JP2017081803A - 多結晶シリコン反応炉 - Google Patents
多結晶シリコン反応炉 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017081803A JP2017081803A JP2015214237A JP2015214237A JP2017081803A JP 2017081803 A JP2017081803 A JP 2017081803A JP 2015214237 A JP2015214237 A JP 2015214237A JP 2015214237 A JP2015214237 A JP 2015214237A JP 2017081803 A JP2017081803 A JP 2017081803A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- bell jar
- guide rod
- polycrystalline silicon
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
Description
このようにして、多結晶シリコン反応炉では、密閉された炉内でシリコン芯棒が通電加熱されることにより、炉内に供給した原料ガスを反応させて、シリコン芯棒の表面に多結晶シリコンを生成する。
また、何度も基台とベルジャとの位置合わせを繰り返すことで、反応炉を密閉するまでの時間が長くなり、炉内の汚染が進行して、生成する多結晶シリコンの汚染を引き起こすおそれがある。さらに、ゆっくり時間をかけてベルジャを下降させることは、作業性が悪く、このように位置合わせに時間がかかることで、操業の低下にも影響を与えることになる。
一方、ベルジャをクレーン等で吊り上げた状態の時間を短くできれば、炉内の汚染を抑制でき、さらにはクレーンからベルジャが落下する等の危険性が低減できる。
また、ガイド棒を基台の受け部よりも半径方向外側位置に設けるとともに、開孔板をベルジャのフランジ部よりも半径方向外側位置に設けており、ガイド棒と開孔板とを多結晶シリコンを生成する炉内から離れた位置に配置しているので、ガイド棒と開孔板とが接触した際に摩耗粉等が発生しても、摩耗粉等を炉内に入りにくくできる。したがって、炉内汚染を抑制でき、生成する多結晶シリコンの品質汚染を低減できる。
基台にガイド棒を取り付けておくことで、ベルジャを下降させて基台上に載置させる際には、ガイド棒に開孔板の貫通孔を挿通させてガイド棒に沿って案内でき、ベルジャを所定の位置に円滑に案内することができる。一方、ベルジャを基台上から撤去して、基台上で多結晶シリコンの解体作業や、シリコン芯棒の組立作業等を行う際には、ガイド棒を必要としないことから、ガイド棒を取り外しておくことで作業スペースを広く確保することができ、作業を円滑に進めることができる。
開孔板をベルジャの下端に設けることで、ベルジャの下降移動時において、ガイド棒と開孔板の貫通孔とを早い段階で挿通させることができ、ガイド棒の長さを短くできる。また、ガイド棒を短くすることで、ベルジャを下降させる際に、ガイド棒と開孔板とが接触する範囲を短くでき、摩耗粉等の発生を低減できる。
開孔板の貫通孔とガイド棒との挿通を縮径部によって円滑に導くことができる。また、貫通孔とガイド棒との挿通開始時の衝突や接触による破損を防止できるとともに、接触時の摩耗粉の発生を防止できる。
ガイド棒を、基台の外縁部の外周側面から半径方向外側に向けて少なくとも10cm以上離れた位置に設置しておくことで、ガイド棒と開孔板との接触時に生じる摩耗粉等が炉内に入ることをさらに防止できる。
比率(D1/d)が1.01より小さいと、ガイド棒が貫通孔(例えば開孔板の上面等)と接触して摩耗しやすくなり、摩耗粉の発生による炉内汚染が生じやすくなる。一方、比率(D1/d)が1.06よりも大きいと、ガイド棒と貫通孔との間のクリアランスが大きくなり、ガイド棒と貫通孔81とを挿通させた状態においても、ベルジャと基台との位置合わせに時間がかかる。
図1は、本発明が適用される多結晶シリコン反応炉を模式的に表した全体図である。この多結晶シリコン反応炉100は、炉底を構成する基台1と、この基台1上に着脱可能に取り付けられた釣鐘形状のベルジャ2とを備え、基台1とベルジャ2とで囲まれた炉内に設けられた複数のシリコン芯棒31を通電加熱することにより、炉内に供給した原料ガスを反応させて、シリコン芯棒31の表面に多結晶シリコンを生成する。
したがって、多結晶シリコン反応炉100では、ベルジャ2を基台1上に載置する際に、基台1に設けられたガイド棒7に、ベルジャ2に設けられた開孔板8の貫通孔81hを通すことで、基台1とベルジャ2との位置合わせを行うことができるとともに、ベルジャ2をガイド棒7に沿って円滑に下降させることができる。
ガイド棒7の先端部71の先端側には、ガイド棒7の上側に向かうにつれて縮径する縮径部71aが設けられており、開孔板8の貫通孔81hにガイド棒7を挿通する際に、ガイド棒7の先端の縮径部71aによって、貫通孔81hとガイド棒7との挿通を円滑に導くことができる。また、縮径部71aによって、貫通孔81hとガイド棒7との挿通開始時の衝突や接触による破損を防止できるとともに、接触時の摩耗粉の発生を抑制できる。
さらに、多結晶シリコン反応炉100では、ガイド棒7を、受け部11の外周側面から半径方向外側に向けて少なくとも10cm以上離れた位置に設置していることから、ガイド棒7と開孔板8との接触時に生じる摩耗粉等の炉内に入り込みを確実に防止できる。
また、本実施形態では、ガイド棒7を金属製としたが、金属以外の材料を用いることもできる。例えば、樹脂製のガイド棒としてもよい。また、金属製のガイド棒の場合には、表面を樹脂によりコーティングあるいは樹脂製カバー等で覆った構成としてもよい。このような構成にすることで、ガイド棒を貫通孔に挿通する際の接触による摩耗を防止でき、摩耗粉の発生を低減できる。
11 受け部
14 下側孔部
2 ベルジャ
21 フランジ部
24 上側孔部
61 締結部
62 ボルト
63 ナット
7 ガイド棒
71 先端部
71a 縮径部
72 円筒部
73 接続部
8 開孔板
81 緩衝リング部材
81h 貫通孔
82 ベース板部
82h 開口孔
91 支持軸部
92,93 アーム部
95 ナット
100 多結晶シリコン反応炉
Claims (6)
- 炉底を構成する基台と、
該基台上に着脱可能に取り付けられているベルジャとを備える多結晶シリコン反応炉であって、
前記基台の外周部に設けられた受け部と、
前記ベルジャの下端開口縁部に設けられたフランジ部とが、
締結部により固定されており、
前記基台には、前記受け部よりも半径方向外側位置に、上下方向に延びるガイド棒が設けられ、
前記ベルジャには、前記フランジ部よりも半径方向外側位置に、前記ガイド棒が挿通可能な貫通孔を有する開孔板が設けられ、
前記基台の平面視の中心から前記ガイド棒の中心軸までの距離と、前記ベルジャの平面視の中心から前記貫通孔の中心軸までの距離とが同距離に設けられていることを特徴とする多結晶シリコン反応炉。 - 前記ガイド棒は、前記基台に着脱可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の多結晶シリコン反応炉。
- 前記開孔板は、前記ベルジャの下端に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の多結晶シリコン反応炉。
- 前記ガイド棒の先端部に、先端側に向かうにつれて縮径する縮径部が設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の多結晶シリコン反応炉。
- 前記ガイド棒は、前記受け部の外周側面から半径方向外側に向けて少なくとも10cm以上離れた位置に設置されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の多結晶シリコン反応炉。
- 前記ガイド棒の横断面が円形に設けられ、前記貫通孔の横断面が円形に設けられており、前記ガイド棒の外径dと前記貫通孔の内径D1との比率(D1/d)が1.01以上1.06以下に設けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の多結晶シリコン反応炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015214237A JP6582883B2 (ja) | 2015-10-30 | 2015-10-30 | 多結晶シリコン反応炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015214237A JP6582883B2 (ja) | 2015-10-30 | 2015-10-30 | 多結晶シリコン反応炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017081803A true JP2017081803A (ja) | 2017-05-18 |
JP6582883B2 JP6582883B2 (ja) | 2019-10-02 |
Family
ID=58713863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015214237A Active JP6582883B2 (ja) | 2015-10-30 | 2015-10-30 | 多結晶シリコン反応炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6582883B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020255672A1 (ja) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | 株式会社トクヤマ | 棒状体、治具、取り外し方法およびシリコンロッドの製造方法 |
CN113993814A (zh) * | 2019-06-17 | 2022-01-28 | 株式会社德山 | 棒状体、夹具、拆卸方法及硅棒的制造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63133519A (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-06 | Kokusai Electric Co Ltd | インナ−ベルジヤ取付治具 |
JPH09278583A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-10-28 | Sumitomo Sitix Corp | 単結晶製造装置およびこれを使用した単結晶製造方法 |
JP2008027721A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Thermo Riko:Kk | 超高温赤外線熱処理装置 |
-
2015
- 2015-10-30 JP JP2015214237A patent/JP6582883B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63133519A (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-06 | Kokusai Electric Co Ltd | インナ−ベルジヤ取付治具 |
JPH09278583A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-10-28 | Sumitomo Sitix Corp | 単結晶製造装置およびこれを使用した単結晶製造方法 |
JP2008027721A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Thermo Riko:Kk | 超高温赤外線熱処理装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020255672A1 (ja) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | 株式会社トクヤマ | 棒状体、治具、取り外し方法およびシリコンロッドの製造方法 |
CN113993814A (zh) * | 2019-06-17 | 2022-01-28 | 株式会社德山 | 棒状体、夹具、拆卸方法及硅棒的制造方法 |
EP3984954A4 (en) * | 2019-06-17 | 2024-01-24 | Tokuyama Corp | ROD-SHAPED BODY, CLAMPING DEVICE, RELEASE METHOD AND METHOD FOR PRODUCING A SILICON ROD |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6582883B2 (ja) | 2019-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6582883B2 (ja) | 多結晶シリコン反応炉 | |
US9159591B2 (en) | Batch type apparatus for manufacturing semiconductor devices | |
KR101784757B1 (ko) | 코어 배럴의 제조방법 및 코어 배럴 | |
CN103515280A (zh) | 顶针装置、下电极组件及其安装和拆卸方法 | |
CN105390430B (zh) | 一种压环压紧机构 | |
KR102594078B1 (ko) | 원자로 압력 용기 튜브를 라이닝하는 슬리브를 교체하는 방법 및 장치 | |
JP6293768B2 (ja) | 一部を被覆しながら部品を熱化学的に処理する方法、及び対応するマスク | |
US9506122B2 (en) | Blast furnace installation | |
US9847146B2 (en) | Anti-seismic apparatus for control element drive mechanisms | |
JP5109725B2 (ja) | 縦型熱処理装置用基板保持具の支持構造、縦型熱処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
CN209167376U (zh) | 一种快速固定工装 | |
CN219244940U (zh) | 一种减涡装置振动试验工装 | |
JP6180878B2 (ja) | 発電プラントにおける蒸気タービンの内部ケーシング下半吊り上げ用玉掛け装置および内部ケーシング下半吊り上げ方法 | |
KR101862947B1 (ko) | 지그 | |
JP6594035B2 (ja) | 複数分割式ガイドピン及び構造物の据付方法 | |
CN117003098A (zh) | 核电站主设备垂直支承整体吊装装置及吊装方法 | |
JP2012036417A (ja) | 地金除去装置 | |
JP2002257976A (ja) | 炉心スプレイスパージャの取替方法 | |
KR20010067190A (ko) | 웨이퍼 보우트 및 웨이퍼 보우트를 이용한 열 처리 장치 | |
JP5159698B2 (ja) | シュラウドヘッド仮置き装置および同装置の設置方法 | |
JP2007155054A (ja) | マンホール密閉装置の取付治具および取付方法 | |
CN116288266A (zh) | 卧式lpcvd工艺炉和方法 | |
CN104551424A (zh) | 螺旋桨导流筒的组装方法 | |
CN118064971A (zh) | 石墨下环及石墨环 | |
CN115703980A (zh) | 一种可调式内件吊耳及气化炉 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180920 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190729 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190806 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190819 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6582883 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |