JP2017069488A - 搬送機構 - Google Patents
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Abstract
Description
3 搬送機構
40 仮置き手段
42 ガイド板
43 第1の位置決めローラー
50 移送手段
51 保持パッド
52 移送部
62 平板
63 第2の位置決めローラー
71 環状フレームの第1の平坦面
72 環状フレームの第2の平坦面
F 環状フレーム
T 粘着テープ
W ウェーハ
WU ウェーハユニット
Claims (1)
- 平行に向かい合った2つの第1の平坦面及び該第1の平坦面に対して直交する方向に向かい合った2つの第2の平坦面の4つの平坦面を外周に有する環状フレームの開口部に粘着テープを介してウェーハを支持して構成されるウェーハユニットを、ウェーハ処理装置間において搬送するための搬送機構であって、
各ウェーハ処理装置内に配設されウェーハユニットを仮置きする仮置き手段と、
該仮置き手段に仮置きされたウェーハユニットを該仮置き手段上から受け取り上面に保持する保持パッド及び該保持パッドを保持してウェーハ処理装置間を移送する移送部からなる移送手段と、を備え、
該仮置き手段は、該環状フレームの該第1の平坦面を含む両端を上面に保持し所定の間隔をもって配設された一対のガイド板と、一対の該ガイド板上に該環状フレームの該第1の平坦面に当接するように対向して配設された複数の第1の位置決めローラーと、を備え、
該保持パッドは、該仮置き手段の一対の該ガイド板の該所定の間隔内に挿入してウェーハユニットを上面で保持する平板と、該平板上に該環状フレームの該第2の平坦面に当接するように対向して配設された複数の第2の位置決めローラーと、を備え、
該仮置き手段から該保持パッドへウェーハユニットを受け渡す際には、該仮置き手段の一対の該ガイド板の間に該保持パッドの該平板が挿入し、該仮置き手段の該第1の位置決めローラー及び該保持パッドの該第2の位置決めローラーによりウェーハユニットの該環状フレームの該第1、第2の平坦面が位置決めされ、
該移送手段によりウェーハ処理装置間をウェーハ1枚毎に搬送することを特徴とする搬送機構。
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