JP2017045745A - 発光装置、発光装置の製造方法、およびプロジェクター - Google Patents
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Abstract
Description
電流が注入されて光を発生させることが可能な活性層と、
前記活性層を挟む第1クラッド層および第2クラッド層と、
前記第1クラッド層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2クラッド層に電気的に接続された第2電極と、
を含み、
前記活性層は、光を導波させる光導波路を構成し、
前記光導波路は、前記光導波路の端部に設けられ、かつ、前記活性層よりもバンドギャップが大きい窓部を有し、
前記窓部と前記第2電極との間の第1層のキャリア濃度は、前記第2クラッド層のキャリア濃度よりも低い。
前記窓部は、前記活性層にII族またはXII族の元素が拡散された領域であってもよい。
前記第1層は、前記窓部と前記第2電極との間に設けられた第1部分と、前記窓部を構成している第2部分と、を有していてもよい。
前記活性層および前記第1クラッド層の積層方向から見て、前記光導波路は、前記光導波路の端面の垂線に対して傾いた方向に延在していてもよい。
活性層が光を導波させる光導波路を構成し、前記光導波路が前記光導波路の端部に設けられかつ前記活性層よりもバンドギャップが大きい窓部を有する発光装置の製造方法であって、
第1クラッド層、前記活性層、および第2クラッド層をこの順に積層する工程と、
前記第2クラッド層の一部および前記活性層の一部にII族またはXII族の元素を拡散させて、前記第2クラッド層の一部を前記元素が拡散された第1層とし、かつ、前記活性層の一部を前記窓部とする工程と、
前記第2クラッド層をレーザーアニールして、前記第2クラッド層のドーパントの活性化率を、前記第1層のドーパントの活性化率よりも高くする工程と、
を含む。
活性層が光を導波させる光導波路を構成し、前記光導波路が前記光導波路の端部に設けられかつ前記活性層よりもバンドギャップが大きい窓部を有する発光装置の製造方法であって、
第1クラッド層、前記活性層、および第2クラッド層をこの順に積層する工程と、
前記第2クラッド層の第1領域をレーザーアニールして、前記第1領域のドーパントの活性化率を、前記第2クラッド層の第2領域のドーパントの活性化率よりも高くする工程と、
前記第2領域と、前記第1クラッド層と前記活性層の積層方向から見て前記第2領域に重なる前記活性層の第3領域とにII族またはXII族の元素を拡散させて、前記第2領域を前記元素が拡散された第1層とし、かつ、前記第3領域を前記窓部とする工程と、
を含む。
活性層が光を導波させる光導波路を構成し、前記光導波路が前記光導波路の端部に設けられかつ前記活性層よりもバンドギャップが大きい窓部を有する発光装置の製造方法であって、
第1クラッド層、前記活性層、および第2クラッド層をこの順に積層して積層体を形成する工程と、
前記積層体の一部をエッチングして、前記活性層の側面を露出させる開口部を形成する工程と、
前記開口部を、前記活性層よりもバンドギャップが大きく、かつ前記第2クラッド層よりもキャリア濃度が低い材料で埋め込んで、前記窓部を有する第1層を形成する工程と、
を含む。
本発明に係る発光装置と、
前記発光装置から出射された光を画像情報に応じて変調する光変調装置と、
前記光変調装置によって形成された画像を投射する投射装置と、
を含む。
1.1. 発光装置
まず、第1実施形態に係るについて図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る発光装置100を模式的に示す平面図である。図2は、第1実施形態に係る発光装置100を模式的に示す図1のII−II線断面図である。図3は、第1実施形態に係る発光装置100を模式的に示す図1のIII−III線断面図である。なお、図1では、便宜上、第2電極122の図示を省略している。
次に、第1実施形態に係る発光装置100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図4は、第1実施形態に係る発光装置100の製造方法の一例を示すフローチャートである。図5〜図8は、第1実施形態に係る発光装置100の製造工程を模式的に示す断面図である。
(1)第1変形例
次に、第1実施形態の第1変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図12は、第1実施形態の第1変形例に係る発光装置200を模式的に示す平面図である。以下、第1実施形態の第1変形例に係る発光装置200において、上述した発光装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第1実施形態の第2変形例に係る発光装置について、図面を参照しながら説明する。図13は、第1実施形態の第2変形例に係る発光装置202を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図13では、第2電極122を省略している。
2.1. 発光装置
次に、第2実施形態に係る発光装置について図面を参照しながら説明する。図14は、第2実施形態に係る発光装置300を模式的に示す平面図である。図15は、第2実施形態に係る発光装置300を模式的に示す図14のXV−XV線断面図である。なお、図14では、便宜上、第2電極122の図示を省略している。
次に、第2実施形態に係る発光装置300の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図16は、第2実施形態に係る発光装置300の製造方法の一例を示すフローチャートである。図17〜図21は、第2実施形態に係る発光装置300の製造工程を模式的に示す断面図である。
次に、第3実施形態に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図22は、第3実施形態に係るプロジェクター900を模式的に示す図である。
Claims (8)
- 電流が注入されて光を発生させることが可能な活性層と、
前記活性層を挟む第1クラッド層および第2クラッド層と、
前記第1クラッド層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2クラッド層に電気的に接続された第2電極と、
を含み、
前記活性層は、光を導波させる光導波路を構成し、
前記光導波路は、前記光導波路の端部に設けられ、かつ、前記活性層よりもバンドギャップが大きい窓部を有し、
前記窓部と前記第2電極との間の第1層のキャリア濃度は、前記第2クラッド層のキャリア濃度よりも低い、ことを特徴とする発光装置。 - 前記窓部は、前記活性層にII族またはXII族の元素が拡散された領域である、ことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 前記第1層は、前記窓部と前記第2電極との間に設けられた第1部分と、前記窓部を構成している第2部分と、を有している、ことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 前記活性層および前記第1クラッド層の積層方向から見て、前記光導波路は、前記光導波路の端面の垂線に対して傾いた方向に延在している、ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の発光装置。
- 活性層が光を導波させる光導波路を構成し、前記光導波路が前記光導波路の端部に設けられかつ前記活性層よりもバンドギャップが大きい窓部を有する発光装置の製造方法であって、
第1クラッド層、前記活性層、および第2クラッド層をこの順に積層する工程と、
前記第2クラッド層の一部および前記活性層の一部にII族またはXII族の元素を拡散させて、前記第2クラッド層の一部を前記元素が拡散された第1層とし、かつ、前記活性層の一部を前記窓部とする工程と、
前記第2クラッド層をレーザーアニールして、前記第2クラッド層のドーパントの活性化率を、前記第1層のドーパントの活性化率よりも高くする工程と、
を含む、ことを特徴とする発光装置の製造方法。 - 活性層が光を導波させる光導波路を構成し、前記光導波路が前記光導波路の端部に設けられかつ前記活性層よりもバンドギャップが大きい窓部を有する発光装置の製造方法であって、
第1クラッド層、前記活性層、および第2クラッド層をこの順に積層する工程と、
前記第2クラッド層の第1領域をレーザーアニールして、前記第1領域のドーパントの活性化率を、前記第2クラッド層の第2領域のドーパントの活性化率よりも高くする工程と、
前記第2領域と、前記第1クラッド層と前記活性層の積層方向から見て前記第2領域に重なる前記活性層の第3領域とにII族またはXII族の元素を拡散させて、前記第2領域を前記元素が拡散された第1層とし、かつ、前記第3領域を前記窓部とする工程と、
を含む、ことを特徴とする発光装置の製造方法。 - 活性層が光を導波させる光導波路を構成し、前記光導波路が前記光導波路の端部に設けられかつ前記活性層よりもバンドギャップが大きい窓部を有する発光装置の製造方法であって、
第1クラッド層、前記活性層、および第2クラッド層をこの順に積層して積層体を形成する工程と、
前記積層体の一部をエッチングして、前記活性層の側面を露出させる開口部を形成する工程と、
前記開口部を、前記活性層よりもバンドギャップが大きく、かつ前記第2クラッド層よりもキャリア濃度が低い材料で埋め込んで、前記窓部を有する第1層を形成する工程と、
を含む、ことを特徴とする発光装置の製造方法。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の発光装置と、
前記発光装置から出射された光を画像情報に応じて変調する光変調装置と、
前記光変調装置によって形成された画像を投射する投射装置と、
を含む、ことを特徴とするプロジェクター。
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