JP2017060912A - Ultraviolet irradiation module, and ultraviolet irradiation device - Google Patents

Ultraviolet irradiation module, and ultraviolet irradiation device Download PDF

Info

Publication number
JP2017060912A
JP2017060912A JP2015187127A JP2015187127A JP2017060912A JP 2017060912 A JP2017060912 A JP 2017060912A JP 2015187127 A JP2015187127 A JP 2015187127A JP 2015187127 A JP2015187127 A JP 2015187127A JP 2017060912 A JP2017060912 A JP 2017060912A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultraviolet irradiation
housing
fins
hole
light emitting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015187127A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6651765B2 (en
Inventor
剛雄 加藤
Takeo Kato
剛雄 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Lighting and Technology Corp
Original Assignee
Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Lighting and Technology Corp filed Critical Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority to JP2015187127A priority Critical patent/JP6651765B2/en
Priority to KR1020160113837A priority patent/KR102527206B1/en
Priority to TW105130085A priority patent/TWI716451B/en
Publication of JP2017060912A publication Critical patent/JP2017060912A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6651765B2 publication Critical patent/JP6651765B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
    • F21V29/50—Cooling arrangements
    • F21V29/70—Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks
    • F21V29/74—Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks with fins or blades
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21K—NON-ELECTRIC LIGHT SOURCES USING LUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING ELECTROCHEMILUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING CHARGES OF COMBUSTIBLE MATERIAL; LIGHT SOURCES USING SEMICONDUCTOR DEVICES AS LIGHT-GENERATING ELEMENTS; LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21K9/00—Light sources using semiconductor devices as light-generating elements, e.g. using light-emitting diodes [LED] or lasers
    • F21K9/20—Light sources comprising attachment means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
    • F21Y2101/00—Point-like light sources

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultraviolet irradiation module whose cooling efficiency can be improved, and an ultraviolet irradiation device.SOLUTION: The ultraviolet irradiation module according to an embodiment comprises: a housing having one end portion opened; a light-emitting section provided inside the housing and close to the opening and having a substrate and a light emitting element provided on a surface at an opening side of the substrate and irradiating an ultraviolet ray; and a heat radiation section being provided inside the housing and at an opposite side to the opening side of the substrate and having a base portion and a plurality of fins provided side-by-side on an end portion at an opposite side to an opening side of the base portion. The housing has a plurality of holes provided side-by-side in a direction in which the plurality of fins is provided side-by-side on a surface in a direction perpendicular to the direction in which the plurality of fins is provided side-by-side. When the surface is viewed in a direction vertical to the surface provided with the plurality of holes, positions of end portions at the opening side of the holes are positioned in the vicinity of a position of the end portion at the opposite side to the opening side of the base portion.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明の実施形態は、紫外線照射モジュール、および紫外線照射装置に関する。   Embodiments described herein relate generally to an ultraviolet irradiation module and an ultraviolet irradiation apparatus.

ワークに塗布された樹脂やインクなどに紫外線を照射することで、硬化、乾燥、改質などが行われている。
紫外線を照射する光源としては、高圧水銀ランプやメタルハライドランプなどが用いられてきた。
近年においては、高圧水銀ランプやメタルハライドランプなどに代えて、紫外線を照射する発光ダイオードが用いられるようになってきている。
発光ダイオードを用いれば、高圧水銀ランプなどと比べて長寿命化、低電力化、小型化などを図ることができる。 Curing, drying, modification, and the like are performed by irradiating the resin or ink applied to the workpiece with ultraviolet rays.
High pressure mercury lamps and metal halide lamps have been used as light sources for irradiating ultraviolet rays.
In recent years, light emitting diodes that irradiate ultraviolet rays have been used in place of high-pressure mercury lamps and metal halide lamps.
If a light emitting diode is used, it is possible to achieve longer life, lower power, and smaller size compared to a high-pressure mercury lamp or the like.

ところが、発光ダイオードは、温度上昇に伴い出力が低下する。また、発光ダイオードは、所定の温度を超えると寿命が短くなる。
そのため、発光ダイオードを用いる場合には、冷却手段が必要となる。
ここで、発光ダイオードの冷却に水冷方式の冷却手段を用いると、付属設備が必要となったり、液漏れ対策が必要となったり、紫外線照射モジュールが大型化したりするという問題がある。 However, the output of the light emitting diode decreases with increasing temperature. Further, the lifetime of the light emitting diode is shortened when a predetermined temperature is exceeded.
Therefore, when using a light emitting diode, a cooling means is required.
Here, when a water-cooling cooling means is used for cooling the light emitting diode, there are problems that additional equipment is required, countermeasures against liquid leakage are required, and the ultraviolet irradiation module is enlarged.

これに対して、発光ダイオードの冷却に空冷方式の冷却手段を用いると、これらの問題を解決することができる。
しかしながら、空冷方式は、水冷方式に比べて冷却効率が低いという問題がある。また、複数の紫外線照射モジュールを備えた紫外線照射装置とする場合には、隣接する紫外線照射モジュールの排気や吸気により冷却効率が低下するおそれがある。
そのため、空冷方式であっても冷却効率を向上させることができる技術の開発が望まれていた。 On the other hand, these problems can be solved by using air-cooling cooling means for cooling the light-emitting diodes.
However, the air cooling method has a problem that the cooling efficiency is lower than that of the water cooling method. In addition, in the case of an ultraviolet irradiation device including a plurality of ultraviolet irradiation modules, there is a possibility that cooling efficiency may be reduced due to exhaust or intake air of adjacent ultraviolet irradiation modules.
Therefore, it has been desired to develop a technology capable of improving the cooling efficiency even with the air cooling method.

実用新案登録３１９４２６９号公報Utility Model Registration No. 3194269

本発明が解決しようとする課題は、冷却効率を向上させることができる紫外線照射モジュール、および紫外線照射装置を提供することである。   The problem to be solved by the present invention is to provide an ultraviolet irradiation module and an ultraviolet irradiation apparatus capable of improving the cooling efficiency.

実施形態に係る紫外線照射モジュールは、一方の端部が開口した筐体と；前記筐体の内部であって前記開口に近接させて設けられ、基板と、前記基板の前記開口側の面に設けられ紫外線を照射する発光素子と、を有する発光部と；前記筐体の内部であって前記基板の前記開口側とは反対側に設けられ、基部と、前記基部の前記開口側とは反対側の端部に並べて設けられた複数のフィンと、を有する放熱部と；を具備している。
前記筐体は、前記複数のフィンが並ぶ方向と直交する方向における面に、前記複数のフィンが並ぶ方向に並べて設けられた複数の孔を有している。
前記孔が設けられた面に対して垂直な方向から前記面を見た場合に、前記孔の前記開口側の端部の位置は、前記基部の前記開口側とは反対側の端部の位置の近傍にある。 The ultraviolet irradiation module according to the embodiment includes a housing having one end opened; provided inside the housing and in proximity to the opening; and provided on a surface of the substrate on the opening side of the substrate A light emitting element that irradiates ultraviolet light; and is provided inside the housing on the side opposite to the opening side of the substrate, and a base part and a side opposite to the opening side of the base part A plurality of fins arranged side by side at the end of the heat dissipating part.
The housing includes a plurality of holes provided in a line in the direction in which the plurality of fins are arranged on a surface in a direction orthogonal to the direction in which the plurality of fins are arranged.
When the surface is viewed from a direction perpendicular to the surface in which the hole is provided, the position of the end of the hole on the opening side is the position of the end of the base opposite to the opening side. In the vicinity.

本発明の実施形態によれば、冷却効率を向上させることができる紫外線照射モジュール、および紫外線照射装置を提供することができる。   According to the embodiment of the present invention, it is possible to provide an ultraviolet irradiation module and an ultraviolet irradiation apparatus that can improve cooling efficiency.

本実施の形態に係る紫外線照射モジュール１を例示するための模式斜視図である。It is a model perspective view for illustrating ultraviolet irradiation module 1 concerning this embodiment. 孔２１を例示するために模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram for illustrating a hole 21; （ａ）、（ｂ）は、紫外線照射装置１００を例示するための模式図である。(A), (b) is a schematic diagram for illustrating the ultraviolet irradiation device 100. （ａ）、（ｂ）は、他の実施形態にかかる紫外線照射装置２００を例示するための模式図である。(A), (b) is a schematic diagram for illustrating the ultraviolet irradiation device 200 concerning other embodiment. 他の実施形態にかかる紫外線照射装置３００を例示するための模式斜視図である。It is a model perspective view for illustrating the ultraviolet irradiation device 300 concerning other embodiments.

実施形態に係る発明は、一方の端部が開口した筐体と；前記筐体の内部であって前記開口に近接させて設けられ、基板と、前記基板の前記開口側の面に設けられ紫外線を照射する発光素子と、を有する発光部と；前記筐体の内部であって前記基板の前記開口側とは反対側に設けられ、基部と、前記基部の前記開口側とは反対側の端部に並べて設けられた複数のフィンと、を有する放熱部と；を具備した紫外線照射モジュールである。
前記筐体は、前記複数のフィンが並ぶ方向と直交する方向における面に、前記複数のフィンが並ぶ方向に並べて設けられた複数の孔を有している。
前記孔が設けられた面に対して垂直な方向から前記面を見た場合に、前記孔の前記開口側の端部の位置は、前記基部の前記開口側とは反対側の端部の位置の近傍にある。
この紫外線照射モジュールによれば、冷却効率を向上させることができる。 The invention according to the embodiment includes a housing having one end opened; provided inside the housing and in proximity to the opening; and provided on a surface of the substrate on the opening side of the substrate. A light emitting element that irradiates the substrate; provided inside the housing and on a side opposite to the opening side of the substrate, and a base and an end of the base opposite to the opening side And a heat radiating section having a plurality of fins arranged side by side.
The housing includes a plurality of holes provided in a line in the direction in which the plurality of fins are arranged on a surface in a direction orthogonal to the direction in which the plurality of fins are arranged.
When the surface is viewed from a direction perpendicular to the surface in which the hole is provided, the position of the end of the hole on the opening side is the position of the end of the base opposite to the opening side. In the vicinity.
According to this ultraviolet irradiation module, the cooling efficiency can be improved.

また、前記孔が設けられた面に対して垂直な方向から前記面を見た場合に、前記孔は、前記フィン同士の間に位置しているようにすることができる。
この様にすれば、孔を通過した気体がフィンとフィンとの間以外に流れるのを抑制することができる。
そのため、冷却効率を向上させることができる。 Moreover, when the said surface is seen from the direction perpendicular | vertical with respect to the surface in which the said hole was provided, the said hole can be made to be located between the said fins.
If it does in this way, it can control that the gas which passed the hole flows other than between a fin and a fin.
Therefore, the cooling efficiency can be improved.

また、実施形態に係る発明は、上記の紫外線照射モジュールを複数具備した紫外線照射装置である。
前記複数の紫外線照射モジュールは、前記複数の孔が並ぶ方向、および、前記複数の孔が並ぶ方向と直交する方向に並べて設けられている。
この紫外線照射装置によれば、隣接する紫外線照射モジュール同士が吸気する気体（紫外線照射モジュール同士の間にある気体）を奪い合うことがなく、排気も干渉しないので、紫外線照射モジュール１の内部を安定して冷却することができる。
そのため、冷却効率の低下を抑制することができる。
また、この紫外線照射装置によれば、紫外線照射モジュール同士の間の距離を短くすることができるので、ワーク上における照度分布の均一化を図ることができる。 Moreover, the invention which concerns on embodiment is an ultraviolet irradiation device provided with two or more said ultraviolet irradiation modules.
The plurality of ultraviolet irradiation modules are provided side by side in a direction in which the plurality of holes are arranged and in a direction orthogonal to the direction in which the plurality of holes are arranged.
According to this ultraviolet irradiation device, the adjacent ultraviolet irradiation modules do not contend for the gas that is sucked in (the gas existing between the ultraviolet irradiation modules) and the exhaust does not interfere, so the inside of the ultraviolet irradiation module 1 is stabilized. Can be cooled.
Therefore, it is possible to suppress a decrease in cooling efficiency.
Moreover, according to this ultraviolet irradiation device, since the distance between the ultraviolet irradiation modules can be shortened, the illuminance distribution on the workpiece can be made uniform.

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図１は、本実施の形態に係る紫外線照射モジュール１を例示するための模式斜視図である。
図１に示すように、紫外線照射モジュール１には、筐体２、発光部３、放熱部４、窓部５、通風装置６、およびコネクタ７が設けられている。 Hereinafter, embodiments will be illustrated with reference to the drawings. In addition, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same component and detailed description is abbreviate | omitted suitably.
FIG. 1 is a schematic perspective view for illustrating an ultraviolet irradiation module 1 according to the present embodiment.
As shown in FIG. 1, the ultraviolet irradiation module 1 is provided with a housing 2, a light emitting unit 3, a heat radiating unit 4, a window unit 5, a ventilation device 6, and a connector 7.

筐体２の外観は、直方体または立方体とすることができる。この様な形態を有する筐体２とすれば、複数の紫外線照射モジュール１を近接させて設けることができる。
筐体２の内部には、空間が設けられている。
筐体２の一方の端部には、開口２ｂが設けられている。筐体２の他方の端部には、天井部２ｃが設けられている。天井部２ｃは、開口２ｂと対峙している。
また、筐体２の側面２ａには、複数の孔２１が設けられている。
なお、孔２１に関する詳細は、後述する。 The appearance of the housing 2 can be a rectangular parallelepiped or a cube. If it is set as the housing | casing 2 which has such a form, the several ultraviolet irradiation module 1 can be provided closely.
A space is provided inside the housing 2.
An opening 2 b is provided at one end of the housing 2. A ceiling portion 2 c is provided at the other end of the housing 2. The ceiling part 2c faces the opening 2b.
A plurality of holes 21 are provided on the side surface 2 a of the housing 2.
Details regarding the hole 21 will be described later.

筐体２の材料には特に限定はないが、熱伝導率の高い材料から形成することが好ましい。
例えば、筐体２の材料は、金属などとすることができる。
熱伝導率の高い材料から筐体２を形成すれば、発光部３において発生した熱を紫外線照射モジュール１の外部に効率よく放出することができる。 The material of the housing 2 is not particularly limited, but is preferably formed from a material having high thermal conductivity.
For example, the material of the housing 2 can be a metal or the like.
If the housing 2 is formed from a material having high thermal conductivity, the heat generated in the light emitting unit 3 can be efficiently released to the outside of the ultraviolet irradiation module 1.

発光部３は、筐体２の内部に設けられている。発光部３は、筐体２の開口２ｂに近接させて設けられている。
発光部３は、基板３１および発光素子３２を有する。
基板３１は、筐体２の内部に設けられている。基板３１は、例えば、筐体２の内部にねじ止めすることができる。
基板３１は、板状を呈している。 The light emitting unit 3 is provided inside the housing 2. The light emitting unit 3 is provided close to the opening 2 b of the housing 2.
The light emitting unit 3 includes a substrate 31 and a light emitting element 32.
The substrate 31 is provided inside the housing 2. The substrate 31 can be screwed to the inside of the housing 2, for example.
The substrate 31 has a plate shape.

基板３１の材料は、放熱に適したものがよい。例えば、基板３１は、酸化アルミニウムや窒化アルミニウムなどの無機材料（セラミックス）、紙フェノールやガラスエポキシなどの有機材料、銅などの金属などから形成することができる。また、基板３１は、金属板の表面を絶縁材料で被覆したものから形成することもできる。なお、金属板の表面を絶縁材料で被覆する場合には、絶縁材料は、有機材料からなるものであってもよいし、無機材料からなるものであってもよい。   The material of the substrate 31 is preferably suitable for heat dissipation. For example, the substrate 31 can be formed of an inorganic material (ceramics) such as aluminum oxide or aluminum nitride, an organic material such as paper phenol or glass epoxy, or a metal such as copper. The substrate 31 can also be formed from a metal plate whose surface is covered with an insulating material. When the surface of the metal plate is covered with an insulating material, the insulating material may be made of an organic material or an inorganic material.

発光素子３２の発熱量が多い場合には、放熱の観点から熱伝導率の高い材料を用いて基板３１を形成することが好ましい。熱伝導率の高い材料としては、例えば、酸化アルミニウムや窒化アルミニウムなどのセラミックス、高熱伝導性樹脂、金属板の表面を絶縁材料で被覆したものなどを例示することができる。
なお、高熱伝導性樹脂は、例えば、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate）やナイロン等の樹脂に、酸化アルミニウム等からなる繊維や粒子を混合させたものとすることができる。 When the light emitting element 32 generates a large amount of heat, it is preferable to form the substrate 31 using a material having high thermal conductivity from the viewpoint of heat dissipation. Examples of the material having a high thermal conductivity include ceramics such as aluminum oxide and aluminum nitride, a high thermal conductive resin, and a metal plate whose surface is covered with an insulating material.
The high thermal conductive resin can be obtained by mixing fibers and particles made of aluminum oxide or the like with a resin such as PET (polyethylene terephthalate) or nylon.

また、基板３１は、単層であってもよいし、多層であってもよい。
また、基板３１の表面には、図示しない配線パターンが設けられている。配線パターンは、例えば、銀合金や銅合金などの金属から形成することができる。 The substrate 31 may be a single layer or a multilayer.
A wiring pattern (not shown) is provided on the surface of the substrate 31. A wiring pattern can be formed from metals, such as a silver alloy and a copper alloy, for example.

発光素子３２は、基板３１の、筐体２の開口２ｂ側（窓部５側）の表面に複数設けられている。
発光素子３２の光の出射面は、筐体２の開口２ｂに向けられており、筐体２の開口２ｂから外部に向けて紫外線を照射できるようになっている。
発光素子３２の数や配設形態は、例示をしたものに限定されるわけではなく、紫外線照射モジュール１の大きさ、形状、用途などに応じて適宜変更することができる。 A plurality of light emitting elements 32 are provided on the surface of the substrate 31 on the opening 2b side (window portion 5 side) of the housing 2.
The light emitting surface of the light emitting element 32 is directed to the opening 2b of the housing 2 so that ultraviolet rays can be emitted from the opening 2b of the housing 2 to the outside.
The number and arrangement of the light emitting elements 32 are not limited to those illustrated, and can be appropriately changed according to the size, shape, application, and the like of the ultraviolet irradiation module 1.

発光素子３２は、紫外線を照射できるものであれば特に限定はない。
発光素子３２は、例えば、発光ダイオード、レーザダイオードなどとすることができる。
発光素子３２は、配線パターンに電気的に接続されている。
発光素子３２は、例えば、ＣＯＢ（Chip On Board）法を用いて配線パターンと電気的に接続することができる。 The light emitting element 32 is not particularly limited as long as it can irradiate ultraviolet rays.
The light emitting element 32 can be, for example, a light emitting diode, a laser diode, or the like.
The light emitting element 32 is electrically connected to the wiring pattern.
The light emitting element 32 can be electrically connected to the wiring pattern using, for example, a COB (Chip On Board) method.

この場合、発光素子３２の下面に設けられた図示しない電極は、銀ペーストなどの導電性の熱硬化材を介して配線パターンと電気的に接続することができる。発光素子３２の上面に設けられた図示しない電極は、配線を介して配線パターンと電気的に接続することができる。
なお、発光素子３２および配線を覆う封止部を設けることができる。封止部は、例えば、紫外線を透過する樹脂から形成することができる。封止部は、例えば、ディスペンサなどを用いて形成することができる。 In this case, an electrode (not shown) provided on the lower surface of the light emitting element 32 can be electrically connected to the wiring pattern via a conductive thermosetting material such as silver paste. An electrode (not shown) provided on the upper surface of the light emitting element 32 can be electrically connected to the wiring pattern through the wiring.
Note that a sealing portion that covers the light emitting element 32 and the wiring can be provided. The sealing portion can be formed from, for example, a resin that transmits ultraviolet light. The sealing portion can be formed using, for example, a dispenser.

また、発光素子３２は、例えば、表面実装型の発光素子とすることができる。表面実装型の発光素子３２の場合には、パッケージの外部に露出したリードを介して配線パターンと電気的に接続することができる。
また、発光素子３２のパッケージ形式は、例えば、ＣＳＰ(Chip Size Package)とすることができる。この場合、発光素子３２は、配線パターン上にフリップチップ実装することができる。 Further, the light emitting element 32 can be, for example, a surface mount type light emitting element. In the case of the surface mount type light emitting element 32, it can be electrically connected to the wiring pattern through a lead exposed to the outside of the package.
The package format of the light emitting element 32 can be, for example, CSP (Chip Size Package). In this case, the light emitting element 32 can be flip-chip mounted on the wiring pattern.

放熱部４は、筐体２の内部に設けられている。放熱部４は、基板３１の開口２ｂ側とは反対側に設けられている。
放熱部４は、基部４１およびフィン４２を有する。
基部４１は、板状を呈している。基部４１は、基板３１の、発光素子３２側とは反対側の面に接触している。 The heat radiating unit 4 is provided inside the housing 2. The heat radiating part 4 is provided on the side opposite to the opening 2 b side of the substrate 31.
The heat radiating part 4 has a base 41 and fins 42.
The base 41 has a plate shape. The base 41 is in contact with the surface of the substrate 31 opposite to the light emitting element 32 side.

なお、基部４１と基板３１との間には、シリコーングリスからなる層８が設けられていてもよい（図２を参照）。シリコーングリスからなる層８が設けられていれば、基部４１と基板３１との密着性を高めることができるので、発光部３と放熱部４との間の熱伝導を高めることができる。そのため、放熱部４による冷却効果を向上させることができる。
基部４１の平面形状は、基板３１の平面形状と同じとすることができる。平面視における基部４１の大きさは、基板３１の大きさと同じか若干大きいものとすることができる。 A layer 8 made of silicone grease may be provided between the base 41 and the substrate 31 (see FIG. 2). If the layer 8 made of silicone grease is provided, the adhesion between the base portion 41 and the substrate 31 can be increased, so that the heat conduction between the light emitting portion 3 and the heat radiating portion 4 can be increased. Therefore, the cooling effect by the thermal radiation part 4 can be improved.
The planar shape of the base 41 can be the same as the planar shape of the substrate 31. The size of the base 41 in plan view can be the same as or slightly larger than the size of the substrate 31.

フィン４２は、基部４１の、開口２ｂ側とは反対側の端部４１ａに並べて設けられている。
フィン４２は、筐体２の内部を天井部２ｃに向けて延びている。
フィン４２は、基部４１の辺に沿って複数設けられている。基部４１の平面形状が長方形の場合には、複数のフィン４２は、基部４１の長辺に沿って並べて設けることができる。
この場合、フィン４２とフィン４２との間が狭すぎると通風が阻害されて冷却効果が低減するおそれがある。
フィン４２とフィン４２との間が広すぎると、気体の流速が遅くなり冷却効果が低減するおそれがある。なお、「気体」は、一般的には空気である。
本発明者の得た知見によれば、フィン４２とフィン４２との間を３ｍｍ以上、１０ｍｍ以下とすれば冷却効果を向上させることができる。 The fins 42 are provided side by side at the end 41a of the base 41 opposite to the opening 2b.
The fins 42 extend inside the housing 2 toward the ceiling 2c.
A plurality of fins 42 are provided along the side of the base 41. When the planar shape of the base 41 is rectangular, the plurality of fins 42 can be provided side by side along the long side of the base 41.
In this case, if the space between the fins 42 and the fins 42 is too narrow, ventilation may be hindered and the cooling effect may be reduced.
If the space between the fins 42 and the fins 42 is too wide, the gas flow rate becomes slow, and the cooling effect may be reduced. The “gas” is generally air.
According to the knowledge obtained by the present inventors, the cooling effect can be improved if the distance between the fins 42 and the fins 42 is 3 mm or more and 10 mm or less.

複数のフィン４２は、等間隔に設けることもできるし、場所によって間隔が異なるように設けることもできる。
例えば、発光素子３２の配設形態などによって温度が高くなる領域が生ずる場合には、当該領域に設けられるフィン４２の間隔を狭めることもできる。 The plurality of fins 42 can be provided at equal intervals, or can be provided so that the intervals are different depending on the location.
For example, in the case where a region where the temperature increases due to the arrangement form of the light emitting elements 32 or the like, the interval between the fins 42 provided in the region can be narrowed.

必要な剛性が保たれるのであれば、フィン４２の厚みには特に限定はない。
例えば、フィン４２の材料がアルミニウムの場合には、フィン４２の厚みは１ｍｍ程度とすることができる。 As long as the necessary rigidity is maintained, the thickness of the fin 42 is not particularly limited.
For example, when the material of the fin 42 is aluminum, the thickness of the fin 42 can be about 1 mm.

フィン４２の高さ寸法は、発光素子３２の発熱量、紫外線照射モジュール１の大きさや用途などに応じて適宜変更することができる。
フィン４２の高さ寸法は、例えば、３０ｍｍ程度とすることができる。 The height dimension of the fins 42 can be changed as appropriate according to the amount of heat generated by the light emitting element 32, the size and application of the ultraviolet irradiation module 1, and the like.
The height dimension of the fin 42 can be about 30 mm, for example.

基部４１およびフィン４２は、一体に形成することもできるし、別々に形成したものを接合することもできる。
基部４１およびフィン４２の材料は、熱伝導率が高ければ特に限定はない。
基部４１およびフィン４２の材料は、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金など金属、酸化アルミニウムや窒化アルミニウムなどのセラミックス、高熱伝導性樹脂などとすることができる。
なお、基部４１およびフィン４２が別々に形成される場合には、基部４１とフィン４２とを同じ材料から形成することもできるし、異なる材料から形成することもできる。 The base 41 and the fins 42 can be formed integrally or can be formed separately.
The material of the base 41 and the fin 42 is not particularly limited as long as the thermal conductivity is high.
The material of the base 41 and the fin 42 can be, for example, a metal such as aluminum, an aluminum alloy, copper, or a copper alloy, a ceramic such as aluminum oxide or aluminum nitride, a high thermal conductive resin, or the like.
In addition, when the base 41 and the fin 42 are formed separately, the base 41 and the fin 42 can be formed from the same material, or can be formed from different materials.

窓部５は、筐体２の開口２ｂを塞いでいる。窓部５は、例えば、筐体２の開口２ｂにねじ止めすることができる。
窓部５は、板状を呈している。
窓部５の材料は、発光素子３２から照射された紫外線が透過できるものであれば特に限定はない。
窓部５の材料は、例えば、紫外線透過ガラス（ultraviolet transmitting glass）、アクリル樹脂などとすることができる。
なお、窓部５の固定方法は上記に限定されない。例えば、窓部５は、図示しないスペーサを基部４１に設けて、スペーサと筐体２とで窓部５を挟みこむことで固定してもよい。 The window 5 closes the opening 2 b of the housing 2. The window part 5 can be screwed to the opening 2b of the housing 2, for example.
The window part 5 is exhibiting plate shape.
The material of the window portion 5 is not particularly limited as long as it can transmit the ultraviolet light emitted from the light emitting element 32.
The material of the window portion 5 can be, for example, ultraviolet transmitting glass, acrylic resin, or the like.
In addition, the fixing method of the window part 5 is not limited to the above. For example, the window 5 may be fixed by providing a spacer (not shown) on the base 41 and sandwiching the window 5 between the spacer and the housing 2.

通風装置６は、筐体２の天井部２ｃに設けられている。通風装置６は、天井部２ｃにねじ止めすることができる。天井部２ｃの通風装置６が取り付けられる位置には、孔が設けられ、孔を介した通風ができるようになっている。   The ventilation device 6 is provided on the ceiling 2 c of the housing 2. The ventilation device 6 can be screwed to the ceiling portion 2c. A hole is provided at a position of the ceiling portion 2c where the ventilation device 6 is attached, so that ventilation can be performed through the hole.

通風装置６の形式には特に限定はないが、軸流ファンとすれば紫外線照射モジュール１の小型化を図ることができる。
軸流ファンは、軸方向から気体を吸い込み、軸方向に気体を排出する。 There is no particular limitation on the type of the ventilation device 6, but if it is an axial fan, the ultraviolet irradiation module 1 can be downsized.
An axial fan sucks gas from the axial direction and discharges gas in the axial direction.

通風装置６の数には特に限定はなく、通風装置６の能力、紫外線照射モジュール１の大きさや用途などに応じて適宜変更することができる。
すなわち、通風装置６は、１つ以上設けられていれば良い。 The number of the ventilators 6 is not particularly limited, and can be appropriately changed according to the capacity of the ventilator 6, the size and use of the ultraviolet irradiation module 1, and the like.
That is, it is sufficient that one or more ventilation devices 6 are provided.

通風装置６を複数設ける場合には、通風装置６は、等間隔に設けることもできるし、場所によって間隔が異なるように設けることもできる。
例えば、発光素子３２の配設形態などによって温度が高くなる領域が生ずる場合には、当該領域に設けられる通風装置６の間隔を狭めることもできる。 When a plurality of ventilation devices 6 are provided, the ventilation devices 6 can be provided at equal intervals, or can be provided so that the intervals are different depending on the location.
For example, in the case where a region where the temperature increases due to the arrangement form of the light emitting elements 32 or the like, the interval between the ventilation devices 6 provided in the region can be narrowed.

また、通風装置６にはフィルタ６ａを設けることができる。
この場合、フィルタ６ａは、通風装置６の吸気口および排気口の少なくともいずれかに設けることができる。
フィルタ６ａを設ければ、汚染された環境においても使用可能な紫外線照射モジュール１とすることができる。
通風装置６が筐体２の内部を排気するので、フィルタ６ａにより筐体２の内部にあるゴミが外部に拡散するのを抑制することができる。
そのため、クリンルームなどの清浄な環境においても使用可能な紫外線照射モジュール１とすることができる。 The ventilation device 6 can be provided with a filter 6a.
In this case, the filter 6a can be provided in at least one of the intake port and the exhaust port of the ventilation device 6.
If the filter 6a is provided, the ultraviolet irradiation module 1 that can be used even in a contaminated environment can be obtained.
Since the ventilation apparatus 6 exhausts the inside of the housing | casing 2, it can suppress that the dust inside the housing | casing 2 diffuses outside by the filter 6a.
Therefore, it can be set as the ultraviolet irradiation module 1 which can be used also in clean environments, such as a clean room.

また、通風装置６を天井部２ｃに設けるようにすれば、複数の紫外線照射モジュール１を近接させて設けることができる。   Moreover, if the ventilation apparatus 6 is provided in the ceiling part 2c, the several ultraviolet irradiation module 1 can be provided closely.

また、通風装置６を天井部２ｃに直接設ける場合を例示したが、ダクトやホースなどを介して通風装置６と筐体２を接続することもできる。
この場合、複数の紫外線照射モジュール１に対して共通の通風装置６を設けることもできる。 Moreover, although the case where the ventilation apparatus 6 was directly provided in the ceiling part 2c was illustrated, the ventilation apparatus 6 and the housing | casing 2 can also be connected via a duct, a hose, etc.
In this case, a common ventilation device 6 can be provided for the plurality of ultraviolet irradiation modules 1.

コネクタ７は、筐体２の天井部２ｃに設けられている。
コネクタ７には、図示しない配線を介して、発光素子３２および通風装置６が電気的に接続されている。図示しない配線は、筐体２の内部に設けられている。
また、コネクタ７には、紫外線照射モジュール１の外部に設けられた図示しない電源や制御装置などが電気的に接続される。 The connector 7 is provided on the ceiling 2 c of the housing 2.
The light emitting element 32 and the ventilation device 6 are electrically connected to the connector 7 via a wiring (not shown). Wiring (not shown) is provided inside the housing 2.
The connector 7 is electrically connected to a power source, a control device, etc. (not shown) provided outside the ultraviolet irradiation module 1.

なお、コネクタ７が天井部２ｃに設けられる場合を例示したが、コネクタ７の取り付け位置は適宜変更することができる。
例えば、コネクタ７は、筐体２の側面２ａなどに設けてもよい。
ただし、コネクタ７を天井部２ｃに設けるようにすれば、複数の紫外線照射モジュール１を近接させて設けることができる。 In addition, although the case where the connector 7 was provided in the ceiling part 2c was illustrated, the attachment position of the connector 7 can be changed suitably.
For example, the connector 7 may be provided on the side surface 2 a of the housing 2 or the like.
However, if the connector 7 is provided on the ceiling 2c, a plurality of ultraviolet irradiation modules 1 can be provided close to each other.

次に、筐体２に設けられた孔２１についてさらに説明する。
図２は、孔２１を例示するために模式図である。
なお、図２は、図１におけるＡ部の模式拡大図である。
図２に示すように、複数の孔２１は、筐体２の、複数のフィン４２が並ぶ方向と直交する方向における側面２ａに設けられている。
複数の孔２１は、複数のフィン４２が並ぶ方向に並べて設けられている。
なお、孔２１は、筐体２の両側の側面２ａに設けられていてもよいし、筐体２の片側の側面２ａのみに設けられていてもよい。
孔２１は、筐体２の天井部２ｃに向けて延びている。
孔２１の形状には、特に限定はない。孔２１の形状は、例えば、長方形とすることができる。 Next, the hole 21 provided in the housing 2 will be further described.
FIG. 2 is a schematic view for illustrating the hole 21.
FIG. 2 is a schematic enlarged view of a portion A in FIG.
As shown in FIG. 2, the plurality of holes 21 are provided in the side surface 2 a of the housing 2 in a direction orthogonal to the direction in which the plurality of fins 42 are arranged.
The plurality of holes 21 are provided side by side in the direction in which the plurality of fins 42 are arranged.
The holes 21 may be provided on the side surfaces 2 a on both sides of the housing 2 or may be provided only on the side surface 2 a on one side of the housing 2.
The hole 21 extends toward the ceiling portion 2 c of the housing 2.
The shape of the hole 21 is not particularly limited. The shape of the hole 21 can be a rectangle, for example.

筐体２の外部にある気体は、孔２１を介して筐体２の内部に供給される。
すなわち、孔２１は通気孔となる。 The gas outside the housing 2 is supplied into the housing 2 through the holes 21.
That is, the hole 21 becomes a vent hole.

この場合、孔２１は、筐体２の、複数のフィン４２が並ぶ方向と直交する方向における側面２ａに設けられているので、フィン４２とフィン４２との間を流れる気体の流れが円滑になる。そのため、冷却性を向上させることができる。   In this case, since the hole 21 is provided in the side surface 2a of the housing 2 in a direction orthogonal to the direction in which the plurality of fins 42 are arranged, the flow of gas flowing between the fin 42 and the fin 42 is smooth. . Therefore, cooling performance can be improved.

ここで、孔２１を大きくすると、孔２１を通過する気体の流速が遅くなる。孔２１を通過する気体の流速が遅くなると、フィン４２とフィン４２との間を流れる気体の流速が遅くなり冷却効果が低減するおそれがある。
例えば、複数のフィン４２が並ぶ方向に大きな孔を設けると、フィン４２とフィン４２との間を流れる気体の流速が遅くなり、冷却効果が低減する。
そこで、本実施の形態に係る紫外線照射モジュール１においては、複数の孔２１を設けることで、通気孔の面積の確保と、所定の流速の確保を図るようにしている。 Here, when the hole 21 is enlarged, the flow velocity of the gas passing through the hole 21 is decreased. When the flow velocity of the gas passing through the holes 21 is slow, the flow velocity of the gas flowing between the fins 42 and the fins 42 is slow, and the cooling effect may be reduced.
For example, if a large hole is provided in the direction in which the plurality of fins 42 are arranged, the flow velocity of the gas flowing between the fins 42 and the fins 42 becomes slow, and the cooling effect is reduced.
Therefore, in the ultraviolet irradiation module 1 according to the present embodiment, a plurality of holes 21 are provided so as to secure the area of the ventilation holes and the predetermined flow velocity.

ここで、孔２１を通過した気体がフィン４２の端面に衝突すると、フィン４２とフィン４２との間を流れる気体の流れが乱れ、ひいてはフィン４２とフィン４２との間を流れる気体の流速が遅くなる。フィン４２とフィン４２との間を流れる気体の流速が遅くなると、冷却効果が低減する。
そこで、孔２１が設けられた側面２ａに対して垂直な方向から側面２ａを見た場合に、孔２１は、フィン４２同士の間に位置している。
この様にすれば、孔２１を通過した気体がフィン４２の端面に衝突するのを抑制することができる。
そのため、冷却効率を向上させることができる。 Here, when the gas that has passed through the hole 21 collides with the end face of the fin 42, the flow of the gas flowing between the fin 42 and the fin 42 is disturbed, and consequently the flow velocity of the gas flowing between the fin 42 and the fin 42 is slow. Become. When the flow velocity of the gas flowing between the fins 42 becomes slower, the cooling effect is reduced.
Therefore, when the side surface 2a is viewed from a direction perpendicular to the side surface 2a provided with the hole 21, the hole 21 is located between the fins 42.
In this way, it is possible to suppress the gas that has passed through the hole 21 from colliding with the end face of the fin 42.
Therefore, the cooling efficiency can be improved.

またさらに、孔２１の幅寸法をＷ、フィン４２とフィン４２との間の距離をＬとした場合に、「幅寸法Ｗ＜距離Ｌ」となるようにすることが好ましい。
この様にすれば、孔２１を通過した気体がフィン４２の端面に衝突するのをさらに抑制することができる。 Furthermore, when the width dimension of the hole 21 is W and the distance between the fin 42 and the fin 42 is L, it is preferable that “width dimension W <distance L”.
In this way, it is possible to further suppress the gas that has passed through the hole 21 from colliding with the end face of the fin 42.

また、放熱部４における放熱は、主に、フィン４２において行われる。
放熱量は、フィン４２の温度と、フィン４２とフィン４２との間を流れる気体の温度との差が大きくなるほど大きくなる。
ところが、フィン４２には温度分布がある。
すなわち、フィン４２の温度は、発熱体である発光部３に近い基部４１側が高くなり、先端に向かうに従い漸減する。
そのため、孔２１は、基部４１に近い位置に設けることが好ましい。 Further, the heat radiation in the heat radiating unit 4 is mainly performed in the fins 42.
The amount of heat release increases as the difference between the temperature of the fin 42 and the temperature of the gas flowing between the fin 42 and the fin 42 increases.
However, the fin 42 has a temperature distribution.
That is, the temperature of the fin 42 becomes higher on the base 41 side close to the light emitting unit 3 that is a heating element, and gradually decreases toward the tip.
Therefore, the hole 21 is preferably provided at a position close to the base 41.

この場合、孔２１が設けられた側面２ａに対して垂直な方向から側面２ａを見た場合に、孔２１の開口２ｂ側の端部２１ａの位置は、基部４１の開口２ｂ側とは反対側の端部４１ａの位置の近傍にあればよい。
例えば、孔２１の端部２１ａの位置は、基部４１の端部４１ａの位置を挟んで±３ｍｍの範囲にあればよい。 In this case, when the side surface 2a is viewed from a direction perpendicular to the side surface 2a provided with the hole 21, the position of the end 21a on the opening 2b side of the hole 21 is opposite to the opening 2b side of the base 41. What is necessary is just to exist in the vicinity of the position of the edge part 41a.
For example, the position of the end 21 a of the hole 21 may be in a range of ± 3 mm with the position of the end 41 a of the base 41 interposed therebetween.

一方、孔２１の端部２１ｂの位置には特に限定はない。
ただし、端部２１ａと端部２１ｂとの間の距離が長くなると、孔２１が大きくなる。孔２１が大きくなりすぎると、孔２１を通過する気体の流速が遅くなるおそれがある。
また、フィン４２の先端側は温度が低いので、孔２１を設ける意味が薄い。
例えば、孔２１の端部２１ｂの位置は、フィン４２の高さ方向の中心位置よりも端部２１ａ側にあるようにすることができる。 On the other hand, the position of the end 21b of the hole 21 is not particularly limited.
However, when the distance between the end portion 21a and the end portion 21b becomes longer, the hole 21 becomes larger. If the hole 21 becomes too large, the flow rate of the gas passing through the hole 21 may be slow.
Further, since the tip side of the fin 42 has a low temperature, the meaning of providing the hole 21 is thin.
For example, the position of the end 21 b of the hole 21 can be located closer to the end 21 a than the center position of the fin 42 in the height direction.

ここで、本発明者の得た知見によれば、孔２１を通過する気体の流速が３ｍ／秒以上になれば、発光素子３２における温度上昇を効果的に抑制することができる。
この場合、孔２１を通過する気体の流速は、孔２１の寸法、孔２１の数、通風装置６の能力、通風装置６の数などの影響を受ける。
そのため、孔２１の寸法および孔２１の数は、孔２１を通過する気体の流速が３ｍ／秒以上となるように実験やシミュレーションを行い求めるようにすることが好ましい。 Here, according to the knowledge obtained by the present inventor, if the flow velocity of the gas passing through the hole 21 is 3 m / second or more, the temperature rise in the light emitting element 32 can be effectively suppressed.
In this case, the flow velocity of the gas passing through the hole 21 is affected by the size of the hole 21, the number of the holes 21, the ability of the ventilation device 6, the number of the ventilation devices 6, and the like.
Therefore, it is preferable to obtain the dimensions of the holes 21 and the number of the holes 21 by performing experiments and simulations so that the flow velocity of the gas passing through the holes 21 is 3 m / second or more.

次に、本実施の形態に係る紫外線照射装置１００について例示をする。
図３（ａ）、（ｂ）は、紫外線照射装置１００を例示するための模式図である。
なお、図３（ａ）は正面図、図３（ｂ）は側面図である。
図３（ａ）、（ｂ）に示すように、紫外線照射装置１００には、複数の紫外線照射モジュール１が設けられている。
複数の紫外線照射モジュール１は、複数の孔２１が並ぶ方向に並べられている。
この様にすれば、隣接する紫外線照射モジュール同士が吸気する気体（紫外線照射モジュール同士の間にある気体）を奪い合うことを抑制することができる。また、排気が干渉することを抑制することができる。そのため、紫外線照射モジュールの内部を安定して冷却することができる。
その結果、冷却効率の低下を抑制することができる。 Next, the ultraviolet irradiation device 100 according to the present embodiment will be illustrated.
FIGS. 3A and 3B are schematic views for illustrating the ultraviolet irradiation device 100.
3A is a front view, and FIG. 3B is a side view.
As shown in FIGS. 3A and 3B, the ultraviolet irradiation device 100 is provided with a plurality of ultraviolet irradiation modules 1.
The plurality of ultraviolet irradiation modules 1 are arranged in the direction in which the plurality of holes 21 are arranged.
If it does in this way, it can suppress competing for the gas (gas which exists between ultraviolet irradiation modules) which the adjacent ultraviolet irradiation modules inhale. Moreover, it can suppress that exhaust_gas | exhaustion interferes. Therefore, the inside of the ultraviolet irradiation module can be stably cooled.
As a result, a decrease in cooling efficiency can be suppressed.

この場合、紫外線照射モジュール１同士の間の距離を短くしても、隣接する紫外線照射モジュール１の吸排気の影響を抑制することができる。
そのため、紫外線照射モジュール１同士の間の距離を短くすることができるので、ワーク上における照度分布の均一化を図ることができる。
なお、紫外線照射モジュール１の数は例示をしたものに限定されるわけではない。 In this case, even if the distance between the ultraviolet irradiation modules 1 is shortened, the influence of intake and exhaust of the adjacent ultraviolet irradiation modules 1 can be suppressed.
Therefore, since the distance between the ultraviolet irradiation modules 1 can be shortened, the illuminance distribution on the workpiece can be made uniform.
In addition, the number of the ultraviolet irradiation modules 1 is not necessarily limited to what was illustrated.

図４（ａ）、（ｂ）は、他の実施形態にかかる紫外線照射装置２００を例示するための模式図である。
なお、図４（ａ）は正面図、図４（ｂ）は側面図である。
図４（ａ）、（ｂ）に示すように、紫外線照射装置２００には、複数の紫外線照射モジュール１が設けられている。
複数の紫外線照射モジュール１は、複数の孔２１が並ぶ方向と直交する方向に並べられている。
本実施の形態においては、孔２１は、筐体２の片側の側面２ａのみに設けられている。 また、孔２１が設けられた側面２ａは、同じ方向を向いている。 4A and 4B are schematic views for illustrating an ultraviolet irradiation device 200 according to another embodiment.
4A is a front view, and FIG. 4B is a side view.
As shown in FIGS. 4A and 4B, the ultraviolet irradiation device 200 is provided with a plurality of ultraviolet irradiation modules 1.
The plurality of ultraviolet irradiation modules 1 are arranged in a direction orthogonal to the direction in which the plurality of holes 21 are arranged.
In the present embodiment, the hole 21 is provided only on the side surface 2 a on one side of the housing 2. Moreover, the side surface 2a provided with the hole 21 faces the same direction.

すなわち、側面２ａ同士が向かい合う場合には、一方の紫外線照射モジュール１の側面２ａには孔２１が設けられ、他方の紫外線照射モジュール１の側面２ａには孔２１が設けられないようにしている。
この様にすれば、隣接する紫外線照射モジュール１同士が吸気する気体（紫外線照射モジュール同士の間にある気体）を奪い合うことがなく、排気も干渉しないので、紫外線照射モジュール１の内部を安定して冷却することができる。
そのため、冷却効率の低下を抑制することができる。 That is, when the side surfaces 2a face each other, a hole 21 is provided in the side surface 2a of one ultraviolet irradiation module 1, and a hole 21 is not provided in the side surface 2a of the other ultraviolet irradiation module 1.
In this way, the adjacent ultraviolet irradiation modules 1 do not contend with the gas sucked by the adjacent ultraviolet irradiation modules 1 (the gas existing between the ultraviolet irradiation modules), and the exhaust does not interfere with each other. Can be cooled.
Therefore, it is possible to suppress a decrease in cooling efficiency.

この場合、紫外線照射モジュール１同士の間の距離を短くしても、隣接する紫外線照射モジュール１の吸排気の影響を抑制することができる。
そのため、紫外線照射モジュール１同士の間の距離を短くすることができるので、ワーク上における照度分布の均一化を図ることができる。
なお、紫外線照射モジュール１の数は例示をしたものに限定されるわけではない。 In this case, even if the distance between the ultraviolet irradiation modules 1 is shortened, the influence of intake and exhaust of the adjacent ultraviolet irradiation modules 1 can be suppressed.
Therefore, since the distance between the ultraviolet irradiation modules 1 can be shortened, the illuminance distribution on the workpiece can be made uniform.
In addition, the number of the ultraviolet irradiation modules 1 is not necessarily limited to what was illustrated.

図５は、他の実施形態にかかる紫外線照射装置３００を例示するための模式斜視図である。
図５に示すように、紫外線照射装置３００には、複数の紫外線照射モジュール１が設けられている。
複数の紫外線照射モジュール１は、複数の孔２１が並ぶ方向、および複数の孔２１が並ぶ方向と直交する方向に並べられている。
すなわち、複数の紫外線照射モジュール１は、マトリクス状に並べられている。
本実施の形態においては、孔２１は、筐体２の片側の側面２ａのみに設けられている。 また、孔２１が設けられた側面２ａは、同じ方向を向いている。 FIG. 5 is a schematic perspective view for illustrating an ultraviolet irradiation device 300 according to another embodiment.
As shown in FIG. 5, the ultraviolet irradiation device 300 is provided with a plurality of ultraviolet irradiation modules 1.
The plurality of ultraviolet irradiation modules 1 are arranged in a direction in which the plurality of holes 21 are arranged and a direction orthogonal to the direction in which the plurality of holes 21 are arranged.
That is, the plurality of ultraviolet irradiation modules 1 are arranged in a matrix.
In the present embodiment, the hole 21 is provided only on the side surface 2 a on one side of the housing 2. Moreover, the side surface 2a provided with the hole 21 faces the same direction.

すなわち、側面２ａ同士が向かい合う場合には、一方の紫外線照射モジュール１の側面２ａには孔２１が設けられ、他方の紫外線照射モジュール１の側面２ａには孔２１が設けられないようにしている。
この様にすれば、隣接する紫外線照射モジュール１同士が吸気する気体（紫外線照射モジュール同士の間にある気体）を奪い合うことがなく、排気も干渉しないので、紫外線照射モジュール１の内部を安定して冷却することができる。
そのため、冷却効率の低下を抑制することができる。
また、紫外線照射装置３００によれば、前述した紫外線照射装置１００、２００の場合と同様に、ワーク上における照度分布の均一化を図ることができる。 That is, when the side surfaces 2a face each other, a hole 21 is provided in the side surface 2a of one ultraviolet irradiation module 1, and a hole 21 is not provided in the side surface 2a of the other ultraviolet irradiation module 1.
In this way, the adjacent ultraviolet irradiation modules 1 do not contend with the gas sucked by the adjacent ultraviolet irradiation modules 1 (the gas existing between the ultraviolet irradiation modules), and the exhaust does not interfere with each other. Can be cooled.
Therefore, it is possible to suppress a decrease in cooling efficiency.
Moreover, according to the ultraviolet irradiation device 300, the illuminance distribution on the workpiece can be made uniform as in the case of the ultraviolet irradiation devices 100 and 200 described above.

またさらに、複数の孔２１が並ぶ方向における紫外線照射モジュール１同士の間の距離をＸ、複数の孔２１が並ぶ方向と直交する方向における紫外線照射モジュール１同士の間の距離をＹとした場合に、「Ｙ＞Ｘ」となるようにすることが好ましい。
なお、紫外線照射モジュール１の数は例示をしたものに限定されるわけではない。 Furthermore, when the distance between the ultraviolet irradiation modules 1 in the direction in which the plurality of holes 21 are arranged is X, and the distance between the ultraviolet irradiation modules 1 in the direction orthogonal to the direction in which the plurality of holes 21 are arranged is Y. , “Y> X” is preferable.
In addition, the number of the ultraviolet irradiation modules 1 is not necessarily limited to what was illustrated.

以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。   As mentioned above, although several embodiment of this invention was illustrated, these embodiment is shown as an example and is not intending limiting the range of invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, changes, and the like can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and equivalents thereof. Further, the above-described embodiments can be implemented in combination with each other.

１ 紫外線照射モジュール、２ 筐体、２ａ 側面、２ｂ 開口、２ｃ 天井部、３ 発光部、４ 放熱部、５ 窓部、６ 通風装置、６ａ フィルタ、７ コネクタ、２１ 孔、２１ａ 端部、２１ｂ 端部、３１ 基板、３２ 発光素子、４１ 基部、４１ａ 端部、４２ フィン、１００ 紫外線照射装置、２００ 紫外線照射装置、３００ 紫外線照射装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ultraviolet irradiation module, 2 housing | casing, 2a side surface, 2b opening, 2c ceiling part, 3 light emission part, 4 heat radiation part, 5 window part, 6 ventilation apparatus, 6a filter, 7 connector, 21 hole, 21a edge part, 21b edge Part, 31 substrate, 32 light emitting element, 41 base part, 41a end part, 42 fin, 100 ultraviolet irradiation apparatus, 200 ultraviolet irradiation apparatus, 300 ultraviolet irradiation apparatus

Claims (3)

一方の端部が開口した筐体と；
前記筐体の内部であって前記開口に近接させて設けられ、基板と、前記基板の前記開口側の面に設けられ紫外線を照射する発光素子と、を有する発光部と；
前記筐体の内部であって前記基板の前記開口側とは反対側に設けられ、基部と、前記基部の前記開口側とは反対側の端部に並べて設けられた複数のフィンと、を有する放熱部と；
を具備し、
前記筐体は、前記複数のフィンが並ぶ方向と直交する方向における面に、前記複数のフィンが並ぶ方向に並べて設けられた複数の孔を有し、
前記孔が設けられた面に対して垂直な方向から前記面を見た場合に、前記孔の前記開口側の端部の位置は、前記基部の前記開口側とは反対側の端部の位置の近傍にある紫外線照射モジュール。 A housing open at one end;
A light emitting unit provided inside the casing and in proximity to the opening, and having a substrate and a light emitting element that is provided on a surface of the substrate on the opening side and irradiates ultraviolet rays;
Inside the housing, provided on the side opposite to the opening side of the substrate, and having a base and a plurality of fins arranged side by side at the end of the base opposite to the opening side A heat dissipating part;
Comprising
The housing has a plurality of holes arranged in a direction in which the plurality of fins are arranged on a surface in a direction orthogonal to a direction in which the plurality of fins are arranged,
When the surface is viewed from a direction perpendicular to the surface in which the hole is provided, the position of the end of the hole on the opening side is the position of the end of the base opposite to the opening side. UV irradiation module in the vicinity of. 前記孔が設けられた面に対して垂直な方向から前記面を見た場合に、前記孔は、前記フィン同士の間に位置している請求項１記載の紫外線照射モジュール。   The ultraviolet irradiation module according to claim 1, wherein the hole is located between the fins when the surface is viewed from a direction perpendicular to the surface provided with the hole. 請求項１または２に記載の紫外線照射モジュールを複数具備し、
前記複数の紫外線照射モジュールは、前記複数の孔が並ぶ方向、および、前記複数の孔が並ぶ方向と直交する方向に並べて設けられている紫外線照射装置。

A plurality of ultraviolet irradiation modules according to claim 1 or 2,
The plurality of ultraviolet irradiation modules are ultraviolet irradiation devices arranged side by side in a direction in which the plurality of holes are arranged and in a direction orthogonal to the direction in which the plurality of holes are arranged.

JP2015187127A 2015-09-24 2015-09-24 UV irradiation module and UV irradiation device Active JP6651765B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015187127A JP6651765B2 (en) 2015-09-24 2015-09-24 UV irradiation module and UV irradiation device
KR1020160113837A KR102527206B1 (en) 2015-09-24 2016-09-05 Ultraviolet irradiation module and ultraviolet irradiation apparatus
TW105130085A TWI716451B (en) 2015-09-24 2016-09-19 Ultraviolet radiation module and ultraviolet radiation device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015187127A JP6651765B2 (en) 2015-09-24 2015-09-24 UV irradiation module and UV irradiation device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017060912A true JP2017060912A (en) 2017-03-30
JP6651765B2 JP6651765B2 (en) 2020-02-19

Family

ID=58428618

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015187127A Active JP6651765B2 (en) 2015-09-24 2015-09-24 UV irradiation module and UV irradiation device

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6651765B2 (en)
KR (1) KR102527206B1 (en)
TW (1) TWI716451B (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021084794A1 (en) * 2019-10-28 2021-05-06 ウシオ電機株式会社 Ultraviolet radiation device
WO2022209959A1 (en) * 2021-03-31 2022-10-06 Hoya株式会社 Light emission device
EP4303020A1 (en) * 2022-07-08 2024-01-10 Ushio Denki Kabushiki Kaisha Light source unit, light source device, and method for forming a light source unit

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102308208B1 (en) * 2020-02-14 2021-10-05 주식회사 라이트전자 Irradiation light source

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013171882A (en) * 2012-02-17 2013-09-02 Nk Works Kk Light irradiation system
JP2015149415A (en) * 2014-02-06 2015-08-20 パナソニック デバイスＳｕｎｘ株式会社 ultraviolet irradiation head and ultraviolet irradiation device
JP2015201427A (en) * 2014-04-04 2015-11-12 Ｈｏｙａ Ｃａｎｄｅｏ Ｏｐｔｒｏｎｉｃｓ株式会社 light irradiation device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3194269B2 (en) 1993-09-17 2001-07-30 旭化成株式会社 Polishing monofilament
JP6519268B2 (en) * 2015-03-27 2019-05-29 東芝ライテック株式会社 Lighting device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013171882A (en) * 2012-02-17 2013-09-02 Nk Works Kk Light irradiation system
JP2015149415A (en) * 2014-02-06 2015-08-20 パナソニック デバイスＳｕｎｘ株式会社 ultraviolet irradiation head and ultraviolet irradiation device
JP2015201427A (en) * 2014-04-04 2015-11-12 Ｈｏｙａ Ｃａｎｄｅｏ Ｏｐｔｒｏｎｉｃｓ株式会社 light irradiation device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021084794A1 (en) * 2019-10-28 2021-05-06 ウシオ電機株式会社 Ultraviolet radiation device
CN114365260A (en) * 2019-10-28 2022-04-15 优志旺电机株式会社 Ultraviolet irradiation device
JP7456115B2 (en) 2019-10-28 2024-03-27 ウシオ電機株式会社 UV irradiation device
WO2022209959A1 (en) * 2021-03-31 2022-10-06 Hoya株式会社 Light emission device
EP4303020A1 (en) * 2022-07-08 2024-01-10 Ushio Denki Kabushiki Kaisha Light source unit, light source device, and method for forming a light source unit

Also Published As

Publication number Publication date
JP6651765B2 (en) 2020-02-19
KR102527206B1 (en) 2023-05-03
TW201712905A (en) 2017-04-01
KR20170036605A (en) 2017-04-03
TWI716451B (en) 2021-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5469168B2 (en) Cooling device for cooling semiconductor dies
US9521777B2 (en) Cooling system for electronic components and led lamp having the same
TWI716451B (en) Ultraviolet radiation module and ultraviolet radiation device
TW201544762A (en) Light irradiation device
JP5606381B2 (en) Lighting device
JP2018134815A (en) Light radiation device and printer
JP6862803B2 (en) Irradiation device
JP2019057471A (en) Light source device
JP2015058392A (en) Light emission module and ultraviolet irradiator
WO2016042974A1 (en) Light illumination device
US10260725B2 (en) Light emitting device
JP2017177088A (en) Irradiation unit and irradiation device
WO2019181937A1 (en) Light irradiation device and printing device
JP2011249496A (en) Cooling structure of electronic apparatus
JP2022084101A (en) Ultraviolet ray irradiation apparatus
JP2022148364A (en) Ultraviolet irradiation device
CN219377825U (en) Ultraviolet irradiation device
JP7305026B2 (en) Light irradiation device and printing device
WO2020158738A1 (en) Light irradiation device and printing device
JP7208405B2 (en) Light irradiation device and printing device
CN206259342U (en) Ultraviolet irradiation module and ultraviolet lamp
WO2022158317A1 (en) Light irradiation device
JP2009164178A (en) Heat radiator of electronic equipment
EP3246625B1 (en) A lighting device and corresponding method
CN117136337A (en) Light irradiation device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180307

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20181217

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20181220

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190711

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190905

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20191224

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200106

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6651765

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151