出ヘッドチップを同一面に配列することを可能とする液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために本発明は、液体を吐出するためのノズルが配列された吐出ヘッドチップと、前記吐出ヘッドチップが表面に配された接着材を介して接着された基材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記吐出ヘッドチップを保持するための保持面と、前記保持面と平行、且つ前記保持面からの高さ方向の距離が同じである、基準形成面および基準突き当て面と、を備えるフィンガーによって、第１の吐出ヘッドチップを保持して、当該第１の吐出ヘッドチップを、前記基材に対して、接着材を介して前記基材の前記表面から隙間を空けて接着するとともに、前記基準形成面で基準部を形成する基準形成工程と、前記フィンガーによって、第２の吐出ヘッドチップを保持して、当該第２の吐出ヘッドチップを、前記基材に対して、前記基準突き当て面が前記基準部に触れた位置で接着する基準突き当て接着工程と、を有することを特徴とする。

以上の構成によれば、記録幅の長さによらず、複数の吐出ヘッドチップが同一面に配列された液体吐出ヘッドを提供することが可能となる。

（ａ）および（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係るフィンガーについて、通常の使用時のフィンガーを上下反転させて示す概略斜視図および断面図である。 （ａ）および（ｂ）は、接着材を塗布した後に得られる基材の概略斜視図および概略正面図である。 （ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、第１実施形態に係る基準形成工程を説明する、概略斜視図、概略正面図、および基準形成工程で得られる記録ヘッドを示す概略斜視図である。 第１実施形態に係る、吐出ヘッドチップの接着層を得るための他の手法を説明する概略正面図である。 （ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、第１実施形態に係る吐出ヘッドチップの基準突き当て接着工程を説明する、概略斜視図、概略正面図および基準突き当て接着工程で得られる記録ヘッドを示す概略斜視図である。 第１の実施形態に係る製造方法によって得られる記録ヘッドの概略斜視図である。 （ａ）および（ｂ）は、本発明の第２実施形態に係る、使用時のフィンガーを上下反転させて示す概略斜視図、およびＢ−Ｂ線の断面を示す概略正面図である。 （ａ）および（ｂ）は、第２実施形態に係る、接着材塗布後に得られる基材の概略斜視図、および記録ヘッドの概略斜視図である。 （ａ）および（ｂ）は、本発明の第３実施形態に係る、接着材塗布後に得られる基材の概略斜視図、および記録ヘッドの概略斜視図である。 本発明の第４実施形態で用いる基材の概略斜視図である。 （ａ）および（ｂ）は、本発明の第５実施形態に係る、接着材塗布後に得られる基材の概略斜視図、および記録ヘッドの概略斜視図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。

（第１実施形態）
本発明の第１の実施形態は、液体吐出ヘッドしての記録ヘッドにおいて吐出ヘッドチップを保持するための基材に塗布した接着材を硬化させて形成した基準を用いて、吐出ヘッドチップをインライン状に配置する形態に関するものである。

先ず、本実施形態の製造工程で使用するフィンガーについて説明する。図１（ａ）は、通常の使用時のフィンガーを上下反転させて示す概略斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ線の断面図である。

フィンガー５は、吐出ヘッドチップを吸着するため吸着穴が形成された吸着面（保持面）６と、吸着面６からの深さ（高さ方向）方向の距離ｄが同じで、且つ互いの面が平行である基準形成面７および基準突き当て面８と、を有する。ここで、吸着面６からの深さ方向の「距離ｄが同じ」とは、後述するように形成される基準部の上面の任意の点をＡとしたときに、Ａ点に対向する基準形成面７内のＢ点、および基準突き当て面８内のＣ点と、吸着面６の任意の点との距離の差がそれぞれ２５μｍ以下の範囲を含む場合を言う。また、「互いの面が平行」とは、上記基準部上面の領域に対向する、基準形成面７と基準突き当て面８のそれぞれの領域において、面の傾きの差が２５μｍ以下の範囲を含む場合を言う。以下の説明においても同様である。

基準形成面７と基準突き当て面８の位置関係は、インク供給口２の列（図２参照）と平行な仮想線ａ（図１）を引いた場合に、基材１（図２参照）の短手方向において、基準形成面７と基準突き当て面８同士が少なくとも一部重複する位置に配置されているものである。基準形成面７には、離型処理が施されている。離型処理の種類は、基準に使用する接着材との相性と、耐熱性を考慮して任意に選択できるが、本実施形態ではフッ素コーティングを施している。

次に、本実施形態の吐出ヘッドの製造工程について説明する。

先ず、接着材塗布工程について説明する。図２（ａ）は、本実施形態に係る接着材を塗布した後に得られる基材の概略斜視図であり、図２（ｂ）は同概略正面図である。基材１には、長手方向に一直線状に形成された、吐出ヘッドチップ（不図示）にインクを供給するための３つのインク供給口２が設けられている。基材１に３つの吐出ヘッドチップを配列するのに対応して３つのインク供給口２が設けられている。なお、配列される吐出ヘッドチップの数はこれに限定されないことはもちろんである。基材１の材料としては、絶縁性、熱伝導性、機械的強度を有するアルミナ材料や、フィラーを充填して線膨張係数を抑えた樹脂材料を用いることができる。基材１には、吐出ヘッドチップ９を接着するための接着材３と、後述される基準形成工程で基準部となる接着材４が塗布されている。

接着材４は、インク供給口２列に対して平行、且つ、インク供給口ピッチと同じピッチで塗布されている。ここで述べているインク供給口に対して平行且つ、インク供給口ピッチと略同じピッチとは、接着材４が基準部となったときに、総ての基準部上面がフィンガー５の基準形成面７および基準突き当て面８の領域内に含まれる程度のずれは許容される範囲を言う。

接着材３は、インク供給口２の開口周囲に塗布される。接着材３の塗布高さｈ１は以下の式を満たす。すなわち、基材に接着された後の吐出ヘッドチップと基材との間の接着層の厚さをｅ、基材１の高さ方向の反り量と平面度を合せてΔＳ、吐出ヘッドチップの厚み公差をΔｔ、フィンガー５の傾きをΔｈとしたときに、ｈ１＞ｅ＋ΔＳ＋Δｔ＋（Δｈ×ｎ）の条件を満たすものである。ここで、ｎは接着する吐出ヘッドチップ数である。本実施形態では、ｈ１＝０．２ｍｍとしている。接着材３の種類は、接着材の硬化機能と、必要な塗布高さとから任意に選択できるが、本実施形態では、熱硬化型接着材を用いている。接着材４の塗布高さｈ２は、吐出ヘッドチップの厚さをｔ、上述したフィンガー５の吸着面６と、基準形成面７および基準突き当て面８との距離をｄとしたときに、ｈ２＞ｈ１−ｔ−ｄの条件を満たすものである。本実施形態では、ｈ２＝０．２ｍｍとした。接着材４の種類は、接着材の硬化機能と、必要な塗布高さと、硬化後の硬度とを考慮して選択できるが、本実施形態では、接着材３と同じ熱硬化型接着材を選定した。

次に、基準形成工程について説明する。図３（ａ）は、基準形成工程を説明する概略斜視図であり、図３（ｂ）は、同概略正面図である。また、図３（ｃ）は、この最初の基準形成工程の結果を示す概略斜視図である。

フィンガー５の吸着面６で吸着した、最初に接着される（第１の）吐出ヘッドチップ９を、接着材３を介して、基材１から任意の隙間ｅを空けて加熱接着する。同時にフィンガー５の基準形成面７で接着材４を潰しながら加熱して第１の基準部１０を形成する。基準部１０の上面の高さｈ３は、接着材３および接着材４の硬化収縮量の差を小さくするために、第１の吐出ヘッドチップの接着層の厚さｅと同じとしている（ｈ３≒ｅ）。すなわち、フィンガー５の吸着面６と、基準形成面７および基準突き当て面８との距離ｄを吐出ヘッドチップの厚さｔと同じにしている（ｄ≒ｔ）。ここで、ｈ３≒ｅとは、±５０μｍのずれを許容するものである。また、ｄ≒ｔとは、±５０μｍのずれを許容するものである。フィンガー５の加熱温度と加熱時間は、使用する接着材３および接着材４の種類に応じて適宜設定する必要があるが、本実施形態では、加熱温度１５０℃、加熱時間６０ｓとした。

なお、吐出ヘッドチップ９は、所定数のノズル（不図示）を配列し、それぞれのノズルに対応して設けられ、ノズルの開口に通じる圧力室およびこの圧力室に設けられた発熱素子、共通インク室から供給口２を介して供給されるインクを圧力室に供給する流路など、を備える。

第１の吐出ヘッドチップ９の接着層の厚さ（隙間の高さ）ｅは、一般的なレーザー変位計（不図示）を用いて基材１の高さを測定し、実装装置の制御部（不図示）でフィンガー５の高さを制御して得ることができる。他の手法として、図４に示すように、接着層ｅの厚さ分の段差を持つブロック２０で、予め、第１の吐出ヘッドチップ接着用の基準部２１を形成しておく。そして、フィンガー５の基準突き当て面８が、基準２１に接した高さで吐出ヘッドチップ９を加熱接着することによっても、吐出ヘッドチップ９の接着層の厚さｅを得ることができる。基準２１の材料は、他の基準部と同様に任意に選定できるが、総ての基準部を同じ材料で形成することが好ましい。この手法によれば、基材１の高さを測定するためのレーザー変位計が不要になるので、装置コストを抑えることができる。

また、第１の基準部１０の位置は、記録ヘッド内の他の工程で邪魔にならない任意の位置を選択できるが、フィンガー５の加工精度を不要に悪化させないために、隣接する吐出ヘッドチップの配設される方向における中間に配置することが好ましい。

最後に、基準突き当て接着工程について説明する。図５（ａ）は、本実施形態の第２の吐出ヘッドチップの基準突き当て接着工程を説明する概略斜視図であり、図５（ｂ）は、同概略正面図である。また、図５（ｃ）は、基準突き当て接着工程後に得られる記録ヘッドの概略斜視図である。

基材１には、上述したようにして、第１の吐出ヘッドチップ９の接着層の厚さｅと同じ高さの基準部１０が形成されている。フィンガー５の吸着面６で吸着した、次に接着される（第２の）吐出ヘッドチップ１１を基材１に対して下降させて行き、図５（ｂ）に示すように、第１の基準部１０に、フィンガー５の基準突き当て面８が触れた位置でフィンガーを停止する。そして、第２の吐出ヘッドチップ１１を加熱接着する。同時に、第１の基準部１０と同様、フィンガー５の基準形成面７で、接着材を押しつぶして第２の基準部１２を形成する。

第１の基準部１０とフィンガー５の基準突き当て面８が触れた高さの検知は、本実施形態では、フィンガーに搭載した圧力センサ（不図示）で行う。高さ測定の他の手法としては、レーザー変位計を用いて基準部１０の高さを測定する方法や、カメラの画像処理機能を用いて基準の高さを測定することが可能である。カメラで画像処理を行う場合、基準部１０の上面に任意のパターンを形成すると検知精度が向上する。

以上の工程を、吐出ヘッドチップの数だけ（図に示す例では３回）繰り返すことによって、図６に示す、総ての吐出ヘッドチップが同一面上に配置された液体吐出ヘッドを得ることができる。すなわち、基材１上に３つの吐出ヘッドチップ９、１１、１４が接着された液体吐出ヘッドが製造される。そして、それぞれの吐出ヘッドチップに配列されたノズルは３つのチップ間で整列された状態となっている。ここで、吐出ヘッドチップ９は、基準部１０の上面を基準として、基材１の表面に対する高さ方向の位置が定められている。また、吐出ヘッドチップ１１は、基準部１０および基準部１２それぞれの上面を基準として、基材１の表面に対する高さ方向の位置が定められている。さらに、吐出ヘッドチップ１４は、基準部１２の上面を基準として、基材１の表面に対する高さ方向の位置が定められている。上述したように、基準部１２は、基準部１０と、この基準部１０を形成した基準形成面７と吸着面６からの距離が同じである基準突き当て面８とが触れた位置で、基準形成面７によって形成されている。この結果、吐出ヘッドチップ９、１１、１４の全体として、同一面（基準部１０、１２の上面）を基準として高さ方向の位置決めがなされていることになる。このように、複数の吐出ヘッドチップに対して、同一面にある別の部材１０、１２によって位置決めを行うことから、複数の吐出ヘッドチップに対して１つの基準部材が対応する場合のような、例えば平面度の精度が低い場合などの位置決め精度の低下を招くことを防止できる。

また、本実施形態によれば、基準部を、接着材を材料とし用い、ある１つの吐出ヘッドチップを基材に接着させる工程において形成するものである。これにより、基準部を形成するための特別の工程を必要としない、簡潔な製造工程とすることができる。

なお、以上のように、総ての吐出ヘッドチップを、高さ方向において同一面に配列することができるが、基材１に対して複数の吐出ヘッドチップ全体が、例えば、基材１の基準部１０、１２がある端部とは反対側に向かう傾きを持つことが考えられる。しかし、例えば、液体吐出ヘッドを液体吐出装置に搭載する前に、吐出装置の位置決め基準に突き当てる部材の高さを調整することによって、上記傾きを解消することができる。

（第２実施形態）
本発明の第２の実施形態は、第１の実施形態ではインライン状に配列した吐出ヘッドチップを、千鳥状に配列する点で異なっている。それに伴い、フィンガーの構成と、基準面形成工程と、基準面突き当て接着工程が異なる。これらの相違点以外は、第１実施形態と同様である。以下では、第１の実施形態と異なる工程についてのみ説明し、その他の工程の説明は省略する。

先ず、本実施形態で使用するフィンガー５について説明する。図７（ａ）は、使用時のフィンガーを上下反転させて示す概略斜視図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）におけるＢ−Ｂ線の断面を示す概略正面図である。

フィンガー５には、吐出ヘッドチップを吸着するため吸着穴が形成された吸着面６と、吸着面６と平行、且つ吸着面６からの深さ方向の距離ｄが同じである、二組の基準形成面７、１６および基準突き当て面８、１７を有する。吸着面６からの深さ方向の距離ｄが同じとは、形成する基準部上面の任意の点をＡ点とした場合に、Ａ点に対向する基準形成面７、１６内のそれぞれＢ点、Ｄ点、基準突き当て面８、１７内のそれぞれＣ点、Ｅ点から吸着面６の任意の点までの距離の差が２５μｍ以下とする。また、互いの面が平行とは、基準上面の領域に対向する、基準形成面７および基準形成面１６と、基準突き当て面８および基準突き当て面１７のそれぞれの領域において、面の傾きの差が２５μｍ以下とする。

基準形成面７と基準突き当て面８の位置関係、および基準形成面１６と基準突き当て面１７の位置関係は、インク供給口の列と平行な仮想線をそれぞれａ、ｂとしたときに、基材１の短手方向において、基準形成面と基準突き当て面が少なくとも一部重複する位置に配置される位置関係である。

次に、本実施形態の製造工程を説明する。

先ず、接着材塗布工程を説明する。図８（ａ）は、本実施形態の接着材塗布後に得られる基材の概略斜視図であり、（ｂ）は、本実施形態に係る記録ヘッドの概略斜視図である。基材１には、吐出ヘッドチップの配置に合せて、インク供給口２が千鳥状に配置されており、基準部となる２つの接着材４が、インク供給口２の長手方向に対して平行、且つ、インク供給口ピッチと同じピッチ、且つ、基材１の短手方向において、インク供給口２の間に塗布されている。ここで述べている平行、且つ同じピッチとは、第１実施形態で上述したものと同じ規定を適用できる。なお、本実施形態におけるインク供給口ピッチとは、インク供給口２の長手方向に隣接するインク供給口２同士のピッチのことである。

次に、基準形成工程および基準突き当て接着工程を説明する。先ず、フィンガー５の吸着面６で吸着した第１の吐出ヘッドチップ９を、接着材３を介して、基材１から任意の隙間ｅを空けて加熱接着する。同時に、フィンガー５の基準形成面７で接着材４を潰しながら加熱して、第１の基準部１０を形成する。次に、フィンガー５の吸着面６で吸着した第２の吐出ヘッドチップ１１を基材１に対して下降させて行き、第１の基準部１０の上面にフィンガー５の基準突き当て面１７が触れた位置で、フィンガーを停止する。そして、第２の吐出ヘッドチップ１１を加熱接着する。同時に、フィンガー５の基準形成面１６によって、第１基準部１０と同様に、第２の基準部１２を形成する。次に、フィンガー５の吸着面６で吸着した第３の吐出ヘッドチップ１４を基材１に対して下降させていき、第２の基準部１２の上面にフィンガー５の基準突き当て面８が触れた位置でフィンガーを停止する。そして、第３の吐出ヘッドチップ１４を加熱接着する。

以上の工程によって得られる記録ヘッドは、千鳥状に配置された吐出ヘッドチップを、高さ方向において同一面に配列することができる。

（第３実施形態）
本発明の第３の実施形態は、第１実施形態と吐出ヘッドの形状が異なり、第１実施形態でインライン状に配列した吐出ヘッドチップを、横並びに配列したものである。

図９（ａ）は、本実施形態の接着材塗布後に得られる基材の概略斜視図であり、図９（ｂ）は、本実施形態に係る記録ヘッドの概略斜視図である。本実施形態によって得られる記録ヘッドは、例えば、ノズル配列方向に関して、３つの吐出ヘッドチップを異なる色のインクを吐出する吐出ヘッドチップとすることができ、それらの吐出ヘッドチップを同一面に配列することができる。なお、フィンガー５の基準形成面７および基準突き当て面８は、基準部を設ける位置（本実施形態では接着材４の位置）に対応させて適宜設けることができる。

（第４実施形態）
本発明の第４の実施形態は、第１実施形態において接着材を硬化して形成した基準部を、基材に配置した樹脂の凸部で形成する点で、第１実施形態と異なる。以下では、第１実施形態と異なる工程についてのみ説明し、その他の工程の説明は省略する。

図１０は、本発明の第４実施形態で用いる基材の概略斜視図である。基材１の材料としては、フィラーを充填して線膨張係数を小さくした樹脂材料を用いる。基材１には、インク供給口２の列に平行、且つ、インク供給口のピッチと同じピッチの、樹脂製の凸部１８、１９が形成されている。凸部１８、１９は、基材１の成形時に形成しても良いし、後から基材に接着してもよい。凸部１８、１９の高さは、第１実施形態の接着材４の塗布高さと同じように規定されている。

次に、基準形成工程について説明する。フィンガー５の吸着面６で吸着した第１の吐出ヘッドチップ９を基材１に対して下降させて行くと、フィンガー５の基準形成面７が第１の凸部１８に触れる。そして、第１の凸部１８を加熱溶融しながらフィンガー５を下降させていき、基材１から所定の隙間ｅを空けて第１の吐出ヘッドチップ９を加熱接着する。第１の吐出ヘッドチップ９を接着した後に、フィンガー５の基準形成面７を冷却して、上記溶融した凸部１８によって基準部１０を形成する。

次に、基準突き当て工程を説明する。フィンガー５の吸着面６で吸着した第２の吐出ヘッドチップ１１を基材１に対して下降させて行くと、フィンガー５の基準形成面７が第２の凸部１９に触れる。そして、第２の凸部１９を加熱溶融しながらフィンガー５を下降させて行き、基準突き当て面８が、第１の基準部１０の上面に触れた位置で、第２の吐出ヘッドチップ１１を加熱接着する。

（第５実施形態）
本発明の第５の実施形態は、第１実施形態において、記録ヘッド内に形成した基準を、記録ヘッド外部に形成する点で、第１実施形態と異なる。それに伴い、接着材４の塗布量の規定の仕方も異なる。これら以外については、第１実施形態と同様である。以下では、第１実施形態と異なる点についてのみ説明し、その他の説明は省略する。

図１１（ａ）は、本実施形態の接着材塗布後の概略斜視図であり、図１１（ｂ）は、本実施形態に係る記録ヘッドの概略斜視図である。本実施形態の記録ヘッドを装着する装置（不図示）内に設けられたプレート１５に接着材４を塗布し、上述したようにフィンガー基準形成面７を用いて記録ヘッドの外部に第１の基準部１０、第２の基準１２を形成する。接着材４の塗布高さｈ４は、プレートの反り量と平面度を合せてΔＳ２としたとき、ｈ４＞ｈ１−ｔ−ｄ＋ΔＳ２で規定される。このように本実施形態の製造方法では記録ヘッドの外部に基準部を形成するので、記録ヘッドの小型化において有利である。

（他の実施形態）
以上の説明において、「２５μｍ以下」といった具体的な数字を用いて高さなどを説明したが、この値は、基材１などの液体吐出ヘッドを構成する部材のサイズが異なれば、それに応じて異なることはもちろんであり、これらの数字に限定されるものではない。すなわち、位置決めにおける傾きなどが吐出性能などの点で、許容できる範囲であれば、「平行」や「同じ」は、その許容範囲を満たす範囲を含むものである。

１ 基材
２ インク供給口
３、４ 接着材
５ フィンガー
６ 吸着面
７、１６ 基準形成面
８、１７ 基準突き当て面
９ 第１の吐出ヘッドチップ
１０ 第１の基準部
１１ 第２の吐出ヘッドチップ
１２ 第２の基準部
１４ 第３の吐出ヘッドチップ
１５ プレート
１８ 第１の凸部
１９ 第２の凸部
２０ ブロック

Claims (11)

1. 液体を吐出するためのノズルが配列された吐出ヘッドチップと、前記吐出ヘッドチップが表面に配された接着材を介して接着された基材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
   前記吐出ヘッドチップを保持するための保持面と、前記保持面と平行、且つ前記保持面からの高さ方向の距離が同じである、基準形成面および基準突き当て面と、を備えるフィンガーによって、第１の吐出ヘッドチップを保持して、当該第１の吐出ヘッドチップを、前記基材に対して、接着材を介して前記基材の前記表面から隙間を空けて接着するとともに、前記基準形成面で基準部を形成する基準形成工程と、
   前記フィンガーによって、第２の吐出ヘッドチップを保持して、当該第２の吐出ヘッドチップを、前記基材に対して、前記基準突き当て面が前記基準部に触れた位置で接着する基準突き当て接着工程と、
   を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
2. 前記基準部が、接着材で形成されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
3. 前記基材の前記表面からの前記基準部の高さが、接着された後の前記基材の表面と前記第１および第２の吐出ヘッドチップとの間の接着材の厚さと同じであることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
4. 前記基準部の材料が、前記第１および第２の吐出ヘッドチップを接着するための接着材と同じである請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
5. 前記基準部が、前記基材に形成された樹脂の凸部からなることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
6. 前記基準部が、前記第１および第２の吐出ヘッドチップの配設される方向における前記第１および第２の吐出ヘッドチップの中間に形成されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
7. 前記第１および第２の吐出ヘッドチップはそれぞれ、前記基材に形成された異なる位置のインク供給口に対応して接着されることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
8. 前記フィンガーは、前記保持面において前記第１および第２の吐出ヘッドチップを吸着することによって保持することを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
9. 基材と、
   液体を吐出するためのノズルが配列された第１および第２の吐出ヘッドチップであって、表面に配された接着材を介して前記基材に接着された前記第１および第２の吐出ヘッドチップと、
   前記第１および第２の吐出ヘッドチップの厚さに応じた基準部と、
   を具えたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
10. 前記基準部が、接着材で形成されていることを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記基材の前記表面からの前記基準部の高さが、前記基材の表面と前記吐出ヘッドチップとの間の接着材の厚さと同じであることを特徴とする請求項９または１０に記載の液体吐出ヘッド。

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