JP2017090945A - 画像処理装置、画像処理方法、計測装置、及びプログラム - Google Patents
画像処理装置、画像処理方法、計測装置、及びプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017090945A JP2017090945A JP2015215408A JP2015215408A JP2017090945A JP 2017090945 A JP2017090945 A JP 2017090945A JP 2015215408 A JP2015215408 A JP 2015215408A JP 2015215408 A JP2015215408 A JP 2015215408A JP 2017090945 A JP2017090945 A JP 2017090945A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- image processing
- edge position
- test object
- correction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 9
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 63
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 34
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 7
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T5/00—Image enhancement or restoration
- G06T5/80—Geometric correction
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T1/00—General purpose image data processing
- G06T1/20—Processor architectures; Processor configuration, e.g. pipelining
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Geometry (AREA)
Abstract
【課題】画像の歪み量の補正に有利な画像処理装置を提供する。【解決手段】所定の視野150により取得された被検物の画像を処理する画像処理装置であって、視野150を分割した複数の領域153の各々に画像の歪みに基づき求められた補正値を保持する補正テーブル152を記憶する記憶部と、画像から被検物のエッジ位置154を算出し、補正テーブル152を用いて算出したエッジ位置154を補正する演算部と、を有し、演算部は、記憶部に記憶された補正テーブル152から、算出したエッジ位置154を含む領域に保持された補正値を読み出して、該補正値により算出したエッジ位置154を補正する。【選択図】図3
Description
本発明は、画像処理装置、画像処理方法、計測装置、及びプログラムに関する。
被検物の画像を取得し、該画像から被検物のエッジ間距離を算出することで被検物の形状を求める装置がある。取得された画像に歪みがある場合、高精度にエッジ間距離を算出することが困難になる。画像の歪みは、例えば、装置に備えられた光学部品(レンズ等)の製造誤差や組立て誤差(偏芯等)により発生しうる。画像の一部分における歪み量を予め求め、その歪み量をもとに画像全体の歪み量を算出して歪みを補正する装置として、多項式を用いる装置(特許文献1)や補間法を用いる装置(特許文献2)がある。
しかしながら、局所的に大きな歪みが発生する場合、特許文献1の装置では、正確に歪み量を算出することが困難になる。一方、特許文献2の装置は、そのような歪みにも対応可能であるものの、補間法による演算負荷が大きくなり、歪み量の算出に膨大な時間が必要となる。
本発明は、例えば、画像の歪み量の補正に有利な画像処理装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、所定の視野により取得された被検物の画像を処理する画像処理装置であって、視野を分割した複数の領域の各々に画像の歪みに基づき求められた補正値を保持する補正テーブルを記憶する記憶部と、画像から被検物のエッジ位置を算出し、補正テーブルを用いて算出したエッジ位置を補正する演算部と、を有し、演算部は、記憶部に記憶された補正テーブルから、算出したエッジ位置を含む領域に保持された補正値を読み出して、該補正値により算出したエッジ位置を補正することを特徴とする。
本発明によれば、例えば、画像の歪み量の補正に有利な画像処理装置を提供することができる。
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は本発明の第1実施形態に係る画像処理装置を適用した計測装置の構成を示す概略図である。計測装置10は、第1照明装置102と、第2照明装置110と、画像取得ユニット120と、画像処理装置130とを有する。以下の図において、上下方向(鉛直方向)にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内に互いに直交するX軸およびY軸を取っている。被検物101は、ステージ134上に載置される。ステージ134は、アクチュエータ133によって駆動可能である。第1照明装置102は、リング状に配置された複数の光源から構成されたリング照明装置であり、被検物101を斜め方向から照明する。第2照明装置110は、同軸照明装置であり、被検物101を垂直方向から照明する。第2照明装置110は、光源111およびレンズ113を有する。光源111には、例えばLEDやランプ、蛍光灯を用いることができる。レンズ113は、光源111から出射した光をコリメートし、画像取得ユニット120に導く。計測装置10は、透過照明装置やドーム照明装置など、任意の照明装置を備えていても良い。
図1は本発明の第1実施形態に係る画像処理装置を適用した計測装置の構成を示す概略図である。計測装置10は、第1照明装置102と、第2照明装置110と、画像取得ユニット120と、画像処理装置130とを有する。以下の図において、上下方向(鉛直方向)にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内に互いに直交するX軸およびY軸を取っている。被検物101は、ステージ134上に載置される。ステージ134は、アクチュエータ133によって駆動可能である。第1照明装置102は、リング状に配置された複数の光源から構成されたリング照明装置であり、被検物101を斜め方向から照明する。第2照明装置110は、同軸照明装置であり、被検物101を垂直方向から照明する。第2照明装置110は、光源111およびレンズ113を有する。光源111には、例えばLEDやランプ、蛍光灯を用いることができる。レンズ113は、光源111から出射した光をコリメートし、画像取得ユニット120に導く。計測装置10は、透過照明装置やドーム照明装置など、任意の照明装置を備えていても良い。
画像取得ユニット120は、光検出器121と、対物レンズ122と、ハーフミラー123とを有する。光検出器121は、被検物101からの像(反射光または散乱光)が結像される(受光する)。光検出器121には例えば、CCDやCMOSを用いることができる。対物レンズ122は、第1のレンズ群122aと第2のレンズ群122bから成り、被検物101の像を光検出器121に結像する。第1のレンズ群122aおよび第2のレンズ群122bは部分的に、あるいは全ての光学素子がミラーから構成されていても良い。ハーフミラー123は、第1のレンズ群122aと第2のレンズ群122bの間に配置される。
被検物101の像が光検出器121に結像されるプロセスは以下の通りである。第1照明装置102は、各光源を個別に制御して任意の方位の斜め方向から被検物101を照明する。第2照明装置110から導入された光は、ハーフミラー123によって部分的に反射され、第1のレンズ群122aによって集光されて被検物101に垂直方向に照明される。ステージ134は、アクチュエータ133によって対物レンズ122の光軸124と平行な方向に駆動可能で、被検物101の表面にピントが合わせられるようになっている。ステージ134は、対物レンズ122の視野よりも大きな被検物を測定するために、光軸124と平行な方向だけでなく、垂直な方向(XY方向)に駆動可能となっていても良い。
被検物101によって反射または散乱された光は、再び対物レンズ122に取り込まれ、ハーフミラー123を透過し、第1のレンズ群122bを介して、被検物101の像が光検出器121に結像される。光検出器121に結像された被検物101の像は、画像処理装置130に転送される。
画像処理装置130は、例えば、PC(コンピュータ)やワークステーションであり、液晶モニタやブラウン管などの表示手段132およびハードディスクやSSDなどの記憶部131や演算部(不図示)を備える。表示手段132は、被検物101の形状情報の算出結果を表示する。記憶部131は、各種のプログラムやデータの記憶と読み出しを行う。各種プログラムには、被検物101の形状を算出するための演算プログラムが含まれる。画像処理装置130(演算部)は、演算プログラムを読み出し、実行する。演算プログラムが実行されると、画像処理装置130は、被検物101の画像からエッジを検出し、さらにエッジの補正をする機能を発揮する。補正方法は、以下に詳述する。
図2は、画像処理装置130が実行する画像の歪みを補正するフローチャートである。図3(A)〜(D)は、被検物101の画像、補正テーブルおよびエッジ座標を示す図である。これら図を用いて画像の歪みの補正方法を説明する。演算プログラムが実行されると、画像処理装置130は、光検出器121で取得した被検物101の画像を読み込む(S101)。図3(A)は、光検出器121の所定の視野150にて結像された画像を示す図である。視野150は、複数の画素151から構成され、被検物101は、視野150内の網掛け部分である。画素151は、光検出器121に受光された光量の情報を保持している。続いて、画像処理装置130は、記憶部131から、図3(B)に示す補正テーブル152を読み出す(S102)。補正テーブル152は、分割された複数の領域153から構成され、それぞれがその領域における歪み補正パラメータ(補正値)を保持している。本実施形態では、領域153の大きさは画素151よりも小さく、画素151の1/2のサイズである。また、領域153は正方形で示されているが、三角形、長方形などのその他の多角形であっても良い。
S103では、画像処理装置130は、画像処理を実行して、網掛けで示した被検物101の画像からサブピクセル精度でエッジ位置を検出する。図3(C)は、被検物101の2辺において、エッジ検出を実行した例を示す。図3(C)に示されるように、エッジ検出によって各画素151について、エッジ座標154が算出される。エッジ検出には、キャニー法やゾーベルフィルターなど、任意のアルゴリズムを用いることができる。
S104では、画像処理装置130は、補正テーブル152における領域153のどこにエッジ座標(エッジ位置)154が含まれるか特定する。図3(D)に示されるように、各エッジ座標154は、領域153のいずれかに含まれる。S105では、画像処理装置130は、各領域153に保持された補正パラメータを用いて、各エッジ座標154を補正する。具体的には、座標値から補正パラメータを加算もしくは減算することで補正される。補間のように負荷の大きな演算を用いないので、短時間で歪みを補正することができる。
なお、補正テーブル152は、事前に歪み量を測定することにより作成される。例えば、既知のパターンを有する格子状やドット状のテストターゲットの画像を取得することにより、測定することができる。
被検物の形状を高精度に測定するためには、エッジ座標を高精度に求めることが必要である。キャニー法など、サブピクセルの精度でエッジを検出する一般的なアルゴリズムの精度は、画素の1/5以下、かつ1/100以上である。歪みの補正の誤差がエッジ検出の精度よりもかなり大きい場合、測定精度は歪みの補正の誤差によって支配されるため、もっと高精度に歪みを補正するべきである。一方、歪み補正の誤差がエッジ検出の精度よりもかなり小さい場合、測定精度はエッジ検出の精度で決まるため、それ以上歪みを補正することは無意味である。
図4は、画像内におけるX方向に対する歪み量のグラフを示す図である。Δxは領域153のx方向のサイズを表す。各領域153は、グラフの曲線上の黒点で示される歪み量を補正パラメータとして保持している。補正の精度は、隣り合う領域153に対応した各歪み量の差分ΔDにより決まり、ΔDが小さいほど精度はよい。領域153のサイズΔxが大きくなるとΔDも大きくなる場合があり、Δxを小さくするとΔDも小さくなる。しかし、Δxが小さくなると、補正テーブルを構成する領域153の数が増え、補正テーブルのデータ量が増加する。Δxを不必要に小さくすると、データ量が増えて記憶部131を圧迫し、演算時間が増加する可能性がある。補正精度および演算時間の2つの要求を両立させるためには、補正テーブル内のΔDの最大値がエッジ検出精度と同程度、すなわち、画素の1/100以上、かつ1/5以下となるようにΔxを決定して、補正テーブルを作成することが望ましい。また、画像内におけるX方向に対する歪み量について説明したが、画像内におけるY方向に対する歪み量についても同様である。
なお、本発明は、多項式フィッティングなど、公知の歪み量補正技術と組み合わせても良い。樽型や糸巻き型の歪みや、レンズの偏心などによって生じるディストーションの非対称成分などは、低次(例えば1次〜5次)の多項式を用いたフィッティングによって、精度よく表される。補正量は、この多項式にエッジ座標を代入して算出される。多項式フィッティングによる補正後も残存する、リップルなどレンズの製造誤差に起因する局所的に変化する歪み量は、上述のように補正テーブルを用いて補正する。多項式フィッティングによって、大域的な歪みは補正されているので、ΔDはその分だけ小さくなり、補正の精度が向上する。このように、本実施形態の画像処理装置は、局所的に大きな歪み量を高精度に短時間で補正することができる。
以上のように、本実施形態によれば、画像の歪み量の補正に有利な画像処理装置を提供することができる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態に係る画像処理装置について説明する。本実施形態に係る画像処理装置は、読み出す補正テーブルが第1実施形態と異なる。図5は、本実施形態に係る画像処理装置が読み出す補正テーブル252を示した図である。補正テーブル252に含まれる領域253は、第1実施形態の補正テーブルに含まれる領域153と異なり、大きさが異なる領域253aおよび領域253bを有する。領域253aは、画素の1/2のサイズであり、領域253bは、画素の3/2のサイズである。
次に、本発明の第2実施形態に係る画像処理装置について説明する。本実施形態に係る画像処理装置は、読み出す補正テーブルが第1実施形態と異なる。図5は、本実施形態に係る画像処理装置が読み出す補正テーブル252を示した図である。補正テーブル252に含まれる領域253は、第1実施形態の補正テーブルに含まれる領域153と異なり、大きさが異なる領域253aおよび領域253bを有する。領域253aは、画素の1/2のサイズであり、領域253bは、画素の3/2のサイズである。
歪みの変化量が小さい箇所では、領域253のサイズΔxを大きくしても、ΔDは補正のために許容される値を超えない。一方、歪みの変化量が大きい箇所では、領域253のサイズΔxを小さくしなければ、補正のために必要なΔDを得ることができない。歪みの変化量は画像内において均一でない場合が多い。そのため、好ましいΔxは、画像内の箇所により異なる。図5は、中心部分において、その周囲より歪みの変化量が小さくなっている場合である。この場合、上記のように領域253bのサイズを大きくしても、測定精度には大きく影響しない。また、一部の領域のサイズを大きくすることで、補正テーブルのデータ量を小さくすることができ、記憶部131を圧迫することがなく、高速に補正を行うことがきる。なお、本実施形態では、領域のサイズを2種類としたが、より多くの種類から構成されていてもよい。このように、本実施形態によっても画像の歪み量の補正に有利な画像処理装置を提供することができる。
なお、上記実施形態における歪み量は、対物レンズ122の歪みにより発生することを想定しているが、その他要因により発生する歪み量であっても対応可能である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
130 画像処理装置
131 記憶部
150 視野
152 補正テーブル
153 領域
154 エッジ座標
131 記憶部
150 視野
152 補正テーブル
153 領域
154 エッジ座標
Claims (8)
- 所定の視野により取得された被検物の画像を処理する画像処理装置であって、
前記視野を分割した複数の領域の各々に前記画像の歪みに基づき求められた補正値を保持する補正テーブルを記憶する記憶部と、
前記画像から前記被検物のエッジ位置を算出し、前記補正テーブルを用いて前記算出したエッジ位置を補正する演算部と、を有し、
前記演算部は、前記記憶部に記憶された前記補正テーブルから、前記算出したエッジ位置を含む前記領域に保持された前記補正値を読み出して、該補正値により前記算出したエッジ位置を補正することを特徴とする画像処理装置。 - 前記複数の領域の大きさは、互いに隣り合う前記領域に保持された前記補正値の差分の最大値が画素の1/100以上、かつ1/5以下となるように決定されることを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。
- 前記複数の領域の大きさは、それぞれ異なることを特徴とする請求項1または2に記載の画像処理装置。
- 前記演算部は、前記補正テーブルに加え、前記算出したエッジ位置に基づき前記画像の補正値を求める多項式を用いて前記算出したエッジ位置を補正することを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の画像処理装置。
- 所定の視野により取得された被検物の画像を処理する画像処理方法であって、
前記画像および、前記視野を分割した複数の領域の各々に前記画像の歪みに基づき求められた補正値を保持する補正テーブルを読み出す工程と、
前記画像から前記被検物のエッジ位置を算出する工程と、
前記読み出した前記補正テーブルから、前記算出したエッジ位置を含む前記領域に保持された前記補正値を読み出して、該補正値により前記算出したエッジ位置を補正する工程と、を有することを特徴とする画像処理方法。 - 被検物の画像から前記被検物のエッジ位置を算出し、算出したエッジ位置から前記被検物のエッジ間距離を求めることで前記被検物の形状を計測する計測装置であって、
請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の画像処理装置または請求項5に記載の画像処理方法を用いて、前記算出したエッジ位置を補正することを特徴とする計測装置。 - コンピュータで実行されることにより、該コンピュータを請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の画像処理装置として機能させることを特徴とするプログラム。
- コンピュータに請求項5に記載の画像処理方法を実行させるためのプログラム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015215408A JP2017090945A (ja) | 2015-11-02 | 2015-11-02 | 画像処理装置、画像処理方法、計測装置、及びプログラム |
US15/332,174 US20170124688A1 (en) | 2015-11-02 | 2016-10-24 | Image processor, image processing method, and measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015215408A JP2017090945A (ja) | 2015-11-02 | 2015-11-02 | 画像処理装置、画像処理方法、計測装置、及びプログラム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017090945A true JP2017090945A (ja) | 2017-05-25 |
Family
ID=58638436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015215408A Pending JP2017090945A (ja) | 2015-11-02 | 2015-11-02 | 画像処理装置、画像処理方法、計測装置、及びプログラム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20170124688A1 (ja) |
JP (1) | JP2017090945A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109886894A (zh) * | 2019-02-26 | 2019-06-14 | 长沙八思量信息技术有限公司 | 激光打标图形校正值的计算方法、装置和计算机可读存储介质 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10233205B4 (de) * | 2002-07-17 | 2006-06-08 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Korrektur von lokalen Loading-Effekten beim Ätzen von Photomasken |
KR100817656B1 (ko) * | 2005-03-15 | 2008-03-31 | 오므론 가부시키가이샤 | 화상 처리 방법, 3차원 위치 계측 방법 및 화상 처리 장치 |
WO2010073360A1 (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-01 | 株式会社アドバンテスト | パターン測定装置及びパターン測定方法 |
JP6576664B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2019-09-18 | 株式会社ミツトヨ | エッジ検出偏り補正値計算方法、エッジ検出偏り補正方法、及びプログラム |
-
2015
- 2015-11-02 JP JP2015215408A patent/JP2017090945A/ja active Pending
-
2016
- 2016-10-24 US US15/332,174 patent/US20170124688A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170124688A1 (en) | 2017-05-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6507653B2 (ja) | 検査装置及び検査装置の制御方法 | |
US8224070B2 (en) | Three-dimensional measuring device | |
JP5055191B2 (ja) | 3次元形状計測方法および装置 | |
JP5016520B2 (ja) | 3次元形状計測方法および装置 | |
WO2018163530A1 (ja) | 3次元形状計測装置、3次元形状計測方法、及びプログラム | |
JP2017110991A (ja) | 計測システム、計測方法、ロボット制御方法、ロボット、ロボットシステムおよびピッキング装置 | |
US10078907B2 (en) | Distance measurement apparatus, distance measurement method, and storage medium | |
WO2012057284A1 (ja) | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム | |
US20190392607A1 (en) | Image processing apparatus, system, image processing method, article manufacturing method, and non-transitory computer-readable storage medium | |
US20190325593A1 (en) | Image processing apparatus, system, method of manufacturing article, image processing method, and non-transitory computer-readable storage medium | |
JP2016191579A (ja) | エッジ検出偏り補正値計算方法、エッジ検出偏り補正方法、及びプログラム | |
JP2011232279A (ja) | 傾き検査装置及び傾き検査方法 | |
JP5956296B2 (ja) | 形状計測装置及び形状計測方法 | |
JP7127046B2 (ja) | モデルベースのピーク選択を使用した3dプロファイル決定のためのシステム及び方法 | |
JP2011075336A (ja) | 3次元形状計測装置、3次元形状計測方法 | |
JP2009031006A (ja) | 外観検査装置及び方法 | |
JP2017049036A (ja) | 画像測定装置及びその制御プログラム | |
JP5136108B2 (ja) | 三次元形状計測方法および三次元形状計測装置 | |
JP2017090945A (ja) | 画像処理装置、画像処理方法、計測装置、及びプログラム | |
JP2012185030A (ja) | 色ムラ判別装置、色ムラ判別方法及び表示装置 | |
JP2006084286A (ja) | 3次元計測方法とその計測装置 | |
US11898838B2 (en) | Adjustment method and measurement method | |
JP2011002401A (ja) | 輝度測定装置における補正係数算出方法および輝度測定装置 | |
JP2020046229A (ja) | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 | |
JP2015169624A (ja) | 計測装置、計測方法及び物品の製造方法 |