JP2017076738A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一つの実施形態によれば、固体撮像装置が提供される。固体撮像装置は、半導体層とマイクロレンズと導電性反射防止膜と低屈折率防止膜とを備える。半導体層には、複数の光電変換素子が設けられる。マイクロレンズは、複数の光電変換素子の各受光面側に設けられる。導電性反射防止膜は、マイクロレンズの表面に設けられ、屈折率がマイクロレンズの屈折率よりも高い。低屈折率反射防止膜は、導電性反射防止膜の表面に設けられ、屈折率が空気の屈折率よりも高く、且つ、マイクロレンズの屈折率よりも低い。
【選択図】図4
Description
Claims (4)
- 複数の光電変換素子が設けられる半導体層と、
前記複数の光電変換素子の各受光面側に設けられるマイクロレンズと、
前記マイクロレンズの表面に設けられ、屈折率が前記マイクロレンズの屈折率よりも高い、導電性反射防止膜と、
前記導電性反射防止膜の表面に設けられ、屈折率が空気の屈折率よりも高く、且つ、前記マイクロレンズの屈折率よりも低い、低屈折率反射防止膜と
を備えることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記導電性反射防止膜は、
膜厚が前記低屈折率反射防止膜の膜厚よりも厚い
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記導電性反射防止膜は、
屈折率が1.6〜2.7の金属酸化膜である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置。 - 前記低屈折率反射防止膜は、
屈折率が1.2〜1.6のシリコン酸化膜である
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の固体撮像装置。
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JP2015204532A JP2017076738A (ja) | 2015-10-16 | 2015-10-16 | 固体撮像装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022181536A1 (ja) * | 2021-02-25 | 2022-09-01 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置及び電子機器 |
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-
2015
- 2015-10-16 JP JP2015204532A patent/JP2017076738A/ja active Pending
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